JP6435388B2 - 基板処理方法および基板処理装置 - Google Patents
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Description
さらに、この方法によれば、基板処理装置の停止時間の長さにより予備処理工程が基板処理に及ぼす効果が変化してしまう場合に対応することができるため、基板の処理品質を安定させることができる。
さらに、この方法によれば、処理液ノズルから処理液を一定量だけ吐出するプリディスペンス工程が、基板処理工程の前に実行される。温度調整された処理液を基板に供給して当該基板を処理する場合に、プリディスペンス工程を実行することによって、処理液ノズルおよび処理液配管に滞留していて目標温度範囲外の温度となってしまった処理液を排出して、処理液ノズルの吐出口に温度調整された処理液を導くことができる。そして、プリディスペンス工程の後に、基板に対して処理液を吐出する処理液供給工程(基板処理工程の一部)を実行することによって、当初から温度調整された処理液によって基板を処理できる。これにより、精密な基板処理を実現できる。
プリディスペンス工程の実行によって当初の温度から変化した処理液が排出されるものの、プリディスペンス工程の終了から基板処理工程の開始までの時間が長いと、処理液ノズルおよび処理液配管内の処理液の温度が当初の温度から変化してしまう。前述のように、基板処理装置の異常が解消すると、基板処理工程が実行される前に、基板処理工程の準備のための工程(解消後予備処理工程)が改めて実行される。したがって、基板処理装置の異常が発生してから異常が解消するまでの期間が長かったとしても、目標温度範囲内の温度の処理液を基板に供給することができる。これにより、基板の処理品質を安定させることができる。
請求項2に記載の発明は、前記予備処理工程の実行中に前記基板処理装置に異常が発生した場合、前記解消後予備処理工程としての前記プリディスペンス工程の内容は、前記基板処理装置に異常が発生してから当該異常が解消するまでの経過時間に応じて、前記指定処理ユニットにおいて前記異常の発生時よりも後に計画されている前記プリディスペンス工程の残りの工程のみ、または、前記プリディスペンス工程に含まれる全ての工程が実行されるように変更される、請求項1に記載の基板処理方法である。
請求項3に記載の発明は、前記異常が発生したときに前記予備処理工程としての前記プリディスペンス工程が90%以上100%未満完了していた場合、前記異常が解消した後に、前記プリディスペンス工程の残りのみを前記解消後予備処理工程として実行し、前記異常が発生したときに前記予備処理工程としての前記プリディスペンス工程が0%を超え90%未満しか完了していない場合、前記異常が解消した後に、前記プリディスペンス工程に含まれる全ての工程を前記解消後予備処理工程として実行する、請求項1または2に記載の基板処理方法である。
この方法によれば、基板処理内容に応じた内容の予備処理工程を実行することが可能になるため、基板処理工程を実行するための準備が十分に整えられた状態で、基板処理工程が開始できる。これにより、基板の処理品質を安定させることができる。
前記制御部は、前記処理ユニットが基板を処理する基板処理工程の準備を前記処理ユニットが行う予備処理工程の開始から前記基板処理工程の開始前までの期間に前記基板処理装置に異常が発生したときに、少なくとも一つの前記処理ユニットのうち前記基板処理工程を行うように指定されている一つの前記処理ユニットを表す指定処理ユニットでの前記基板処理工程を中止する中止ステップと、前記異常が解消したときに、前記処理ユニットが前記基板処理工程の準備を行う解消後予備処理工程と、前記基板処理工程とを、前記解消後予備処理工程、前記基板処理工程の順番で、前記指定処理ユニットで行う再開ステップと、を実行する。前記予備処理工程および解消後予備処理工程は、前記処理液ノズルから処理液を吐出させることにより、前記処理液ノズルおよび処理液配管の少なくとも一方に残留している処理液を排出させるプリディスペンス工程を含む。前記制御部は、前記解消後予備処理工程としての前記プリディスペンス工程の内容を、前記基板処理装置に異常が発生してから当該異常が解消するまでの経過時間に応じて変更する。この構成によれば、請求項1に関して述べた効果と同様の効果を奏することができる。
