JP2003050612A

JP2003050612A - 生産管理方法及び装置

Info

Publication number: JP2003050612A
Application number: JP2001238718A
Authority: JP
Inventors: Kenji Nakamura; 謙二中村
Original assignee: Kawasaki Microelectronics Inc
Current assignee: Kawasaki Microelectronics Inc
Priority date: 2001-08-07
Filing date: 2001-08-07
Publication date: 2003-02-21
Anticipated expiration: 2021-08-07
Also published as: JP4768935B2

Abstract

(57)【要約】【課題】複数のロットそれぞれについて複数の工程から
なる一連の処理を行う生産ラインにおける、複数の工程
を実施する設備におけるロット処理順序を決定する生産
管理方法および装置に関し、納期を遅らせることなく、
納期余裕のあるロットについても必要以上の滞留を抑制
し、ＴＡＴのバラツキを低減する。【解決手段】複数種の工程を実施する設備を含む複数の
設備を有する生産ラインに、複数のロットを投入し、仕
上がりに至る処理を行うに当たって、上記複数のロット
の中の、上記生産ラインの中の特定の設備を使用する工
程に至った少なくとも２つのロットの処理順序を、それ
ぞれのロットの、納期と現時点における仕上がり予定時
との差であるｓｌａｃｋと、投入時における仕上がり予
定時と現時点における仕上がり予定時との差であるｓｌ
ａｃｋ２との両方を考慮して決定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数のロットそれ
ぞれについて複数の工程からなる一連の処理を行う生産
ラインにおける、複数のロットの処理順序を決定する生
産管理方法および装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】複数種の工程を実施する設備を含む複数
の設備を有する生産ラインに、ロット単位で素材を投入
し、一連の工程の流れ（工程フロー）に従って様々な処
理を行うことによる製品の生産が、様々な産業において
利用されている。例えば、半導体工場では、複数枚（例
えば２５枚）のロット単位で半導体基板（ウエハ）を生
産ラインに投入し、複数の設備のうちのいずれかの設備
を使用する工程での処理を繰り返すことにより、半導体
基板上に半導体集積回路に必要な構造を順次に作り込ん
でいく製造プロセスが採用されている。

【０００３】この半導体集積回路生産においては、様々
な処理工程にある複数のロットが生産ライン中に存在す
ることが一般的である。また、複数の工程で同じ設備が
使用されることもあり、これらのことから、一つの設備
で複数のロットが処理を待たされ滞留してしまう場合が
ある。

【０００４】このような場合、従来では、滞留したロッ
トをその一つの設備で処理する優先順位を決定する際の
指標として、そのロットに対して要求されている納期
と、その時点で予想されるそのロットの仕上がり予定時
との差（時間的な納期余裕）が用いられている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
指標は納期だけを意識した指標であるため、ＴＡＴ（Ｔ
ｕｒｎ−Ａｒｏｕｎｄ−Ｔｉｍｅ；あるロットが生産ラ
インに投入されてから仕上がり工程を通過するまでの時
間）のばらつきについては一切考慮されず、安定したＴ
ＡＴを実現することは問題にされていない。加えて、こ
のような指標では、納期に対して余裕がある仕掛かり中
のロットは必要以上に滞留されやすく、ロットの偏在が
発生しやすい。ロットの偏在が発生すると、投入時点で
保たれていた各設備間の負荷バランスが崩れ、生産ライ
ン全体としての操業度が低下してしまう恐れがある。さ
らに、納期に余裕があるからといって特定のロットを必
要以上に長時間放置すると、半導体基板表面へ有機物が
付着するなど表面状態が悪化してしまう恐れがあり、品
質の面でも好ましくない。

【０００６】本発明は、上記事情に鑑み、納期を遅らせ
ることなく、納期余裕のあるロットについても必要以上
の滞留を抑制し、ＴＡＴのバラツキを低減することがで
きる生産管理方法および装置を提供することを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明のうちの生産管理方法は、複数種の工程を実施する設
備を含む複数の設備を有する生産ラインに、複数のロッ
トを投入し、仕上がりに至る処理を行うに当たって、上
記複数のロットの中の、上記生産ラインの中の特定の設
備を使用する工程に至った少なくとも２つのロットの処
理順序を、それぞれのロットの、納期と現時点における
仕上がり予定時との差であるｓｌａｃｋと、投入時にお
ける仕上がり予定時と現時点における仕上がり予定時と
の差であるｓｌａｃｋ２との両方を考慮して決定するこ
とを特徴とする。

