TW473813B

TW473813B - Control apparatus and method for transporting substrates

Info

Publication number: TW473813B
Application number: TW089128444A
Authority: TW
Inventors: Yoichi Kobayashi; Yasumasa Hiroo; Tsuyoshi Ohashi
Original assignee: Ebara Corp
Priority date: 2000-01-17
Filing date: 2000-12-30
Publication date: 2002-01-21
Also published as: US7313452B2; JP3995478B2; WO2001054187A1; KR20020070336A; EP1255294A1; KR100823237B1; US6772029B2; US20040249494A1; US20060161286A1; US7072730B2; US20020192055A1; EP1255294A4

Description

經濟部智慧財產局消費合作社印製 1 473813 A7 ___B7_____ 五、發明說明（1 ) 發明之詳細說明技術領域本發明係有關一種基板搬送裝置及基板搬送方法，尤指一種有關藉由搬送機將半導體製造裝置等之基板處理裝置内之複數基板依序搬送至複數處理機器以進行處理之基板搬送控制裝置及基板搬送方法。又，本發明係有關一種藉由該裝置控制基板搬送之基板處理裝置。背景技術於半導體製造裝置固然有種種構成，惟，一般多使用自卡昆依序投入複數片半導體基板（晶圓），並藉由複數搬送機搬送至複數處理機器間以進行處理，而結束全部處理之基板以回收至卡匣者。更且，該裝置為可安裝複數個可更換之卡匣，再藉由更換成裝填適當的未處理基板之卡 £，連續進行半導體製造裝置之運轉。並且，該半導體製造裝置之控制，特別是搬送機之動作控制藉由基板搬送控制裝置來進行。效就習知基板搬送控制裝置之代表性控制方法簡單說明。習知之基板搬送控制裝置中，時常自控制中之搬送機輸入搬送機之狀況。並且，根據該搬送機之狀況檢測出目前無動作之（非動作中之）搬送機。於檢測出非動作中之搬送機情形下，分別就非動作中之搬送機，檢查搬送目的地之處理機器有無處理後之基板，搬送機用來接收基板之臂之空檔，欲搬送目的地之處理機器之空檔等，求出接著可 1紙張尺度適用家標準（CNS^格⑽x 297公爱） 312161 ---------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 473813 A7 -------BL._一__ 五、發明說明（2 ) 能的動作。其次’就存在有可能動作之個別非動作中之搬送機，決定接著應進行的一個動作，將執行該動作之指令傳送至搬送機。接收該指令之非動作中之搬送機開始進= 所決定之次一動作。亦即，於半導體製造裝置中之各時刻中，一檢測出搬送機處於非動作中，即辨別可能的預定條件（動作可能條件）之成立性’若有滿足該條件之動作，即於其中選擇最優先順位之動作，以下達指令。藉由反覆該處理，可進行關於上述半導體裝置之基板搬送控制。然而，習知基板搬送控制裝置在上述動作可能條件滿足後才開始作動，非動作中之搬送機自目前位置移動至應進行基板轉送或接收之處理機器之位置。亦即，縱使搬送機處於非動作中，亦有因動作可能條件成立以前與法動作以致於半導體製造裝置之通量惡化夺情形發生。又，即使預測搬送目的地之處理機器之處理結束時刻等’在可能範圍内改變動作可能條件，俾使各搬送機可提早開始移動，亦由於採用依序決定次一動作之方法。故在連績處理複數片基板之情形下，於最終基板結束處理而回收於卡&之時刻在理論上遠落後於可能的最早值（最早時刻）。更且，於半導體製造裝置中，一般從製程處理面來看，以迅速將某一處理機器所處理之基板搬送至下一階段處理機器而予以處理（即時性）較佳。例如，於進行電鍍等處理 Ϊ紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱)----- 2 312161 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

B7 B7

五、發明說明（3 ) 月开/下由於右放置電鍍處理後之基板，即會因氧化等而導致品質劣化’故要求立刻搬送至下一階段處理機器， =仃洗淨等後處理1即，要求有關搬送機動作時刻之疋限制條件（於上述例子為搬送機對處理後基板之等待時間為0之條件）。淮由於上述^知基板搬送控制裝置即使在搬送機處於動作中有關優先度高之動作之可動作條件成立，亦無法立刻進行該動作，故無法作考慮有關該搬送機動作時刻之限制條件之控制。因此須於半導體製造裝置運轉前預先模擬，確認是否有可滿足該條件之控制，而使作業變為煩瑣。抑或，為了使有關上述搬送機動作時刻之限制條件成立，有必要就每一處理機器類別，對設定之處理預定時間設下限制，又，、’’σ果會有無法滿足對搬送機動作之即時時性之要求，關係到品質或產率惡化之情形發生。抑或，也有須要求即時性之後處理與基本處理一貫化而構成機器等裝置配置上之限制。發明概要本發明係有鑑於該先前技術之問題點而研創者，其目的在於提供一種可易於使半導體製造裝置等之基板處理裝置之通量達到最大，且可⑩身對搬送機動作之^郎時碧之要求之基板搬送控制裝置及基板搬送方法。本發明目的復在於提供一種組裝該基板搬送控制裝置之基板處理裝置。為了解決上述習知基板搬送控制裝置之問題點，本發本纸張尺度適用中國國家標準（cns)a4規格（210 X 297公釐 312161 請先閲讀背 © 之注意事項再填丄寫裝本衣頁訂線 473813 A7 -*-----~--E____ 五、發明說明（4 ) 明之一痣樣為一種基板搬送方法，係藉由搬送機將基板搬送至没置於基板處理裝置0之舉草處趣·器間者，其特徵為’以上述搬送機之各動作所需時間和各處理機器對基板之處理所需時間作為參數，依據包含該無數之預定條件式算出搬送機各動作之實行時刻，俾使作為對象之最後一片基板結束全部處理且自上述基板處理裝置回收之時刻為最早，而在上述所算出之搬送機各動作之執行時刻來到時，下達該動作指令給相對應之機器。本發月之較佳態樣係一種基板搬送方法，係依據棒性〜，以算出上述搬送機各動作之執行時刻。又，本發明之較佳態樣係一種基板搬送方法，係依據上述條件式以判斷搬送機各動作之執行時刻是否有解，在判斷上述執行時刻為無解出情形下，修正上述條件式，俾使減、少〕同時存在於上述基板處理裝置内之基板平均片數，再试行其出上述執行時刻。由於藉此，可排定搬送機各動作之執行時刻，俾使作 ^對象之最後一片基板自上述基板處理裝置回收之時刻為最早，故可使基板處理裝置之埤量達到最大。而且，不會產生麻煩的之事前檢討或處理預定時間之限制，可一面滿足有關搬送機動作時刻之經過設定之限制條件，-面使作為對象之最後-片基板結束全部處理且自上述基板處理裝置回收之時刻為最早，且可、 4 /兩足加工處理上之要求，同時使基板處理裝置之通量達到最大。又，本發明之最佳態樣係一種基板搬送方法，係於上| 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2j〇 χ 297公釐） 312161 * ^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ----^------ έ«·ν濟部智慧財產局員工消費合作社印製 473813 A7 Φ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（5 ) 述基板處理裝置開始運轉後’判斷是否須重新算出 =各動作之執行時刻，在須重新算出上述執行時:之刻和執行時刻之算出中，決定作為對象土板之取終基板，一面保持過去所求得之排程結果述決定之假定時刻以前之排程結果，以至上述決定之最終基板為止之基板為對象，算出新的執行時刻。藉此，即使在連續運轉中各基板之處理預定時間可逐次分割之情形下，亦可一面滿達到最大通量。更且，由於在各次排程之試行中，考慮可計算之片數，以獲得推定作為排程對象之追加基板數，故即使是處理能力較低之電腦，亦可進行排程。更且，本發明較佳態樣係一種基板搬送方法，係取得搬送機開始各動作之時刻，以判斷上述取得之時刻與過去所求得之排程結果之執行時刻間是否有矛盾或超出預定範圍之差’於判斷有矛盾或超出預定範圍之差情形下，在判澌有該矛盾或過於預定範圍之差時’校正尚未實施之搬送機各動作之執行時刻。藉此’即使於搬送機之動作或處理機器之基板處理發生較預定滯後，亦可抑制低加工處理上之限制或對通量之影響，且未來在不受其影響下運轉基板處理裝置。本發明之較佳態樣係一種基板搬送方法，係於上述基板處理裝置運轉開始後，檢測有關投入基板處理裝置之基板之條件變更，在檢測出有關上述基板之條件變更情形限制面 ^--------^---------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 312161 473813 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（6 ) 下’校正搬送機對該條件變作之執行時刻。 t之基板以後之基板所作各動藉此即使在關於處理取消、處理箱—性g J} ^ m tn 处理預疋時間之變更以置技入順序出變更等未投入基板亦[彈复應㈣^

本發明較佳態樣係一種A 甘種基板搬送方法，係在省略上沭基板處理裝置内一個以上處上迚趴下管“ 1固乂上處理機15-個以上基板之處理情 …算出上述搬送機各動作之執行時刻，俾使上述一個以上基板超越上述—個以上處理機器而加以搬送。由於藉此可於基板處理裝置之連續運轉中越過不需要之處理制_來㈣基板，故刊應目的分別使用複數處理機器類別。因此’可大幅提高通量’同時可對應多品種少量生產之彈性運轉。又，本發明另一態樣為一種基板搬送控制裝置，係控制搬送機搬送基板至設置在基板處理裝置内之複數處理機器間者’其特徵為具備：輸入裝置，用以輸入上述搬送機各動作的需要時間和各處理機器對基板處理所需時間；排程演异部，以上述輸入裝置所輸入時間為參數，並依據包含該參數之預定條件式，算出作為對象之最後一片基板結束全部處理自上述基板處理裝置回收之時刻為最早之搬送機各動作之執行時刻；以及動作指令部，在上述排程演算部所算出搬送機各動作之執行時刻來到時，將該動作指令下達給相對應之搬送機。又，本發明較佳態樣係一種基板搬送控制裝置，上述本纸張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格（210 X 297公f Μ--------tr---------線, (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