請求項6に記載の発明は、前記制御部は、前記予備処理工程の実行中に前記基板処理装置に異常が発生した場合、前記解消後予備処理工程としての前記プリディスペンス工程の内容を、前記基板処理装置に異常が発生してから当該異常が解消するまでの経過時間に応じて、前記指定処理ユニットにおいて前記異常の発生時よりも後に計画されている前記プリディスペンス工程の残りの工程のみ、または、前記プリディスペンス工程に含まれる全ての工程が実行されるように変更する、請求項5に記載の基板処理装置である。
請求項7に記載の発明は、前記制御部は、前記異常が発生したときに前記予備処理工程としての前記プリディスペンス工程が90%以上100%未満完了していた場合、前記異常が解消した後に、前記プリディスペンス工程の残りのみを前記解消後予備処理工程として実行し、前記異常が発生したときに前記予備処理工程としての前記プリディスペンス工程が0%を超え90%未満しか完了していない場合、前記異常が解消した後に、前記プリディスペンス工程に含まれる全ての工程を前記解消後予備処理工程として実行する、請求項5または6に記載の基板処理装置である。
請求項8に記載の発明は、基板を1枚ずつ処理する少なくとも一つの枚葉式の処理ユニットと、制御部とを備える基板処理装置である。前記処理ユニットは、前記処理ユニットの内部で洗浄液を吐出する洗浄液ノズルと、前記洗浄液ノズルに洗浄液を導く洗浄液配管とを含む。
前記制御部は、前記処理ユニットが基板を処理する基板処理工程の準備を前記処理ユニットが行う予備処理工程の開始から前記基板処理工程の開始前までの期間に前記基板処理装置に異常が発生したときに、少なくとも一つの前記処理ユニットのうち前記基板処理工程を行うように指定されている一つの前記処理ユニットを表す指定処理ユニットでの前記基板処理工程を中止する中止ステップと、前記異常が解消したときに、前記処理ユニットが前記基板処理工程の準備を行う解消後予備処理工程と、前記基板処理工程とを、前記解消後予備処理工程、前記基板処理工程の順番で、前記指定処理ユニットで行う再開ステップと、を実行する。前記予備処理工程および解消後予備処理工程は、前記洗浄液ノズルから洗浄液を吐出させることにより前記処理ユニットの内部および処理ユニット内部に配設された部品の少なくとも一方を洗浄する洗浄工程を含む。前記制御部は、前記解消後予備処理工程としての前記洗浄工程の内容を、前記基板処理装置に異常が発生してから当該異常が解消するまでの経過時間に応じて変更する。
図1は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを示す図解的な平面図であり、図2はその図解的な側面図である。図3は、基板処理装置に備えられた処理ユニットの内部を水平方向に見た模式図である。
図1に示すように、この基板処理装置は、インデクサセクション1と、処理セクション2とを含む。処理セクション2は、インデクサセクション1との間で基板Wを受け渡しするための受け渡しユニットPASSを備えている。
図1に示すように、複数のステージST1〜ST4は、水平な方向に配列されている。図2に示すように、各ステージST1〜ST4は、複数枚の基板W(たとえば半導体ウエハ)を積層状態で収容した基板収容器Cをそれぞれ保持することができる基板収容器保持部である。基板収容器Cは、基板Wを密閉した状態で収納するFOUP(Front Opening Unified Pod)であってもよいし、SMIF(Standard Mechanical Inter Face)ポッド、OC(Open Cassette)等であってもよい。たとえば、4つの基板収容器Cをそれぞれ4つのステージST1〜ST4に載置したとき、各基板収容器Cでは、水平姿勢の複数枚の基板Wが互いに間隔を開けて鉛直方向に積層された状態となる。
基台部6は、複数のステージST1〜ST4の配列方向に移動可能である。インデクサロボットIRは、複数のステージST1〜ST4の配列方向に基台部6を移動させる水平移動機構を含む。多関節アーム7は、水平面に沿って回動可能な複数本のアーム部を互いに回動可能に結合して構成されており、アーム部の結合箇所である関節部でアーム部間の角度を変更することによって、屈伸するように構成されている。多関節アーム7の基端部は、基台部6に対して、鉛直軸線回りの回動が可能であるように結合されている。さらに、多関節アーム7は、基台部6に対して昇降可能に結合されている。換言すれば、基台部6には、多関節アーム7を昇降させるための昇降駆動機構、多関節アーム7を鉛直軸線回りに回動させるための回動駆動機構が内蔵されている。
