JP7395078B1 - スケジュール管理装置及びスケジュール管理システム - Google Patents

Abstract

スケジュール管理装置（３００）において、実績データ取得部（３１０）は、各々の処理装置から、処理の進捗を表す実績データ（ＤＣ）を取得する。進捗管理部（３４０）は、実績データ取得部（３１０）によって処理装置から取得された実績データ（ＤＣ）と、その処理装置に対して設定されているスケジュールデータ（ＤＡ１）とを用いて、少なくともいずれかの処理装置に対して設定されているスケジュールデータ（ＤＡ１）を作成し直すべきか否かを判定する。スケジュール再作成部（３５０）は、スケジュールデータ（ＤＡ１）を作成し直すべきと判断された場合に、スケジュールデータ（ＤＡ１）を、対象物の処理の完了の時刻が、そのスケジュールデータ（ＤＡ１）が定める時刻よりも早められた改変スケジュールデータ（ＤＡ２）へと作成し直す。

Description

本開示は、スケジュール管理装置及びスケジュール管理システムに関する。

特許文献１に開示されているように、対象物に処理としての洗浄を施す洗浄装置と、その洗浄装置で行われる洗浄のスケジュールを表すスケジュールデータを作成する作成装置とを備えるスケジュール管理システムが知られている。洗浄装置は、スケジュールデータが表す洗浄のスケジュールを目標として対象物の洗浄を進行させる。

特開２０１０－２３８９１９号公報

本開示の目的は、一旦作成されたスケジュールデータを、処理の進捗に応じて作成し直すことができるスケジュール管理装置及びスケジュール管理システムを提供することである。

本開示に係るスケジュール管理装置において、実績データ取得部は、各々対象物に処理を施す複数の処理装置によって構成されている処理装置群であって、各々の処理装置は、その処理装置に対して設定されているスケジュールデータが表すスケジュールを目標として処理を進行させる処理装置群、を構成している各々の処理装置から、その処理装置における処理の進捗を表す実績データを取得する。
進捗管理部は、実績データ取得部によって処理装置から取得された実績データと、その処理装置に対して設定されているスケジュールデータとを用いて、処理装置群における少なくともいずれかの処理装置に対して設定されているスケジュールデータを作成し直すべきか否かを判定する。
スケジュール再作成部は、進捗管理部によって、処理装置群における少なくともいずれかの処理装置に対して設定されているスケジュールデータを作成し直すべきと判断された場合に、その処理装置に対して設定されているスケジュールデータを、対象物の処理の完了の時刻が、そのスケジュールデータが定める時刻よりも早められた改変スケジュールデータへと作成し直す。
スケジュール再作成部によってスケジュールデータが改変スケジュールデータへと作成し直された処理装置は、その改変スケジュールデータが表すスケジュールを目標として処理を進行させる。
進捗管理部は、ずれ時間特定部と、判定部とを有する。
ずれ時間特定部は、実績データ取得部によって処理装置から取得された実績データと、その処理装置に対して設定されているスケジュールデータとを用いて、各々の処理装置における、目標としてのスケジュールに対する処理の進捗のずれ時間を特定する。ずれ時間とは、スケジュールに対して処理が遅れている場合は、その処理の遅れの度合いを表す遅れ時間を指し、スケジュールに対して処理が進んでいる場合には、その処理の進みの度合いを表す進み時間を指す。
判定部は、遅れ時間を正とし、進み時間を負とする条件で、各々の処理装置におけるずれ時間を処理装置群について合計した場合の合計値が予め定められた許容遅れ時間を超えるか否かの判定を行い、合計値が許容遅れ時間を超えるときに、処理装置群における少なくともいずれかの処理装置に対するスケジュールデータを作成し直すべきと判断する。

上記構成によれば、一旦作成されたスケジュールデータを、処理の進捗に応じて作成し直すことができる。

実施の形態１に係るスケジュール管理システムの構成を示す概念図 実施の形態１に係る洗浄装置の構成を示す概念図 実施の形態１に係るスケジュール管理装置の機能を示す概念図 実施の形態１に係るスケジュール管理装置の構成を示す概念図 実施の形態１に係るスケジュール管理処理のフローチャート 実施の形態１に係るスケジュール再作成部の機能を示す概念図 実施の形態１に係るスケジュール再作成処理のフローチャート 実施の形態１に係るスケジュールデータ及び改変スケジュールデータの内容を例示する概念図 実施の形態２に係る複数の洗浄装置群の配置を示す概念図 実施の形態２に係るスケジュール管理処理のフローチャート

以下、図面を参照し、対象物に施す処理が洗浄である場合を具体例に挙げて、実施の形態に係るスケジュール管理装置及びスケジュール管理システムについて説明する。図中、同一又は対応する部分に同一の符号を付す。

［実施の形態１］
図１に示すように、本実施の形態に係るスケジュール管理システム６００は、複数の洗浄装置１００によって構成される洗浄装置群２００を備える。各々の洗浄装置１００は、装置レシピＥＲに従って、対象物の洗浄を行う。各々の洗浄装置１００は、本開示に係る処理装置の一例である。また、洗浄装置群２００は、本開示に係る処理装置群の一例である。また、本実施の形態では、対象物はウェハ（wafer）である。ウェハは半導体装置の製造に供される。

また、スケジュール管理システム６００は、各々の洗浄装置１００に対して未洗浄のウェハを供給する搬送装置４００と、各々の洗浄装置１００におけるウェハの洗浄の進捗を管理するスケジュール管理装置３００と、ウェハの洗浄を含む半導体装置の生産工程の全体を管理する生産管理装置５００とを備える。

生産管理装置５００は、スケジュールデータＤＡ１を作成する。スケジュールデータＤＡ１は、洗浄装置１００におけるウェハの洗浄のスケジュール（以下、単にスケジュールという。）を表す。各々の洗浄装置１００で行われる洗浄は、複数の部分処理を含む。洗浄装置１００におけるスケジュールとは、その洗浄装置１００における各々の部分処理を完了させるべき目標としての時刻を特定可能な時刻表としての意義を有する。

生産管理装置５００は、洗浄装置群２００の洗浄装置１００の負荷が平準化となるように最適な洗浄装置１００を選択してスケジュールデータＤＡ１を作成する。生産管理装置５００は、作成したスケジュールデータＤＡ１をスケジュール管理装置３００及び搬送装置４００に提供する。

スケジュール管理装置３００は、各々の洗浄装置１００に対して、スケジュールデータＤＡ１が表すスケジュールに従って洗浄を進捗させる制御を行う。

また、スケジュール管理装置３００は、各々の洗浄装置１００におけるウェハの洗浄を監視する。そして、スケジュール管理装置３００は、洗浄装置１００又は洗浄装置群２００を装置レシピＥＲで制御させるためジョブレシピＪＲ１をスケジュールデータＤＡ１から作成する。スケジュール管理装置３００は、洗浄の進捗の遅れが許容範囲を超えている場合には、洗浄装置群２００の全体としての遅れを減らすために、洗浄装置群２００における少なくともいずれかの洗浄装置１００に対して設定されているスケジュールデータＤＡ１を作成すべきと判断し、そのスケジュールデータＤＡ１の再作成を行う。さらに、スケジュール管理装置３００は、再作成されたそのスケジュールデータＤＡ１からジョブレシピＪＲ１の再作成も行う。

搬送装置４００は、スケジュールデータＤＡ１に基づいて、洗浄装置１００の待機期間及び搬送装置４００の待機期間をゼロに近づける条件で、各々の洗浄装置１００へ未洗浄のウェハを搬送する。なお、搬送装置４００は、自律的な搬送が可能な無人搬送車（ＡＧＶ：Automated Guided Vehicle）である。無人搬送車は、天井走行式無人搬送車(ＯＨＴ：Overhead hoist Transport)であってもよい。