312161 A7 B7 五、發明說明（7 ) 算部依據線性計劃法，算出上述搬送機各動作之執更且’本發明較佳態樣係基板搬送控制裝置，係具備：斷部’藉由上述排程演算部，判斷搬送機各動作之執 :時刻是否有解’·以及再試行部’藉由上述解判斷部判斷迷執行時料無解之情形下，修正同時存在於上述基板理裝置内之基板平均片數’再試行藉由上述排程演算部算出之執行時刻。又’本發明一較佳態樣係一 _基板搬送控制裝置，係 ”備·排程判斷部’於上述基板處理裝置開始運轉後，判斷是否須重新藉上述排程演算部重新算出上述搬送機各動作之執行時刻；以及演算條件決定部，藉由上述排程判斷部判斷須重新算出上述執行時刻 < 情形了，決定一假定時刻和藉由上述排程演算部所作執行時刻之算出中作為對象之基板之最終基板，而上述排程演算部一面保持過去所求件之排程結果，即藉由上述演算條件決定部所決定假定時刻以則之排程結果，一面以至上述演算條件決定部決定之最終基板為止之基板為對象，重新算出執行時刻。又’本發明較佳態樣係一種基板搬送控制裝置，係具傷··實績時刻取得部，用以取得搬送機開始各動作之時刻；再排程判斷部，在上述實績時刻取得部所取得之時刻與過去所求得之排程結果之執行時刻之間是否有矛盾或超出預定範圍之差；以及校正部，在藉由上述排程判斷部判斷有矛盾或超出預定範圍之差情形下，於判斷有該矛盾或超出本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱 312161 473813

，疋犯圍之差時，校正未實施之搬送機各動作之執行時經濟部智慧財產局員工消費合作社印製更且，本發明較佳態樣係一#基板搬送控㈣置，係具備·條件變更檢測部’在上述基板處理裝置開始運轉後檢測有關預疋投人基板處理裝置之基板條件之變更；以及校正部在藉由上述條件變更檢測部檢測出有關上述基板條件變更之情形下，校正搬送機對該條件變更之基板以後之基板所作各動作之執行時刻。又本發明較佳態樣係一種基板搬送控制裝置，係在省略上述基板處理裝置内一個以上之處理機器對一個以上基板之處理之情形下，上述排程演算部算出上述搬送機各動作之執行時刻，俾使上述一個以上基板越過上述一個以上處理機器並加以搬送。本發明再另一態樣係一種基板處理裝置，係於基板處理裝置中具備上述基板搬送控制裝置，而該基板處理裝置具備複數個進行基板處理之處理機器，並藉由搬送機搬送基板於該處理機器間以進行基板處理。凰式之簡單訪日a 第1圖係顯示本發明實施形態之半導體製造裝置之構成模式圖；第2圖係顯示本發明第1實施形態之硬體構造實施例之圖式；第3圖係顯示本發明第1實施形態之基板搬送控制之構成方塊圖；本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） 8 312161 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ，丨裝 ----訂i 線 . 473813 A7 B7 五、發明說明（9 ) 第4圖係Μ示本發明帛！實施形態之基板搬送控制程序之流程圖； (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第5圖係顯示本發明第2實施形態之基板搬送控制之構成方塊圖；第6圖係顯示本發明第2實施形態之基板搬送控制程序之流程圖；第7圖係顯示本發明第2實施形態之排程對象時間區域之影像圖式；第8圖係顯示本發明第5實施形態之基板搬送控制之構成方塊圖；第9圖係顯示本發明第3實施形態之排程校正部中所進行處理程序之流程圖；第10圖係顯示本發明第4實施形態之基板搬送控制之構成方塊圖；第11圖係顯示本發明第4實施形態之排程校正部中所進行處理程序之流程圖，· 第12圖係顯示基板處理裝置配置例之圖式；經濟部智慧財產局員工消費合作社印製第13圖係顯示第12圖之處理機器類別間之基板流程例之圖式；第14A圖及第14B圖係顯示成為第13圖中排程對象之基板之順序之圖式；第1 5圖係顯示第12圖之處理機器類別間之基板流程例之圖式；第16A圖及第16B圖係顯示成為第15圖中排程對象本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 9 312161 473813 A7 五、發明說明（10 ) 之基板之順序圖式。第17圖係顯示基板處理裝置之構成例之圖式；第1 8圖係顯示第17圖之處理機器類別間之基板流程例之圖式；第19A圖至第1 9C圖係顯示成為第18圖中排程對象之基板之順序圖式；第20圖係顯示裝入本發明基板搬送裝置之基板處理裝置之全體構成方塊圖；第21圖係顯示在使用本發明第2實施形態之基板搬送控制裝置排定搬送機之操作時刻的情形下，運轉開始後不久之排程結果圖式；第22圖係顯示使用本發明第2實施形態之基板搬送控制裝置排定搬送機之操作時刻情形下，自運轉開始經過一定時間後之排程結果圖式。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -1 · I-- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製元件符號說明 la至lc搬送機 3a、3b暫置台 5a、5b水洗乾燥機 7粗洗淨機 9a至9d電鍍槽 11中央處理裝置（CPU) 13 ROM(僅讀記憶體） 15硬碟 1 7時間表 2a、2b卡匣 4翻轉機 6a、6b藥液洗淨機 8a、8b前處理機 10基板搬送控制裝置 12輸入裝置 14記憶體 16輸入輸出介面 1 8演算時間表訂---------線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 10 312161 丄丄經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（11 ) " 19經過資料橋 2 2解判斷部 24動作指令部 3 1排程判斷部 3 3排程演算部 3 5時間表製作部 37再試行部 5 0排程校正部 52面排程判斷部 54經過資料取得部 56允許部 7 0排程校正部 72禁止部 74處理預定時間更新部 76允許部 102排程器 11 〇至112控制器里以實施發明之最袪以下，參照第1圖至第裝置之第1實施形態加以說置係控制設置於基板處理裝的搬送者。且，於以下說明裝置控制基板搬送之基板處行處理之半導體製造裝置之 A7 B7 --—^_ 2 1排程演算部 23時間表製作部 2 5再試行部 32演算條件決定部 34解判斷部 3 6動作指令部 40排程部 5 1實績時刻取得部 5 3禁止部 55校正部 60動作指令部 7 1條件變更檢測部 7 3經過資料取得部 75校正部 1〇〇裝置控制部 104顯示裝置 120主控制器 4圖，就本發明基板搬送控制明。本發明之基板搬送控制裝置内之複數處理機器間之基板中，固·然就藉由基板搬送控制理裝置對半導體基板（晶圓）進情形加以說明，惟本發明不限 ^--------^---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公t ) 11 312161 473813 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（12 ) 於此，例如亦可適用於對玻璃基板進行LCD製造用之處理之基板處理裝置。第1圖係顯示本實施形態之半導體製造裝置之構成模式圖。如第1圖所示，藉由本發明基板搬送控制裝置控制之半導體製造裝置具備搬送基板之搬送機la至lc、裝填基板之卡匣2a，2b、用來轉送基板之暫置台3a，3b、翻轉機4、水洗乾燥機5a，5b、藥液洗淨機6a，6b'粗洗淨機 7、前處理槽8a，8b及電鍍槽9a至9d。在此，於本實施形態中，所用處理機器不僅包含進行製程處理之裝置5a 至9d，亦包含暫置台3a，3b及翻轉機4。又，亦可以配置半導體製造裝置作為例如進行成膜處理之CVD裝置、進行研磨處理之拋光裝置等種種裝置，因應於此，處理機器亦可作成各式各樣的機器。裝填於卡匣2a或2b之基板在投入裝置内而搬送至暫置台3a後，再藉由搬送機lb搬送至暫置台3b。其次，基板藉由搬送機lc搬送至前處理槽8a或8b予以處理、翻轉。其後，藉由搬送機lc搬送至槽9a至9d並加以處理，再搬送至粗洗淨機7。粗洗淨完的基板藉由搬送機搬送至藥液洗淨機6a或6b加以處理，再搬送至翻轉機4予以翻轉。最後，基板藉由搬送機la搬送至水洗乾燥機5&或 5b予以處理，並回收至最初裝填之卡匣或2b。因，基板並非僅為單片基板而亦可為藉由夾具連結等一體化之複數片基板组。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 ----訂---------線' 在此’於本實施形態中，預先定義搬送機la至lc之