図1および図2に示すように、処理ユニットSPIN1〜SPIN12は、この実施形態では、立体的に配置されている。より具体的には、三階建て構造をなすように複数の処理ユニットSPIN1〜SPIN12が配置されており、各階部分に4つの処理ユニットが配置されている。すなわち、一階部分に4つの処理ユニットSPIN1,SPIN4,SPIN7,SPIN10が配置され、二階部分に別の4つの処理ユニットSPIN2,SPIN5,SPIN8,SPIN11が配置され、三階部分にさらに別の処理ユニットSPIN3,SPIN6,SPIN9,SPIN12が配置されている。
図2に示すように、基台部11は、たとえば、当該基板処理装置のフレームに固定されている。多関節アーム12は、水平面に沿って延びた複数本のアーム部を互いに回動可能に結合して構成されており、アーム部の結合箇所である関節部でアーム部間の角度を変更することによって、屈伸するように構成されている。多関節アーム12の基端部は基台部11に対して、鉛直軸線回りの回動が可能であるように結合されている。さらに、多関節アーム12は、基台部11に対して昇降可能に結合されている。換言すれば、基台部11には、多関節アーム12を昇降させるための昇降駆動機構、多関節アーム12を鉛直軸線回りに回動させるための回動駆動機構が内蔵されている。
図3に示すように、各処理ユニットSPIN1〜SPIN12は、内部空間を有する箱形の処理室17と、処理室17内で1枚の基板Wを水平姿勢で保持して基板Wの中央部を通る鉛直な回転軸線X1まわりに基板Wを回転させるスピンチャック15と、基板Wの回転軸線X1まわりにスピンチャック15を取り囲む筒状の処理カップ16とを含む。
なお、図3には示していないが、各処理ユニットSPIN1〜SPIN12には複数の薬液ノズル51が設けられており、これら複数の薬液ノズル51はそれぞれが異なる薬液タンク52に接続されている。また、基板W上の薬液を除去するためのリンス液吐出ノズルも設けられている。したがって、各処理ユニットSPIN1〜SPIN12のスピンチャック15に保持された基板Wに対して、異なる薬液を選択的に供給したり、リンス液を供給して基板Wから薬液を除去することが可能になっている。
ヒータ64のオン/オフおよび温度は、後述するコンピュータ20によって制御される。コンピュータ20は、室温よりも高い設定温度にヒータ64の温度が達すると、ヒータ64の発熱を停止させる。そして、ヒータ64の温度が設定温度を下回ると、コンピュータ20は、再びヒータ64を発熱させて、ヒータ64の温度を設定温度まで上昇させる。ガス供給源からガス配管62に供給された窒素ガスは、ヒータ64によって加熱された後、ガス吐出口61から上向きに吐出される。そして、ガス吐出口61から吐出された窒素ガスは、基板Wの下面とスピンベース15aの上面との間の空間をスピンベース15aの上面中央部からスピンベース15aの上面外周部に向かって放射状に流れる。これにより、基板Wの下面とスピンベース15aの上面との間の空間が高温の窒素ガスで満たされ、基板Wの全域が窒素ガスによって均一に加熱される。
基板処理装置は、処理ユニットSPIN1〜SPIN12、主搬送ロボットCRおよびインデクサロボットIRを制御するコンピュータ20を備えている。
コンピュータ20は、パーソナルコンピュータ(FAパソコン)の形態を有していてもよく、制御部21と、出入力部22と、記憶部23とを備えている。制御部21は、CPU等の演算ユニットを含む。出入力部22は、表示ユニット等の出力機器と、キーボード、ポインティングデバイス、タッチパネル等の入力機器とを含む。さらに、出入力部22は、ホストコンピュータ24との通信のための通信モジュールを含む。記憶部23は、固体メモリデバイス、ハードディスクドライブ等の記憶装置を含む。
スケジューリング機能部25は、基板Wを基板収容器Cから搬出し、処理ユニットSPIN1〜SPIN12で処理した後、基板収容器Cに収容するために、基板処理装置のリソース(制御部21によって制御される処理ユニットなどの有体物)を時系列に従って作動させるための計画(スケジュール)を作成する。処理実行指示部26は、スケジューリング機能部25によって作成されたスケジュールに従って、基板処理装置のリソースを作動させる。
記憶部23に記憶されたプログラム30は、制御部21をスケジューリング機能部25として作動させるためのスケジュール作成プログラム31と、制御部21を処理実行指示部26として作動させるための処理実行プログラム32とを含む。記憶部23は、プログラムが記録された、コンピュータが読取可能な記録媒体の一例である。