ここで、“洗浄装置１００の待機期間”とは、洗浄装置１００への未洗浄のウェハの供給が途切れた結果、洗浄装置１００が搬送装置４００の到着を待たなければならない期間を意味する。また、“搬送装置４００の待機期間”とは、洗浄装置１００への未洗浄のウェハの供給が過剰となった結果、搬送装置４００が、洗浄装置１００による未洗浄のウェハの受け取りを待たなければならない期間を意味する。

以下、洗浄装置群２００における各々の洗浄装置１００の構成を説明する。

図２に示すように、各々の洗浄装置１００は、ウェハの洗浄を行うための複数の処理槽を含む処理槽群１１０と、処理槽群１１０を構成する各々の処理槽へのウェハの搬送を行う搬送・監視機器群１２０と、搬送・監視機器群１２０及び処理槽群１１０を制御する制御装置１３０とを有する。

各々の洗浄装置１００で行われる洗浄は、複数、具体的には本実施の形態では、最大で５つの部分処理を含み得る。処理槽群１１０は、それら複数の部分処理を担う複数の処理槽として、Ａ槽１１１、Ｂ槽１１２、Ｃ槽１１３、Ｄ槽１１４、及びＥ槽１１５を含む。

Ａ槽１１１は、第１薬液を貯留する貯留槽である。Ｂ槽１１２は、第１リンス（rinse）液を貯留する貯留槽である。Ｃ槽１１３は、第２薬液を貯留する貯留槽である。Ｄ槽１１４は、第２リンス液を貯留する貯留槽である。Ｅ槽１１５は、ウェハの乾燥を行うための空間を画定する乾燥槽である。

洗浄装置１００は、複数のウェハで構成される、対象物群としてのウェハ群毎に、上述した複数の部分処理を行う。即ち、Ａ槽１１１が担う部分処理は、ウェハ群を第１薬液に浸漬させる処理である。Ｂ槽１１２が担う部分処理は、ウェハ群を第１リンス液に浸漬させる処理である。Ｃ槽１１３が担う部分処理は、ウェハ群を第２薬液に浸漬させる処理である。Ｄ槽１１４が担う部分処理は、ウェハ群を第２リンス液に浸漬させる処理である。Ｅ槽１１５が担う部分処理は、ウェハ群を乾燥させる処理である。

搬送・監視機器群１２０は、処理槽群１１０と協働して、上述した複数の部分処理を担う。搬送・監視機器群１２０は、複数の搬送・監視機器１２１－１２５を含む。

Ａ槽１１１に対して設けられた搬送・監視機器１２１は、Ａ槽１１１へのウェハ群の搬入及びＡ槽１１１からのウェハ群の搬出を行う。また、搬送・監視機器１２１は、Ａ槽１１１が担う部分処理の完了毎に、その完了を表す状態データＤＢをリアルタイムに出力する状態データ出力部としての役割を果たす。

Ｂ槽１１２に対して設けられた搬送・監視機器１２２は、Ｂ槽１１２へのウェハ群の搬入及びＢ槽１１２からのウェハ群の搬出を行う。また、搬送・監視機器１２２は、Ｂ槽１１２が担う部分処理の完了毎に、その完了を表す状態データＤＢをリアルタイムに出力する状態データ出力部としての役割を果たす。

Ｃ槽１１３に対して設けられた搬送・監視機器１２３は、Ｃ槽１１３へのウェハ群の搬入及びＣ槽１１３からのウェハ群の搬出を行う。また、搬送・監視機器１２３は、Ｃ槽１１３が担う部分処理の完了毎に、その完了を表す状態データＤＢをリアルタイムに出力する状態データ出力部としての役割を果たす。

Ｄ槽１１４に対して設けられた搬送・監視機器１２４は、Ｄ槽１１４へのウェハ群の搬入及びＤ槽１１４からのウェハ群の搬出を行う。また、搬送・監視機器１２４は、Ｄ槽１１４が担う部分処理の完了毎に、その完了を表す状態データＤＢをリアルタイムに出力する状態データ出力部としての役割を果たす。

Ｅ槽１１５に対して設けられた搬送・監視機器１２５は、Ｅ槽１１５へのウェハ群の搬入及びＥ槽１１５からのウェハ群の搬出を行う。また、搬送・監視機器１２５は、Ｅ槽１１５が担う部分処理の完了毎に、その完了を表す状態データＤＢをリアルタイムに出力する状態データ出力部としての役割を果たす。

制御装置１３０は、搬送・監視機器群１２０及び処理槽群１１０を制御する下位制御部１３１を有する。下位制御部１３１は、図１に示したスケジュール管理装置３００からの制御を受け、洗浄装置１００に対して設定されているスケジュールデータＤＡ１が表すスケジュールを目標として、搬送・監視機器群１２０及び処理槽群１１０に、ウェハ群の洗浄を進行させる。

ウェハ群の洗浄は、Ａ槽１１１が担う部分処理→Ｂ槽１１２が担う部分処理→Ｃ槽１１３が担う部分処理→Ｄ槽１１４が担う部分処理→Ｅ槽１１５が担う部分処理の順番に進行する。なお、ウェハ群の種類又はロットによっては、これらの部分処理のいずれかが省略される場合もあり得る。スケジュールには、各々の部分処理を完了させるべき目標としての時刻が規定されている。

具体的には、下位制御部１３１は、搬送・監視機器１２１－１２５から状態データＤＢをリアルタイムに取得し、取得した状態データＤＢによって、洗浄装置１００における洗浄の進捗を把握する。

そして、下位制御部１３１は、そのようにして把握する進捗が、スケジュールが表す目標としての進捗に追随する条件で、搬送・監視機器群１２０及び処理槽群１１０を制御する。つまり、下位制御部１３１は、状態データＤＢを用いて、洗浄装置１００における洗浄を、その洗浄装置１００に対して設定されているスケジュールに沿って進行させる制御を行う。

以下、洗浄装置１００における目標としてのスケジュールを表すスケジュールデータＤＡ１について説明する。

図８の上段に、スケジュールデータＤＡ１の内容を例示する。スケジュールデータＤＡ１は、洗浄の対象とするウェハ群の種類及びロットを規定している。

具体的には、このスケジュールデータＤＡ１で、“ａ１”とは、“ａ”という種類のウェハの１番目のロット（lot）のウェハ群を意味する。“ａ２”とは、同じく“ａ”という種類のウェハの２番目のロットのウェハ群を意味する。“ａ３”とは、同じく“ａ”という種類のウェハの３番目のロットのウェハ群を意味する。

また、“ｂ１”とは、“ｂ”という種類のウェハの１番目のロットのウェハ群を意味する。“ｂ２”とは、同じく“ｂ”という種類のウェハの２番目のロットのウェハ群を意味する。“ｃ１”とは、“ｃ”という種類のウェハの１番目のロットのウェハ群を意味する。“ｃ２”とは、同じく“ｃ”という種類のウェハの２番目のロットのウェハ群を意味する。

また、図８の上段で、１つのマス（ce11）の横幅は時間長を表す。また、理解を容易にするために、最上段の１行を構成する各マスには、時間の流れに沿って番号を付している。スケジュールデータＤＡ１は、種類及びロットが特定されたウェハ群毎に、そのウェハ群に施す既述の部分処理の順番を規定している。

具体的には、このスケジュールデータＤＡ１は、ウェハ群ａ１－ａ３の各々に対しては、Ａ槽１１１が担う部分処理→Ｂ槽１１２が担う部分処理→Ｃ槽１１３が担う部分処理→Ｄ槽１１４が担う部分処理→Ｅ槽１１５が担う部分処理の順番に洗浄を進行させるべき旨を規定している。

