KR100823237B1 - 기판반송제어장치 및 기판반송방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 용이하게 반도체제조장치 등의 기판처리장치의 스루풋을 최대로 할 수 있고, 또 반송기의 동작의 즉시성에 대한 요구를 만족시킬 수 있는 기판반송제어장치를 제공한다. 기판반송제어장치는 반송기(1a 내지 1c)의 각 동작에 필요하게 되는 시간과 각 처리기기(3a 내지 9d)에 있어서의 기판에 대한 처리에 필요하게 되는 시간을 입력하는 입력장치(12)와, 입력된 시간을 파라미터로서 포함하는 소정의 조건식에 의거하여 대상으로 하는 기판의 최종매가 기판처리장치로부터 회수되는 시각을 가장 빠르게 하는 반송기(1a 내지 1c)의 각 동작의 실행시각을 산출하는 스케줄연산부(21)를 구비한다. 또 기판반송제어장치는 산출된 반송기(1a 내지 1c)의 각 동작의 실행시각이 되었을 때에 대응하는 반송기에 상기 동작을 지령하는 동작지령부(24)를 구비한다.

Description

기판반송제어장치 및 기판반송방법{WAFER TRANSFER CONTROL APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING WAFER}

본 발명은 기판반송제어장치 및 기판반송방법에 관한 것으로, 특히 반송기에 의하여 반도체제조장치 등의 기판처리장치 내의 복수의 기판을 복수의 처리기기에 순차 반송하여 처리를 행하는 기판반송제어장치 및 기판반송방법에 관한 것이다. 또본 발명은 이와 같은 기판반송제어장치에 의하여 기판의 반송이 제어되는 기판처리장치에 관한 것이다.

반도체제조장치에는 여러가지의 구성의 것이 있으나, 일반적으로 복수매의 반도체기판(웨이퍼)이 카세트로부터 순차 투입되어 복수의 반송기에 의하여 복수의 처리기기 사이를 반송되어 병행적으로 처리되고, 전처리를 끝낸 기판이 카세트에 회수되는 것이 많이 사용되고 있다. 또한 카세트를 복수개 장착 가능·교환 가능하게 한 것도 있어, 이와 같은 장치에서는 적절하게 미처리의 기판이 장전된 카세트와 교환함으로써 연속적으로 반도체제조장치의 운전을 행할 수 있다. 그리고 이들 반도체제조장치의 제어, 특히 반송기의 동작의 제어는 기판반송제어장치에 의하여 행하여진다.

여기서 종래의 기판반송제어장치에 있어서의 대표적인 제어방법에 대하여 간 단하게 설명한다.

종래의 기판반송제어장치에 있어서는, 제어 중의 반송기로부터 반송기의 상황이 항상 입력되어 있다. 그리고 이 반송기의 상황에 의거하여 현시점에서 동작하고 있지 않는(비동작 중의) 반송기를 검출한다. 비동작 중의 반송기가 검출되었을 경우에는 각각의 비동작 중의 반송기에 대하여 반송원의 처리기기에 있어서의 처리후 기판의 유무, 반송기가 기판을 수취하기 위한 아암의 간극, 반송지의 처리기기의 간극 등을 검사하여 다음에 가능한 동작을 모두 구한다. 다음에 가능한 동작이 존재한 각각의 비동작 중의 반송기에 대하여 다음에 행하여야 할 1개의 동작을 결정하고, 이 동작을 실행하는 지령을 대응하는 반송기에 송신한다. 상기 지령을 수취한 비동작 중의 반송기는 주어진 다음의 동작을 개시한다.

즉, 반도체제조장치의 운전 중의 각 시점에 있어서, 반송기가 비동작 중인 것을 검출하면 소정의 동작이 가능한 조건(동작 가능조건)의 성립성을 판별하고, 이 조건을 만족하는 동작이 있으면, 그 중에서 가장 우선순위가 높은 동작을 선택하여 실행을 지령한다.

이와 같은 처리가 반복됨으로써, 상기한 반도체제조장치의 기판반송에 관한 제어가 행하여진다.

그러나, 종래의 기판반송제어장치에서는 상기 동작가능조건이 성립하고 나서 비로소 비동작 중의 반송기가 현재위치로부터 기판의 인도 또는 수취를 행하여야 할처리기기의 위치로 이동하게 된다. 즉 반송기가 가령 비동작 중이더라도 동작 가능조건이 성립하기 이전에 동작할 수 없기 때문에 반도체제조장치의 스루풋이 악 화되는 경우가 있었다.

또 반송원의 처리기기에 있어서의 처리종료시각을 예측하는 등으로 하여, 각 반송기가 약간 빠르게 이동을 개시할 수 있도록 가능한 한 동작 가능조건을 개변하였다 하더라도 다음 동작을 순차 결정하는 방법을 채용하고 있기 때문에, 복수매의 기판을 연속적으로 처리하는 경우에는 최종기판이 전처리를 끝내고 카세트에 회수되는 시각이 논리적으로 가능한 가장 빠른값(가장 빠른 시각)보다도 크게 늦는 경우가 있었다.

또한 반도체제조장치에 있어서는, 일반적으로 공정처리의 면으로부터 소정의 처리기기에서 처리된 기판을 신속하게 다음단의 처리기기로 반송하여 처리하는 것(즉시성)이 요구된다. 예를 들면 도금 등의 처리를 행하는 경우에 있어서, 도금처리후의 기판을 방치하면 산화 등에 의하여 품질의 악화를 초래하기 때문에, 즉시 다음단의 처리기기로 반송하여 세정 등의 후처리를 행하는 것이 요구된다. 즉 반송기의 동작시각에 관한 일정한 제약조건(상기한 예에서는 처리후 기판에 있어서의 반송기의 대기시간이 0이 되는 조건)이 요구되는 경우가 있다.

그러나 상기한 종래의 기판반송제어장치에서는 반송기가 동작 중이면 우선도가 높은 동작에 관한 동작 가능조건이 성립하여도 곧바로는 그 동작을 실행할 수 없기 때문에, 이와 같은 반송기의 동작시각에 관한 제약조건을 고려한 제어를 할 수 없었다.

이 때문에 반도체제조장치의 운전에 앞서 사전에 시뮬레이션을 행하여 이와 같은 제약조건을 만족시키는 제어를 할 수 있는지의 여부를 확인할 필요가 있어 번거로운 작업으로 되어 있었다. 또는 상기 반송기의 동작시각에 관한 제약조건이 성립하도록 처리기기의 종별마다 설정되는 처리예정시간에 제약을 설치할 필요가 있고, 또 결과적으로 반송기의 동작의 즉시성에 대한 요구를 만족할 수 없어 품질이나 수율의 악화로 이어지는 경우가 있었다. 또는 즉시성이 요구되는 후처리를 본 처리와 일체화하여 기기를 구성하지 않으면 안되는 등, 장치구성 상의 제약으로도 되어 있었다.

본 발명은 이와 같은 종래기술의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 용이하게 반도체제조장치 등의 기판처리장치의 스루풋을 최대로 할 수 있고, 또 반송기의 동작의 즉시성에 대한 요구를 만족시킬 수 있는 기판반송제어장치 및 기판반송방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또 본 발명은 이와 같은 기판반송제어장치를 조립한 기판처리장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

이와 같은 종래의 기판반송제어장치에 있어서의 문제점을 해결하기 위하여 본 발명의 일 형태는 기판처리장치 내에 설치된 복수의 처리기기 사이에 있어서 반송기에 의하여 기판을 반송하는 기판반송방법에 있어서, 상기 반송기의 각 동작에 필요하게 되는 시간과 각 처리기기에 있어서의 기판에 대한 처리에 필요하게 되는 시간을 파라미터로서 포함하는 소정의 조건식에 의거하여 대상으로 하는 기판의 최종매가 모든 처리를 끝내고 상기 기판처리장치로부터 회수되는 시각을 가장 빠르게 하는 반송기의 각 동작의 실행시각을 산출하고, 상기 산출된 반송기의 각 동작의 실행시각이 되었을 때에 대응하는 반송기에 그 동작을 지령하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법이다.

또 본 발명의 바람직한 일 형태는 선형 계획법에 의거하여 상기 반송기의 각 동작의 실행시각을 산출하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법이다.

또 본 발명의 바람직한 일 형태는 상기 조건식에 의거하여 반송기의 각 동작의 실행시각의 해답이 얻어졌는지의 여부를 판단하여 상기 실행시각의 해답이 얻어지지 않았다고 판단되었을 경우에, 상기 기판처리장치 내에 동시에 존재하는 기판의 평균매수를 감소시키도록 상기 조건식을 수정하여 상기 실행시각의 산출을 재시행하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법이다.

이에 의하여 대상으로 하는 기판의 최종매가 모든 처리를 끝내고 상기 기판처리장치로부터 회수되는 시각을 가장 빠르게 하는 반송기의 각 동작의 실행시각을 스케줄링할 수 있으므로 기판처리장치의 스루풋을 최대로 할 수 있다.

또 번거로운 사전검토나 처리예정시간의 제약을 수반하는 일 없이, 반송기의 동작시각에 관련하여 설정된 제약조건을 만족하면서 대상으로 하는 기판의 최종매가 모든 처리를 끝내고 상기 기판처리장치로부터 회수되는 시각을 가장 빠르게 할 수 있어 공정처리상의 요구를 만족할 수 있음과 동시에, 기판처리장치의 스루풋을 최대로 할 수 있다.

또 본 발명의 바람직한 일 형태는, 상기 기판처리장치의 운전개시 후에 있어서 상기 반송기의 각 동작의 실행시각의 산출이 새롭게 필요한지의 여부를 판단하여 상기 실행시각의 산출이 새롭게 필요하다고 판단되었을 경우에 하나의 상정시각과 실행시각의 산출에 있어서 대상으로 하는 기판의 최종 기판을 결정하여 과거에 요구된 스케줄링결과로서 상기 결정된 상정시각 이전의 스케줄링결과를 유지하면서 상기 결정된 최종 기판까지의 기판을 대상으로 하여 새로이 실행시각을 산출하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법이다.

이에 의하여 연속운전 중의 각 기판의 처리예정시간이 순차 분할하여 얻어지는 경우에 있어서도 공정처리상의 제약을 만족하면서 스루풋을 근사적으로 최대로 할 수 있다.

또한 각 회의 스케줄링의 시행에 있어서, 계산 가능한 매수를 고려하여 스케줄링의 대상이 되는 추가 기판수를 추정할 수 있으므로, 비교적 처리능력이 낮은 컴퓨터로도 스케줄링을 행할 수 있다.

또한 본 발명의 바람직한 일 형태는 반송기가 각 동작을 하기 시작한 시각을 취득하고, 상기 취득된 시각과 과거에 구해진 스케줄링결과에 있어서의 실행시각과의 사이에 모순 또는 미리 정해진 범위 이상의 차이가 있는지의 여부를 판단하여 모순 또는 미리 정해진 범위 이상의 차가 있다고 판단되었을 경우에 그 모순 또는 미리 정해진 범위 이상의 차가 있다고 판단된 시점에 있어서 미실시 반송기의 각 동작의 실행시각을 보정하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법이다.

이에 의하여 반송기의 동작 또는 처리기기에 있어서의 기판처리에 예정으로부터의 지연이 생겼다고 하여도 공정처리상의 제약이나 스루풋에 대한 영향을 작게 억제하고, 또한 장래에 그 영향을 미치지 않고 기판처리장치를 운전하는 것이 가능하게 된다.

본 발명의 바람직한 일 형태는 상기 기판처리장치의 운전개시 후에 있어서, 기판처리장치에의 투입이 예정되어 있는 기판에 관한 조건의 변경을 검지하여, 상기 기판에 관한 조건의 변경이 검지된 경우에 상기조건이 변경된 기판 이후의 기판에 대한 반송기의 각 동작의 실행시각을 보정하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법이다.

이에 의하여 처리의 취소, 처리예정시간의 변경, 장치투입순서의 변경 등의 미투입 기판에 관한 조건의 변경이 있었을 경우에 있어서도, 이 변경에 유연하게 대응하여 기판처리장치를 운전하는 것이 가능하게 된다.

본 발명의 바람직한 일 형태는 1 이상의 기판에 대하여 상기 기판처리장치 내의 1 이상의 처리기기에 있어서의 처리가 생략되는 경우에 상기 1 이상의 기판이 상기 1 이상의 처리기기를 건너 뛰어 반송되도록 상기 반송기의 각 동작의 실행시각을 산출하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법이다.

이에 의하여 기판처리장치의 연속운전 중에 불필요한 처리기기종별을 건너 뛰어 기판을 반송할 수 있으므로, 복수의 처리기기종별을 목적에 따라 가려 쓸 수 있다. 따라서 대폭으로 스루풋을 향상할 수 있음과 동시에 다품종 소량생산에 대응한 유연한 운전이 가능하게 된다.

또 본 발명의 다른 형태는 기판처리장치 내에 설치된 복수의 처리기기 사이에 있어서의 반송기에 의한 기판의 반송을 제어하는 기판반송제어장치에 있어서, 상기반송기의 각 동작에 필요하게 되는 시간과 각 처리기기에 있어서의 기판에 대한 처리에 필요하게 되는 시간을 입력하는 입력장치와, 상기 입력장치에 의하여 입력된 시간을 파라미터로서 포함하는 소정의 조건식에 의거하여 대상으로 하는 기판의 최종매가 모든 처리를 끝내고 상기 기판처리장치로부터 회수되는 시각을 가장 빠르게 할 수 있는 반송기의 각 동작의 실행시각을 산출하는 스케줄 연산부와, 상기 스케줄 연산부에 의하여 산출된 반송기의 각 동작의 실행시각이 되었을 때에 대응하는 반송기에 상기 동작을 지령하는 동작지령부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송제어·장치이다.

또 본 발명의 바람직한 일 형태는 상기 스케줄 연산부는 선형 계획법에 의거하여 상기 반송기의 각 동작의 실행시각을 산출하는 것을 특징으로 하는 기판반송제어장치이다.

다시 본 발명의 바람직한 일 형태는 상기 스케줄 연산부에 의하여 반송기의 각 동작의 실행시각의 해답이 얻어졌는지의 여부를 판단하는 해답 판단부와, 상기 해답 판단부에 의하여 상기 실행시각의 해답이 얻어지지 않았다고 판단되었을 경우에, 상기 기판처리장치 내에 동시에 존재하는 기판의 평균 매수를 감소시키도록 상기 조건식을 수정하여 상기 스케줄 연산부에 의한 실행시각의 산출을 재시행하는 재시행부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송제어장치이다.

