JPH03154751A - 多品種搬送方法及び装置 - Google Patents
多品種搬送方法及び装置Info
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- JPH03154751A JPH03154751A JP1288867A JP28886789A JPH03154751A JP H03154751 A JPH03154751 A JP H03154751A JP 1288867 A JP1288867 A JP 1288867A JP 28886789 A JP28886789 A JP 28886789A JP H03154751 A JPH03154751 A JP H03154751A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体等の製造システムに係り、特に、フレ
キシブルな多品種生産ラインに好適な搬送システムを実
現するための、搬送設備構成、処理装置構成及びこれら
のコントロールにより、被加工物の流れをコントロール
する多品種搬送方法及び装置に関する。
キシブルな多品種生産ラインに好適な搬送システムを実
現するための、搬送設備構成、処理装置構成及びこれら
のコントロールにより、被加工物の流れをコントロール
する多品種搬送方法及び装置に関する。
従来、半導体製造工場の製造ラインは特開昭56−19
635号公報等に見られるように、ウェハを処理、搬送
及び保管するための処理装置等を設置している清浄な雰
囲気を必要とする作業エリアと付帯設備やユーティリテ
ィを設置している高い清浄度を必要としない保全エリア
に分離されいた。そのため、これらを効率的に配置する
ため、中央通路の左右に作業エリアと保全エリアを交互
に設けたペイ方式と呼ばれる構造をとっていた。
635号公報等に見られるように、ウェハを処理、搬送
及び保管するための処理装置等を設置している清浄な雰
囲気を必要とする作業エリアと付帯設備やユーティリテ
ィを設置している高い清浄度を必要としない保全エリア
に分離されいた。そのため、これらを効率的に配置する
ため、中央通路の左右に作業エリアと保全エリアを交互
に設けたペイ方式と呼ばれる構造をとっていた。
そして処理装置の配置は、このペイ方式において。
1ベイ内に同種の処理装置を配置した、いわゆるジョブ
ショップ方式であった。
ショップ方式であった。
また、ウェハの搬送は、例えば、特開昭63−2992
3号公報に見られるようにウェハをカセット(キャリア
と称することもある)に入れ、そのカセットをカセット
ケースに収納して行っていた。
3号公報に見られるようにウェハをカセット(キャリア
と称することもある)に入れ、そのカセットをカセット
ケースに収納して行っていた。
そして、ペイ方式では、処理装置間でのウェハの搬送は
、ペイ内搬送とペイ間搬送とにより成り立ち、その接続
点であるペイの出入口にカセットを収納するストッカを
設けていた。つまり、ペイ内搬送は、ペイの入口に設け
られたカセットのストッカから処理装置にカセットを搬
送するものであり、ペイ間搬送は各ペイのストッカから
他のペイのストッカへカセットを搬送するものである。
、ペイ内搬送とペイ間搬送とにより成り立ち、その接続
点であるペイの出入口にカセットを収納するストッカを
設けていた。つまり、ペイ内搬送は、ペイの入口に設け
られたカセットのストッカから処理装置にカセットを搬
送するものであり、ペイ間搬送は各ペイのストッカから
他のペイのストッカへカセットを搬送するものである。
そのため、一般に処理装置から処理装置へのウェハの搬
送はペイ内の搬送車→ストッカ→ベイ間の搬送車→スト
ッカーベイ内の搬送車というような経路で行われていた
。
送はペイ内の搬送車→ストッカ→ベイ間の搬送車→スト
ッカーベイ内の搬送車というような経路で行われていた
。
そして、無軌道の搬送車としては、AGV (オートマ
チイック・ガイドディト・ビイ−クルAutoIlat
ic Guided Vehicle)と呼ばれる
搬送車があり、数カセットを混載して低速で搬送してい
た。また、軌道式の搬送車としては例えば、特開昭62
−185336号公報に見られるように。
チイック・ガイドディト・ビイ−クルAutoIlat
ic Guided Vehicle)と呼ばれる
搬送車があり、数カセットを混載して低速で搬送してい
た。また、軌道式の搬送車としては例えば、特開昭62
−185336号公報に見られるように。
カセットを数個載せて搬送するものがあった。
そして、ウェハの処理装置への投入は、特開昭62−4
8038号公報に開示されているように自走式ロボット
が1個のカセットをハンドリングして行っていた。つま
り、ウェハを処理するときは自走式ロボットがストッカ
からカセットを取り出し、処理装置の前まで自走し処理
装置のローダ部にカセットをセットしてウェハを投入し
ていた。
8038号公報に開示されているように自走式ロボット
が1個のカセットをハンドリングして行っていた。つま
り、ウェハを処理するときは自走式ロボットがストッカ
からカセットを取り出し、処理装置の前まで自走し処理
装置のローダ部にカセットをセットしてウェハを投入し
ていた。
またカセットに収納していたウェハが全て処理を終了し
た場合は、自走式ロボットが処理装置の前まで自走し、
アンローダ部からカセットを取り出し、ストッカまで自
走して、ストッカにカセットを保管していた。
た場合は、自走式ロボットが処理装置の前まで自走し、
アンローダ部からカセットを取り出し、ストッカまで自
走して、ストッカにカセットを保管していた。
また、クリーン化に関しては、−mには付帯設備やユー
ティリティ関係を設置している保全エリアと処理装置の
設置している作業エリアを中央通路の左右にそれぞれ交
互に設けている。さらには、処理装置を自由にレイアウ
トできるように、付帯設備とユーティリティを1階に、
処理装置を2階に設置した例もある。また、もう一つの
動向としては特開昭60−143623号公報に開示さ
れているような部分的なりリーンルーム化をはかった方
式が提案されている。これは、クリーンエリアを最小に
おさえるため、処理装置にウェハを投入する時は、予め
処理装置に設けられたインターフェースにカセットの入
ったボックスをセットすることにより行われる。このよ
うにすることによリウエハは雰囲気を外と遮断してクリ
ーンな状態で受は渡される。
ティリティ関係を設置している保全エリアと処理装置の
設置している作業エリアを中央通路の左右にそれぞれ交
互に設けている。さらには、処理装置を自由にレイアウ
トできるように、付帯設備とユーティリティを1階に、
処理装置を2階に設置した例もある。また、もう一つの
動向としては特開昭60−143623号公報に開示さ
れているような部分的なりリーンルーム化をはかった方
式が提案されている。これは、クリーンエリアを最小に
おさえるため、処理装置にウェハを投入する時は、予め
処理装置に設けられたインターフェースにカセットの入
ったボックスをセットすることにより行われる。このよ
うにすることによリウエハは雰囲気を外と遮断してクリ
ーンな状態で受は渡される。
ところが、従来の生産方式では次のような多くの課題が
あった。
あった。
まず、半導体プロセスは工程数が多く同じ工程の繰り返
しが多いため、従来のようなペイ方式ではペイ間の搬送
経路が複雑になり、搬送に時間を費やすことになる。ま
た、前の工程の装置や後の工程の装置が状態が分からな
いため、装置間の同期が取りにくくなる。そのため、各
ペイで仕掛り量が増え、その結果として工完が長くなる
。また仮に製造ラインをフローショップ方式にしたとし
ても1品種ごとに工程フローが異なるため、多品種生産
には対応できない、その上、半導体プロセスは工程の変
更が多く1品種も頻繁に切り換わるため、レイアウトを
頻繁に変更しなければならないことが考えられる。
しが多いため、従来のようなペイ方式ではペイ間の搬送
経路が複雑になり、搬送に時間を費やすことになる。ま
た、前の工程の装置や後の工程の装置が状態が分からな
いため、装置間の同期が取りにくくなる。そのため、各
ペイで仕掛り量が増え、その結果として工完が長くなる
。また仮に製造ラインをフローショップ方式にしたとし
ても1品種ごとに工程フローが異なるため、多品種生産
には対応できない、その上、半導体プロセスは工程の変
更が多く1品種も頻繁に切り換わるため、レイアウトを
頻繁に変更しなければならないことが考えられる。
また、処理装置に対するウェハの投入は、1ベイ内に配
置している処理装置に対して同一の自走式ロボットでウ
ェハを投入しなければならない。
置している処理装置に対して同一の自走式ロボットでウ
ェハを投入しなければならない。
ところが現状の半導体製造装置は、カセットを装填する
位置の高さ、奥行及びカセットの向きが処理装置ごとに
異なるため、1ベイ内には、そのペイ内を走行している
自走式ロボットがカセットを装填できる処理装置しか設
置できず、処理装置の選定、レイアウトに大きな制約を
受ける。また、新規に処理装置を導入した場合、自走式
ロボットの制約上利用できなくなる可能性がある。
位置の高さ、奥行及びカセットの向きが処理装置ごとに
異なるため、1ベイ内には、そのペイ内を走行している
自走式ロボットがカセットを装填できる処理装置しか設
置できず、処理装置の選定、レイアウトに大きな制約を
受ける。また、新規に処理装置を導入した場合、自走式
ロボットの制約上利用できなくなる可能性がある。
また、処理装置とカセットを保管するストッカが位置的
に離れるため、処理装置にカセットを投入するのにある
程度1時間を要する。また自走式ロボットが、数台の処
理装置に付き1台しかないため同時に複数の処理位置に
カセットを投入できない、よって、これらの要因により
処理装置の稼働率が低く抑えられる。
に離れるため、処理装置にカセットを投入するのにある
程度1時間を要する。また自走式ロボットが、数台の処
理装置に付き1台しかないため同時に複数の処理位置に
カセットを投入できない、よって、これらの要因により
処理装置の稼働率が低く抑えられる。
また、クリーン化に関しては、ペイ方式などのフロア全
体を高い清浄に保つ方式では、クリーン化しなければな
らない空間が広いので高い清浄度を維持するには、巨額
の投資を必要とし、運用コストも非常に高いものになる
。その上、ウェハと作業者が雰囲気的に分離されていな
いので、クリーンルーム内を高い清浄度に保つことは非
常に困難である。
体を高い清浄に保つ方式では、クリーン化しなければな
らない空間が広いので高い清浄度を維持するには、巨額
の投資を必要とし、運用コストも非常に高いものになる
。その上、ウェハと作業者が雰囲気的に分離されていな
いので、クリーンルーム内を高い清浄度に保つことは非
常に困難である。
一方、インタフェースにカセットボックスをセットする
方式ではウェハはカセット内に収められ密閉されている
ので、1枚ずつの取り扱いが困難である。その上ウェハ
を取り巻く雰囲気は静止しているため、−度塵埃が発生
すると取り除かれず。
方式ではウェハはカセット内に収められ密閉されている
ので、1枚ずつの取り扱いが困難である。その上ウェハ
を取り巻く雰囲気は静止しているため、−度塵埃が発生
すると取り除かれず。
そのままウェハに付着する可能性がある。
また、半導体は、ASICに代表されるように、多品種
の製品がそれぞれ少量求められている。また、将来的に
もこの多品種少量生産の傾向は強まることが考えられる
。そのため、ロットサイズが小さくなり25枚入りのカ
セットに十数枚しかウェハを収納しなくなることが考え
られる。また、品種によってもロットサイズが異なって
きている。
の製品がそれぞれ少量求められている。また、将来的に
もこの多品種少量生産の傾向は強まることが考えられる
。そのため、ロットサイズが小さくなり25枚入りのカ
セットに十数枚しかウェハを収納しなくなることが考え
られる。また、品種によってもロットサイズが異なって
きている。
そのため、従来と比較して同じ生産量にもかかわらず、
搬送しなければならないカセットの数が増え、従来より
高い搬送能力が必要となる。
搬送しなければならないカセットの数が増え、従来より
高い搬送能力が必要となる。
さらには、半導体ウェハは、従来より、ウェハ径が4イ
ンチから5インチ、さらには、6インチと大口径化の一
途をたどっている。また将来的には8インチへと移行す
る傾向にある。そのため。
ンチから5インチ、さらには、6インチと大口径化の一
途をたどっている。また将来的には8インチへと移行す
る傾向にある。そのため。
ウェハをカセット単位で搬送することが困難になること
が考えられる。
が考えられる。
また、処理装置については、ウェハを1枚ずつ処理する
枚葉処理が主流と成ってきている。
枚葉処理が主流と成ってきている。
このように、多品種少量生産とウェハの大口径化及び、
枚葉処理装置化の傾向が増々はげしくなることが予測さ
れ、このような状況の下ではウェハを25枚程度まとめ
てカセット単位で管理することは、多品種少量生産にお
ける最適ロットサイズ。
枚葉処理装置化の傾向が増々はげしくなることが予測さ
れ、このような状況の下ではウェハを25枚程度まとめ
てカセット単位で管理することは、多品種少量生産にお
ける最適ロットサイズ。
カセットの重量化の点から見ても非常に困難になる。
本発明の目的は、複数の種類のワークの同時搬送が行え
、夫々の種類のワークに応じた処理を行える多品種搬送
方法及び装置を提供するにある。
、夫々の種類のワークに応じた処理を行える多品種搬送
方法及び装置を提供するにある。
本発明の他の目的は、ワークの1つ1つを管理すること
ができる多品種搬送方法及び装置を提供するにある。
ができる多品種搬送方法及び装置を提供するにある。
本発明のさらに他の目的は、部分的なりリーン化が可能
な多品種搬送方法及び装置を提供するにある。
な多品種搬送方法及び装置を提供するにある。
さらに他の本発明の目的は、搬送部と処理部との間のイ
ンタフェースを共通化し、種々の処理の変更に対応可能
な多品種搬送方法及び装置を提供するにある。
ンタフェースを共通化し、種々の処理の変更に対応可能
な多品種搬送方法及び装置を提供するにある。
さらに、他の本発明の目的は、ワークの流れをコントロ
ールでき、かつ、処理部の稼働率を上げることのできる