473813 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（I3 各動作。例如，就搬送機lc之動作界定有移動至暫置台 3b接收基板之動作c、搬送至前處理槽8a、8b並轉送該基板之動作D、移動至前處理槽8a、8b接收前處理後之基板之動作E、搬送至電鍍槽9a至9d並轉送基板之動作F 以及移動至鍍槽9a至9d接收電鍍處理後之基板，再移動至粗洗淨機而轉送該基板之動作其次’就本實施形態之基板搬送控制裝置加以說明。第2圖係顯示本實施形態之基板搬送控制裝置之硬體配置實施例之圖式，第3圖係顯示本實施形態之基板搬送控制裝置之構成方塊圖。如第2圖所示，基板搬送控制裝置1〇配置成包含中央處理裝置（CPU) 11、鍵盤、滑鼠等之指向裝置，或用來讀取儲存於其他電腦内之資料之通信裝置等輸入裝置12以及作為記憶裝置之ROM13、記憶體14及硬碟15。又，該基板搬送控制裝置1〇經由輸入輸出介面16與上述半導體製造裝置之搬送機la至lc連接，藉著經由輸入輸出介面將來自上述CPU11之信號送至半導體製造裝置之搬送機 1狂至1 c ’以控制該搬送機h至ic〇將用來協同OS(操作系統）作動，發命令給cpuii等，進行基板搬送控制之電腦程式碼儲存於R〇M13及硬碟 15。該電腦程式藉由載入記憶體14來執行，並且協同 CPU11作動而進行以下所述之基板搬送控制。藉由這種電腦程式與CPU之合作，如第3圖所示，構成後述之排程演算部21、解判斷部22、時間表製作部23、動作指令部及 t— n n n n n n n n ameK n I · n in ϋ— I tammm» ·ϋ I · i n n iai ·ϋ —BBi n I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

13 312161 473813 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（14 ) 再試行部25。又，將藉由後述時間表製作部23製成（更新）之時間表17儲存於硬碟15(或記憶體14)。以下就本實施形態之基板搬送控制裝置1 0之基板搬送控制程序加以說明。第4圖係顯示本實施形態之基板搬送控制裝置10之基板搬送控制程序流程圖。首先’在基板處理裝置運轉開始之前，輸入半導體製造裝置之搬送機la至.lc之各動作所需時間（下稱動作預定時間）’例如，搬送機la至1c為了自處理機器接收基板所需之預定時間或搬送機la至為了自某一處理機器位置移動至另一處理機器位置所需之預定時間等（步驟1)。該動作預定時間之輸入經由上述輸入裝置12來進行。又’輸入處理機器3a至9d對於基板處理所需時間（下稱處理預定時間），例如，於粗洗淨機7中供洗淨基板之預定時間等（步驟2)。該處理預定時間之輸入亦經由上述輸入裝置12來進行。且，用來輸入這些動作預定時間及處理預定時間之輸 2裝置不限於鍵盤、指向裝置等，例如亦可將上述動作預定時間、處理預定時間做為檔案預先儲存於記憶裝置μ 或15’藉由讀取該檔案，亦可輸入動作預定時間及處理預定時間，而且，亦可將這種標案保存於其他電腦，藉著經由通信裝置予以讀取’以輸入動作預定時間及處理預定時間。在餘存動作預定時間於播案之情形下，例如亦各搬送機所連線之電腦計測搬送機之各動作實際需要^ 間’將該計測之時間設為動作預定時間，以儲存^檔案中。卜紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2】G_X挪公爱1 312161 -*裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ka· - -線· 五、發明說明（I5 ) ;該障形下’若計測裝置運時間，行平均化等之處理且更斩：二：，各動作所需二 =::r::自

I 作之㈣= 定條件式之解类^ 導出固然藉由算出滿足預、進仃，惟其詳細情況係容後說明。上述定存有滿足上述條件式之解，在利用訂、σ 1，貝算後，藉由解判斷部22判斷是否可獲得滿足上述條件式之解（步驟4)。 ]斷是否了依據=斷Γ解之情形下，時間表製作部23製成(更新) ;據該執饤時刻之時間表”，亦即常與上述所獲得之執行 4=:,二時刻進行之搬送機動作對應之時間表，將時間表17儲存於上述硬碟15内(步驟5)。並且，於半導體製造裝置運轉時，動作指令部Μ參昭錯存於硬碟15之時間表17,進行搬送機u至u之控制。，、亦即’於時間表17所列之執行時刻，經由輸入輸出介面丨6對該搬送機下達對應之搬送機動作之指令。藉此，使作為對象之最後基板結束全部處理，並使自半導體製造裝置回收之時刻成為最早。此外，於動作指令部24對搬送機 la至lc下達動作指令之際，先確認該搬送機處於非動作搬送目的地之處理機器之基板處理已結束，以及前一巾_ 家鮮 312161 473813 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（16 ; 個基板已不存在於欲搬送之處理機器重設結束之後，傳送指令。於未滿足這些條件之情形下，在動作指令部24等待至滿足上述條件之後，方傳送指令。另一方面，在藉由解判斷部22判斷無法獲得滿足上述條件之解的情形下，再試行部25再試行以調整同時存在於裝置内搬送機及處理機器上之基板平均片數，亦即，調整基板投入間隔，並修正上述條件式，作上述步驟3以後之處理（步驟6)。該條件式之修正藉由以適當間隔將搬送機之動作預定時間與處理機器之處理預定時間設定為〇之假想基板（以下稱空基板）插入基板間來進行。此時，由於若同時存在於裝置成之基板片數減少，則搬送機之動作頻率即變小而於搬送機產生餘裕，故增加可獲得解之機率。於藉再試行部25再試行後亦無解之情形下，進一步修正上述條件式以減少同時存在於上述裝置内之基板平均數，於極端情形下’在先行之基板結束全部處理且回收於卡匣2&或 2b之後’將次一個基板投入裝置内。其次，就上述排程演算部2丨之條件式設定以及執行時刻之導出與具體例同時加以說明。此外，以下所說明之條件式之設定及執行時刻之導出之例，亦可使用其他所有方法來進行。首先，沿基板投入半導體製造裝置迄回收之路徑依序界定搬送機la至lc之動作之號碼（動作號碼）為 1，2,3，·..Κ。又，假想自半導體製造裝置的運動開始經過足夠的時間後，半導體製造裝置内充滿足夠之基板，且正進本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 312161 n ti n H 1 II n n n ϋ I ϋ I · I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . —線· 473813 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 —---------B7____ 五、發明說明（17 ) 行穩定運轉之狀態，關於動作κ，其相對應之下一個搬送機所進行之動作號碼以kp(k)表示。更且，假定半導體製造裝置運轉開始時’在第1片基板之前或運轉結束時最終基板之後存在適當片數之上述空基板，包含上述空基板，按自卡匣2a或2b投入半導體製造裝置之順序決定基板號碼 n ’以np(k)表示自動作K移至次一動作kp(k)時作為動作對象之基板的基板號碼之增量。例如，第1圖所示之半導體製造裝置如以下所界定。將搬送機la將裝填於卡匣2a或2b之基板搬送至暫置台3a之動作A定義為k=l，將搬送機ib將暫置台3a上之基板搬送至另一暫置台3b之動作B定義為k==2，將搬送機 lc移動至暫置台3b而接收基板之動作c定義為k=3,將上述接收之基板搬送至前處理槽8a或8b而轉送之動作D 定義為k=4,將移動至前處理槽8a或81)而接收基板之動作E定義為k=5,將上述接收之基板搬送至電鍍槽9&至9d 而轉送之動作F定義為k==6，將移動至電鍍槽9&至9(1，接收電鍍處理後之基板，且移動至粗洗淨機而轉送至該基板之動作G定義為k=7等。更且，假设在半導體製造裝置運轉開始後經過充份時間’於半導體製造裝置内#足夠之基板且正穩定運轉之狀態，棑定搬送機之動作順序。例如，周期性定義搬送機u 之動作順序，使動作號碼成為3—5—4-6—7—3—。於此情形下，可表示成： kp(3)=5 i氏張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）—------- 17 312161 -------------裳--------訂---------線 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 473813

kp(4)=6 kp(5)=4 kp(6)=7 kp(7)=3 再者，由動作k移至次一動作1^(1〇時，基板號碼之增量 np亦如以下所決定。此外，該叩考慮處理機器％至9d 之每一類別之機器數而決定。 np(3)=-2 np(4)=-2 np(5)=+2 np(6)=-3 np(7)=+6 此時，若各基板按投入順序周期性分配給同一類別内之各處理機器（例如，8a至8b、9a至9d)，即對以下所示動作預定時間定為相同意義。這些動作預定時間係根據藉由上述輸入裝置12輸入者或輸入值，考慮搬送機之位置、路徑，並藉由計算求得者。

Ml(k，η):搬送機自緊接在動作k前之位置移動至接收基板η前之時間

Gl(k，η):搬送機於動作k自處理機器接收基板η之時間 M(k，η):搬送機於動作k保持、移動基板η之時間 G2(k，η):搬送機於動作k轉送基板η至處理機器之時間 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 18 312161 473813 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（19 ) —— M2(k，n)·搬送機於動作k轉送其付疋&板η之後移動之時間而且，這些動作預定時間有成為0之情形。又，其總計定義為Tg(k，r〇。亦即，^義^為：

