JPH02117512A - 多品種搬送方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体等の製造システムに係り、特に、フレ
キシブルな多品種生産ラインに好適な搬送システムを実
現するための、搬送設備構成、処理装置構成及びこれら
のコントロールＩこより、被加工物の流れをコントロー
ルする多品種搬送方法及び装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、半導体製造工場の製造ラインは特開昭５６−１９
６５５号公報等に見られるように、ウェハを処理、搬送
及び保管するための処理装置等を設置している清浄な雰
囲気を必要とする作業エリアと付帯設備やユーティリテ
ィを設置している高い清浄度を必要としない保全エリア
に分離されていた。そのため、これらを効率的に配置す
るため、中央通路の左右に作業エリアと保全エリアを交
互に設けたペイ方式と呼ばれる構造をとっていた。

そして処理装置の配置は、このペイ方式において、１ペ
イ内に同種の処理装置を配置した、いわゆるジョブショ
ップ方式であった。

また、ウェハの搬送は、例えば、特開昭６３−２９９２
５号公報ζ号公報孔るようζこウェハをカセット（キャ
リアと称することもある）に入れ、そのカセットヲカセ
ットケースに収納して行っていた。

そして、ペイ方式では、処理装置間でのウェハの搬送は
、ペイ内搬送とペイ間搬送とをこより成り立ち、その接
続点であるペイの出入口にカセットを収納するストッカ
を設けていた。つまり、ペイ内搬送は、ペイの入口に設
けられたカセットのストッカから処理装置にカセットを
搬送するものであり、ペイ間搬送は各ペイのストッカか
う他のペイのストッカへカセットを搬送するものである
。

そのため、一般に処理装置から処理装置へのウェハの搬
送はペイ内の搬送車→ストッカ→ベイ間の搬送車→スト
ッカ→ペイ内の搬送車というような経路で行わｎていた
。

そして、無軌道の搬送車としては、ＡＧＶ（オートマチ
イック・ガイディト・′ビイークルＡｕｔｏｍａｔｉｃ
　Ｇｕｉｄｅｄ　Ｖｅｈｉｃｌｅ）と呼ばわる搬送車が
あり、数カセツ）ｆ混載して低速で搬送していた。

また、軌道式の搬送車としては例えば、特開昭６２−１
８５３５６号公報に見られるように、カセットを数個載
せて搬送するものがあった。

そして、ウェハの処理装置への投入は、特開昭６２−４
８０３８号公報に開示されているように自走式ロボット
が１個のカセットをハンドリングして行っていた。つま
り、ウェハを処理Ｔるときは自走式ロボットがストッカ
からカセットを取り出し、処理装置の前まで自走し処理
装置のローダ部にカセットをセットしてウェハを投入し
ていた。またカセットに収納していたウェハが全て処理
を終了した場合は、自走式ロボットが処理装置の前まで
自走し、アンローダ部からカセットを取り出し、ストッ
カまで自走して、ストッカにカセットを保管していた。

また、クリーン化に関しては、一般には付帯設備やユー
ティリティ関係を設置している保全エリアと処理装置の
設置している作業エリアを中央通路の左右にそれぞれ交
互に設けている。さらには、処理装置ｉｔを自由をこレ
イアウトできるように、付帯設備とユーティリティを１
階に、処理装置を２階に設置した例もある。また、もう
一つの動向としては特開昭６０−１４５６２５号公報に
開示されているような部分的なりリーンルーム化をはか
った方式が提案されている。これは、クリーンエリアを
最小におさえるため、処理装置ｔこウェハを投入する時
は、予め処理装置に設けられたインターフェースにカセ
ットの入ったボックスをセットすることにより行わｎる
にのようにすることによりウェハは雰囲気を外と遮断し
てクリーンな状態で受け渡される。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、従来の生産方式では次のような多くの課題が
あった。

まず、半導体プロセスは工程数が多く同じ工程の繰り返
しが多いため、従来のようなペイ方式ではペイ間の搬送
経路が複雑になり、搬送をこ時間を費やすことになる。

また、前の工程の装置や後の工程の装置が状態が分から
ないため、装置間の同期が取りにくくなる。そのため、
各ペイで仕掛り量が増え、その結果として１完が長くな
る。また仮に製造ラインをフローショップ方式にしたと
しても、品種ごとに工程フローが異なるため、多品種生
産には対応できない。その上、半導体プロセスは工程の
変更が多く、品種も頻繁に切り換わるため、レイアウト
を頻繁に変更しなければならないことが考えられる。

また、処理装置に対するウェハの投入は、１ベイ内に配
置している処理装置１１１こ対して同一の自走式ロボッ
トでウェハを投入しなければならない。

ところが現状の半導体製造装置は、カセットを装填する
位置の高さ、奥行及びカセットの向きが処理装置ごとに
異なるため、１ベイ内には、そのペイ内を走行している
自走式ロボットがカセットヲ装填できる処理装置しか設
置できず、処理装置の選定、レイアウトに大きな制約を
受ける。また、新規に処理装置を導入した場合、自走式
ロボットの制約上利用できなくなる可能性がある。

また、処理装置とカセットを保管するストッカが位置的
に離れるため、処理装置にカセットを投入するのにある
程度、時間を要する。また自走式ロボットが、数台の処
理装置に付き１台しかないため同時に複数の処理位置に
カセットを投入できない。よって、これらの要因により
処理装置の稼働率が低く抑えられる。

また、クリーン化に関しては、ペイ方式などのフロア全
体を高い清浄に保つ方式では、クリーン化しなければな
らない空間が広いので高い清浄度を維持するには、巨額
の投資を必要とし、運用コストも非常に高いものになる
。その上、ウェハと作業者が雰囲気的に分離されていな
いので、クリーンルーム内を高い清浄度に保つことは非
常に困難である。

一方、インタフェースにカセットボックスをセットする
方式ではウェハはカセット内（こ収められ密閉されてい
るので、１枚ずつの喉り扱いが困難である。その上ウェ
ハを取り巻く雰囲気は静止しているため、−度塵埃が発
生ずると取り除かわず、そのままウェハに付着する可能
性がある。

また、半導体は、ＡＳ工Ｃに代表されるように、多品種
の製品がそれぞれ少量求められている。また、将来的に
もこの多品種少量生産の傾向は強まることが考えられる
。そのため、ロットサイズが小さくなり２５枚入りのカ
セットに十数枚しかウェハを収納しな（なることが考え
られる。また、品種によってもロットサイズが異なって
きている。

そのため、従来と比較して同じ生産ｉｋ番こもかかわら
ず、搬送しなければならないカセットの数が増え、従来
より高い搬送能力が必要となる。

さらには、半導体ウェハは、従来より、ウェハ径が４イ
ンチから５インチ、さらには、６インチと大口径化の一
途をたどっている。また将来的には８インチへと移行す
る傾向にある。そのため、ウェハをカセット単位で搬送
するこ七が困難になることが考えられる。

また、処理装置については、ウエノＳ８１枚ずつ処理す
る枚葉処理が主流と成ってきている。

このように、多品種少量生産とウェハの大口径化及び、
枚葉処理装置化の傾向が増々はげしくなることが予測さ
れ、このような状況の下ではウェハを２５枚程度まとめ
てカセット単位で管理することは、多品種少量生産にお
ける最適ロットサイズ、カセットの重量化の点から見て
も非常に困難になる０ 〔課題を解決するための手段〕 そこで、上記の問題点を全て解決するため、次のような
形で生産を行う。

まず半導体プロセスの中で続けて処理することの多い工
程（例えばレジスト塗布→露光→現像。

洗浄→拡散）の処理装置を対象に処理装置間にウェハを
第１の処理装置から第２の処理装置へ移載する装置（例
えば、移載ロボット）を設置し、処理装置の一貫化を図
り（以下、このようにつないだ装置も一貫処理装置と称
する）、フローショップ化する。そし、てこの一貫処理
装置を半導体製造プロセスの大きな流れに沿って（例え
ば、成膜→ホト→エッチ→成膜→・・・）トラック状の
搬送路の回りに配置する。また、ラインバランス上、同
種の一貫処理装置が複数台必要な場合には、処理装置の
運用を効率的に行うため、同種の−貫処理装置を１カ所
に集めて配置する。そして、各−頁処理装置に、ウェハ
を保管する機能と搬送車と処理装置との間でウェハを受
け渡す機能を有する装置を備える。つまり、各−頁処理
装置に、そのウェハ装填方法に対応した移載ロボットと
搬送車の搬送してきたウェハ１枚ずつ管理、保管する保
管棚を設けた装置を設ける。

そして、一貫処理装置間で搬送するものをウェハのみに
限定する。つまり、ウェハをカセットに入れ、それをカ
セットケースに収納して搬送するのではなく、搬送車の
一部にカセットと同様なウェハを保持する機構を取り付
け、ウェハのみを搬送する。そして棚ごとにウェハの有
無を確認するセンサを設け、各欄ごとに品種、加工履歴
を記憶する。また、搬送車はすべての一貫処理装置を巡
回して、一貫処理装置の前に到着すると処理を終了した
ウェハを載せ、さらに、その処理装置で処理するウェハ
を下す。

また、ウェハの管理は１枚ずつとする。そのため、ウェ
ハに１枚ずつ品種及び品種別の通し番号から成るウェハ
ナンバーを記載し、そのウェハナンバーで管理する。そ
して、ウェハの加工履歴は、コンピュータが管理し、全
体の進行制御に利用する。また、自動化に際しては、処
理装置が誤ってウェハを処理していないか、ウェハの欠
損がないかを確認するため処理後にウェハのウェハナン
バーを識別Ｔる。

そして、クリーン化のため搬送中はウェハを収納した状
態で完全に密閉する。また、搬送車からウェハを処理装
置に投入するときはその雰囲気のみを高い清浄度をこ保
つため周囲と雰囲気を仕切り、移載ロボットと保管棚と
処理装置の一部のみをクリーン化する。そのクリーン化
のために、上面（こＨＥＰＡフィルタ等の除塵フィルタ
お送風用のファンを設け、床面ばグレーチング構造とし
、垂直な層流状態番こする。

〔作用〕

ラインの構造として、品種、工程順序が同類のものをま
とめてグループ化し、処理設備の前に、ウェハ１枚づつ
品種グループ・工程ごとに、処理装置へ投入すべきウェ
ハまたは、処理装置から処理されて出てきたウェハを保
管する保管棚を設け、処理装置間をウェハを載せ搬送す
る搬送設備でつなぐことにより、保管棚からどの品種の
どの工程のウェハを処理装置に投入するか、また、処理
されたウェハのどのウェハを搬送するかにより、ウェハ
の流ｎをコントロールできる作用がある。これにより各
処理装置間で、流れの順序がコントロールでき、計画に
基づいたウェハの順序・量を保つようＥこ、その度、任
意のウェハを搬送させることで、あたかも品種ごとの専
用ラインであるかのように、ウェハを流すことができる
。

ウェハ自体に対して、ウェハを処理する前に、ウェハの
品種と品種別の通し番号であるウェハナンバーを付ける
ことで、ウェハ１枚ごとの管理が行え、また、識別装置
でウェハを識別することによりどのウェハかをウェハ自
体で確認することができる。これにより、投入したウェ
ハがどの工程まで進んでいるかをウェハ１枚単位で正確
に知ることができる。

処理装置においては、常に同じ工程を繰り返す工程経路
ζこ対応したそれぞれの装置を数台連ねることで、投入
すると数工程分処理さｎて出てくるため、管理する工程
が少なくなり、また、処理装置間のトータルの搬送距離
、搬送回数が少なくなるＯ 搬送設備と処理装置間のウェハ受け渡しでは、搬送設備
と処理装置間でウェハ移載する移載ロボットと処理装置
に投入、または、処理されたウェハを搬送車に載せるた
めに一時保管して品種グループ、工程ごとに管理する保
管棚、処理装置で処理されたウェハが、どのウェハなの
力）を識別する識別装置を設け、これらをクリーンボッ
クスで囲んだウェハ授受ユニットにより、搬送車と処理
装置間のウェハの移載をクリーンな状態で行え、ウェハ
１枚ごとの進行を正確に把握することができ、ウェハの
流れを忠実に把握できる作用がある。

クリーン構成では、ウェハ１枚づつ搬送棚に保管して密
閉搬送し、処理、または搬送するために一時保管する場
合はクリーン７ｊ雰囲気を保った状態で保管するクリー
ンボックスに入れることにより、クリーン領域を少なく
することができる。

ウェハの搬送単位は、１枚単位で搬送管理するため１枚
を基準とした管理が容易ｔこ行える。

搬送設備においては、トラック状の軌道を巡回する搬送
車に、所定のステーションにおいてウェハ１枚単位で移
載できるようにし、搬送中も１枚単位で保管することで
、搬送設備を有効に活用できる。

ウェハの流れにおいては、工程順序が同類の品種をグル
ープ化することζこより、制御量を少なくし、保管棚か
ら投入する順序、搬送車でウェハを搬送する順序をコン
トロールし、ウェハの品種グループ間の流れる割合を投
入から搬出まで一定にするようζこウェハを流すことで
、要求順序・量に合ったウェハの生産ができる。

