JPH06176032A - 生産管理システムおよび方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 重要度の高いロットと重要度の低いロットと
が混在する製造工程のスケジュール精度を向上させる。 【構成】 本発明の生産管理システムおよび方法では、
全部のロットを、一度に全工程スケジュールせずに、優
先度または重要度の高いロットのみをまずスケジュール
して、長期間の処理予定を作成する。次いで、優先度と
重要度ともに低いロットは、滞留ロット数に基づいて統
計処理により処理開始時刻を予測し、処理予定を作成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＬＳＩ等の半導体部
品、衣料品、自動車等の各種工業製品の製造を管理する
生産管理システムおよび方法に関するものである。ここ
でいう、製造の管理は、複数の品種からなる製品の、
それぞれの処理工程や緊急度に応じて製造順序を決める
スケジューリング、製造の進捗状況の監視、製造時
の処理データの取得、を含むものである。

【０００２】

【従来の技術】ＬＳＩの製造工程を例にとって以下に従
来の生産管理システムを説明する。図６は、ＬＳＩの製
造手順の概略を説明した図である。単結晶ウェハの上
に、酸化膜／窒化膜等の絶縁膜の膜付け、熱処理による
拡散、フォトリソグラフィによるパタンの形成、蒸着や
スパッタによる膜付け、エッチング、イオン注入による
不純物の導入、スクライブ（分割）、マウント、ボンデ
ィング等の技術が、少なくとも１回、多いものは何十回
と用いられながら、半導体基板上に機能が作り込まれ、
ＬＳＩの製造が行われる。また、それぞれの技術は、さ
らにいくつかの処理に細分化される。例えば、フォトリ
ソグラフィ技術は、図６の左に示したように、（ａ）感
光剤であるレジストの塗布、（ｂ）マスク合わせ／露
光、（ｃ）現像によるパタン形成、（ｄ）エッチングに
よる加工、等の処理からなり、このような処理単位を通
常『工程』と呼ぶ。これら工程を数百回繰り返し行っ
て、ＬＳＩは作られる。この製造工程の手順の一覧が、
図７に示すような『工程表』であり、処理順に、使用装
置、処理条件（レシピ）等が記述してある。

【０００３】この工程表は、ロット（処理単位：通常は
カセット単位、枚葉処理では１枚単位）ごとに指定し、
この工程表通りに順番に処理を行うことで、ＬＳＩの製
造が可能である。ここで特徴的なことは、この工程の中
で、同じ装置が処理条件を変えて何回も用いられること
である。また、異なる品種のものを製造する場合には、
同じ工程でも異なる処理条件で製造が行われる。ここで
いう処理条件（レシピ）は、熱処理を行う温度やガス流
量、露光時の使用マスク等の製造条件だけでなく、寸法
測定の位置等の検査条件をも含むものである。

【０００４】一方、処理実行データを取得し、モニタす
ることは、製品の不良を未然に防ぐだけでなく、故障時
の原因解析にも役立つ。従って、検査データを含めた処
理データを取得することが必須となる。ここで、この処
理データは、装置から自動収集されるのが望ましいが、
必ずしも自動である必要はない。この装置データ・検査
データの収集にあたっては、同一装置が、工程表内で何
回も使用されるので、そのデータが、どのロットのどの
工程（工程表の中の何番目の工程）のデータであるかを
示すキー情報を付加してデータベースへ格納する。この
キー情報としては、スケジューリングにより作成した処
理予定を用いるのが簡便である。すなわち、ロット処理
時にバーコードリーダにより、そのロットを認識させ、
その処理予定をネットワーク通信により受信し、処理デ
ータと合わせてデータベースへ格納する方法である。ま
たは、磁気カード等をロットと一緒に搬送し、そのカー
ドを読ませて、キー情報を読出し、処理データと合わせ
てデータベースへ格納する方法がある。これらは、いず
れも、ロットの進捗管理を兼ねることができるという特
徴がある。このような、ライン管理の手順としては、図
８のようなものがある。スケジュール結果を、予定表の
形でライン内に配置した計算機に配り、作業者はこの予
定表による作業指示書に基づいて処理を実行する。その
処理データ等の実行記録を、製造・検査装置から直接送
信するオンラインデータ収集、またはオペレータが端末
から行うオフラインの進行通知により、スケジューラへ
フィードバックして進捗を管理するとともに、次のスケ
ジュール時にその進捗状況を反映させる。

