JP5023146B2 - 研磨装置及びそのプログラム - Google Patents
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Description
第1搬送ロボット54aで載置部14に載置されたカセット12の一つから奇数枚目に取り出された1枚目,3枚目…のウェハは、第1反転機52a→第1リニアトランスポータ56a→トップリング22a(第1研磨ライン20の第1研磨部22)→第2リニアトランスポータ56b→トップリング24a(第1研磨ライン20の第2研磨部24)→第3リニアトランスポータ56c→第2搬送ロボット54b→第2反転機52b→洗浄機42a→洗浄機42b→洗浄機42c→洗浄機42d→第1搬送ロボット54aという経路で搬送されて、元のカセット12に戻される。
予測計算は、研磨工程を開始する前に行う。研磨工程を開始する前とは、具体的には、第1リニアトランスポータ56aから第1研磨ライン20の第1研磨部22へのウェハの搬送を開始した時、または搬送を終了した後である。なお、第2研磨ライン30から研磨を開始する場合は、第5リニアトランスポータ56eから第2研磨ライン30の第1研磨部32へのウェハの搬送を開始した時、または搬送を終了した後である。
T1:第1研磨部における予測研磨時間
第1研磨ライン20の第1研磨部22での研磨時間を予測して、第1研磨部における予測研磨時間T1とする。この例では、第2研磨ライン30の第1研磨部32の予測研磨時間もT1となる。予測研磨時間T1として、例えばレシピデータより計算または同一レシピでの過去の平均時間を採用する。第1研磨部22,32による研磨(第1研磨)は、一般に研磨終点を検出しながら行われる。このように、終点を検出しながら研磨する場合は、ウェハ間で研磨時間がばらつく。このため平均時間を採用することが好ましい。
第1研磨ライン20の第2研磨部24での研磨時間を予測して、第2研磨部での予測研磨時間T2とする。この例では、第2研磨ライン30の第2研磨部34の予測研磨時間もT2となる。この予測研磨時間T2として、例えばレシピデータより計算または同一レシピでの過去の平均時間を採用する。
第1研磨ライン20において、第1研磨部22から第2研磨部24へウェハを搬送するのに要する時間を予測して、ライン内予測搬送時間T3とする。この例では、第2研磨ライン30のライン内予測搬送時間もT3となる。
第1研磨部における予測研磨時間T1、第2研磨部における予測研磨時間T2及びライン内予測搬送時間T3の総和T1+T2+T3が第1研磨ライン20における予測研磨時間となる。この例では、第2研磨ライン30における予測研磨時間は、第1研磨ライン20における予測研磨時間と同じ値となる。
第1搬送ライン20で研磨(第1研磨部22での第1研磨及び第2研磨部24での第2研磨)を終了後のウェハを、第2反転機52bを経て洗浄ライン40に搬送する時間を予測して、搬送機構における予測搬送時間T4とする。
n−1枚目のウェハについての洗浄開始予測時刻F(n―1)に洗浄ライン40による予測洗浄時間T5を加えた時刻を、n枚目のウェハにおける洗浄開始予測時刻Fnとする。ここで、n−1枚目のウェハについての洗浄開始予想時刻F(n−1)は、演算の対象となるn枚目のウェハからみて直前のウェハの洗浄工程が開始される予測時刻である。つまり、ウェハを洗浄するため、洗浄ライン40の搬送ユニット44を駆動させて当該ウェハを洗浄ライン40の第1洗浄機42aに取り込む予測時刻である。
研磨待ち時間をAとした時、下記の予測式に示す演算を行って、研磨待ち時間Aを求める。
A=Fn−(現時刻+T1+T2+T3+T4)