〔実施例〕

実施例目次 （１，構成） （１，１全体構成） （１，２各装置の構成） （１，３コントローラ構成） （１，４データ構成） （２，コントローラの動作） （２，１識別装置のデータ構成） （２，２コントローラの通信手順） （３，生産方式） （３，１投入順序決定方式） （５，２サークルライン方式） ％式％） （４，ウェハの流れと各装置の動作） （５０代替実施例） （５，１〜５゜１９　　代替実施例１〜１９）（１，構
成） （１，１全体構成） 本発明の一実施例を第１図から第４０図により説明する
。

全体構成図を第１図に示し、説明する。

中央部の天井に、トラック状の搬送レール１を設け、そ
の搬送レール１に沿って走行する搬送車２を設置し、こ
の回りζこ、ウェハの数工程の処理を行うように装置を
連ね構成した処理装置６ｏを設け、この処理装置６０の
前に、ウェハを搬送する搬送車２との間でウェハの受け
渡しをクリーンな雰囲気中で行なう、ウェハ授受ユニッ
ト２ｏを設置し、処理装置６０とウェハ授受ユニット２
０ヲ合わせた設備モジュール９０を基本単位としていく
つか構成する。ある処理装置６０でウェハが処理される
と、搬送車２がそのウェハを載せ次工程の処理装置６０
へと搬送し、次々と処理工程を進めていくことで一連の
ウェハの処理が終了する。これらの装置構成に、これか
ら処理すべきウニへの投入、又、一連の処理が終了した
ウェハの搬出を行なう投入・取り出し装置８０を搬送レ
ール１の近傍に設ける。また、ホストコントローラ１１
０は、投入・取り出し装置８０．搬送車２．ウェハ授受
ユニット２０．処理装置６０と通信ケーブル１１７で接
続され、管理、コントロールする。

この構成において、ウェハは最初、投入・取り出し装置
８０から、投入される。すなわち、搬送車２のいずれか
が、投入・取り出し装置８０まで移動し停車する。そし
て、投入・取り出し装置８０から、ウェハが搬送車２に
移載される。この時、所定の処理が終了したウェハがあ
る場合は、搬送車２から投入・取り出し装置８０へ移載
される。

搬送車２にウェハが載せられると、搬送レール１にそっ
て対象工程の所へ搬送車２が移動し、ウェハ授受ユニッ
ト２０で、ウェハを受け取り一時保管する。このとき、
処理が終了し、次工程に搬送するウェハがある場合は、
ウェハ授受ユニット２０から搬送車２１こ移載される。

ウェハ授受ユニット２０は、ウェハを品種グループ（処
理工程が同類の品種同士をグループ化したもの）及び工
程ごとに管理し、どのウェハでも任意に処理装置ｔ６０
に投入することができる機能をもっている。そして、ホ
ストコントローラ１１０の指令に基づき、ウェハ授受ユ
ニット２０で、指定されたウェハを処理装置６０に投入
し、処理が終了するとウェハナンバー（品種９品種ごと
の通し番号）８識別し、再び、次工程へ搬送するため、
−時保管される。そして、搬送車２が来ると、ウェハ授
受ユニット２０でウェハを移載して、次工程へ搬送する
。このようにして、一連の処理が終了するまで、この動
作を繰り返す。

一連の処理が終了すると、投入・取り出し装置８０の所
まで、搬送車２によって搬送され、投入・取り出し装置
８０へ移載される。

（１，２各装置の説明） 第１図で示したウェハ授受ユニット２０を第２図に示す
。第３図は、第２図のＡ矢視図、第４図は第２図のＢ−
Ｂ線断面図、第５図は、Ｃ−Ｃ線断面、第６図はウェハ
、第７図は、第２図の保管棚の構成図、第８図は、第７
図の保管棚のウェハ保持部の詳細図である。

ウェハ授受ユニット２０は、トラック状の搬送レール１
に沿って走行する搬送車２から所定の品種と工程のウェ
ハを受取り、それを処理装置（例えばホトリソ装置など
）６０に投入し、処理の終了したウェハを再び搬送車２
へ移載する機能を有している。

ウェハ授受ユニット２０は、第２図に示すように、ウェ
ハを保管する保管棚５０．ウェハをハンドリングする移
載ロボット２１．ウェハに記載されている品種１品種別
の通し番号を示すウェハナンバーを読み覗る識別装置４
０及びこれらの装置１ｔ（ｌ！−処理装置６０のローダ
部６１とアンローダ部６２を清浄な雰囲気に保つための
クリーンボックスから構成されている。保管棚５０には
第８図１こ示すようにウェハ７０を１枚ずつ保持するた
めの保持部６１が設けてあり、各保持部３１にはウェハ
７０の有無を確認するためのセンサ（たとえば光電スイ
ッチなど）が設けてあす、ウェハ授受ユニット２０を管
理、コントロールするウェハ授受ユニットコントローラ
がウェハ有無の確認を行う。

第３図に示すように、ウェハ授受ユニット２０の中央部
に、移載ロボット２１を配置させ、搬送棚１０１〜保管
棚３０間、保管棚３０〜ロ一ダ部６１間、アンローダ部
６２〜識別装置４０間、識別装置４０〜保管棚３０間の
ウェハの移載を行う。移載ロボット２１の構成を＄４図
で説明する。

移載ロボット２１は、１枚のウェハを真空吸着するグリ
ッパ−２２と前腕２３及び上腕２４が上下軸２５で上下
動するように構成されている。移載ロボット２１のコン
トローラは、ウェハ授受ユニットコントローラから移載
の指示を受け、移載ロボット２１をコントロールしてウ
ェハを移載し、ウェハ授受ユニットコントローラにウェ
ハの移載が終了したことを伝える。

識別装置４０の構成を第５図を用いて説明する。

識別装置４０は、照明光源４２とテレビカメラ４１及び
データ処理部４５により構成される。移載ロボット２１
により識別装置４０のステージ部４４にセットされたウ
ェハには照明光源４２により光があてられ、ウエクに明
示されたウェハナンバーをテレビカメラ４１でとらえ、
画像データとして取り込む。そして、その画像データを
データ処理部４３で解析し、ウェハナンバーを読み取る
。

ウェハは、第６図に示すように、そのウェハの品種を示
す品種名７１と品種別につけられた通し番号７２よりな
るウェハナンバー７３が書き込まれている。そして、ウ
ェハナンバー７３の読み取りは識別装置４０で行われる
。これによりウェハ１枚１枚を管理することができる。

クリーンボックス５０はウェハを搬送棚５と処理装置６
０の間で受け渡すときにウェハを汚染させないように雰
囲気を清浄壷こ保つもので、第３図瘉こ示すように保管
棚３０．移載ロボット２１．識別装置４０゜及び処理装
置のローダ部６１．アンローダ部６２を内部に収めてい
る。

第４図、第５図で示すように、クリーンボックス５０の
構成は、上面りこ内部の空気の流れが層流になるよう（
こ送風用のファン５２と送風の塵埃ヲ取り除＜ＨＥＰＡ
フィルタ５３をとりつけ、下面は送風が吹きぬけるよう
グレーチング構造となっている。

また、搬送棚５との間でウェハを受け渡丁ことができる
ように開閉するクリ−ボックスｎ５１が側面にをり付け
られている。このクリーボックス扉５１は通常は閉じら
れており、搬送車２の搬送棚５がセットされたときζこ
開く。

搬送車２の正面図を第９図に、側面図８第１０図に示す
。例えば、第４回インタナショナル・コンファレンス・
オン・アセンブリ・オートメーショｙ−プロシーディン
グ（４ｔ　ｈ　Ｉｎｔｅｒｎａｔｉ　ｏｎａｌＣｏｎｆ
ｅｒｅｎｃｅ　ｏｎ　Ａｓｓｅｍｂｌｙ　Ａｕｔｏｍａ
ｔｉｏｎ　Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇ）（ｐ、　ｐ、　５０
５〜３１３）に類似の実施例が見られる。

搬送車２にはガイド用車輪６と駆動装置７（例えばリニ
アモータ）が取付けられており、搬送レール１に沿って
動くような構造となっている。また搬送棚５をクリーン
ボックス５０にセットするための昇降装置５、及び昇降
ヘッド４を具備している。昇降ヘッド４は、上下動ガイ
ド９に沿って上下動駆動装置８（たとえばモータとボー
ルネジなど）により上下動する構造となっている。また
搬送棚５は前後動ガイド１１１こ沿って、前後動駆動装
置１０（例えばモータとボールネジなど）により前後の
動きをする構造となっている。第２図を用いて動作を説
明する。搬送車２は予め設置されたトラック状の搬送レ
ール１に懸垂して走行し、ウェハ授受ユニット２０の前
で停止すると、昇降ヘッド４８クリーンボツクス扉５１
の位置まで下げ、次に搬送棚５をクリーンボックス５０
に進入させる。そして、クリーンボックスＪｓ５１が開
いた後、搬送棚界１２が開くようになっている。モして
移載ロボット２１のグリッパ−２２により、ウェハの゛
移載が終了すると、搬送棚ｇ１２が閉じ、クリーンボッ
クス扉５１が閉じ、前後動ガイド１１により搬送棚５を
戻し、昇降ヘッド４８もさの高さｌζ戻す。

第１１図に投入・取り出し装置８ｏの構成を示す。

第１２図は第１１図のＤ−Ｄ線断面図を示したものであ
る。

第１１図において、投入・取り出し装置８ｏはウェハを
ハンドリングする移載ロボット８１．ウェハを保管する
保管棚８２．及びこれらの装置を清浄な雰囲気に保つク
リーンボックスにより構成されている。

第１２図においてクリーンボックスは、ウェハ授受ユニ
ットのところで説明した構成のように、送風用のファン
８５と送風の塵埃を取り除（ＨＥＰＡフィルタ８６８と
つつけ、下面には送風が吹き抜けるようグレーチング構
造となっている。また、搬送車２に載せられた搬送棚５
との間でウェハを受渡すことができるようＩｃ扉（第４
図のクリーンボックス扉５１と同様）と、これ力）ら処
理すべきウェハを投入したり、処理の終了したウェハを
取り出したりするために開閉する搬送棚界１０４が側面
ｔこ欧付けられている。搬送棚１０１は走行車１００か
ら投入・取り出し装置８０に対しウェハの投入、取出し
を行うため、走行車１００には、搬送棚１０１８保持す
るアーム１０３を直進駆動するスライドガイド１０２（
例えば、モータ及びボールネジ）が具備されている。走
行車１００が投入・取り出し装置８ｏの所定の位置にく
ると、停車し、アーム１０３を直進させ、クリーンボッ
クス８３１こ搬送棚１０１を入れ込みセットする。クリ
ーンボックス扉８４．搬送棚扉１０１がそれぞれ開き、
移載ロボット８１により搬送棚１０１のウェハを取り出
し、保管棚８２にセットする。このとき、処理の終了し
たウェハがある時は、保管棚８２から搬送棚１０１１こ
ウェハを移載する動作も連続的ｔこ行う。この移載中、
第１１図のように搬送車２がきて、搬送棚５が投入・取
り出し装置８０にセットされた場合、保管棚８２〜搬送
棚５間の移載も同時に行う。搬送棚１０１の移載が終了
すると、搬送棚扉１０１．クリーンボックス扉８４が閉
まり、アーム１０３を戻し、走行車１００によって、次
工程へ搬送させる。

（１，３コントローラ構成） ＠１３図は、第１図の制御系統図を示したものである。

ホストコントローラ１１０は、下位に第２図に示すウェ
ハ授受ユニット２０と処理装［６０から成る設備モジュ
ール９０ＪＩｉ：１つのコントロール系）構成単位とし
て、ウェハ授受ユニット２ｏのコントローラであるウェ
ハ授受ユニットコントローラ１１３゜識別装置４０のコ
ントローラである識別装置コントローラ１１１．移載ロ
ボット２１　　のコントローラであるロボットコントロ
ーラ１１２．処理装ｒＩＬ６ｏのコントローラである処
理装置コントローラ１１４を設ける。そしてその他に、
ウェハの投入・取り出し装［８０のコントローラである
投入・取り出し装置コントローラ１１６とウェハ移載を
行う移載口ボットノコントローラであるロボットコント
ローラ６ｏ２゜搬送車２のコントローラである搬送車コ
ントローラ１１５を設ける。

ホストコントローラ１１０は、ウェハを品種グループ・
工程ごとに進行管理するデータを保持し、上記、各コン
トローラと連係をとりながら指示。

確認を行い、ウェハがスムーズに流れるように制御する
。

ウェハ授受ユニットコントローラ１１３は、保管棚３０
に保管しているウェハの種類を管理し、又、ロボットコ
ントローラ１１２と通信し、ウェハ授受二二ッ）２０ｉ
コントロールスル。