【０００８】本発明のうちの生産管理方法によれば、上
記ｓｌａｃｋの他に、投入時における仕上がり予定時と
この方法によって処理順序を決定する時点における仕上
がり予定時との差であるｓｌａｃｋ２も指標として用い
るため、納期余裕のあるロットについても必要以上の滞
留を抑制することができる。また、ここでｓｌａｃｋ，
ｓｌａｃｋ２は、差の絶対値ではなく、正負の概念を有
する値として考慮される。ＴＡＴのバラツキを低減する
ことができる。

【０００９】また、本発明のうちの生産管理方法におい
て、上記少なくとも２つのロットの処理順序を、上記ｓ
ｌａｃｋが閾値を越えるロットについては、上記ｓｌａ
ｃｋ２が小さい順に優先して決定する態様であることが
好ましい。

【００１０】さらに、本発明のうちの生産管理方法にお
いて、上記少なくとも２つのロットの処理順序を、ま
ず、上記ｓｌａｃｋが閾値以下であるロットについてそ
のｓｌａｃｋが小さい順に、次に、上記ｓｌａｃｋが閾
値を越えるロットについて上記ｓｌａｃｋ２が小さい順
に優先して決定する態様であることが好ましい。

【００１１】また、本発明のうちの生産管理方法におい
て、上記少なくとも２つのロットの処理順序を、上記ｓ
ｌａｃｋとｓｌａｃｋ２との小さい方が小さい順に優先
して決定することも好ましい態様の一つである。

【００１２】上記目的を達成する本発明のうちの生産管
理装置は、複数種の工程を実施する設備を含む複数の設
備を有する生産ラインにおける、複数のロットの投入か
ら仕上がりに至るまでの処理を管理する生産管理装置で
あって、上記複数のロットの中の、上記生産ラインの中
の特定の設備を使用する工程に至った少なくとも２つの
ロットの処理順序を、それぞれのロットの、納期と現時
点における仕上がり予定時との差であるｓｌａｃｋと、
投入時における仕上がり予定時と現時点における仕上が
り予定時との差であるｓｌａｃｋ２との両方を考慮して
決定する処理順序決定部を有することを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】まず、本発明のうちの生産管理装
置に関する一実施形態について説明する。

【００１４】本実施形態の生産管理装置は、半導体基板
上に半導体集積回路として必要な構造を順次に作り込ん
でいく一連のウェハ処理工程における複数のロットの処
理順序を決定する際に用いられるものである。

【００１５】図１は、一連のウェハ処理工程のプロセス
の開始から終了までの流れを示す工程フロー図である。

【００１６】この一連のウェハ処理工程は、公知のもの
であるため各工程についての説明は省略するが、酸化か
ら不純物拡散までの各工程およびメタル工程が繰り返し
行われる。酸化から不純物拡散までをフロント工程と称
し、その後に行われるアルミ電極形成をメタル工程と称
する。このウェハ処理工程においては、炉や露光機やエ
ッチャ等の設備が、複数の工程で使用される。

【００１７】続いて、本実施形態の生産管理装置の特徴
的な機能について、図２を用いて説明する。

【００１８】本発明の生産管理装置３０は、例えば、生
産ライン全体を管理する生産管理システム１０の一部と
して実現される。すなわち、生産管理システムを構成す
るホストコンピュータのハードディスクに、他のさまざ
まな機能を実現するためのプログラムとともに、本発明
の生産管理装置の機能を実現するためのプログラムが記
憶される。そして、そのプログラムがメインメモリに読
み込まれることによって、ホストコンピュータのＣＰＵ
が、本発明の生産管理システムとしての機能を発揮す
る。

【００１９】本発明の生産管理装置３０は、図２に示さ
れるように、機能的に、入力部３１，処理順序決定部３
２および出力部３３に分けられる。入力部３１は、生産
管理システムが管理する複数のロットに関するデータを
記憶するロット管理データベース１１から、それぞれの
ロットの投入日、標準的なＴＡＴ、納期、現在位置（現
時点における次の処理工程）、等のデータを取得する。

【００２０】処理順序決定部３２は、入力部３１が取得
したデータを利用して後述するｓｌａｃｋとｓｌａｃｋ
２といった値を算出し、これらの値を指標に対象となる
仕掛かり中の複数のロットの処理順序を決定するもので
ある。