【０００５】同一品種のものが大量に生産される量産ラ
インでは、各装置に処理待ちで溜っている滞留ロットの
中から、古いものを順番に処理していく（ファーストイ
ン・ファーストアウト）山積み方式や、到着ロットの過
不足を目に見えるように表示する看板方式等が生産方法
として使用されることが多い。順次、処理した結果が、
どのロットのどの工程のものかの情報を、その場で、キ
ー入力あるいはバーコードによる読取り等で付加して、
データをデータベースに格納する。しかし、この場合、
個々のロットの各工程の処理予定は把握できないので、
納期管理、ＴＡＴ（ロットが完成するまでにかかる日
数）を制御するのは困難である。

【０００６】近年、ＬＳＩに限らず、多品種・少量生産
の需要が高まっているため、一つの製造ラインで、何品
種もの製品が生産されるようになった。これらの製品
は、その生産量が異なるだけでなく、品種ごとに重要
度、処理の優先度が異なる。例えば、ＡＳＩＣＬＳＩと
呼ばれる生産ラインでは、図９に示すように、処理の優
先度、重要度の異なる何品種ものロットが存在する。特
注品や特殊仕様の製品は、生産量が少なく、設計・製造
のコストが高いので重要度が高くなるが、メモリや汎用
品等の量産品は重要度が低くなる。ＡＳＩＣの中でも、
フルカスタムやスタンダードセルを用いたＬＳＩは、基
板工程から専用のマスクパタンを用いる必要があるの
で、その重要度は高い。通常、重要度はロットの投入時
に決まる。しかし、ゲートアレイＬＳＩでは、基板は共
通で、配線工程のみ、カスタマイズするので、ゲートア
レイの基板作成段階ではその重要度は低いが、配線工程
に入ると、重要度があがる。一方、優先度は、同じ装置
で処理待ちとなった場合に、どちらを先に処理させるか
を示すもので、納期までの余裕で決まる。このため、当
初は納期まで十分な余裕が見込まれたので優先度の低か
ったロットが、途中で予定より遅れたので優先度を上げ
る必要が生じる。逆に、途中で余裕ができ、優先度を下
げる場合もある。このように、優先度は、ロットの処理
が進捗するにつれて変わる。優先度や重要度の高いロッ
ト（以下では進捗制御ロットと称する）の完成日を制御
して納期に遅れないようにするため、なおかつデータ取
得のためのキー情報を作成するためには、ロットの進捗
を監視して、日に一度程度の定期スケジューリングと装
置のトラブルやロット進捗遅れ等に伴う非定期のスケジ
ューリングをスケジューラにより実行して処理予定を逐
次更新していくことが必要である。すなわち、生産管理
システムはロットの進行状況を監視し、その処理結果に
基づいて、どのロットを先に処理するかの優先度を変更
し、すでに処理された以降のスケジューリングを、装置
の稼動状況（故障等の情報）、メンテナンス状況、ある
いはオペレータの稼動状況等を考慮して、実行してい
く。