또 본 발명의 바람직한 일 형태는 상기 기판처리장치의 운전개시 후에 있어서 상기 스케줄 연산부에 의한 상기 반송기의 각 동작의 실행시각의 산출이 새롭게 필요한지의 여부를 판단하는 스케줄 판단부와, 상기 스케줄 판단부에 의하여 상기 실행시각의 산출이 새롭게 필요하다고 판단되었을 경우에 하나의 상정시각과 상기 스케줄 연산부에 의한 실행시각의 산출에 있어서 대상으로 하는 기판의 최종 기판을 결정하는 연산조건결정부를 구비하고, 상기 스케줄 연산부는 과거에 구해진 스케줄링결과로서 상기 연산조건결정부에 의하여 결정된 상정시각 이전의 스케줄링결과를 유지하면서 상기 연산조건결정부에 의하여 결정된 최종 기판까지의 기판을 대상으로 하여 새로이 실행시각을 산출하는 것을 특징으로 하는 기판반송제어장치이다.

또 본 발명의 바람직한 일 형태는 반송기가 각 동작을 하기 시작한 시각을 취득하는 실적시각 취득부와, 상기 실적시각 취득부에 의하여 취득된 시각과 과거에 구해진 스케줄링결과에 있어서의 실행시각과의 사이에 모순 또는 미리 정해진 범위 이상의 차가 있는지의 여부를 판단하는 재스케줄링 판단부와, 상기 재스케줄링 판단부에 의하여 모순 또는 미리 정해진 범위 이상의 차가 있다고 판단되었을 경우에, 상기 모순 또는 미리 정해진 범위 이상의 차가 있다고 판단된 시점에 있어서 미실시 반송기의 각 동작의 실행시각을 보정하는 보정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송제어장치이다.

다시 본 발명의 바람직한 일 형태는 상기 기판처리장치의 운전개시 후에 있어서 기판처리장치에의 투입이 예정되어 있는 기판에 관한 조건의 변경을 검지하는 조건변경 검지부와, 상기 조건변경 검지부에 의하여 상기 기판에 관한 조건의 변경이 검지된 경우에, 상기 조건이 변경된 기판 이후의 기판에 대한 반송기의 각 동작의 실행시각을 보정하는 보정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송제어장치이다.

또 본 발명의 바람직한 일 형태는 상기 스케줄연산부가 1 이상의 기판에 대하여 상기 기판처리장치 내의 1 이상의 처리기기에 있어서의 처리가 생략되는 경우에 상기 1 이상의 기판이 상기 1 이상의 처리기기를 건너 뛰어 반송되도록 상기 반송기의 각 동작의 실행시각을 산출하는 것을 특징으로 하는 기판반송제어장치이다.

본 발명의 또 다른 일 형태는 기판의 처리를 행하는 복수의 처리기기를 구비하고, 상기 처리기기 사이에 있어서 반송기에 의하여 기판을 반송하여 기판을 처리하는 기판처리장치에 있어서, 상기한 기판반송제어장치를 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리장치이다.

도 1은 본 발명에 관한 일 실시형태에 있어서의 반도체제조장치의 구성을 나타내는 모식도,

도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 하드웨어구성의 일 실시예를 나타내는 도,

도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 기판반송제어의 구성을 나타내는 블록도,

도 4는 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 기판반송제어의 순서를 나타내는 플로우차트,

도 5는 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서의 기판반송제어의 구성을 나타내는 블록도,

도 6은 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서의 기판반송제어의 순서를 나타내는 플로우차트,

도 7은 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서의 스케줄링의 대상으로 하는 시간 영역의 이미지를 나타내는 도,

도 8은 본 발명의 제 3 실시형태에 있어서의 기판반송제어의 구성을 나타내는 블록도,

도 9은 본 발명의 제 3 실시형태에 있어서의 스케줄 보정부에 있어서 행하여지는 처리의 순서를 나타내는 플로우차트,

도 10은 본 발명의 제 4 실시형태에 있어서의 기판반송제어의 구성을 나타내는 블록도,

도 11은 본 발명의 제 4 실시형태에 있어서의 스케줄 보정부에 있어서 행하여지는 처리의 순서를 나타내는 플로우차트,

도 12는 기판처리장치의 구성의 일례를 나타내는 도,

도 13은 도 12의 처리기기종별 사이에 있어서의 기판의 흐름의 일례를 나타내는 도,

도 14a 및 도 14b는 도 13에 있어서 스케줄링의 대상이 되는 기판의 순서를 나타내는 도,

도 15는 도 12의 처리기기종별 사이에 있어서의 기판의 흐름의 일례를 나타내는 도,

도 16a 및 도 16b는 도 15에 있어서 스케줄링의 대상이 되는 기판의 순서를 나타내는 도,

도 17은 기판처리장치의 구성의 일례를 나타내는 도,

도 18은 도 17의 처리기기종별 사이에 있어서의 기판의 흐름의 일례를 나타내는 도,

도 19a 내지 도 19c는 도 18에 있어서 스케줄링의 대상이 되는 기판의 순서를 나타내는 도,

도 20은 본 발명에 관한 기판반송장치가 조립된 기판처리장치의 전체구성을 나타내는 블록도,

도 21은 본 발명의 제 2 실시형태의 기판반송제어장치를 사용하여 반송기의 실행시각을 스케줄링한 경우에 있어서의 운전개시 직후의 스케줄링결과를 나타내는 도,

도 22는 본 발명의 제 2 실시형태의 기판반송제어장치를 사용하여 반송기의 실행시각을 스케줄링한 경우에 있어서의 운전개시로부터 일정시간 경과한 후의 스케줄링결과를 나타내는 도면이다.

이하, 본 발명에 관한 기판반송제어장치의 제 1 실시형태에 대하여 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명한다. 본 발명에 관한 기판반송제어장치는 기판처리장치 내에 설치된 복수의 처리기기 사이에 있어서의 기판의 반송을 제어하는 것이다. 또한 이하의 설명에 있어서는 본 발명에 관한 기판반송제어장치에 의하여 기판의 반송이 제어되는 기판처리장치가 반도체기판(웨이퍼)에 대하여 처리를 행하는 반도체제조장치인 경우에 대하여 설명하나, 본 발명은 이것에 한정하지 않고, 예를 들면 유리기판에 대하여 LCD 제조용 처리를 행하는 기판처리장치에 대해서도 적용할 수 있다.

도 1은 본 실시형태에 있어서의 반도체제조장치의 구성을 나타내는 모식도이 다. 도 1에 나타내는 바와 같이 본 발명에 관한 기판반송제어장치에 의하여 제어되는 반도체제조장치는 기판을 반송하는 반송기(1a 내지 1c), 기판이 장전되는 카세트 (2a, 2b), 기판의 수수에 사용하는 임시 탑재대(3a, 3b), 반전기(4), 수세건조기 (5a, 5b), 약액세정기(6a, 6b), 초벌세정기(7), 전처리 탱크(8a, 8b), 도금탱크(9a 내지 9d)를 구비하고 있다. 여기서 본 실시형태에 있어서는 공정처리를 행하는 5a 내지 9d 뿐만 아니라, 임시 탑재대(3a, 3b), 반전기(4)도 포함하여 처리기기로서 취급한다. 또 반도체제조장치를 예를 들면 성막처리를 행하는 CVD장치, 연마처리를 행하는 폴리싱장치 등의 여러가지의 장치로서 구성할 수도 있어, 이에 따라 처리기기도 여러가지의 기기로 할 수 있다.

카세트(2a 또는 2b)에 장전된 기판은 반송기(1a)에 의하여 장치 내에 투입되어 임시 탑재대(3a)로 반송된 후, 다시 반송기(1b)에 의하여 임시 탑재대(3b)로 반송된다. 다음에 기판은 반송기(1c)에 의하여 전처리 탱크(8a 또는 8b)로 반송되어 처리되어 반전된다. 그 후 반송기(1c)에 의하여 도금탱크(9a 내지 9d)로 반송되어 처리되고, 다시 초벌세정기(7)로 반송된다. 초벌세정을 마친 기판은 반송기(1b)에 의하여 약액세정기(6a 또는 6b)로 반송되어 처리되고, 다시 반전기(4)에 반송되어 반전된다. 기판은 제일 마지막으로 반송기(1a)에 의하여 수세건조기(5a 또는 5b)로 반송되고 처리되어 제일 먼저 장전되어 있던 카세트(2a 또는 2b)로 회수된다. 또한 기판은 단일의 기판뿐만 아니라, 지그에 의하여 연결되는 등에 의하여 일체화된 복수매의 기판세트이어도 좋다.

여기서 본 실시형태에 있어서는 반송기(1a 내지 1c)의 각 동작이 미리 정의 되어 있다. 예를 들면 반송기(1c)의 동작으로서는 임시 탑재대(3b)로 이동되어 기판을 수취하는 동작(C), 전처리 탱크(8a, 8b)로 반송하여 상기 기판을 인도하는 동작 (D), 전처리 탱크(8a, 8b)로 이동하여 전처리후의 기판을 수취하는 동작(E), 도금탱크(9a 내지 9d)로 반송하여 기판을 인도하는 동작(F), 도금탱크(9a 내지 9d)로 이동하여 도금처리후의 기판을 수취하여 초벌세정기로 이동하여 상기 기판을 인도하는 동작(G)이 정의되어 있다.

다음에 본 실시형태에 관한 기판반송제어장치에 대하여 설명한다. 도 2는 본 실시형태에 관한 기판반송제어장치의 하드웨어구성의 일 실시예를 나타내는 도, 도 3은 본 실시형태에 있어서의 기판반송제어장치의 구성을 나타내는 블록도이다.

도 2에 나타내는 바와 같이 기판반송제어장치(10)는 중앙처리장치(CPU)(11), 키보드, 마우스 등의 포인팅디바이스나 다른 컴퓨터내에 저장된 데이터를 판독하기 위한 통신장치 등의 입력장치(12) 및 기억장치로서의 ROM(13), 메모리(14), 하드디스크(15)를 포함하여 구성된다. 또 이 기판반송제어장치(10)는 입출력 인터페이스 (16)를 거쳐 상기 반도체제조장치의 반송기(1a 내지 1c)와 접속되어 있고, 상기 CPU(11)로부터의 신호가 입출력 인터페이스(16)를 거쳐 반도체제조장치의 반송기 (1a 내지 1c)로 보내짐으로써 상기 반송기(1a 내지 1c)가 제어된다.

ROM(13) 및 하드웨어 디스크(15)에는 OS(0perating System)와 협동하여 CPU (11) 등에 명령을 가하여 기판반송제어를 행하기 위한 컴퓨터프로그램의 코드가 저장되어 있다. 이 컴퓨터프로그램은 메모리(14)에 로드됨으로써 실행되어, CPU(11)와 협동하여 이하에 설명하는 기판반송제어를 행한다. 이와 같은 컴퓨터프로그램 과 CPU(11)와의 협동에 의하여 도 3에 나타내는 바와 같이, 뒤에서 설명하는 스케줄연산부(21), 해답 판단부(22), 타임테이블 작성부(23), 동작지령부(24), 재시행부 (25)가 구성된다. 또 하드디스크(15)[또는 메모리(14)]에는 뒤에서 설명하는 타임테이블 작성부(23)에 의하여 작성(갱신)되는 타임테이블(17)이 저장된다.

이하, 본 실시형태에 관한 기판반송제어장치(10)에 있어서의 기판반송제어의 순서에 대하여 설명한다. 도 4는 본 실시형태에 관한 기판반송제어장치(10)에 있어서의 기판반송제어의 순서를 나타내는 플로우차트이다.

먼저 기판처리장치의 운전개시에 앞서, 반도체제조장치의 반송기(1a 내지 1c)의 각 동작에 필요하게 되는 시간(이하, 동작 예정시간이라 함), 예를 들면 반송기(1a 내지 1c)가 처리기기로부터 기판을 수취하기 위하여 필요하게 되는 예정시간이나 반송기(1a 내지 1c)가 소정의 처리기기위치로부터 다른 처리기기위치로 이동하기위하여 필요하게 되는 예정시간 등을 입력한다(단계 1). 이 동작 예정시간의 입력은 상기 입력장치(12)를 거쳐 행하여진다.

또 처리기기(3a 내지 9d)에 있어서의 기판에 대한 처리에 필요하게 되는 시간 (이하, 처리 예정시간이라 함), 예를 들면 초벌세정기(7)에 있어서 기판을 세정하기위하여 예정되는 시간 등을 입력한다(단계 2). 이 처리 예정시간의 입력도 상기 입력장치(12)를 거쳐 행하여진다.

또한 이들 동작 예정시간 및 처리 예정시간을 입력하기 위한 입력장치는 키보드나 포인팅디바아스 등에 한정되는 것이 아니고, 예를 들면 상기 동작 예정시간이나 처리 예정시간을 미리 기억장치(14 또는 15)에 파일로서 저장하여 두고, 이 파일을 판독함으로써 동작 예정시간 및 처리 예정시간을 입력하는 것으로 하여도 좋고, 또 이와 같은 파일을 다른 컴퓨터에 보존하여 두고, 이것을 통신장치를 거쳐 판독함으로서 동작 예정시간 및 처리 예정시간을 입력하는 것으로 하여도 좋다. 동작 예정시간을 파일에 저장하는 경우에는 예를 들면 각 반송기에 접속된 컴퓨터에 의하여 실제로 반송기의 각 동작에 필요하게 되는 시간을 계측하여, 이 계측된 시간을 동작 예정시간으로서 파일에 저장하는 것으로 하여도 좋다. 또 이 경우에는 장치의 운전 중에 반송기의 각 동작에 필요하게 되는 시간을 계측하여 평균화 등의 처리를 행하여 상기 파일에 저장된 동작 예정시간을 갱신하면, 동작 예정시간의 정밀도를 향상시키거나, 경시변화에 대처시키거나 하는 것이 가능하게 된다.