【００２１】出力部３３は、処理順序決定部３２によっ
て決定された処理順序を生産管理システムの処理順登録
部１２に出力する。そして、処理順登録部が、それぞれ
の設備の処理順の登録を行い、それぞれの設備が、登録
された処理順に従ってロットの処理を行う。

【００２２】続いて、この生産管理システム１０を用い
て実施する生産ラインの管理、特に、生産管理装置３０
を用いて行う、図１に示す一連のウェハ処理工程におけ
るロットの処理順序の決定作業について図３を用いて説
明する。必要に応じて図４も参照する。

【００２３】図３は、あるロットの営業オーダが伝えら
れてから、そのロットの、図１に示す一連のウェハ処理
工程における処理が終了するまでの生産管理処理ルーチ
ンを示すフローチャートである。図４は、本実施形態の
生産管理装置３０が備えている処理順序決定部において
算出されるｓｌａｃｋとｓｌａｃｋ２それぞれの概念を
説明するための図である。

【００２４】まず、受注内容に基づく営業オーダが伝え
られると、担当者がその営業オーダの内容から、今回の
営業オーダを受けても、生産ラインの処理能力内に収ま
るか否かを判定し（図３のステップＳ１）、収まらない
場合は、その営業の納期もしくはすでに投入済のほかの
ロットの納期の調整等を行う。一方、生産ラインの処理
能力内に収まる場合は、その生産ラインへその営業オー
ダに基づくロットを投入することを生産管理システムに
対して指示する（図３のステップＳ２）。このとき、そ
のロットの投入日や納期等のデータが生産管理システム
に入力され、生産管理システム内で算出される標準ＴＡ
Ｔ等とともに、ロット管理データベース１１に記憶され
る。続いて、生産管理システムが投入工程に対して行う
指示に基づいて、ロットを生産ラインに投入する（図３
のステップＳ３）。

【００２５】ここで、図２に示す入力部３１が、図４に
示す、投入日（Ｄｉ）、過去の実績から予想されるその
ロットの標準的なＴＡＴ（Ｔｓ）、およびそのロットの
納期（Ｄｄ）を取得する。図４に示すグラフの横軸は時
間（日付け）を表す。また、図４に示すグラフの縦軸
は、図１に示す一連のウェハ処理工程の流れを示し、下
に向かうにつれて最終（仕上り）工程に近づき、最下端
は仕上り工程による処理が終了したことを表す。処理順
序決定部３２は、投入日（Ｄｉ）と標準的なＴＡＴ（Ｔ
ｓ）から図４に示す、投入時点での仕上がり予定日（Ｄ
ｓ）を以下の式（１）に基づいて求める。Ｄｓ＝Ｄｉ＋Ｔｓ（１）そして、処理順序決定部３２は、図３のステップＳ４に
おいてｓｌａｃｋ値とｓｌａｃｋ２値との双方を算出す
る。このステップＳ４では、まず、入力部３１が、その
ロットがウェハ処理工程の中のどの工程に現在あるかを
示す現在位置Ｘ（図４参照）を取得する。そして、その
現在位置Ｘから、図４に示すような標準進捗線（投入時
点の位置（Ｓｔ）と投入時点での仕上がり予定日（Ｄ
ｓ）とを結ぶ線と同じ傾きの線）を引くようにして、図
４に示す、現時点における仕上がり予定日（Ｄｘ）を算
出する。そして、以下の式（２）からｓｌａｃｋを求め
るとともに、式（３）からｓｌａｃｋ２を求める。ｓｌａｃｋ＝Ｄｄ−Ｄｘ（２）ｓｌａｃｋ２＝Ｄｓ−Ｄｘ（３）式（２）によって算出されるｓｌａｃｋは、納期（Ｄ
ｄ）と現時点における仕上がり予定日（Ｄｘ）との時間
的な差であり、現時点における仕上がり予定が、納期に
対してどれくらい時間的な余裕があるかを表すものであ
る。すなわち、現時点における仕上がり予定は、ｓｌａ
ｃｋがマイナスの値であると納期に対して遅れており、
プラスの値であると納期に対して余裕があることにな
る。図４に示すグラフにおいては、現時点における仕上
がり予定は納期に対して余裕がある。また、式（３）に
よって算出されるｓｌａｃｋ２は、投入時点における仕
上がり予定日（Ｄｓ）と現時点における仕上がり予定日
（Ｄｘ）との時間的な差であり、現時点における仕上が
り予定が、投入時点における仕上がり予定に対してどれ
くらい時間的な余裕があるかを表すものである。すなわ
ち、現時点における仕上がり予定は、ｓｌａｃｋ２がマ
イナスの値であると投入時点における仕上がり予定に対
して遅れており、プラスの値であると投入時点における
仕上がり予定に対して余裕があることになる。図４に示
すグラフにおいては、現時点における仕上がり予定は投
入時点における仕上がり予定に対して遅れている。