識別装置コントローラ１１１は、識別装置４０で識別シ
たウェハのウェハナンバーをウェハ授受ユニットコント
ローラ１１６に送信する。

ロボットコントローラ１１２は、移載ロボット２１の起
動、停止、動作をコントロールする。

処理装置コントローラ１１４は、処理装置６０の処理状
態とレシピを管理し、処理装置６０のコントロールを行
う。

搬送車コントローラ１１５は、搬送車２の起動。

停止、走行のコントロールし、搬送棚５の棚番番こ対し
て、どの品種グループのどの工程のウェハが保持されて
いるかを管理する。

投入・取り出し装置コントローラ１１６は、投入・取り
出し装置８０の保管棚８２に対して、どの棚にどの品種
グループのどの工程のウニ／Ｓを保管しているか管理し
、ロボットコントローラ１１２と通信し、投入・取り出
し装置８０のコントロールを行う０こｎらのコントロー
ラ間は、トークンリング構成の光ＬＡＮで接続し、２本
の通信ケーブル１１７憂こより各装置コントローラを結
び、各装置コントローラの接続部は、システム障害に応
じてスイッチングにより障害を回避するようにして、ケ
ーブルの継線、各装置のコントローラダウンによる通１
３障害を防ぐ構造としている。

この構造により、高速通信ができ、ポイント・トウ・ポ
イント方式から送受信時間が計算できる為リアルタイム
にデータ通信が行え、各コントローラ間の通信時間の消
費が少ナク、信号の優先度がつけやすいので、コントロ
ールしゃすい０（１，４データ構成） 第１３図１こ示したコントローラ構成に基づいて必要な
データ構成を第１４図〜第２２図正こ示す。

ホストコントローラ１１０は、第１４図正こ示す品種ａ
Ｉ＋　ｂ＋＋・・・ごとの工程フローデータ１２０から
、第１５図に示すような、工程順序とレシピが同類であ
る品種ａｌｅ　ａ！・・・のものをグループ化した品種
グループＡ、Ｂ、・・・を作成して品種グループ工程フ
ローデータ１２１８決定する。また、ウェハの進行制御
を行うため、第１６図に示すように、品種グループごと
及び工程ごと（こ仕掛っている仕掛り量を示す品種グル
ープ別仕掛りデータ１２２、第１７図に示すように、品
種グループごとに各工程ｉこ仕掛るべき標準仕掛り量を
記した標準仕掛りデータ１２３を管理している。また、
第１８図に示すように、処理装置ごとに仕掛っている仕
掛り量を示す装置別仕掛りデータ１２４、また、第１９
図に示すように、各搬送車で搬送しているウェハの種類
と加工層Ｍｉ示す搬送車−データ１２５も管理している
。

ウェハ授受ユニットコントローラ１１５は、各保管棚に
保管しているウェハをそれぞれ管理するため、第２０図
に示すようζこ、保管しているウェハの情報を保管棚デ
ータ１２６として、管理している。

搬送車コントローラ１１５は、各搬送棚に保管している
ウェハをそれぞれ管理するため、第２１回正こ示すよう
に、搬送棚のウェハの情報を搬送棚データ１２７として
管理している。

処理装置コントローラ１１５は、第２２図に示すように
、加工条件（レシピ）をコード化したレシピＩ翅に対応
するその処理装置の加工条件を表す情報をレシピデータ
１２８として持っている。

以下釜データについて詳細に説明する。

第１４図に示す工程フローデータ１．２０は、品種別に
、処理順序に従って、工程順序と加工条件であるレシピ
を表すレシピ陽が付けられている。

第１５図に示す品種グループ工程フローデータ１２１は
、工程フローデータ１２０より作成したものであり、工
程順序とレシピが同類である品種ａｌ＋ａ！・・・のも
のをグループ化した品種グループＡ、Ｂ。

・・・ごとの工程フローである。

第１６図に示す品種グループ別仕掛りデータ１２２は、
ウェハの品種グループと加工履歴別に全てのウェハの枚
数をデータとしてもつものである。

第１７図に示す標準仕掛りデータ１２５は、品種グルー
プごとに各工程に仕掛るべき標準仕掛り量を示したもの
である。

ホストコントローラ１１０は、これら品種グループ工程
フローデータ１２１１品種グループ別仕掛りデータ１２
２．標準仕掛りデータ１２３により処理すべき品種グル
ープ、工程を選択する。

第１８図に示す装置別仕掛りデータ１２４は、処理装置
別に保管棚に保管しているウエノ１の品種グループと加
工履歴と枚数をデータとしてもつものである。そして、
ホストコントローラ１１０は、このデータに基づき処理
装置ｆこ対し着工指示を行う。

第１９図に示す搬送車データ１２５は、搬送車が保管し
ているウェハの品種、加工履歴及び枚数をデータとして
もつものである。そして、ホストコントローラ１１０は
、このデータに基づき搬送車から保管棚ζこ移載する指
示を行う。

第２０図ζこ示す保管棚データ１２６は、各保管棚の１
つの保持部ととにつけた保管棚番号に対して、保管して
いるウェハのウエバナンバー、加工履歴。

及び保管棚に保管された順番を示す到着順番を対応させ
たものである。ウェハ授受ユニットコントローラ１１′
５は、このデータに基づき同じ品鴇グループ、加工履歴
のウェハの中で処理するウェハを特定する。

第２１図に示す搬送棚データ１２７は、各搬送車の搬送
棚の１つの保持部ごとにつけた搬送棚番号に対して、搬
送しているウェハのウェハナンバー加工履歴及び搬送車
に乗せられた順番を示す到着順番をつけたものである。

搬送車コントローラ１１５は、このデータに基づき同じ
品種グループ。

加工履歴のウェハの中で保管棚に移載するウェハを特定
する。

（２，コントローラの動作） （２，１識別装置のデータ処理） 識別装置コントローラ１１１のデータ処理フローチャー
トを第２３図に示し、処理フローを説明する。

識別装置コントローラ１１１は、識別装置４０ヘセツト
されたウェハのウェハナンバーを画像データとして取り
込み（ステップＡ２）、データ処理を行い（ステップＡ
３）、ウェハナンバーが読み取り可能かどうか判断する
（ステップＡ４）。そして、読み取り可能ならば、ウェ
ハナンバーを読み取る（ステップＡ５）。そして、ウェ
ハ授受ユニットコントローラ１１３に、読み取り結果と
して、ウェハナンバーを送信する（ステップＡ６）０と
ころが、ウェハナンバーを読み取れなければ、文字読み
覗り誤り訂正可能か、つまり、ウェハナンバーが完全に
読み取れなくとも、ある程度読み取ることが可能で、高
い確率でウェハナンバーを判別できるかを判断する（ス
テップＡ７）。文字読み取り誤り訂正可能ならば、文字
読み取り誤り訂正を行う（ステップＡ８）。そして、そ
のウェハナンバーを読み取り（ステップＡ９）、ウェハ
授受ユニットコントローラ１１３に、読み取り結果とし
て、ウェハナンバーとその再マーキングが必要であるこ
とを送信する（ステップＡ１０）ｏ文字読み取り誤り訂
正が不可能であるならば、ウェハが識別装置３３０にセ
ットされた状態から処理をやりなおす。そして、３回繰
り返しても、ウェハナンバーを判別できなければ、識別
結果として、ウェハ授受ユニットコントローラ１１３に
、識別結果として、読み取りが不可能であるこ七を伝え
る（ステップＡ１２）。

（２゜２　コントローラ間の通信手順）以下、第２図、
第１６図、第１８図〜ｉｊｇ２１図、及び第２４図〜第
２６図により各装置の動作とコントローラ間の通信手順
を説明する。

移載ロボット２１のウェハ移載動作は（１）搬送棚５→
保管棚ｓｏ　　（２）保管棚３０→処理装置６０のロー
ダ部６１　　（５）処理装置ｔ６０のアンローダ部６２
→識別装置Ｌ４０→保管棚５０　　（４）保管棚３０→
搬送棚５の４つである。

ただし、移載ロボット２１を効率的に動かすため、搬送
棚５→保管棚３０．保管棚３０→搬送棚５のウェハ移載
動作は同時に並行して行う。

搬送棚５と保管棚３０の間で、ウェハを移載する時の各
コントローラの処理手順とコントローラ間の通信手順を
第２４図に示し、説明する。

搬送車コントローラ１１５は、搬送車２がウエハ授受ユ
ニット２０の前に到着する（ステップＢ１）と、ホスト
コントローラ１１０に搬送車２が到着したことを送信す
る（ステップＢ２）。そして、ホストコントローラ１１
０が受信する（ステップＢ５）。

すると、ホストコントローラ１１０は、搬送棚５から保
管棚３０に移載するべきウェハの品種グループ、加工履
歴及び枚数を搬送車コントローラ１１５に送信するが、
保管棚３０．搬送棚５間で移載するウェハがない場合は
、搬送車コントローラ１１５に対しそのまま走行するよ
うｌご指示（搬送指示）を送信する（ステップＢ４．Ｂ
Ｓ）。また、ホストコントローラ１１０は、保管棚３０
から搬送棚５に移載するべきウェハの品種グループ、加
工履歴、及び枚数を決定し、ウェハ授受ユニットコント
ローラ１１３に送信する（ステップＢ７．Ｂ８）。する
と搬送車２は昇降装置ｔ３で上下動ガイド９を下し、前
後動ガイド１１を前進させ、ウェハの入っている搬送棚
５をクリ−７ボツクス扉５０こセットする。

そこで、クリーンボックス扉５１が開き次に搬送棚層１
２が開く。このようにして搬送棚５のウェハはクリーン
ボックス５０内の移載ロボット２１で自由に出し入れで
きる状態になる（ステップＢｔ５）。そこで、ウェハ授
受ユニットコントローラ１１３は、第２０図に示す保管
棚データ１２６Ｉζ基づき、移載するウェハを決定する
（ステップＢ９）ｏまた、搬送車コントローラ１１５は
、搬送棚データ１２７に基づき移載するウェハを決定し
、そのウェハのウェハナンバー、加工履歴、搬送棚番号
、及びウェハの入っていない棚の搬送棚番号をウェハ授
受ユニットコントローラ１１５に送信する（ステップＢ
１０゜Ｂｉｔ）。（−Ｌ、て、ウェハ授受ユニットコン
トローラ１１６は、保管棚３０から搬送棚５に移載する
ウェハの移載光である搬送棚の位置、搬送棚５から保管
棚３０へ移載するウェハの移載光である保管棚の位置、
及び搬送棚５から保管棚３０移載するウェハの移載光の
位置を移載するウェハ全てについて決定し、移載手順を
決定する。（ステップＢ１２）。

その決定した手順Ｉこ基づいて、ロボットコントローラ
１１２に対して移載光と移載光を送信する（ステップＢ
１４．　Ｂ１５）。移載ロボット２１はその指示ζこ基
づいて、作業を行い（ステップＢ１ｄ）、終了した時点
で終了したことをウェハ授受ユニットコントローラ１１
３に伝える（ステップＢ　１７．　Ｂ　１８　）。

この作業をホストコントローラ１１０の指示したウェハ
全てについて移載が終了するまで繰り返す。

ただし、この移載処理の途中で、処理装置コントローラ
１１４からウェハ移載の要求があった場合は、移載処理
を中断し、処理装置コントローラ１１４の要求に応じ、
その後、処理を再開する。終了すると、ウェハ授受ユニ
ットコントローラ１１５は、搬送車コントローラ１１５
に対し、搬送棚５に移載したウェハのウェハナンバー、
加工履歴、及び搬送棚番号を送信する（ステップＢ１９
．　Ｂ２０）。そして、保管棚データ１２６の保管棚の
棚番号に対応している、ウェハナンバー、加工履歴及び
到着順番を更新する（ステップＢ２１）。さらに、ホス
トコントローラ１１０に対して、保管棚３０に保管して
いるウェハの品種グループ、加工履歴を送信する（ステ
ップＢ２２．　Ｂ２６）。また、搬送車コントローラ１
１ｓｉｚ、搬送棚データ１２６の搬送棚番号に対応する
ウェハナンバー、加工履歴及び到着順番を更新する（ス
テップＢ２３）。さらに、ホストコントローラ１１０に
対して、搬送棚５に保管しているウェハの品種グループ
、加工履歴を送信する（ステップ３３２４　、　Ｂ　２
６　）。そして、搬送車２は、次の搬送を開始する（ス
テップＢ２５）。また、ホストコントローラ１１０は、
ウェハ授受ユニットコントローラ１１３及び搬送車コン
トローラ１１５力）ら、送信されてきた、保管棚５１こ
保管しているウェハの品種グループ、加工履歴、及び搬
送棚５０に保管しているウェハの品種グループ、加工履
歴を受信すル（ステップＢ２６）。そして、ホストコン
トローラ１１０は、装置別仕掛りデータ１２４９品種グ
ループ別仕掛りデータ１２２．及び搬送車データ１２５
８更新する（ステップＢ２７）。