処理内容データ40は、各基板Wに付与されたプロセスジョブ(PJ)符号と、プロセスジョブ符号に対応付けられたレシピとを含む。
レシピは、基板処理内容を定義したデータであり、基板処理条件および基板処理手順を含む。より具体的には、並行処理ユニット情報、使用処理液情報、処理時間情報、後処理実行条件、前準備実行条件等を含む。
「処理時間情報」は、レシピに含まれる各工程の実行に要する時間に関する情報である。具体的には当該レシピの指定処理ユニットにおける基板の滞在時間、後述する予備処理工程(前準備工程および後処理工程)の実行に要する時間などが含まれる。予備処理工程とは所定の処理ユニットにおいて基板処理を実行する前に、当該基板処理が精密に実行できるよう、基板処理工程の準備を行う処理であり、本実施形態では、基板処理の前に実行される前準備工程と、直前の基板処理の後に実行される後処理工程とが対応する。
スケジューリング機能部25は、レシピに含まれる基板処理ブロックをスケジューリングする際、当該レシピに含まれる後処理実行条件を読み出し、前記処理ブロックの前に後処理工程を配置するか否かを決定し、後処理工程を配置する場合にはその具体的内容を決定する。具体的には、判断時点での基板処理装置の状態が後処理工程実行条件に合致する場合には、合致する内容の後処理工程のブロックを、対象の処理ブロックの前に配置する。
後処理工程の具体例は、処理ユニットSPIN1〜SPIN12の処理室17内の洗浄処理(チャンバ洗浄工程)である。処理室17内の洗浄を実行することによって、処理室17に次に搬入される基板に対して、前の基板に対して行われた基板処理の影響が及ぶことを回避できる。これにより、精密な基板処理を実現でき、基板処理品質を保つことができる。後処理工程は、洗浄処理(チャンバ洗浄工程)に限らず、基板を保持するチャックピンの洗浄(チャックピン洗浄工程)や、処理室17内のその他の部品(例えば処理カップ16)の洗浄処理(部品洗浄工程)であってもよいし、これらの洗浄処理の2つ以上を含んでいてもよい。チャンバ洗浄や部品洗浄は前記した洗浄液ノズル71から洗浄液を吐出することで実行することができる。
後処理工程の要否は例えば以下の(1)乃至(5)の観点から決定され、後処理実行条件に記述されている。
(1)基板処理の内容との関連性
例えば、処理チャンバ(処理室)を汚染するおそれが大きい基板処理を行う場合には、その次に基板処理を行うか否かに拘わらず、後処理工程が必要であるとする条件(ルール)が考えられる。
(2)前の基板処理との関連性
例えば、同一の処理チャンバで後処理工程が実行されないまま、所定時間が経過した場合や所定枚数の基板が処理された場合には、常に後処理工程が必要であると判断する条件(ルール)が考えられる。
(3)直前の基板処理との関連性
例えば、同一の処理チャンバで直前に行われた別の基板処理の影響を受ける可能性がある場合には、当該直前の基板処理実行後に後処理工程を実行する必要があると判断する条件(ルール)が考えられる。反対に、直前の基板処理と同じ処理液しか使用しない場合など、当該直前の基板処理が次の基板処理に影響を与えない場合には、直前の基板処理の後に後処理工程を行う必要がないと判断する条件(ルール)が考えられる。
(4)異常発生との関連性1
後処理工程の開始から次の基板処理工程の開始前までの期間に、基板Wの搬送エラー等の基板処理装置自体に関する異常や、基板処理装置内を排気する排気設備などの基板処理装置に関する装置などに異常が発生し、スケジュールを途中で停止させることがある。予め、後処理が予定されている場合には異常解消後に後処理工程が実行されるが、その際、中断された後処理工程の残りの工程のみを実行するような条件(ルール)を設定してもよい。あるいは、中断された後処理工程の全工程を実施するような条件(ルール)を設定してもよい。
後者の条件を設定した場合には基板処理工程を実行するための準備が十分に整えられた状態で基板処理工程が開始できる。これにより、基板の処理品質を安定させることができる。
(5)異常発生との関連性2
異常発生による装置停止時間の長さに応じて後処理工程の内容を変更してもよい。例えば、異常発生前に後処理工程が完了していれば、装置動作再開後における後処理工程の繰り返しは原則不要と判断するが、装置停止時間が所定時間以上続いた場合には、装置動作再開後に後処理工程を繰り返すと判断するという条件(ルール)である。このような条件を設定することにより、チャンバ洗浄の効果が一定時間しか有効でない場合であっても、常に清浄なチャンバ内で基板処理を実行することが可能になる。