【００２６】図１に示す一連のウエハ処理工程の中で、
ロットの滞留が発生しがちの工程のそれぞれについて、
その処理工程に至った複数のロットのｓｌａｃｋ，ｓｌ
ａｃｋ２を算出する。そして、処理順序決定部３２は、
ｓｌａｃｋ，ｓｌａｃｋ２の両方考慮して、こららの複
数のロットを処理する優先順位を決定する（図３のステ
ップＳ５）。この優先順位の決定の仕方については様々
な態様があるが、本発明のうちの生産管理方法の実施形
態が適用されているいくつかの例を、図５を用いて説明
する。

【００２７】図５は、ある工程において優先順位決定の
複数の仕方それぞれによって優先順位が決定された例を
示す図である。

【００２８】図５には、（ａ）と（ｂ）の２つの図が示
されおり、各図とも、上方の図には、ｓｌａｃｋとｓｌ
ａｃｋ２を指標に優先順位が決定された例が示されてい
る。これらの上方の図では、横１列ずつ１ロットが示さ
れており、左から優先順位、ロットナンバ、ｓｌａｃｋ
の値、ｓｌａｃｋ２の値、レシピＩＤが表されている。
ここで、各工程には様々な処理条件があり、レシピＩＤ
とは、優先順位を決定する工程における各処理条件ごと
に付されたコードである。また、各図とも、下方の図に
は、上方の図に示された優先順位を同一のレシピＩＤで
まとめ直した優先順位が示されている。

【００２９】図５（ａ）の上方の図には、ｓｌａｃｋの
値に「０」という閾値を設け、ｓｌａｃｋの値が０より
大きいロットよりもｓｌａｃｋの値が０以下のロットを
優先して処理順位が決定された例が示されている。この
例では、ｓｌａｃｋの値が０以下のロットについては、
ｓｌａｃｋの値が小さい順に優先順位が決定され、ｓｌ
ａｃｋの値が０より大きいロットについては、ｓｌａｃ
ｋ２の値が小さい順に優先順位が決定されている。すな
わち、優先順位が１位から４位までのロットは、ｓｌａ
ｃｋの値が０以下の（現時点における仕上がり予定が製
品納期に対して余裕が無い）ロットであり、これら４つ
のロット（ロットナンバＡ０６，Ａ０７，Ａ０４，Ａ０
５）はｓｌａｃｋの値が小さい順に優先順位が決定され
ている。また、優先順位が５位以下の８つのロットそれ
ぞれは、ｓｌａｃｋの値が０より大きい（現時点におけ
る仕上がり予定が製品納期に対して余裕がある）ロット
であり、これら８つのロット（ロットナンバＡ０８，Ａ
０９，Ａ１２，Ａ０１，Ａ１１，Ａ１０，Ａ０３，Ａ０
２）はｓｌａｃｋ２の値が小さい順に優先順位が決定さ
れている。ここで、ｓｌａｃｋの値が０より大きいロッ
トの中で、ロットナンバＡ１１，Ａ１０，Ａ０３の３つ
のロットのようにｓｌａｃｋ２の値が同じものは、ｓｌ
ａｃｋの値の小さい方が優先されている。なお、ｓｌａ
ｃｋの値が０以下のロットにおいてはｓｌａｃｋの値が
同じものは、ｓｌａｃｋ２の値の小さい方が優先され
る。このようにｓｌａｃｋの値に所定の閾値を設け、そ
の閾値以下のロットはｓｌａｃｋを指標に優先順位を決
定することで納期を優先することができる。またその閾
値を越えるロットはｓｌａｃｋ２を指標に優先順位を決
定することで滞留時間を短くすることができる。なお、
ｓｌａｃｋの値の閾値は、各工程ごとに、最も適した値
を採用することが好ましい。例えば、拡散炉等による処
理時間の長い工程では、処理機会を一度逃すと長時間の
処理待ちになりやすく、その結果、納期遅れも長くなり
やすいため、閾値を大きめにして納期を優先する。一
方、処理時間の短い（回転の速い）工程や制限時間のあ
る工程では、閾値を小さめにして、なるべく滞留時間を
短くする。