Tg(k,n)=M1(k, n)+Gl(k, η) +M(k,n)+G2(k,n)+M2(k,n) 復定義以下之非負變數。 xr(k，n)·緊接在對基板n所作動 ^ ^ F初作k之前之搬送機之暫停時間 xw(k，n):緊接在對基板η所作動作^夕义认* r利邛k之刖，於處理機器上之搬送機等待時間 xf(k，n):緊接在藉由對基板^所作動作k將基板送至處理機器之前之該處理機器之空檔而且’ xw(k，η)僅定義包含自處理機器接收基板之動作。又’固然xf(k，η)僅定義包含基板轉送至處理機器之動作’惟實用上，亦可限定在用於基板轉送於搬送機間之將基板轉送至中繼型處理機器之動作。在此，若以t(k，η)表示對基板η之動作k開始之時刻，以下3式即成立。 t(kp(k),n+np(k)) =t(k，n) + Tg(k，η) + xr(kp(k)，n + np(k))·.·(式 1) t(k+1,n) = t(k,n) + Tg(k,n)-M2(k,n)+p(k, n) -Ml(k + l，n)+xw(k+l，n)·.·(式 2) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNSM4規格（210 x 297公釐） ι9 312161 -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 473813 A7 B7 五、發明說明（2G ) t(k，n) =t(k+l5n-U(k)) +Ml(k+l，n_U(k)) + G1(k+1，nu^ -Ml(k，n)-Gl(kn)_M(kn) + xf(k4 (式]) 在此，（式2)中之p(k，n)為以動作號碼乂表 / 之基板號碼η之處理預定時間，為藉由上述輪作後輸入者或根據輸入值計算者，通常包含除了每二裝之電鍍、洗淨等處理預定時間，在處理機器進行之啟閉器關閉、注液等之前仃埯理則| 胺…,一作、處理結束後進行之貪、、才〗盜開啟等之後動作所需時間。又，（式3)中表示相對於動作”轉送基板之處理機器之類別内機器數。 Λ, 刀別地’上述（式1)表示對基板η所作動作k之次一個相同搬送機所作動作之開始時間’（式2)表示於處理機器對基板η所作處理結束後接著進行之動作k+1之開始時刻， (式3)表示搬送機自處理機器接收處理後基板之後轉送次一基板之動作之開始時刻。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製上述（式1)至（式3)之式子可以T、Xr、xw、xf之個別 t(k’n)、xr(k，n)、xw(k，n)、xf(k，n)為行向量，以 Rm、wm、

Fm為適當行列，以Rv、Wv ' Fv為適當行向量，可如以下變換。 T=Rm Xr+Rv.··(式 la) xw = Wm Xr+Wv··.(式 2a) xfFm Xr+Fv(式 3a) 312161 297公釐） 473813 B7 五、發明說明（21 ) :在此，於上述（式la)中’左邊向量τ有相當於表示對最終基板N(除去空基板）所作回收動作開始時刻（κ，Ν)之要素，若於左邊之向量RmXr*與其對應之要素變為最小，則作為對象之基板之最後_片結束全部處理且自半導體製造裝置回收之時刻可最早。使該回收時刻最早之條件可以c為適當列向量，如以下表示。 cSr最小·（式4) 而上述（式la)至（式3a)所表示之搬送動作物理上成立之條件通常為XG 〇，Xw以，说Q，由該不等式和上述 (式la)至（式3a)可導出以下不等式。

Xr^O.··(式 lb)

WmXr- -Wv…（式 2b)

FmXr- -FV.“（式 3b)

於此，在某一處理機器自搬送機接收先行基板至開始轉送次一基板需要一定時間之情形下，於（式3b)之右邊對應之要素上加上該時間。例如，搬送機u在上述翻轉機4 上接收翻轉後之基板後，翻轉機構開始重設，而搬送機U 可轉送下一個基板。於此情形下，於右邊之對應要素上加上所需時間。復由於如（式la)所表示，全部動作開始時刻以&之一次式表示，故有關任意之動作時刻之一次必要條件可用有關ΧΓ之-次不等式表示。例如，就必要條件而言，若於動作kO中，立刻接收緊接在前之處理結束後之任意基板， Μ--------tT---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公雙)一 21 312161 4?38l3 A7 經濟部智慧財產局消費合社印製五、發明說明（22 ) 亦即，若以xw(k〇，n)=o為條件，即可於上述（式叫取出與 k〇 —致之列，藉以下一次不等式表示。 -WmOXrO-WvO.··(式 5) 且，由於相對於基板n0，藉由動作k〇,自緊接在前之處理機器接收基板，故在上限之限制條件設定為至藉由動作k0+1轉送至次一處理機器為止之時間情形下，亦可導出同樣形式之不等式。又，同樣地，亦可將下限之限制條件設於任意二動作之開始時刻期間，藉此，可進行搬送機具有某種程度餘裕之排程。更且，將藉由動作让轉送基板 η至處理機n之後至開始處理為止之處s冑之等待時間定義為Xww(k，n)，亦可定式化，俾包含於上述變數向量。於此情形τ，可提高滿足有M xw(k+1,n)之上限限制條件之概率。與以上相較，若（式lb)至（式3b)以及（式5)以A作為. 適當行列，以b作為適當行向量，即可以下列之式子表示。 AXr- b···(式 6) 因此，為了使最終基板之回收時刻最早，固然須求得 (式6)之下（式4)之最小值，惟該種Xr之解可就線性計劃法之問題來求解。若得到該解Xr，即可自（式la)求得使最終基板之回收時到最早之各動作執行時刻，據此，可製成 (更新）上述時間表。其次’參照第5圖至第7圖就本發明基板搬送控制裝置之第2實施形態加以說明。第5圖係顯示本實施形態之基板搬送控制裝置1〇之構成方塊圖，第6圖係顯示本實施 f請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ·裝 *. 丨線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 473813 A7 -—------B7__ 五、發明說明（23 ) 形態之基板搬送控制裝基1〇之基板搬送控制程序流程圖’第7圖係顯示本實施形態中以排程為對象之時間區域影像之圖式。 -在長時間連續運轉半導體製造裝置之情形下，不限於僅在事前給予對各基板之處理預定時間，亦考慮於運轉中’例如在安裝新卡匣時，給予對卡匣内未處理基板之處理預定時間進行控制。本實施形態之基板搬送控制裝置亦可對應這種情形。亦即，本實施形態之基板搬送控制裝置10在半導體製造裝置運轉中，一面將第7圖所示之排程對象時間區域移動至後方，一面逐次反覆排程，毫無矛盾地添補各排程結果並進行控制。本實施形態之基板搬送控制裝置10如第5圖所示，將演算時間表1 8儲存於硬碟1 5内，復藉由儲存於記憶裝置 13至15之電腦程式與CPU11之合作，構成排程判斷部 31、演算條件決定部32、排程演算部33、解判斷部34、時間表製作部35、動作指令部36及再試行部37。以下，就本實施形態之基板搬送控制裝置之基板搬送控制程序加以說明。首先’如同上述第1實施形態，藉輸入裝置丨2輸入動作預定時間（步驟21)，再藉輸入裝置12輸入處理預定時間 (步隸22)。本實施形態將輸入裝置所輸入之資料暫時儲存於記憶裝置14或15中’藉由將其讀取而進行動作預定時間及處理預定時間之輸入。 -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 23 312161 473813 A7 五、發明說明（24 ; 一輸入這些動作預定時間和處理預定時間，排程判斷部31即判斷是否需要新的排程（步驟23)。亦即，為了輸入處理預定時間，檢查有無尚未排入之基板。在藉該排程判斷部3 1判斷與尚未排入之基板，亦即，無需新的排程情形下，再度回到步驟22，等待處理預定時間輸入。另一方面，在藉由排程判斷部3 1判斷有尚未排入之基板之情形下，藉由演算條件決定部32，決定目前時刻以後之一假定時刻和作為排程演算對象之最終基板（除去空基板）（步驟S24)。最終基板係添加於已排入之基板之作為排程凉异對象新追加之最後一片基板，而不是空基板。如第7圖所示，該假定時刻和最終基板於過去導出之排程結果中，以最終非空基板（所謂非空基板者）投入半導體製造裝置之後最初包含空基板之基板回收於卡匣23或 2b之時刻為假定時刻，推斷自目前時刻迄假定時刻期間有餘裕，可完成排程演算範圍之追加基板片數，再決定最終基板。追加基板片數之推斷雖於尚未排入卻輸入處理預定時間之基板片數範圍内進行。又，在未獲得正的追加基板片數情形下，將假定時刻挪至下一個排程完成之基板之回收時刻而求得。如此，依第7圖所示，自上述假定時刻迄上述最終基板回收時刻期間即成為概略排程對象時間區域。於此，對追加基板片數排程演算所需時間平均值作成演算時間表18，保存於硬碟15内，並考慮保存於該演算 -----------^--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · 丨線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製私紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 24 312161 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 25 473813 五、發明說明（25 ) 時間表1 8之演算所愛主厅需時間，再推斷適當之追加基板片數。該新排入之最狄其^^ 取、、基板回收時刻固然通常落在事前給予全部基板之處理預定拉頂疋時間之情形下實現之真正最早值早時刻）之後，惟若各次排拓户程〒追加之基板片數大到某一程度，即可近似地接近真正最早值。 —右藉由#算條件決定部32決定假定時刻和作為排程演算對象之最終基板’則排程演算部33即接著根據追加上述追加基板後之條件式，導出上述排程對象時間區域内搬送機各動作之執行時刻（步驟25)。於此情形下，藉由參照過去所導出之排程結果中執行時刻在假定時刻後之動作號碼和基板號碼组，求得相對於各動作Μ侧重基板號碼之下限。或者，亦可由搬送機之動作順序，按處理預定時間、動作預定時間求出假定時刻後可能發生之動作而定出基板號碼之下限。如此，固然保持過去排程結果中假定時刻以前之多數動作之執惟亦有於假定時刻附近產生未保持執行時刻動作之情形。復求出上述排程演算對象之最終基板回收於卡匿之動作開始時刻前可能發生之動作’設定基板號碼之上限。至於最終基板以後之基板，則假定存在有動作時間和處理時間為0之空基板。根據如此設定之基板號碼之下限和上限，知行向量τ、χΓ等，進行排程演算…，於上= 算中’根據演算實際需要之時間’更新保存於上述演算時間表1 8之演算所需時間之平均值。 312161 ^--------^—-------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（26 ) 且’由於在連續運轉開始時特別重視排程之即時響應 14 ’故對前頭之第1片基板，就（式1)至（式3)成立之最小按k 1,2,…，Κ之順序，求得動作時刻。在裝置内處理之基板為一片之情形下，如此該基板之回收時刻即變成最早0 又 ° ’在處理預定時間、動作預定時間不變成極端值範圍内基板於各處理機器3a至9d處理後立即藉由搬送機 la至lc搬送至次一處理機器。因此，求得滿足所給限制條件之最適解。在藉由排程演算部33處理後，如同第1實施形態，藉解判斷部34判斷是否獲得執行時刻之解（步驟％)，在獲得執行時刻之解的情形下，藉時間表製作部35製成（更新）時間表（步驟27)。於時間表作成（更新）後，回到上述步驟 32 ’再反覆此後之步驟。動作指令部36與第i實施形態一樣，藉由參照儲存於硬碟15之時間表17，進行搬送機18至“之控制。另一方面，在一獲得執行時刻之解即藉解判斷部34 判斷之情形下，固然如同第丨實施形態，藉由再試行部將空基板插入各基板間（步驟28)，惟於上述情形下，上述演算條件決定部32亦考慮該插入之空基板，決定假定時刻和作為排程演算對象之最終基板，俾存在非空追加美板。而且，於本實施形態中，由於新排程所求得之搬送機動作之執行時刻在假定時刻之前，故在上述追加基板片數之推斷中，有必要加大設定安全係數M乍完較假二時刻早之排程演算，藉動作指令部對搬送機下達動作指令。 (CNS)^^ (210 X 297 312161 —J----------裝--- (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) _ 473813 A7 ____________B7 五、發明說明（27 ) 其次，參照第8圖及第9圖，就本發明基板搬送控制裝置之第3實施形態加以說明。、工’ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本實施形態之基板搬送控制裝置10如第8圖所示具備排程部40、排程校正部5〇以及動作指令部6〇，經過資料擋19儲存於硬碟15。動作指令部6〇相當於上述第2實施形態之動作指令部36。排程部40由上述實施形態之排程判斷部、演算條件決定部、排程演算部、解判斷部、時間表製作部及再試行部構成。又，排程校正部50由實績時刻取得部、再排程判斷部52、無效化部53、經過資料取得部54、校正部55 及有效化部56所構成。上述棑程部4〇和排程校正部5〇一起藉由儲存於記憶裝置13至15之電腦程式和〇1>1；11之合作來實現。以下，就本實施形態之基板搬送控制裝置1〇之基板搬送控制程序加以說明。第9圖係顯示於本實施形態之排程校正部50中所進行處理程序之流程圖。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製排程部40中的基本處理流程固然與上述第2實施形態所說明之處理相同，惟以動作預定時間、處理預定時間等之條件資料以及上述t(k，n)、Xr(k，n)和完成排程之最終基板號瑪等之排程結果資料作為經過資料樓19，於排程校正部50間無矛盾共有而更新之點則異於第2實施形態。亦即，運轉開始時，藉由輸入裝置12輸入各搬送之各個動作預定時間，該動作預定時間作為經過資料檔1 9儲存於S憶體】4或硬碟1 5内。又，於連續運轉開始以後，藉本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2.10 X 297公爱） 27 312161 473813 A7 五、發明說明（28 ; 由輸入=置12輸入對各基板所作每一處理機器類別之處理之預疋時間’該處理預定時間亦作為經過資料檔19儲存於記憶體14或硬碟15内。此後，為了反映排程校正部50 所作之搬送機各動作之執行時刻之校正結果，讀取經過資料檔19，據此，進行藉時間表製作部製成（更新）時間表為止之步驟」將結果儲存於經過資料檔19。儲存於經過資料檔19之貧料例如於各個時刻參照結束全部處理回收於卡匣之基板之號碼等，依序消除過時且不需要者此外亦可於藉排程判斷部作新排程演算之必需性判 T以及藉演算條件決定部作最終基板之決定中，考慮經過 ’;斗檔之記隐各里、時刻校正之發生效率等，對作為排程演算對象之基板範圍設下限制而，本實施形態之下述處理獨立於上述排程部4〇之處理外，在排程校正部5〇進行 ^首先，實績時刻取得Η經由上述輸入輸出介面16取传搬送機U至1〇實際開始各動作之時刻（以下稱實績時刻）（步驟41)。其次，再排程判斷部52求得上述實績時刻取得部51所取得之實績時刻與過去於上述排程部40之排 π部排疋之時間表j 7中所記述之實際進行時刻的差，判斷該差是否超出預先決定之容許範圍。在判斷上述滞後時間來超出預定容許範圍之情形下，仃：績時刻之取得(步驟41)，另-方面，在判斷超 ~奋許把圍之情形下，須作時間表i 7所記述執行時刻之 f '_因此’進订下述處理（步驟43至步驟47)。且，亦可 28 312161 丨本―家標準297公玎 473813 A7