Fn=Fn−1+T5
A>0、つまり、n枚目のウェハに対する洗浄開始予測時刻Fn>(現時刻+T1+T2+T3+T4)の時、このAの値が研磨待ち時間となり、研磨開始時刻を研磨待ち時間Aに相当する分遅らせる。
A=0、つまり、n枚目のウェハに対する洗浄開始予測時刻Fn=(現時刻+T1+T2+T3+T4)の時、研磨待ち時間はなくなる。
A<0、つまり、n枚目のウェハに対する洗浄開始予測時刻Fn<(現時刻+T1+T2+T3+T4)の時、洗浄待ち時間が生じて、洗浄工程を待たせることになる。この例では、洗浄ライン40の搬送ユニット44がウェハを一括搬送する機構を採っているため、洗浄ライン40の搬送ユニット44を駆動させる時刻を研磨待ち時間Aの絶対値分遅らせる。
第3の例では、第1研磨部の研磨時間の変動を第2研磨前で補償していた。しかし、この例では、第2研磨の研磨時間の変動を補償することはできない。第2研磨は、時間制御と終点検知センサによる終点検知制御とがあるが、後者においては、第1研磨と同様に研磨時間に変動が生じうる。そこで、この第4の例では、当該第2研磨の研磨時間の変動を、後続のウェハに対する洗浄開始予測時刻に反映させることにより、第2研磨の研磨時間の変動を補償している。
また、研磨ラインと洗浄ラインが共に1つの場合でも、本発明は適用可能である。すなわち、研磨時間と搬送時間の和が洗浄時間よりも長い場合、言い換えれば洗浄時間が律速条件となっている場合に、本発明が適用可能である。
この場合、洗浄開始予想時刻は、「現在時刻」に「現在位置から第2反転機52bまでの搬送時間」を加えた時刻である。また、各ウェハのリニアトランスポータ(LTP)56a〜56c,56e〜56g上での待機時間は“0”である。ウェハマップは、算出中のウェハが第1洗浄機42aにあり、第2〜第4洗浄機42b〜42dは空きの状態となる。
ウェハマップは、予定通りにプロセスが進んだと仮定した時に、次の洗浄対象ウェハが第2反転器52bにくるはずの“n”時間後に他のウェハはどの処理が行われているかを表す予定図である。図10に、算出中のウェハが第1洗浄機42aにあり、第2〜第4洗浄機42b〜42dは空きの状態となる時のウェハマップのイメージ図を示す。
この場合、先ず下記の式(1)を満たす最小の“N”(N=1,2,…)を求める。
「現在時刻」+「現在位置から第2反転機52bまでの搬送時間」
≦「前ウェハ洗浄開始予想時刻」+「予想洗浄タクト」×N …(1)
そして、この“N”の値に応じて、洗浄開始予想時刻等を以下のように算出する。なお、この例では、4つの洗浄機42a〜42dが備えられており、このため、洗浄機の数より1つ少ない3を境に、1≦N≦3の場合と4≦Nの2つの場合に分けられる。
この場合、洗浄開始予想時刻は、「前ウェハの洗浄開始予想時刻」に「予想洗浄タクト」×Nを加えた時刻(「前ウェハの洗浄開始予想時刻」+「予想洗浄タクト」×N)である。各リニアトランスポータ(LTP)56a〜56c,56e〜56g上での待機時間は、「洗浄開始予想時刻」から「現在時刻」に「現在位置から第2反転機52bまでの搬送時間」を加えた値を引いた時刻(「洗浄開始予想時刻」−(「現在時刻」+「現在位置から第2反転機52bまでの搬送時間」)である。ウェハマップは、前ウェハのウェハマップを“N”だけシフトして、第1洗浄機42aに計算中のウェハがある状態となる。
この場合、前にあるウェハの洗浄タクトの影響を受けないため、洗浄開始予想時刻、各リニアトランスポータ(LTP)56a〜56c,56e〜56g上での待機時間、及び各ウェハのウェハマップは、洗浄ライン内にウェハが無い場合と同様に算出する。