次に、保管棚３０から処理装置のローダ部６１ヘウエハ
を移載する時の各コントローラの処理手順とコントロー
ラ間の通信手順を第２５図に示し、説明する。

ホストコントローラ１１０は、処理装置コントロ−ラ１
１４に対し着工指示として、処理すべき品種グループ、
加工履歴、レシピ階及び枚数を送信する（ステップＣＩ
、Ｃ２）。そして、処理装置コントローラ１１４はこの
指示に従ってレシピを設定する（ステップＣ５）。そし
て、処理装置コントローラ１１４は処理装置６０がウニ
）Ｓｌ＆処理できる状態になったら、ウニノ・授受ユニ
ットコントローラ１１３に対して、処理するウェハの品
種グループと加工履歴を送信する（ステップＣ４，Ｃ５
）。受信したウェハ授受ユニットコントローラ１１５は
該当する品種グループ、加工履歴のウニノ１の中で、最
も早（保管棚１１０に保管されたウェハを保管棚データ
１２６で検索し、ウニノ・を選択する（ステップＣ６）
。そして、そのウニノ・ナンバーを処理装置コントロー
ラ１１４に伝える（ステップＣ８）と共にそのウニノ・
の保管されている保管棚の位置をロボットコントローラ
１１２に伝え、保管棚３０から処理装置のローダ部６１
にウニノ・の移載を指示する（ステップＣ９，Ｃｌ０）
。この指示に基づき、移載ロボット２１はウニノ・を保
管棚５０から取り出して処理装置６０のローダ部６１に
セットする（ステップＣ１１）０終了するさ、ロボット
コントローラ１１２が作業を終了したことをウェハ授受
ユニットコントローラ１１５に伝える（ステップＣＩ２
．０１３）。

ウェハ授受ユニットコントローラ１１５は該当するウェ
ハの保管棚データ１２６を消去する（ステップＣ１４）
ｏ一方、処理装置６０はウニノ・の処理を開始する（ス
テップＣ１３）。

次に、処理装置６０による処理が終了して処理装置のア
ンローダ部６２から識別装置４０ヘウエＩ−を移載し保
管棚にウェハを保管する時の各コントローラの処理手順
とコントローラ間の通信手順を＄２６図に示し、説明す
る。

処理装置６０は処理を終えたウェハをアンローダ部６２
１こ運ぶ（ステップＤＩ）。そして、処理装置コントロ
ーラ１１４は、ウェハ授受ユニットコントローラ１１３
にアンローダ部６２のつ二ノ１のウェハナンバーを送信
して、取り出しを要求Ｔる（ステップＤ２．Ｄ３）。す
ると、ウニノ・授受ユニットコントローラ１１３は、ロ
ボットコントローラ１１２に対し、アンローダ部６２か
ら識別装置４０ヘウエノ１を移載するように指示する（
ステップＤ４．Ｄ５）。

この指示に基づき、移載ロボット２１はウニノ１をアン
ローダ部６２から取り出して識別装置４０にセットする
（ステップＤ６）。終了すると、ロボットコントローラ
１１２が作業を終了したことをウェハ授受ユニットコン
トローラ１１３に伝える（ステップＤ７．Ｄ８）。そし
て、識別装置コントローラ１１１は、ここで第２３図に
示したような識別、処置をし、識別結果をウェハ授受ユ
ニットコントローラ１１６に送信する（ステップＤ９　
、　Ｄｌｏ　）　０そして、ウェハ授受ユニットコント
ローラ１１！１は識別装置コントローラ１１１より識別
結果を受信下ると（ステップＤ１０）、ウニノ・を保管
する保管棚５０の位ｆｉ！１８決定しくステップＤ１１
　）　、ロボットコントローラ１１２にその位置を伝え
、移載を指示する（ステップＤ１２．　Ｄ１５）。そし
て移載ロボット２１が、識別装置１４０からウニノ・を
取り、保管棚５０へ保管する（ステップＤ１４）。終了
すると（ステップ］）１５．　Ｉ）１６）、ウェハ授受
ユニットコン）０−ラ１１５はウェハを保管した保管棚
番号に対応するウェハナンバー、加工履歴を保管棚デー
タ１２６として記憶する（ステップＤ１７）。更に、ホ
ストコントローラ１１０に処理の終了したウニノ・のウ
ニノ・ナンバー、加工履歴を送信する（ステップＤ１８
）。

ホストコントローラ１１０は、ウェハナンバー、加工履
歴を受信しくステップＤ１９）、品種グループ別仕掛り
データ１２２、及び装置別仕掛りデータ１２４を更新す
る（ステップＤ２０）。

（３，生産方式） （３，１投入順序決定方式） 第２７図に、第１図に示した生産システムに対して、ど
のような順序でウェハの投入を行うかを決定する投入計
画フローを示す。作業量に対して、実現可能な標準日程
要求量を求め（ステップＥ１）、この値に対し、日ごと
の要求量と納期を満足した上、作業量の平準化を行い、
これとともに要求量の平準化が行われる。（ステップＥ
２）。要求生産量に対応する品種をグループ（処理工程
が同類のもの）すなわち品種グループに分類する（ステ
ツブＥ５）。次に、品種グループごとの要求割合を保っ
た要求順序を決定しくステップＥ４）、さらに、品種グ
ループ内の品種の割合を保った要求順序を決定する（ス
テップＥ５）ｏこれらの要求順序により、それぞれの品
種グループの要求順序に対して、品種の要求順序を順番
にあてはめていくことにより、品種ごとつまり、ウェハ
１枚重位の要求順序が決定され、この要求順序をそのま
ま投入順序として決定する（ステップＥ６）。以下各処
理手順を詳細に説明する。

第２８図に、標準日程要求量を求め、装置のレシピ等変
更に伴う作業の平準化を行う作業量を図った要求量平準
化方法を示す。図において、原点０とスケジューリング
期間の総要求量である作業量をＥとした端点Ｅと、日々
の要求生産量、実現可能で守らなければならない生産量
に対する作業量の累積である累積最遅負荷（ハ）の各部
分にピンを立て、ゴムひもを実現可能な生産量に対する
作業量である累積限界負荷（イ）と、納期を守った最低
生産量（白丸で示す）に対する作業量でもある累積最遅
負荷との間にいれ、両端０．Ｅを緊張させた時、このゴ
ムひもの作る折れ線が要求量、納期を満足Ｔる平準化負
荷に）となる。この負荷曲線から日ごとの要求蓋を求め
る０この時、日ごとの要求量に端数が発生した場合は、
スケジューリング期間内の全体要求量に平準化要求量が
一致するように調整する。また、１日の作業量が非常に
少なくなった場合、その作業量に見合った作業量を前倒
しする。このようにすることで、実現可能な作業量で、
納期に遅れることなく、作業量の平準化を行うことがで
き、これに伴い、要求量の平準化も図れる。

次に、投入順序算出方法について示す。第２９図に示す
ように用語を定義Ｔる。ｋ日目に対象となる品種グルー
プ数がＭ１品種グループ中の品種数がＮで、平準化要求
量がＰｊｉの時、全要求生産量ｊ＝１ｉ＝１ となり、品種グループｊのキヨリ基準１ｏｊは、１ｏｊ
　＝ （ｊ＝１．２．・・・） Σ　Ｐｊｌ ｉ＝１ となり、品種グループｊの品ａｉのキヨリ基準１ｏｊ　
ｉ　　は、 となり、品種グループごと、品種ごとのキヨリ基準が求
まる。

このキヨリ基準１ｏｊとキヨリｌｊから正規化キヨリＺ
ｏｊを求める。次に、品種グループごとに、正規化キヨ
’ＪＺｏｊの大きいものから順に順序っけをし、同様に
、それぞれの品種グループ番こ対して、品種ごとの正規
化キヨＩＪ　Ｚｏｊ　ｆ求め、品種ごとの順序づけを行
う。このようにすることで、品種単位の１枚ごとの要求
順序がわかり、この順序に基づいて投入することにより
、要求量に対する品種グループごとの割合、品種ごとの
割合が常に保たれ、要求に合った生産を行うことができ
る。

第２７図から第２９図に示した投入順序決定刃ｆＦ、を
具体的に例題を用いて第３０図から第３５図を用いて示
す。

第３０図に、スケジューリング期間を６日間としてその
要求量を示す。この要求量ζこ基づいて、累積負荷グラ
フを作成したものを第５１図に示す。このグラフの平準
化負荷より、平準化した日ごとの要求量ｆｉ−第３２図
に示す。なお、第５０図において、Ａ、Ｂ、Ｃは品種グ
ループ＋　ａＩ”””　ａ４ｔ　ｂｌ〜１）４＋　ｃ。

〜Ｃ１は品種を示す。

次に、この要求量に基づいた要求順序算出方法について
説明する。品種グループごとの要求順序である１番目を
算出してみると、 キヨリ基準１ｏｊは、 Ｂ　　　　　１ｏＢ　＝−＝　　２．４品種グループＣ １ｏＣ＝　−＝　　６ となり、キヨ１Ｊ１ｊはすべて１であるから、正規化キ
ヨリＺｏｊは、 ｃ　　　ＺｏＣ＝　　−！−＝０．１６となる。正規化
キヨリが同値のときは、品種グループの若い順に投入す
るものとして、品種グループＡが要求順序１として算出
される。このようにして品種グループ間の要求順序を求
めた結果を第３３図に示す。

第５４図に平準化前の要求量、第３５図に平準化後の要
求量をグラフで示す。これかられかるように、負荷量全
体が平準化され、品種グループ間でも平準化されている
のがわかる。

次に、品種グループ内の品種ごとの要求順序決定方法に
ついて説明する。

品種グループＡのグループ内のキヨリ基準１ｏｊｉは、 品種ａ。

１ｏＡ　ａｌ　＝　−＝　２　、　５ ａ！ １ｏＡ　ａ、＝−＝　５ １ｏＡａｓ＝−＝　５ １　ｏＡ　ａ４　＝　−＝　５ となり、キヨリ１１ｉはすべてｌであるから、正規化キ
ヨリＺｏｌｉは、 品ｆｉａ。

ＺｏＡａ１＝　　　　　＝　０．４ ２．５ ａｓ　　　　ＺｏＡ　ａｌ　＝　　　＝　０　、　２ａ
ｌ　　　　ＺｏＡａ、、＝＝　　　＝Ｑ　、　　２ａ４
　　　　ＺｏＡａａ＝−＝０．２ となり、品種ａ、が要求順序１として算出される。

このよう番こして、品種ごとの要求順序が決定される。

品種グループごとの要求順序に、品種ごとの要求順序を
あてはめ投入順序を決定した結果を第３６図に示す。こ
の要求順序に基づき投入を行うことでウェハのスムーズ
な流れを作れるＣ（５，２サークルライン方式） 第３７図に、第１図に示した装置構成において、どのよ
うにウェハを流すか、つまり、ｉ行制御を行うかを示す
。設備モジュール９ｏをいくつか構成し、ある工程フロ
ーの中で、処理順序が同類の品種をまとめた品種グルー
プごと、及び、工程ごとに管理することで、生産の同期
確保と装置の稼働率向とを図ったスムーズなウェハの流
れをつくる。

保管棚３０の前には、いろいろな品種のいろいろな処理
工程のウェハが仕掛り、どのウェハを投入するかで、流
れをコントロールすることができる。

そこで、品種グループ工程ごとにそれぞれ最適な仕掛量
である標準仕掛り量を設定し、この増減をチェックして
ウェハを順序よく流す。

（３，，３進行制御） 次に、第５７図に示したように、品種グループごとに専
用ラインであるかのようにウェハをスムーズに進行させ
る方法を示す。多種、多工程のウェハの進行制御に必要
なデータを第１４図から＠１７図に示し、進行制御方法
を説明する。

第１４図に示す品種Ａｌｅ　ｂｍ、・・・ごとの工程フ
ローデータ１２０から、第１５図に示すように、工程と
レシピが同類である品１１ａ、、ａｌ・・・のものをグ
ループ化した品種グループＡ、Ｂ、・・・を作り出して
品種グループ工程フローデータ１２１を決定する。第１
６図は、物理的に実際に仕掛っている量を記憶した品種
グループ別仕掛りデータ１２２である。第１７図に、品
種グループごとに各工程に仕掛る標準仕掛り量を算出し
た標準仕掛りデータ１２５を示す。第１８図は、装置別
の実際の仕掛り量を記憶した装置別仕掛りデータ１２４
である。

次に、どのようにして、進行制御を行うかを説明する。

あるサンプリング時間ごとに、標準仕掛りデータ１２３
に示す各工程ごとの標準仕掛り量に対して、品種グルー
プ別仕掛りデータ１２２の仕掛り量が最も少ない品種グ
ループ、工程順序のウェハを抽出する。この時、最も少
ない品種グループ工程順序に対応したウェハかい（つか
あった場合は品種グループが若いものでかつ工程順序が
若い工程を抽出し、その前工程を品種グループ工程フロ
ーデータ１２１から選び出し、その工程のウェハを着工
するように指示する。例えば、標準仕掛りデータ１２５
の中で、品種グループＢの工程順序３が、標準仕掛り量
に対して、実際の仕掛り量は２で最も少ないとすると、
不足分５を前工程に要求する。そこで、品種グループ工
程７０−データ１２１より、品種グループＢの工程順序
５の前工程である工程順序２を抽出し、装置別仕掛りデ
ータ１２４により、その品種グループ、及び工程のウェ
ハが仕掛っている処理装置を検索し、その処理装置６０
に着工させる。