訂 1 29 312161 k 473813 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（30 y 且，於上述新執行時刻之算出中，為求簡單，亦可在過去排定之時刻上加上最新實績時刻之滯後，一律向後移動。又，亦可以搬送機自搬送目的地之處理機器接收基板結束之時刻或轉送基板至欲搬送目的地之處理機器結束之時刻為對象，進行與過去排程結果間之比較。此後，有效化部56再度允許或再起動藉由上述無效化部53無效化或停止之排程部4〇之處理（步驟47)。在該有效化或再起動後，於排程部40中，根據上述更新之經過資料檔19之内容進行處理。且，在搬送機之一動作較預定滯後之情形下，固然未必滿足有關的考慮搬送機之動作時刻之限制條件，惟藉由適當設定再排程判斷部52之滯後基準，可減小至限制條件之不符可忽視之程度。X，在有效化或再起動排程部之處理後，可根據其後之基板，藉由線性計劃法，求得考慮限制條件之最適值，可消除時間滯後對未來之影響。 /、人，參照第10圖及第11圖就本發明基板搬送控制裝置之第4實施形態加以說明。第1〇圖係顯示本實施形態之基板搬送控制裝置1〇配置之方塊圖。 " 如第10圖所示，本實施形態之基板搬送控制裝置iq 具備排程部40、排程校正部70及動作指令部6〇，再經過資料檔19儲存於硬碟15中。該排程部4〇與排程校正部一起藉由儲存於記憶裝置13至15之電腦程式與cpuu 之合作來實現。本實施形態之排程校正部7〇由條件變更檢測部71、禁止部72、經過資料取得部73、處理預定時間 JI I ^^1 --- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 二π· i •線！ —尺度適 fflTiii 標準(CNS)A4 規4 ⑵。χ 297·;ιτ 312161 473813 B7 五、發明說明（31 ) 更新部74、校正部75及允許部％構成。排程部40之處理流程固㈣上述第2及第3實施μ 所說明之處理相同，惟於排程校正部 " 後）虫丨…^進仃之處理卻盥實施形態之排程校正部50不同。以下就本實施形離之 =正部7。令進行之處理加以說明。且，於該排程校正 °中進仃之處理獨立於排程部40之處理之外進行。第 Π圖係顯示本實施形態之排程校正部7〇中進行之處理程序流程圖。訂 f先，條件變更檢測部71於運轉開始後，經由輪入裝置12檢測有關預定投入裝置之基板（下稱未投入基板）之條件變更，例如’預定投入裝置之取消、處理預定時間之變更、投入裝置順序之變更等(步驟51)。由於在藉由條件變更檢測部71檢測出有關未投入基板之條件變更之情形下，須作時間表17所記述執行時刻之校正，故進行以下所述處理。首先，禁止部72禁止或停止上述排程部4〇之處理（步驟52)，經過資料取得部73參照經過資料檔19，以取得上述經過資料（步驟53)並且，處理預定時間變更部74參照有關上述未投入基板之條件變更（預定投入裝置之取消、處理預定時間之變更、投入裝置順序之變更等），更新有關過去作為上述經過資料檔之一部份儲存之處理預定時間（步驟 54)。於此情形下，對條件變更後之未投入基板設定新的投入順序，依據該投入順序，更新處理預定時間。又，在對各個基板指定有關搬送之限制條件情形下，亦同樣更新此本紙張尺度刺巾關家標準（CNS)A4規格⑵G x 297公髮） 31 312161 473813 B7 五、發明說明（32 ) 限制條件。其次’在過去業已對在步猫甘α 7騍54更新處理預定時間之前 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^板切排程之情形下，校正部75自過去資料内排程結果取消該基板以後之排程結果，再插入適當片數之空基板，以算出滿足上述（式狀（式3)，並且低於過 =刻之最小值(步驟55)。此時排定之最終基板成驟54中處理預定時間未變更之最終基板。並且，校正部 75根據該校正之執行時刻，更新上述時間表η和經料播19(步驟56)。且，亦可於步驟55中，以搬送機自搬送目的地之處理機器接收基板結束之時刻或轉送基板至欲搬送目的地之處理機器結束之時刻為對象，進行與過去排程結果間之比較。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製此後，有效化部76再度有效化或再起動藉由上述無效化部72無效化或停止之排程部4〇之處理（步驟57卜於該有效化或再起動後，於排程部40中，根據上述更新之經過資料檔19之内容來進行處理。結果，即使是在上述步驟 54處理預定時間變更之前頭基板以後之基板，亦可根據變更後之處理預定時間，立刻算出動作之執行時刻。如此，即使有處理之取消、處理預定時間之變更、投入裝置順序之變更等有關未投入基板之條件變更之情形下，亦可彈性應對該變更，再運轉基板處理裝置。且，亦可配置成同時具有本實施形態之排程校正部7〇和上述第3實施形態之排程校正部5 0之功能。如上所述，上述各實施形態之排程演算部導出搬送機本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 32 312161 473813 A7 " --------- B7 —__ 五、發明說明（33 ) — ---- 各動作之執行時刻，#作 J便作為對象之基板之最後一片結束全部處理自半導體製造裝置回收之時刻最早。即使在予以指 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 定俾省略處理機器對特定基板之處理情形下，亦可算出搬送機各動作之執行時刻，俾使該基板越過指定之處理機器搬送該種處理省略可藉由將某_處理機器對特定基板之處理預定時間設定為〇，並予以指定。在如此越過處理機器搬送基板之情形下，緊接在處理機""別並且，緊接在作為對象之基板之後，插入適當片數之空基板。並且，以該空基板插入為前提，藉由根據本述線1±计劃法计异，再算出執行時刻。藉由如此插入適當片數之空基板，可越過處理機器搬送基板。以下就此種空基板插入加以說明。首先’如第12圖所示設置處理機器類別si至S3於基板處理裝置内之情形為例而加以考慮。其配置成藉由相同之搬送機進行包含對處理機器類別31至S3轉送基板之動作k-1 ’ k，k+Ι係基板a、B、C、D按其順序投入基板處理裝置内，再進行搬送、處理。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製於此情形下’考慮有關基板B及C，指定處理機器類別S2之處理預定時間為〇，基板b及C越過處理機器類別S2之處理搬送之情形。且，第13圖及後述第15圖顯示第12圖之處理機器類別間之基板流程，再向下取得時間軸。 1)正常運轉時該搬送機之動作順序為k+1，k，k-Ι，右以動作说碼和基板號碼之組來表不’搬送機即按本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 33 312161 473813 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（34 / [k+l，2]、[k，4]、[k-l，5]、[k+l，3]、[k，5]、叫…之順序動作之情形（第1 3圖）於此情形下，如第14A圖所示，緊接於基板B之前，插入相當於處理機器類別S2之機器數2之片數，亦即二片空基板②和③。並且，對空基板②進行動4[k+1，2]，乏搬送目的地之處理機器類別由82換成S1，同時領先包含自處理機器類別S1接收基板B(④）之動作，亦即，在未越過障形下動作[k，4]之前，進行上述動作[k+1，2]。藉此，如第 13圖中虛線所不，基板B自處理機器類別S1搬送至處理機器類別S3。如此，該動作[]^+1，2]即不會妨礙包含基板 c(⑤）轉送至處理機器類別S1之動作。動作[14]用來當作對空基板之動作，亦即動作時間〇之無實體之動作。 " 又，同樣地，對空基板③進行動作[k+1，3]之搬送目的地之處理機器類別由S2換成S1，同時，為求不致於妨礙包含轉送基板D(⑥）至處理機器類別S1之動作[k-1，6]，該動作[k+l，3]領先包含自處理機器類別S1接收基板c(⑤）之動作[M]而進行。藉此，如第13圖中虛線所示，基板c 自處理機器類別S1搬送至處理機器類別S3。動作[15]亦當作無實體之動作來使用。而且’藉由進行這種動作，位於基板B、c前之空基板在動作[k+U]之後’如第14B圖所示，移動至基板B、 C後方。 2)正常運轉時，該搬送機之動作順序為卜卜卜k-l，