上記において、「前ウェハの洗浄開始予想時刻」は、洗浄開始予想時刻計算中のウェハより1枚先に第1洗浄機42aに搬入されるウェハの洗浄開始予想時刻を意味する。洗浄開始予想時刻が算出されている未洗浄ウェハが研磨装置内に無い場合には、「前ウェハの洗浄開始予想時刻」として最終洗浄開始時刻実績値を用いる。つまり、洗浄ユニット40のシャッタ開のタイミングで洗浄開始フラグをオンし、搬送管理タスクはそのときの時刻を保存しておく。その際、その時点での洗浄機内のウェハ位置情報を基に洗浄タクトを算出する。
この場合、「現在位置から第2反転機52bまでの搬送時間」は、下記の合計の時間である。
1)リフタ58aの上位置から下位置への下降時間
2)リニアトランスポータ56a〜58dのエクスチェンジ時間
3)プッシャ60aからトップリング22aへのウェハ受渡し時間
4)第1研磨ライン20の第1研磨部22の処理時間
5)トップリング22aからプッシャ60aへのウェハリリース時間
6)リニアトランスポータ56a〜58dのエクスチェンジ時間
7)プッシャ60bからトップリング24aへのウェハ受渡し時間
8)第1研磨ライン20の第2研磨部24の処理時間
9)トップリング24aからプッシャ60bへのウェハリリース時間
10)リニアトランスポータ56a〜58dのエクスチェンジ時間
11)第2搬送ロボット54bによるウェハのリフタ58bから第2反転機52bへの搬送時間
12)第2反転機52bの処理時間
この場合、「現在位置から第2反転機52bまでの搬送時間」は、下記の合計の時間である。
1)プッシャ60aの下降時間
2)リニアトランスポータ56a〜58dのエクスチェンジ時間
3)プッシャ60bからトップリング24aへのウェハ受渡し時間
4)第1研磨ライン20の第2研磨部24の処理時間
5)トップリング24aからプッシャ60bへのウェハリリース時間
6)リニアトランスポータ56a〜58dのエクスチェンジ時間
7)第2搬送ロボット54bによるウェハのリフタ58bから第2反転機52bへの搬送時間
8)第2反転機52bの処理時間
この場合、「現在位置から第2反転機52bまでの搬送時間」は、下記の合計の時間である。
1)プッシャ60bの下降時間
2)リニアトランスポータ56a〜58dのエクスチェンジ時間
3)第2搬送ロボット54bによるウェハのリフタ58bから第2反転機52bへの搬送時間
4)第2反転機52bの処理時間
この場合、「現在位置から第2反転機52bまでの搬送時間」は、下記の合計の時間である。
1)リフタ58cの上位置から下位置への下降時間
2)リニアトランスポータ56e〜58gのエクスチェンジ時間
3)プッシャ60cからトップリング32aへのウェハ受渡し時間
4)第2研磨ライン30の第1研磨部32の処理時間
5)トップリング32aからプッシャ60cへのウェハリリース時間
6)リニアトランスポータ56e〜58gのエクスチェンジ時間
7)プッシャ60dからトップリング34aへのウェハ受渡し時間
8)第2研磨ライン30の第2研磨部34の処理時間
9)トップリング34aからプッシャ60dへのウェハリリース時間
10)リニアトランスポータ56e〜58gのエクスチェンジ時間
11)第2搬送ロボット54bによるウェハのリフタ58cから第2反転機52bへの搬送時間
12)第2反転機52bの処理時間
この場合、「現在位置から第2反転機52bまでの搬送時間」は、下記の合計の時間である。
1)プッシャ60cの下降時間
2)リニアトランスポータ56e〜58gのエクスチェンジ時間
3)プッシャ60cからトップリング34aへのウェハ受渡し時間
4)第2研磨ライン30の第2研磨部34の処理時間
5)トップリング34aからプッシャ60dへのウェハリリース時間