以下では、１マスの横幅が表す時間長を１０分であると仮定する。一例として、ウェハ群ａ１に対する規定の内容を説明する。このスケジュールデータＤＡ１は、ウェハ群ａ１の搬入に１０分を要した後、ウェハ群ａ１の、Ａ槽１１１での部分処理、Ｂ槽１１２での部分処理、Ｃ槽１１３での部分処理、Ｄ槽１１４での部分処理、及びＥ槽１１５での部分処理を、それぞれ１０分間ずつ行うことを規定している。また、Ｅ槽１１５での部分処理の後、ウェハ群ａ１の搬出に１０分を要する。

また、ウェハ群ａ１のＡ槽１１１での部分処理の後、次のウェハ群ａ２のＡ槽１１１での洗浄に備えて、Ａ槽１１１そのものの洗浄を３０分間にわたって行うことが規定されている。Ａ槽１１１の洗浄は、Ｂ槽１１２での部分処理、Ｃ槽１１３での部分処理、及びＤ槽１１４での部分処理と並行して行われる。以下では、処理槽そのものの洗浄を“槽内洗浄”と呼ぶことにする。

他の例としてウェハ群ｂ１に対する規定の内容を説明する。このスケジュールデータＤＡ１は、ウェハ群ｂ１の搬入に１０分を要した後、ウェハ群ｂ１の、Ａ槽１１１での部分処理、Ｂ槽１１２での部分処理、及びＥ槽１１５での部分処理を、それぞれ１０分間ずつ行うことを規定している。また、Ｅ槽１１５での部分処理の後、ウェハ群ｂ１の搬出に１０分を要する。

また、Ａ槽１１１での部分処理に続けてＡ槽１１１の槽内洗浄が３０分間行われ、Ｂ槽１１２での部分処理に続けてＢ槽１１２の槽内洗浄が３０分間行われ、Ｅ槽１１５での部分処理に続けてＥ槽１１５の槽内洗浄が３０分間行われる。

但し、ウェハ群ｂ１には、Ｃ槽１１３での部分処理及びＤ槽１１４での部分処理は施されない。このため、ウェハ群ｂ１の洗浄においては、Ｃ槽１１３及びＤ槽１１４の槽内洗浄が不要である。ウェハ群ｂ２についても同様である。

さらに他の例としてウェハ群ｃ１に対する規定の内容を説明する。このスケジュールデータＤＡ１は、ウェハ群ｃ１の搬入に１０分を要した後、ウェハ群ｃ１の、Ｃ槽１１３での部分処理、Ｄ槽１１４での部分処理、及びＥ槽１１５での部分処理を、それぞれ１０分間ずつ行うことを規定している。また、Ｅ槽１１５での部分処理の後、ウェハ群ｃ１の搬出に１０分を要する。

また、Ｃ槽１１３での部分処理に続けてＣ槽１１３の槽内洗浄が３０分間行われ、Ｄ槽１１４での部分処理に続けてＤ槽１１４の槽内洗浄が３０分間行われ、Ｅ槽１１５での部分処理に続けてＥ槽１１５の槽内洗浄が３０分間行われる。

但し、ウェハ群ｃ１には、Ａ槽１１１での部分処理及びＢ槽１１２での部分処理は施されない。このため、ウェハ群ｃ１の洗浄においては、Ａ槽１１１及びＢ槽１１２の槽内洗浄が不要である。ウェハ群ｃ２についても同様である。

以上のように、スケジュールデータＤＡ１は、種類及びロットが特定されたウェハ群毎に、そのウェハ群にどの部分処理を施すかということと、そのウェハ群に施す部分処理の順番と、それら部分処理の各々の完了のタイミングとを規定している。

なお、図８の上段では、理解を容易にするために、番号“１”のマスが表す時間幅の開始時点を基準とする相対時刻として、各々の部分処理の完了のタイミングが特定される態様を例示した。実際のスケジュールデータＤＡ１によれば、上記開始時点の時刻も特定可能であり、各々の部分処理の完了の絶対時刻も特定可能である。

以上説明したスケジュールデータＤＡ１は、図１に示すスケジュール管理装置３００によって、必要に応じて作成し直される。図１に示すスケジュール管理装置３００は、スケジュールデータＤＡ１を作成し直すか否を、図２に示す洗浄装置１００における洗浄の実際の進捗度合いよって判断する。そして、スケジュール管理装置３００は、スケジュールデータＤＡ１を作成すると判断した場合は、同様にジョブレシピＪＲ１も作成し直す。

そこで、図２に示す洗浄装置１００は、図１に示すスケジュール管理装置３００に対して洗浄の進捗を報告するための構成及び作用も有する。

図２に戻り、以下、洗浄装置１００の、洗浄の進捗を報告するための構成及び作用について説明する。

制御装置１３０は、下位制御部１３１と同様、状態データ出力部としての搬送・監視機器１２１－１２５の各々から状態データＤＢをリアルタイムに取得する時刻データ付記部１３２を有する。

時刻データ付記部１３２は、状態データＤＢを取得すると、その取得した時刻を表すタイムスタンプを時刻データとして付記し、時刻データが付記された状態データＤＢを、実績データＤＣとして、図１に示すスケジュール管理装置３００に出力する。

既述のとおり、搬送・監視機器１２１－１２５の各々は、自己が担当する部分処理の完了の度に、その完了を表す状態データＤＢをリアルタイムに出力する。そして、時刻データ付記部１３２は、状態データＤＢをリアルタイムに取得する。このため、状態データＤＢに付記される時刻データとしてのタイムスタンプによれば、その状態データＤＢが表す部分処理の完了の時刻を特定できる。

具体的には、搬送・監視機器１２１が出力した状態データＤＢに付記される時刻データによれば、Ａ槽１１１が担う部分処理が完了した時刻を特定できる。搬送・監視機器１２２が出力した状態データＤＢに付記される時刻データによれば、Ｂ槽１１２が担う部分処理が完了した時刻を特定できる。搬送・監視機器１２３が出力した状態データＤＢに付記される時刻データによれば、Ｃ槽１１３が担う部分処理が完了した時刻を特定できる。搬送・監視機器１２４が出力した状態データＤＢに付記される時刻データによれば、Ｄ槽１１４が担う部分処理が完了した時刻を特定できる。搬送・監視機器１２５が出力した状態データＤＢに付記される時刻データによれば、Ｅ槽１１５が担う部分処理が完了した時刻を特定できる。

以上のとおり、状態データＤＢに付記される時刻データによれば、その状態データＤＢが表す部分処理の完了の時刻を特定できるため、時刻データが付記された状態データＤＢである実績データＤＣは、洗浄装置１００の、洗浄の進捗を表す。

次に、スケジュール管理装置３００について説明する。スケジュール管理装置３００は、各々の洗浄装置１００からの実績データＤＣの取得を通じて、その洗浄装置１００から洗浄の進捗の報告を受ける。

図３に示すように、スケジュール管理装置３００は、実績データＤＣを取得する実績データ取得部３１０を有する。実績データＤＣは、洗浄装置群２００における各々の洗浄装置１００から取得される。洗浄装置１００から取得された実績データＤＣは、その洗浄装置１００における実際の洗浄の進捗を表す。

また、スケジュール管理装置３００は、生産管理装置５００からスケジュールデータＤＡ１を取得するスケジュール取得部３２０を有する。スケジュールデータＤＡ１は、各々の洗浄装置１００における洗浄の進捗の目標を表す。