以下、このように、サンプリングごとに不足分を抽出し
、ウェハの進行制御を行う。

（４，ウェハの流れと各装置の動作） 第１図に示した構成において、ウェハの流れを第５８図
に示す。ウェハの流れを第３９図番こ示したフローチャ
ートによって説明する。ウェハが投入されると（ステッ
プＧ１）、搬送車によって最初の工程に対応した処理装
置の所まで搬送され（ステップＧ２）、保管棚に一時保
管され（ステップＧ３）、ウェハの処理装置から投入要
求がくると処理装置に投入処理しくステップＧ４）、処
理終了後、品種等のデータを持ったウエハナンバーヲ識
別装置で識別しくステップＧ５）、この工程が終了した
ことを確認の上、再び保管棚に一時保管され（ステップ
Ｇ６）、そして、搬送車によって搬送さｎ（ステップＧ
７）、一連の処理が終了したかどうかをチェック（ステ
ップＧ８）Ｌ、、終了でない場合、次の工程に、搬送さ
れ、一連の処理が終了するまでこのループを繰り返し、
終了すると搬出（ステップＧ９）される。

第４０図に第１図で示した装置構成において、ウェハが
投入から搬出されるまでの一連の装置の動きを詳細ｆこ
示したフローチャートを示す。

この第１図ｆこ示す生産システムにウェハが投入される
七、第１１図に示すように、走行車ｉｏｏの搬送棚１０
２に投入すべきウェハがセットされ（ステップＨ１）、
走行車１００が米たかどうか判断（ステップＨ２）し、
来ない場合はステップＨ１１進み、来た場合、走行車１
００は投入・取り出し装置８０の所定の場所まで床面を
走行してくる（ステップＨ３）０所定の位置で停止し、
搬送棚１０１を載せたアーム１０３が前進し、クリーン
ボックス扉８４ト搬送棚扉１０４ヲ密着させる（ステッ
プＨ４）。クリーンボックス扉８４８開き（ステップＨ
５）、搬送棚層１０４を開く（ステップＨ６）。投入・
取り出し装置８０の保管棚８２ヘセツトすべきウェハが
あるか判断しくステップＨ７）、ある場合は、移載ロボ
ット８１により、搬送棚１０１から保管棚８２にウェハ
をセットする（ステップＨ８）。ない場合はステップＨ
９に進む。次に搬送棚１０１ヘセツトするウェハがある
７！Ｊ）判断しくステップＨ９）、ある場合は、移載ロ
ボット８１により、保管棚８２から搬送棚１０１にセッ
ト（ステップ）（１０）ｌ、、ない場合はステップＨ１
１に進む。次に搬送車２が到着しているか判断しくステ
ップＨ１１）　、到着してなければ、ステップＨ２０に
進み、到着していれば、搬送車２から投入・取り出し装
置８０へ降ろすウェハがあるか判断（ステップＨ１２）
　ｌ、、降ろすウェハがなければ、ステップ１（１８ま
で進み、降ろすウェハがあれば、上下動ガイド９を下降
（ステップＨ１３）させ、前後動ガイド１１を前進（ス
テップＨ１４）させて、搬送棚界１２ヲクリーンボック
ス扉５１に密着すせてセットする。そして、クリーンボ
ックス扉５１８開き（ステップＨ１ｓ）、搬送棚層１２
を開く（ステップＨ１６）ｏ移載ロボット８１により、
搬送棚５から保管棚８２ヘセツト（ステップＨ１７）ス
ル。さらに、搬送車２へ載せるウェハがあるか判断（ス
テラ：７’Ｈ１Ｂ　）　Ｌ、、なければステップ１（１
９に進み、乗せるウェハがある場合は、移載ロボット８
１により、保管棚８２から搬送棚５にセット（ステップ
Ｈ１９）する。投入・取り出し装置８０の中でウェハ移
載があるか判断（ステップ１（２０）　シ、ある場合は
、再びステップＨ２に戻り、ステップＨ２〜ステップＨ
２０を繰り返し、ない場合は、走行車１００の搬送棚１
０１にウェハをセットしたか判断（ステップＨ２１）シ
、セットしない場合、ステップＨ２７に進み、セットし
た場合は、走行車１００側では、走行車１００の搬送棚
１０１１＃を閉じ（ステップＨ２２）、クリーンボック
ス扉８４を閉じ（ステップＨ２４）、走行車１００のア
ーム１０３ヲ後退（ステップＨ２４）すると、走行車１
００は移動（ステップＨ２５）を開始し、次工程へ搬送
（ステップＨ２６）する。

搬送車２側では、搬送棚５を閉じ（ステップＨ２７）、
クリーンボックス扉８４ヲ閉じ（ステップＨ２８）で、
前後動ガイド１１が後退（ステップＨ２９）　Ｌ、、上
下動ガイドが上昇（ステップＨ３０）　Ｌ／て、搬送状
態に戻る。次に、次工程搬送の要求がくるまで待ち（ス
テップＨ３１）、要求がくると、第２図に示すように、
次工程へ移動（ステップＨ５２）　Ｌ／、搬送車２が到
着する（ステップＨ３３）ｏ到着すると、投入取り出し
装置８０場所か判断し、その場所であればステップＨ２
に戻り、その場所でなければ、上下動ガイド９が下降（
ステップＨ３５）　Ｌ、、前後動ガイド１１を前進（ス
テップＨ３６）させて、搬送棚１２トクリーンボツクス
扉８４１こ密着させてセットする。クリーンボックス扉
を開き（ステップＨ３７）、搬送棚界１２ヲ開く。搬送
棚５から降ろすウェハがあるか判断（ステップＨ３９）
　ｌ、、ない場合はステップＨ４１に進み、ある場合は
、移載ロボット２１により、搬送棚５から保管棚３０に
セット（ステップＨ４０）する。次に処理装置６０に投
入するウェハがあるかどうか判断（ステップ８５３　）
　Ｌ、ない場合は、ステップＨ４５に進み、ある場合は
、移載ロボット２１により、保管棚３０から処理装置６
０のローダ部６１に投入（ステップＨ４２）する。次に
゛、処理装置６０のアンローダ部６２から識別装置４０
へ搬送するウェハがあるかどうか判断（ステップＨ４５
）　シ、ない場合は、ステップＨ４５まで進み、ある場
合は、処理装置のアンローダ部４０２から識別装置３５
０へ搬送（ステップＨ４４）する。次に、識別装置４０
から保管棚６０に戻るウェハがあるかどうか判断（ステ
ップ１（４５）　Ｌ／、ない場合は、ステップ１（４７
に進み、ある場合は、移載ロボット２１により、搬送棚
５から保管棚３０にセット（ステップＨ４６）する。

ウェハ授受ユニット２０内で搬送車２〜保管棚３０間。

保管棚５０〜処理装置６０間、処理装［６０〜識別装置
４０間、識別装置４０〜保管棚３０間でウェハ移載があ
るかどうか判断し、ある場合は、ステップＨ５９まで戻
り、ステップＨ３９〜ステップＨ４７を繰り返し、ない
場合は、搬送卵扉１２を閉じ（ステップＨ２７）、クリ
ーンボックスｎ５１を閉じ（ステップＨ２８）、前後動
ガイド１１が後退（ステップＨ２９）　ｊ、、上下動ガ
イド９が上昇（ステップＨ３０）　Ｌ／て搬送状態に戻
る。そして、搬送車２８次工程に進める。このようにし
て、搬送車２によりウェハを搬送しながらウェハの処理
加工を進めていく。

（，５０代替実施例） （５，１代替実施例１） 第１図に示した装置構成に対して、搬送車の軌道である
搬送レールを中央部とその側部に設けた実施例を第４１
図に示す。中央部の天井に、トラック状の搬送レール１
と、その搬送レール１−ヲ軌道として走行Ｔる搬送車２
とより成る中央部搬送設備２００を設ける。そして、中
央搬送設備２００の搬送車２と側部搬送設備２０１の搬
送車２間でウェハの受け渡しをクリーンな雰囲気で行う
ために、ステーション２０２゛を側部搬送設備２０１に
対応させて設ける。側部搬送設備２０１の回りには、搬
送車２との受け渡しをクリーンな雰囲気中で行う装置で
あるウェハ授受ユニット２０と処理装置６０とより構成
する設備モジュール９ｏを基本単位としていくつか設け
る。また、搬送車２は、上記実施例と同様にウェハをク
リーンな雰囲気で格納、保持する搬送棚を設ける。

中央部搬送設備２００の端に、この生産システムに、外
部からウェハの投入を行い、一連の処理が終了するとウ
ェハを取り出す投入・取り出し装置８０を設ける。投入
・取り出し装置８０からウェハが投入されると、中央搬
送設備２００の搬送車２によって任意の処理装置が設け
られている側部搬送設備２０１のステーション２０２の
位置まで搬送され、ステーション２０２の移載ロボット
で、搬送車２の搬送棚からステーション２０２の保管棚
に移載する。

次に、側部搬送設備２０１の搬送車２がステーション２
０２の所までくると、ステーション２０２の移載ロボッ
トで、保管棚から側部搬送設備２０１の搬送車２の搬送
棚に移載する。移載が終了すると、任意の設備モジュー
ル９０のウェハ授受ユニツ）２０マで搬送し、ウェハ授
受ユニット２０の移載ロボットで搬送車２の搬送棚から
保管棚に移載される。そして、この側部搬送設備２０１
の処理袋［６０での処理が終了すると再び元のステーシ
ョン２０２の所へ搬送車２で搬送され搬送棚から保管棚
へ移載ロボットで移載する。中央搬送設備２００の搬送
車２が到着すると、保管棚から搬送棚に移載ロボットに
よって移載され、搬送車２で次の工程に対応した側部搬
送設備２０１のステーション２０２へと搬送され処理さ
れる。このようにして一連の処理が終了するまでこの動
作を繰り返し、処理が終了すると中央部搬送設備２００
の搬送車２によって、投入・取り出し装置８０の所まで
搬送され、搬送棚から保管棚へ移載ロボットによって移
載され取り出される。

（５，２代替実施例２） 第１図に示した生産システムの搬送設備では、中央部の
天井にトラック状の搬送レールを設置していたが、この
搬送レールを天井に格子状に設けた実施例について示す
。

格子状に設けた搬送レール擾こ沿って設備モジュールを
設ける。ある設備モジュールから他の設備モジュールヘ
ウエハを移動させる指示がでると待ちの少ない搬送車が
対応し、最短経路を抽出し、その経路で搬送車が移動す
る。この時、経路の途中に他の搬送車が止まっているか
、移動している時は、搬送車がいない経路で最短経路で
移動する。

このようにすることで、処理装置間の移動距離が短くな
り、生産期間が短縮できる。

（５，３代替実施例３） 本発明の他の効果的な実施例を第４２図に示し、説明す
る。

前記第１図に示した生産ライン（以下、生産モジュール
２１０と称する）を３つ、直線状に配置し、生産モジュ
ール２１０間でウェハを搬送するため、各生産モジュー
ル２１０の投入・取り出し装置８０間を第１１図に示し
た様な走行車で連絡するような構成とする。

また、進行制御は、制御を容易にするため、工程フロー
を３つに分割し、分割した工程フローごとに１つの生産
モジュール２１０８対応させる。つまり、各生産モジュ
ール２１０に分割された工程フローに対応した処理を行
う。そして、ある生産モジュール２１０でウェハの処理
が終了すると走行車１００が次の生産モジュール２１０
ヘウエハを搬送し、次々と生産モジュール２１０で処理
をほどこしていく。例えば、第４５図１こ示すような工
程フローの場合には、図に示すように全体を６分割し、
工程ａ〜工程ｆの工程フローを生産モジュール２１０ａ
で処理し、処理の終了したウニノ・は投入・覗り出し装
置８０ａで走行車１００に移載され、次の生産モジュー
ル２１０ｂに搬送される。そして、投入・取り出し装置
８０ｂがウェハを走行車１００から受けとり、生産モジ
ュール２１０ｂに投入する０そして、生産モジュール２
１０ｂで工程ｇ〜工程ｌの処理を行う。同様にして、生
産モジュール２１０Ｃで工程ｍ〜工程２の処理を行う。

このようにして全工程を６つの生産モジュール２１０８
〜Ｃで分担して処理する。

このように工程フローを分割し各工程フロー別に品種グ
ループを形成するため、全工程フローのうち一部のみが
同じ工程フローをもつ品種が、各生産モジュールで同じ
品種グループに集約され、品種グループが少なくなり、
進行制御が容易になる。また、各生産モジュールの処理
装置台数が少なくなることにより、生産モジュールが小
さくなり、ウェハの搬送距離が短くなる。

（５，４代替実施例４） 第１図Ｅこ示した構成の搬送設備において、トラック状
のレールを走行する搬送車をベルトコンベアにした実施
例において、ウニノ・授受ユニット部を第４４図に、そ
のＥ−Ｅｉ＠！断面図を第４５図に示し、説明する。

中央部に、一方向に回転するコンベア２２０を設け、コ
ンベア２２０上にウェハを格納したカセットボックス２
２１を載せ搬送させる０カセツトボツクス２２１の中の
ウェハは１枚づつ棚に保持され、カセットボックス２２
１の前側にはカセットボックス扉２２７が設けてあり、
搬送中は閉じて密閉し、ウェハを取り出し又は格納する
時はカセットボックス扉２２７を開ける構成になってい
る。さらに、力・セットボックス２２１の上面番こは、
カセットボツクス２２１の通し番号を記号化してマーキ
ングする。