6)リニアトランスポータ56e〜58gのエクスチェンジ時間
7)第2搬送ロボット54bによるウェハのリフタ58cから第2反転機52bへの搬送時間
8)第2反転機52bの処理時間
この場合、「現在位置から第2反転機52bまでの搬送時間」は、下記の合計の時間である。
1)プッシャ60dの下降時間
2)リニアトランスポータ56e〜58gのエクスチェンジ時間
3)第2搬送ロボット54bによるウェハのリフタ58cから第2反転機52bへの搬送時間
4)第2反転機52bの処理時間
洗浄ライン40は、シャッタを開いた後、搬送ユニット44を駆動して、第2反転機52bに位置するウェハを第1洗浄機42aに、第1洗浄機42aに位置するウェハを第2洗浄機42bに、第2洗浄機42bに位置するウェハを第3洗浄機42cに、第3洗浄機42cに位置するウェハを第4洗浄機42dに同時に搬送する。そして、シャッタを閉じた後、洗浄レシピに沿った洗浄処理を開始して、第1〜第4洗浄機42a〜42dの全ての洗浄レシピに沿った洗浄処理を終了させる一連の搬送・洗浄処理を行う。
洗浄ライン40は、搬送管理ソフトからの洗浄ライン40の搬送許可信号を受けて、一連の搬送・洗浄処理を行う。
プッシャ60aの上昇位置で第1研磨ライン20の第1研磨部22に重故障が発生した場合、リニアトランスポータ56c、第2研磨部24、トランスポータ56b、第1研磨部22及びリニアトランスポータ56aに位置するウェハの洗浄開始予想時刻を無効値にする。
プッシャ60bの上昇位置で第1研磨ライン20の第2研磨部24に重故障が発生した場合、リニアトランスポータ56c、第2研磨部24、トランスポータ56b、第1研磨部22及びリニアトランスポータ56aに位置するウェハの洗浄開始予想時刻を無効値にする。
プッシャ60cの上昇位置で第2研磨ライン30の第1研磨部32に重故障が発生した場合、リニアトランスポータ56g、第2研磨部34、トランスポータ56f、第1研磨部32及びリニアトランスポータ56eに位置するウェハの洗浄開始予想時刻を無効値にする。
プッシャ60dの上昇位置で第2研磨ライン30の第2研磨部34に重故障が発生した場合、リニアトランスポータ56g、第2研磨部34、トランスポータ56f、第1研磨部32及びリニアトランスポータ56eに位置するウェハの洗浄開始予想時刻を無効値にする。
一部のユニットにプロセスインターロック(Process Inter Lock)が発生した場合には、新しいウェハを研磨装置内に投入することなく、インターロック時に研磨装置内に位置する全てのウェハ処理し、プロセスインターロックが発生したユニットより上流に位置するウェハの洗浄開始予想時刻を無効値(例えば−1)にし、後続ウェハの洗浄開始予想時刻計算時に参照しないようにする。リニアトランスポータ上に洗浄開始予想時刻が無効値のウェハが有る場合、搬送管理タスクは、リニアトランスポータからトップリングへのウェハ受渡し動作を許可しない。
第1研磨ライン20の第2研磨部24にプロセスインターロックが発生した場合、リニアトランスポータ56b、第1研磨部22及びリニアトランスポータ56aに位置するウェハの洗浄開始予想時刻を無効値にする。
第2研磨ライン30の第1研磨部32にプロセスインターロックが発生した場合、リニアトランスポータ56eに位置するウェハの洗浄開始予想時刻を無効値にする。
第2研磨ライン30の第2研磨部34にプロセスインターロックが発生した場合、リニアトランスポータ56f、第1研磨部32及びリニアトランスポータ56eに位置するウェハの洗浄開始予想時刻を無効値にする。