前準備工程とは、所定の基板処理を実行する前に処理ユニットで実行すべき前準備作業である。
たとえば、先に図3を用いて説明したように、処理ユニットSPIN1〜12には、所定の薬液を規定された温度で基板Wに向けて吐出するための温度調節装置58が設けられている。薬液はレシピに規定された目的温度で基板Wに向けて吐出する必要があるが、温度調節装置58が薬液を目的温度まで加熱するには一定時間を要する。このため、実際に薬液ノズル51から薬液を基板Wに向けて供給する前から、循環バルブ57を開放し温度調節装置58を作動させた状態で送液装置54を作動させることで薬液を循環配管56の中で循環させることがある(前準備工程の例1)。
スケジューリング機能部25は、レシピに含まれる処理ブロックを以下のようにしてスケジューリングテーブル(スケジューリングのための記憶領域)に配置する。すなわち、当該レシピに含まれる前準備実行条件を読み出し、前記処理ブロックの前に前準備工程を配置するか否かと、前準備工程を配置する場合には前準備工程の具体的内容とを決定する。具体的には、判断時点での基板処理装置の状態が前準備実行条件に合致すると判断された場合には、合致する内容の前準備工程のブロックを対象の処理ブロックの前に配置する。
前準備の要否は、例えば以下の(1)乃至(3)の観点から決定され、前準備実行条件としてレシピ中に記述されている。
(1)基板処理との関連性
例えば、温度依存性の高い処理液を用いる基板処理を実行するための処理ブロックをスケジューリングテーブルに配置する場合には、前準備工程としてのプリディスペンス処理を行うための前準備ブロックを対象の処理ブロックの前に配置する必要があると判断する条件(ルール)が考えられる。反対に、温度依存性の低い処理液を用いる基板処理を実行するための処理ブロックを配置しようとする場合には、プリディスペンス処理は不要であり、前準備ブロックを対象の処理ブロックの前に配置する必要がないと判断する条件(ルール)が考えられる。前準備工程の内容と要否とはレシピに含まれる基板処理毎に規定されている。
(2)前の基板処理との関連性
例えば、前準備を必要とする基板処理を連続して実行する場合には、原則として2回目以降の基板処理の前には前準備工程を実行する必要がない。しかし、前の基板処理のために前準備工程が実行された場合であっても、次の基板処理工程を開始するまでに装置異常等により長時間が経過した場合には、次の基板処理を行う前に前準備工程が必要であると判断する条件(ルール)が考えられる。
(3)異常発生との関連性
前準備工程の開始から次の基板処理工程の開始前までの期間に、基板Wの搬送エラー等の基板処理装置自体に関する異常や、基板処理装置内を排気する排気設備などの基板処理装置に関する装置などに異常が発生し、スケジュールの実行を途中で停止させることがある。異常解消後には前準備工程が再開されるが、その際、中断された前準備工程の全てを実行するか、異常発生時に未完だった工程のみを実行するかを、異常発生時点での前準備工程の進捗状況に応じて判断するという条件(ルール)が考えられる。
なお、以下の例においては後処理工程としてチャンバ洗浄が、前準備工程としてプリディスペンスがそれぞれ指定されているものとする。
図5は、この発明の第1の実施形態を説明するためのフローチャートであり、スケジューリング機能部25によって実行される処理例が示されている。図5には、制御部21(コンピュータ20)がスケジュール作成プログラム31を実行することによって行われる処理が表されている。換言すれば、この実施形態において、スケジュール作成プログラム31には、図5に示す処理をコンピュータに実行させるようにステップ群が組み込まれている。
スケジューリング指示が発生すると(ステップS3)、当該プロセスジョブの基板Wに関するブロックの配置が行われる(ステップS4〜S18)。
ここでの後処理実行条件は、配置したブロックが処理ユニットでの処理を表す処理ブロックであることと、同一リソース(処理ユニット)に対して直前に配置されているブロックが、共通のプロセスジョブ符号が付与された基板群のうち当該処理ユニットで最後に処理される基板に対応する処理ブロックであることとを含む。