ウェハ授受ユニットの前には、カセットボックス２２１
の番号を識別するコードリーダ２２５を設置する。カセ
ットボックス２２１には、１枚又は複数枚同時に行き先
が同じウニノ・が入れられ、ウニノ１はクリーンな状態
で搬送される。コンベア２２０上に載せられたカセット
ボックス２２１が、ウェハ授受ユニットの所へ搬送され
てくると、コードリーダ２２３でカセットボックス２２
１の番号を読み取る。

この時、受け取るべきカセットボックス２２１であれば
、ロボット２２４で、このカセットボックス２２１をコ
ンベア２２０から取り出し、クリーンボックス２２５の
クリーンボックス扉２２６にセットする。

このセットさｎた状態で、ウニノ・の移載を行う。

この移載は、第３図、第４図で示したように、搬送車２
の搬送棚５がセットされた場合と同じようζこ、クリー
ンボックス２２１のクリーンボックス扉２２６がオープ
ンして、カセットボックス２２５のカセットボックスｎ
２２７がオープンし、移載ロボット２１で保管棚にウェ
ハをセットする。次に、処理が終了しているウェハの中
で、行き先が同じウェハを、そのカセットボックス２２
１にセットする。

このようにして、カセットボックス２２１内のウェハの
移し換えが終了すると、カセットボックス扉２２７とク
リーンボックスＪｊｉｉ　２２６　％閉めて、ロボット
２２４４こより、再びコンベア２２０上に戻され、次工
程へと搬送さｎる。

このようにして、次々と処理工程を進めていくことで、
一連のウェハ処理が終了する。

（５，５代替実施例５） 第４１図の搬送設備の構成で、中央搬送設備２００と側
部搬送設備２０１とのインターフェース部に、ステーシ
ョン２０２を用いた方式を説明したが、インターフェー
ス部を搬送レールで接続し、その接続部分に分岐装置を
設ける実施例を説明する。

中央搬送設備２００を走行している搬送車が、分岐袋′
＃Ｌ（図示せず）まで移動してくると側部搬送設備　２
０１側へ搬送車２が移動する場合、分岐装置がポイント
を震えると、搬送車２が側部搬送設備２０１側へ移動す
る。そして、側部搬送設備２０１側で必要な移動・搬送
作業を終了すると、再び分岐装置でポイントを変え、中
央搬送設備２００側へ移動する。以下同様にして、処理
が終了Ｔるまで繰り返す。

（５，６代替実施例６） 上記実施例では設備モジュール間のウェハの搬送は、車
輪をガイドされた軌道搬送車を用いた例を示したが、そ
れに対して無軌道搬送車を用いた実施例を次に説明する
。

本実施例では、第１図に示すような構成基こおいて、搬
送レールと搬送車の代わりに無軌道搬送車を設けるもの
である。この場合、搬送車は、任意の設備モジュールか
ら任意の設備モジュールへ最短距離でウェハを搬送する
ことが可能となる。そのため、搬送車は、通常は前記実
施例と同様に、順次設備モジュールを巡回しウェハを移
載、搬送しているが、次のような対応が可能となる。つ
まり、ある設備モジュールのウェハ授受ユニット内の保
管棚に保管しているウェハが、ある一定の仕掛り量より
少なくなると、ウェハ授受ユニットは、搬送車に対し、
その品種、工程のウニノ・を前の工程に対応する処理装
置のウェハ授受ユニットから搬送してくるように指示す
る。すると、搬送車が通常走行している搬送路から外れ
て、その処理装置の所まで走行し、その処理装置から要
求のあった処理装置に該当するウニノ・を搬送する０こ
のように必要に応じて処理装置から処理装置ヘウニノ・
を自由に搬送することができる。

また、無軌道搬送車を用いることにより、設備の増設や
プロセスの変更に伴うレイアウト変更に対して柔軟に対
応できる。

（５，７代替実施例７） 異なる処理装置で連続して処理する際、搬送車を介さず
番こ処理装置間でウニノ・を受け渡しできるような本発
明の一実施例を第４６図に示す。

′２台の処理装置の間でウニ／’ｔを受け渡すため、２
台の処理装置の間にウェハを両側から出し入れできる保
管棚２６０．ウニノ・に記載されているウェハナンバー
を読み取る識別装＠４０を設ける。また、それぞれの処
理装置６０ごとにウニノ・をノ・ンドリングする移載ロ
ボット２１を設ける。さらにこれらの装置は、ウェハを
取り巻く雰囲気を清浄に保つため、処理装置のローダ部
、アンローダ部と共にクリーンボックス２３１に納める
。そして、このクリーンボックス２３１は第２図と同様
に搬送車２との間でウェハを授受するため搬送棚５８セ
ツトできる構造になっている。

ウェハを２台の装置で連続して処理Ｔる場合、上記実施
例と同様の手順でウェハを搬送棚５→保管棚２３０→処
理装置６０ａ→識別装置４ｏ→保管棚２３０と移載して
いく。そして、次に処理装置６０ｂで処理するため、処
理装置６０ｂで処理の終了したウェハを移載ロボット２
１ｂで保管棚２５０から処理装置６０ｂへ移載する。処
理が終了すると、処理装置ｉｆｔ　６０ｂ→識別装置４
０→保管棚２５０へとウェハを移載する。こｎら所定の
処理の終了したウェハは、移載ロポツ）　２１ａで搬送
車へ移載され、次の工程へ搬送される。このように連続
する処理を２台の処理装置６０ａ、ｂで処理する場合に
は、２台の処理装置１１６０に共通な保管棚２３０と、
クリーンボックス２３１ヲ設けることにより、搬送車を
介さずに処理装［ｔｉ６０間でウェハを受け渡すことが
でき、搬送時間が短く、かつ、ハンドリング回数も少な
くなる効果がある。

（５，８代替実施例８） 実施例の第２図に示したように、ウェハを保管するため
の保管棚３０は、ウェハ授受ユニット２０ごとに設け、
分散させていたが、搬送設備の中央に集中保管する保管
棚を設ける実施例を説明する。

中央に置かれた保管棚の周囲に、各処理装置ヘウエハを
搬送し、処理装置で処理さｎたウェハを再び保管棚に戻
す搬送設備を設ける。

このようにウェハを集中させ保管することにより、任意
の品種及び工程間に対応した棚の仕掛り量をチェックす
ることができ、ウェハの進行状況、例えば、どの工程間
で遅れているか、品種間の割合が保たれつつ流れている
かを把握しやすく、管理が容易になる。

（５，９代替実施例９） 第４１図に示したように、中央搬送設備２００と９ａ＋
部搬送設備２０１にインターフェース部分にステーショ
ン２０２を設け、側部搬送設備２０１の回りにウェハ授
受ユニット２０と処理装置６０を組み合わせた設備モジ
ュール９０を配置させて・いる構成において、ウェハ授
受ユニット２０内に保管棚３０を設けず、ステーション
２０２の保管棚のみでウェハを保管し、処理を進めてい
〈実施例を説明する。

ウェハは中央搬送設置１ｆ２００の搬送車２カ）らステ
ーション２０２へ移載され、保管棚へ一時保管される。

そしてこのステーション２０２から、側部搬送設備２０
１の搬送車２へ載せられ、ウェハ授受ユニット２０の前
まで搬送される。そこで、移載ロボットは必要なウェハ
を搬送車２から取り出し、処理装置６０で処理されたら
ウェハを搬送車２＃こ載せる。

このとき、処理装置６０からウェハが出てくるタイミン
グや、処理装置６０ヘウエハを投入するタイミングに合
わせ、搬送車２を制御する。このようにすることで、ウ
ェハ授受ユニット２旧こは、ウェハを保管する保管棚３
０を設けず、中央搬送設備２００と側部搬送設備２０１
のインターフェース部分であるステーション２０２の保
管棚のみで、保管する方式が実現できる。これは、同種
処理装置ごとにステーション２０２設け、ウェハを保管
・管理すると効果的である。

このようにすることで、一つの保管棚から、複数の処理
装置にウェハを供給することができ、処理装置の選択が
柔軟に行える。

（５，１０代替実施例１０） 本発明の他の効果的な一実施例を説明する。

本実施例はウェハ授受ユニットに保管棚を設けず、搬送
手段に保管機能を持たせるものである。

以下、本実施例の動作を説明する。

処理装置はホストコントローラから着工指示を受ける。

そして、処理する準備ができると、搬送車に対し、ウェ
ハの投入を要求する。一方、搬送車は処理装置の要求に
応え、その処理装置のウェハ授受ユニットの前まで走行
し、搬送棚をウェハ授受ユニットにセットする。すると
、移載ロボットが搬送棚から処理装置のローダ部ヘウェ
ハを移載する〇− また、ウェハの処理を終了すると、搬送車に対し、ウェ
ハの引き取りを要求する。すると、搬送車は要求に応え
、その処理装置のウェハ授受ユニットの前まで走行し、
搬送棚をウェハ授受ユニットにセットする。一方、移載
ロボットは、処理の終わったウェハをアンローダ部から
取り出し、識別装置にセットする。識別装置ではウェハ
のウェハナンバーを確認する。そして、ウェハは搬送棚
に収納される。

このように、処理装置のタイミングに合わせてウェハを
搬送することにより、処理装置ごとにウェハを保管する
必要がなく、処理する際、自由にウェハを選択すること
ができる。また、処理装置が故障した際にもその処理装
置を生産システムから切り離すのみでよ（、保管棚のウ
ェハをもう一度別の処理装置番こ搬送したり、故障が直
るまで処理を持つといったことが必要でな（なる。

（５，１１代替実施例１１） 本発明の他の効果的な一実施例を説明する。

前記の代表実施例では、コントローラや処理装置のトラ
ブルに備え、ウェハにウェハナンバーを記載し、管理し
ていた。そして、処理が正しく行われたことを確認する
目的とウニノ・ナンバーが確実に読み取ｎることを確認
する目的で、処理後にウェハのウェハナンバーを識別し
ていた。ところが、処理装置により処理が間違いなく行
われ、処理によってウェハナンバーが消えることなく、
読み取れることが確かであれば、すべての処理後にウェ
ハナンバーを読み取る必要はない。

このような理由で、ウェハ識別を行わないことが可能な
らば、ウェハ授受ユニットに必ずしもウェハ識別装置を
設ける必要はない。そして、ウェハ授受ユニットが簡略
化できるとともにウニノ・の移載作業が削減できる効果
がある。

（５，１２）代替実施例１２） 先に、ウェハ授受ユニットに保管棚を設けず、搬送車番
こ保管機能を持たせる実施例と処理後に遂−ウェハ識別
を行わない実施例をそれぞれ示したが、これらの２つの
要素を組合せた実施例も可能となる。つまりウェハは移
載ロボットにより搬送車の搬送棚から直接処理装置へ投
入され、処理が終了すると、そのまま搬送棚に保管され
るものである。

このようにウェハ授受ユニットの機能を極力簡略化する
ことにより先ζこ述べた効果ｆこ加えて、処理済のウェ
ハを処理装置から直接搬送棚に移載できるため、搬送車
の待機時間が短くなる効果がある。

（５，１３代替実施例１５） 第１図に示した構成では、ウェハは搬送中には搬送棚の
中に入れて密閉し、ウェハ授受ユニットの保管棚に一時
保管したり移載する時は、クリーンボックスにより、ク
リーンな雰囲気に保つような搬送・保管に必要な領域だ
けをクリーンな雰囲気にして搬送していた方式であった
が、建屋全体をクリーンにする実施例でもよい。

建屋全体をクリーン化することで、ウェハの搬送する時
も、−時保管するときも、ウェハを裸のままにしておけ
るため、密閉する必要がなくなる。

そのため密閉状態からの出し入れ動作がなくなりウェハ
の管理、搬送・移載動作が容易になる。

（５、１４代替実施例１４） 本発明の他の効果的な一実施例を第４７図に示す。

処理装置６０に対するウェハの投入と処理装置６０から
のウェハの取り出しは、カセットツウカセット方式（Ｃ
−Ｃ方式）のものが多く見られる。よって本発明の一実
施例としてウェハを入れたカセットを処理装置に投入し
たり、取り出したりする実施例を述べる。

この場合、カセットに情報の書き込みや読みだしが可能
なＩＣカード２４２ヲ設け、カセット２４１内のウェハ
の品種と品種別の通し番号８ＩＣカード２４２に記憶さ
せる。

カセット授受ユニット２４０はカセット搬送車２４６と
処理装置６０との間で、カセット２４１を受ケ渡す機能
を持ち、次のような構成となっている。

カセット授受ユニット２４０はカセット２４０ヲ保管す
るカセット保管棚２４３．カセット２４１ヲハンドリン
グするカセット移載ロボット２４４．カセット２４１に
設けているＩＣカード２４２の情報を書き込み必要に応
じて読み取るデータ書き込み・読み取り装置２４５、及
びこれらの装置と処理装置６０のローダ部６１とアンロ
ーダ部６２を清浄な雰囲気基こ保つためのクリーンボッ
クス（図示せず）とにより構成されている。