34 312161 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 473813 五、發明說明（35) 若以動作號碼與基板號碼之組表示，則搬送機按[k,3]、 [k+l，2]、[k-l，4]、[k，4]、[k+1,3]、[k-l，5]之順序加以動作之情形（第15圖）於此情形下，如第16A圖所示，緊接在基板b之前，插入處理機器類別S2之機器數由2減為1之片數，即一片空基板0。並且，包含自處理機器類別S1接收基板B(③）之動作[k，3]用來當作對空基板所作之動作，於下一個動作，亦即，於動作[k+l，2]中，將搬送目的地之處理機器類別由S2換成S1，藉此，如第15圖中虛線所示，基板自處理機器類別S1，搬送至處理機器類別S3。同樣地，使用包含自處理機器類別S1接收基板C(④）之動作[k，4]作為對空基板之動作，將對空基板進行動作 [k+l，3]之搬送目的地之處理機器類別自S2換成S1，如第 15圖中虛線所示，基板c自處理機器類別si搬送至處裡機器類別S3。如此，由於在包含基板C轉送至處理機器類別S1之動作[k-l，4]之前，自處理機器類別31接收基板b而結束，又在包含基板D轉送至處理機器類別si之動作[k-l，5]之刖’自處理機|§類別S1接收基板c亦結束，故搬送機< 沒有問題地將上述基板C、D轉送至處理機器類別S1。真’ 在動作[k+1，3]之後，如第1 6B圖所示，位於基板則之空基板移動至基板B、C後方。且於上述說明中固然就越過之處理機器類別為一轉，動作k> 1藉由與動作k和動作k+ 1相同之搬送機進行之情 -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 木纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 35 312161 473813 A7 經濟部智慧財產局消費合 h 社印製五、發明說明（开/加以說月&在某些基板越過複數處理機器類別搬送之情形下，可藉由考慮越過之處理機器類別全體插入空基板，再越過上述處理機器類別搬送基板。又卩使動# k-1為另一搬送機之動 <乍，亦可考慮經由中繼型處理機器_拓丨& ^ ^ 器頦別所作之該另一搬送機和進行轉送基板之搬送機之動作來代替該動作，為求不致於影響該另搬送機之動作順序，而藉由決定所插入之空基板數來越過。 ”人如第17圖所示於基板處理裝置内設置處理機器類別S1至S4之情形為例加以說明。具配置成，包含對處理機器類別S1 S S4轉送基板之動作^、k、叫、^ 並藉由相同之搬送機來進行，基板人、6、0、〇、£、？按此順序投入、搬送並處理於基板處理裝置内。又，正常運轉時該搬送機之動作順序為k+2、k+1、k、^，按第Μ 圖所示之順序使搬送機動作。且於第18圖中向下取得時間軸。在此，考慮基板C及D越過處理機器類別S3之處理予以搬送，基板E及F越過處理機器類別S2之處理予以搬送之情形。在此情形下，如第19A圖所示，緊接於基板C之前，插入相當於處理機器類別S3之機器數2之片數，即二片空基板③和④。並且’對空基板③所作之動作[k+2,3]之搬送目的地之處理機器類別自S3換成S2，同時領先包含自處理機器類別S2接收基板c(⑤）之動作[k+1，5]，以進二上本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規·297公釐 312161 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-I · n n n I 訂.· •線！ 473813 0 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（37) 述動作[k+2,3]。藉此，基板C越過機器S3搬送。又，上述動作[k+l，5]之搬送目的地之處理機器類別由 S2換成S1，同時，領先包含自處理機器類別S1接收基板 E(⑦)之動作[k,7]，進行上述動作[k+1,5]。藉此，基板E越過處理機器S2而搬送。此時，如第19B圖所示，空基板中之一片移動至基板D後方。又，同樣地，動作[k+2,4]之搬送目的地的機器類別由 S3換成S2，同時，包含自處理機器類別S2接收基板S2 之動作[k+1,6]，以進行上述動作[k+2,4]。藉此，基板D越過處理機器類別S3搬送。更且，上述動作[k+l，6]之搬送目的地之處理機器類別由S2換成S1，領先包含自處理機器類別S1接收基板 F(⑧）之動作[k，8]，以進行上述動作[k+l，6]。藉此，基板F 越過處理機器S2搬送。此時，如第19 C圖所示，二片空基板移動至基板F後方。如此，根據本發明，由於在基板處理裝置之連續運轉中，每一基板可越過不必要的處理機器類別來搬送，復可按目的分開使用複數處理機器類別，故可作對應於多品種少量生產之彈性運轉。相較於例如暫時停止連續運轉即使以進行不同處理之基板之情形，可大幅提高通量，又，相較於按每一目的個別使用基板處理裝置之情形，可大幅減低成本。且’在考慮上述處理機器類別之越過，構成上述排程决鼻部（第3圖之符號21，第5圖之符號33)之情形下，亦 I紙張尺度適用中關家標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮） ~ ~ 37 312161 -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 473813 A7 五、發明說明（38 ) 同樣於上述校正部（第8圖之符號55、第10圖之符號75) 越過。 -I --- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 其次’參照圖式說明本發明基板搬送控制裝置裝入基板處理裝置之例子。第2〇圖係顯示本實施形態之基板處理裝置（半導體製造裝置）全體配置之方塊圖。該基板處理裝置/、備第1圖所示搬送機la至lc，卡匣2&、2b及處理機器3a至9d而以其作為裝置本體。基板處理裝置復具備由電腦等構成之裝置控制部1〇〇、獨立電腦等構成之排程器 102、顯示裝置之狀態等之顯示裝置以及輸入裝置之運轉條件、控制條件之上述輸入裝置12。由於上述基板控制之電腦程式以及用於裝置控制之電腦程式儲存於裝置控制部1〇〇或排程器1〇2内部之記憶裝置中。並且’可藉由使複數電腦合作構成這些裝置控制部 100及排程器102，或者亦可用一部電腦來構成。 -丨線！經濟部智慧財產局員工消費合作社印製裝置控制部1〇〇主要由與裝置本體内之搬送機la至 lc。卡E 2a、2b和各處理機器38至9d連接之控制器u〇至112，以及與這些控制器11〇至112連接之主控制器120 所構成。控制器110至112自主控制器12〇接收指令，將該指令傳送至各機器&至9d。又，控制器11〇至112監視各機器la至9d，將各機器&至9(1之狀態傳送至主控制器120。主控制器12〇内包含有除了對處理機器至％傳送處理開始指令、處理條件等功能外，進行上述搬送機控制之動作指令部（第3圖之符號24，第5圖之符號36，第8圖及第1〇圖之符號6〇)、實績時刻取得部（第8圖之符