【０００７】このような、処理予定の作成方法として
は、例えば、処理優先度の高いロットから順番に、工程
表を参照して次の工程の装置と処理時間を認識し、その
装置が使用可能な時間帯を稼動予定から調べ、空き時間
帯にその工程を割り当てる方法がある。ここで、処理装
置は１台とは限らないので、同種の空いている装置へ割
り振る。この処理を、他のロットや次の工程にも順次行
っていく。その結果、装置の稼動予定には、処理予定が
入り、稼動可能時間が制限される。その空き時間帯に、
より優先度の低いロットの処理予定を割り振る。同じよ
うに、オペレータの予定も同時に空きを見ながら作成す
ることも可能である。この場合、その装置を使用できる
オペレータも複数存在する（他の装置のオペレータと重
複している場合もある）。このように、処理可能な装置
とオペレータの組合せは何通りもあるため、実際に稼動
可能な組合せをチェックしながら処理予定を作成するの
に要するメモリ容量、計算時間は、ロット数や装置台数
（オペレータを考慮する場合は、さらにオペレータ数）
の増加とともに増大し、特にロット数が多いと多大なメ
モリ容量と計算時間を必要とする。通常のラインでは、
重要度や優先度の高いロット以外に、重要度と優先度と
もに高くない量産品のロットが流れる。この割合は製造
ラインによって、異なるが、例えば、重要ロットの数倍
〜数十倍の量産ロットが流れることが多い。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】このようなラインで、
生産計画を作成するため、長期間にわたって全ロットの
全工程をスケジュール対象とするのは、計算機のメモリ
等の制約や、計算時間の問題で実質的には不可能であ
る。一方、一部のロットのみスケジュールしたのでは、
他のロットの処理予定がないので、処理予定をキー情報
としたデータ格納ができなくなる。

【０００９】そこで、本発明の目的は、進捗を制御しな
ければいけない優先度または重要度の高いロットが、優
先度と重要度ともに高くない量産品に混在しているよう
なラインにおいて、スケジューラにおける上記スケジュ
ーリング（キー情報の作成）時の処理時間の短縮と使用
メモリの低減を図り、これによって、ラインの進捗管
理、優先度や重要度の高いロットの完成日予測を正確に
行うことができる生産管理システムを提供することにあ
る。また、本発明の他の目的は、他の量産ロットについ
ても、処理予定を作成し、この処理予定情報をキー情報
としたデータ格納が、全ロットで同じ手順で行え、特
に、ライン全体の製造ロット数、品種数が多い製造ライ
ンへの適応を可能とする生産管理システムを提供するこ
とにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、請求項１の発明は、製造条件、製造の順序等
を示す工程表と、各製造装置の稼動予定表から、製造ロ
ットごと、前記製造装置ごとの処理予定を作成するスケ
ジューラを有し、前記製造装置からの処理データに、前
記スケジューラが作成した処理予定の一部または全部の
情報をデータの見出しとして用いたキー情報を付加して
データベースへ格納する生産管理システムにおいて、上
記スケジューラは、工程表に記述されている資源の稼動
予定に基づいて納期管理を行う優先度または重要度の高
いロットの重要処理予定を作成する手段と、前記各製造
装置に溜っている未処理の滞留ロット数と前記工程表か
ら、待ち時間を算出して処理予定時刻を予測する手段
と、この予測時刻から重要度と優先度ともに低いロット
の仮処理予定を作成する手段と、上記重要処理予定と仮
処理予定を合成してライン全体の処理予定を作成する手
段とを具えたことを特徴とする。

【００１１】請求項２の発明は、製造条件、製造の順序
等を示す工程表と、各製造装置の稼動予定表から、製造
ロットごと、前記製造装置ごとの処理予定をスケジュー
ラにより作成し、前記製造装置からの処理データに、前
記スケジューラが作成した処理予定の一部または全部の
情報をデータの見出しとして用いたキー情報を付加して
データベースへ格納する生産管理方法において、上記ス
ケジューラは、工程表に記述されている資源の稼動予定
に基づいて納期管理を行う優先度または重要度の高いロ
ットの重要処理予定を作成するステップと、前記各製造
装置に溜っている未処理の滞留ロット数と前記工程表か
ら、待ち時間を算出して処理予定時刻を予測するステッ
プと、この予測時刻から重要度と優先度ともに低いロッ
トの仮処理予定を作成するステップと、上記重要処理予
定と仮処理予定を合成してライン全体の処理予定を作成
するステップとを実行することを特徴とする。