そして、カセット搬送車２４６が設備モジュール間でカ
セット２４１を搬送する。

カセット２４１の授受け、ウェハの授受とほぼ同様の手
順で行われるが、以下、異なる部分のみを述べる。

処理装置６０はカセット保管棚２４５からローダ部６１
にセットさｎたカセット内のウェハを順次処理していく
。そして、処理が終了すると、予め、アンローダ部６２
にセットされたカセット２４１にウェハを収納していく
。１力セツト分の処理が終了すると、アンローダ部６２
のカセット２４１をデータ書き込み・読み取り装置２４
５にセットする。そして、ＩＣカード２４２に、新たに
収納したウェハのウェハナンバーを書き込む。また、空
になったローダ部６１のカセット２４１は、アンローダ
部６２に移載され、次のカセットのウェハを収納する。

このように、収納しているウェハのウェハナンバーをＩ
Ｃカード２４２に遂−書き込み、更新することにより、
カセット２４１による管理、搬送、投入が可能となる。

よって現状のカセット−カセット方式の処理装置に容易
に対応できる上、ウェハ８２５枚まとめて、移載するた
めロボットの移載動作が少なくなる効果がある。

（５、１５代替実施例１５） Ｗｃ１図に示した全体構成において、次のような前提を
設けることができれば、ウェハにウェハナンバー（品種
１品種別の通し番号）を記載せず、ウェハの進行を管理
することが可能となる。つまり、処理装置等によりウェ
ハの軌跡が正しく追跡でき、かつデータが消去しないよ
うに、バックアップ用のコントローラが設けられるなど
の手段でウェハの情報が確実に管理できれば、ウェハに
ウェハナンバーを記載して管理する必要はなくなる。

（５，１６代替実施例１６） ウェハにデータを持たせるために、第６図に示すように
、つ′エバナンバー（品種９品種ごとの通し番号）８最
初にウェハへ刻印するのみの方式に対して、任意の処理
が終了した時点でウェハ自身ζこその工程が終了したこ
とを示す記号を書き込む。

この方法をとより、ウェハ自身を識別することで、どの
工程まで終了しているのか確実に把握でき、ウェハ１枚
ごとに処理状態を追跡管理してソフト上のみで管理する
のではなく、実績によりデータ管理を行えるため、ウェ
ハの管理ミスがなくなる。

さらに、加工条件、結果等のデータを記号化して、付は
加えることにより、加工履歴と処理結果・状態も確認す
ることができる。

（５，１７代替実施例１７） 搬送棚上保管棚との間のウェハ移しかえは一般に同じ品
種・工程の複数枚のウェハについて連続して行う場合が
多い。この様な際に複数枚のウェハを一括して移し換え
を行うこと番こより移し換え時間を短縮できるクリッパ
ーの一実施例を第４８図〜第５１図に示し、説明する。

第４８図にウェハ吸着部２６１を５個備えたクリッパー
２６０を示す。ウェハ吸着部２６１は使用位置（図にイ
で示す）と待機位置（図に口で示す）とに切り換えるこ
七ができ、１ないし５枚の任意枚数のウェハを一括して
移しかえる。

ウェハ吸着部２６１が使用位置（こめる場合は爪２６２
が磁石２６３に吸着されることによりその位置を固定す
る。

第４９図Ｅこウェハを真空吸着する導管２６７の切り換
え機構を示す。導管２６７は軸２６４の片側のみ開口し
ており、待機位置口にあるウェハ吸着部２６１は真空路
を遮断されており、使用位置イにあるウェハ吸着部２６
１の吸引力を損なうことが無い。

第５０図、及び第５１図に切り換えるためのロボットア
ームの動作を示す。第５１図に示すようロボットの近く
に柱２６５を固定し、待機位置口にあるウェハ吸着部２
６１をロボットの軸２６４を基準として柱２６５より外
側ζこひっかけ、ロボットアーム２６６をロボットの軸
に近づく方向へ縮めることにより、ウェハ吸着部ツ６１
ヲ使用位置イ暑こ切り換えることができる。このときロ
ボットの高さを変えて柱２６５の先端の高さと切り換え
るべきウェハ吸着部の高さを合わせることにより１ない
し５個の任意の個数のウェハ吸着部を切り換えることが
できる。

＠５１図に示すように軸２６４がロボットの軸を基準と
して柱２６５の内側にある様にしてウェハ吸着部２６１
を柱２６５へひっかけロボットアーム２６６を図に矢印
まで示Ｔ方向に移動させることにより、ウェハ吸着部２
６１８待機位置ロヘ切り換えることができる。ウェハ搬
送時には柱２６５にウェハ吸着部２６１をひっかけない
様にロボットアームを上昇させて回転させる。

（５、１８代替実施例１８） ＷＪ１図に示した実施例では搬送レール１は中央部にト
ラック状のものが１本しか設けられでいないが、これを
複数本設けた実施例８第５２図、第５５図に示す。

これは第１図に示した搬送レール１ａに加えて、それと
平行にもう１本のトラック状の搬送レール１ｂを設け、
それぞれ数台の搬送車２を走行させるものである。そし
て、ウェハの搬送の緊急度に応じて搬送するウェハを分
担する。その際、搬送レール１に設ける搬送車２の台数
は、緊急度の高いウェハを搬送する搬送設備の方を少な
く設置する０ このようにするこ♂により、緊急度の高いウェハを他の
ウェハに影響を及ぼさず、即座に搬送することができ、
処理装置６０はウェハが搬送されてくるまで、待つとい
ったことがなくなる。

また、複数のトラック状の搬送レール１を設け、各搬送
レールを品種グループに対応させることζこより、それ
ぞれのレール１における搬送車２が停止するウェハ授受
ユニット２０ヲ限定することができる。

（５，１９代替実施例１９） 第４７図で示したカセット・トウ・カセット方式に対し
て工Ｃカードを用いず通常仕様されるカセット単位で搬
送し、カセット及び枚葉対応の処理装置で生産する実施
例を述べる。

この図のデータ書き込み・読み喉り装置２４５を取り除
いた構成において、搬送車２４６がカセットに収納した
ウェハを任意のカセット授受ユニット２４０の前まで搬
送してくると、搬送車２４６のカセット搬送棚から、カ
セット移載ロボットがカセットを取りだし、カセット保
管棚２４５にセットする。

この時、処理装置６０のローダ部６１がカセット対応の
場合は、カセットごとローダ部６１ヘカセット移載ロボ
ット２４４でセットし、カセット内のウェハを順次処理
装＠６０で処理する。処理が終了すると、予め、アンロ
ーダ部６２にセットされたカセットにウェハを収納し、
規定枚数に達して１力セツト分の処理が終了すると、ア
ンローダ部６２からカセット移載ロボット２４４で、カ
セット保管棚２４３にセットする。

また、ローダ部６１が枚葉対応の処理装置６０の場合、
カセット保管棚２４３にセットされたカセット内部から
ウェハを喉り出すために、カセット移載ロボット２４４
のグリッパを自動で、カセット用グリッパからウェハ用
グリッパに交換する。そして、ウェハをローダ部６１に
セットし、処理が終了すると、アンローダ部６２からカ
セット移載ロボット２４４のウェハ用グリッパでカセッ
ト保管棚２４３にセットされているカセット憂こ収納し
、規定枚数をこなるまで行う。搬送車２４６が来ると、
カセット移載ロボット２４４は、グリッパをカセット用
グリッパに交換し、搬送車２４６へ乗せ次工程へ搬送す
る。

このようにすることで、現状のカセットが使用出来る効
果がある。

〔発明の効果〕

ラインの構造としては、ウェハを載せトラック状の搬送
レールで処理設備間を搬送する搬送車と、搬送車と処理
装置間で、ウェハ移載を行なう移載ロボット、ウェハを
１枚づつ品種グループ、工程ごとに一時保管する保管棚
、ウェハのウェハナンバーを識別する識別装置により構
成されるウェハ授受ユニットにより、ウェハ１枚づつの
管理が可能になり、多品種同時生産が行え、保管棚のウ
ェハの仕掛り管理によりウェハの流れのコントロールが
でき、かつ、処理装置の稼働率を上げることができる。

また、仕掛り量を減らし、短納期で要求にあった生産が
できる効果がある。

ウェハ自体にウェハナンバーを記載し、処理装置から出
て来たウェハを識別装置で識別することで、ウェハ１枚
ごとの進行を確認することができるため、ウェハの進行
管理が容易に行え、多品種のウェハを要求に合った順序
で生産することができる。

処理装置の構成において、処理装置をハード的に数工程
分接続し、一貫処理装置にすることにより、投入と処理
終了の管理データ量が少なくなるので制御量が減る。ま
た、処理装置の搬送工程数が減るので、搬送距離１回数
が減り生産期間が短くなる効果が出る。

ウェハ１枚ごとに品種グループ、工程ご七に処理装置に
投入すべきウェハを保管する保管棚により、要求にあっ
たウェハの投入ができるので、処理装置の稼働率を上げ
ることができ、また、１枚単位で管理できる。識別装置
では、ウェハの実際の進行状況をリアルタイムに把握す
ることができるため、１完の短縮、仕掛り量削減を図っ
た生産ができる。

クリーン構成においては、搬送中は、搬送棚に入れて密
閉し、処理装置に投入または処理が終了して搬送車に載
せるために一時保管しているときはクリーンボックス内
部にいれておくことにより作業者とウェハの雰囲気を隔
離できるため歩留りが向上する。また、クリーン部分の
極小化を図ることができるためコストが削減し、メンテ
が容易になる。さらに、作業者の作業領域が確保できる
ため、処理装置の保全がしやすくなるという効果がある
。

搬送単位においては、搬送する時、及び処理装置へ投入
または処理されて出てきたウェハを搬送車に載せる時も
、１枚単位で保管することで、ウェハがどこにあるか常
に１枚単位で把握することできるため、実時間に忠実な
枚葉管理が行える。

また、多品種少量生産が容易に行える効果がある。

トラック状の軌道を巡回しながら、所定のウェハ授受ユ
ニットで搬送車に必要な時ζこウェハを載せ必要な時に
搬送車から降ろすことにより、トータルの搬送距離が少
なくなり、搬送車の制御が容易になる。

また、１枚単位でウェハを管理して、搬送を行うため、
品種変更に柔軟に対応できる効果がある。

ウェハの流れにおいては、工程順序が同類の品種をグル
ープ化し、保管棚に仕掛るウェハに対して品種グループ
、工程ごとに標準仕掛り量を算出して、この標準仕掛り
蓋に実際のウェハの仕掛り量値が一致するように、保管
棚から処理装置へ投入させ、かつ、搬送車で対象ウェハ
を次工程へ搬送することで、ウェハを流す順序を容易に
コントロールできるため、生産計画に忠実な生産ができ
る。また、ウェハ１枚ごとの流れのコントロールができ
るため、多品種、さらには、繰り返し工程が多く流れの
複雑な品種でも管理が容易番こ行え多品種同時生産がで
きる。また、工程間の進行を実時間でコントロールでき
るため、工程間のずれ量を見込んだ最小仕掛り量にする
ことができるため、仕掛り量削減ができる。