【００３０】また、図５（ａ）の下方の図には、図５
（ａ）の上方の図に示された優先順位で上位のロットの
レシピＩＤと同じレシピＩＤの下位のロットの順位を、
その上位のロットの次に移動させた例が示されている。
すなわち、図５（ａ）の上方の図に示された優先順位第
１位のロットナンバＡ０６のロットのレシピＩＤ「Ｒ
４」と同じレシピＩＤのロットは、図５（ａ）の上方の
図に示された優先順位第７位のロットナンバＡ１２のロ
ットであり、図５（ａ）の下方の図に示す例では、ロッ
トナンバＡ０６のロットの次（優先順位第２位）にロッ
トナンバＡ１２のロットを繰り上げている。そして、こ
れら二つのロットを同時に処理することによりバッチ充
填率を上げて生産性を高めている。また、この例では、
図５（ａ）の上方の図に示された優先順位第２位と第３
位のロット（ロットナンバＡ０７，Ａ０４）のレシピＩ
Ｄが「Ｒ１」で同じためその順序はそのままとされてい
る。レシピＩＤが「Ｒ１」のロットはこれらの他にも、
図５（ａ）の上方の図に示された優先順位第８位と第９
位のロット（ロットナンバＡ０１，Ａ１１）の２つがあ
る。しかしながら、各工程で一度に処理できるロット数
は２つまでであり、このため、これら優先順位第８位と
第９位のロット（ロットナンバＡ０１，Ａ１１）の順位
は繰り上げずにこの順序のままにしている。また、同様
な理由から、レシピＩＤが「Ｒ２」のロットのうちの最
下位のロット（ロットナンバＡ０２）や、レシピＩＤが
「Ｒ３」のロットのうちの最下位のロット（ロットナン
バＡ０３）の優先順位も繰り上げられていない。

【００３１】図５（ｂ）の上方の図には、ｓｌａｃｋと
ｓｌａｃｋ２とのうちの小さい方の値を基準値として、
複数のロットの各基準値を比較し、その基準値の小さい
順に優先順位を決定した例が示されている。すなわち、
各ロットの基準値は、ロットナンバＡ０６のロットでは
「−３」、Ａ０８でも「−３」、Ａ０７では「−２」、
Ａ０４でもＡ０９でもともに「−２」、Ａ１２では「−
１」、Ａ０１でも「−１」、Ａ０５では「０」、Ａ１
１、Ａ１０、およびＡ０３ではいずれも「０」、Ａ０２
では「２」である。ここでこの例では、基準値が同じ値
であるときには、まずは、その基準値がｓｌａｃｋの値
かｓｌａｃｋ２の値かを判定し、ｓｌａｃｋの値の基準
値の方を上位にする。次に、ｓｌａｃｋの値を基準値と
したものが同じ値であったり、ｓｌａｃｋ２の値を基準
値としたものが同じ値であったりするときには、基準値
としなかった他方（ｓｌａｃｋの値を基準値としたもの
はｓｌａｃｋ２の値、ｓｌａｃｋ２の値を基準値とした
ものはｓｌａｃｋの値）どうしの値を比較して、小さい
値のロットを優先する。すなわち、ロットナンバＡ０７
のロットと、ロットナンバＡ０４のロットと、ロットナ
ンバＡ０９のロットの３つのロットそれぞれの基準値は
いずれも「−２」であるが、これらのうち、ロットナン
バＡ０７のロットのみがｓｌａｃｋの値を基準値とする
ものであるためロットナンバＡ０７のロットが３つのロ
ットのうちで上位となる。そして、ロットナンバＡ０４
のロットの、基準値としなかった他方（ｓｌａｃｋ２の
値）は「−１」であり、ロットナンバＡ０９のロット
の、基準値としなかった他方（ｓｌａｃｋ２の値）は
「６」であり、このため、ロットナンバＡ０４のロット
が３つのロットのうちで中位となり、ロットナンバＡ０
９のロットが３つのロットのうちで下位となる。

【００３２】また、図５（ｂ）の下方の図には、図５の
（ａ）の下方の図と同様、図５の（ｂ）の上方の図に示
された優先順位で上位のロットのレシピＩＤと同じレシ
ピＩＤの下位のロットの順位を、その上位のロットの次
に移動させた例が示されている。