【００１２】

【作用】本発明の生産管理システムおよび方法では、全
部のロットを、一度に全工程スケジュールせずに、優先
度または重要度の高いロットのみをまずスケジュールし
て、長期間の処理予定を作成する。次いで、優先度と重
要度ともに低いロットは、滞留ロット数に基づいて統計
処理により処理開始時刻を予測し、処理予定を作成して
いる。このため、スケジュール作成時に大幅な使用メモ
リ削減が可能であるため、大量のロットのスケジューリ
ングが可能である。また、できあがった処理予定は、進
捗を制御しなければならないロットについては、長期の
計画が反映されたものとなっている。また、他の量産ロ
ットも、全ロット分、データ納期用のキー情報が作成で
きている。

【００１３】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。

【００１４】図１は、処理の概要を示したフローチャー
トである。スケジューラはこの処理を規定したソフトウ
エアプログラムを内部のコンピュータに実行させること
によりスケジューリングを実行する。なおスケジューラ
自体のハード構成は従来と同様のものを使用できるので
詳細な説明を省略する。

【００１５】図１において、優先度／重要度の高いロッ
トからなる進捗制御ロット（ロット群Ａ−図９参照）
は、図中左側の手順に従って、で各ロットとも全工程
をスケジューラによりスケジュールし、処理予定（装置
／オペレータの処理予定やロットの処理予定）を作成
し、これに基づいて処理を実行していくことで、その進
捗を正確に管理し、完成日を制御する。このスケジュー
リングは、ロットが完成するまでの期間で、通常、数カ
月の範囲である。この処理予定は、ライン上のロットの
進捗状況、生産計画の変更等に伴って、逐次更新され
る。でスケジューリング実施後は、ロットの処理予定
を、装置ごとに分類し、装置の処理予定を作成する。こ
れらの処理を実施するときのスケジューラのコンピュー
タが本発明の重要処理予定を作成する手段として動作す
る。

【００１６】一方、優先度、重要度ともに低いロットか
らなる非進捗制御ロット群（図９参照）は、ゲイトアレ
イ基板のように、ライン上に多数存在するロットであ
る。これらのロットに対しては、１工程ごとの正確な処
理予定の作成の必要はない。たかだか、キー（ワード）
情報のすなわち、スケジューラが作成した処理予定の一
部または全部を示す情報で見出しとしてデータに付加さ
れる情報の作成と概略の処理予定把握のため、１日〜１
週間程度に間に処理されるロットがわかればよい。この
ため、スケジューリングも厳密なものでなく、概略の処
理予定を作成し、これをデータを格納するための上記キ
ー情報とすればよい。本発明では、ここで仮に作成した
処理予定を、後から進捗制御ロットの処理予定と合成す
るので、この段階での処理予定を仮処理予定と以下で呼
ぶ。仮処理予定の作成は、図中右側の手順で作成する。
すなわち、スケジューラは先ずで、各装置ごとに滞留
している待ちロット数のテーブルを作成する。次に
で、装置、優先度ごとに、待ち時間を算出する。この算
出方法は後で述べる。上記待ち時間を各ロットの工程に
加えて、概略の処理開始可能時刻を類推し（本発明の処
理予定時刻の予測に相当）、これをもとに、各装置ごと
に処理日を類推して、仮処理予定を作成する（）。こ
の仮処理予定を作成するときのコンピュータが本発明の
仮処理予定を作成する手段として動作する。