また、スケジュール管理装置３００は、スケジュール取得部３２０によって取得されたスケジュールデータＤＡ１を用いて洗浄装置１００を制御する上位制御部３３０を有する。

上位制御部３３０は、スケジュール取得部３２０から提供されたスケジュールデータＤＡ１から洗浄装置１００の装置レシピＥＲで制御するためのジョブレシピＪＲ１を作成する。このジョブレシピＪＲ１は、スケジュールデータＤＡ１で指定された洗浄装置１００と、その洗浄装置１００に格納されている装置レシピＥＲとを紐づけたデータである。

また、上位制御部３３０は、各々の洗浄装置１００に、作成されたジョブレシピＪＲ１に従った洗浄を行わせる。各々の洗浄装置１００の下位制御部１３１は、上位制御部３３０からの制御を受け、その洗浄装置１００に対して設定されているジョブレシピＪＲ１の装置レシピＥＲに従って、ウェハの洗浄を進行させる。

また、スケジュール管理装置３００は、スケジュールデータＤＡ１を作成し直すべきか否かを判断する進捗管理部３４０を有する。進捗管理部３４０は、実績データ取得部３１０によって洗浄装置１００から取得された実績データＤＣと、スケジュール取得部３２０によって取得されたスケジュールデータＤＡ１とを用いて、洗浄装置群２００における少なくともいずれかの洗浄装置１００に対して設定されているスケジュールデータＤＡ１を作成し直すべきか否かを判断する。

この判断は、実績データＤＣに含まれる時刻データが表す、部分処理の完了の時刻と、スケジュールデータＤＡ１が表す、その部分処理を完了させるべき目標としての時刻との比較に基づいて行われる。

具体的には、進捗管理部３４０は、各々の洗浄装置１００における実際の進捗の、目標からのずれ時間を特定するずれ時間特定部３４１を有する。

ずれ時間特定部３４１は、実績データ取得部３１０によって洗浄装置１００から取得された実績データＤＣと、その洗浄装置１００に対して設定されているスケジュールデータＤＡ１とを用いて、各々の洗浄装置１００における、目標としてのスケジュールに対する洗浄の進捗のずれ時間を特定する。

洗浄装置１００におけるずれ時間とは、その洗浄装置１００で行われるすべての部分処理を含む全工程を通してみた場合に、スケジュールに対して洗浄が遅れている場合は、その洗浄の遅れの度合いを表す遅れ時間を指し、スケジュールに対して洗浄が進んでいる場合には、その洗浄の進みの度合いを表す進み時間を指す。

また、進捗管理部３４０は、ずれ時間特定部３４１によって特定されたずれ時間に基づいて、スケジュールデータＤＡ１を作成し直すべきか否かを判定する判定部３４２を有する。具体的には、判定部３４２は、以下に述べる第１判定処理及び第２判定処理を行う。

第１判定処理とは、各々の洗浄装置１００におけるずれ時間が、予め定められた第１許容遅れ時間を超えるか否かを判定する処理である。

ここで第１許容遅れ時間とは、洗浄装置群２００に対して設定された遅れ時間の許容値（閾値）を言う。洗浄装置群２００（いわゆる洗浄ライン）は、各々の洗浄装置１００の遅れ時間を積算、相殺して、洗浄装置群２００としての洗浄遅れ時間を許容値として設定しており、この遅れ時間を第１許容遅れ時間と言う。この為、第１許容遅れ時間の計測ポイントは、洗浄装置群２００（洗浄ライン）のアウトプットでの計測ポイントとなる。

第２判定処理とは、遅れ時間を正とし、進み時間を負とする条件で、各々の洗浄装置１００におけるずれ時間を洗浄装置群２００について合計した場合の合計値が、予め定められた第２許容遅れ時間を超えるか否かを判定する処理である。

ここで第２許容遅れ時間とは、各々の洗浄装置１００におけるずれ時間を洗浄装置群２００について合計した場合の合計値に対して設定された遅れ時間の許容値（閾値）を言う。遅れ時間と進み時間を積算する洗浄装置群２００の範囲は、所望の条件によって設定し得るようになっており、所望の範囲として全ての洗浄装置群２００を設定すると、第２許容遅れ時間と第１許容遅れ時間と同じ値となり、所望の範囲として特定の洗浄装置１００を設定すると、特定の洗浄装置１００の遅れ時間が第２許容遅れ時間となる。第２許容遅れ時間を設定することにより、第１許容遅れ時間のみを設定する場合に比べて早期に遅延を発見することができる。これは、第１許容遅れ時間は、アウトプットでの計測になる為、アウトプットが得られるまで遅れを検出することができないが、第２許容遅れ時間は、遅れ時間の積算の為、アウトプット途中での遅れ検出が可能になる為である。特に、第２許容遅れ時間を細かく設定することにより、アウトプット時において致命的になる遅延を早期に発見することができる。

判定部３４２は、第１判定処理で、いずれかの洗浄装置１００におけるずれ時間が第１許容遅れ時間を超えると判定した場合、又は第２判定処理で、上記合計値が第２許容遅れ時間を超えると判定した場合に、洗浄装置群２００における少なくともいずれかの洗浄装置１００に対するスケジュールデータＤＡ１を作成し直すべきと判断する。

また、スケジュール管理装置３００は、スケジュールデータＤＡ１を作成し直すスケジュール再作成処理を行うスケジュール再作成部３５０を有する。

スケジュール再作成処理とは、進捗管理部３４０の判定部３４２によって、洗浄装置群２００における少なくともいずれかの洗浄装置１００に対して設定されているスケジュールデータＤＡ１を作成し直すべきと判断された場合に、その洗浄装置１００に対して設定されているスケジュールデータＤＡ１を、別の新たなスケジュールデータ（以下、改変スケジュールデータと記す。）ＤＡ２へと作成し直す処理である。

改変スケジュールデータＤＡ２が定める、ウェハの洗浄の完了の時刻は、作成し直す前のスケジュールデータＤＡ１が定めていた、ウェハの洗浄の完了の時刻よりも、早められている。

また、スケジュール再作成部３５０は、新たに作成した改変スケジュールデータＤＡ２をユーザの確認に供すべくユーザに提示させる提示処理と、改変スケジュールデータＤＡ２を確認したユーザから、その改変スケジュールデータＤＡ２の反映を了承する旨の操作を受け付ける受け付け処理とを行う。

また、スケジュール管理装置３００は、スケジュールデータＤＡ１の、改変スケジュールデータＤＡ２への変更が受け入れられるか否かを、その変更の、後工程への影響を考慮して判定する後工程確認部３６０を有する。ここで“後工程”とは、半導体装置の生産工程において、洗浄装置群２００で行われるウェハの洗浄に続いて行われる工程を意味する。

後工程確認部３６０は、上記受け付け処理で改変スケジュールデータＤＡ２の反映を了承する旨の操作が受け付けられた場合に、スケジュールデータＤＡ１の改変スケジュールデータＤＡ２への変更が、後工程に与える影響を調べる。そして、後工程確認部３６０は、スケジュールデータＤＡ１の改変スケジュールデータＤＡ２への変更が、後工程において容認できるか否かを判定する。

このような判定を行う理由の１つは、スケジュールデータＤＡ１の改変スケジュールデータＤＡ２への変更によってウェハの洗浄の完了を前倒ししても、後工程がその前倒しに追いつけない場合には、結局、後工程に含まれるいずれかの工程において待ち時間が生じることとなり、改変スケジュールデータＤＡ２を作成した意義が損なわれるためである。