다음에 스케줄연산부(21)에 의하여 대상으로 하는 기판의 최종매(최종 기판)가 모든 처리를 끝내고 반도체제조장치로부터 회수되는 시각을 가장 빠르게 하는 반송기(1a 내지 1c)의 각 동작의 동작시각(이하, 실행시각이라 함)이 도출된다(단계 3). 이 실행시각의 도출은 소정의 조건식을 만족하는 해답을 산출함으로써 행하나, 이 상세에 대해서는 뒤에서 설명한다.

여기서 상기 조건식을 만족하는 해답은 반드시 존재한다고는 한정되지 않고, 상기 스케줄연산부(21)에 의한 연산의 다음에 상기 조건식을 만족하는 해답이 얻어졌는지의 여부가 해답 판단부(22)에 의하여 판단된다(단계 4).

해답이 얻어졌다고 판단되었을 경우에는 타임테이블 작성부(23)가 이 실행시각에 의거한 타임테이블(17), 즉 상기 얻어진 실행시각과 이 실행시각이 되었을 때에 행하는 반송기의 동작을 대응시킨 테이블를 작성(갱신)하여, 상기 타임테이블(17)을 상기 하드디스크(15)내에 저장한다(단계 5).

그리고 반도체제조장치의 운전시에는 동작지령부(24)가 하드디스크(15)에 저장된 타임테이블(17)을 참조하여 반송기(1a 내지 1c)의 제어를 행한다. 즉 타임테이블(17)에 기술된 실행시각이 되었을 때에 대응하는 반송기의 동작을 입출력 인터페이스(16)를 거쳐 상기 반송기에 지령한다. 이에 의하여 대상으로 하는 기판의 최종매(장)가 모든 처리를 끝내어 반도체제조장치로부터 회수되는 시각이 가장 빠르게 된다. 또한 동작지령부(24)가 반송기(1a 내지 1c)에 동작을 지령할 때에는 그 반송기가 비동작 중일 것, 반송원의 처리기기에 있어서의 기판의 처리가 완료되어 있을 것, 및 반송지의 처리기기에 선행하는 기판이 존재하지 않고 리세트도 완료되어 있는 것을 확인한 다음에, 지령을 송신한다. 이들 조건이 만족되지 않은 경우에는 동작지령부(24)는 상기 조건이 만족될 때까지 기다리고 나서 지령을 송신한다.

한편, 해답 판단부(22)에 의하여 상기 조건식을 만족하는 해답이 얻어지지 않았다고 판단되었을 경우에는 재시행부(25)가 장치 내의 반송기 및 처리기기상에 동시에 존재하는 기판의 평균매수를 줄이도록, 즉 기판의 투입간격을 조정하여 상기 조건식을 수정하여 상기 단계 3 이후의 처리를 재시행한다(단계 6). 이 조건식의 수정은 반송기의 동작 예정시간과 처리기기에 있어서의 처리 예정시간을 0으로 한 가상적인 기판(이하, 빈 기판이라 함)을 적당한 간격으로 기판 사이에 삽입함으로써 행하여진다. 이 때 장치 내에 동시에 존재하는 기판의 매수가 줄어들면 반송기의 동작의 빈도가 작아져 반송기에 여유가 생기므로, 해답이 얻어질 확률이 증가한다. 재시행부 (25)에 의한 재시행후에도 해답이 얻어지지 않은 경우에는 다시 상기한 장치 내에 동시에 존재하는 기판의 평균 매수를 줄이도록 상기 조건식을 수정하는 것으로 하고, 극단적인 경우에는 선행하는 기판의 모든 처리가 종료하여 카세트(2a 또는 2b)에 회수되고 나서, 다음 기판이 장치 내에 투입되게 된다.

다음에 상기한 스케줄연산부(21)에 있어서의 조건식의 설정 및 실행시각의 도출을 구체예와 함께 설명한다. 또한 이하에 설명하는 조건식의 설정 및 실행시각의 도출은 일례이며, 다른 모든 방법을 사용하여 행할 수도 있다.

먼저, 반송기(1a 내지 1c)의 동작의 번호(동작번호)(k)를 기판이 반도체제조장치에 투입되고 나서 회수되기까지의 경로를 따라 순서대로 1, 2, 3, …, K라 정의한다. 또 반도체제조장치의 운전개시로부터 충분히 시간이 경과하여 반도체제조장치 내에 기판이 충분히 있어 정상적으로 운전되고 있는 상태를 상정하여 동작(k)에 관하여 대응하는 반송기의 다음에 실행되는 동작의 번호를 kp(k)로 표시한다. 다시 반도체제조장치의 운전개시시에는 1매째의 기판 전에, 또 운전종료시에는 최종 기판의 뒤에, 상기한 빈 기판이 적당 매수 존재한다고 가정하는 것으로 하고, 이들 빈 기판을 포함하여 카세트(2a 또는 2b)로부터 반도체제조장치로의 투입순으로 기판번호(n)를 정하는 것으로 하여 동작(k)으로부터 다음 동작[kp(k)]으로 옮길 때에 동작이 대상으로 하는 기판의 기판번호의 증가분을 np(k)로 나타낸다. 예를 들면 도 1에 나타내는 반도체제조장치에 대해서는 이하와 같이 정의한다.

반송기(1a)가 카세트(2a 또는 2b)에 장전된 기판을 임시 탑재대(3a)로 반송하는 동작(A)을 k = 1, 반송기(1b)가 임시 탑재대(3a) 위의 기판을 또 하나의 임시 탑재대(3b)로 반송하는 동작(B)을 k = 2, 반송기(1c)가 임시 탑재대(3b)로 이동하여 기판을 수취하는 동작(C)을 k = 3, 상기 수취한 기판을 전처리 탱크(8a 또는 8b)로 반송하여 인도하는 동작(D)을 k = 4, 전처리 탱크(8a 또는 8b)로 이동하여 기판을 수취하는 동작(E)을 k = 5, 상기 수취한 기판을 도금탱크(9a 내지 9d)로 반송하여 인도하는 동작(F)을 k = 6, 도금탱크(9a 내지 9d)로 이동하여 도금처리후의 기판을 수취하여 초벌세정기로 이동하여 상기 기판을 인도하는 동작(G)을 k = 7 등으로 정의한다.

또한 반도체제조장치의 운전개시로부터 충분히 시간이 경과하여 반도체제조장치 내에 기판이 충분히 있어 정상적으로 운전되고 있는 상태를 상정하여 반송기의 동작의 순서를 정하여 둔다. 예를 들면 반송기(1c)의 동작순서를 동작번호가 3 →5 →4 →6 →7 →3 →…이 되도록 주기적으로 정의한다. 이 경우에는,

kp (3) = 5

kp (4) = 6

kp (5) = 4

kp (6) = 7

kp (7) = 3

으로 나타낼 수 있다. 다시 동작(k)으로부터 다음 동작[kp(k)]으로 옮길 때의 기판번호의 증가분(np)도 아래와 같이 정하여 둔다. 또한 이 np는 처리기기(3a내지 9d)의 각 종별마다의 기기수를 고려하여 정해진다.

np (3) = -2

np (4) = -2

np (5) = +2

np (6) = -3

np (7) = +6

이 때 각 기판이 동일 종별내의 각 처리기기(예를 들면 8a 내지 8b, 9a 내지 9d)에 투입순·주기적으로 할당되는 것으로 하면, 이하에 나타내는 동작 예정시간이 일의적으로 정해진다. 이들 동작 예정시간은 상기한 입력장치(12)에 의하여 입력된 것, 또는 입력된 값을 기초로 반송기의 위치나 경로를 고려하여 계산에 의하여 구해지는 것이다.

M1 (k, n) : 반송기가 동작(k)의 직전위치로부터 기판(n)을 수취하기 전으로 이동하는 시간

G1 (k, n) : 반송기가 동작(k)하여 처리기기로부터 기판(n)을 수취하는 시간

M (k, n) : 반송기가 동작(k)하여 기판(n)을 유지하여 이동하는 시간

G2 (k, n) : 반송기가 동작(k)하여 처리기기에 기판(n)을 인도하는 시간

M2 (k, n) : 반송기가 동작(k)하여 기판(n)을 인도하고 나서 이동하는 시간

또한 이들의 동작 예정시간은 0이 되는 경우가 있다.

또 이들의 합계를 Tg (k, n)로 정의하여 둔다. 즉,

Tg (k, n) = M1 (k, n) + G1 (k, n)

+M (k, n) + G2 (k, n) + M2 (k, n)

으로 정의한다.

또 이하의 비마이너스의 변수를 정의한다.

xr (k, n) : 기판(n)에 대한 동작(k) 직전의 반송기의 중지시간

xw (k, n) : 기판(n)에 대한 동작(k) 직전의 처리기기상에서의 반송기의 대기시간

xf (k, n) : 기판(n)에 대한 동작(k)에 의하여 기판을 처리기기에 인도하기 직전의 상기 처리기기의 빈 시간

또한 xw (k, n)는 처리기기로부터의 기판 수취를 포함하는 동작에 대해서만 정의된다. 또 xf (k, n)는 처리기기로의 기판의 인도를 포함하는 동작에 대해서만 정의되나, 실용적으로는 반송기 사이의 기판의 수수에 사용되는 중계형 처리기기에 기판을 인도하는 동작에 한정하여도 좋다.

여기서 기판(n)에 대한 동작(k)의 개시시각을 t (k, n)로 나타내면 이하의 3식이 성립한다.

여기서 수학식 2 중의 P (k, n)는 동작번호(k)로 표시되는 동작후의 기판번호 (n)의 처리예정시간으로서, 상기 입력장치(12)에 의하여 입력된 것, 또는 입력된 값을 기초로 계산되는 것으로, 통상 기판별로 지정되는 도금, 세정 등의 처리 예정시간에 더하여 처리기기상에서 처리를 행하기에 앞서 실행되는 셔터폐쇄나 액채움 등의 전동작이나, 처리를 끝내고 나서 실행되는 액뽑기나 셔터개방 등의 후동작에 요하는 시간을 포함하는 것이다. 또 수학식 3 중의 U (k)는 동작(k)에서 기판을 인도하는 처리기기에 대한 종별내의 기기수를 나타낸다.

상기 수학식 1은 기판(n)에 대한 동작(k)의 다음에 동일한 반송기가 행하는 동작의 개시시각, 수학식 2는 기판(n)에 대하여 처리기기에서의 처리종료후 다음에 행하여지는 동작(k + 1)의 개시시각, 수학식 3은 반송기가 처리기기로부터 처리후의 기판을 수취한 후, 다음 기판(n)을 인도하는 동작의 개시시각을 각각 나타내고 있다.

상기한 수학식 1 내지 수학식 3은 T, Xr, Xw, Xf를 각각 t (k, n), xr (k, n), xw (k, n), xf (k, n)를 요소로 하는 열벡터, Rm, Wm, Fm을 적당한 행렬, Rv, Wv, Fv를 적당한 열벡터로 하여, 아래와 같이 변형할 수 있다.

여기서 상기 수학식 1a에 있어서 좌변의 벡터(T)에는 최종 기판(N)(빈 기판을 제외함)에 대한 회수동작의 개시시각을 나타내는 t (K, N)에 상당하는 요소가 있고, 우변의 벡터(RmXr)에 있어서 이것에 대응하는 요소가 최소가 되면, 대상으로 하는 기판의 최종매가 모든 처리를 끝내고 반도체제조장치로부터 회수되는 시각을 가장 빠르게 할 수 있다.

이 회수시각을 가장 빠르게 하는 조건은, c를 적당한 행벡터로 하여 이하와 같이 나타낼 수 있다.

cXr → 최소

그런데 상기 수학식 1a 내지 수학식 3a로 나타내는 반송동작이 물리적으로 성립하기 위한 조건은, 통상 Xr ≥O, Xw ≥O, Xf ≥O 이고, 이 부등식과 상기 수학 식 1a 내지 수학식 3a로부터 이하의 부등식을 유도할 수 있다.

여기서 소정의 처리기기에 있어서 반송기가 선행하는 기판을 수취하고 나서 다음 기판을 인도하기 시작하기까지에 일정한 시간을 요하는 경우에는 수학식 3b의 우변이 대응하는 요소에 이 시간을 더한다. 예를 들면 상기한 반전기(4)에 있어서는 반송기(1a)가 반전후의 기판을 수취한 후, 반전기구가 리세트되어 비로소 반송기 (1b)가 다음 기판을 인도할 수 있다. 이와 같은 경우에는 우변이 대응하는 요소에 리세트 소요시간을 더하는 것으로 한다.

또 수학식 1a에 나타내는 바와 같이 모든 동작 개시시각은 Xr의 1차식으로 표시되기 때문에 임의의 동작시각에 관련되는 1차의 제약조건은 Xr 에 관한 1차 부등식으로 표시할 수 있다. 예를 들면 제약조건으로서 동작(kO)에 있어서 직전의 처리종료후의 임의의 기판을 즉시 수취하는 것, 즉 xw(kO, n) = O 인 것을 조건으로 한다면 상기 수학식 2a에 있어서 k0에 해당하는 행을 꺼내어 이하의 1차 부등식 으로 나타낼 수 있다.

또한 기판(nO)에 대하여 동작(kO)에서 직전의 처리기기로부터 기판을 수취하고 나서 동작(k0+1)에서 다음의 처리기기로 인도하기까지의 시간에 상한의 제약조건을 마련하는 경우에도 동일한 형식의 부등식을 유도할 수 있다. 또 마찬가지로 임의의 2개의 동작의 개시시각 사이에 하한의 제약조건을 마련할 수도 있고, 이에 의하여 반송기에 어느 정도 여유를 가진 스케줄을 행하는 것이 가능하다. 다시 동작 (k)에 의하여 처리기기에 기판(n)을 인도하고 나서 실제로 처리를 개시하기까지의 처리전의 대기시간을 xww(k, n)로 정의하고, 상기한 변수벡터(Xr)에 포함시키도록 정식화하는 것도 가능하다. 이 경우에는 xw (k+1, n)에 관한 상한의 제약조건을 만족할 확률을 올릴 수 있다.

이상으로부터 수학식 1b 내지 수학식 3b 및 수학식 5는 A를 적당한 행렬, b를 적당한 열벡터로 하면 이하의 식으로 나타낼 수 있다.