【００１７】このように、別々に作成した処理予定と仮
処理予定を、装置、処理日ごとに分類し、で合成する
ことにより、ライン全体の処理予定をスケジューラにお
いて作成する。この合成処理を実行するときのコンピュ
ータが本発明のライン全体の処理予定を作成する手段に
相当する。本発明によれば、作成される予定は短期間の
処理予定であっても、進捗制御ロットは長期間の計画に
基づいた予定となっているので、対象の各ロットの完成
日が納期に間に合うように、処理順序が制御されてい
る。なおかつ、他の量産ロットの処理予定も同時に作成
されている。このようなスケジューリングの作成が、メ
モリを削減し、計算時間を短縮して行うことができる。

【００１８】スケジューラは進捗制御ロットの処理予定
（重要処理予定）を先ず作成するが、この分は、ロット
を選択しているため、ラインの全稼動時間の数分の１で
あることが多く、装置での待ちは少ない。このため、ロ
ットごとの処理予定を中心に予定を作成していくのが簡
単である。その作成方法の概要を図２に示す。簡単のた
め、１日に処理できる工程数を少なくして表示してあ
る。２４時間稼動の場合は、稼動時間帯は無視すればよ
い。まず、スケジューラにより進捗制御ロットｉ，ｊ，
ｋ，ｌ，…の現在の処理開始工程（ａ，ｂ，ｃ，ｄ，
…）を認識する。次いで、各ロットの工程表を参照し
て、以下の工程を装置の稼動時間帯に順に並べて（ａ）
のように仮予定を立てる。図中各箱は１つの工程を表
し、装置名しか記載していないが、工程名、処理時間等
の情報も持っている。この仮予定は、他のロットとの重
複は考慮にいれていないので、図中の網かけ部分（装置
Ｍ２，Ｍ３）のように実際には他のロットの処理と重複
するため、処理できない工程がある。重複がある場合に
は、優先度の低いロットの処理予定を（ｂ）のように後
ろへずらす。同じ優先度の場合には、先に投入した方を
優先させる、工程の進んだ方を優先させる等のルールを
決めておけばよい。しかし、（ｂ）のように工程をずら
すと、今度は別の時間帯で重複（装置Ｍ２）が生じる。
これも、同じように一方の処理予定をずらす。工程の処
理時間をずらす場合は、なるべく影響が少なくなるよう
にし、重なりが小さい場合には、後から入ってくる工程
を後ろへずらす。また、一度ずらされたロットは、議事
的に処理の優先度をあげておくと、特定ロットのみがず
れることがないのでよい。なお、図中で工程と工程の間
にすきまがあるので、工程間の搬送時間等である。この
ようにして、各ロットの全工程の処理予定を並べる（あ
るいは指定期間中の処理予定を並べる）ことにより処理
予定（ｃ）を作成すればよい。なお、２４時間フル稼動
でないラインの場合には、ずらしてその処理時間がその
日の稼動時間帯をはずれた場合には、その処理は翌日に
まわず等の処理を行う。スケジューラにおいてロットの
処理予定ができたら、装置ごとに分類し、装置の処理予
定（ｄ）を作成する。この処理予定は、図３に示すよう
な装置予定テーブルの形で装置ごとに作成し、蓄積して
おく。この予定は、進捗制御ロットの分だけであり、空
きがあるものとなっている。あとから、非進捗制御ロッ
ト分を追加する。