多品種搬送方法及び装置を提供するにある。
ールでき、かつ、処理部の稼働率を上げることのできる
多品種搬送方法及び装置を提供するにある。
このため、本発明は、複数の種類のワークを処理する複
数の処理手段と、複数の種類のワークを搬送する搬送手
段と、前記搬送手段と前記処理手段間でワークを授受す
る移載手段より成り、前記搬送手段が、前記複数の処理
手段間で多種類のワークを同時に搬送し、前記移載手段
の所定の位置にワークがきたときに、前記移載手段が、
前記搬送手段との間で所望の種類のワークを認識して授
受する多品種搬送方法を実現するものである。
数の処理手段と、複数の種類のワークを搬送する搬送手
段と、前記搬送手段と前記処理手段間でワークを授受す
る移載手段より成り、前記搬送手段が、前記複数の処理
手段間で多種類のワークを同時に搬送し、前記移載手段
の所定の位置にワークがきたときに、前記移載手段が、
前記搬送手段との間で所望の種類のワークを認識して授
受する多品種搬送方法を実現するものである。
また、多種類のワークを同時に搭載して複数の処理手段
間を走行し、該処理手段に対応づけて設けたワークの移
載手段の所定の位置に搬送する搬送手段と、前記搬送手
段との間で所望の種類のワークを認識して授受する移載
手段と、により構成される多品種搬送装置を実現するも
のである。
間を走行し、該処理手段に対応づけて設けたワークの移
載手段の所定の位置に搬送する搬送手段と、前記搬送手
段との間で所望の種類のワークを認識して授受する移載
手段と、により構成される多品種搬送装置を実現するも
のである。
この点をさらに詳述すると、以下のようである。
まず半導体プロセスの中で続けて処理することの多い工
程(例えばレジスト塗布→露光→現像。
程(例えばレジスト塗布→露光→現像。
洗浄→拡散)の処理装置を対象に処理装置間にウェハを
第1の処理装置から第2の処理装置へ移載する装rrL
(例えば、移載ロボット)を設置し、処理装置の一貫化
を図り(以下、このようにつないだ装置も一貫処理装置
と称する)、フローショップ化する。そしてこの一貫処
理装置を半導体製造プロセスの大きな流れに沿って(例
えば、成膜→ホト→エッチ→成膜→・・・)トラック状
の搬送路の回りに配置する。また、ラインバランス上、
同種の一貫処理装置が複数台必要な場合には、処理装置
の運用を効率的に行うため、同種の一貫処理装置を1カ
所に集めて配置する。そして、各−頁処理装置に、ウェ
ハを保管する機能と搬送車と処理装置との間でウェハを
受は渡す機能を有する装置を備える。つまり、各−頁処
理装置に、そのウェハ装填方法に対応した移載ロボット
と搬送車の搬送してきたウェハ1枚ずつ管理、保管する
保管棚を設けた装置を設ける。
第1の処理装置から第2の処理装置へ移載する装rrL
(例えば、移載ロボット)を設置し、処理装置の一貫化
を図り(以下、このようにつないだ装置も一貫処理装置
と称する)、フローショップ化する。そしてこの一貫処
理装置を半導体製造プロセスの大きな流れに沿って(例
えば、成膜→ホト→エッチ→成膜→・・・)トラック状
の搬送路の回りに配置する。また、ラインバランス上、
同種の一貫処理装置が複数台必要な場合には、処理装置
の運用を効率的に行うため、同種の一貫処理装置を1カ
所に集めて配置する。そして、各−頁処理装置に、ウェ
ハを保管する機能と搬送車と処理装置との間でウェハを
受は渡す機能を有する装置を備える。つまり、各−頁処
理装置に、そのウェハ装填方法に対応した移載ロボット
と搬送車の搬送してきたウェハ1枚ずつ管理、保管する
保管棚を設けた装置を設ける。
そして、一貫処理装置間で搬送するものをウェハのみの
限定する。つまり、ウェハをカセットに入れ、それをカ
セットケースに収納して搬送するのではなく、搬送車の
一部にカセットと同様なウェハを保持する機構を取り付
け、ウェハのみを搬送する。そして棚ごとにウェハの有
無を確認するセンサを設け、各欄ごとに品種、加工履歴
を記憶する。また、搬送車はすべての一貫処理装置を巡
回して、一貫処理装置の前に到着すると処理を終了した
ウェハを載せ、さらに、その処理装置で処理するウェハ
を下す。
限定する。つまり、ウェハをカセットに入れ、それをカ
セットケースに収納して搬送するのではなく、搬送車の
一部にカセットと同様なウェハを保持する機構を取り付
け、ウェハのみを搬送する。そして棚ごとにウェハの有
無を確認するセンサを設け、各欄ごとに品種、加工履歴
を記憶する。また、搬送車はすべての一貫処理装置を巡
回して、一貫処理装置の前に到着すると処理を終了した
ウェハを載せ、さらに、その処理装置で処理するウェハ
を下す。
また、ウェハの管理は1枚ずつとする。そのため、ウェ
ハに1枚ずつ品種及び品種別の通し番号から成るウェハ
ナンバーを記載し、そのウェハナンバーで管理する。そ
して、ウェハの加工履歴は、コンピュータが管理し、全
体の進行制御に利用する。また、自動化に際しては、処
理装置が誤ってウェハを処理していないか、ウェハの欠
tfiがナイかを確認するため処理後にウェハのウェハ
ナンバーを識別する。
ハに1枚ずつ品種及び品種別の通し番号から成るウェハ
ナンバーを記載し、そのウェハナンバーで管理する。そ
して、ウェハの加工履歴は、コンピュータが管理し、全
体の進行制御に利用する。また、自動化に際しては、処
理装置が誤ってウェハを処理していないか、ウェハの欠
tfiがナイかを確認するため処理後にウェハのウェハ
ナンバーを識別する。
そして、クリーン化のため搬送中はウェハを収納した状
態で完全に密閉する。また、搬送車からウェハを処理装
置に投入するときはその雰囲気のみを高い清浄度に保つ
ため周囲と雰囲気を仕切り、移載ロボットと保管棚と処
理装置の一部のみをクリーン化する。そのクリーン化の
ために、上面にHEPAフィルタ等の除塵フィルタと送
風用のファンを設け、床面はグレーチング構造とし、垂
直な層流状態にする。
態で完全に密閉する。また、搬送車からウェハを処理装
置に投入するときはその雰囲気のみを高い清浄度に保つ
ため周囲と雰囲気を仕切り、移載ロボットと保管棚と処
理装置の一部のみをクリーン化する。そのクリーン化の
ために、上面にHEPAフィルタ等の除塵フィルタと送
風用のファンを設け、床面はグレーチング構造とし、垂
直な層流状態にする。
ラインの構造として、品種、工程順序が同類のものをま
とめてグループ化し、処理設備の前に、ウェハ1枚ずつ
品種グループ・工程ごとに、処理装置へ投入すべきウェ
ハまたは、処理装置から処理されて出てきてウェハを保
管する保管棚を設け、処理装置間をウェハを載せ搬送す
る搬送設備でつなぐことにより、保管棚からどの品種の
どの工程のウェハを処理装置に投入するか、また、処理
されたウェハのどのウェハを搬送するかにより、ウェハ
の流れをコントロールできる作用がある。これにより各
処理装置間で、流れの順序がコントロールでき、計画に
基づいたウェハの順序・量を保つように、その度、任意
のウェハを搬送させることで、あたかも品種ごとの専用
ラインであるかのように、ウェハを流すことができる。
とめてグループ化し、処理設備の前に、ウェハ1枚ずつ
品種グループ・工程ごとに、処理装置へ投入すべきウェ
ハまたは、処理装置から処理されて出てきてウェハを保
管する保管棚を設け、処理装置間をウェハを載せ搬送す
る搬送設備でつなぐことにより、保管棚からどの品種の
どの工程のウェハを処理装置に投入するか、また、処理
されたウェハのどのウェハを搬送するかにより、ウェハ
の流れをコントロールできる作用がある。これにより各
処理装置間で、流れの順序がコントロールでき、計画に
基づいたウェハの順序・量を保つように、その度、任意
のウェハを搬送させることで、あたかも品種ごとの専用
ラインであるかのように、ウェハを流すことができる。
ウェハ自体に対して、ウェハを処理する前に、ウェハの
品種と品種別の通し番号であるウェハナンバーを付ける
ことで、ウェハ1枚ごとの管理が行え、また、ra別装
置でウェハを識別することによりどのウェハかをウェハ
自体で確認することができる。これにより、投入したウ
ェハがどの工程まで進んでいるかをウェハ1枚重位で正
確に知ることができる。
品種と品種別の通し番号であるウェハナンバーを付ける
ことで、ウェハ1枚ごとの管理が行え、また、ra別装
置でウェハを識別することによりどのウェハかをウェハ
自体で確認することができる。これにより、投入したウ
ェハがどの工程まで進んでいるかをウェハ1枚重位で正
確に知ることができる。
処理装置においては、常に同じ工程を繰り返す工程経路
に対応したそれぞれの装置を数台連ねることで、投入す
ると数工程分処理されて出てくるため、管理する工程が
少なくなり、また、処理装置間のトータルの搬送距離、
搬送回数が少なくなる。
に対応したそれぞれの装置を数台連ねることで、投入す
ると数工程分処理されて出てくるため、管理する工程が
少なくなり、また、処理装置間のトータルの搬送距離、
搬送回数が少なくなる。
搬送設備と処理装置間のウェハ受は渡しでは、搬送設備
と処理装置間でつ;ハ移載する移載ロボットと処理装置
に投入、または、処理されたウェハを搬送車に載せるた
めに一時保管して品種グループ、工程ごとに管理する保
管棚、処理装置で処理されたウェハが、どのウェハなの
かを識別する識別装置を設け、これらをクリーンボック
スで囲んだウェハ授受ユニットにより、搬送車と処理装
置間のウェハの移載をクリーンな状態で行え、ウェハ1
枚ごとの進行を正確に把握することができ。
と処理装置間でつ;ハ移載する移載ロボットと処理装置
に投入、または、処理されたウェハを搬送車に載せるた
めに一時保管して品種グループ、工程ごとに管理する保
管棚、処理装置で処理されたウェハが、どのウェハなの
かを識別する識別装置を設け、これらをクリーンボック
スで囲んだウェハ授受ユニットにより、搬送車と処理装
置間のウェハの移載をクリーンな状態で行え、ウェハ1
枚ごとの進行を正確に把握することができ。
ウェハの流れを忠実に把握できる作用がある。
クリーン構成では、ウェハ1枚ずつ搬送棚に保管して密
閉搬送し、処理、または搬送するために一時保管する場
合はクリーンな雰囲気を保った状態で保管するクリーン
ボックスに入れることにより、クリーン領域を少なくす
ることができる。
閉搬送し、処理、または搬送するために一時保管する場
合はクリーンな雰囲気を保った状態で保管するクリーン
ボックスに入れることにより、クリーン領域を少なくす
ることができる。
ウェハの搬送単位は、1枚重位で搬送管理するため1枚
を基準とした管理が容易に行える。
を基準とした管理が容易に行える。
搬送設備においては、トラック状の軌道を巡回する搬送
車に、所定のステーションにおいてウェハ1枚重位で移
載できるようにし、搬送中も1枚重位で保管することで
、搬送設備を有効に活用できる。
車に、所定のステーションにおいてウェハ1枚重位で移
載できるようにし、搬送中も1枚重位で保管することで
、搬送設備を有効に活用できる。
ウェハの流れにおいては、工程順序が同類の品種をグル
ープ化することにより、制御量を少なくし、保管棚から
投入する順序、搬送車でウェハを搬送する順序をコント
ロールし、ウェハの品種グループ間の流れる割合を投入
から搬出まで一定にするようにウェハを流すことで、要
求順序・量に合ったウェハの生産ができる。
ープ化することにより、制御量を少なくし、保管棚から
投入する順序、搬送車でウェハを搬送する順序をコント
ロールし、ウェハの品種グループ間の流れる割合を投入
から搬出まで一定にするようにウェハを流すことで、要
求順序・量に合ったウェハの生産ができる。
実施例目次
(1,構成)
(1,1全体構成)
(1,2各装置の構成)
(1,3コントローラ構成)
(1,4データ構成)
(2,コントローラの動作)
(2,1m別装置のデータ構成)
(2,2コントローラの通信手順)
(3,生産方式)
(3,1投入順序決定方式)
(3,2サークルライン方式)
(3,3進行制御)
(4,ウェハの流れと各装置の動作)
(55代替実施例)
(1,構成)
(1,1全体構成)
本発明の一実施例を第1図から第40図により説明する
。
。
全体構成図を第1図に示し、説明する。
中央部の天井に、トラック状の搬送レール1を設け、そ
の搬送レール1に沿って走行する搬送車2を設置し、こ
の回りに、ウェハの数工程の処理を行うように装置を連
ね構成した処理装置60を設け、この処理装置60の前
に、ウェハを搬送する搬送車2との間でウェハの受は渡
しをクリーンな雰囲気中で行う、ウェハ授受ユニット2
0を設置し、処理装置60とウェハ授受ユニット20を
合わせた設備モジュール90を基本単位としていくつか
構成する。ある処理装置60でウェハが処理されると、
搬送車2がそのウェハを載せ次工程の処理装置60へと
搬送し1次々と処理工程を進めていくことで一連のウェ
ハの処理が終了する。これらの装置構成に、これから処
理すべきウェハの投入、又、一連の処理が終了したウェ
ハの搬出を行う投入・取り出し装置80を搬送レール1
の近傍に設ける。また、ホストコントローラ110は、
投入・取り出し装置80、搬送車2.ウェハ授受ユニッ
ト20.処理装置60と通信ケーブル117で接続され
、管理、コントロールする。
の搬送レール1に沿って走行する搬送車2を設置し、こ
の回りに、ウェハの数工程の処理を行うように装置を連
ね構成した処理装置60を設け、この処理装置60の前
に、ウェハを搬送する搬送車2との間でウェハの受は渡
しをクリーンな雰囲気中で行う、ウェハ授受ユニット2
0を設置し、処理装置60とウェハ授受ユニット20を
合わせた設備モジュール90を基本単位としていくつか
構成する。ある処理装置60でウェハが処理されると、
搬送車2がそのウェハを載せ次工程の処理装置60へと
搬送し1次々と処理工程を進めていくことで一連のウェ
ハの処理が終了する。これらの装置構成に、これから処
理すべきウェハの投入、又、一連の処理が終了したウェ
ハの搬出を行う投入・取り出し装置80を搬送レール1
の近傍に設ける。また、ホストコントローラ110は、
投入・取り出し装置80、搬送車2.ウェハ授受ユニッ
ト20.処理装置60と通信ケーブル117で接続され
、管理、コントロールする。
この構成において、ウェハは最初、投入・取り出し装置
80から、投入される。すなわち、搬送車2のいずれか
が、投入・取り出し装置80まで移動し停車する。そし