【００３３】そして、このようにして決定した優先順位
が処理順登録部に出力され、処理順序決定対象の設備の
処理順序の登録が行われる（図３のステップＳ６）。こ
の図３に示す例では、ロットが投入されてから仕上り工
程における処理が終了するまで、１日１回、ステップＳ
４からステップＳ６までの処理が実行される。図１に示
す一連のウェハ処理工程における処理が終了すると、こ
の図３に示す生産管理処理ルーチンを終了する。

【００３４】以上のような生産管理処理ルーチンを実行
することで、ロットを決まった納期までに生産すること
ができる。また、ロットが滞留しがちな、処理能力以上
の処理を要求されることがあるいわゆる高負荷工程や、
メンテナンスを頻繁に行う必要のある装置や、メンテナ
ンスに長時間を要する装置によって処理する工程など
で、納期に対する余裕があるロットが必要以上に滞留す
ることを防ぎ、生産ラインの負荷バランスをロットの投
入時に近いかたちに保つことができる。さらに、ＴＡＴ
のバラツキを低減することもできる。

【００３５】ここで、過去の実績から予想される平均的
なＴＡＴに対する、ｓｌａｃｋの値のみを指標にした優
先順位の決定の仕方を用いたときのＴＡＴのばらつき
と、本発明のうちの生産管理方法の一実施形態である、
ｓｌａｃｋとｓｌａｃｋ２との双方の値を指標にした優
先順位の決定の仕方を用いたときのＴＡＴのばらつきと
を比較してみる。ここでのｓｌａｃｋとｓｌａｃｋ２と
の双方の値を指標にした優先順位の決定の仕方は、図５
（ｂ）の上方の図を用いて説明した、基準値を用いた優
先順位の決定の仕方である。

【００３６】まず、過去の実績から算出される、図１に
示すフロント工程の平均的なＴＡＴは２３．１０日であ
る。そして、ＴＡＴのばらつきを標準偏差を用いて表す
と、ｓｌａｃｋの値のみを指標にした優先順位の決定の
仕方を用いたときには２．６４日であるのに対して、ｓ
ｌａｃｋとｓｌａｃｋ２との双方の値を指標にした優先
順位の決定の仕方を用いたときには２．３１日である。
また、ＴＡＴのばらつきを３シグマを用いて表すと、ｓ
ｌａｃｋの値のみを指標にした優先順位の決定の仕方を
用いたときには７．９２日であるのに対して、ｓｌａｃ
ｋとｓｌａｃｋ２との双方の値を指標にした優先順位の
決定の仕方を用いたときには６．９３日であり、本発明
の実施形態の方が０．９９日の改善が見られる。

【００３７】次に、過去の実績から算出される、図１に
示すメタル工程の平均的なＴＡＴは１５．００日であ
る。そして、ＴＡＴのばらつきを標準偏差を用いて表す
と、ｓｌａｃｋの値のみを指標にした優先順位の決定の
仕方を用いたときには３．８４日であるのに対して、ｓ
ｌａｃｋとｓｌａｃｋ２との双方の値を指標にした優先
順位の決定の仕方を用いたときには３．４２日である。
また、ＴＡＴのばらつきを３シグマを用いて表すと、ｓ
ｌａｃｋの値のみを指標にした優先順位の決定の仕方を
用いたときには１１．５２日であるのに対して、ｓｌａ
ｃｋとｓｌａｃｋ２との双方の値を指標にした優先順位
の決定の仕方を用いたときには１０．２６日であり、本
発明の実施形態の方が１．２６日の改善が見られる。

【００３８】そして、ＴＡＴのばらつきを３シグマを用
いて表した結果に着目すると、図１に示すフロント工程
のばらつき（最大値−最小値）は１．９８日短縮され、
図１に示すメタル工程のばらつき（最大値−最小値）は
２．５２日短縮される。したがって、図１に示す一連の
ウェハ処理工程全体では、ＴＡＴのばらつきの幅は４．
５日も小さくなる。

【００３９】上記の例では日単位でｓｌａｃｋ、ｓｌａ
ｃｋ２を算出した。しかし、管理対象のラインの種類に
よっては他の算出単位を選択してもよい。

【００４０】本発明の生産管理方法は、一つの工程フロ
ーで生産される単一の品種の製品を生産する生産ライン
において適用することも可能である。しかし、ｓｌａｃ
ｋ、ｓｌａｃｋ２という、異なる工程フローで生産する
製品においても共通に算出できる指標を用いるため、様
々な工程フローで製造する様々な品種の製品を生産する
ラインにおいて好適に適用できる。

