JP2004319961A - 基板処理装置、基板処理方法、及び該方法を実行するプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 プラズマ処理装置は、半導体ウエハの処理を行う処理室、制御装置を備える。制御装置は、プラズマ処理装置の異常を検知すると(ステップS1)、エッチング処理を中止し(ステップS2)、未完了半導体ウエハの残処理工程を表す情報である残処理レシピを作成すると判別すると(ステップS4でYES)、プロセス・ログとプロセス・レシピとを比較し(ステップS5)、プロセス・レシピの異常以降のエッチング処理工程情報を表すプロセス・レシピを作成し(ステップS6)、このプロセス・レシピの先頭に異常点を含む工程の直前の工程を表す情報を付加して残処理レシピを作成し(ステップS7)、この残処理レシピに基づいて未完了半導体ウエハに対して残処理を実行する。
【選択図】図4
Description
2 プラズマ処理システム
11 処理室
41 制御装置
42 CPU
45 記憶装置
46 入出力装置
47 表示装置
48 警報装置
51 第1処理ユニット
52 第2処理ユニット
53 被処理体搬出入ステージ
54 フープ台
56 搬送室
58 ロードロック室
59,65 搬送アーム
61,63,70,71,75 ウエハ検出センサ
76 フープ
Claims (10)
- 基板に実行する1以上の処理を表す情報を有する処理情報を記憶する記憶手段を備え、前記処理情報に基づいて前記基板に前記1以上の処理を実行する基板処理装置において、
当該基板処理装置に異常が発生したか否かを判別する異常判別手段と、前記異常が発生したときに前記処理情報に基づく前記基板の処理を中止する中止手段と、前記異常の発生時に前記処理情報における前記異常の発生時以降に前記基板に実行する処理を表す異常後処理情報を有する残処理情報を作成する残処理情報作成手段とを備え、前記処理が中止された基板である未完了基板に対して前記残処理情報に基づく処理を実行することを特徴とする基板処理装置。 - 前記残処理情報は、前記異常の発生時に実行していた処理の直前に実行していた処理を表す直前処理情報を有することを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記未完了基板に対して前記直前処理情報に基づく処理を実行した後に、前記異常後処理情報に基づく処理を実行することを特徴とする請求項2記載の基板処理装置。
- 前記残処理情報は編集可能であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 基板に実行する1以上の処理を表す情報を有する処理情報を記憶し、前記処理情報に基づいて前記基板に前記1以上の処理を実行する基板処理方法において、
前記基板の処理に異常が発生したか否かを判別し、前記異常の発生時に前記処理情報に基づく前記基板の処理を中止し、前記異常の発生時に前記処理情報における前記異常の発生時以降に前記基板に実行する処理を表す異常後処理情報を有する残処理情報を作成し、前記処理が中止された基板である未完了基板に対して前記残処理情報に基づく処理を実行することを特徴とする基板処理方法。 - 基板に実行する1以上の処理を表す情報を有する処理情報を記憶し、前記処理情報に基づいて前記基板に前記1以上の処理を実行する基板処理方法を実行するプログラムにおいて、
前記基板の処理に異常が発生したか否かを判別するモジュールと、前記異常の発生時に前記処理情報に基づく前記基板の処理を中止するモジュールと、前記異常の発生時に前記処理情報における前記異常の発生時以降に前記基板に実行する処理を表す異常後処理情報を有する残処理情報を作成するモジュールと、前記処理が中止された基板である未完了基板に対して前記残処理情報に基づく処理を実行するモジュールとを備えることを特徴とするプログラム。 - 基板に実行する1以上の処理を表す情報を有する処理情報を記憶する記憶手段と、前記処理情報に基づいて前記基板に前記1以上の処理を実行する処理手段と、前記基板を格納する格納手段と、前記処理手段と前記格納手段とを接続し前記基板を搬送する搬送装置とを有する搬送手段とを備える、基板処理装置において、
前記処理手段により前記基板に実行した処理を表す情報を有する履歴情報を作成する履歴情報作成手段と、前記基板処理装置に異常が発生したか否かを判別する異常判別手段と、前記異常が発生したときに前記処理手段の処理を中止する中止手段と、前記履歴情報作成手段によって作成された履歴情報を表示する表示手段とを備え、前記搬送手段は前記異常が発生したときに前記処理手段又は前記搬送手段に存在する前記処理が中止された基板である未完了基板を前記格納手段に回収可能であり、前記表示手段は前記搬送装置により前記未完了基板が前記格納手段に回収されたときに前記履歴情報を表示することを特徴とする基板処理装置。 - 前記履歴情報は、前記中止手段が前記処理手段の処理を中止した時に、前記処理手段が実行していた処理を表す情報を有することを特徴とする請求項7記載の基板処理装置。
- 基板に実行する1以上の処理を表す情報を有する処理情報を記憶し、前記処理情報に基づいて前記基板に前記1以上の処理を実行する基板処理方法において、
前記基板に実行した処理を表す情報を有する履歴情報を作成し、前記基板処理に異常が発生したか否かを判別し、前記異常が発生したときに前記基板の処理を中止し、前記異常が発生したときに前記処理が中止された基板である未完了基板を回収し、前記未完了基板が回収されたときに前記履歴情報を表示することを特徴とする基板処理方法。 - 基板に実行する1以上の処理を表す情報を有する処理情報を記憶し、前記処理情報に基づいて前記基板に前記1以上の処理を実行する基板処理方法を実行するプログラムにおいて、
前記基板に実行した処理を表す情報を有する履歴情報を作成するモジュールと、前記基板処理に異常が発生したか否かを判別するモジュールと、前記異常が発生したときに前記基板の処理を中止するモジュールと、前記異常が発生したときに前記処理が中止された基板である未完了基板を回収するモジュールと、前記未完了基板が回収されたときに前記履歴情報を表示するモジュールとを備えることを特徴とするプログラム。
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