処理の一時停止(Paused)が発生したウェハがリニアトランスポータ56bに位置する場合、リニアトランスポータ56b、第1研磨部22及びリニアトランスポータ56aに位置するウェハの洗浄開始予想時刻を無効値にする。
処理の一時停止(Paused)が発生したウェハが第1研磨ライン20の第2研磨部24に位置する場合、第2研磨部24、リニアトランスポータ56b、第1研磨部22及びリニアトランスポータ56aに位置するウェハの洗浄開始予想時刻を無効値にする。
処理の一時停止(Paused)が発生したウェハが第2研磨ライン30の第1研磨部32に位置する場合、第1研磨部32及びリニアトランスポータ56eに位置するウェハの洗浄開始予想時刻を無効値にする。
処理の一時停止(Paused)が発生したウェハがリニアトランスポータ56fに位置する場合、リニアトランスポータ56f、第1研磨部32及びリニアトランスポータ56eに位置するウェハの洗浄開始予想時刻を無効値にする。
処理の一時停止(Paused)が発生したウェハがリニアトランスポータ56gに位置する場合、リニアトランスポータ56g、第2研磨部34、リニアトランスポータ56f、第1研磨部32及びリニアトランスポータ56eに位置するウェハの洗浄開始予想時刻を無効値にする。
処理の一時停止(Paused)が発生したウェハが第2搬送ロボット54bの下流に位置する場合、リニアトランスポータ56a〜56c,56e〜56g、第1研磨部22,32及び第2研磨部24,34に位置するウェハの洗浄開始予想時刻を無効値にする。
A.第1搬送ライン20の第1研磨部22
第1搬送ライン20の第1研磨部22から第2反転機52bまでの搬送時間は、下記の合計の時間である。
1)第1搬送ライン20の第1研磨部22の処理時間
2)トップリング22aからプッシャ60aへのウェハリリース時間
3)リニアトランスポータ56a〜56dのエクスチェンジ時間
4)プッシャ60bからトップリング24aへのウェハ受渡し時間
5)第1搬送ライン20の第2研磨部24の処理時間
6)トップリング24aからプッシャ60bへのウェハリリース時間
7)リニアトランスポータ56a〜56dのエクスチェンジ時間
8)第2搬送ロボット54bによるウェハのリフタ58cから第2反転機52bへの搬送時間
9)第2反転機52bの処理時間
第1搬送ライン20の第2研磨部24から第2反転機52bまでの搬送時間は、下記の合計の時間である。
1)第1搬送ライン20の第2研磨部24の処理時間
2)トップリング24aからプッシャ60bへのウェハリリース時間
3)リニアトランスポータ56a〜56dのエクスチェンジ時間
4)第2搬送ロボット54bによるウェハのリフタ58cから第2反転機52bへの搬送時間
5)第2反転機52bの処理時間
第2搬送ライン30の第1研磨部32から第2反転機52bまでの搬送時間は、下記の合計の時間である。
1)第2搬送ライン30の第1研磨部32の処理時間
2)トップリング32aからプッシャ60cへのウェハリリース時間
3)リニアトランスポータ56e〜56gのエクスチェンジ時間
4)プッシャ60dからトップリング34aへのウェハ受渡し時間
5)第2搬送ライン30の第2研磨部34の処理時間
6)トップリング34aからプッシャ60へのウェハリリース時間
7)リニアトランスポータ56e〜56gのエクスチェンジ時間
8)第2搬送ロボット54bによるウェハのリフタ58cから第2反転機52bへの搬送時間
9)第2反転機52bの処理時間
第2搬送ライン30の第2研磨部34から第2反転機52bまでの搬送時間は、下記の合計の時間である。
1)第2搬送ライン30の第2研磨部34の処理時間
2)トップリング34aからプッシャへ60dへのウェハリリース時間