また、スケジュール管理装置３００は、スケジュールデータＤＡ１の改変スケジュールデータＤＡ２への変更を反映させる改変スケジュール反映部３７０を有する。

改変スケジュール反映部３７０は、後工程確認部３６０によって、スケジュールデータＤＡ１の改変スケジュールデータＤＡ２への変更が受け入れられると判定された場合に、その変更を反映させる指示と、改変スケジュールデータＤＡ２とを、生産管理装置５００に与える。

生産管理装置５００は、改変スケジュール反映部３７０の上記指示に従い、自己が管理しているスケジュールデータＤＡ１を、改変スケジュールデータＤＡ２へ変更する。

これにより、そのスケジュールデータＤＡ１が設定されていた洗浄装置（以下、変更対象の洗浄装置と記す。）１００についてのスケジュールを表すものとしては、改変スケジュールデータＤＡ２が、生産管理装置５００からスケジュール取得部３２０に与えられることとなる。

そして、上位制御部３３０は、その改変スケジュールデータＤＡ２から改変ジョブレシピＪＲ２を作成する。改変ジョブレシピＪＲ２に基づく制御が上位制御部３３０によって行われる。なお、変更対象の洗浄装置１００に対しては改変ジョブレシピＪＲ２の装置レシピＥＲが新たに設定される。

図４は、以上説明したスケジュール管理装置３００のハードウエアの構成を示す。スケジュール管理装置３００は、各々の洗浄装置１００とのデータ通信、及び生産管理装置５００とのデータ通信を担う通信装置３００ａを有する。

また、スケジュール管理装置３００は、上述した提示処理で、改変スケジュールデータＤＡ２をユーザの確認に供すべくユーザに提示する出力装置３００ｂを有する。出力装置３００ｂは、改変スケジュールデータＤＡ２を表示により提示する表示装置であってもよいし、改変スケジュールデータＤＡ２を印刷により提示する印刷装置であってもよい。

また、スケジュール管理装置３００は、上述した受け付け処理において、改変スケジュールデータＤＡ２の反映を了承する旨の操作がユーザによってなされる入力装置３００ｃを有する。入力装置３００ｃは、マウス、キーボード等によって構成される。また、入力装置３００ｃと出力装置３００ｂとは、タッチスクリーン（Touch screen）によって構成されていてもよい。

また、スケジュール管理装置３００は、スケジュール管理装置３００が行う動作の手順を規定したスケジュール管理プログラム３００ｅを記憶する記憶装置３００ｄと、スケジュール管理プログラム３００ｅを実行するプロセッサ３００ｆとを有する。

プロセッサ３００ｆがスケジュール管理プログラム３００ｅを実行することにより、図３に示した各部の機能が実現される。以下、図３に示した各部によって実現されるスケジュール管理処理についてまとめる。

図５に示すように、まず、スケジュール取得部３２０が、各々の洗浄装置１００についての最新のスケジュールデータＤＡ１を生産管理装置５００から取得し、かつ実績データ取得部３１０が、各々の洗浄装置１００から実績データＤＣを取得する（ステップＳ１１）。

ここで“最新のスケジュールデータＤＡ１”とは、後述するステップＳ１７で改変スケジュールデータＤＡ２の反映がなされた場合は、その改変スケジュールデータＤＡ２を指し、そうでない場合には、生産管理装置５００によって作成されたスケジュールデータＤＡ１を指すものとする。

次に、ずれ時間特定部３４１が、各々の洗浄装置１００について、その洗浄装置１００から取得された実績データＤＣと、その洗浄装置１００に対して設定されているスケジュールデータＤＡ１とを用いて、ずれ時間を特定する（ステップＳ１２）。

次に、判定部３４２が、各々の洗浄装置１００におけるずれ時間と第１許容遅れ時間とを比較し、いずれかの洗浄装置１００におけるずれ時間が第１許容遅れ時間を超えているか否かを判定する（ステップＳ１３）。この判定は、既述の第１判定処理である。

判定部３４２は、第１判定処理で、どの洗浄装置１００におけるずれ時間も第１許容遅れ時間を超えていないと判定した場合（ステップＳ１３；ＮＯ）、さらに既述の第２判定処理を行う（ステップＳ１４）。即ち、判定部３４２は、洗浄装置群２００におけるずれ時間の合計値が第２許容遅れ時間を超えるか否かを判定する。

第２判定処理で、ずれ時間の合計値が第２許容遅れ時間を超えていないと判定された場合（ステップＳ１４；ＮＯ）、処理はステップＳ１１に戻る。

一方、第２判定処理で、ずれ時間の合計値が第２許容遅れ時間を超えていると判定された場合（ステップＳ１４；ＹＥＳ）、又は第１判定処理で、いずれかの洗浄装置１００におけるずれ時間が第１許容遅れ時間を超えていると判定された場合（ステップＳ１３；ＹＥＳ）、処理はステップＳ１５に進む。なお、ステップＳ１３の判定と、ステップＳ１４の判定との一方は省略してもよい。

ステップＳ１５では、既述のスケジュール再作成処理が行われる。即ち、スケジュール再作成部３５０が、洗浄装置群２００における少なくともいずれかの洗浄装置１００に対して設定されているスケジュールデータＤＡ１を、改変スケジュールデータＤＡ２へと作成し直す（ステップＳ１５）。

なお、ステップＳ１５で、どの洗浄装置１００に対して設定されているスケジュールデータＤＡ１を作成し直すかは任意である。ステップＳ１３で“ＹＥＳ”と判定された場合は、同ステップＳ１３でずれ時間が第１許容遅れ時間を超えていると判定された洗浄装置１００のスケジュールデータＤＡ１を作成し直してもよい。また、ステップＳ１３でＹＥＳと判定された場合でも、同ステップＳ１３でずれ時間が第１許容遅れ時間を超えていると判定された洗浄装置１００とは別の洗浄装置１００のスケジュールデータＤＡ１を作成し直してもよい。改変スケジュールデータＤＡ２へと作成し直すことが可能なスケジュールデータＤＡ１が自ずと選択されることになる。

そして、既述の受け付け処理において、改変スケジュールデータＤＡ２の反映を了承する旨のユーザの操作がなされ、かつ後工程確認部３６０によって、改変スケジュールデータＤＡ２の反映が容認できると判定された場合に（ステップＳ１６；ＹＥＳ）、改変スケジュール反映部３７０が、生産管理装置５００に、改変スケジュールデータＤＡ２の反映を実行させる（ステップＳ１７）。その後、処理はステップＳ１１に戻る。

一方、既述の受け付け処理において、改変スケジュールデータＤＡ２の反映を了承する旨のユーザの操作がなされなかった場合、又は後工程確認部３６０によって、改変スケジュールデータＤＡ２の反映が容認できないと判定された場合には（ステップＳ１６；ＮＯ）、改変スケジュール反映部３７０は、改変スケジュールデータＤＡ２を破棄する（ステップＳ１８）。その後、処理はステップＳ１１に戻る。

以下、上述したステップＳ１５で、スケジュール再作成部３５０が行うスケジュール再作成処理に関して説明する。

図６に示すように、スケジュール再作成部３５０は、スケジュールデータＤＡ１の、改変スケジュールデータＤＡ２への変更に係る探索を行う変更探索部３５１を有する。

スケジュールデータＤＡ１は、図８の上段に示したように、部分処理を表すマス及び槽内洗浄を表すマスの、時間軸上の配置を規定している。上述した“変更に係る探索”とは、それらマスの配置の変更の可能性、つまり、部分処理が行われる時間帯及び槽内洗浄が行われる時間帯の変更の可能性、を探索することを意味する。

また、スケジュール再作成部３５０は、上記探索において参照される複数の固定ルールを保持する固定ルール保持部３５２を有する。固定ルールとは、スケジュールデータＤＡ１が規定する、マスの配置の順序のうち、変更すべきでない順序を表す。