38 312161 Α7 Β7

五、發明說明（39 ) 號51)、再排程判斷部（第8圖 m咏口之付破52)、條件變更檢測部（第10圖之符號71)。又，箱一壯 $杜从仏顯不裝置104及輸入裝置12 連接於主控制器120。排程器102包含進杆μ-、、，述搬送機之控制之排程演算部 (第3圖之符號21，第5圖之爲缺，圖之付唬33)、解判斷部（第3圖 2符號仏第5圖之符號34)、再試行部（第3圖之符號〜第5圖之符號37)、時間表製作部（第3圖之符號”，第5 圖之付號35)、排程判斷部丨箓$ 、狂子』鯽邵（第5圖之符號31)、演算條件 °、定4 (第5圖之符號32)、禁止部（第8圖之符號，第 1〇圖之符號72)、經過資料取得部（第8圖之符號54，第。圖之符號73)、校正部（第8圖之符號55，帛1〇圖之符號75)、允許部（第8圖之符號％，第1〇圖之符號％)、處理時間更新部（第10圖之符號74)。 ^且，該種主控制器12〇及排程器102之配置為一例子。菖然亦可藉與其相異之配置構成主控制器12〇或排程器 102 〇其次，就裝入基板搬送控制裝置之該種基板處理裝置之動作加以說明。裝置本體之電源與裝置控制部1 〇〇、顯示裝置1 〇4、輸入裝置12、排程器1〇2之電源聯動，當電源一接通裝置本體’電源即亦自動接通這些裝置控制部1 〇〇、顯示裝置 104、輪入裝置12、排程器1〇2、起動裝置控制部100、顯不裝置104、輸入裝置12及排程器1〇2。此時，排程器1〇2 成為對於主控制器120之信號之待機狀態。 II I I I I I II I I I — I I I I I I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適财關家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 39 312161 473813 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ----~ 五、發明說明（40 ) '--- 其次，於運轉裝置本體之前，藉輸入裝置12，輪入置本體之各處理機器3a至9d之可否使用、表 I機U至lc搬送基板至各處理機器3a至9d之類別順序之搬送路徑、正常運轉時各搬送機^至^之基i之作順序等。於此，亦可自主控制器12〇傳送動作指令至t 搬送機la至lc，作動裝置本體内之搬送機^至I。，取得各搬送機US 1c之動作所需時間。#將該取得之所需: 間、其他設定值保存於裝置控制部1〇〇内之磁碟 '非=發性冗憶體等，即可根據一度切斷電源前後取得之所需時間、其他設定值，使裝置運轉。自輸入裝置12輸入裝置運轉開始指令時，主控制器 120即對各機器指示搬送機丨&至lc之回復原點、處理機器3a至9d之初始化等之開始處理，同時，對排程器傳送運轉開始指令以及上述搬送路徑、基本動作順序、動作預定時間等資料。排程器1 02藉由讀取上述資料，進行内部記憶體之設定等初始化處理。並且’於裝填未處理基板之卡医2a、2b安裝於裝置本體之時刻，藉由輸入裝置12輸入有關對未處理基板之處理預定時間、搬送之限制條件等，上述資料經由主控制器j2〇傳送至排程器102。排程i§ 10 2續入有關該處理預定時間和限制條件之資料，藉由上述基板之搬送控制，計算有關第一片基板之各動作之執行時刻，製成時間表，將該時間表傳送至主控制器120。主控制器120根據該時間表開始搬送機之動作以本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格m〇 X 297公爱） 40 312161 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝訂· _ C i線！ 473813 Ο 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（41 ) 及和其對應之各處理機器之處理，開始各動作之執行時刻。且，主控制器120在對搬送機1&至lc下達動作指令之際，確認不只是時間表所指定時刻之經過，還有該搬送機處於非動作中，搬送目的地之處理機器之基板處理結束，以及於欲搬送目的地之處理機器無基板存在，重設亦結束。藉此，即使有關搬送機丨a至丨e之動作時間、重設時間，與預定者之間有誤差，亦不會發生問題。又，與該動作指令同時，主控制器12〇將各動作之執行時刻傳送至排程器102，再將各基板之位置、處理進行狀況等傳送至輪出裝置1〇4。爾後，以適當設定間隔繼績進行該裝置本體狀況之傳送。其次，排程器102如上述設定有關最初取得處理預定時間之第二片以後基板後之適當片數追加基板，藉由線性计劃法逐次排定，將更新之時間表傳送至主控制器工。亦可於該時間表傳送之際，發出自排程部1〇2發送前停止主控制器120之時刻之指令，並禁止新的動作開始，僅傳送對應於時間表中未實施動作之部份，於該傳送後，再起動主控制器120之時刻。復且，亦可考慮主控制器12〇内記憶裝置之記憶容量，將時間表記憶、儲存於排程器i 〇2 内之記憶裝置，使未實施之動作領先，無關乎排程演算之時序，再定期地依序將一定量之排程傳送至主控制器 120 〇在新的未處理基板之卡匣安裝於裝置本體之情形下，如同上述，輸入有關各基板之處理預定時間、搬送之限制 ϋ張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------^ 41 312161 -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 473813 B7 五、發明說明（42 ) 條件等，自主控制器120將輸入資料傳送至排程部1〇2。排程部102藉由讀入上述資料而將其健存於經過資料樓，繼續逐次進行利用上述線性計劃法所作之排程。且就輪入處理預定時間之所有未投入基板算出動作預定時刻之情形下，排程器102待機迄次一未投入基板之處理預定時間投入為止。又，主控制器120於裝置本體運轉中，計測各動作之|| 執行時刻’並監視該計測之時刻與時間表上指定之時刻之I 差如上述，右於各搬送機la至lc之動作時間、各處理機器3a至9d之處理時間、重設時間發生滯後，結果，動作之執行時刻即會滯後。於該情形下，主上述㈣㈣定部料狀校正指令料至排㈣j由排程益102接收該指令，校正未實施動作之執行時刻，更新時間表，將其傳送至主控制器12〇。此時，主控制器Η。在上述校正指令傳送前將時刻停止，再於接收時間表後起動，使得校正之時間表與實際動作之間不致於發生矛盾。另方面，在裝填已裝設之未處理基板之卡匣自裝置本體卸下的情形下’或者’在藉由輸入裝置12取消未投入基板之預定投入，以變更處理預定時間，變更投入裝置之上序ft IT自主控制器12()將上述資訊和未投人基板之校私7起轉送至排程部1 02。排程器1 02更新時間表之=部份，將更新之時間表傳送至主控制器12〇。且，與上述時刻之校正指令之情形相同’在未投入基板之校正指 7傳达至排程5 !2〇之前’停止主控制器！之時刻，使 312161 裝訂線

C 473813 A7 五、發明說明（43 於接收時間表後再起動。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 當裝填於安裝在裝置本體之卡昆之基板結束全部處理而回收於卡E時，主控制器120停止檢查自排程器ι〇2傳送之有無，並進行釋放記憶等之結束處理，以回復上述起動後之狀態。復且，排程器102、輪入裝置12亦同樣回復至起動後之狀態。於此情形下，亦可由輸入裝置12立刻設疋搬送路徑、基本動作順序、動作預定時間等。或者，亦可藉由該原來設定，以輸入再度運轉開始指令，使可安裝未處理基板之卡匣，以再開始處理。在此，第21圖及第22圖顯示使用上述第2實施形態之基板搬送控制裝置，排定搬送機執行時刻之一結果例子。於第21圖及第22圖中，數字表示基板號碼，並對應搬送機la至1c之X所挾實線以表示各搬送機正處於動作中’又，對應於處理機器3a至9d之*所挾實線以表示於各處理機器正在進行處理。第21圖固然顯示基板搬送控制裝置運轉開始後不久排程之結果，惟，可知於該時刻，搬送機1&至lc之餘裕經濟部智慧財產局員工消費合作社印製第22圖顯示基板搬送控制裝置自開始運轉經過一定時間之正常狀態。於第22圖中可知，各搬送機之暫停時間少，幾乎經常處於動作中狀態，儘管如此，第22圖中，於設有將基板處理後之搬送機等待時間設定為〇之限制條件之電鍍槽9a至9d中，在處理結束前，搬送機開始移動至電鍍槽’並立刻接收處理後之基板’再搬送至粗洗淨機7。 312161 太紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 473813 五、發明說明（44) 刻二；^對送機各動作之執行時為對象之基板之最後一片結束全邱# 基板處理裝置回收之時刻最而自上述量達到最大。最早^使基板處理裝置之通復且，不會伴生須靖之事前檢討、處理預制，可邊滿足就搬送機之動作時刻設定之限制條件:邊使，作為對象之基板之最後—片結束全部處理而自理裝置回收之時刻最早，且可滿足加工處理上二板，時可使基板處理裝置之通量達到最大。 5 更且’即使在逐次分割、獲得連續運轉中之各基板處理預定時間之情形下，亦可滿足加工處理上之限制通量達到最大。復由於在各次排程之試行中，考慮可計算片數，可推算出成為排程對象之追加基板片數，故即使是處理能力較低之電腦，亦可進行排程。更且，即使於搬送機之動作或處理機器之基板處理發生相對於預定之滯後’亦可抑制使加工處理上之限制 '通量之影響變小，且，在未來不致遭受其影響，而可運轉基板處理裝置。又，即使在有處理之取消、處理預定時間之變更、裝置投入順序之變更等有關未投入基板之條件變更的情形下，亦可彈性應對該變更，以運轉基板處理裝置。更且，由於在基板處理裝置之連續運轉中，可越過不必要的處理機器類別以搬送基板，故可因應目的分開使用