前準備実行条件が満たされないときは(ステップS11:NO)、スケジューリング機能部25は、仮タイムテーブルを構成する全てのブロックの配置を完了したかどうかを判断し(ステップS15)、未配置のブロックがあれば、ステップS4からの処理を繰り返す。
図13は、図5に示すフローに従って作成された1枚の基板A1(プロセスジョブ符号「A」が付与された基板)を処理するためのスケジュールの一例を示すタイムチャートである。このスケジュール変更例において、プロセスジョブAに対応するレシピでは、処理ユニットSPIN1だけが使用可能な処理ユニットとして指定されていると共に、処理ユニットSPIN1において前準備工程を実施するように指示されているものとする。
図19は、図5に示すフローに従って作成された1枚の基板A1を処理するためのスケジュールの一例を示すタイムチャートである。このスケジュール変更例において、プロセスジョブAに対応するレシピでは、基板A1が2つの処理ユニットで順次処理されるように指示されている。具体的には、処理ユニットSPIN1だけが、基板A1に第1基板処理工程を実行する第1処理ユニットとして指定されており、処理ユニットSPIN7だけが、基板A1に第2基板処理工程を実行する第2処理ユニットとして指定されている。そして、処理ユニットSPIN1で処理された基板A1は、主搬送ロボットCRによって処理ユニットSPIN1から処理ユニットSPIN7に搬送されるように計画されている(ブロックA16〜A16参照)。さらに、処理ユニットSPIN1、SPIN7での基板処理工程が開始される前に、各処理ユニットSPIN1、SPIN7で前準備工程が実行されるように計画されている。
図22に示すように、処理ユニットSPIN1で異常が発生した場合(ステップS24:YES)、スケジューリング機能部25は、基板A1のスケジュールを表すブロックに関して、異常の発生時よりも後に計画されている開始前の全てのブロックを消去する。さらに、スケジューリング機能部25は、処理ユニットSPIN1のスペースに配置された基板A1のための処理ブロックに関して、異常の発生時よりも後に計画されている部分を消去し、消去した内容(工程)を記憶する、もしくは記憶部23に記憶させる。さらに、スケジューリング機能部25は、処理ユニットSPIN7のスペースに配置された前準備ブロック全体を残す。その一方で、異常の発生場所が、基板A2のスケジュールの実行のために使用されない処理ユニットSPIN1であるので、図22に示すように、スケジューリング機能部25は、基板A2のスケジュールを変更せずそのままにする。これにより、基板A1のスケジュールが変更され、基板処理装置全体として新たなスケジュールが作成される(ステップS4〜S14)。
図26は、図5に示すフローに従って作成された三枚の基板A1、A2、A3(同じプロセスジョブ符号「A」が付与された三枚の)を処理するためのスケジュールの一例を示すタイムチャートである。このスケジュール変更例において、プロセスジョブAに対応するレシピでは、処理ユニットSPIN1,SPIN2が並行処理ユニットとして指定されており、処理ユニットSPIN1,SPIN2において前準備工程を実施するように指示されているものとする。
そのため、処理実行指示部26は、図26に示すスケジュールに従って基板処理装置のリソースの作動を開始する(ステップS23)。そして、制御部21は、スケジュールが開始されてから終了するまで、基板処理装置に異常が発生したかどうかを判断する(ステップS24)。スケジュールの実行中に異常が発生しなければ(ステップS24:NO)、スケジュールが最後まで実行される(ステップS25:YES)。その一方で、スケジュールの実行中に異常が発生すると(ステップS24:YES)、スケジューリング機能部25は、実行中のスケジュールを変更する(ステップS26)。
たとえば、前述の実施形態で示した基板処理装置の構成や基板処理内容は一例に過ぎず、基板処理装置は他の構成を採ることができ、かつ別の基板処理内容に対してもこの発明を適用できる。
また、前述の実施形態では、前準備工程が実行されているときに異常が発生した例について説明したが、前述のスケジュール変更例は、前準備工程が終了してから基板処理工程の開始前までの期間に異常が発生した場合にも適用できる。
また、プログラム30は、コンピュータ20に組み込まれた状態で提供されてもよいし、コンピュータ20とは別の記録媒体(CD−ROM、DVD−ROM等のコンピュータ読取可能な記録媒体)に記録された状態で提供されてもよい。
2 処理セクション
6 基台部
7 多関節アーム