따라서 최종 기판의 회수시각을 가장 빠르게 하기 위해서는 수학식 6 하에서 수학식 4의 최소값을 구하는 것이 필요하게 되나, 이와 같은 Xr의 해답은 선형 계획법의 문제로서 풀 수 있다. 이 해답(Xr)이 얻어지면 최종 기판의 회수시각을 가 장 빠르게 하는 각 동작의 실행시각을 수학식 1a로부터 얻을 수 있고, 이것에 의거하여 상기한 타임테이블를 작성(갱신)할 수 있다.

다음에 본 발명에 관한 기판반송제어장치의 제 2 실시형태에 대하여 도 5 내지 도 7을 참조하여 설명한다. 도 5는 본 실시형태에 있어서의 기판반송제어장치 (10)의 구성을 나타내는 블록도, 도 6은 본 실시형태에 관한 기판반송제어장치(10)에 있어서의 기판반송제어의 순서를 나타내는 플로우차트, 도 7은 본 실시형태에 있어서의 스케줄링의 대상으로 하는 시간영역의 이미지를 나타내는 도면이다.

반도체제조장치를 장시간 연속하여 운전하는 경우에는 각 기판에 대한 처리 예정시간이 사전에 주어지는 경우뿐이라고는 한정하지 않고, 운전 중에 예를 들면 새로운 카세트를 장착할 때마다 카세트내의 미처리 기판에 대한 처리 예정시간을 주어 제어를 행하는 것이 생각된다. 본 실시형태의 기판반송제어장치는 이와 같은 경우에도 대응할 수 있다.

즉, 본 실시형태에 있어서의 기판반송제어장치(10)는 도 7에 나타내는 스케줄링대상 시간영역을 반도체제조장치의 운전 중에 뒤쪽으로 이동시키면서 순차 스케줄링을 반복하여 각 스케줄링의 결과를 모순없이 보충하여 제어를 행하는 것이다.

본 실시형태에 있어서의 기판반송제어장치(10)는 도 5에 나타내는 바와 같이 하드디스크(15)내에 연산시간테이블(18)이 저장되고, 또 기억장치(13 내지 15)에 저장된 컴퓨터프로그램과 CPU(11)와의 협동에 의하여 스케줄판단부(31), 연산조건결정부(32), 스케줄연산부(33), 해답 판단부(34), 타임테이블 작성부(35), 동작지 령부 (36), 재시행부(37)가 구성된다.

이하, 본 실시형태에 관한 기판반송제어장치에 있어서의 기판반송제어의 순서에 대하여 설명한다.

먼저, 상기한 제 1 실시형태와 마찬가지로 입력장치(12)에 의하여 동작 예정시간이 입력되고(단계 21), 다시 입력장치(12)에 의하여 처리 예정시간이 입력된다 (단계 22). 본 실시형태에서는 입력장치에 의하여 입력된 데이터를 일단 기억장치 (14 또는 15)에 저장하여, 이것을 판독함으로써 동작 예정시간 및 처리 예정시간의 입력이 행하여진다.

이들 동작 예정시간 및 처리 예정시간이 입력되면 스케줄판단부(31)가 새로운 스케줄링이 필요한지의 여부를 판단한다(단계 23). 즉 처리 예정시간이 입력되어 있는 것에 스케줄링이 아직 이루어져 있지 않은 기판이 없는지를 검사한다.

이 스케줄판단부(31)에 의하여 스케줄링이 이루어져 있지 않은 기판이 없는 즉, 새로운 스케줄링이 필요없다고 판단되었을 경우에는 다시 단계(22)로 되돌아가, 처리 예정시간이 입력되는 것을 기다린다.

한편, 스케줄판단부(31)에 의하여 스케줄링이 이루어져 있지 않은 기판이 있다고 판단되었을 경우에는 연산조건 결정부(32)에 의하여 현시점 이후의 하나의 상정시각과, 스케줄링연산의 대상으로 하는 최종 기판(빈 기판을 제외함)이 결정된다 (단계 24). 최종 기판은 이미 스케줄링이 끝난 기판에 더하여 새로이 스케줄링연산의 대상으로서 추가되는 기판의 최종매로서, 빈 기판은 아닌 것으로 한다.

이 상정시각과 최종 기판은 도 7에 나타내는 바와 같이 과거에 도출된 스케 줄링결과에 있어서, 최종 비지 않은 기판(빈 기판이 아닌 것을 말함)이 반도체제조장치에 투입되고 나서 최초로 빈 기판을 포함하는 기판이 카세트(2a 또는 2b)에 회수되는 시각을 상정시각으로 하여 현시점으로부터 상정시각까지 사이에 여유를 가지고 스케줄링 연산을 완료할 수 있는 범위의 추가 기판의 매수를 추정하여, 최종 기판을 결정한다. 추가 기판의 매수의 추정은 스케줄링은 아직 이루어져 있지 않으나 처리예정시간이 입력되어 있는 기판의 매수의 범위내에서 행하여진다. 또 정(+)의 추가기판 매수가 얻어지지 않은 경우에는 상정시각을 다음의 스케줄링이 끝난 기판의 회수시각에 어긋나게 구해진다. 이와 같이 하면 도 7에 나타내는 바와 같이 상기 상정시각으로부터 상기 최종 기판이 회수되는 시각까지의 사이가 개략의 스케줄링대상 시간영역이 된다.

여기서 추가한 기판의 매수에 대하여 스케줄링 연산에 필요한 시간의 평균치가 연산시간 테이블(18)로서 하드디스크(15)내에 보존되어 있어, 연산조건결정부 (32)는 이 연산시간테이블(18)에 보존된 연산의 소요시간을 고려하여 적절한 추가 기판매수의 추정을 행한다.

이 새로운 스케줄링에 의한 최종 기판의 회수시각은 모든 기판의 처리 예정시간이 사전에 주어져 있는 경우에 실현되는 참된 가장 빠른 값(가장 빠른 시각)에 비하여 통상 늦어지나, 각 회의 스케줄링에 있어서 추가하는 기판의 매수를 어느 정도 크게 잡으면, 근사적으로 참된 가장 빠른 값에 가깝게 할 수 있다.

연산조건결정부(32)에 의하여 상정시각과 스케줄링연산의 대상이 되는 최종 기판이 결정되면 다음에 스케줄연산부(33)는 상기한 추가 기판을 추가한 후의 조건 식에 의거하여 상기 스케줄링대상 시간영역내에 있어서의 반송기의 각 동작의 실행시각을 도출한다(단계 25).

이 경우에 있어서 과거에 도출된 스케줄링결과 중, 실행시각이 상정시각보다 뒤의 동작번호와 기판번호의 세트를 참조함으로써 각 동작(k)에 대하여 착안하는 기판번호의 하한을 구한다. 또는 반송기의 동작순서로부터 처리 예정시간이나 동작 예정시간에 의해서는 상정시각보다 뒤에 일어날 수 있는 동작을 구하여 기판번호의 하한을 정하여도 좋다. 이와 같이 하면 과거의 스케줄링결과에 있어서 상정시각 이전의 많은 동작의 실행시각은 유지되나, 상정시각 부근에는 실행시각이 유지되지 않은 동작이 생기는 경우도 있다.

또 상기한 스케줄링연산의 대상이 되는 최종 기판의 카세트로의 회수동작의 개시시각보다도 전에 일어날 수 있는 동작을 구하여 기판번호의 상한을 정한다. 여기서 최종 기판 이후의 기판에 관해서는 동작시간과 처리시간이 0인 빈 기판이 존재한다고 가정한다.

이와 같이 하여 정해진 기판번호의 하한과 상한에 의거하여 상기한 미지의 열벡터(T, Xr) 등이 구성되어 스케줄링연산이 행하여진다. 그리고 각 회의 스케줄링연산에 있어서, 연산에 실제로 필요한 시간에 의거하여 상기 연산시간테이블(18)에 보존된 연산의 소요시간의 평균값이 갱신된다.

또한 연속 운전개시시에는 스케줄링의 즉응성을 특히 중시하기 때문에 선두의 1매째의 기판에 대하여, 수학식 1 내지 수학식 3이 성립하는 최소값으로서 k = 1, 2, …, K의 순으로 동작시각을 구한다. 장치 내에서 처리되는 기판이 1매인 경우, 이와 같이 하면 상기 기판의 회수시각은 가장 빨라진다. 또 처리 예정시간이나 동작 예정시간이 극단적인 값을 취하지 않는 한, 기판은 각 처리기기(3a 내지 9d)에서 처리된 후, 즉시 반송기(1a 내지 1c)에 의하여 다음의 처리기기에 반송된다. 따라서 주어진 제약조건을 만족하는 최적 해답이 구해지게 된다.

스케줄연산부(33)에 의한 처리후에 제 1 실시형태와 마찬가지로 해답 판단부 (34)에 의하여 실행시각의 해답이 얻어졌는지의 여부가 판단되고(단계 26), 실행시각의 해답이 얻어진 경우는 타임테이블 작성부(35)에 의하여 타임테이블이 작성(갱신)된다(단계 27). 타임테이블이 작성(갱신)된 후는 상기 단계(22)로 되돌아가 이후의 단계를 반복한다.

동작지령부(36)는 제 1 실시형태와 마찬가지로 하드디스크(15)에 저장된 타임테이블(17)을 참조함으로써 반송기(1a 내지 1c)의 제어를 행한다.

한편, 실행시각의 해답이 얻어지지 않았다고 해답 판단부(34)에 의하여 판단되었을 경우에는 제 1 실시형태와 마찬가지로 재시행부(37)에 의하여 빈 기판이 각 기판 사이에 삽입되나(단계 28), 이와 같은 경우에는 상기 연산조건결정부(32)는 이 삽입되는 빈 기판도 고려하여 비지 않은 추가 기판이 존재하도록 상정시각과 스케줄링연산의 대상이 되는 최종 기판을 결정한다.

또한 본 실시형태에 있어서는 새로운 스케줄링으로 구해지는 반송기의 동작의 실행시각이 상정시각보다도 전(前)이 되는 경우가 있으므로, 상기한 추가 기판 매수의 추정에 있어서 안전율을 조금 크게 설정하여 상정시각보다 짜르게 스케줄링연산을 끝내어 동작지령부(36)에 의한 반송기에의 동작지령을 행할 수 있도록 할 필요가 있다.

다음에 본 발명에 관한 기판반송제어장치의 제 3 실시형태에 대하여 도 8 및 도 9를 참조하여 설명한다. 도 8은 본 실시형태에 있어서의 기판반송제어장치(10)의 구성을 나타내는 블록도이다.

본 실시형태에 있어서의 기판반송제어장치(10)는 도 8에 나타내는 바와 같이 스케줄링부(40), 스케줄 보정부(50) 및 동작지령부(60)를 구비하고, 하드디스크 (15)에는 경과 데이터파일(19)이 저장된다. 동작지령부(60)는 상기한 제 2 실시형태에 있어서의 동작지령부(36)에 상당하는 것이다.

스케줄링부(40)는 상기 제 2 실시형태에 있어서의 스케줄판단부, 연산조건결정부, 스케줄연산부, 해답 판단부, 타임테이블 작성부, 재시행부로 구성된다. 또 스케줄보정부(50)는 실적시각 취득부(51), 재스케줄링 판단부(52), 무효화부(53), 경과데이터 취득부(54), 보정부(55), 유효화부(56)로 구성된다. 이들 스케줄링부 (40)와 스케줄보정부(50)는 함께 기억장치(13 내지 15)에 저장된 컴퓨터프로그램과 CPU(11)의 협동에 의하여 실현되는 것이다.

이하, 본 실시형태에 관한 기판반송제어장치(10)에 있어서의 기판반송제어의 순서에 대하여 설명한다. 도 9는 본 실시형태에 있어서의 스케줄보정부(50)에 있어서 행하여지는 처리의 순서를 나타내는 플로우차트이다.

스케줄링부(4O)에 있어서의 기본적인 처리의 흐름은, 상기한 제 2 실시형태에서 설명한 처리와 동일하나, 동작 예정시간, 처리 예정시간 등의 조건데이터와, 상기한 t (k, n), xr (k, n) 및 스케줄링이 끝난 최종 기판번호 등의 스케줄링결과 의 데이터를 경과데이터 파일(19)로서 스케줄보정부(50)와의 사이에서 모순없이 공유하여 갱신하는 점이 제 2 실시형태와 다르다.

즉, 운전개시시에 입력장치(12)에 의하여 각 반송기 하나하나의 동작 예정시간이 입력되고, 이 동작 예정시간이 경과데이터 파일(19)로서 메모리(14) 또는 하드디스크(15)내에 저장된다. 또 연속운전개시 이후에 있어서, 입력장치(12)에 의하여 각 기판에 대한 각 처리기기의 종별마다의 처리 예정시간이 입력되면, 이 처리 예정시간도 경과데이터 파일(19)로서 메모리(14) 또는 하드디스크(15)내에 축적된다. 그 후, 스케줄보정부(50)에 의한 반송기의 각 동작의 실행시각의 보정결과를 반영하기 위하여 경과데이터 파일(19)을 판독하고, 이것을 기초로 타임테이블 작성부에 의한 타임테이블(17)의 작성(갱신)까지의 단계가 실행되어, 결과가 경과데이터 파일 (19)에 축적된다. 경과데이터 파일(19)에 축적된 데이터는 예를 들면 각 시점에서 실제로 모든 처리를 끝내고 카세트로 회수된 기판의 번호 등을 참조하여, 오래되어 불필요하게 된 것부터 차례로 소거한다.

또한 스케줄판단부에 의한 새로운 스케줄링연산의 필요성의 판단 및 연산조건결정부에 의한 최종 기판의 결정에 있어서는, 경과데이터 파일(19)의 기억용량이나 시각보정의 발생빈도 등을 고려하여 스케줄링연산의 대상이 되는 기판의 범위에 제약을 설치하여도 좋다.

그런데 본 실시형태에서는, 상기 스케줄링부(40)의 처리와는 독립하여 이하에 설명하는 처리가 스케줄보정부(50)에 있어서 행하여진다.

먼저, 실적시각 취득부(51)는 상기 입출력 인터페이스(16)를 거쳐 반송기(1a 내지 1c)가 실제로 각 동작을 하기 시작한 시각(이하, 실적시각이라 함)을 취득한다 (단계 41). 다음에 재스케줄링 판단부(52)가 상기 실적시각 취득부(51)에 의하여 취득된 실적시각과, 상기 스케줄링부(40)의 스케줄연산부에 있어서 과거에 스케줄링되어 타임테이블(17)에 기술된 실행시각과의 차를 구하여, 이 차가 미리 정해진 허용범위를 초과하는 것인지의 여부를 판단한다(단계 42).