具体的には、スケジュールデータＤＡ１は、図８の上段に示したように、各々種類及びロットが特定された複数のウェハ群の、異なる種類の間での部分処理の順番、及び同一の種類の異なるロットの間での部分処理の順番を規定している。本実施の形態では、異なる種類の間での部分処理の完了の順番を第１固定ルールとし、同一の種類の異なるロットの間での部分処理の完了の順番を第２固定ルールとする。

つまり、第１固定ルールは、種類ａ→種類ｂ→種類ｃという順番は変更すべきでないことを表す。第２固定ルールは、ロットａ１→ロットａ２→ロットａ３という順番は変更すべきでないこと、ロットｂ１→ロットｂ２という順番は変更すべきでないこと、及びロットｃ１→ロットｃ２という順番は変更すべきでないことを表す。

また、固定ルール保持部３５２が保持する複数の固定ルールの間には、順守の重要度に応じて優先順位が定められている。本実施の形態では、第２固定ルールの方が、第１固定ルールよりも優先度が高いものとする。

変更探索部３５１は、第１固定ルール及び第２固定ルールのうち、少なくとも、優先度が相対的に高い第２固定ルールを順守し、かつ複数のウェハ群の各々を構成するウェハの数が維持される条件で、スケジュールデータＤＡ１を改変スケジュールデータＤＡ２へと作成し直す。

図７を参照し、変更探索部３５１及び固定ルール保持部３５２によって行われるスケジュール再作成処理について説明する。

まず、変更探索部３５１は、改変の対象とするスケジュールデータＤＡ１が規定している、複数のウェハ群の各々を構成するウェハの数が維持される条件で、そのスケジュールデータＤＡ１が規定している、部分処理が行われる時間帯及び槽内洗浄が行われる時間帯の、様々な変更の可能性を探索する。

そして、変更探索部３５１は、その探索の結果、すべての固定ルール、即ち第１固定ルール及び第２固定ルールの各々が表す順序が維持され、かつ複数のウェハ群の各々を構成するウェハの数が維持される条件で、改変スケジュールデータＤＡ２の作成が可能かを判定する（ステップＳ２１）。

具体的には、変更探索部３５１は、ステップＳ２１で、スケジュールデータＤＡ１が規定する、異なる種類の間でのウェハ群の洗浄の完了の順番、及び同一の種類の異なるロットの間でのウェハ群の洗浄の完了の順番が維持され、かつ複数のウェハ群の各々を構成するウェハの枚数が維持される条件で、改変スケジュールデータＤＡ２の作成が可能か否かを判定する。

ステップＳ２１で、改変スケジュールデータＤＡ２の作成が可能であると判定された場合（ステップＳ２１；ＹＥＳ）、変更探索部３５１は、第１固定ルール及び第２固定ルールの各々が表す順序が維持され、かつ複数のウェハ群の各々を構成するウェハの数が維持される条件で、スケジュールデータＤＡ１を改変スケジュールデータＤＡ２へと作成し直し（ステップＳ２２）、スケジュール再作成処理を終える。

図８の中段に、ステップＳ２２で作成された改変スケジュールデータＤＡ２ａを例示する。この改変スケジュールデータＤＡ２ａにおいては、すべてのウェハ群の洗浄の完了の時刻が、図８の上段に示したスケジュールデータＤＡ１が定める時刻よりも早められている。

また、各々のウェハ群の洗浄の完了の時刻に関して、図８の上段に示したスケジュールデータＤＡ１が規定する、種類ａ→種類ｂ→種類ｃという順番が、改変スケジュールデータＤＡ２ａにおいても維持されている。

さらに、各々のウェハ群の洗浄の完了の時刻に関して、図８の上段に示したスケジュールデータＤＡ１が規定する、ロットａ１→ロットａ２→ロットａ３という順番、ロットｂ１→ロットｂ２という順番、及びロットｃ１→ロットｃ２という順番が、改変スケジュールデータＤＡ２ａにおいても維持されている。

一方、ステップＳ２１で、改変スケジュールデータＤＡ２の作成が不可能であると判定された場合（ステップＳ２１；ＮＯ）、変更探索部３５１は、優先度の相対的に高い固定ルールのみを順守し、かつ複数のウェハ群の各々を構成するウェハの数が維持される条件で、改変スケジュールデータＤＡ２を作成し（ステップＳ２３）、スケジュール再作成処理を終える。

具体的には、変更探索部３５１は、ステップＳ２３では、第１固定ルールと第２固定ルールとのうち、優先度が相対的に高い第２固定ルールのみを順守して改変スケジュールデータＤＡ２を作成する。つまり、変更探索部３５１は、スケジュールデータＤＡ１が規定する、異なる種類の間での洗浄の完了の順番の変更が許容される一方、同一の種類の異なるロットの間での洗浄の完了の順番が維持される条件で、改変スケジュールデータＤＡ２を作成する。

図８の下段に、ステップＳ２３で作成された改変スケジュールデータＤＡ２ｂを例示する。この改変スケジュールデータＤＡ２ｂにおいては、すべてのウェハ群の洗浄の完了の時刻が、図８の上段に示したスケジュールデータＤＡ１が定める時刻よりも早められている。

この改変スケジュールデータＤＡ２ｂによれば、種類ｂ→種類ｃ→種類ａの順番にウェハ群の洗浄が完了する。つまり、各々のウェハ群の洗浄の完了の時刻に関して、図８の上段に示したスケジュールデータＤＡ１が規定する、種類ａ→種類ｂ→種類ｃという順番は、改変スケジュールデータＤＡ２ｂにおいては維持されていない。これは、上述したステップＳ２３で第１固定ルールを無視したことによる。

但し、各々のウェハ群の洗浄の完了の時刻に関して、図８の上段に示したスケジュールデータＤＡ１が規定する、ロットａ１→ロットａ２→ロットａ３という順番、ロットｂ１→ロットｂ２という順番、及びロットｃ１→ロットｃ２という順番は、改変スケジュールデータＤＡ２ｂにおいても維持されている。つまり、第２固定ルールは順守されている。

以上説明したように、本実施の形態によれば、生産管理装置５００によって一旦作成されたスケジュールデータＤＡ１を、洗浄装置群２００における洗浄の進捗に応じて、スケジュール管理装置３００によって作成し直すことができる。

洗浄装置群２００における洗浄の進捗が目標に比べて遅延している場合、即ち、図５のステップＳ１３又はステップＳ１４で“ＹＥＳ”と判定された場合に、洗浄装置群２００における少なくともいずれかの洗浄装置１００に対して設定されているスケジュールデータＤＡ１が改変スケジュールデータＤＡ２へと作成し直される。このため、洗浄装置群２００全体として洗浄の進捗の遅れを取り戻すことができるか、又は洗浄装置群２００全体として洗浄の進捗の遅れを減らすことができる。

図５のステップＳ１４の判定では、洗浄装置１００における洗浄の遅れの度合いを表す遅れ時間のみならず、洗浄装置１００における洗浄の進みの度合いを表す進み時間も考慮される。このため、不必要に改変スケジュールデータＤＡ２が作成されてしまう事態が生じにくい。

スケジュール再作成処理では、すべての固定ルールを順守する条件で改変スケジュールデータＤＡ２の作成が不可能な場合に、順守すべき固定ルールが減らされる。このため、改変スケジュールデータＤＡ２の作成に失敗する可能性を低減できる。

図２に示したように、各々の洗浄装置１００においては、本来、下位制御部１３１によってその洗浄装置１００の動作の制御に用いられる状態データＤＢを、その洗浄装置１００における洗浄の進捗を報告するための実績データＤＣとして活用する。このように構成の合理化が図られているため、洗浄の進捗を報告する機能を各々の洗浄装置１００に備え付けるにあたり、各々の洗浄装置１００の構成の複雑化を抑えることができる。