3)リニアトランスポータ56e〜56gのエクスチェンジ時間
4)第2搬送ロボット54bによるウェハのリフタ58cから第2反転機52bへの搬送時間
5)第2反転機52bの処理時間
本発明は上述の実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいものであることは言うまでもない。
Claims (31)
- 複数の研磨対象物を収納したカセットを載置する載置部と、
研磨対象物を研磨する第1研磨ライン及び第2研磨ラインと、
研磨後の研磨対象物を洗浄する洗浄機と研磨対象物を搬送する搬送ユニットを有する洗浄ラインと、
前記載置部、前記研磨ライン及び前記洗浄ライン間で研磨対象物を搬送する搬送機構と、
前記研磨ライン、前記洗浄ライン及び前記搬送機構を制御する制御部を有し、
前記制御部は、前記第1及び第2研磨ラインにおける予測研磨時間、前記搬送機構における予測搬送時間、前記洗浄ラインにおける予測洗浄時間、及び前記洗浄ラインの前記搬送ユニットを駆動させて洗浄を開始する洗浄開始予測時刻を基に、前記第1または第2研磨ラインの研磨開始時刻を決定することを特徴とする研磨装置。 - 前記洗浄開始予測時刻は、最初に研磨される被研磨物に対しては、現時刻に前記予測研磨時間及び前記予測搬送時間を加えた時刻から求められ、最初に研磨される被研磨物よりも後の被研磨物に対しては、先の研磨対象物に対する洗浄開始予測時刻に前記予測洗浄時間が加えられた時刻から求められることを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
- 前記第1及び第2の研磨ラインは、第1研磨部と第2研磨部をそれぞれ有し、
前記各研磨ラインの予測研磨時間は、前記第1研磨部における予測研磨時間、前記第2研磨部における予測研磨時間、及び前記第1研磨部から前記第2研磨部へ研磨対象物を搬送するのに要するライン内予測搬送時間の総和であることを特徴とする請求項1記載の研磨装置。 - 前記制御部は、前記洗浄開始予測時刻から研磨待ち時間を設けることなく研磨を行った場合に予測される研磨終了予測時刻を引いた時間を研磨待ち時間とすることを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
- 前記制御部は、前記研磨待ち時間が正の場合、前記第1研磨部または第2研磨部の研磨開始時刻を前記研磨待ち時間分遅らせることを特徴とする請求項4記載の研磨装置。
- 前記制御部は、前記研磨待ち時間がゼロの場合、前記第1研磨部の研磨開始時刻を、前記洗浄開始予測時刻から前記予測研磨時間及び前記予測搬送時間の合計時間分遡った時刻とすることを特徴とする請求項4記載の研磨装置。
- 前記制御部は、前記研磨待ち時間が負の場合、前記洗浄開始予測時刻を、前記研磨待ち時間の絶対値分遅らせることを特徴とする請求項4記載の研磨装置。
- 前記洗浄ラインは、少なくとも2つの洗浄機を備え、前記洗浄機のうち洗浄時間が長い洗浄機における洗浄時間を前記予測洗浄時間とすることを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
- 前記搬送ユニットは、複数の研磨対象物を一括して搬送する機構を有することを特徴とする請求項8記載の研磨装置。
- 前記制御部は、前記第1研磨部での実研磨時間が前記第1研磨部における予測研磨時間よりも遅延した場合に、この遅延時間分、前記洗浄開始予測時刻を遅らせることを特徴とする請求項3記載の研磨装置。
- 前記制御部は、後続の研磨対象物に対して、前記遅延時間を前記第2研磨部の研磨待ち時間として反映させる演算処理を行うことを特徴とする請求項10記載の研磨装置。