상기 지연시간이 소정 허용범위를 초과하지 않는다고 판단되었을 경우에는 다시 실적시각의 취득이 행하여지고(단계 41), 한편 이 허용범위를 초과하였다고 판단되었을 경우에는 타임테이블(17)에 기술된 실행시각의 보정이 필요하게 된다. 따라서 이하에 설명하는 처리가 행하여진다(단계 43 내지 단계 47). 또한 상기 재스케줄링 판단부(52)에 있어서 실적시각과 타임테이블(17)에 기술된 실행시각과의 관계로 동작에 모순이 생겼는지의 여부를 판단하는 것으로 하여도 좋다. 예를 들면 하나의 반송기의 동작이 지연되어 실제로 중계형의 처리기기에 기판을 인도하기 전에 다른 반송기가 상기 처리기기로부터 상기 기판을 수취하도록 스케줄링되어 있다고 하면, 모순이 생기고 있으므로, 이 경우에 실행시각의 보정을 하는 것으로 하여도 좋다.

또 실적시각 취득부(51)에 의한 실적시각의 취득에 있어서, 각 반송기가 각 동작을 하기 시작한 시각에 더하여, 각 동작의 진척을 나타내는 데이터, 예를 들면 반송원이나 반송지의 처리기기로의 이동 및 기판의 수취나 인도의 종료 등의 시각이나, 처리기기에 있어서의 처리의 종료 등의 시각을 취득하면 더욱 세밀한 실행시각의 보정을 행할 수 있다.

단계(43 내지 47)의 처리는, 먼저 무효화부(53)가 상기 스케줄링부(40)에서의 처리를 무효화 또는 정지하고(단계 43), 경과데이터 취득부(54)가 경과데이터 파일 (19)을 참조하여 상기 경과데이터를 취득한다(단계 44).

다음에 보정부(55)가 이 경과데이터와 실적시각 입력부(51)에 의하여 입력된 실적시각에 의거하여 반도체제조장치 내의 반송기상 및 처리기기상에 있는 기판 및 반도체제조장치에 투입전의 선두의 1매의 기판(모두 빈 기판을 포함함)에 관하여 현시점에 있어서 미실시 동작에 대하여 상기 수학식 1 내지 수학식 3을 만족하고, 또한 과거에 스케줄링된 시각을 밑돌지 않는 최소값으로서 새로운(보정된) 실행시각을 산출한다(단계 45). 이때 스케줄링이 끝난 최종 기판은 상기한 반도체제조장치에 투입하기 전의 선두 1매의 기판이 되어 계산의 편의상, 그 후에 적당 매수의 빈 기판이 삽입된다. 그리고 보정부(55)는 이 보정된 실행시각에 의거하여 상기 타임테이블(17)과 경과데이터 파일(19)을 갱신한다(단계 46).

또한 상기 새로운 실행시각의 산출에 있어서는 간단하게 하기 위하여 과거에 스케줄링된 시각을 최신의 실적시각의 지연에 맞추어 일률 뒤쪽으로 이동하는 것으로 하여도 좋다. 또 반송기가 반송원의 처리기기로부터 기판을 다 수취하는 시각 또는 반송지의 처리기기에 기판의 인도가 끝나는 시각을 대상으로 하여 과거의 스케줄링결과와의 비교를 행하는 것으로 하여도 좋다.

그 후 유효화부(56)가 상기 무효화부(53)에 의하여 무효화 또는 정지된 스케줄링부(40)에 있어서의 처리를 다시 유효화 또는 재시동한다(단계 47). 이 유효화 또는 재시동후, 스케줄링부(40)에 있어서는 상기 갱신된 경과데이터 파일(19)의 내 용에 의거하여 처리가 행하여진다.

또한 반송기의 하나의 동작이 예정보다도 지연된 경우에는 고려한 반송기의 동작시각에 관련되는 제약조건은 반드시 만족되지 않게 되나, 재스케줄링 판단부 (52)에 있어서의 지연의 기준을 적절하게 설정함으로써, 제약조건으로부터의 일탈을 무시할 수 있는 레벨로까지 작게 할 수 있다. 또 스케줄링부(40)에 있어서의 처리를 유효화 또는 재시동후는 그 후의 기판에 대하여 선형 계획법에 의하여 제약조건을 고려한 최적값을 구할 수 있어, 장래에 대한 시간지연의 영향을 해소할 수 있다.

다음에 본 발명에 관한 기판반송제어장치의 제 4 실시형태에 대하여 도 10 및 도 11을 참조하여 설명한다. 도 10은 본 실시형태에 있어서의 기판반송제어장치 (10)의 구성을 나타내는 블록도이다.

본 실시형태에 있어서의 기판반송제어장치(10)는 도 10에 나타내는 바와 같이 스케줄링부(40), 스케줄보정부(70) 및 동작지령부(60)를 구비하고, 하드디스크(15)에는 경과데이터 파일(19)이 저장되어 있다. 이들 스케줄링부(40)와 스케줄보정부 (70)는 모두 기억장치(13 내지 15)에 저장된 컴퓨터프로그램과 CPU(11)와의 협동에 의하여 실현되는 것이다. 본 실시형태에 있어서의 스케줄보정부(70)는 조건변경 검지부(71), 무효화부(72), 경과데이터 취득부(73), 처리 예정시간 갱신부(74), 보정부(75), 유효화부(76)로 구성된다.

스케줄링부(40)에 있어서의 처리의 흐름은 상기한 제 2 및 제 3 실시형태에서 설명한 처리와 동일하나, 스케줄보정부(70)에 있어서 행하여지는 처리가 제 3 실시형태에 있어서의 스케줄보정부(50)와 다르다. 이하, 본 실시형태의 스케줄보정부 (70)에 있어서 행하여지는 처리에 대하여 설명한다. 또한 이 스케줄보정부(70)에 있어서 행하여지는 처리는 스케줄링부(40)의 처리와 독립하여 행하여진다. 도 11은 본 실시형태에 있어서의 스케줄보정부(70)에 있어서 행하여지는 처리의 순서를 나타내는 플로우차트이다.

먼저, 조건변경검지부(71)는 운전개시 후에 있어서, 장치에의 투입이 예정되어 있는 기판(이하, 미투입 기판이라 함)에 관한 조건의 변경, 예를 들면 장치투입예정의 취소, 처리 예정시간의 변경이나 장치투입순서의 변경 등의 유무를 입력장치 (12)를 거쳐 검지한다(단계 51). 조건변경검지부(71)에 의하여 미투입 기판에 관한 조건의 변경이 검지된 경우에는 타임테이블(17)에 기술된 실행시각의 보정이 필요하게 되기 때문에 이하에 설명하는 처리가 행하여진다.

먼저, 무효화부(72)가 상기 스케줄링부(40)에서의 처리를 무효화 또는 정지하고(단계 52), 경과데이터 취득부(73)가 경과데이터파일(19)을 참조하여 상기 경과데이터를 취득한다(단계 53). 그리고 처리예정시간 갱신부(74)가 상기한 미투입 기판에 관한 조건의 변경(장치투입 예정의 취소, 처리 예정시간의 변경이나 장치투입순서의 변경 등)을 참조하여 상기 경과데이터의 일부로서 과거에 축적된 처리 예정시간에 관한 데이터를 갱신한다(단계(54)). 여기서 조건변경후의 미투입 기판에 대해서는 새로이 투입순서가 설정되고, 이 투입순서에 의거하여 처리 예정시간이 갱신된다. 또 반송에 관한 제약조건이 하나하나의 기판에 대하여 지정되어 있는 경우에는 이 제약조건에 대해서도 동일하게 갱신된다.

다음에 단계(54)에서 처리 예정시간이 갱신된 선두의 기판에 대하여 과거에 있어서 이미 스케줄링이 행하여지고 있었던 경우에 보정부(75)가 경과데이터내의 과거의 스케줄링결과로부터 그 기판 이후의 스케줄링결과를 취소하고, 적당 매수의 빈 기판을 삽입한다. 그리고 상기 수학식 1 내지 수학식 3을 만족시키고, 또한 과거에 스케줄링된 시각을 밑돌지 않는 최소값으로서 새로운(보정된) 실행시각을 산출한다 (단계(55)). 이 때 스케줄링이 끝난 최종 기판은 스텝 54에 있어서 처리 예정시간이 변경되지 않았던 최종 기판이 된다. 그리고 보정부(75)는 이 보정된 실행시각 에 의거하여 상기 타임테이블(17)과 경과데이터파일(19)을 갱신한다(단계 56). 또한 단계(55)에 있어서는 반송기가 반송원의 처리기기로부터 기판의 수취가 끝나는 시각 또는 반송지의 처리기기에 기판을 다 인도하는 시각을 대상으로 하여 과거의 스케줄링결과와의 비교를 행하는 것으로 하여도 좋다.

그 후, 유효화부(76)가 상기 무효화부(72)에 의하여 무효화 또는 정지된 스케줄링부(4O)에 있어서의 처리를 다시 유효화 또는 재시동한다(단계 57). 이 유효화 또는 재시동후, 스케줄링부(40)에 있어서는 상기 갱신된 경과데이터파일(19)의 내용 에 의거하여 처리가 행하여진다. 이 결과, 상기 단계(54)에서 처리 예정시간이 변경된 선두의 기판 이후의 기판에 대해서도 변경후의 처리 예정시간에 의거하여 동작의 실행시각을 다시 산출해낼 수 있다. 이와 같이 처리의 취소, 처리 예정시간의 변경, 장치투입순서의 변경 등의 미투입 기판에 관한 조건의 변경이 있었을 경우에 있어서도 이 변경에 유연하게 대응하여 기판처리장치를 운전하는 것이 가능하게 된다.

또한 본 실시형태에 있어서의 스케줄보정부(70)와 상기한 제 3 실시형태의 스케줄보정부(50)를 동시에 기능하도록 구성하는 것으로 하여도 좋다.

상기한 바와 같이 상기 각 실시형태에 있어서의 스케줄연산부에서는 대상으로 하는 기판의 최종매가 모든 처리를 끝내어 반도체제조장치로부터 회수되는 시각을 가장 빠르게 하는 반송기의 각 동작의 실행시각이 도출된다. 본 발명에서는 특정한 기판에 대하여 소정의 처리기기에 있어서의 처리를 생략하도록 지정한 경우에 있어서도 이 기판이 지정된 처리기기를 건너 뛰어 반송되도록 반송기의 각 동작의 실행시각을 산출하는 것이 가능하다. 이와 같은 처리의 생략은 예를 들면 소정의 처리기기에 있어서의 특정 기판에 대한 처리 예정시간을 0으로 함으로써 지정할 수 있다.

이와 같이 처리기기를 건너 뛰어 기판을 반송하는 경우에는 건너 뛰는 처리기기의 바로 앞에 있어서, 또한 대상으로 하는 기판의 바로 앞에 적당 매수의 빈 기판이 삽입된다. 그리고 이 삽입된 빈 기판을 전제로 하여 상기한 선형 계획법에 의거하는 계산에 의하여 실행시각이 산출된다. 이와 같이 적당 매수의 빈 기판을 삽입함으로써 처리기기를 건너 뛰어 기판을 반송하는 것이 가능하게 된다. 이하 이와 같은 빈 기판의 삽입에 대하여 설명한다.

먼저, 도 12에 나타내는 바와 같이 기판처리장치 내에 처리기기종별(S1 내지 S3)이 설치되어 있는 경우를 예로 하여 생각한다. 처리기기종별(S1 내지 S3)에 대한 기판의 인도를 포함하는 동작(k-1, k, k+1)은 동일한 반송기에 의하여 행하여지는 것으로 하고, 기판(A, B, C, D)이 이 순서로 기판처리장치 내에 투입되어 반송, 처리되는 것으로 한다.

여기서 기판(B 및 C)에 관하여 처리기기종별(S2)에 있어서의 처리 예정시간이 0으로 지정되고, 기판(B 및 C)이 처리 기기종별(S2)에 있어서의 처리를 건너 뛰어 반송되는 경우를 생각한다. 또한 도 13 및 뒤에서 설명하는 도 15는 도 12의 처리기기종별 사이에 있어서의 기판의 흐름의 예를 나타내고 있고, 아래쪽을 향하여 시간축이 취해져 있다.

1) 정상운전시의 반송기의 동작순서가 k+1, k, k-1이고, 동작번호와 기판번호의 세트로 나타내면 [k+1, 2] , [k, 4], [k-1, 5], [k+1, 3], [k, 5], [k-1, 6]이라는 순서로 반송기가 동작하는 경우(도 13)

이 경우에는 도 14a에 나타내는 바와 같이 기판(B)의 바로 앞에 처리기기종별 (S2)의 기기수(2)에 상당하는 매수, 즉 2매의 빈 기판②와 ③을 삽입한다. 그리고 빈 기판(2)에 대한 동작[k+1, 2]에 있어서의 반송원의 처리기기종별이 S2로부터 S1으로 치환됨과 동시에, 처리기기종별(S1)로부터의 기판[B(④)]의 수취를 포함하는 동작, 즉 건너 뜀이 없다고 하였을 경우에 있어서의 동작[k, 4]에 선행하여 상기 동작 [k+1, 2]이 행하여진다. 이에 의하여 도 13에 있어서 점선으로 나타내는 바와 같이 기판(B)이 처리기기종별(S1)로부터 처리기기종별(S3)로 반송된다. 이와 같이 하면 이 동작[k+1, 2]은 기판[C(⑤)]의 처리기기종별(S1)로의 인도를 포함하는 동작[k-1, 5]을 저해하지 않는다. 동작[k, 4]은 빈 기판에 대한 동작, 즉 동작시간(0)의 실체가 없는 동작으로서 취급된다.