【００１９】非進捗制御ロットの仮処理予定のスケジュ
ーラの作成方法は、図１の右側の手順に従って、平均処
理時間、待ち時間から類推する方法を用いる。その方法
の詳細を以下に説明する。まず、各装置ごとに、現在滞
留しているロット数を求めてテーブル化しておく
（）。このテーブルに、各装置ごとの平均処理時間を
合わせて登録しておくと、以下の計算が便利である。次
いで、各装置での平均待ち時間から、処理予定日を見積
もる（）。すなわち、非進捗制御ロットで用いる工程
表内で該当装置が使用される工程の平均処理時間をＴ
ｍ、でテーブル化したラインの待ちロット数をＬｍと
すれば、平均待ち時間Ｔｗは、Ｔｍ×Ｌｍとなる。ここ
で、Ｔｍはあらかじめ工程表から算出してテーブル化し
ておき、これを用いる。一方、Ｌｍは装置ごとに滞留し
やすい装置と滞留しない装置がある。このＬｍは、ライ
ン内に存在する全ロット数Ｎや、ラインの設備状況（ど
の装置が何台あるか、稼動時間が何時間か）等のパラメ
ータである。一番簡単に計算するには、現在の滞留ロッ
ト数をＬｍとして用いればよい。ラインへ新規ロットを
投入するなどにより、滞留ロット数が変化すると想定さ
れる場合は、処理予定を作成する時点（スケジュール対
象日、月）でラインに存在する全ロット数を推定してＬ
ｍの値を変える必要がある。このＬｍは、ライン内に存
在する全ロット数Ｎをパラメータとして、あらかじめシ
ミュレーションで得られた値や、実績値をテーブル化ま
たは関数化しておき、この値を用いればよい。

【００２０】上記待ち時間が算出できたなら、その時間
を、各工程ごとに該当装置の処理時間に加えることによ
り、各装置での終了予定時刻を類推する。その方法を図
４にもとに説明する。図２の（ａ）で示したのと同じよ
うに、現在の処理工程以降の工程を単純に時系列に並べ
る（図４（ａ））。ここで、図２との違いは、ここで
は、計算した各装置での待ち時間（点線部分）を考慮
し、その時間分処理工程の位置をずらしていることであ
る。（ａ）の仮予定から、図２の（ｂ），（ｃ）の手順
と同じように、重複した部分をずらせば、仮処理予定が
（ｂ）のように作成できる。しかし、この方法で、処理
予定を作成しても、進捗ロット分が考慮されていないの
で、後で両者を合成する時にずれる可能性がある。この
ため、この段階では、図４（ｃ）のように、処理が先に
される予定のものから重複を無視して装置処理予定テー
ブルに並べてしまい、これを処理予定の合成に使うのが
簡単である。この図では、ロット名しか図示していない
が、工程名、処理時間、処理開始可能時間（前の工程の
終了予定時間）が記載されている。ここで、点線で示し
た繋がりは、各工程の終了時間が、次の工程の処理開始
可能時間に対応していることを示したもので、この関係
をポインタ等でもたせておけば、ある工程が重複等でず
れた場合に、以降の工程をずらすことで、より厳密な処
理予定をたてることができる。この装置処理予定テーブ
ルは、進捗管理ロットの装置処理予定テーブル（図３）
を共用して、進捗制御ロットの後に加えるようにしても
よいし、別に用意してもよい。このようにして作成した
装置処理予定テーブルをもとにして、進捗制御ロット
と、非進捗制御ロットの仮処理予定で、処理の重複部分
をずらして処理予定を合成する。

【００２１】ロット群Ａとロット群Ｂの処理予定のスケ
ジューラの合成法について図５を参照して述べる。この
処理予定の合成は、装置ごとに行う。装置の処理予定テ
ーブルを用意する。このテーブルには、各処理工程のロ
ット、工程、処理時間、処理開始可能時刻が記述されて
いる。優先度の高いものが上、同じ優先度のものは処理
予定時刻のはやいものが上に記述されており、先に処理
予定を割り当てる。これらは、進捗制御ロットと非進捗
制御ロットを別々にスケジュールしてできた結果を、単
純につなぎ合わせてテーブルにしている。処理開始可能
時間は、前の工程の数量予想時刻に位相時間を加えたも
のである。合成法としては、まず、優先度の高いもの
（進捗制御ロット分）は、はじめに作成された処理予定
時刻で割り当てる。非進捗制御ロット分は、処理開始可
能時刻を見て、その時刻以降で、処理時間の範囲の空き
時間あるかを判断し、空きの場所に割り当てる。これを
他の工程にも順次実施する。工程が入らない分は、次の
日に回す。なお、この合成処理で、初めの処理開始可能
時刻と、実際の処理予定時刻はずれる。このため、装置
処理予定テーブルの各工程ごとに、次の工程へのポイン
タを用意し、次がどの装置のどの工程かを認識させ、処
理予定が決まったならば、その時刻を次の工程の処理開
始可能時刻に反映させる（以下の工程も同じ）ようにす
れば、正確な処理予定作成ができる。この方法は、全ロ
ット、全工程を一度に展開する図３のような方法に比べ
れば、ある特定の装置だけに閉じて処理予定を作成して
いるので、処理予定作成時のメモリの削減が可能であ
る。