［実施の形態２］
図１には、１つの洗浄装置群２００を示したが、スケジュール管理システム６００は、複数の洗浄装置群２００を備えてもよい。以下、具体的に説明する。

図９に、各々洗浄ラインを構成する複数の洗浄装置群２００、具体的には、洗浄装置群２００ａ－２００ｏが配置された構成を示す。本実施の形態に係るスケジュール管理処理では、複数の洗浄装置群２００ａ－２００ｊについて、ずれ時間の合計値が第３許容遅れ時間を超えるか否かを判定する第３判定処理がさらに行われる。

ここで、第３許容遅れ時間とは、複数の実施の形態１における洗浄装置群２００を、更なる洗浄装置群２００として設定した場合の許容遅れ時間である。なお、第３許容遅れ時間の設定方法は、第１許容遅れ時間又は第２許容遅れ時間に基づくものである。

図１０に、本実施の形態に係るスケジュール管理処理のフローチャートを具体的に示す。本実施の形態では、判定部３４２は、ステップＳ１３の第１判定処理で、どの洗浄装置１００におけるずれ時間も第１許容遅れ時間を超えていないと判定した場合（ステップＳ１３；ＮＯ）、いずれかの洗浄装置群２００におけるずれ時間の合計値が第２許容遅れ時間を超えるか否かを判定する第２判定処理を行う（ステップＳ３１）。

第２判定処理で、ずれ時間の合計値が第２許容遅れ時間を超えている洗浄装置群２００が存在すると判定された場合に（ステップＳ３１；ＹＥＳ）、既述のスケジュール再作成処理（図５のステップＳ１５）が行われる点は、実施の形態１の場合と同様である。なお、図９には、一例として、洗浄装置群２００ｏにおけるずれ時間の合計値が第２許容遅れ時間を超えた場合を概念的に示している。

一方、ステップＳ３１の第２判定処理で、どの洗浄装置群２００のずれ時間の合計値も第２許容遅れ時間を超えていないと判定された場合には（ステップＳ３１；ＮＯ）、判定部３４２は、複数の洗浄装置群２００ａ－２００ｊについて、ずれ時間の合計値が第３許容遅れ時間を超えるか否かを判定する第３判定処理を行う（ステップＳ３２）。

判定部３４２は、第３判定処理で、複数の洗浄装置群２００ａ－２００ｊについて、ずれ時間の合計値が第３許容遅れ時間を超えると判定した場合は（ステップＳ３２；ＹＥＳ）、スケジュール再作成処理（図５のステップＳ１５）を行う。一方、複数の洗浄装置群２００ａ－２００ｊについて、ずれ時間の合計値が第３許容遅れ時間以下である場合（ステップＳ３２；ＮＯ）、処理はステップＳ１１に戻る。他の処理は、図５に示したスケジュール管理処理と同じである。

なお、図９には、ステップＳ３２の第３判定処理でＹＥＳと判定される場合を概念的に例示している。即ち、判定部３４２は、一例として洗浄装置群２００ｄ、２００ｆ、及び２００ｈの各々における遅延時間の合計値がいずれも第２許容遅れ時間以下であっても、複数の洗浄装置群２００ａ－２００ｊの全体についてのずれ時間の合計値が第３許容遅れ時間を超える場合には、既述のスケジュール再作成処理（図５のステップＳ１５）を行う。

これにより、複数の洗浄装置群２００ａ－２００ｊ全体としての洗浄の進捗の遅れを取り戻すことができるか、又はその洗浄の進捗の遅れを減らすことができる。

以上、実施の形態１及び２について説明した。以下に述べる変更も可能である。

上記実施の形態１及び２では、対象物としてのウェハに施す処理が、半導体の製造プロセスにおける洗浄である場合について例示的に述べた。処理は、半導体の製造に係る処理であることが特に好ましいが、洗浄には限られない。処理は、半導体の製造プロセスにおける洗浄以外のもの、例えば、成膜、レジスト（resist）の塗布、露光、現像、不純物の注入、エッチング（etching）等であってもよい。また、処理は、半導体の製造に係る処理以外のものであってもよい。

スケジュールデータＤＡ１は、洗浄ラインを構成する洗浄装置群２００ごとに作成されてもよい。また、洗浄装置群２００におけるずれ時間の合計値が第２許容遅れ時間を超えると判定される度に、その洗浄装置群２００についてのスケジュールデータＤＡ１が、その洗浄装置群２００全体としての洗浄の進捗の遅れを取り戻すことができるか、又はその洗浄の進捗の遅れを減らすことができる内容に更新されてもよい。

図４に示すスケジュール管理プログラム３００ｅを既存のコンピュータにインストールすることで、そのコンピュータを実施の形態に係るスケジュール管理装置３００として機能させることができる。スケジュール管理プログラム３００ｅは、通信ネットワークを介して配布してもよいし、コンピュータ読み取り可能な非一時的な記録媒体に格納して配布してもよい。

本開示は、本開示の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施の形態及び変形が可能とされる。上述した実施の形態は、本開示を説明するためのものであり、本開示の範囲を限定するものではない。本開示の範囲は、実施の形態ではなく、請求の範囲によって示される。請求の範囲内及びそれと同等の開示の意義の範囲内で施される様々な変形が、本開示の範囲内とみなされる。

１００ 洗浄装置（処理装置）、１１０ 処理槽群、１１１ Ａ槽、１１２ Ｂ槽、１１３ Ｃ槽、１１４ Ｄ槽、１１５ Ｅ槽、１２０ 搬送・監視機器群、１２１－１２５ 搬送・監視機器（状態データ出力部）、１３０ 制御装置、１３１ 下位制御部、１３２ 時刻データ付記部、２００，２００ａ－２００ｏ 洗浄装置群（処理装置群）、３００ スケジュール管理装置、３００ａ 通信装置、３００ｂ 出力装置、３００ｃ 入力装置、３００ｄ 記憶装置、３００ｅ スケジュール管理プログラム、３００ｆ プロセッサ、３１０ 実績データ取得部、３２０ スケジュール取得部、３３０ 上位制御部、３４０ 進捗管理部、３４１ ずれ時間特定部、３４２ 判定部、３５０ スケジュール再作成部、３５１ 変更探索部、３５２ 固定ルール保持部、３６０ 後工程確認部、３７０ 改変スケジュール反映部、４００ 搬送装置、５００ 生産管理装置、６００ スケジュール管理システム、ＤＡ１ スケジュールデータ、ＤＡ２，ＤＡ２ａ，ＤＡ２ｂ 改変スケジュールデータ、ＤＢ 状態データ、ＤＣ 実績データ、ＪＲ１ ジョブレシピ、ＪＲ２ 改変ジョブレシピ、ＥＲ 装置レシピ。

Claims (7)