또 마찬가지로 빈 기판(3)에 대한 동작[k+1, 3]에 있어서의 반송원의 처리기 기종별이 S2로부터 S1로 치환됨과 동시에, 기판[D(⑥]의 처리기기종별(S1)에의 인도를 포함하는 동작[k-1, 6]을 저해하지 않도록 이 동작[k+1, 3]이 처리기기종별(S1)로부터의 기판[C(⑤]의 수취를 포함하는 동작[k, 5]에 선행하여 행하여진다. 이에 의하여 도 13에 있어서 점선으로 나타내는 바와 같이 기판(C)이 처리기기종별(S1)로부터 처리기기종별(S3)로 반송된다. 동작[k, 5]도 실체가 없는 동작으로서 취급된다.

또한 이와 같은 동작을 행함으로써, 기판(B, C)의 앞에 있었던 빈 기판은 동작[k+1, 3]의 다음에는 도 14b에 나타내는 바와 같이 기판(B, C)의 뒤쪽으로 이동하게 된다.

2) 정상운전시의 이 반송기의 동작순서가 k, k+1, k-1이고, 동작번호와 기판번호의 세트로 나타내면 [k, 3], [k+1, 2], [k-1, 4], [k, 4], [k+1, 3], [k-1, 5]이라는 순서로 반송기가 동작하는 경우(도 15)

이 경우에는 도 16a에 나타내는 바와 같이 기판(B)의 바로 앞에 처리기기종별 (S2)의 기기수 2에서 1을 뺀 매수, 즉 1매의 빈 기판(2)을 삽입한다. 그리고 기판[B(③)]의 처리기기종별(S1)로부터의 수취를 포함하는 동작[k, 3]을 빈 기판에 대한 동작으로서 취급하고, 다음 동작 즉, 빈 기판(2)에 대한 동작[k+1, 2]에 있어서 반송원의 처리기기종별을 S2로부터 S1로 치환함으로써 도 15에 있어서 점선으로 나타내는 바와 같이 처리기기종별(S1)로부터 처리기기종별(S3)로 기판(B)이 반송된다.

마찬가지로 기판[C(④)]의 처리기기종별(S1)로부터의 수취를 포함하는 동작 [k, 4]을 빈 기판에 대한 동작으로서 취급하고, 빈 기판(8)에 대한 동작[k+1, 3]의 반송원의 처리기기종별을 S2로부터 S1로 치환함으로써 도 15에 있어서 점선으로 나타내는 바와 같이 처리기기종별(S1)로부터 처리기기종별(S3)로 기판(C)이 반송된다.

이와 같이 기판(C)의 처리기기종별(S1)로의 인도를 포함하는 동작[k-1,4] 전에 기판(B)의 처리기기종별(S1)로부터의 수취는 완료되어 있고, 또 기판(D)의 처리기기종별(S1)로의 인도를 포함하는 동작[k-1, 5] 전에 기판(C)의 처리기기종별(S1)로부터 수취도 완료되어 있으므로 반송기는 이들 기판(C, D)을 문제없이 처리기기종별 (S1)로 인도할 수 있다. 또한 동작[k+1, 3] 후에는 도 16b에 나타내는 바와 같이 기판(B, C)의 앞에 있던 빈 기판이 기판(B, C)의 뒤쪽으로 이동하게 된다.

또한 상기 설명에 있어서는 건너 뛰게 되는 처리기기종별이 1종류로, 동작 (k-1)이 동작(k) 및 동작(k+1)과 동일한 반송기에 의하여 행하여지는 경우에 대하여 설명하였으나, 소정의 기판이 복수의 처리기기종별을 건너 뛰어 반송되는 경우에는 건너 뛰게 되는 처리기기종별 전체를 고려하여 빈 기판을 삽입함으로써, 이들 처리기기종별을 건너 뛰어 기판을 반송하는 것이 가능하게 된다.

또 동작(k-1)이 다른 반송기의 동작이어도 이 동작(k-1) 대신에, 중계형의 처리기기종별을 거쳐 상기 다른 반송기와 기판의 수수를 행하는 반송기의 동작을 생각하여, 상기 다른 반송기의 동작순서에 영향을 미치는 일이 없도록 삽입되는 빈 기판의 수를 결정함으로써, 건너 뛰기가 가능하게 된다.

다음에 도 17에 나타내는 바와 같이 기판처리장치 내에 처리기기종별(S1 내지 S4)이 설치되어 있는 경우를 예로서 설명한다. 처리기기종별(S1 내지 S4)에 대한 기판의 인도를 포함하는 동작(k-1, k, k+1, k+2)은 동일한 반송기에 의하여 행하여지는 것으로 하여, 기판(A, B, C, D, E, F)이 이 순서로 기판처리장치 내로 투입되어 반송, 처리되는 것으로 한다. 또 정상운전시의 이 반송기의 동작순서가 k+2, k+1, k, k-1이고, 도 18에 나타내는 바와 같은 순서로 반송기가 동작하는 것으로 한다. 또한 도 18에 있어서도 아래쪽을 향하여 시간축이 취해져 있다.

여기서 기판(C 및 D)이 처리기기종별(S3)에 있어서의 처리를 건너 뛰어 반송되고, 기판(E 및 F)이 처리기기종별(S2)에 있어서의 처리를 건너 뛰어 반송되는 경우를 생각한다.

이 경우에는 도 19a에 나타내는 바와 같이 기판(C)의 바로 앞에 처리기기종별 (S3)의 기기수(2)에 상당하는 매수, 즉 2매의 빈 기판(③과 ④)을 삽입한다. 그리고 빈 기판(3)에 대한 동작[k+2, 3]에 있어서의 반송원의 처리기기종별이 S3으로부터 S2로 치환됨과 동시에, 처리기기종별(S2)로부터의 기판[C(⑤)]의 수취를 포함하는 동작[k+1, 5]에 선행하여 상기 동작[k+2, 3]이 행하여진다. 이에 의하여 기판 (C)은 처리기기(S3)를 건너 뛰어 반송된다.

또 상기 동작[k+1, 5]의 반송원의 처리기기종별이 S2로부터 S1로 치환됨과 동시에, 처리기기종별(S1)로부터의 기판[E(⑦)]의 수취를 포함하는 동작[k, 7]에 선행하여 상기 동작[k+1, 5]이 행하여진다. 이에 의하여 기판(E)은 처리기기(S2)를 건너 뛰어 반송된다. 이때 도 19b에 나타내는 바와 같이 빈 기판 중의 1매가 기판 (D)의 뒤쪽으로 이동하게 된다.

도 마찬가지로 동작[k+2, 4]의 반송원의 처리기기종별이 S3으로부터 S2로 치환됨과 동시에, 처리기기종별(S2)로부터의 기판(D)의 수취를 포함하는 동작 [k+1, 6]에 선행하여, 상기 동작[k+2, 4]이 행하여진다. 이에 의하여 기판(D)은 처리기기(S3)를 건너 뛰어 반송된다.

또한 상기 동작[k+1, 6]의 반송원의 처리기기종별이 S2로부터 S1로 치환됨과 동시에, 처리기기종별(S1)로부터의 기판[F(⑧)]의 수취를 포함하는 동작[k, 8]에 선행하여 상기 동작[k+1, 6]이 행하여진다. 이에 의하여 기판(F)은 처리기기(S2)를 건너 뛰어 반송된다. 이때 도 19c에 나타내는 바와 같이 2매의 빈 기판이 기판(F)의 뒤쪽으로 이동하게 된다.

이와 같이 본 발명에 의하면 기판처리장치의 연속운전 중에 있어서, 기판별로 불필요한 처리기기종별을 건너 뛰어 기판을 반송하거나, 복수의 처리기기종별을 목적에 따라 구분하여 사용하거나 할 수 있으므로, 다품종 소량생산에 대응한 유연한 운전이 가능하게 된다. 예를 들면 연속운전을 일단 정지하여 다른 처리가 이루어지는 기판을 처리하는 경우에 비하여 대폭으로 스루풋을 향상할 수 있고, 또 목적별로 기판처리장치를 별개로 준비하는 경우에 비하여 대폭으로 비용을 저감할 수 있다.

또한 상기한 처리기기종별의 건너 뜀을 고려하여 상기한 스케줄연산부(도 3의 부호 21, 도 5의 부호 33)를 구성한 경우에는 상기한 보정부(도 8의 부호 55, 도 10의 부호 75)에 있어서도 마찬가지로 건너 뛰기가 고려된다.

다음에 본 발명에 관한 기판반송제어장치를 기판처리장치에 조립한 예를 도 면을 참조하여 설명한다. 도 20은 본 실시형태에 관한 기판처리장치(반도체제조장치)의 전체구성을 나타내는 블록도이다. 이 기판처리장치는 도 1에 나타내는 반송기(1a 내지 1c), 카세트(2a, 2b) 및 처리기기(3a 내지 9d)를 장치 본체로서 구비하고 있다. 또 기판처리장치는 컴퓨터 등으로 구성되는 장치제어부(100)와, 독립된 컴퓨터 등으로 구성되는 스케줄러(102)와, 장치의 상태 등을 표시하는 표시장치 (104)와, 장치의 운전조건이나 제어조건을 입력하는 상기한 입력장치(12)를 구비하고 있다.

장치제어부(100)나 스케줄러(102) 내부의 기억장치에는 상기한 기판제어를 위한 컴퓨터프로그램 및 장치제어를 위한 컴퓨터프로그램이 저장되어 있다. 또한 이들 장치제어부(100) 및 스케줄러(102)를 복수의 컴퓨터를 협동시킴으로써 구성하는 것으로 하여도 좋고, 또는 이들을 하나의 컴퓨터로 구성하는 것으로 하여도 좋다.

장치제어부(100)에는 장치 본체내의 반송기(1a 내지 1c), 카세트(2a, 2b) 및 각 처리기기(3a 내지 9d)와 접속되는 제어기(110 내지 112)와, 이들 제어기 (110 내지 112)에 접속되는 주 제어기(120)로 주로 구성되어 있다. 제어기(110 내지 112)는 주 제어기(120)로부터 지령을 받아, 그 지령을 각 기기(1a 내지 9d)에 송신한다. 또 제어기(110 내지 112)는 각 기기(1a 내지 9d)를 감시하여 각 기기(1a 내지 9d)의 상태를 주 제어기(120)에 송신한다. 주 제어기(120)에는 처리기기 (3a 내지 9d)에 대하여 처리의 개시지령이나 처리조건 등을 송신하는 기능 외에 상기한 반송기의 제어를 행하는 동작지령부(도 3의 부호 24, 도 5의 부호 36, 도 8 및 도 10의 부호 60), 실적시각 취득부(도 8의 부호 51), 재스케줄링 판단부(도 8의 부호 52), 조건변경검지부(도 10의 부호 71)가 포함되어 있다. 또 주 제어기(120)에는 표시장치(104) 및 입력장치(12)가 접속되어 있다.

스케줄러(102)는 상기한 반송기의 제어를 행하는 스케줄연산부(도 3의 부호 21, 도 5의 부호 33), 해답 판단부(도 3의 부호 22, 도 5의 부호 34), 재시행부 (도 3의 부호 25, 도 5의 부호 37), 타임테이블작성부(도 3의 부호 23, 도 5의 부호 35), 스케줄판단부(도 5의 부호 31), 연산조건결정부(도 5의 부호 32), 무효화부(도 8의 부호 53, 도 10의 부호 72), 경과데이터취득부(도 8의 부호 54, 도 10의 부호 73), 보정부(도 8의 부호 55, 도 10의 부호 75), 유효화부(도 8의 부호 56, 도 10의 부호 76), 처리예정시간 갱신부(도 10의 부호 74)를 포함하고 있다.

또한 이와 같은 주 제어기(120) 및 스케줄러(102)의 구성은 일례이며, 이것과 다른 구성으로 주 제어기(120)나 스케줄러(102)를 구성하여도 되는 것은 물론이다.

다음에 기판반송제어장치가 조립된 이 기판처리장치의 동작에 대하여 설명한다.

장치 본체의 전원은 장치제어부(100), 표시장치(104), 입력장치(12), 스케줄러(102)의 전원과 연동하고 있고, 장치 본체에 전원이 투입되면 이들 장치제어부 (100), 표시장치(104), 입력장치(12), 스케줄러(102)에도 자동적으로 전원이 투입되어 장치제어부(100), 표시장치(104), 입력장치(12), 스케줄러(102)가 기동한다. 이 때 스케줄러(102)는 주 제어기(120)로부터의 신호에 대한 대기상태가 된다.

다음에 장치 본체를 운전하기 전에 입력장치(12)에 의하여 장치 본체의 각 처리기기(3a 내지 9d)의 사용여부, 각 반송기(1a 내지 1c)에 의하여 각 처리기기 (3a내지 9d)의 종별 사이를 기판이 반송되는 순서를 나타내는 반송경로, 정상운전시의 각 반송기(1a 내지 1c)의 기본동작의 순서 등이 입력된다. 여기서 주 제어기(120)로부터 각 반송기(1a 내지 1c)에 동작지령을 송신하여 장치 본체내의 반송기(1a 내지 1c)를 동작시켜 각 반송기(1a 내지 1c)의 동작의 소요시간을 취득하는 것으로 하여도 좋다. 이 취득된 소요시간이나 그 밖의 설정값을 장치 제어부(100)내의 자기디스크나 불휘발성 메모리 등에 보존하면 일단 전원을 차단한 후이어도 전에 취득한 소요시간이나 그 밖의 설정값에 의거하여 장치를 운전하는 것이 가능하게 된다.

입력장치(12)로부터 장치운전개시지령이 입력되면, 주 제어기(120)가 반송기 (1a 내지 1c)의 원점복귀, 처리기기(3a 내지 9d)의 초기화 등의 개시처리를 각 기기에 대하여 지시함과 동시에, 스케줄러(102)에 대하여 운전개시지령과 상기한 반송경로, 기본동작의 순서, 동작예정시간 등의 데이터를 송신한다. 스케줄러(102)는 이들 데이터를 판독하여 내부 메모리의 설정 등의 초기화처리를 행한다.

그리고 장치 본체에 미처리 기판이 장전된 카세트(2a, 2b)가 장착된 시점에서 입력장치(12)에 의하여 이들 미처리 기판에 대한 처리예정시간이나 반송에 관한 제약조건 등이 입력되고, 이들 데이터가 주 제어기(120)를 거쳐 스케줄러(102)에 송신된다.