【００２２】なお、上記方法では、進捗制御ロットの処
理予定を固定した残りに非進捗制御ロットの処理予定を
挿入する形になっているため、空き時間が中途半端であ
ると、工程が入りにくい場合がある。その改良法として
は、優先ロット分の各処理工程ごとに移動可能時間を合
わせてテーブルに入れておき、その時間範囲内で進捗制
御ロットの処理予定を後ろへずらして空き時間を作り、
非進捗制御ロット分の処理を入れる方法がある。例え
ば、進捗制御ロットの処理予定ｔが、１１時〜１３時間
まで入っているが、以下の処理が２時間までであれば後
ろにずらせる場合がある。一方、非進捗ロットの処理予
定ｕを、１０時から２時間入れようとすると、処理予定
ｔがあるため、処理予定ｕは入らない。しかし、処理予
定ｔを１時間後ろへずらせば、処理予定ｕを１０時から
１２時に入れることができる。このように、移動可能時
間を使えば、スケジューリングでの効率がよくなる。

【００２３】この処理予定を用いたロットの処理自体
は、従来方法と同じものでよい。処理予定に基づいて作
成された作業指示書（必ずしも紙に出力したものでな
く、端末に表示したものであってもよい）に従って、順
次実行していく。この処理の中で、それがデータを取得
する工程や進捗を管理する工程の場合には、端末からの
入力、あるいはバーコードや磁気カード等を用いてロッ
トや工程を認識させる方法等、重要度の高いロットを処
理する場合と同じ手順を用いて、その処理結果をスケジ
ューラやデータベースへ送信・格納する。これによっ
て、データの格納が実行されるとともに、次のスケジュ
ーリング実行時には、その結果が反映されて、処理が終
了した工程はスケジューリング対象からは外され、進捗
管理ができる。

【００２４】非進捗制御ロットについては、全ロットを
工程表によるスケジュール対象とするのは、メモリの制
約、計算時間等の制約により大変であるが、全ロットを
非スケジュールとすると、進行状況の把握が行いにく
い。この両者を両立させる方法として、一定間隔で抽出
したロット（例えば１０ロットおき等：マーカロットと
呼ぶ）を進捗制御ロットと見なして処理予定を作成すれ
ば、非進捗制御ロットであっても、概略の進捗管理、納
期制御が可能となる。ゲートアレイのように、同一品種
のロットが多数ある場合に、そのロットの一定間隔Ｎロ
ットごとに、マーカロットとし、このロットは進捗制御
ロットとして扱い、長期処理予定を作成する。ただし、
優先度は低いままでよい。この処理予定の作成において
は、ロットの投入時期、あるいは、当日の処理開始工程
の指定を行うことにより（ある時刻での終了工程を通知
してもよい）、実際のライン上の処理に則した処理予定
を立てることができ、ライン上のロットの進捗状況を管
理することができる。一方、他のロットについては、本
発明で述べた短期の処理予定作成法を用いて処理予定を
作成する。実際のロットの処理は、投入ロットの順に処
理するものとしておき、同一工程で複数のロットが待ち
状態になった場合は、先に投入したロットを先に処理す
ると決めておけば、Ｎロットおきにあるマーカロットの
間にある他のＮ−１個のロットについても、概略のロッ
トの進行が管理できる。また、データの収集について
は、通常のスケジュールを実施したロットと同じように
処理することができる。