訂線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 44 312161 473813 A7 B7 五、發明說明（45) 複數之處理機器類別。因此，可大幅提高通量，同時，可作對應於多品種少量生產之彈性運轉。產業上可利用性本發明適用於藉由搬送機依序將半導體製造裝置等之基板處理裝置内之複數基板搬送至複數處理機器，以進行處理之基板搬送控制裝置，以及藉由該基板搬送控制裝置控制基板搬送之基板處理裝置。 ---------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 言 Γ *« 良經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 45 312161

Claims

473813 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制π 六、申請專利範圍 ΐ·種基板搬送方法，其係在設置於基板處理裝置内之複數處理機器間藉由搬送機搬送基板者，其特徵為，乂上述搬送機之各動作所需時間和各處理機器對基板處理所需時.間為參數，並依據包含預定之條件式’算出搬送機各動作之執行時刻，俾使作為對象之最後一片基板結束全部處理而自上述基板處理裝置时之時刻為最早，而於上述算出之搬送機各動作之執行時刻來到時，下達該動作指令給對應之搬送機。2·如申清專利範圍第1項之其把項之暴扳搬廷方法，係依據線性計劃法以算出上述搬送機各動作之執行時刻。 3·如申請專利範圍第！項之基板搬送方法，係依據上述條件式，判斷搬送機各動作之執行時刻是否有解；在判斷無法獲得上述執行時刻之情形下，為求減少同時存在於上述基板處理裝置内之基板平均片數，而修正上述條件式，以再試行上述執行時刻之算出。 4·如申請專利範圍第i項之基板搬送方法，在上述基板處理裝置開始運轉後，判斷是否須重新算出上述搬送機各動作之執行時刻，而於判斷須重新算出上述執行時刻之情形下，在一假定時刻和執行時刻之算出中，決定作為對象基板之最終基板；-邊保持過去所求得之排程結果，即上述決定之假定時刻以前之排程結果，且以上述決定之最終基板為止請閲讀背面之注意事項再太 i 訂線 C 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公變） 46 312161 η 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 473813 έ88 —' 〜一 -- §8 --------____ _ 、申請專利範圍 $之基板為對象，算出新的執行時刻。 5.:申請專利範圍帛1項之基板搬送方法，判斷於上述取侍之時刻肖過去⑼求得之排程結果之執行時刻間是否有矛盾或超出預定範圍之差；於岁丨斷有矛盾或超出預定範圍之差的情形下，在判斷出有該矛盾或超出預定範圍以上之差之時刻校正尚未實施之搬送機各動作之執行時刻。 6·如申請專利範圍第1項之基板搬送方法，於上述基板處理裝置開始運轉後，檢測有關預定投入基板處理裝置之基板的條件變更；於檢測出有關上述基板之條件變更的情形下，校正搬送機對該條件變更之基板以後之基板所作各動作之執行時刻。 7·如申請專利範圍第1項之基板搬送方法，其中在省略上述基板處理裝置内一個以上之處理機器對一個上暴板之处理的情形下’算出上述搬送機各動作之執行時刻俾使上述一個以上基板越過上述一個以上之處理機器 8· —種基板搬送控制裝置，係對於設置在基板處 I置内之複數處理機器間以搬送機搬送基板加以控制者，其特徵為具備： ^ 輸入裝置，用以輸入上述搬送機各動作所带 f α篇時間和各處理機器對基板處理所需時間；排程演算部，以上述輸入裝置輸入之時間為參& 並依據含該參數之預定條件式，算出搬送機各動# 之執 -------1----« --------訂--------1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 47 312161 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 A8 B8 ____ C8 _ _^_ 、申凊專利範圍行時刻，使作為對象之最後一片基板結束全部處理並自上述基板處理裝置回收之時刻為最早；以及 1曰7部，在上述排程演鼻部所算出之搬送機各動作之執行時刻來到時，下達該動作指令給相對應之搬送機。 9 H晴專利範圍第8項之基板搬送控制裝置，上述排程冷算。卩依據線性計劃法算出上述搬送機各動作之執行時刻。 ίο.如申請專利範圍第8項之基板搬送控制裝置，係具備：解判斷部’藉由上述排程演算部’判斷可得搬送機各動作之執行時刻是否有解；以及再試行部，在藉由上述解判斷部判斷上述執行時刻為無解之情形下’為求得減少同時存在於上述基板處理裝置内之基板平均片數，而修正上述條件式，且再試行藉由上述排程演算部算出執行時刻。 11·如申凊專利範圍第8項之基板搬送控制裝置，其係具備： /、〜、 β排程判斷部，於上述基板處理裝置開始運轉後，判斷是否必須藉由上述排程演算部重新算出上述搬送機各動作之執行時刻；以及演算條件決^部，藉由上述排程判斷部判斷須重新算出上述執行時刻之情形下，決定—假定時刻與藉由上述排程演算部所作之執行時刻之算出中作為板最終基板，而本紙張尺度適財目縣鮮（CNS)A4規格（2fQ χ 297公望） 48 312161 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · -丨線•丨 C 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 473813 Μ C8 一一 _ D8 六、申請專利範^ ^ 一^ 上述排程演算部一邊保持過去所求得之排程結果，即藉由上述演算條件決定部決定之假定時刻以前之排程結果，一邊以至上述演算條件決定部所決定最終基板為止之基板為對象，重新算出執行時刻。 12·如申请專利範圍第8項之基板搬送控制裝置，係具備：實績時刻取得部，用以取得搬送機開始各動作之時刻； ' 再排程判斷部，於上述實績時刻取得部所取得之時刻與過去所求得之排程結果之執行時刻間是否有矛盾或超出預定範圍之差；以及校正部，在藉由上述再排程判斷部判斷有矛盾或超出預疋範圍之差情形下，於判斷有該矛盾或超出預定範圍之差時，4丟未實施之搬送機各動作之執行時刻。 13·如申請專利範圍第8項之基板搬送控制裝置，係具備：條件變更檢測部，在上述基板處理裝置開始運轉後，檢測有關預定投入基板處理裝置之基板之條件變更；以及校正部’在藉由上述條件變更檢測部檢測出有關上述基板之條件變更的情形下，校正搬送機對該條件變更之基板以後之基板所作各動作之執行時刻。 14.如申請專利範圍第8項之基板搬送控制裝置，在省略上述基板處理裝置内一個以上處理機器對一個以上基板之處理的情形下，上述排程演算部算出上述搬送機各動作之執行時刻，俾使上述一個以上基板越過上述一個以 ----------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 49 312161 473813 六、申請專利範圍上處理機器並加以搬送。 15^種基板處理裝置，係具備進行基板處理之複數處理器藉由搬送機搬送基板於該處理機器間搬送、處理板者，其特徵為具備：土輸入裝置1讀人上述搬送機各㈣所需時間和各處理機器對基板處理所需時間；排程演算部’以上述輸人裝置輸人之時間為參數，依據包含該參數之預定條件式，算出搬送機各動作行時刻，俾使作為對象基板之最終基板結束全部處理而自裝置回收之時刻為最早；以及動作指令部’在上述排程演算部所算出之搬送機各 =之執行時刻來到時’下達該動作指令給相對應之搬 16·如申請專利範圍第15項之基板處理裝置，上述排程、、寅 :部依據線性計劃法，算出上述搬送機各動作之二; 17.如申請專利範圍第15項之基板處理裝置，係具借：解判斷部’藉由上述排程演算部，判斷搬送機各動作之執行時刻是否有解，·以及再試行部’其在藉由上料騎部韻上述執行時卓無解之情形下，為求得減少同時存在於裝置内之基板數’以修正上述條件式，再試行藉由上述排程演算#算出執行時刻。〗8·如申請專利範圍第15項之基板處理裝置，係具備： 50 312161 Γ清先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁} -裝--------訂- C 員製 312161 473813 夂、申請專利範圍、、排程斷部’其於運轉開始後，判斷是否須藉由上述排程次算邛重新算出上述搬送機各動作之執行時刻；以及 J條件決疋部，其在藉由上述排程判斷部判斷須重新算出上述執行時刻之情形下，決假定時刻，以及在上述排程演算部算出執行時刻中作為對象基板之最終基板’而上述排程演算部一面保持過去所求得之排程結果，即上述演算條件決定部所決定假定時刻以前之排程結果’以到上述演算條件決定部所決定最終基板為止之基板為對象，重新算出執行時刻。 " 19·如申料利範圍第15項之基板處理裝置，係具備：實績時刻取得部，用以取得搬送機開始各動作之時刻；再排程判斷部’用以判斷於上述實積時刻取得部所取得時刻與過去求所得之排程結果之執行時和是否有矛盾或超出預定範圍之差；以及校正部，於藉由上述再排程判斷部判斷有矛盾或超出預定範圍之差的情形下’判斷有該矛盾或超出預定範圍之差時’校正尚未實施之搬送機各動作之執行時刻。 20.如申請專利範圍第15項之基板處理裝置，係具備：條件變更檢測部，於運轉開始後，檢測有關預定投入裝置之基板的條件變更；以及又校正部，在藉由上述條件變更檢測部檢測出有關上 I紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格⑵〇 x 297公髮）

--------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 線 473813

申請專利範圍述基板之條件變更的情形下，祐 ^ A v^ ^ 仅正搬送機對該條件變更之基板以後之基板所作各動作之執行時刻。 21•如中請專利範圍第15項之基板處理裝置，1中在省略裝置内-個以上處理機器對—個以上基板之處理情形下’上述排程演算部算出述搬送機各動作之執行時刻，俾使上述一個以上基板越過上述—個以上處理機器並加以搬送。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Μ氏張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公爱） 52 312161 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)