【００４１】本発明の生産管理方法によるロット処理順
序の決定は、他の方法と組み合わせて利用することも可
能である。例えば、納期の達成が困難なロットは特急ロ
ットに指定し、本発明のｓｌａｃｋ、ｓｌａｃｋ２を利
用した優先順位決定よりもさらに優先して、処理を行う
ことが可能である。

【００４２】ロットを構成する半導体基板の枚数が、例
えば２５枚の一定枚数である場合に限られず、変動を許
す生産ラインにおいても本発明の生産管理方法は適用可
能である。最近の半導体基板の大型化によって、２５枚
よりも少ない枚数でロットを構成することも増えてい
る。極端な場合には、１枚の半導体基板のみでロットを
構成することを許す生産ラインも提案されている。この
ような場合でも本発明の生産管理方法は適用可能であ
る。

【００４３】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明の生産管
理方法および装置によれば、納期を遅らせることなく、
納期余裕のあるロットについても必要以上の滞留を抑制
し、ＴＡＴのバラツキを低減することができる。滞留を
抑制することにより、生産ラインの能力を有効に利用
し、生産能力を高めることができる。また、ＴＡＴのバ
ラツキを低減することにより、図３のステップＳ１にお
ける能力判定の確度を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一連のウェハ処理工程のプロセスの開始から終
了までの流れを示す工程フロー図である。

【図２】本発明の生産管理装置の機能ブロック図であ
る。

【図３】あるロットの営業オーダが伝えられてから、そ
のロットの、図１に示す一連のウェハ処理工程における
処理が終了するまでの生産管理処理ルーチンを示すフロ
ーチャートである。

【図４】本実施形態の生産管理装置が備えている処理順
序決定部において算出されるｓｌａｃｋとｓｌａｃｋ２
それぞれの概念を説明するための図である。

【図５】ある工程において優先順位決定の複数の仕方そ
れぞれによって優先順位が決定された例を示す図であ
る。

【符号の説明】

１０生産管理システム１１ロッド管理データベース１２処理順登録部３０生産管理装置３１入力部３２処理順序決定部３３出力部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数種の工程を実施する設備を含む複数
の設備を有する生産ラインに、複数のロットを投入し、
仕上がりに至る処理を行うに当たって、前記複数のロットの中の、前記生産ラインの中の特定の
設備を使用する工程に至った少なくとも２つのロットの
処理順序を、それぞれのロットの、納期と現時点におけ
る仕上がり予定時との差であるｓｌａｃｋと、投入時に
おける仕上がり予定時と現時点における仕上がり予定時
との差であるｓｌａｃｋ２との両方を考慮して決定する
ことを特徴とする生産管理方法。
【請求項２】前記少なくとも２つのロットの処理順序
を、前記ｓｌａｃｋが閾値を越えるロットについては、
前記ｓｌａｃｋ２が小さい順に優先して決定することを
特徴とする請求項１に記載の生産管理方法。
【請求項３】前記少なくとも２つのロットの処理順序
を、まず、前記ｓｌａｃｋが閾値以下であるロットにつ
いて該ｓｌａｃｋが小さい順に、次に、前記ｓｌａｃｋ
が閾値を越えるロットについて前記ｓｌａｃｋ２が小さ
い順に優先して決定することを特徴とする請求項１に記
載の生産管理方法。
【請求項４】前記少なくとも２つのロットの処理順序
を、前記ｓｌａｃｋとｓｌａｃｋ２との小さい方が小さ
い順に優先して決定することを特徴とする請求項１に記
載の生産管理方法。
【請求項５】複数種の工程を実施する設備を含む複数
の設備を有する生産ラインにおける、複数のロットの投
入から仕上がりに至るまでの処理を管理する生産管理装
置であって、前記複数のロットの中の、前記生産ラインの中の特定の
設備を使用する工程に至った少なくとも２つのロットの
処理順序を、それぞれのロットの、納期と現時点におけ
る仕上がり予定時との差であるｓｌａｃｋと、投入時に
おける仕上がり予定時と現時点における仕上がり予定時
との差であるｓｌａｃｋ２との両方を考慮して決定する
処理順序決定部を有することを特徴とする生産管理装
置。