스케줄러(102)는 이 처리 예정시간과 제약조건에 관한 데이터를 판독하여 상 기한 기판의 반송제어에 의하여 1매째의 기판에 관하여 각 동작의 실행시각을 계산하여 타임테이블를 작성하고, 이 타임테이블를 주 제어기(120)에 송신한다. 주 제어기(120)는 이 타임테이블에 의거하여 반송기의 동작 및 이것에 대응한 각 처리기기에서의 처리를 개시시켜 각 동작의 실행시각의 계측을 개시한다. 또한 주 제어기(120)는 반송기(1a 내지 1c)에 동작을 지령할 때에 타임테이블에 지정된 시각의 경과뿐만 아니라, 그 반송기가 비동작 중인 것, 반송원의 처리기기에 있어서의 기판의 처리가 완료되어 있는 것 및 반송지의 처리기기에 선행하는 기판이 존재하지 않고 리세트도 완료되어 있음을 확인한다. 이에 의하여 반송기(1a 내지 1c)의 동작시간이나, 처리기기(3a 내지 9d)에서의 처리시간, 리세트시간에 관하여 예정으로부터의 어긋남이 있어도 문제가 발생하지 않도록 하고 있다.

또 이 동작의 지령과 동시에, 주 제어기(120)는 각 동작의 실행시각을 스케줄러(102)에 송신하고, 또 각 기판의 위치나 처리의 진행상황 등을 출력장치(104)에 송신한다. 이들 장치 본체의 상황의 송신은, 적당하게 정해진 간격으로 이후 계속하여 행하여진다.

다음에 스케줄러(102)는 최초로 처리 예정시간을 취득한 2매째 이후의 기판에 관하여 상기한 바와 같이 적당매수의 추가기판을 설정하여 선형 계획법으로 순차 스케줄링을 행하고, 갱신된 타임테이블를 주 제어기(120)에 송신한다. 이 타임테이블의 송신에 있어서는 스케줄러(102)로부터 송신전에 주 제어기(120)의 시각을 정지한다라는 지령을 내어 새로운 동작의 개시를 금지하여, 타임테이블 중의 미실시 동작에 대응하는 부분만 송신하여, 이 송신후에 주 제어기(120)의 시각을 재기 동하는 것으로 하여도 좋다. 또 주 제어기(120)내의 기억장치의 기억용량을 고려하여 타임테이블을 스케줄러(102)내의 기억장치에 기억, 축적하고, 미실시 동작을 선두로 하여 일정량의 스케줄을 스케줄링연산의 타이밍에 관계없이 정기적으로 순차 주 제어기 (120)에 송신하는 것으로 하여도 좋다.

새로운 미처리 기판의 카세트가 장치 본체에 장착된 경우에는 상기와 마찬가지로 하여 각 기판의 처리 예정시간이나 반송에 관한 제약조건 등이 입력되고, 입력된 데이터는 주 제어기(120)로부터 스케줄러(102)에 송신된다. 스케줄러(102)는 이들 데이터를 판독하여 경과데이터파일내에 축적하고, 상기한 선형 계획법에 의한 스케줄링을 차례로 속행한다.

또한 처리 예정시간이 입력된 미투입 기판의 모두에 대하여 동작 예정시각이 산출된 경우에는 스케줄러(102)는 다음의 미투입 기판의 처리 예정시간이 입력될 때까지 대기한다.

또 주 제어기(120)는 장치 본체의 운전 중에 있어서, 각 동작의 실행시각을 계측하고, 이 계측된 시각과 타임테이블상에 지정된 시각과의 차를 감시한다. 상기한 바와 같이 각 반송기(1a 내지 1c)의 동작시간이나 각 처리기기(3a 내지 9d)에서의 처리시간, 리세트시간에 지연이 있으면, 결과로서 소정의 동작의 실행시각이 지연되어 버리는 일이 있다. 이와 같은 경우, 주 제어기(120)는 상기한 재스케줄링판단부에 의하여 시각의 보정지령을 스케줄러(102)에 송신하고, 이것을 받아 스케줄러 (102)는 미실시 동작의 실행시각을 보정하여 타임테이블을 갱신하고, 이것을 주 제어기(120)에 송신한다. 이 때 주 제어기(120)는 상기 보정지령의 송신전 에 시각을 정지하고, 타임테이블을 수신한 후에 재기동하여, 보정된 타임테이블과 실제의 동작 사이에 모순이 생기지 않도록 한다.

한편, 장착된 미처리 기판이 장전된 카세트가 장치 본체로부터 제거된 경우, 또는 입력장치(12)에 의하여 미투입 기판의 투입예정이 취소되거나, 처리 예정시간이 변경되거나, 장치에의 투입순서가 변경되거나 한 경우, 이들 정보가 미투입 기판의 보정지령과 함께 주 제어기(120)로부터 스케줄러(102)에 전송된다. 스케줄러 (102)에서는 타임테이블의 일부를 갱신하여, 갱신한 타임테이블을 주 제어기 (120)에 송신한다. 또한 상기한 시각의 보정지령의 경우와 마찬가지로 미투입 기판의 보정지령을 스케줄러(102)에 송신하기 전에, 주 제어기(120)의 시각을 정지하여 타임테이블을 수신한 후에 재기동한다.

장치 본체에 장착된 카세트에 장전된 기판이 모두 처리를 끝내고 카세트에 회수되었을 때에는 주 제어기(120)가 스케줄러(102)로부터의 송신 유무의 체크를 정지하여 메모리를 해방하는 등의 종료처리를 행하여 상기한 기동후의 상태로 되돌아간다. 또 스케줄러(102)나 입력장치(12)도 마찬가지로 기동후의 상태로 되돌아간다. 이 경우에 있어서 입력장치(12)로부터 반송경로, 기본동작의 순서, 동작 예정시간 등을 다시 설정하여, 다음번의 운전을 행할 수도 있다. 또는 그대로의 설정으로 다시 운전개시지령을 입력하고, 미처리 기판의 카세트를 장착하여 처리를 재개할 수도 있다.

여기서 도 21 및 도 22에 상기한 제 2 실시형태에 있어서의 기판반송제어장치를 사용하여 반송기의 실행시각을 스케줄링한 결과의 일례를 나타낸다. 도 21 및 도 22에 있어서, 숫자는 기판번호를 나타내고 있고, 반송기(1a 내지 1c)에 대응하는 ×로 끼워진 실선은 각 반송기가 동작 중임을 나타내고, 또 처리기기(3a 내지 9d)에 대응하는 *로 끼워진 실선은 각 처리기기에 있어서 처리가 행하여지고 있음을 나타내고 있다.

도 21은 기판반송제어장치의 운전개시 직후의 스케줄링결과를 나타내나, 이 시점에서의 반송기(1a 내지 1c)의 여유는 큰 것을 알 수 있다.

도 22는 기판반송제어장치의 운전개시로부터 일정시간 경과한 정상상태를 나타낸다. 도 22에 있어서 각 반송기의 정지시간은 적고, 대부분 항상 동작 중의 상태에 있으나, 그래도 기판처리후의 반송 대기시간을 0으로 하는 제약조건을 부여한 도금탱크(9a 내지 9d)에 있어서는 도 22에 있어서 ●으로 나타내는 바와 같이 처리종료전에 반송기가 도금탱크로 이동을 개시하여 처리후의 기판을 즉시 수취하여, 초벌세정기 (7)로 반송하고 있음을 알 수 있다.

상기한 바와 같이 본 발명은 대상으로 하는 기판의 최종매가 모든 처리를 끝내고 상기 기판처리장치로부터 회수되는 시각을 가장 빠르게 하는 반송기의 각 동작의 실행시각을 스케줄링할 수 있으므로, 기판처리장치의 스루풋을 최대로 할 수 있다.

또 번거로운 사전검토나 처리 예정시간의 제약을 수반하는 일 없이, 반송기의 동작시각에 관련하여 설정된 제약조건을 만족시키면서 대상으로 하는 기판의 최종매가 모든 처리를 끝내고 상기 기판처리장치로부터 회수되는 시각을 가장 빠르게 할 수 있어 공정처리상의 요구를 만족할 수 있음과 동시에, 기판처리장치의 스루풋 을 최대로 할 수 있다.

또한 연속운전 중의 각 기판의 처리예정시간이 순차로 분할하여 얻어지는 경우에 있어서도 공정처리상의 제약을 만족하면서 스루풋을 근사적으로 최대로 할 수 있다.

또 각 회의 스케줄링의 시행에 있어서, 계산 가능한 매수를 고려하여 스케줄링의 대상이 되는 추가 기판수를 추정할 수 있으므로, 비교적 처리능력이 낮은 컴퓨터에서도 스케줄링을 행할 수 있다.

또한 반송기의 동작 또는 처리기기에 있어서의 기판처리에 예정으로부터의 지연이 생겼다고 하여도 공정처리상의 제약이나 스루풋에 대한 영향을 작게 억제하고, 또한 장래에 그 영향을 미치지 않고 기판처리장치를 운전하는 것이 가능하게 된다.

또 처리의 취소, 처리 예정시간의 변경, 장치투입순서의 변경 등의 미투입 기판에 관한 조건의 변경이 있었던 경우에 있어서도 이 변경에 유연하게 대응하여 기판처리장치를 운전하는 것이 가능하게 된다.

또한 기판처리장치의 연속운전 중에 불필요한 처리기기종별을 건너 뛰어 기판을 반송할 수 있으므로, 복수의 처리기기종별을 목적에 따라 구분하여 사용할 수 있다. 따라서 대폭으로 스루풋을 향상할 수 있음과 동시에, 다품종 소량생산에 대응한 유연한 운전이 가능하게 된다.

본 발명은 반송기에 의하여 반도체제조장치 등의 기판처리장치 내의 복수의 기판을 복수의 처리기기에 차례로 반송하여 처리를 행하는 기판반송제어장치 및 이와 같은 기판반송제어장치에 의하여 기판의 반송이 제어되는 기판처리장치에 적합하게 사용된다.

Claims (36)

1. 기판처리장치 내에 설치된 복수의 처리기기(3a, 3b, 4, 5a 내지 9d) 사이에서 반송기(1a 내지 1c)에 의하여 기판을 반송하는 기판반송방법에 있어서,

   상기 반송기의 각 동작에 주어진 동작 예정시간을 포함하고, 또한 상기 반송기의 각 동작 사이의 휴지시간을 변수로 하여 상기 반송기의 동작이 상기 반송기의 선행하는 동작이 종료하고 나서 실행되는 것을 나타내는 수학식 1과,

   상기 각 처리기기에서의 각 기판에 대한 처리에 주어진 처리 예정시간과, 상기 처리기기와의 사이에서 기판의 인도 또는 수취를 행하는 상기 반송기의 동작에 주어진 동작 예정시간을 포함하고, 또한 처리기기 상에서 처리 후의 기판이 반송기를 기다리는 시간, 또는 기판이 처리기기 상에서 실제로 처리를 개시하기까지의 처리 전의 대기시간을 변수로 하여 상기 처리기기에서 상기 기판이 상기 처리예정시간에 대응하는 처리를 실행하고 나서 인출되는 것을 나타내는 수학식 2와,

   상기 처리기기와의 사이에서 기판의 인도 또는 수취를 행하는 상기 반송기의 동작에 주어진 동작 예정시간을 포함하고, 또한 기판이 인도되기 직전의 처리기기의 빈 시간을 변수로 하여 상기 처리기기에서 상기 기판을 인출한 후에 다음 기판을 인도할 수 있는 것을 나타내는 수학식 3에 의거하여

   상기 변수가 음이 아니라는 제약조건하에,

   선형 계획법에 의하여 대상으로 하는 기판의 최종매가 모든 처리를 끝내고 상기 기판처리장치로부터 회수되는 시각을 가장 빠르게 하는 상기 반송기의 각 동작의 실행시각을 산출하고,

   상기 산출된 반송기의 각 동작의 실행시각이 되었을 때에 대응하는 반송기에 상기 동작을 지령하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법.
2. 제 1항에 있어서,

   추가 제약조건으로서, 상기 처리기기에서의 소정의 처리가 종료된 후, 상기 처리기기 상에서 기판이 반송기를 기다리는 시간을 0으로 하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 소정의 처리는, 도금처리인 것을 특징으로 하는 기판반송방법.
4. 제 1항에 있어서,

   추가 제약조건으로서, 상기 반송기가 처리기기로부터 기판을 수취하고 나서 다음 처리기기에 인도되기까지의 시간에 상한을 두는 것을 특징으로 하는 기판반송방법.
5. 제 1항에 있어서,

   추가의 제약조건으로서, 상기 반송기의 2개의 동작의 개시시각 간격에 하한을 두는 것을 특징으로 하는 기판반송방법.
6. 제 1항에 있어서,

   상기 반송기가 처리 후의 기판을 처리기기로부터 수취하고 나서 다음의 기판을 상기 처리기기에 인도하는 것이 가능하게 되기까지 상기 처리기기가 요하는 시간을 추가 제약조건으로 하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법.
7. 제 1항에 있어서,

   상기 변수에 관한 1차 부등식을 추가 제약조건으로 하여, 상기 회수되는 시각을 가장 빠르게 하는 각 동작의 실행시각을 산출하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법.
8. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 제약조건을 만족하는 반송기의 각 동작의 실행시각의 해답이 얻어졌는지의 여부를 판단하고,

   상기 실행시각의 해답이 얻어지지 않았다고 판단된 경우에, 상기 기판처리장치 내에 투입되는 기판의 투입간격을 조정하여 상기 실행시각의 산출을 재시행하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법.
9. 제 1항에 있어서,

   상기 기판처리장치의 운전개시 후에, 상기 반송기의 각 동작의 실행시각의 산출이 새롭게 필요한지의 여부를 판단하여,

   상기 실행시각의 산출이 새롭게 필요하다고 판단되었을 경우에, 새롭게 실행시각의 산출을 행하는 기점이 되는 하나의 상정시각과 실행시각의 산출에 있어서 대상으로 하는 기판의 최종기판을 결정하고,

   과거에 구해진 스케줄링 결과로서 상기 결정된 상정시각 이전의 스케줄링 결과를 유지하면서, 상기 결정된 최종 기판까지의 기판을 대상으로 하여 새로이 실행시각을 산출하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법.
10. 제 1항에 있어서,