て、投入・取り出し装置80から、ウェハが搬送車2に
移載される。この時、所定の処理が終了したウェハがあ
る場合は、搬送車2から投入・取り出し装置80へ移載
される。
80から、投入される。すなわち、搬送車2のいずれか
が、投入・取り出し装置80まで移動し停車する。そし
て、投入・取り出し装置80から、ウェハが搬送車2に
移載される。この時、所定の処理が終了したウェハがあ
る場合は、搬送車2から投入・取り出し装置80へ移載
される。
搬送車2にウェハが載せられると、搬送レール1にそっ
て対象工程の所へ搬送車2が移動し、ウェハ授受ユニッ
ト20で、ウェハを受は取り一時保管する。このとき、
処理が終了し、次工程に搬送するウェハがある場合は、
ウェハ授受ユニット20から搬送車2に移載される。ウ
ェハ授受ユニッ1−20は、ウェハを品種グループ(処
理工程が同類の品種同士をグループ化したもの)及び工
程ごとに管理し、どのウェハでも任意に処理装置60に
投入することができる機能をもっている。そして、ホス
トコントローラ110の指令に基づき、ウェハ授受ユニ
ット20で、指定されたウェハを処理装置60に投入し
、処理が終了するとウェハナンバー(品種2品種ごとの
通し番号)を識別し、再び、次工程へ搬送するため、−
時保管される。そして、搬送車2が来ると、ウェハ授受
二ニア+”20でウェハを移載して、次工程へ搬送する
。このようにして、一連の処理が終了するまで、この動
作を繰り返す。
て対象工程の所へ搬送車2が移動し、ウェハ授受ユニッ
ト20で、ウェハを受は取り一時保管する。このとき、
処理が終了し、次工程に搬送するウェハがある場合は、
ウェハ授受ユニット20から搬送車2に移載される。ウ
ェハ授受ユニッ1−20は、ウェハを品種グループ(処
理工程が同類の品種同士をグループ化したもの)及び工
程ごとに管理し、どのウェハでも任意に処理装置60に
投入することができる機能をもっている。そして、ホス
トコントローラ110の指令に基づき、ウェハ授受ユニ
ット20で、指定されたウェハを処理装置60に投入し
、処理が終了するとウェハナンバー(品種2品種ごとの
通し番号)を識別し、再び、次工程へ搬送するため、−
時保管される。そして、搬送車2が来ると、ウェハ授受
二ニア+”20でウェハを移載して、次工程へ搬送する
。このようにして、一連の処理が終了するまで、この動
作を繰り返す。
一連の処理が終了すると、投入・取り出し装置80の所
まで、搬送車2によって搬送され、投入・取り出し装置
80へ移載される。
まで、搬送車2によって搬送され、投入・取り出し装置
80へ移載される。
(1,2各装置の説明)
第1図に示したウェハ授受ユニット20を第2図に示す
、第3図は、第2図のA矢視図、第4図は第2図のB−
B線断面図、第5図は、C−C線断面、第6図はウェハ
、第7図は、第2図の保管棚の構成図、第8図は、第7
図の保管棚のウェハ保持部の詳細図である。
、第3図は、第2図のA矢視図、第4図は第2図のB−
B線断面図、第5図は、C−C線断面、第6図はウェハ
、第7図は、第2図の保管棚の構成図、第8図は、第7
図の保管棚のウェハ保持部の詳細図である。
ウェハ授受ユニット20は、トラック状の搬送レート1
に沿って走行する搬送車2から所定の品種と工程のウェ
ハを受取り、それを処理装置(例えばホトリソ装置など
)60に投入し、処理の終了したウェハを再び搬送車2
へ移載する機能を有している。
に沿って走行する搬送車2から所定の品種と工程のウェ
ハを受取り、それを処理装置(例えばホトリソ装置など
)60に投入し、処理の終了したウェハを再び搬送車2
へ移載する機能を有している。
ウェハ授受ユニット20は、第2図に示すように、ウェ
ハを保管する保管棚30.ウェハをハンドリングする移
載ロボット21.ウェハに記載されている品種2品種別
の通し番号を示すウェハナンバーを読み取る識別装置4
0及びこれらの装置と処理装置60のローダ部61とア
ンローダ部62を清浄な雰囲気に保つためのクリーンボ
ックスから構成されている。保管棚30には第8図に示
すようにウェハ70を1枚ずつ保持するための保持部3
1が設けてあり、各保持部31にはウェハ70の有無を
確認するためのセンサ(たとえば光電スイッチなど)が
設けてあり、ウェハ授受ユニット20を管理、コントロ
ールするウェハ授受ユニットコントローラがウェハ有無
の確認を行う。
ハを保管する保管棚30.ウェハをハンドリングする移
載ロボット21.ウェハに記載されている品種2品種別
の通し番号を示すウェハナンバーを読み取る識別装置4
0及びこれらの装置と処理装置60のローダ部61とア
ンローダ部62を清浄な雰囲気に保つためのクリーンボ
ックスから構成されている。保管棚30には第8図に示
すようにウェハ70を1枚ずつ保持するための保持部3
1が設けてあり、各保持部31にはウェハ70の有無を
確認するためのセンサ(たとえば光電スイッチなど)が
設けてあり、ウェハ授受ユニット20を管理、コントロ
ールするウェハ授受ユニットコントローラがウェハ有無
の確認を行う。
第3図に示すように、ウェハ授受ユニット20の中央部
に、移載ロボット21を配置させ、搬送棚101〜保管
棚30間、保管棚30〜ロ一ダ部61間、アンローダ部
62〜識別装置40間、識別装置40〜保管41m30
間のウェハの移載を行う。移載ロボット21の構成を第
4図で説明する。
に、移載ロボット21を配置させ、搬送棚101〜保管
棚30間、保管棚30〜ロ一ダ部61間、アンローダ部
62〜識別装置40間、識別装置40〜保管41m30
間のウェハの移載を行う。移載ロボット21の構成を第
4図で説明する。
移載ロボット21は、1枚のウェハを真空吸着するグリ
ッパ−22と前腕23及び上腕24が上下軸25で上下
動するように構成されている。移載ロボット21のコン
トローラは、ウェハ授受ユニットコントローラから移載
の指示を受け、移載ロボット21をコントロールしてウ
ェハを移載し、ウェハ授受ユニットコントローラにウェ
ハの移載が終了したことを伝える。
ッパ−22と前腕23及び上腕24が上下軸25で上下
動するように構成されている。移載ロボット21のコン
トローラは、ウェハ授受ユニットコントローラから移載
の指示を受け、移載ロボット21をコントロールしてウ
ェハを移載し、ウェハ授受ユニットコントローラにウェ
ハの移載が終了したことを伝える。
識別袋r!140の構成を第5図を用いて説明する。
識別装置40は、照明光源42とテレビカメラ41及び
データ処理部43により構成される。移載ロボット21
により識別装置40のステージ部44にセットされたウ
ェハには照明光源42により光があてられ、ウェハに明
示されたウェハナンバーをテレビカメラ41でとらえ、
画像データとして取り込む。そして。
データ処理部43により構成される。移載ロボット21
により識別装置40のステージ部44にセットされたウ
ェハには照明光源42により光があてられ、ウェハに明
示されたウェハナンバーをテレビカメラ41でとらえ、
画像データとして取り込む。そして。
その画像データをデータ処理部43で解析し、ウェハナ
ンバーを読み取る。
ンバーを読み取る。
ウェハは、第6図に示すように、そのウェハの品種を示
す品種名71と品種別につけられた通し番号72よりな
るウェハナンバー73が書き込まれている。そして、ウ
ェハナンバー73の読み取りは識別装置40で行われる
。これによりウェハ1枚1枚を管理することができる。
す品種名71と品種別につけられた通し番号72よりな
るウェハナンバー73が書き込まれている。そして、ウ
ェハナンバー73の読み取りは識別装置40で行われる
。これによりウェハ1枚1枚を管理することができる。
クリーンボックス50はウェハを搬送棚5と処理装置6
0の間で受は渡すときにウェハを汚染させないように雰
囲気を清浄に保つもので、第3図に示すように保管棚3
0.移載ロボット21.識別装置40゜及び処理装置の
ローダ部61.アンローダ部62を内部に収めている。
0の間で受は渡すときにウェハを汚染させないように雰
囲気を清浄に保つもので、第3図に示すように保管棚3
0.移載ロボット21.識別装置40゜及び処理装置の
ローダ部61.アンローダ部62を内部に収めている。
第4図、第5図で示すように、クリーンボックス50の
構成は、上面に内部の空気の流れが層流になるように送
風用のファン52と送風の塵埃を取り除<HEPAフィ
ルタ53をとりつけ、下面は送風が吹きぬけるようグレ
ーチング構造となっている。
構成は、上面に内部の空気の流れが層流になるように送
風用のファン52と送風の塵埃を取り除<HEPAフィ
ルタ53をとりつけ、下面は送風が吹きぬけるようグレ
ーチング構造となっている。
また、搬送棚5との間でウェハを受は渡すことができる
ように開閉するクリ−ンボクス扉51が側面に取り付け
られている。このクリーンボックス扉51は通常は閉じ
られており、搬送車2の搬送棚5がセットされたときに
開く。
ように開閉するクリ−ンボクス扉51が側面に取り付け
られている。このクリーンボックス扉51は通常は閉じ
られており、搬送車2の搬送棚5がセットされたときに
開く。
搬送車2の正面図を第9図に、側面図を第10図に示す
。例えば、第4回インタナショナル・コンファレンス・
オン・アセンブリ・オートメーション・プロシーディン
グ(4th I nternationalConf
erence on A ssembly A
utomationProceeding) (p
、 p 、 303〜313)に類似の実施例が見られ
る。
。例えば、第4回インタナショナル・コンファレンス・
オン・アセンブリ・オートメーション・プロシーディン
グ(4th I nternationalConf
erence on A ssembly A
utomationProceeding) (p
、 p 、 303〜313)に類似の実施例が見られ
る。
搬送車2にはガイド用車輪6と駆動装置7(例えばリニ
アモータ)が取付けられており、搬送レール1に沿って
動くような構造となっている。また搬送棚5をクリーン
ボックス50にセットするための昇降装置3.及び昇降
ヘッド4を具備している。昇降ヘッド4は、上下動ガイ
ド9に沿って上下動駆動装置8(たとえばモータとボー
ルネジなど)により上下動する構造となっている。また
搬送棚5は前後動ガイド11に沿って、前後動ガイドr
!110(例えばモータとボールネジなど)により前後
の動きをする構造となっている。第2図を用いて動作を
説明する。搬送車2は予め設置されたトラック状の搬送
レール1に懸垂して走行し、ウェハ授受ユニット20の
前で停止すると、昇降ヘッド4をクリーンボックス扉5
1の位置まで下げ、次に搬送棚5をクリーンボックス5
0に進入させる。そして、クリーンボックス扉51が開
いた後、搬送種卵12が開くようになっている。そして
移載ロボット21のグリッパ−22により、ウェハの移
載が終了すると、搬送1y312が閉じ、クリーンボッ
クス扉51が閉じ、前後動ガイド11により搬送棚5を
戻し。
アモータ)が取付けられており、搬送レール1に沿って
動くような構造となっている。また搬送棚5をクリーン
ボックス50にセットするための昇降装置3.及び昇降
ヘッド4を具備している。昇降ヘッド4は、上下動ガイ
ド9に沿って上下動駆動装置8(たとえばモータとボー
ルネジなど)により上下動する構造となっている。また
搬送棚5は前後動ガイド11に沿って、前後動ガイドr
!110(例えばモータとボールネジなど)により前後
の動きをする構造となっている。第2図を用いて動作を
説明する。搬送車2は予め設置されたトラック状の搬送
レール1に懸垂して走行し、ウェハ授受ユニット20の
前で停止すると、昇降ヘッド4をクリーンボックス扉5
1の位置まで下げ、次に搬送棚5をクリーンボックス5
0に進入させる。そして、クリーンボックス扉51が開
いた後、搬送種卵12が開くようになっている。そして
移載ロボット21のグリッパ−22により、ウェハの移
載が終了すると、搬送1y312が閉じ、クリーンボッ
クス扉51が閉じ、前後動ガイド11により搬送棚5を
戻し。
昇降ヘッド4をもとの高さに戻す。
第11図に投入・取り出し装置80の構成を示す。
第12図は第11図のD−D線断面図を示したものであ
る。
る。
第11図において、投入・取り出し装rf180はウェ
ハをハンドリングする移載ロボット81.ウェハを保管
する保管棚82、及びこれらの装置を清浄な界囲気に保
つクリーンボックスにより構成されている。第12図に
おいてクリーンボックスは、ウェハ授受ユニットのとこ
ろで説明した構成のように、送風用のファン85と送風
の塵埃を取り除<HEPAフィルタ86をとりつけ、下
面には送風が吹き抜けるようグレーチング構造となって
いる。また、搬送車2に載せられた搬送棚5との間でウ
ェハを受渡すことができるように扉(第4図のクリーン
ボックス扉51と同様)と、これから処理すべきウェハ
を投入したり、処理の終了したウェハを取り出したりす
るために開閉する搬送+m1104が側面に取付けられ
ている。m送棚101は走行車100から投入・取り出
し装置80に対しウェハの投入、取出しを行うため、走
行車100には、搬送79101を保持するアー410
3を直進駆動するスライドガイド102(例えば、モー
タ及びボールネジ)が具備されている。走行車100が
投入・取り出し装置80の所定の位置にくると、停車し
、アーム103を直進させ、クリーンボックス83に搬
送棚101を入れ込みセットする。クリーンボックス5
84,1送棚扉101がそれぞれ開き、移載ロボット8
1により搬送棚101のウェハを取り出し、保管棚82
にセットする。このとき、処理の終了したウェハがある
時は、保管棚82から搬送棚101にウェハを移載する
動作も連続的に行う。この移載中、第11図のように搬
送車2がきて、搬送棚5が投入・取り出し装置80にセ
ットされた場合、保管@82〜搬送棚5間の移載も同時
に行う。搬送棚101の移載が終了すると、搬送棚51
01.クリーンボックス扉84が閉まり、アーム103
を戻し、走行車100によって、次工程へ搬送させる。
ハをハンドリングする移載ロボット81.ウェハを保管
する保管棚82、及びこれらの装置を清浄な界囲気に保
つクリーンボックスにより構成されている。第12図に
おいてクリーンボックスは、ウェハ授受ユニットのとこ
