JP2021173914A - 情報処理装置、及び情報処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態では、複数の装置と、複数の装置を管理する管理装置からなる物品製造システムについて説明する。図1は物品製造システムを示した図である。本実施形態の物品製造システム100は、ウエハ(基板)にパターン形成を行うパターン形成装置200、処理装置201、検査装置202と、それらの装置を管理する管理装置300とを有する。また、物品製造システム100において、パターン形成装置200、処理装置201、及び検査装置202には、それぞれ1又は複数の装置が含まれる。
本実施形態では、ロットデータと共に、露光する処理条件が変更された情報である変更履歴情報を表示する例について説明する。尚、本実施形態で言及しない事項については、第1実施形態に従う。
本実施形態では、ユーザが指定したロットに関する処理条件を表示する例について説明する。尚、本実施形態で言及しない事項については、第1実施形態に従う。
本発明の実施形態における物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、上記の物品の製造システムを用いて基板に原版のパターンを形成する形成工程と、該形成工程でパターンが形成された基板を加工する加工工程とを含みうる。更に、かかる物品製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含みうる。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
本発明は、上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサがプログラムを読み出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
300 管理装置
306 表示装置
401 取得部
404 表示制御部
Claims (16)
- 基板処理の第1の処理条件と、前記第1の処理条件が適用された基板処理に関する第1の処理データと、前記第1の処理条件とは異なる第2の処理条件と、前記第2の処理条件が適用された基板処理に関する第2の処理データとを含む処理情報を取得する取得部と、
前記取得部で取得した前記処理情報に基づいて、表示装置への表示を制御する表示制御部を有し、
前記表示制御部は、前記第1の処理データと、前記第2の処理データとを、それぞれ別の領域に表示する第1画面を前記表示装置に表示することを特徴とする情報処理装置。 - 前記表示制御部は、前記第1画面と、前記第1の処理データ及び前記第2の処理データを同じ領域に表示する第2画面とを、前記表示装置に選択的に表示することを特徴とする請求項1に記載の情報処理装置。
- 前記表示制御部は、前記第1画面と共に、前記第1の処理データ及び前記第2の処理データを同じ領域に表示する第2画面を前記表示装置に表示することを特徴とする請求項1に記載の情報処理装置。
- 前記処理データは、基板処理を行う処理装置の動作結果、及び基板処理が行われた基板の状態を含む情報であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記処理条件は、複数の装置で共有して使用される処理条件であるレシピ、及び複数の装置間で共有されない処理条件である装置パラメータを含む条件であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記表示制御部は、前記第1の処理データ及び前記第2の処理データを時系列にグラフ表示することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記表示制御部は、処理条件を変更した変更履歴情報を前記表示装置に表示することを特徴とする請求項6に記載の情報処理装置。
- 前記取得部で取得した基板単位の処理データに基づいて、ロット単位の処理データを算出する算出部を更に有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記算出部は、前記取得部で取得した基板単位の処理データの最大値、最小値、平均値、中央値、標準偏差のいずれか1つの統計処理に基づいて、ロット単位の処理データを算出することを特徴とする請求項8に記載の情報処理装置。
- 前記表示制御部は、ユーザによって指定されたロットの処理条件を前記表示装置に表示することを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 基板処理の第1の処理条件と、前記第1の処理条件が適用された基板処理に関する第1の処理データと、前記第1の処理条件とは異なる第2の処理条件と、前記第2の処理条件が適用された基板処理に関する第2の処理データとを含む処理情報を取得する取得工程と、
前記取得工程で取得した前記処理情報に基づいて、表示装置への表示を制御する表示制御工程を有し、
前記表示制御工程は、前記第1の処理データと、前記第2の処理データとを、それぞれ別の領域に表示する第1画面を前記表示装置に表示することを特徴とする情報処理方法。 - 前記表示制御工程は、前記第1画面と、前記第1の処理データ及び前記第2の処理データを同じ領域に表示する第2画面とを、前記表示装置に選択的に表示することを特徴とする請求項11に記載の情報処理方法。
- 前記表示制御工程は、前記第1画面と共に、前記第1の処理データ及び前記第2の処理データを同じ領域に表示する第2画面を前記表示装置に表示することを特徴とする請求項11に記載の情報処理方法。
- 請求項11乃至13のいずれか1項に記載の情報処理方法の各工程をコンピュータに実行させるためのプログラム。
- 請求項1乃至10のいずれか1項に記載の情報処理装置と、
基板上にパターンを形成するパターン形成装置と、を含み、
前記情報処理装置は、前記パターン形成装置を含む複数の装置を管理することを特徴とする物品の製造システム。 - 請求項15に記載の製造システムを用いて基板上にパターンを形成する工程と、
前記工程で前記パターンが形成された前記基板を、酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージングの内、少なくとも1つの処理を行う工程と、を含み、
前記処理された基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
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