    반송기가 각 동작을 개시한 시각을 취득하여,

    상기 취득된 시각과 과거에 구해진 스케줄링결과에 있어서의 실행시각과의 사이에 모순 또는 미리 정해진 범위 이상의 차가 있는지의 여부를 판단하고,

    모순 또는 미리 정해진 범위 이상의 차가 있다고 판단되었을 경우에, 상기 모순 또는 미리 정해진 범위 이상의 차가 있다고 판단된 시점에서 미실시 반송기의 각 동작의 실행시각을 보정하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법.
11. 제 1항에 있어서,

    상기 기판처리장치의 운전개시 후에 있어서, 기판처리장치에의 투입이 예정되어 있는 기판에 관한 조건의 변경을 검지하여,

    상기 기판에 관한 조건의 변경이 검지된 경우에 상기 조건이 변경된 기판 이후의 기판에 대한 반송기의 각 동작의 실행시각을 보정하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법.
12. 제 1항에 있어서,

    특정 기판에 대하여 상기 기판처리장치 내의 처리기기에 있어서의 처리가 생략되는 경우에, 상기 특정 기판이 상기 처리기기를 건너뛰어 반송되도록 상기 반송기의 각 동작의 실행시각을 산출하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법.
13. 기판처리장치 내에 설치된 복수의 처리기기(3a, 3b, 4, 5a 내지 9d) 사이에 있어서의 반송기(1a 내지 1c)에 의한 기판의 반송을 제어하는 기판반송제어장치에 있어서,

    상기 반송기의 각 동작에 대응하는 동작 예정시간과, 상기 각 처리기기에서의 각 기판에 대한 처리에 대응하는 처리 예정시간을 입력하는 입력장치와,

    상기 동작 예정시간을 포함하고, 또한 상기 반송기의 각 동작 사이의 휴지시간을 변수로 하여 상기 반송기의 동작이 상기 반송기의 선행하는 동작이 종료하고 나서 실행되는 것을 나타내는 수학식 1과,

    상기 각 처리 예정시간과, 상기 처리기기와의 사이에서 기판의 인도 또는 수취를 행하는 상기 반송기의 동작에 주어진 동작 예정시간을 포함하고, 또한 처리기기 상에서 처리 후의 기판이 반송기를 기다리는 시간, 또는 기판이 처리기기 상에서 실제로 처리를 개시하기까지의 처리 전의 대기시간을 변수로 하여 상기 처리기기에서 상기 기판이 상기 처리예정시간에 대응하는 처리를 실행하고 나서 인출되는 것을 나타내는 수학식 2와,

    상기 처리기기와의 사이에서 기판의 인도 또는 수취를 행하는 상기 반송기의 동작에 주어진 동작 예정시간을 포함하고, 또한 기판이 인도되기 직전의 처리기기의 빈 시간을 변수로 하여 상기 처리기기에서 상기 기판을 인출한 후에 다음 기판을 인도할 수 있는 것을 나타내는 수학식 3에 의거하여,

    선형 계획법에 의하여 상기 변수가 음이 아니라는 제약조건하에, 대상으로 하는 기판의 최종매가 모든 처리를 끝내고 상기 기판처리장치로부터 회수되는 시각을 가장 빠르게 하는 상기 반송기의 각 동작의 실행시각을 산출하는 스케줄연산부(21, 33)와;

    상기 스케줄연산부에 의해 산출된 반송기의 각 동작의 실행시각이 되었을 때에 대응하는 반송기에 상기 동작을 지령하는 동작지령부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송제어장치.
14. 제 13항에 있어서,

    추가 제약조건으로서, 상기 처리기기에서의 소정의 처리가 종료된 후, 상기 처리기기 상에서 기판이 반송기를 기다리는 시간을 0으로 하는 것을 특징으로 하는 기판반송제어장치.
15. 제 14항에 있어서,

    상기 소정의 처리는, 도금처리인 것을 특징으로 하는 기판반송제어장치.
16. 제 13항에 있어서,

    추가 제약조건으로서, 상기 반송기가 처리기기로부터 기판을 수취하고 나서 다음 처리기기에 인도되기까지의 시간에 상한을 두는 것을 특징으로 하는 기판반송제어장치.
17. 제 13항에 있어서,

    추가 제약조건으로서, 상기 반송기의 2개의 동작의 개시시각 간격에 하한을 두는 것을 특징으로 하는 기판반송제어장치.
18. 제 13항에 있어서,

    상기 반송기가 처리 후의 기판을 처리기기로부터 수취하고 나서 다음 기판을 상기 처리기기에 인도하는 것이 가능하게 되기까지 상기 처리기기가 요하는 시간을 추가 제약조건으로 하는 것을 특징으로 하는 기판반송제어장치.
19. 제 13항에 있어서,

    상기 스케줄연산부는, 상기 변수에 관한 1차 부등식을 추가 제약조건으로 하여, 상기 회수되는 시각을 가장 빠르게 하는 각 동작의 실행시각을 산출하는 것을 특징으로 하는 기판반송제어장치.
20. 제 13항 내지 제 19항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 스케줄연산부에 의하여 상기 제약조건을 만족하는 반송기의 각 동작의 실행시각의 해답이 얻어졌는지의 여부를 판단하는 해답 판단부(22, 34)와;

    상기 해답 판단부에 의하여 상기 실행시각의 해답이 얻어지지 않았다고 판단되었을 경우에 상기 기판처리장치 내에 투입되는 기판의 투입간격을 조정하여 상기 스케줄연산부에 의한 실행시각의 산출을 재시행하는 재시행부(25, 37)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송제어장치.
21. 제 13항에 있어서,

    상기 기판처리장치의 운전개시 후에, 상기 스케줄연산부에 의한 상기 반송기의 각 동작의 실행시각의 산출이 새롭게 필요한지의 여부를 판단하는 스케줄판단부(31)와;

    상기 스케줄판단부에 의하여 상기 실행시각의 산출이 새롭게 필요하다고 판단되었을 경우에, 새롭게 실행시각의 산출을 행하는 기점이 되는 하나의 상정시각과 상기 스케줄연산부에 의한 실행시각의 산출에 있어서 대상으로 하는 기판의 최종 기판을 결정하는 연산조건결정부(32)를 구비하고,

    상기 스케줄연산부는 과거에 구해진 스케줄링결과로서 상기 연산조건결정부에 의하여 결정된 상정시각 이전의 스케줄링결과를 유지하면서, 상기 연산조건결정부에 의하여 결정된 최종 기판까지의 기판을 대상으로 하여 새로이 실행시각을 산출하는 것을 특징으로 하는 기판반송제어장치.
22. 제 13항에 있어서,

    반송기가 각 동작을 개시한 시각을 취득하는 실적시각 취득부(51)와;

    상기 실적시각 취득부에 의하여 취득된 시각과 과거에 구해진 스케줄링결과에서 실행시각과의 사이에 모순 또는 미리 정해진 범위 이상의 차가 있는지의 여부를 판단하는 재스케줄판단부(52)와;

    상기 재스케줄판단부에 의하여 모순 또는 미리 정해진 범위 이상의 차가 있다고 판단되었을 경우에, 상기 모순 또는 미리 정해진 범위 이상의 차가 있다고 판단된 시점에 있어서 미실시 반송기의 각 동작의 실행시각을 보정하는 보정부(55)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송제어장치.
23. 제 13항에 있어서,

    상기 기판처리장치의 운전개시 후에, 기판처리장치에의 투입이 예정되어 있는 기판에 관한 조건의 변경을 검지하는 조건변경검지부(71)와;

    상기 조건변경검지부에 의하여 상기 기판에 관한 조건의 변경이 검지된 경우에 상기 조건이 변경된 기판 이후의 기판에 대한 반송기의 각 동작의 실행시각을 보정하는 보정부(75)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송제어장치.
24. 제 13항에 있어서,

    상기 스케줄연산부는 특정 기판에 대하여 상기 기판처리장치 내의 처리기기에 있어서의 처리가 생략되는 경우에, 상기 특정 기판이 상기 처리기기를 건너뛰어 반송되도록 상기 반송기의 각 동작의 실행시각을 산출하는 것을 특징으로 하는 기판반송제어장치.
25. 기판의 처리를 행하는 복수의 처리기기(3a, 3b, 4, 5a 내지 9d)를 구비하고, 상기 처리기기 사이에 있어서 반송기(1a 내지 1c)에 의하여 기판을 반송하여 기판을 처리하는 기판처리장치에 있어서,

    상기 반송기의 각 동작에 대응하는 동작 예정시간과, 상기 각 처리기기에서의 각 기판에 대한 처리에 대응하는 처리 예정시간을 입력하는 입력장치(12)와,

    상기 동작 예정시간을 포함하고, 또한 상기 반송기의 각 동작 사이의 휴지시간을 변수로 하여 상기 반송기의 동작이 상기 반송기의 선행하는 동작이 종료하고 나서 실행되는 것을 나타내는 수학식 1과,

    상기 처리 예정시간과, 상기 처리기기와의 사이에서 기판의 인도 또는 수취를 행하는 상기 반송기의 동작에 주어진 동작 예정시간을 포함하고, 또한 처리기기 상에서 처리 후의 기판이 반송기를 기다리는 시간, 또는 기판이 처리기기 상에서 실제로 처리를 개시하기까지의 처리 전의 대기시간을 변수로 하여 상기 처리기기에서 상기 기판이 상기 처리예정시간에 대응하는 처리를 실행하고 나서 인출되는 것을 나타내는 수학식 2와,

    상기 처리기기와의 사이에서 기판의 인도 또는 수취를 행하는 상기 반송기의 동작에 주어진 동작 예정시간을 포함하고, 또한 기판이 인도되기 직전의 처리기기의 빈 시간을 변수로 하여, 상기 처리기기에서 상기 기판을 인출한 후에, 다음 기판을 인도할 수 있는 것을 나타내는 수학식 3에 의거하여

    선형 계획법에 의하여 상기 변수가 음이 아니라는 제약조건하에, 대상으로 하는 기판의 최종매가 모든 처리를 끝내고 상기 기판처리장치로부터 회수되는 시각을 가장 빠르게 하는 상기 반송기의 각 동작의 실행시각을 산출하는 스케줄 연산부(21, 33)와,

    상기 스케줄 연산부에 의하여 산출된 반송기의 각 동작의 실행시각이 되었을 때에 대응하는 반송기에 상기 동작을 지령하는 동작 지령부(24, 36, 60)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
26. 제 25항에 있어서,

    추가 제약조건으로서, 상기 처리기기에서의 소정의 처리가 종료된 후, 상기 처리기기 상에서 기판이 반송기를 기다리는 시간을 0으로 하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
27. 제 25항에 있어서,

    상기 소정의 처리는, 도금처리인 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
28. 제 25항에 있어서,

    추가 제약조건으로서, 상기 반송기가 처리기기로부터 기판을 수취하고 나서 다음 처리기기에 인도되기까지의 시간에 상한을 두는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
29. 제 25항에 있어서,

    추가의 제약조건으로서, 상기 반송기의 2개의 동작의 개시시각 간격에 하한을 두는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
30. 제 25항에 있어서,

    상기 반송기가 처리 후의 기판을 처리기기로부터 수취하고 나서 다음 기판을 상기 처리기기에 인도하는 것이 가능하게 되기까지 상기 처리기기가 요하는 시간을 추가 제약조건으로 하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
31. 제 25에 있어서,

    상기 스케줄 연산부는, 상기 변수에 관한 1차 부등식을 추가 제약조건으로 하여 상기 회수되는 시각을 가장 빠르게 하는 각 동작의 실행시각을 산출하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
32. 제 25항 내지 제 31항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 스케줄연산부에 의하여 상기 제약조건을 만족하는 반송기의 각 동작의 실행시각의 해답이 얻어졌는지의 여부를 판단하는 해답 판단부(22, 34)와;

    상기 해답 판단부에 의하여 상기 실행시각의 해답이 얻어지지 않았다고 판단되었을 경우에 상기 기판처리장치 내에 투입되는 기판의 투입간격을 조정하여, 상기 스케줄연산부에 의한 실행시각의 산출을 재시행하는 재시행부(25, 37)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
33. 제 25항에 있어서,

    운전개시 후에, 상기 스케줄연산부에 의한 상기 반송기의 각 동작의 실행시각의 산출이 새롭게 필요한지의 여부를 판단하는 스케줄판단부(31)와;

    상기 스케줄판단부에 의하여 상기 실행시각의 산출이 새롭게 필요하다고 판단되었을 경우에, 새롭게 실행시각의 산출을 행하는 기점이 되는 하나의 상정시각과 상기 스케줄연산부에 의한 실행시각의 산출에 있어서 대상으로 하는 기판의 최종 기판을 결정하는 연산조건결정부(32)를 구비하고,

    상기 스케줄연산부는 과거에 구해진 스케줄링결과로서 상기 연산조건결정부에 의하여 결정된 상정시각 이전의 스케줄링결과를 유지하면서, 상기 연산조건결정부에 의하여 결정된 최종 기판까지의 기판을 대상으로 하여 새로이 실행시각을 산출하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
34. 제 25항에 있어서,

    반송기가 각 동작을 개시한 시각을 취득하는 실적시각 취득부(51)와;

    상기 실적시각 취득부에 의하여 취득된 시각과 과거에 구해진 스케줄링결과에서 실행시각과의 사이에 모순 또는 미리 정해진 범위 이상의 차가 있는지의 여부를 판단하는 재스케줄판단부(52)와;

    상기 재스케줄판단부에 의하여 모순 또는 미리 정해진 범위 이상의 차가 있다고 판단되었을 경우에, 상기 모순 또는 미리 정해진 범위 이상의 차가 있다고 판단된 시점에 있어서 미실시 반송기의 각 동작의 실행시각을 보정하는 보정부(55)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
35. 제 25항에 있어서,

    운전개시 후에, 기판처리장치에의 투입이 예정되어 있는 기판에 관한 조건의 변경을 검지하는 조건변경검지부(71)와;

    상기 조건변경검지부에 의하여 상기 기판에 관한 조건의 변경이 검지된 경우에 상기 조건이 변경된 기판 이후의 기판에 대한 반송기의 각 동작의 실행시각을 보정하는 보정부(75)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
36. 제 25항에 있어서,

    상기 스케줄연산부는 특정 기판에 대하여 상기 기판처리장치 내의 처리기기에 있어서의 처리가 생략되는 경우에, 상기 특정 기판이 상기 처리기기를 건너뛰어 반송되도록 상기 반송기의 각 동작의 실행시각을 산출하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.

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