ろで説明した構成のように、送風用のファン85と送風
の塵埃を取り除<HEPAフィルタ86をとりつけ、下
面には送風が吹き抜けるようグレーチング構造となって
いる。また、搬送車2に載せられた搬送棚5との間でウ
ェハを受渡すことができるように扉(第4図のクリーン
ボックス扉51と同様)と、これから処理すべきウェハ
を投入したり、処理の終了したウェハを取り出したりす
るために開閉する搬送+m1104が側面に取付けられ
ている。m送棚101は走行車100から投入・取り出
し装置80に対しウェハの投入、取出しを行うため、走
行車100には、搬送79101を保持するアー410
3を直進駆動するスライドガイド102(例えば、モー
タ及びボールネジ)が具備されている。走行車100が
投入・取り出し装置80の所定の位置にくると、停車し
、アーム103を直進させ、クリーンボックス83に搬
送棚101を入れ込みセットする。クリーンボックス5
84,1送棚扉101がそれぞれ開き、移載ロボット8
1により搬送棚101のウェハを取り出し、保管棚82
にセットする。このとき、処理の終了したウェハがある
時は、保管棚82から搬送棚101にウェハを移載する
動作も連続的に行う。この移載中、第11図のように搬
送車2がきて、搬送棚5が投入・取り出し装置80にセ
ットされた場合、保管@82〜搬送棚5間の移載も同時
に行う。搬送棚101の移載が終了すると、搬送棚51
01.クリーンボックス扉84が閉まり、アーム103
を戻し、走行車100によって、次工程へ搬送させる。
(1,3コントローラ構成)
第13図は、第1図の制御系統図を示したものである。
ホストコントローラ110は、下位に第2図に示すウェ
ハ授受ユニット20と処理装置60から成る設備モジュ
ール90を1つのコントロール系の構成単位として、ウ
ェハ授受ユニット20のコントローラであるウェハ授受
ユニットコントローラ113゜識別装置40のコントロ
ーラである識別装置コントローラ111.移載ロボット
21のコントローラであるロボットコントローラ112
.処理装置60のコントローラである処理装置コントロ
ーラ114を設ける。そしてその他に、ウェハの没入・
取り出し装置80のコントローラである投入・取り出し
装置コントローラ116とウェハ移載を行う移載ロボッ
トのコントローラであるロボットコントローラ602゜
搬送車2のコントローラである搬送車コントローラ11
5を設ける。
ハ授受ユニット20と処理装置60から成る設備モジュ
ール90を1つのコントロール系の構成単位として、ウ
ェハ授受ユニット20のコントローラであるウェハ授受
ユニットコントローラ113゜識別装置40のコントロ
ーラである識別装置コントローラ111.移載ロボット
21のコントローラであるロボットコントローラ112
.処理装置60のコントローラである処理装置コントロ
ーラ114を設ける。そしてその他に、ウェハの没入・
取り出し装置80のコントローラである投入・取り出し
装置コントローラ116とウェハ移載を行う移載ロボッ
トのコントローラであるロボットコントローラ602゜
搬送車2のコントローラである搬送車コントローラ11
5を設ける。
ホストコントローラ110は、ウェハを品種グループ・
工程ごとに進行管理するデータを保持し、上記、各コン
トローラと連係をとりながら指示。
工程ごとに進行管理するデータを保持し、上記、各コン
トローラと連係をとりながら指示。
確認を行い、ウェハがスムーズに流れるように制御する
。
。
ウェハ授受ユニットコントローラ+13は、保管1lI
l!30に保管しているウェハの種類を管理し、又。
l!30に保管しているウェハの種類を管理し、又。
ロボットコントローラ112と通信し、ウェハ授受ユニ
ット20をコントロールする。
ット20をコントロールする。
識別装置コントローラ111は、識別装U40で識別し
たウェハのウェハナンバーをウェハ授受ユニットコント
ローラ113に送信する。
たウェハのウェハナンバーをウェハ授受ユニットコント
ローラ113に送信する。
ロボットコントローラ112は、移載ロボット21の起
動、停止、動作をコントロールする。
動、停止、動作をコントロールする。
処理装置コントローラ114は、処理装置60の処理状
態とレシピを管理し、処理装置60のコントロールを行
う。
態とレシピを管理し、処理装置60のコントロールを行
う。
搬送車コントローラ115は、搬送車2の起動、停止、
走行のコントロールし、搬送棚5の棚番に対して、どの
品種グループのどの工程のウェハが保持されているかを
管理する。
走行のコントロールし、搬送棚5の棚番に対して、どの
品種グループのどの工程のウェハが保持されているかを
管理する。
投入・取り出し装置コントローラ116は、投入・取り
出し装置80の保管棚82に対して、どの柵にどの品種
グループのどの工程のウェハを保管しているか管理し、
ロボットコントローラ112と通信し、投入・取り出し
装置80のコントロールを行う。
出し装置80の保管棚82に対して、どの柵にどの品種
グループのどの工程のウェハを保管しているか管理し、
ロボットコントローラ112と通信し、投入・取り出し
装置80のコントロールを行う。
これらのコントローラ間は、トークンリング構成の光L
ANで接続し、2本の通信ケーブル117により各装置
コントローラを結び、各装置コントローラの接続部は、
システム障害に応じてスイッチングにより障害を回避す
るようにして、ケーブルの断線、各装置のコントローラ
ダウンによる通信障害を防ぐ構造としている。
ANで接続し、2本の通信ケーブル117により各装置
コントローラを結び、各装置コントローラの接続部は、
システム障害に応じてスイッチングにより障害を回避す
るようにして、ケーブルの断線、各装置のコントローラ
ダウンによる通信障害を防ぐ構造としている。
この構造により、高速通信ができ、ポイント・トウ・ポ
イント方式から送受信時間が計算できる為リアルタイム
にデータ通信が行え、各コントローラ間の通信信号の消
費が少なく、信号の優先度がつけやすいので、コントロ
ールしやすい。
イント方式から送受信時間が計算できる為リアルタイム
にデータ通信が行え、各コントローラ間の通信信号の消
費が少なく、信号の優先度がつけやすいので、コントロ
ールしやすい。
(1,4データ構成)
第13図に示したコントローラ構成に基づいて必要なデ
ータ構成を第14図〜第22図に示す。
ータ構成を第14図〜第22図に示す。
ホストコントローラ110は、第14図に示す品種a工
、bよ・・・ごとの工程フローデータ120から、第1
5図に示すような、工程順序とレシピが同類である品種
ant a2・・・のものをグループ化した品種グルー
プA、B、・・・を作成して品種グループ工程フローデ
ータ121を決定する。また、ウェハの進行制御を行う
ため、第16図に示すように、品種グループごと及び工
程ごとに仕掛っている仕掛り量を示す品種グループ別仕
掛りデータ122、第17図に示すように、品種グルー
プごとに各工程に仕掛るべき標準仕掛り量を記した!3
′$仕掛りデータ123を管理している。また、第18
図に示すように、処理装置ごとに仕掛っている仕掛り量
を示す装置別仕掛りデータ124、また、第19図に示
すように、各搬送車で搬送しているウェハの種類と加工
履歴を示す搬送車データ125も管理している。
、bよ・・・ごとの工程フローデータ120から、第1
5図に示すような、工程順序とレシピが同類である品種
ant a2・・・のものをグループ化した品種グルー
プA、B、・・・を作成して品種グループ工程フローデ
ータ121を決定する。また、ウェハの進行制御を行う
ため、第16図に示すように、品種グループごと及び工
程ごとに仕掛っている仕掛り量を示す品種グループ別仕
掛りデータ122、第17図に示すように、品種グルー
プごとに各工程に仕掛るべき標準仕掛り量を記した!3
′$仕掛りデータ123を管理している。また、第18
図に示すように、処理装置ごとに仕掛っている仕掛り量
を示す装置別仕掛りデータ124、また、第19図に示
すように、各搬送車で搬送しているウェハの種類と加工
履歴を示す搬送車データ125も管理している。
ウェハ授受ユニットコントローラ113ハ、各保管棚に
保管しているウェハをそれぞれ管理するため、第20図
に示すように、管理しているウェハの情報を保管棚デー
タ126として、管理している。
保管しているウェハをそれぞれ管理するため、第20図
に示すように、管理しているウェハの情報を保管棚デー
タ126として、管理している。
搬送車コントローラ115は、各搬送棚に保管している
ウェハをそれぞれ管理するため、第21図に示すように
、搬送棚のウェハの情報を搬送棚データ127として管
理している。
ウェハをそれぞれ管理するため、第21図に示すように
、搬送棚のウェハの情報を搬送棚データ127として管
理している。
処理装置コントローラ115は、第22図に示すように
、加工条件(レシピ)をコード化したレシピN o、に
対応するその処理装置の加工条件を表す情報をレシピデ
ータ128として持っている。
、加工条件(レシピ)をコード化したレシピN o、に
対応するその処理装置の加工条件を表す情報をレシピデ
ータ128として持っている。
以下各データについて詳細に説明する。
第14図に示す工程フローデータ120は、品種別に、
処理順序に従って、工程順序と加工条件であるレシピを
表すレシピNo、が付けられている。
処理順序に従って、工程順序と加工条件であるレシピを
表すレシピNo、が付けられている。
第15図に示す品種グループ工程フローデータ121は
、工程フローデータ120より作成したものであり、工
程順序とレシピが同類である品種a工。
、工程フローデータ120より作成したものであり、工
程順序とレシピが同類である品種a工。
a2・・・のものをグループ化した品種グループA、B
。
。
・・・ごとの工程フローである。
第16図に示す品種グループ別仕掛りデータ122は、
ウェハの品種グループと加工履歴別に全てのウェハの枚
数をデータとしてもつものである。
ウェハの品種グループと加工履歴別に全てのウェハの枚
数をデータとしてもつものである。
第17図に示す標準仕掛りデータ123は、品種グルー
プごとに各工程に仕掛るべき標準仕掛り量を示したもの
である。
プごとに各工程に仕掛るべき標準仕掛り量を示したもの
である。
ホストコントローラ110は、これら品種グループ工程
フローデータ1219品種グループ別仕掛りデータ12
2. ml仕掛りデータ123により処理すべき品種グ
ループ、工程を選択する。
フローデータ1219品種グループ別仕掛りデータ12
2. ml仕掛りデータ123により処理すべき品種グ
ループ、工程を選択する。
第18図に示す装置別仕掛りデータ124は、処理装置
別に保管棚に保管しているウェハの品種グループと加工
履歴と枚数をデータとしてもつものである。そして、ホ
ストコントローラ110は、このデータに基づき処理装
置に対し着工指示を行う。
別に保管棚に保管しているウェハの品種グループと加工
履歴と枚数をデータとしてもつものである。そして、ホ
ストコントローラ110は、このデータに基づき処理装
置に対し着工指示を行う。
第19図に示す搬送車データ125は、搬送車が保管し
ているウェハの品種、加工履歴及び枚数をデータとして
もつものである。そして、ホストコントローラ110は
、このデータに基づき搬送車から保管棚に移載する指示
を行う。
ているウェハの品種、加工履歴及び枚数をデータとして
もつものである。そして、ホストコントローラ110は
、このデータに基づき搬送車から保管棚に移載する指示
を行う。
第20図に示す保管棚データ126は、各保管棚の1つ
の保持部ごとにつけた保管棚番号に対して。
の保持部ごとにつけた保管棚番号に対して。
保管しているウェハのウェハナンバー、加工履歴、及び
保管棚に保管された順番を示す到着順番を対応させたも
のである。ウェハ授受ユニットコントローラ113は、
このデータに基づき同じ品種グループ、加工履歴のウェ
ハの中で処理するウェハを特定する。
保管棚に保管された順番を示す到着順番を対応させたも
のである。ウェハ授受ユニットコントローラ113は、
このデータに基づき同じ品種グループ、加工履歴のウェ
ハの中で処理するウェハを特定する。
第21図に示す搬送棚データ127は、各搬送車の搬送
棚の1つの保持部ごとにつけた搬送棚番号に対して、搬
送しているウェハのウェハナンバー加工履歴及び搬送車
に乗せられた順番を示す到着順番をつけたものである。
棚の1つの保持部ごとにつけた搬送棚番号に対して、搬
送しているウェハのウェハナンバー加工履歴及び搬送車
に乗せられた順番を示す到着順番をつけたものである。
搬送車コントローラ115は、このデータに基づき同じ
品種グループ。
品種グループ。
加工履歴のウェハの中で保管棚に移載するウェハを特定
する。
する。
(2,コントローラの動作)
(2,1識別装置のデータ処理)
識別装置コントローラ111のデータ処理フローチャー
トを第23図に示し、処理フローを説明する。
トを第23図に示し、処理フローを説明する。
識別装置コントローラ111は、識別装置40ヘセツト
されたウェハのウェハナンバーを画像データとして取り
込み(ステップA2)、データ処理を行い(ステップA
3)、ウェハナンバーが読み取り可能かどうか判断する
(ステップA4)、そして、読み取り可能ならば、ウェ
ハナンバーを読み取る(ステップA5)。そして、ウェ
ハ授受ユニットコントローラ113に、読み取り結果と
して。
されたウェハのウェハナンバーを画像データとして取り
込み(ステップA2)、データ処理を行い(ステップA
3)、ウェハナンバーが読み取り可能かどうか判断する
(ステップA4)、そして、読み取り可能ならば、ウェ
ハナンバーを読み取る(ステップA5)。そして、ウェ
ハ授受ユニットコントローラ113に、読み取り結果と
して。
ウェハナンバーを送信する(ステップA6)。ところが
、ウェハナンバーを読み取れなければ1文字読み取り誤
り訂正可能か、つまり、ウェハナンバーが完全に読み取
れなくとも、ある程度読み取ることが可能で、高い確立
でウェハナンバーを判別できるかを判断する(ステップ
A7)。文字読み取り誤り訂正可能ならば、文字読み取
り誤り訂正を行う(ステップA8)。そして、そのウェ
ハナンバーを読み取り(ステップA9)、ウェハ授受ユ