8A,8B ハンド
11 基台部
12 多関節アーム
13A,13B ハンド
15 スピンチャック
17 処理室
20 コンピュータ
21 制御部
22 出入力部
23 記憶部
24 ホストコンピュータ
25 スケジューリング機能部
26 処理実行指示部
30 プログラム
31 スケジュール作成プログラム
32 処理実行プログラム
40 処理内容データ
50 スケジュールデータ
51 薬液ノズル
52 薬液タンク
53 薬液配管
54 送液装置
55 薬液バルブ
56 循環配管
57 循環バルブ
58 温度調節装置
61 ガス吐出口
62 ガス配管
63 ガスバルブ
64 ヒータ
71 洗浄液ノズル
72 洗浄液タンク
73 洗浄液配管
74 送液装置
C 基板収容器
CR 主搬送ロボット
G1〜G4 処理ユニット群
IR インデクサロボット
PASS 受け渡しユニット
SPIN1〜SPIN12 処理ユニット
ST1〜ST4 ステージ
W 基板
Claims (8)
- 基板を1枚ずつ処理する枚葉式の処理ユニットを少なくとも一つ備える基板処理装置によって実行される基板処理方法であって、
前記処理ユニットが基板を処理する基板処理工程の準備を前記処理ユニットが行う予備処理工程の開始から前記基板処理工程の開始前までの期間に前記基板処理装置に異常が発生したときに、少なくとも一つの前記処理ユニットのうち前記基板処理工程を行うように指定されている一つの前記処理ユニットを表す指定処理ユニットでの前記基板処理工程を中止する中止ステップと、
前記異常が解消したときに、前記処理ユニットが前記基板処理工程の準備を行う解消後予備処理工程と、前記基板処理工程とを、前記解消後予備処理工程、前記基板処理工程の順番で、前記指定処理ユニットで行う再開ステップとを含み、
前記処理ユニットは、基板に供給されるべき処理液を吐出する処理液ノズルと、前記処理液ノズルに処理液を導く処理液配管と、前記処理液配管内を流れる処理液の温度を調節する温度調節装置とを含み、
前記予備処理工程および解消後予備処理工程は、前記処理液ノズルから処理液を吐出させることにより、前記処理液ノズルおよび処理液配管の少なくとも一方に残留している処理液を排出させるプリディスペンス工程を含み、
前記解消後予備処理工程としての前記プリディスペンス工程の内容は、前記基板処理装置に異常が発生してから当該異常が解消するまでの経過時間に応じて変更される、基板処理方法。 - 前記予備処理工程の実行中に前記基板処理装置に異常が発生した場合、前記解消後予備処理工程としての前記プリディスペンス工程の内容は、前記基板処理装置に異常が発生してから当該異常が解消するまでの経過時間に応じて、前記指定処理ユニットにおいて前記異常の発生時よりも後に計画されている前記プリディスペンス工程の残りの工程のみ、または、前記プリディスペンス工程に含まれる全ての工程が実行されるように変更される、請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記異常が発生したときに前記予備処理工程としての前記プリディスペンス工程が90%以上100%未満完了していた場合、前記異常が解消した後に、前記プリディスペンス工程の残りのみを前記解消後予備処理工程として実行し、
前記異常が発生したときに前記予備処理工程としての前記プリディスペンス工程が0%を超え90%未満しか完了していない場合、前記異常が解消した後に、前記プリディスペンス工程に含まれる全ての工程を前記解消後予備処理工程として実行する、請求項1または2に記載の基板処理方法。 - 基板を1枚ずつ処理する枚葉式の処理ユニットを少なくとも一つ備える基板処理装置によって実行される基板処理方法であって、
前記処理ユニットが基板を処理する基板処理工程の準備を前記処理ユニットが行う予備処理工程の開始から前記基板処理工程の開始前までの期間に前記基板処理装置に異常が発生したときに、少なくとも一つの前記処理ユニットのうち前記基板処理工程を行うように指定されている一つの前記処理ユニットを表す指定処理ユニットでの前記基板処理工程を中止する中止ステップと、
前記異常が解消したときに、前記処理ユニットが前記基板処理工程の準備を行う解消後予備処理工程と、前記基板処理工程とを、前記解消後予備処理工程、前記基板処理工程の順番で、前記指定処理ユニットで行う再開ステップとを含み、
前記処理ユニットは、前記処理ユニットの内部で洗浄液を吐出する洗浄液ノズルと、前記洗浄液ノズルに洗浄液を導く洗浄液配管とを含み、