【００２５】

【発明の効果】本発明の生産管理システムおよび方法で
は、全部のロットを、一度に全工程スケジュールせず
に、優先度または重要度の高いロットのみをまずスケジ
ュールして、長期間の処理予定を作成する。次いで、優
先度と重要度ともに低いロットは、滞留ロット数に基づ
いて統計処理により処理開始時刻を予測し、処理予定を
作成している。このため、スケジュール作成時に大幅な
使用メモリ削減が可能であるため、大量のロットのスケ
ジューリングを実施することが可能となる。また、でき
あがった処理予定は、進捗を制御しなければならないロ
ットについては、長期の計画が反映されたものとなって
いるので、この処理予定に基づいて処理を実行すること
により、正確な納期制御ができる。さらに、他の量産ロ
ットも、全ロット分、データ格納用のキー情報が作成で
きているので、オペレータからみれば、進捗制御ロット
と非進捗制御ロットの区別にかかわらず、同じ処理手順
で処理の実行ができるので、ミスがなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の生産管理システムによる処理予定作成
法を説明したフローチャートである。

【図２】優先度または重要度の高い進捗制御ロットの処
理予定作成方法を示した図である。

【図３】装置ごとにまとめた装置処理予定テーブルの例
を示した図である。

【図４】優先度と重要度の低い非進捗制御ロットの仮処
理予定作成法を示した図である。

【図５】重要処理予定と仮処理予定の合成方法を示した
図である。

【図６】ＬＳＩの製造手順の概略を説明した図である。

【図７】工程表の例を示した図である。

【図８】従来のＬＳＩの生産手順の概要を示した図であ
る。

【図９】ＡＳＩＣ生産ラインにおける進捗制御ロットと
非進捗制御ロットの分類例を示した図である。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 製造条件、製造の順序等を示す工程表
   と、各製造装置の稼動予定表から、製造ロットごと、前
   記製造装置ごとの処理予定を作成するスケジューラを有
   し、前記製造装置からの処理データに、前記スケジュー
   ラが作成した処理予定の一部または全部の情報をデータ
   の見出しとして用いたキー情報を付加してデータベース
   へ格納する生産管理システムにおいて、 上記スケジューラは、工程表に記述されている資源の稼
   動予定に基づいて納期管理を行う優先度または重要度の
   高いロットの重要処理予定を作成する手段と、 前記各製造装置に溜っている未処理の滞留ロット数と前
   記工程表から、待ち時間を算出して処理予定時刻を予測
   する手段と、 この予測時刻から重要度と優先度ともに低いロットの仮
   処理予定を作成する手段と、 上記重要処理予定と仮処理予定を合成してライン全体の
   処理予定を作成する手段とを具えたことを特徴とする生
   産管理システム。
2. 【請求項２】 製造条件、製造の順序等を示す工程表
   と、各製造装置の稼動予定表から、製造ロットごと、前
   記製造装置ごとの処理予定をスケジューラにより作成
   し、前記製造装置からの処理データに、前記スケジュー
   ラが作成した処理予定の一部または全部の情報をデータ
   の見出しとして用いたキー情報を付加してデータベース
   へ格納する生産管理方法において、 上記スケジューラは、工程表に記述されている資源の稼
   動予定に基づいて納期管理を行う優先度または重要度の
   高いロットの重要処理予定を作成するステップと、 前記各製造装置に溜っている未処理の滞留ロット数と前
   記工程表から、待ち時間を算出して処理予定時刻を予測
   するステップと、 この予測時刻から重要度と優先度ともに低いロットの仮
   処理予定を作成するステップと、 上記重要処理予定と仮処理予定を合成してライン全体の
   処理予定を作成するステップとを実行することを特徴と
   する生産管理方法。