ニットコントローラ113に、読み取り結果として、ウ
ェハナンバーとその再マーキングが必要であることを送
信する(ステップA10)。文字読み取り誤り訂正が不
可能であるならば、ウェハが識別装置330にセットさ
れた状態から処理をやりなおす、そして、3回繰り返し
ても、ウェハナンバーを判別できなければ、判別結果と
して、ウェハ授受ユニットコントローラ113に、識別
結果として、読み取りが不可能であることを伝える(ス
テップA12) 。
、ウェハナンバーを読み取れなければ1文字読み取り誤
り訂正可能か、つまり、ウェハナンバーが完全に読み取
れなくとも、ある程度読み取ることが可能で、高い確立
でウェハナンバーを判別できるかを判断する(ステップ
A7)。文字読み取り誤り訂正可能ならば、文字読み取
り誤り訂正を行う(ステップA8)。そして、そのウェ
ハナンバーを読み取り(ステップA9)、ウェハ授受ユ
ニットコントローラ113に、読み取り結果として、ウ
ェハナンバーとその再マーキングが必要であることを送
信する(ステップA10)。文字読み取り誤り訂正が不
可能であるならば、ウェハが識別装置330にセットさ
れた状態から処理をやりなおす、そして、3回繰り返し
ても、ウェハナンバーを判別できなければ、判別結果と
して、ウェハ授受ユニットコントローラ113に、識別
結果として、読み取りが不可能であることを伝える(ス
テップA12) 。
(2,2コントローラ間の通信手順)
以下、第2図、第13図、第18図〜第21回、及び第
24図〜第26図により各装置の動作とコントローラ間
の通信手順を説明する。
24図〜第26図により各装置の動作とコントローラ間
の通信手順を説明する。
移載ロボット21のウェハ移載動作は(1) If)1
送棚5→保管棚30 (2)保管棚30→処理装置6
0のa−ダ部61 (3)処理装置60のアンローダ
部62→識別装置40→保管棚30 (4)保管棚3
0−+搬送棚5の4つである。ただし、移載ロボット2
1を効率的に動かすため、搬送棚5→保管棚30.保管
棚30→搬送棚5のウェハ移載動作は同時に並行して行
う。
送棚5→保管棚30 (2)保管棚30→処理装置6
0のa−ダ部61 (3)処理装置60のアンローダ
部62→識別装置40→保管棚30 (4)保管棚3
0−+搬送棚5の4つである。ただし、移載ロボット2
1を効率的に動かすため、搬送棚5→保管棚30.保管
棚30→搬送棚5のウェハ移載動作は同時に並行して行
う。
搬送W5と保管棚30の間で、ウェハを移載する時の各
コントローラの処理手順とコントローラ間の通信手順を
第24図に示し、説明する。
コントローラの処理手順とコントローラ間の通信手順を
第24図に示し、説明する。
搬送車コントローラ115は、搬送車2がウェハ授受ユ
ニット20の前に到着する(ステップBl)と、ホスト
コントローラ110に搬送車2が到着したことを送信す
る(ステップl32)。そして、ホストコントローラ1
10が受信する。(ステップB3)。
ニット20の前に到着する(ステップBl)と、ホスト
コントローラ110に搬送車2が到着したことを送信す
る(ステップl32)。そして、ホストコントローラ1
10が受信する。(ステップB3)。
すると、ホストコントローラ110は、搬送棚5から保
管棚30に移載するべきウェハの品種グループ、加工履
歴及び枚数を搬送車コントローラ115に送信するが、
保管棚30. Wi送@5間で移載するウェハがない場
合は、搬送車コントローラ115に対しそのまま走行す
るように指示(12送指示)を送信する(ステップB4
.B5)a また、ホストコントローラ110は、保管
棚30から搬送棚5に移載するべきウェハの品種グルー
プ、加工履歴、及び枚数を決定し、ウェハ授受ユニット
コントローラ113に送信する(ステップB7.B8)
。すると搬送車2は昇降装置3で上下動ガイド9を下し
、前後動ガイド11を前進させ、ウェハの入っている搬
送棚5をクリーンボックス扉51にセットする。そこで
、クリーンボックス扉51が開き次に敞送種卵12が開
く。このようにして搬送lll5のウェハはクリーンボ
ックス50内の移載ロボット21で自由に出し入れでき
る状態になる(ステップB6)。そこで、ウェハ授受ユ
ニットコントローラ113は、第20図に示す保管棚デ
ータ126に基づき、移載するウェハを決定する(ステ
ップB9)。また、搬送車コントローラ115は、m送
棚データ127に基づき移戟するウェハを決定し、その
ウェハのウェハナンバー、加工履歴、搬送棚番号、及び
ウェハの入っていない棚の搬送棚番号をウェハ授受ユニ
ットコントローラ113に送信する(ステップBIO,
B11)。
管棚30に移載するべきウェハの品種グループ、加工履
歴及び枚数を搬送車コントローラ115に送信するが、
保管棚30. Wi送@5間で移載するウェハがない場
合は、搬送車コントローラ115に対しそのまま走行す
るように指示(12送指示)を送信する(ステップB4
.B5)a また、ホストコントローラ110は、保管
棚30から搬送棚5に移載するべきウェハの品種グルー
プ、加工履歴、及び枚数を決定し、ウェハ授受ユニット
コントローラ113に送信する(ステップB7.B8)
。すると搬送車2は昇降装置3で上下動ガイド9を下し
、前後動ガイド11を前進させ、ウェハの入っている搬
送棚5をクリーンボックス扉51にセットする。そこで
、クリーンボックス扉51が開き次に敞送種卵12が開
く。このようにして搬送lll5のウェハはクリーンボ
ックス50内の移載ロボット21で自由に出し入れでき
る状態になる(ステップB6)。そこで、ウェハ授受ユ
ニットコントローラ113は、第20図に示す保管棚デ
ータ126に基づき、移載するウェハを決定する(ステ
ップB9)。また、搬送車コントローラ115は、m送
棚データ127に基づき移戟するウェハを決定し、その
ウェハのウェハナンバー、加工履歴、搬送棚番号、及び
ウェハの入っていない棚の搬送棚番号をウェハ授受ユニ
ットコントローラ113に送信する(ステップBIO,
B11)。
そして、ウェハ授受ユニットコントローラ113は、保
管棚30から搬送棚5に移載するウェハの移載光である
搬送棚の位置、搬送棚5から保管lll130へ移載す
るウェハの移載光である保管棚の位置、及び搬送棚5か
ら保管棚30移載するウェハの移載光の位置を移載する
ウェハ全てについて決定し、移載手順を決定する。(ス
テップB12)、その決定した手順に基づいて、ロボッ
トコントローラ112に対して移載光と移載光を送信す
る(ステップB14゜B15)。移載ロボット21はそ
の指示に基づいて。
管棚30から搬送棚5に移載するウェハの移載光である
搬送棚の位置、搬送棚5から保管lll130へ移載す
るウェハの移載光である保管棚の位置、及び搬送棚5か
ら保管棚30移載するウェハの移載光の位置を移載する
ウェハ全てについて決定し、移載手順を決定する。(ス
テップB12)、その決定した手順に基づいて、ロボッ
トコントローラ112に対して移載光と移載光を送信す
る(ステップB14゜B15)。移載ロボット21はそ
の指示に基づいて。
作業を行い(ステップB16)、終了した時点で終了し
たことをウェハ授受ユニットコントローラ113に伝え
る(ステップB17. B18) 、この作業をホスト
コントローラ110の指示したウェハ全てについて移載
が終了するまで繰り返す、ただし、この移載処理の途中
で、処理装置コントローラ114からウェハ移載の要求
があった場合は、移載処理を中断し、処理装置コントロ
ーラ114の要求に応じ。
たことをウェハ授受ユニットコントローラ113に伝え
る(ステップB17. B18) 、この作業をホスト
コントローラ110の指示したウェハ全てについて移載
が終了するまで繰り返す、ただし、この移載処理の途中
で、処理装置コントローラ114からウェハ移載の要求
があった場合は、移載処理を中断し、処理装置コントロ
ーラ114の要求に応じ。
その後、処理を再開する。終了すると、ウェハ授受ユニ
ットコントローラ113は、搬送車コントローラ115
に対し、搬送棚5に移載したウェハのウェハナンバー、
加工履歴、及び搬送棚番号を送信する(ステップB19
. B20) 、そして、保管棚データ126の保管棚
の棚番号に対応している、ウェハナンバー、加工履歴及
び到着順番を更新する(ステップB21)、さらに、ホ
ストコントローラ110に対して、保管棚30に保管し
ているウェハの品種グループ、加工履歴を送信する(ス
テップB22、 B26)、また、搬送車コントローラ
115は、搬送棚データ126の搬送棚番号に対応する
ウェハナンバー、加工履歴及び到着順番を更新する(ス
テップB23)、さらに、ホストコントローラ110に
対して、搬送棚5に保管しているウェハの品種グループ
、加工履歴を送信する(ステップB24. B26)。
ットコントローラ113は、搬送車コントローラ115
に対し、搬送棚5に移載したウェハのウェハナンバー、
加工履歴、及び搬送棚番号を送信する(ステップB19
. B20) 、そして、保管棚データ126の保管棚
の棚番号に対応している、ウェハナンバー、加工履歴及
び到着順番を更新する(ステップB21)、さらに、ホ
ストコントローラ110に対して、保管棚30に保管し
ているウェハの品種グループ、加工履歴を送信する(ス
テップB22、 B26)、また、搬送車コントローラ
115は、搬送棚データ126の搬送棚番号に対応する
ウェハナンバー、加工履歴及び到着順番を更新する(ス
テップB23)、さらに、ホストコントローラ110に
対して、搬送棚5に保管しているウェハの品種グループ
、加工履歴を送信する(ステップB24. B26)。
そして、搬送車2は1次の搬送を開始する(ステップB
25)。また、ホストコントローラ110は。
25)。また、ホストコントローラ110は。
ウェハ授受ユニットコントローラ113及び搬送車コン
トローラ115から、送信されてきた、保管棚5に保管
しているウェハの品種グループ、加工履歴、及び搬送棚
30に保管しているウェハの品種グループ、加工履歴を
受信する(ステップB26)。
トローラ115から、送信されてきた、保管棚5に保管
しているウェハの品種グループ、加工履歴、及び搬送棚
30に保管しているウェハの品種グループ、加工履歴を
受信する(ステップB26)。
そして、ホストコントローラ110は、装置別仕掛りデ
ータ1249品種グループ別仕掛りデータ122゜及び
搬送車データ125を更新する(ステップB27)。
ータ1249品種グループ別仕掛りデータ122゜及び
搬送車データ125を更新する(ステップB27)。
次に、保管棚30から処理装置のローダ部61ヘウエハ
を移載する時の各コントローラの処理手順とコントロー
ラ間の通信手順を第25図に示し、説明する。
を移載する時の各コントローラの処理手順とコントロー
ラ間の通信手順を第25図に示し、説明する。
ホストコントローラ110は、処理装置コントローラ1
14に対し着工指示として、処理すべき品種グループ、
加工履歴、レシピNo、及び枚数を送信する(ステップ
C1,C2)。そして、処理装置コントローラ114は
この指示に従ってレシピを設定する(ステップC3)。
14に対し着工指示として、処理すべき品種グループ、
加工履歴、レシピNo、及び枚数を送信する(ステップ
C1,C2)。そして、処理装置コントローラ114は
この指示に従ってレシピを設定する(ステップC3)。
そして、処理装置コントローラ114は処理装置60が
ウェハを処理できる状態になったら、ウェハ授受ユニッ
トコン1−ローラ113に対して、処理するウェハの品
種グループと加工履歴を送信する(ステップC4,C5
)。
ウェハを処理できる状態になったら、ウェハ授受ユニッ
トコン1−ローラ113に対して、処理するウェハの品
種グループと加工履歴を送信する(ステップC4,C5
)。
受信したウェハ授受ユニットコントローラ113は該当
する品種グループ、加工履歴のウェハの中で。
する品種グループ、加工履歴のウェハの中で。
最も早く保管棚110に保管されたウェハを保管棚デー
タ126で検索し、ウェハを選択する(ステップC6)
。そして、そのウェハナンバーを処理装置コントローラ
114に伝える(ステップC8)と共にそのウェハの保
管されている保管棚の位置をロボットコントローラ11
2に伝え、保管$J130から処理装置のローダ部61
にウェハの移載を指示する(ステップC9,Cl0)。
タ126で検索し、ウェハを選択する(ステップC6)
。そして、そのウェハナンバーを処理装置コントローラ
114に伝える(ステップC8)と共にそのウェハの保
管されている保管棚の位置をロボットコントローラ11
2に伝え、保管$J130から処理装置のローダ部61
にウェハの移載を指示する(ステップC9,Cl0)。
この指示に基づき、移載ロボット21はウェハを保管棚
30から取り出して処理装置60のローダ部61にセッ
トする(ステップC11)。
30から取り出して処理装置60のローダ部61にセッ
トする(ステップC11)。
終了すると、ロボットコントローラ112が作業を終了
したことをウェハ授受ユニットコントローラ113に伝
える(ステップC12,C13)。ウェハ授受ユニット
コントローラ113は該当するウェハの保管棚データ1
26を消去する(ステップC14)。一方、処理装置6
0はウェハの処理を開始する(ステップC13) 。
したことをウェハ授受ユニットコントローラ113に伝
える(ステップC12,C13)。ウェハ授受ユニット
コントローラ113は該当するウェハの保管棚データ1
26を消去する(ステップC14)。一方、処理装置6
0はウェハの処理を開始する(ステップC13) 。
次に、処理袋rrL60による処理が終了して処理装置
のアンローダ部62から識別装置40ヘウエハを移載し
保管棚にウェハを保管する時の各コントローラの処理手
順とコントローラ間の通信手順を第26図に示し、説明
する。
のアンローダ部62から識別装置40ヘウエハを移載し
保管棚にウェハを保管する時の各コントローラの処理手
順とコントローラ間の通信手順を第26図に示し、説明
する。
処理装置60は処理を終えたウェハをアンローダ部62
に運ぶ(ステップDi)。そして、処理装置コントロー
ラ11411 ウェハ授受ユニットコントローラ113
にアンローダ部62のウェハのウェハナンバーを送信し