前記予備処理工程および解消後予備処理工程は、前記洗浄液ノズルから洗浄液を吐出させることにより前記処理ユニットの内部および処理ユニット内部に配設された部品の少なくとも一方を洗浄する洗浄工程を含み、
前記解消後予備処理工程としての前記洗浄工程の内容は、前記基板処理装置に異常が発生してから当該異常が解消するまでの経過時間に応じて変更される、基板処理方法。 - 基板を1枚ずつ処理する少なくとも一つの枚葉式の処理ユニットと、制御部とを備える基板処理装置であって、
前記処理ユニットは、基板に供給されるべき処理液を吐出する処理液ノズルと、前記処理液ノズルに処理液を導く処理液配管と、前記処理液配管内を流れる処理液の温度を調節する温度調節装置とを含み、
前記制御部は、
前記処理ユニットが基板を処理する基板処理工程の準備を前記処理ユニットが行う予備処理工程の開始から前記基板処理工程の開始前までの期間に前記基板処理装置に異常が発生したときに、少なくとも一つの前記処理ユニットのうち前記基板処理工程を行うように指定されている一つの前記処理ユニットを表す指定処理ユニットでの前記基板処理工程を中止する中止ステップと、
前記異常が解消したときに、前記処理ユニットが前記基板処理工程の準備を行う解消後予備処理工程と、前記基板処理工程とを、前記解消後予備処理工程、前記基板処理工程の順番で、前記指定処理ユニットで行う再開ステップと、を実行し、
前記予備処理工程および解消後予備処理工程は、前記処理液ノズルから処理液を吐出させることにより、前記処理液ノズルおよび処理液配管の少なくとも一方に残留している処理液を排出させるプリディスペンス工程を含み、
前記制御部は、前記解消後予備処理工程としての前記プリディスペンス工程の内容を、前記基板処理装置に異常が発生してから当該異常が解消するまでの経過時間に応じて変更する、基板処理装置。 - 前記制御部は、前記予備処理工程の実行中に前記基板処理装置に異常が発生した場合、前記解消後予備処理工程としての前記プリディスペンス工程の内容を、前記基板処理装置に異常が発生してから当該異常が解消するまでの経過時間に応じて、前記指定処理ユニットにおいて前記異常の発生時よりも後に計画されている前記プリディスペンス工程の残りの工程のみ、または、前記プリディスペンス工程に含まれる全ての工程が実行されるように変更する、請求項5に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、
前記異常が発生したときに前記予備処理工程としての前記プリディスペンス工程が90%以上100%未満完了していた場合、前記異常が解消した後に、前記プリディスペンス工程の残りのみを前記解消後予備処理工程として実行し、
前記異常が発生したときに前記予備処理工程としての前記プリディスペンス工程が0%を超え90%未満しか完了していない場合、前記異常が解消した後に、前記プリディスペンス工程に含まれる全ての工程を前記解消後予備処理工程として実行する、請求項5または6に記載の基板処理装置。 - 基板を1枚ずつ処理する少なくとも一つの枚葉式の処理ユニットと、制御部とを備える基板処理装置であって、
前記処理ユニットは、前記処理ユニットの内部で洗浄液を吐出する洗浄液ノズルと、前記洗浄液ノズルに洗浄液を導く洗浄液配管とを含み、
前記制御部は、
前記処理ユニットが基板を処理する基板処理工程の準備を前記処理ユニットが行う予備処理工程の開始から前記基板処理工程の開始前までの期間に前記基板処理装置に異常が発生したときに、少なくとも一つの前記処理ユニットのうち前記基板処理工程を行うように指定されている一つの前記処理ユニットを表す指定処理ユニットでの前記基板処理工程を中止する中止ステップと、
前記異常が解消したときに、前記処理ユニットが前記基板処理工程の準備を行う解消後予備処理工程と、前記基板処理工程とを、前記解消後予備処理工程、前記基板処理工程の順番で、前記指定処理ユニットで行う再開ステップと、を実行し、
前記予備処理工程および解消後予備処理工程は、前記洗浄液ノズルから洗浄液を吐出させることにより前記処理ユニットの内部および処理ユニット内部に配設された部品の少なくとも一方を洗浄する洗浄工程を含み、
前記制御部は、前記解消後予備処理工程としての前記洗浄工程の内容を、前記基板処理装置に異常が発生してから当該異常が解消するまでの経過時間に応じて変更する、基板処理装置。
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