また、投入順序は、要求量に基づき、１枚単位の投入順
序を決定し、この順序を守るようにコントロールするこ
とで、要求した順序で生産ができるため、生産計画の手
直しかいらな（なり計画が容易に行え、コスト、品質、
納期を満足することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による多品種搬送装置の１実施例を示
す全体構成図、第２図は、第１図Ｏこおけるウェハ授受
ユニットの構成図、Ｗｃ６図は、第２図のＡ矢視図、第
４図は、第２図のＢ−Ｂ線断面図、第５図は、第２図の
Ｃ−Ｃ線断面図、第６図は、ウェハの構成図、第７図は
、保管棚の構成図、第８図は、保管棚のウェハ保持部の
詳細図１．！９図は、搬送車の構成を示す正面図、第１
０図は、搬送車の構成を示す側面図、第１１図は、投入
・取り出し装置の構成図、第１２図は、第１０図のＤ−
Ｄ線断面図、第１３図は、コントローラの構成図、第１
４図は、工程フローデータを示す１図、第１５図は、品
種グループ工程フローデータを示す図、第１６図は、品
種グループ別仕掛りデータを示す図、第１７図は、標準
仕掛りデータを示す図、第１８図は、装置別仕掛りデー
タを示す図、第１９図は、搬送車のデータを示す図、第
２０図は、保管棚のデータを示す図、第２１図は、搬送
棚のデータを示す図、第２２図は、レシピデータを示す
図、第２３図は、識別装置のデータ処理フローチャート
、第２４図６）、（ｂ）は、搬送棚、保管棚間のウェハ
移載時のコントローラ間通信手順を示すフローチャート
、第２５図は、保管棚。 処理装置間のウェハ移載時のコントローラ間通信手順を
示すフローチャート、第２６図は、処理装置。 識別装置、保管棚間のウェハ移載時のコントローラ間通
信手順を示す７０−チャート、第２７図は、投入計画の
フローチャート、第２８図は、平準化負荷グラフを示す
図、第２９図は、投入順序決定用語の定義表を示す図、
第３０図は、例題の標準日程要求量を示す図、第３１図
は、例題の平準化負荷グラフを示す図、第６２図は、例
題の平準化要求量を示す図、ｗｃ５５図は、例題の品種
グループ別投入順序を示す図、第５４図は、例題の平準
化前の要求量を示す図、第３５図は、例題の平準化後の
要求量を示す図、第３６図は、例題の品種別投入順序を
示す図、８ｇ５７図は、進行制御方式の概念を示す図、
第６８図は、ウェハの流ｎを示す概略図、第３９図は、
ウェハの流れのフローチャート、４４０図（ａ）、（ｂ
）及び（Ｃ）は、装置の動作フローチャート、第４１図
は、代替実施例１の全体構成図、第４２図は、代替実施
例３の全体構成図、ｊＪ！４５図は、代替実施例３の管
理方式概念図、第４４図は、代替実施例４のウェハ授受
ユニット構成図、第４５図は、代替実施例４であるＷ、
４４図のＥ−Ｅ線断面図、第４６図は、代替実施例７の
ウェハ授受ユニット構成図、第４７図は、代替実施例１
４のカセット授受ユニット構成図、第４８図は、代替実
施例１７のグリッパ構成図、第４９図は、代替実施例１
７の導管の切り換え機構を示す図、第５０図及び第５１
図は、代替実施例１７の移載ロボット動作説明図、第５
２図は、代替実施例１８の全体構成図、第５５図は、代
替実施例１８のウェハ授受ユニットの構成図である。 １・・・搬送レール　　　２・・・搬送車３・・・昇降
装置　　　　４・・・昇降ヘッド５・・・搬送棚　　　
　　６・・・ガイド車輪７・・・駆動装置　　　　８・
・・上下動駆動装置９・・・上下ガイド　　　１０・・
・前後動駆動装置１１・・・前後動ガイド　　１２・・
・搬送棚界２０・・・ウェハ授受ユニット ２１・・・移載ロボット　　２２・・・グリッパ−２５
・・・前腕　　　　　　２４・・・上腕２５・・・上下
軸　　　　　３０・・・保管棚３１・・・保持部　　　
　　４０・・・識別装置５０・・・クリーンボックス ６０・・・処理装置６１・・・ローダ部６２・・・アン
ローｆ　部７０・・・ウェハ８０・・・投入・取り出し
装置 ８１・・・移載ロボット８２・・・保管棚８３・・・ク
リーンボックス ９０・・・設備モジュール　１００・・・走行車１０１
・・・搬送棚　　　　１０２・・・移載装置１０３・・
・アーム １１０・・・ホストコントローラ １１１・・・識別装置コントローラ １１２・・・ロボットコントローラ ・・・ウニ八授受ユニットコントローラ・・・処理装置
コントローラ ・・・搬送車コントローラ ・・・投入・取り出し装置コントローラ・・・通信ケー
ブル 什御人 ４＝石ｔｌＬ 〒４図 ４６図 １ｊ ４７図 〒ａ図 ｉ○図 Ｕ 閉１２図 閑１０図 第１５図 沿１４図 デ１５図 〒１６図 消１７図 イ２０図 ４２１図 知１υ図 ４１１図 〒２２図 角”１２４ｆｆｉ（ｂン 〒２田図 雫２６図 側 図 宅 図 日　イす　〔日〕 ウ イ巨Ｙ ＠３２図 ツ ノ 第３７図 第３８図 瓢４０図 （Ｃ） 第 図 第４８図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、複数の種類のワークを処理する複数の処理手段と、
   複数の種類のワークを搬送する搬送手段と、前記搬送手
   段と前記処理手段間でワークを授受する移載手段より成
   り、前記搬送手段が、前記複数の処理手段間で多種類の
   ワークを同時に搬送し、前記移載手段の所定の位置に停
   止し、前記移載手段が、前記搬送手段との間で所望の種
   類のワークを認識して授受することを特徴とする多品種
   搬送方法。 ２、多種類のワークを同時に搭載して複数の処理手段間
   を走行し、該処理手段に対応づけて設けたワークの移載
   手段の所定の位置に停止する搬送手段と、前記搬送手段
   との間で所望の種類のワークを認識して授受する移載手
   段と、により構成されることを特徴とする多品種搬送装
   置。 ３、複数の種類のワークを処理する処理手段の間でワー
   クを搬送する搬送システムにおいて、移動元と移動先と
   を示された移動指示に基づいて移動させたワークの物理
   的位置を確認するトラッキング手段と、任意の移載手段
   の所で所望のワークを移載している間停止し、多品種の
   ワークを同時に搬送する搬送手段と、前記搬送手段間、
   搬送手段と処理手段間及び処理手段間で、必要に応じて
   ワークを保管し、ワークの受け渡しをする移載手段とに
   より構成されることを特徴とする多品種搬送装置。 ４、多品種のワークを同時に搬送する搬送システムにお
   いて、ワークを処理する処理手段と、処理手段間で、ワ
   ークの進行順序、及び進行速度を制御する保管手段と、
   保管手段間を搬送する搬送手段と、搬送手段、保管手段
   間、保管手段処理手段間の移載を行う移載手段と、移動
   元と移動先とを示された移動指示に基づいて移動させた
   ワークの物理的位置を確認するトラッキング手段を有す
   ることを特徴とする多品種搬送装置。 ５．多品種のワークを同時に生産する生産システムにお
   いて、ワークを処理する処理手段に複数種のワークを投
   入する移載手段と、移載手段に複数種のワークを他の移
   載手段から供給する搬送手段とにより、ある種のワーク
   を処理することを指示された処理手段が指示に従い多種
   類のワークを処理することを特徴とする多品種搬送方法
   。 ６、搬送手段として、多種類のワークをその種類とは関
   係なく搭載し、搭載しているワークの種類を記憶する搬
   送手段を用いることを特徴とする請求項２ないし４いず
   れかに記載の多品種搬送装置。 ７、搬送手段として、ワークを搭載した搭載手段が閉ル
   ープの軌道上を走行する搬送手段を用いることを特徴と
   する請求項２ないし４いずれかに記載の多品種搬送装置
   。 ８、搬送手段として、天井に設けられた格子状の軌道に
   沿つて走行するワークの搭載手段とにより構成された搬
   送手段を用いることを特徴とする請求項２ないし４いず
   れかに記載の多品種搬送装置。 ９、搬送手段として、必要に応じて特定の軌道外で搬送
   作業を行う搬送手段を設けたことを特徴とする請求項２
   ないし４いずれかに記載の多品種搬送装置。 １０、搬送手段に、ワークを保管する機能を設けてワー
   クの進行順序及び進行速度を制御することを特徴とする
   請求項２ないし４いずれかに記載の多品種搬送装置。 １１、搬送手段において、ワークを搭載している搭載手
   段が、搭載しているワークにより、走行する軌道を任意
   に選択する搬送手段を用いることを特徴とする請求項２
   ないし４いずれかに記載の多品種搬送装置。 １２、ワークを搭載して閉ループの軌道上を走行する搬
   送手段において、ワークを保管する機能とワークを移載
   する機能を備えた搬送手段を用いることを特徴とする請
   求項７記載の多品種搬送装置。 １３、ワークの授受方法が異なる処理手段を備えた生産
   システムにおいて、特定の搬送手段と個々の処理手段と
   の間でワークを受け渡す移載手段を用いたことを特徴と
   する請求項２ないし４いずれかに記載の多品種搬送装置
   。 １４、全ての処理手段に設けられた移載手段において、
   ワークを保管する機能を設けてワークの進行順序及び進
   行速度を制御することを特徴とする請求項２ないし４い
   ずれかに記載の多品種搬送装置。 １５、搬送手段において、ワークを保持して清浄な雰囲
   気で密閉し、かつ移載手段において、ワークの接触する
   空間に対して清浄な雰囲気を常に供給することにより清
   浄な雰囲気を最小におさえることを特徴とする請求項２
   ないし４いずれかに記載の多品種搬送装置。 １６、ワークをその治具に収納して搬送する生産システ
   ムにおいて、移載手段がワークを治具に収納したまま、
   処理手段に受け渡すことを特徴とする請求項２ないし４
   いずれかに記載の多品種搬送装置。 １７、移載手段において、複数のワークを同時に授受す
   ることを特徴とする請求項２ないし４いずれかに記載の
   多品種搬送方法。 １８、トラッキング手段において、個々のワークにワー
   クの識別コードを記載し、その識別コードで個々のワー
   クを認識することを特徴とする請求項３または４記載の
   多品種搬送装置。 １９、トラッキング手段において、処理手段、搬送手段
   、及び授受手段による個々のトラッキングを総合するこ
   とによりワークのトラッキングを行うことを特徴とする
   請求項５または４記載の多品種搬送装置。 ２０、トラッキング手段において、ワークの通過するあ
   る地点でワークがその地点を通過したことを示す識別コ
   ードをワークに記載し、それを識別することにより、ワ
   ークのトラッキングを行うことを特徴とする請求項５ま
   たは４記載の多品種搬送方法。 ２１、複数の種類のウェハを処理する複数の処理装置と
   、ウェハを載せ、トラック状の搬送レールで処理設備間
   を搬送する搬送車と、該搬送車と前記処理装置間で、ウ
   ェハの移載を行なう移載装置と、ウェハを１枚づつ品種
   グループ、工程ごとに一時保管する保管棚と、ウェハの
   ウェハナンバーを識別する識別装置とを有し、かつ、前
   記移載装置と保管棚と識別装置とを各処理装置に対応し
   てウェハ授受のためのユニット構成としたことを特徴と
   する多品種搬送装置。 ２２、前記ウェハ授受のためのユニットは、異なる処理
   装置間で統一された共通インタフェースユニットとして
   構成されることを特徴とする請求項２１記載の多品種搬
   送装置。 ２３、前記ウェハ授受のためのユニットは、前記搬送車
   と前記処理装置との間でウェハを受け渡す時にウェハに
   接する雰囲気を他の雰囲気と分離し、高い清浄度を保つ
   ように構成されることを特徴とする請求項２１記載の多
   品種搬送装置。 ２４、前記保管棚に対応して品種別の工程順序と処理条
   件を記憶する手段と、複数の保管棚を接続する通信ネッ
   トワークと、各処理装置の稼働状態と仕掛り量及び処理
   の終用したウェハ数、並びに次工程の状態を前記記憶手
   段と通信ネットワークにより把握し、各保管棚で処理す
   べきウェハを決定する制御を行う制御手段とを有する請
   求項２１記載の多品種搬送装置。 ２５、前記移載装置は、前記搬送車と保管棚との間でウ
   ェハを移載する手段と、前記保管棚と処理装置との間で
   ウェハを移載する手段とを有することを特徴とする請求
   項２１記載の多品種搬送装置。 ２６、ウェハを投入し、投入されたウェハを搬送車によ
   つて最初の工程に対応した処理装置の所まで搬送して保
   管棚に一時保管し、ウェハの処理装置からの投入要求に
   より処理装置に投入して処理し、処理終了後、品種等の
   データを持つたウェハナンバーを識別装置で識別して保
   管棚に一時保管し、しかる後、搬送車によつて搬送し、
   一連の処理が終了したかチェックし、終了でない場合、
   次の工程に搬送し、一連の処理が終了するまで繰り返し
   、終了すると搬出することを特徴とする多品種搬送方法
   。 ２７、ある半導体製造装置から他の半導体製造装置へ、
   １枚または複数枚のウェハを搬送する時に、ウェハを保
   持するための機構を持つたウェハ保持装置と、該ウェハ
   保持装置をカセット授受装置から受け取り、１個または
   複数個のカセットを搬送して、目的のカセット授受装置
   へ引き渡す機能を持つた搬送車と、該搬送車より引き渡
   される前記ウェハ保持装置を受け取り、該保持装置に収
   納されているウェハをクリーンボックス内から取り出し
   たり、クリーンボックス内から前記保持装置にウェハを
   納めることができる状態にし、また、前記搬送車に搬送
   用のカセットを引き渡すカセット授受装置と、前記保持
   装置とウェハ保管棚との間でウェハを移載する第１のウ
   ェハ移載装置と、半導体製造装置毎に設けられ、ウェハ
   を１枚ずつ保管し、保管する場所を記憶して、かつ、任
   意の保管棚から取り出せるウェハ保管棚と、各々の半導
   体製造装置のカセット装填位置とその向きに対応して、
   ウェハをウェハ保管棚と半導体製造装置の間で移載する
   半導体製造装置別の第２のウェハ移載装置と、前記搬送
   車と半導体製造装置との間でウェハを受け渡す時にウェ
   ハに接する雰囲気を他の雰囲気と分離し、高い清浄度を
   保つため、ウェハの受け渡しに関する装置を、搬送車が
   ウェハを受け渡しできる機構を備えた仕切りで、雰囲気
   を遮断し、上面に送風用のファンと除塵用のフィルタを
   備えたクリーンボックスと、ウェハに記載された識別コ
   ードを読み取る装置と、ウェハ保管棚に品種別の工程フ
   ローと処理条件を記憶させ、全てのウェハ保管棚を情報
   ネットワークで接続し、当該装置の稼働状態と仕掛り量
   、及び処理の終了したウェハ数、また次にウェハを処理
   する半導体製造装置の稼働状態と仕掛り量を基に、当該
   保管棚で処理するウェハを決定する制御装置とを具備す
   ることを特徴とする多品種搬送システム。