て、取り出しを要求する(ステップD2.D3)。する
と、ウェハ授受ユニットコントローラ113は、ロボッ
トコントローラ112に対し、アンローダ部62から識
別装置40ヘウエハを移載するように指示する(ステッ
プD4.D5)。
に運ぶ(ステップDi)。そして、処理装置コントロー
ラ11411 ウェハ授受ユニットコントローラ113
にアンローダ部62のウェハのウェハナンバーを送信し
て、取り出しを要求する(ステップD2.D3)。する
と、ウェハ授受ユニットコントローラ113は、ロボッ
トコントローラ112に対し、アンローダ部62から識
別装置40ヘウエハを移載するように指示する(ステッ
プD4.D5)。
この指示に基づき、移載ロボット21はウェハをアンロ
ーダ部62から取り出して識別装置40にセットする(
ステップD6)。終了すると、ロボットコントローラ1
12が作業を終了したことをウェハ授受ユニットコント
ローラ113に伝える(ステップD7、D8)。そして
、識別装置コントローラ111は、ここで第23図に示
したような識別、処置をし、識別結果をウェハ授受ユニ
ットコントローラ113に送信する(ステップD9.D
IO)、そして、ウェハ授受ユニットコントローラ11
3は識別装置コントローラ111より識別結果を受信す
ると(ステップDIO)、ウェハを保管する保管棚30
の位置を決定しくステップDll) 、 ロボットコ
ントローラ112にその位置を伝え、移載を指示する(
ステップD12゜D13)。そして移載ロボット21が
、識別装置40からウェハを取り、保管棚30へ保管す
る(ステップD14) 、終了すると(ステップD15
. D16) 、ウェハ授受ユニットコントローラ11
3はウニハラ保管した保管棚番号に対応するウェハナン
バー、加工履歴を保管棚データ126として記憶する(
ステップD 17)、更に、ホストコントローラ110
に処理の終了したウェハのウェハナンバー、加工履歴を
送信する(ステップD 1g)、ホストコントローラ1
10は、ウェハナンバー、加工履歴を受信しくステップ
−IJ9)、品種グループ別仕掛りデータ122.及び
装置別仕掛りデータ124を更新する(ステップD 2
0)。
ーダ部62から取り出して識別装置40にセットする(
ステップD6)。終了すると、ロボットコントローラ1
12が作業を終了したことをウェハ授受ユニットコント
ローラ113に伝える(ステップD7、D8)。そして
、識別装置コントローラ111は、ここで第23図に示
したような識別、処置をし、識別結果をウェハ授受ユニ
ットコントローラ113に送信する(ステップD9.D
IO)、そして、ウェハ授受ユニットコントローラ11
3は識別装置コントローラ111より識別結果を受信す
ると(ステップDIO)、ウェハを保管する保管棚30
の位置を決定しくステップDll) 、 ロボットコ
ントローラ112にその位置を伝え、移載を指示する(
ステップD12゜D13)。そして移載ロボット21が
、識別装置40からウェハを取り、保管棚30へ保管す
る(ステップD14) 、終了すると(ステップD15
. D16) 、ウェハ授受ユニットコントローラ11
3はウニハラ保管した保管棚番号に対応するウェハナン
バー、加工履歴を保管棚データ126として記憶する(
ステップD 17)、更に、ホストコントローラ110
に処理の終了したウェハのウェハナンバー、加工履歴を
送信する(ステップD 1g)、ホストコントローラ1
10は、ウェハナンバー、加工履歴を受信しくステップ
−IJ9)、品種グループ別仕掛りデータ122.及び
装置別仕掛りデータ124を更新する(ステップD 2
0)。
(3,生産方式)
(3,1投入順序決定方式)
第27図に、第1図に示した生産システムに対して、ど
のような順序でウェハの投入を行うかを決定する投入計
画フローを示す。作業量に対して、実現可能な標準日程
要求量を求め(ステップEl)、この値に対し、日ごと
の要求量と納期を満足した上、作業量の平準化を行い、
これとともに要求量の平準化が行われる。(ステップE
2)。要求生産量に対応する品種をグループ(処理工程
が同類のもの)すなわち品種グループに分類する(ステ
ップE3)。次に1品種グループごとの要求割合を保っ
た要求順序を決定しくステップE4)、さらに、品種グ
ループ内の品種の割合を保った要求順序を決定する(ス
テップE5)。これらの要求順序により、それぞれの品
種グループの要求順序に対して1品種の要求順序を順番
にあてはめていくことにより、品種ごとつまり、ウェハ
1枚重位の要求順序が決定され、この要求順序をそのま
ま投入順序として決定する(ステップE6)。以下各処
理手順を詳細に説明する。
のような順序でウェハの投入を行うかを決定する投入計
画フローを示す。作業量に対して、実現可能な標準日程
要求量を求め(ステップEl)、この値に対し、日ごと
の要求量と納期を満足した上、作業量の平準化を行い、
これとともに要求量の平準化が行われる。(ステップE
2)。要求生産量に対応する品種をグループ(処理工程
が同類のもの)すなわち品種グループに分類する(ステ
ップE3)。次に1品種グループごとの要求割合を保っ
た要求順序を決定しくステップE4)、さらに、品種グ
ループ内の品種の割合を保った要求順序を決定する(ス
テップE5)。これらの要求順序により、それぞれの品
種グループの要求順序に対して1品種の要求順序を順番
にあてはめていくことにより、品種ごとつまり、ウェハ
1枚重位の要求順序が決定され、この要求順序をそのま
ま投入順序として決定する(ステップE6)。以下各処
理手順を詳細に説明する。
第28図に、標準日程要求量を求め、装置のレシピ等変
更に伴う作業の平準化を行う作業量を図った要求量平準
化方法を示す。図において、原点0とスケジューリング
期間の総要求量である作業量をEとした端点Eと1日々
の要求生産量、実現可能で守らなければならない生産量
に対する作業量の累積である累積最遅負荷(ハ)の各部
分にピンを立て、ゴムひもを実現可能な生産量に対する
作業量である累積限界負荷(イ)と、納期を守った最低
生産量(白丸で示す)に対する作業量でもある累積最遅
負荷との間にいれ、両端○、Eを緊張させた時、このゴ
ムひもの作る折れ線が要求量、納期を満足する平準化負
荷(ニ)となる。この負荷曲線から日ごとの要求量を求
める。この時、日ごとの要求量に端数が発生した場合は
、スケジューリング期間内の全体要求量に平準化要求量
が一致するように調整する。また、1日の作業量が非常
に少なくなった場合、その作業量に見合った作業量を前
倒しする。このようにすることで、実現可能な作業量で
、納期に遅れることなく1作業量の平準化を行うことが
でき、これに伴い、要求量の平準化も図れる。
更に伴う作業の平準化を行う作業量を図った要求量平準
化方法を示す。図において、原点0とスケジューリング
期間の総要求量である作業量をEとした端点Eと1日々
の要求生産量、実現可能で守らなければならない生産量
に対する作業量の累積である累積最遅負荷(ハ)の各部
分にピンを立て、ゴムひもを実現可能な生産量に対する
作業量である累積限界負荷(イ)と、納期を守った最低
生産量(白丸で示す)に対する作業量でもある累積最遅
負荷との間にいれ、両端○、Eを緊張させた時、このゴ
ムひもの作る折れ線が要求量、納期を満足する平準化負
荷(ニ)となる。この負荷曲線から日ごとの要求量を求
める。この時、日ごとの要求量に端数が発生した場合は
、スケジューリング期間内の全体要求量に平準化要求量
が一致するように調整する。また、1日の作業量が非常
に少なくなった場合、その作業量に見合った作業量を前
倒しする。このようにすることで、実現可能な作業量で
、納期に遅れることなく1作業量の平準化を行うことが
でき、これに伴い、要求量の平準化も図れる。
次に、投入順序算出方法について示す。第29図に示す
ように用語を定義する。に日日に対象となる品種グルー
プ数がM2品種グループ中の品種数がNで、平準化要求
量がPjiの時、全要求生産量Xは、 J!1 iml となり1品種グループjのキヨリ基準1ojは、となり
、品種グループjの品種iのキヨリ基;曽1ojiは、 Σ Pji l目1 1oji″ Pji (j=1.2.・・・; i=1.2.・・・)となり
、品種グループごと、品種ごとのキヨリ基準が求まる。
ように用語を定義する。に日日に対象となる品種グルー
プ数がM2品種グループ中の品種数がNで、平準化要求
量がPjiの時、全要求生産量Xは、 J!1 iml となり1品種グループjのキヨリ基準1ojは、となり
、品種グループjの品種iのキヨリ基;曽1ojiは、 Σ Pji l目1 1oji″ Pji (j=1.2.・・・; i=1.2.・・・)となり
、品種グループごと、品種ごとのキヨリ基準が求まる。
このキョリ基準1ojとキョリljから正規化キョリZ
ojを求める0次に、品種グループごとに、正規化キョ
リZojの大きいものから順に順序づけをし、同様に、
それぞれの品種グループに対して、品種ごとの正規化キ
ョリZojを求め、品種ごとの順序づけを行う。このよ
うにすることで1品種単位の1枚ごとの要求順序がわか
り、この順序に基づいて投入することにより、要求量に
対する品種グループごとの割合、品種ごとの割合が常に
保たれ、要求に合った生産を行うことができる。
ojを求める0次に、品種グループごとに、正規化キョ
リZojの大きいものから順に順序づけをし、同様に、
それぞれの品種グループに対して、品種ごとの正規化キ
ョリZojを求め、品種ごとの順序づけを行う。このよ
うにすることで1品種単位の1枚ごとの要求順序がわか
り、この順序に基づいて投入することにより、要求量に
対する品種グループごとの割合、品種ごとの割合が常に
保たれ、要求に合った生産を行うことができる。
第27図から第29図に示した投入順序決定方法を具体
的に例題を用いて第30図から第35図を用いて示す。
的に例題を用いて第30図から第35図を用いて示す。
第30図に、スケジューリング期間を6日間としてその
要求量を示す、この要求量に基づいて、累積負荷グラフ
を作成したものを第31図に示す。このグラフの平準化
負荷より、平準化した日ごとの要求量を第32図に示す
、なお、第30図において。
要求量を示す、この要求量に基づいて、累積負荷グラフ
を作成したものを第31図に示す。このグラフの平準化
負荷より、平準化した日ごとの要求量を第32図に示す
、なお、第30図において。
A、B、Cは品種グループ、a x ”” a * t
b x 〜b 4 tC工〜cJは品種を示す。
b x 〜b 4 tC工〜cJは品種を示す。
次に、この要求量に基づいた要求順序算出方法について
説明する。品種グループごとの要求順序である1番目を
算出してみると、 キョリ基準1ojは、 2 品種グループA loA” s ”2.42 B1oB==、 ”2−4 2 C1oc= =6 となり、キョリljはすべて1であるから、正規化キョ
リZojは、 品種グループA ZoA=T〒=0.4133図
に示す。
説明する。品種グループごとの要求順序である1番目を
算出してみると、 キョリ基準1ojは、 2 品種グループA loA” s ”2.42 B1oB==、 ”2−4 2 C1oc= =6 となり、キョリljはすべて1であるから、正規化キョ
リZojは、 品種グループA ZoA=T〒=0.4133図
に示す。
・第34図に平準化前の要求量、第35図に平準化後の
要求量をグラフで示す。これかられかるように。
要求量をグラフで示す。これかられかるように。
負荷量全体が平準化され、品種グループ間でも平準化さ
れているのがわかる。
れているのがわかる。
次に、品種グループ内の品種ごとの要求順序決定方法に
ついて説明する。
ついて説明する。
品種グループAのグループ内のキョリ基準1ojiは、
C7oC=τ=0.16
となる。正規化キョリが同値のときは、品種グループの
若い順に投入するものとして、品種グループAが要求順
序1として算出される。このようにして品種グループ間
の要求順序を求めた結果を第となり、キョリlliはす
べて1であるから、正規化キョリZ oliは、 品種ax ZoAat=2.5 =0.41 a 3 ZoA a 3 =s =0.2〃a
4ZoAa−丁=0・2 となり、品種a1が要求順序1として算出される。
若い順に投入するものとして、品種グループAが要求順
序1として算出される。このようにして品種グループ間
の要求順序を求めた結果を第となり、キョリlliはす
べて1であるから、正規化キョリZ oliは、 品種ax ZoAat=2.5 =0.41 a 3 ZoA a 3 =s =0.2〃a
4ZoAa−丁=0・2 となり、品種a1が要求順序1として算出される。
このようにして、品種ごとの要求順序が決定される。品
種グループごとの要求順序に、品種ごとの要求順序をあ
てはめ投入順序を決定した結果を第36図に示す。この
要求順序に基づき投入を行うことでウェハのスムーズな
流れを作れる。
種グループごとの要求順序に、品種ごとの要求順序をあ
てはめ投入順序を決定した結果を第36図に示す。この
要求順序に基づき投入を行うことでウェハのスムーズな
流れを作れる。
(3,2サークルライン方式)
第37図に、第1図に示した装置構成において、どのよ
うにウェハを流すか、つまり、進行制御を行うかを示す
。設備モジュール90をいくつか祷成し、ある工程フロ
ーの中で、処理順序が同類の品種をまとめた品種グルー
プごと、及び、工程ごとに管理することで、生産の同期
確保と装置の稼働率向上を図ったスムーズなウェハの流
れをつくる。
うにウェハを流すか、つまり、進行制御を行うかを示す
。設備モジュール90をいくつか祷成し、ある工程フロ
ーの中で、処理順序が同類の品種をまとめた品種グルー
プごと、及び、工程ごとに管理することで、生産の同期
確保と装置の稼働率向上を図ったスムーズなウェハの流
れをつくる。
保管棚30の前には、いろいろな品種のいろいろな処理
工程のウェハが仕掛り、どのウェハを投入するかで、流
れをコントロールすることができる。
工程のウェハが仕掛り、どのウェハを投入するかで、流
れをコントロールすることができる。
そこで1品種グループ工程ごとにそれぞれ最適な仕掛量
である標準仕掛り量を設定し、この増減をチエツクして
ウェハを順序よく流す。
である標準仕掛り量を設定し、この増減をチエツクして
ウェハを順序よく流す。
(3,3進行制御)