- 前記制御部は、前記第2研磨部の実研磨時間が前記第2研磨部における予測研磨時間よりも遅延した場合に、この遅延時間分、前記洗浄開始予測時刻を遅らせることを特徴とする請求項3記載の研磨装置。
- 前記制御部は、後続の研磨対象物に対して、前記遅延時間を前記第2研磨部の研磨待ち時間として反映させる演算処理を行うことを特徴とする請求項12記載の研磨装置。
- 複数の研磨対象物を収納したカセットを載置する載置部と、
研磨対象物を研磨する複数の研磨ラインと、
研磨後の研磨対象物を洗浄する洗浄機と研磨対象物を搬送する搬送ユニットを有する洗浄ラインと、
前記載置部、前記研磨ライン及び前記洗浄ライン間で研磨対象物を搬送する搬送機構と、
前記研磨ライン、前記洗浄ライン及び前記搬送機構を制御する制御部を有し、
前記制御部は、前記洗浄ラインの洗浄開始予測時刻から研磨待ち時間を設けることなく研磨を行った場合に予測される研磨終了予測時刻を引いた時間を研磨待ち時間とし、前記研磨待ち時間が正の場合、前記複数の研磨ラインの研磨開始時刻を前記研磨待ち時間分遅らせることを特徴とする研磨装置。 - 複数の研磨対象物を収納したカセットを載置する載置部と、
研磨対象物を研磨する複数の研磨部を有する研磨ラインと、
研磨後の研磨対象物を洗浄する複数の洗浄機と研磨対象物を搬送する搬送ユニットを有する洗浄ラインと、
前記載置部、前記研磨ライン及び前記洗浄ライン間で研磨対象物を搬送する搬送機構と、
前記研磨ライン、前記洗浄ライン及び前記搬送機構を制御する制御部を有し、
前記制御部は、前記洗浄ラインの洗浄開始予測時刻から研磨待ち時間を設けることなく研磨を行った場合に予測される研磨終了予測時刻を引いた時間を研磨待ち時間とし、前記研磨待ち時間が正の場合、前記研磨ラインの研磨開始時刻を前記研磨待ち時間分遅らせることを特徴とする研磨装置。 - 前記研磨対象物は、上層に金属膜が形成されていることを特徴とする請求項1,14または15記載の研磨装置。
- 前記金属膜は銅膜であることを特徴とする請求項16に記載の研磨装置。
- 複数の研磨対象物を収納したカセットを載置する載置部と、
研磨対象物を研磨する第1研磨ライン及び第2研磨ラインと、
研磨後の研磨対象物を洗浄する洗浄機と研磨対象物を搬送する搬送ユニットを有する洗浄ラインと、
前記載置部、前記研磨ライン及び前記洗浄ライン間で研磨対象物を搬送する搬送機構と、
前記研磨ライン、前記洗浄ライン及び前記搬送機構を制御する制御部を有する研磨装置の該制御部内に格納されているプログラムであって、
コンピュータに、前記第1及び第2研磨ラインにおける予測研磨時間、前記搬送機構における予測搬送時間、前記洗浄ラインにおける予測洗浄時間、及び前記洗浄ラインの前記搬送ユニットを駆動させて洗浄を開始する洗浄開始予測時刻を基に、前記第1または第2研磨ラインの研磨開始時刻を決定する手順を実行させるためのプログラム。 - コンピュータに、前記洗浄開始予測時刻を、最初に研磨される被研磨物に対しては、現時刻に前記予測研磨時間及び前記予測搬送時間を加えた時刻から、最初に研磨される被研磨物よりも後の被研磨物に対しては、先の研磨対象物に対する洗浄開始予測時刻に前記予測洗浄時間が加えられた時刻からそれぞれ求める手段を実行させるための請求項18記載のプログラム。
- 前記第1及び第2の研磨ラインは、第1研磨部と第2研磨部をそれぞれ有し、
コンピュータに、前記第1研磨部における予測研磨時間、前記第2研磨部における予測研磨時間、及び前記第1研磨部から第2研磨部へ研磨対象物を搬送するのに要するライン内予測搬送時間の総和から前記予測研磨時間を求める手順を実行させるための請求項18記載のプログラム。 - コンピュータに、前記洗浄開始予測時刻から研磨待ち時間を設けることなく研磨を行った場合に予測される研磨終了予測時刻を引いた時間を研磨待ち時間とする手順を実行させるための請求項18記載のプログラム。