1. 各々対象物に処理を施す複数の処理装置によって構成されている処理装置群であって、各々の前記処理装置は、該処理装置に対して設定されているスケジュールデータが表すスケジュールを目標として前記処理を進行させる前記処理装置群、を構成している各々の前記処理装置から、該処理装置における前記処理の進捗を表す実績データを取得する実績データ取得部と、
   前記実績データ取得部によって前記処理装置から取得された前記実績データと、該処理装置に対して設定されている前記スケジュールデータとを用いて、前記処理装置群における少なくともいずれかの前記処理装置に対して設定されている前記スケジュールデータを作成し直すべきか否かを判定する進捗管理部と、
   前記進捗管理部によって、前記処理装置群における少なくともいずれかの前記処理装置に対して設定されている前記スケジュールデータを作成し直すべきと判断された場合に、該処理装置に対して設定されている前記スケジュールデータを、前記対象物の前記処理の完了の時刻が、該スケジュールデータが定める時刻よりも早められた改変スケジュールデータへと作成し直すスケジュール再作成部と、
   を備え、
   前記スケジュール再作成部によって前記スケジュールデータが前記改変スケジュールデータへと作成し直された前記処理装置は、該改変スケジュールデータが表す前記スケジュールを目標として前記処理を進行させ、
   前記進捗管理部は、
   前記実績データ取得部によって前記処理装置から取得された前記実績データと、該処理装置に対して設定されている前記スケジュールデータとを用いて、各々の前記処理装置における、目標としての前記スケジュールに対する前記処理の進捗のずれ時間を特定するずれ時間特定部であって、前記ずれ時間とは、前記スケジュールに対して前記処理が遅れている場合は、該処理の遅れの度合いを表す遅れ時間を指し、前記スケジュールに対して前記処理が進んでいる場合には、該処理の進みの度合いを表す進み時間を指す前記ずれ時間特定部と、
   前記遅れ時間を正とし、前記進み時間を負とする条件で、各々の前記処理装置における前記ずれ時間を前記処理装置群について合計した場合の合計値が予め定められた許容遅れ時間を超えるか否かの判定を行い、前記合計値が前記許容遅れ時間を超えるときに、前記処理装置群における少なくともいずれかの前記処理装置に対する前記スケジュールデータを作成し直すべきと判断する判定部と、
   を有する、
   スケジュール管理装置。
2. 各々対象物に処理を施す複数の処理装置によって構成されている処理装置群であって、各々の前記処理装置は、該処理装置に対して設定されているスケジュールデータが表すスケジュールを目標として前記処理を進行させる前記処理装置群、を構成している各々の前記処理装置から、該処理装置における前記処理の進捗を表す実績データを取得する実績データ取得部と、
   前記実績データ取得部によって前記処理装置から取得された前記実績データと、該処理装置に対して設定されている前記スケジュールデータとを用いて、前記処理装置群における少なくともいずれかの前記処理装置に対して設定されている前記スケジュールデータを作成し直すべきか否かを判定する進捗管理部と、
   前記進捗管理部によって、前記処理装置群における少なくともいずれかの前記処理装置に対して設定されている前記スケジュールデータを作成し直すべきと判断された場合に、該処理装置に対して設定されている前記スケジュールデータを、前記対象物の前記処理の完了の時刻が、該スケジュールデータが定める時刻よりも早められた改変スケジュールデータへと作成し直すスケジュール再作成部と、
   を備え、
   前記スケジュール再作成部によって前記スケジュールデータが前記改変スケジュールデータへと作成し直された前記処理装置は、該改変スケジュールデータが表す前記スケジュールを目標として前記処理を進行させ、
   各々の前記処理装置で行われる前記処理は、複数の部分処理を含み、
   各々の前記処理装置は、
   前記部分処理の完了毎に該完了を表す状態データを出力する状態データ出力部と、
   前記状態データを用いて、該処理装置における前記処理を、該処理装置に対して設定されている前記スケジュールデータが表す前記スケジュールを目標として進行させる制御を行う下位制御部と、
   前記状態データに対して、該状態データが表す前記部分処理の完了の時刻を特定する時刻データを付記し、前記時刻データが付記された前記状態データを、前記実績データとして、前記実績データ取得部に出力する時刻データ付記部と、
   を有し、
   前記進捗管理部は、前記実績データに含まれる前記時刻データが表す、前記部分処理の完了の時刻と、前記スケジュールデータが表す、該部分処理を完了させるべき目標としての時刻との比較に基づいて、前記処理装置群における少なくともいずれかの前記処理装置に対して設定されている前記スケジュールデータを作成し直すべきか否かを判定する、
   スケジュール管理装置。
3. 各々対象物に処理を施す複数の処理装置によって構成されている処理装置群であって、各々の前記処理装置は、該処理装置に対して設定されているスケジュールデータが表すスケジュールを目標として前記処理を進行させる前記処理装置群、を構成している各々の前記処理装置から、該処理装置における前記処理の進捗を表す実績データを取得する実績データ取得部と、
   前記実績データ取得部によって前記処理装置から取得された前記実績データと、該処理装置に対して設定されている前記スケジュールデータとを用いて、前記処理装置群における少なくともいずれかの前記処理装置に対して設定されている前記スケジュールデータを作成し直すべきか否かを判定する進捗管理部と、
   前記進捗管理部によって、前記処理装置群における少なくともいずれかの前記処理装置に対して設定されている前記スケジュールデータを作成し直すべきと判断された場合に、該処理装置に対して設定されている前記スケジュールデータを、前記対象物の前記処理の完了の時刻が、該スケジュールデータが定める時刻よりも早められた改変スケジュールデータへと作成し直すスケジュール再作成部と、
   を備え、
   前記スケジュール再作成部によって前記スケジュールデータが前記改変スケジュールデータへと作成し直された前記処理装置は、該改変スケジュールデータが表す前記スケジュールを目標として前記処理を進行させ、
   各々の前記処理装置で行われる前記処理は、複数の部分処理を含み、
   各々の前記処理装置は、複数の前記対象物で構成される対象物群毎に、複数の前記部分処理を行い、
   前記スケジュールデータは、各々種類及びロットが特定された複数の前記対象物群の、異なる前記種類の間での前記部分処理の順番、及び同一の前記種類の異なる前記ロットの間での前記部分処理の順番を規定しており、
   前記スケジュール再作成部は、
   前記スケジュールデータが規定する、同一の前記種類の異なる前記ロットの間での前記処理の完了の順番が維持される条件で、該スケジュールデータを前記改変スケジュールデータへと作成し直す、
   スケジュール管理装置。
4. 前記スケジュール再作成部は、
   前記スケジュールデータが規定する、異なる前記種類の間での前記処理の完了の順番、及び同一の前記種類の異なる前記ロットの間での前記処理の完了の順番が維持される条件で、前記改変スケジュールデータの作成が可能か否かを判定し、
   該判定で、前記改変スケジュールデータの作成が不可能であると判断した場合に、前記スケジュールデータが規定する、異なる前記種類の間での前記処理の完了の順番の変更が許容される一方、同一の前記種類の異なる前記ロットの間での前記処理の完了の順番が維持される条件で、前記改変スケジュールデータを作成する、
   請求項３に記載のスケジュール管理装置。
5. 前記スケジュールデータ及び前記改変スケジュールデータの各々は、複数の前記対象物群の各々を構成する前記対象物の数を規定しており、
   前記スケジュール再作成部は、
   複数の前記対象物群の各々を構成する前記対象物の数が維持される条件で、該スケジュールデータを前記改変スケジュールデータへと作成し直す、
   請求項３に記載のスケジュール管理装置。
6. 前記スケジュール再作成部によって前記スケジュールデータが前記改変スケジュールデータへと作成し直された場合に、該スケジュールデータの、該改変スケジュールデータへの変更が受け入れられるか否かを、該変更の、前記対象物の前記処理に続いて行われる後工程への影響を考慮して判定する後工程確認部、
   をさらに備え、
   前記後工程確認部によって、前記変更が受け入れられると判定された場合に、該スケジュールデータの、該改変スケジュールデータへの変更が反映される、
   請求項１から５のいずれか１項に記載のスケジュール管理装置。
7. 請求項１から５のいずれか１項に記載のスケジュール管理装置と、
   前記処理装置群と、
   前記処理装置群における各々の前記処理装置に対して設定されている前記スケジュールデータ、を作成する生産管理装置と、
   を備える、スケジュール管理システム。