次に、第37図に示したように、品種グループごとに専
用ラインであるかのようにウェハをスムーズに進行させ
る方法を示す。多種、多工程のウェハの進行制御に必要
なデータを第14図から第17図に示し、進行制御方法
を説明する。
用ラインであるかのようにウェハをスムーズに進行させ
る方法を示す。多種、多工程のウェハの進行制御に必要
なデータを第14図から第17図に示し、進行制御方法
を説明する。
第14図に示す品種a工、b0.・・・ごとの工程フロ
ーデータ120から、第15図に示すように、工程とレ
シピが同類である品種a工l a2・・・のものをグル
ープ化した品種グループA、B、・・・を作り出して品
種グループ工程フローデータ121を決定する。
ーデータ120から、第15図に示すように、工程とレ
シピが同類である品種a工l a2・・・のものをグル
ープ化した品種グループA、B、・・・を作り出して品
種グループ工程フローデータ121を決定する。
第16図は、物理的に実際に仕掛っている量を記憶した
品種グループ別仕掛りデータ122である。第17図に
、品種グループごとに各工程に仕掛る標準仕掛り量を算
出した標準仕掛りデータ123を示す。
品種グループ別仕掛りデータ122である。第17図に
、品種グループごとに各工程に仕掛る標準仕掛り量を算
出した標準仕掛りデータ123を示す。
第18図は、装置別の実際の仕掛り量を記憶した装置別
仕掛りデータ124である。
仕掛りデータ124である。
次に、どのようにして、進行制御を行うかを説明する。
あるサンプリング時間ごとに、標準仕掛りデータ123
に示す各工程ごとの標準仕掛り量に対して1品種グルー
プ別仕掛りデータ122の仕掛り量が最も少ない品種グ
ループ、工程順序のウェハを抽出する。この時、最も少
ない品種グループ工程順序に対応したウェハがいくつか
あった場合は品種グループが若いものでかつ工程順序が
若い工程を抽出し、その前工程を品種グループ工程フロ
ーデータ121から選び出し、その工程のウェハを着工
するように指示する。例えば、標準仕掛りデータ123
の中で、品種グループBの工程順序3が、標準仕掛り量
に対して、実際の仕掛り量は2で最も少ないとすると、
不足分3を前工程に要求する。そこで、品種グループ工
程フローデータ121より、品種グループBの工程順序
3の前工程である工程順序2を抽出し、装置別仕掛りデ
ータ124により、その品種グループ、及び工程のウェ
ハが仕掛っている処理装置を検索し、その処理装置60
に着工させる。
に示す各工程ごとの標準仕掛り量に対して1品種グルー
プ別仕掛りデータ122の仕掛り量が最も少ない品種グ
ループ、工程順序のウェハを抽出する。この時、最も少
ない品種グループ工程順序に対応したウェハがいくつか
あった場合は品種グループが若いものでかつ工程順序が
若い工程を抽出し、その前工程を品種グループ工程フロ
ーデータ121から選び出し、その工程のウェハを着工
するように指示する。例えば、標準仕掛りデータ123
の中で、品種グループBの工程順序3が、標準仕掛り量
に対して、実際の仕掛り量は2で最も少ないとすると、
不足分3を前工程に要求する。そこで、品種グループ工
程フローデータ121より、品種グループBの工程順序
3の前工程である工程順序2を抽出し、装置別仕掛りデ
ータ124により、その品種グループ、及び工程のウェ
ハが仕掛っている処理装置を検索し、その処理装置60
に着工させる。
以下、このように、サンプリングごとに不足分を抽出し
、ウェハの進行制御を行う。
、ウェハの進行制御を行う。
(4,ウェハの流れと各装置の動作)
第1図に示した構成において、ウェハの流れを第38図
に示す。ウェハの流れを第39図に示したフローチャー
トによって説明する。ウェハが投入されると(ステップ
Gl)、111送車によって最初の工程に対応した処理
装置の所まで搬送され(ステップG2)、保管棚に一時
保管され(ステップG3)、ウェハの処理装置から投入
要求がくると処理装置に投入処理しくステップG4)、
処理終了後、品種等のデータを持ったウェハナンバーを
識別装置で識別しくステップG5)、この工程が終了し
たことを確認の上、再び保管棚に一時保管され(ステッ
プG6)、そして、Wi送車によって船速され(ステッ
プG7)、一連の処理が終了したかどうかをチエツク(
ステップG8)し、終了でない場合、次の工程に、Im
送され、一連の処理が終了するまでこのループを繰り返
し、終了すると搬出(ステップG9)される。
に示す。ウェハの流れを第39図に示したフローチャー
トによって説明する。ウェハが投入されると(ステップ
Gl)、111送車によって最初の工程に対応した処理
装置の所まで搬送され(ステップG2)、保管棚に一時
保管され(ステップG3)、ウェハの処理装置から投入
要求がくると処理装置に投入処理しくステップG4)、
処理終了後、品種等のデータを持ったウェハナンバーを
識別装置で識別しくステップG5)、この工程が終了し
たことを確認の上、再び保管棚に一時保管され(ステッ
プG6)、そして、Wi送車によって船速され(ステッ
プG7)、一連の処理が終了したかどうかをチエツク(
ステップG8)し、終了でない場合、次の工程に、Im
送され、一連の処理が終了するまでこのループを繰り返
し、終了すると搬出(ステップG9)される。
第40図に第1図で示した装置構成において、ウェハが
投入から搬出されるまでの一連の装置の動きを詳細に示
したフローチャートを示す。
投入から搬出されるまでの一連の装置の動きを詳細に示
したフローチャートを示す。
この第1図に示す生産システムにウェハが投入されると
、第11図に示すように、走行車100の搬送棚102
に投入すべきウェハがセットされ(ステップH1)、走
行車100が来たかどうかを判断(ステップH2)し、
来ない場合はステップH1l進み、来た場合、走行車1
00は投入・取り出し装置80の所定の場所まで床面を
走行してくる(ステップH3)。
、第11図に示すように、走行車100の搬送棚102
に投入すべきウェハがセットされ(ステップH1)、走
行車100が来たかどうかを判断(ステップH2)し、
来ない場合はステップH1l進み、来た場合、走行車1
00は投入・取り出し装置80の所定の場所まで床面を
走行してくる(ステップH3)。
所定の位置で停止し、搬送棚101を載せたアーム10
3が前進し、クリーンボックス扉84と搬送種卵104
を密着させる(ステップH4)。クリーンボックス扉8
4を開き(ステップH5)、搬送種卵104を開く(ス
テップH6)。投入・取り出し装5780の保管182
ヘセツトすべきウェハがあるか判断しくステップH7)
、ある場合は、移載ロボット81により、搬送棚101
から保管棚82にウェハをセットする(ステップH8)
。ない場合はステップH9に進む。次に搬送1jllo
1ヘセツトするウェハがあるか判断しくステップH9)
、ある場合は、移載ロボット81により、保管棚82か
ら搬送棚101にセット(ステップHto) L、、な
い場合はステップH1lに進む。次に搬送車2が到着し
ているか判断しくステップH1l)、到着してなければ
、ステップH20に進み、到着していれば、搬送車2か
ら投入・取り出し装jii80へ降ろすウェハがあるか
判断(ステップH12) L、降ろすウェハがなければ
、ステップH18まで進み、降ろすウェハがあれば、上
下動ガイド9を下降(ステップH13)させ、前後動ガ
イド11を前進(ステップH14)させて、搬送種卵1
2をクリーンボックス扉51に密着させてセットする。
3が前進し、クリーンボックス扉84と搬送種卵104
を密着させる(ステップH4)。クリーンボックス扉8
4を開き(ステップH5)、搬送種卵104を開く(ス
テップH6)。投入・取り出し装5780の保管182
ヘセツトすべきウェハがあるか判断しくステップH7)
、ある場合は、移載ロボット81により、搬送棚101
から保管棚82にウェハをセットする(ステップH8)
。ない場合はステップH9に進む。次に搬送1jllo
1ヘセツトするウェハがあるか判断しくステップH9)
、ある場合は、移載ロボット81により、保管棚82か
ら搬送棚101にセット(ステップHto) L、、な
い場合はステップH1lに進む。次に搬送車2が到着し
ているか判断しくステップH1l)、到着してなければ
、ステップH20に進み、到着していれば、搬送車2か
ら投入・取り出し装jii80へ降ろすウェハがあるか
判断(ステップH12) L、降ろすウェハがなければ
、ステップH18まで進み、降ろすウェハがあれば、上
下動ガイド9を下降(ステップH13)させ、前後動ガ
イド11を前進(ステップH14)させて、搬送種卵1
2をクリーンボックス扉51に密着させてセットする。
そして、クリーンボックス扉51を開き(ステップH1
5) 、搬送種卵12を開く(ステップl−116)。
5) 、搬送種卵12を開く(ステップl−116)。
移載ロボット81により、搬送棚5から保管棚82ヘセ
ツト(ステップH17)する。さらに、搬送車2へ載せ
るクエへがあるか判断(ステップH18) L、、なけ
ればステップH19に進み1乗せるウェハがある場合は
、移載ロボット81により、保管棚82から搬送棚5に
セット(ステップH19)する、投入・取り出し装置8
0の中でウェハ移載があるか判断(ステップ)I20)
L、ある場合は、再びステップH2に戻り、ステップ
H2〜ステップI(20を繰り返し、ない場合は、走行
車100搬送棚101にウェハをセットしたか判断(ス
ステップH21) L、セットしない場合、ステップH
27に進み、セットした場合は、走行車100側では、
走行車100の搬送[1011扉を閉じ(ステップH2
2) 、クリーンボックス扉84を閉じ(ステップH2
4)、走行車100のアーム103を後退(ステップH
24)すると、走行車100は移動(ステップH25)
を開始し、次工程へ搬送(ステップH26)する。搬送
車2側では、搬送車5を閉じ(ステップH27) 、ク
リーンボックスi84を閉じ(ステップH28)で1前
後動ガイド11が後退(ステップH29) L、上下動
ガイドが上昇(ステップH30) して、搬送状態に戻
る1次に1次工程搬送の要求がくるまで待ち(ステップ
831)、要求がくると、第2図に示すように、次工程
へ移動(ステップH32) L、搬送車2が到着する(
ステップH33)。到着すると、投入・取り出し装置8
0場所か判断し、その場所であればステップH2に戻り
、その場所でなければ、上下動ガイド9が下降(ステッ
プH35)L、前後動ガイド11を前進(ステップH3
6)させて、搬送棚12とクリーンボックス扉84に密
着させてセットする。クリーンボックス扉を開き(ステ
ップH37)、搬送種卵12を開く。
ツト(ステップH17)する。さらに、搬送車2へ載せ
るクエへがあるか判断(ステップH18) L、、なけ
ればステップH19に進み1乗せるウェハがある場合は
、移載ロボット81により、保管棚82から搬送棚5に
セット(ステップH19)する、投入・取り出し装置8
0の中でウェハ移載があるか判断(ステップ)I20)
L、ある場合は、再びステップH2に戻り、ステップ
H2〜ステップI(20を繰り返し、ない場合は、走行
車100搬送棚101にウェハをセットしたか判断(ス
ステップH21) L、セットしない場合、ステップH
27に進み、セットした場合は、走行車100側では、
走行車100の搬送[1011扉を閉じ(ステップH2
2) 、クリーンボックス扉84を閉じ(ステップH2
4)、走行車100のアーム103を後退(ステップH
24)すると、走行車100は移動(ステップH25)
を開始し、次工程へ搬送(ステップH26)する。搬送
車2側では、搬送車5を閉じ(ステップH27) 、ク
リーンボックスi84を閉じ(ステップH28)で1前
後動ガイド11が後退(ステップH29) L、上下動
ガイドが上昇(ステップH30) して、搬送状態に戻
る1次に1次工程搬送の要求がくるまで待ち(ステップ
831)、要求がくると、第2図に示すように、次工程
へ移動(ステップH32) L、搬送車2が到着する(
ステップH33)。到着すると、投入・取り出し装置8
0場所か判断し、その場所であればステップH2に戻り
、その場所でなければ、上下動ガイド9が下降(ステッ
プH35)L、前後動ガイド11を前進(ステップH3
6)させて、搬送棚12とクリーンボックス扉84に密
着させてセットする。クリーンボックス扉を開き(ステ
ップH37)、搬送種卵12を開く。
搬送棚5から降ろすウェハがあるか判断(ステップH3
9) L、ない場合はステップH41に進み、ある場合
は、移載ロボット21により、搬送棚5がら保管棚30
にセット(ステップH40)する。次に処理袋ra60
に投入するウェハがあるかどうか判断(ステップ853
) L 、ない場合は、ステップH4’3に進み、ある
場合は、移載ロボット21により、保管棚3oから処理
装置60のローダ部61に投入(ステップH42)する
。次に、処理装置60のアンローダ部62から識別袋W
140へ搬送するウェハがあるかどうが判断(ステップ
H43) L、ない場合は、ステップH45まで進み、
ある場合は、処理装置のアンローダ部402から識別装
置330へ搬送(ステップH44)する。
9) L、ない場合はステップH41に進み、ある場合
は、移載ロボット21により、搬送棚5がら保管棚30
にセット(ステップH40)する。次に処理袋ra60
に投入するウェハがあるかどうか判断(ステップ853
) L 、ない場合は、ステップH4’3に進み、ある
場合は、移載ロボット21により、保管棚3oから処理
装置60のローダ部61に投入(ステップH42)する
。次に、処理装置60のアンローダ部62から識別袋W
140へ搬送するウェハがあるかどうが判断(ステップ
H43) L、ない場合は、ステップH45まで進み、
ある場合は、処理装置のアンローダ部402から識別装
置330へ搬送(ステップH44)する。
癩に、識別袋r1140から保管棚30に戻るウェハが
あるかどうか判断(ステップI(45) L、ない場合
は、ステップI(47に進み、ある場合は、移載ロボッ
ト21により、搬送棚5から保管棚30にセット(ステ
ップH46)する。ウェハ授受ユニット20内で搬送車
2〜保管棚30間、保管棚30〜処理装置60間、処F
装置6O−3a別装置40間p m別装置40〜保管!