- コンピュータに、前記研磨待ち時間が正の場合、前記第1研磨部または第2研磨部の研磨開始時刻を前記研磨待ち時間分遅らせ手順を実行させるための請求項21記載のプログラム。
- コンピュータに、前記研磨待ち時間がゼロの場合、前記第1研磨部の研磨開始時刻を、前記洗浄開始予測時刻から前記予測研磨時間及び前記予測搬送時間の合計時間分遡った時刻とする手順を実行させるための請求項21記載のプログラム。
- コンピュータに、前記研磨待ち時間が負の場合、前記洗浄開始予測時刻を、前記研磨待ち時間の絶対値分遅らせる手順を実行させるための請求項21記載のプログラム。
- 前記洗浄ラインは、少なくとも2つの洗浄機を備え、
コンピュータに、前記洗浄機のうち洗浄時間が長い洗浄機における洗浄時間を前記予測洗浄時間とする手順を実行させるための請求項18記載のプログラム。 - コンピュータに、前記第1研磨部での実研磨時間が前記第1研磨部における予測研磨時間よりも遅延した場合、この遅延時間分、前記洗浄開始予測時刻を遅らせる手順を実行させるための請求項20記載のプログラム。
- コンピュータに、後続の研磨対象物に対して、前記遅延時間を前記第2研磨部の研磨待ち時間として反映させる演算処理を実行させるための請求項26記載のプログラム。
- コンピュータに、前記第2研磨部の実研磨時間が前記第2研磨部における研磨時間の平均値よりも遅延した場合、この遅延時間分、前記洗浄開始予測時刻を遅らせる手順を実行させるための請求項20記載のプログラム。
- コンピュータに、後続の研磨対象物に対して、前記遅延時間を前記第2研磨部の研磨待ち時間として反映させる演算処理を実行させるための請求項28記載のプログラム。
- 複数の研磨対象物を収納したカセットを載置する載置部と、
研磨対象物を研磨する複数の研磨ラインと、
研磨後の研磨対象物を洗浄する洗浄機と研磨対象物を搬送する搬送ユニットを有する洗浄ラインと、
前記載置部、前記研磨ライン及び前記洗浄ライン間で研磨対象物を搬送する搬送機構と、
前記研磨ライン、前記洗浄ライン及び前記搬送機構を制御する制御部を有する研磨装置の該制御部内に格納されているプログラムであって、
コンピュータに、前記洗浄ラインの洗浄開始予測時刻から研磨待ち時間を設けることなく研磨を行った場合に予測される研磨終了予測時刻を引いた時間を研磨待ち時間とし、前記研磨待ち時間が正の場合、前記複数の研磨ラインの研磨開始時刻を前記研磨待ち時間分遅らせる手順を実行させるためのプログラム。 - 複数の研磨対象物を収納したカセットを載置する載置部と、
研磨対象物を研磨する複数の研磨部を有する研磨ラインと、
研磨後の研磨対象物を洗浄する複数の洗浄機と研磨対象物を搬送する搬送ユニットを有する洗浄ラインと、
前記載置部、前記研磨ライン及び前記洗浄ライン間で研磨対象物を搬送する搬送機構と、
前記研磨ライン、前記洗浄ライン及び前記搬送機構の運転を制御する制御部を有する研磨装置の該制御部内に格納されているプログラムであって、
コンピュータに、前記洗浄ラインの洗浄開始予測時刻から研磨待ち時間を設けることなく研磨を行った場合に予測される研磨終了予測時刻を引いた時間を研磨待ち時間とし、前記研磨待ち時間が正の場合、前記研磨ラインの研磨開始時刻を前記研磨待ち時間分遅らせる手順を実行させるためのプログラム。
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