1130間でウェハ移載があるかどうか判断し、ある場
合は、ステップH39まで戻り、ステップI(39〜ス
テツプH47を繰り返し、ない場合は、搬送種卵12を
閉じ(ステップH27) 、クリーンボックス扉51を
閉じ(ステップH28)、前後動ガイド11が後退(ス
テップH29)L、上下動ガイド9が上昇(ステップl
−130) して搬送状態に戻る。そして、搬送車2を
次工程に進める。このようにして、搬送車2によりウェ
ハを搬送しなからウェハの処理加工を進めていく。
あるかどうか判断(ステップI(45) L、ない場合
は、ステップI(47に進み、ある場合は、移載ロボッ
ト21により、搬送棚5から保管棚30にセット(ステ
ップH46)する。ウェハ授受ユニット20内で搬送車
2〜保管棚30間、保管棚30〜処理装置60間、処F
装置6O−3a別装置40間p m別装置40〜保管!
1130間でウェハ移載があるかどうか判断し、ある場
合は、ステップH39まで戻り、ステップI(39〜ス
テツプH47を繰り返し、ない場合は、搬送種卵12を
閉じ(ステップH27) 、クリーンボックス扉51を
閉じ(ステップH28)、前後動ガイド11が後退(ス
テップH29)L、上下動ガイド9が上昇(ステップl
−130) して搬送状態に戻る。そして、搬送車2を
次工程に進める。このようにして、搬送車2によりウェ
ハを搬送しなからウェハの処理加工を進めていく。
(51代替実施例)
本発明の一実施例を第41図から第51図により説明す
る。
る。
第41図、第42図、第43図は、集中型多品種搬送の
全体構成例である。第41図は、定速で連続したスピー
ドで回転するタクト・コンベア式の集中型多品種搬送系
201をループ状に設けたものである。
全体構成例である。第41図は、定速で連続したスピー
ドで回転するタクト・コンベア式の集中型多品種搬送系
201をループ状に設けたものである。
ループ状に配置した多品種搬送系201の周辺に、フォ
トレジ、成膜、拡散、インプラ、エツチング等の処理装
置群200を配置した。更に、製品や設備に異常が発生
した時に、製品の一時保管倉庫208や、異常原因究明
のための製品検査・分析室207を設けである。材料(
ウェハ)を格納したカセット(製品)203が、製品の
投入・払出口206から投入されると、組込式搬送治具
202を取付けたタクト・コンベア式の集中型多品種搬
送系201の空の搬送治具にセットされる。そして、該
工程の処理装置200の直前に到着すると、単位でも複
数個でも同時に対応できる合流・分岐装置Zt 204
により多品種搬送系201より分岐される。また、分岐
されたカセット203は、カセット授受機構205によ
り該処理装置にセットされる。この搬送系のスピードは
。
トレジ、成膜、拡散、インプラ、エツチング等の処理装
置群200を配置した。更に、製品や設備に異常が発生
した時に、製品の一時保管倉庫208や、異常原因究明
のための製品検査・分析室207を設けである。材料(
ウェハ)を格納したカセット(製品)203が、製品の
投入・払出口206から投入されると、組込式搬送治具
202を取付けたタクト・コンベア式の集中型多品種搬
送系201の空の搬送治具にセットされる。そして、該
工程の処理装置200の直前に到着すると、単位でも複
数個でも同時に対応できる合流・分岐装置Zt 204
により多品種搬送系201より分岐される。また、分岐
されたカセット203は、カセット授受機構205によ
り該処理装置にセットされる。この搬送系のスピードは
。
例えば、1日当り処理すべきカセット(製品)数の平均
投入間隔できまる。処理後は、カセット授受機構205
で次工程に搬送できるようにカセット203を、合流分
岐装′E1204で多品種搬送系201の空の搬送治具
上にのせて、次工程の処理設備に搬送する。又、第42
図は、製品の処理工程を複数に分類し、分類した単位に
、処理装置を分類した処理工程の必要数に応じて”Aa
を並べた例である。第41図の加速をしないで、一定の
速度で回転しているタクト・コンベア式の集中型多品種
搬送系201に対して、同様に一定の速度で回転してい
るベルト・コンベア式の集中型多品種搬送系209を用
いた場合である。各処理装置を処理の順序に並べ、回数
9回遊するだけで分類した単位の処理を完了させるとと
もに、分類した単位でカセット(製品)203の後戻り
を防止することにより、搬送距離や繰返し回数を少なく
することができる。第43図は、第42図のベルト・コ
ンベア式の集中型多品種搬送系209を、自動倉庫式の
集中型多品種搬送210にした例である。自動倉庫式の
集中型多品種搬送210では、複数の管理棚233を回
転方向と上下方向に設けることにより、仕掛りを集中的
に管理ができる。これは、装置の小型化・−貫化した場
合には好適となる。
投入間隔できまる。処理後は、カセット授受機構205
で次工程に搬送できるようにカセット203を、合流分
岐装′E1204で多品種搬送系201の空の搬送治具
上にのせて、次工程の処理設備に搬送する。又、第42
図は、製品の処理工程を複数に分類し、分類した単位に
、処理装置を分類した処理工程の必要数に応じて”Aa
を並べた例である。第41図の加速をしないで、一定の
速度で回転しているタクト・コンベア式の集中型多品種
搬送系201に対して、同様に一定の速度で回転してい
るベルト・コンベア式の集中型多品種搬送系209を用
いた場合である。各処理装置を処理の順序に並べ、回数
9回遊するだけで分類した単位の処理を完了させるとと
もに、分類した単位でカセット(製品)203の後戻り
を防止することにより、搬送距離や繰返し回数を少なく
することができる。第43図は、第42図のベルト・コ
ンベア式の集中型多品種搬送系209を、自動倉庫式の
集中型多品種搬送210にした例である。自動倉庫式の
集中型多品種搬送210では、複数の管理棚233を回
転方向と上下方向に設けることにより、仕掛りを集中的
に管理ができる。これは、装置の小型化・−貫化した場
合には好適となる。
第44図は、ロボットを利用したベルトコンベア式の集
中型多品種搬送系209に、フォトレジ等の装r112
00に専用のカセット授受装置203を設けたノンスト
ップの多品種搬送方法(以下、同じようにノンストップ
搬送例)である。定速でしかも連続した速度を維持しな
がら回遊しているベルトコンベア式の集中型多品種搬送
系209上にあるカセット(製品)203を、カセット
識別装置211で読み取って、該処理工程の設備であれ
ば、ラインコントローラ212が処理開始の指示を同期
式カセット授受ロボット213に送る。指示を受けた同
期式カセット授受ロボット213は、多品種搬送系20
9と同じスピードを維持しながら、カセット(製品)2
03を把握し、処理可能装置のカセット授受装置214
に渡す。該カセット(製品)203の処理完了後は、カ
セット授受装置214上のものを同期式カセット授受ロ
ボット213が把握し、多品種搬送系213のスピード
を維持しながら、多品種搬送系213に渡して次工程に
送り出す、カセット(製品)213を多品種搬送系20
9のスピードに合わせて抜取る場合、ロボット213の
昇降部216でカセットを把握できる位置を調整し、2
軸以上の機構を有したハンド部215で多品種搬送系2
09の搬送速度を維持しながらカセットを把握・抜取る
。そして、移動部217を左右に動かして、処理可能装
置前のカセット授受装置214にカセット(′!!!J
品)203を送る。第45図は、搬送治具218を利用
した場合の例である。この場合、円形、方形、多角形等
のカセット形状でもよく、又設備の処理枚数に対応して
ウェハ枚数を準備する必要がある場合には好適である。
中型多品種搬送系209に、フォトレジ等の装r112
00に専用のカセット授受装置203を設けたノンスト
ップの多品種搬送方法(以下、同じようにノンストップ
搬送例)である。定速でしかも連続した速度を維持しな
がら回遊しているベルトコンベア式の集中型多品種搬送
系209上にあるカセット(製品)203を、カセット
識別装置211で読み取って、該処理工程の設備であれ
ば、ラインコントローラ212が処理開始の指示を同期
式カセット授受ロボット213に送る。指示を受けた同
期式カセット授受ロボット213は、多品種搬送系20
9と同じスピードを維持しながら、カセット(製品)2
03を把握し、処理可能装置のカセット授受装置214
に渡す。該カセット(製品)203の処理完了後は、カ
セット授受装置214上のものを同期式カセット授受ロ
ボット213が把握し、多品種搬送系213のスピード
を維持しながら、多品種搬送系213に渡して次工程に
送り出す、カセット(製品)213を多品種搬送系20
9のスピードに合わせて抜取る場合、ロボット213の
昇降部216でカセットを把握できる位置を調整し、2
軸以上の機構を有したハンド部215で多品種搬送系2
09の搬送速度を維持しながらカセットを把握・抜取る
。そして、移動部217を左右に動かして、処理可能装
置前のカセット授受装置214にカセット(′!!!J
品)203を送る。第45図は、搬送治具218を利用
した場合の例である。この場合、円形、方形、多角形等
のカセット形状でもよく、又設備の処理枚数に対応して
ウェハ枚数を準備する必要がある場合には好適である。
第46図は、タクト・コンベア式多品種搬送の例である
。この場合、第45図のような搬送治具218の管理が
不用になる点が有利となる。第47図は、物理的にカセ
ット(11品)203を、多品種搬送系209上を滑ら
して設備群にカセット(製品)を分配できるカセット授
受機構205に送り出す分岐合流機構219を有した例
である。この分岐合流機構219は、図で示したような
スライド弐のほかにブツシャ式のものでも可能である。
。この場合、第45図のような搬送治具218の管理が
不用になる点が有利となる。第47図は、物理的にカセ
ット(11品)203を、多品種搬送系209上を滑ら
して設備群にカセット(製品)を分配できるカセット授
受機構205に送り出す分岐合流機構219を有した例
である。この分岐合流機構219は、図で示したような
スライド弐のほかにブツシャ式のものでも可能である。
第48図は流体を利用した同期化搬送機構220の例で
ある。この水などに浮かんでいる浮遊式搬送治具230
上のカセット(10品)203は、カセットW別装置2
11で読み取り、該処理工程の設備であればストッパ2
21で搬送されてくるカセット(製品)群の流れをとめ
る。そして1分岐・合流用の流れしゃ断装置222の向
きを変えて、該当する液体式カセット授受機4!!23
1を有する方向に該カセットを誘導する。そして、同期
化搬送機構220へ処理完了後のカセットは、図に示し
たようにしゃ新装r!1222で合流させる。この同期
化搬送機構220は、水や水銀等の液体を一定の方向に
定速で流すことにより、浮遊式搬送治具230を動かす
もので、液体式カセット授受機構231も同じ方向に定
速で流す。
ある。この水などに浮かんでいる浮遊式搬送治具230
上のカセット(10品)203は、カセットW別装置2
11で読み取り、該処理工程の設備であればストッパ2
21で搬送されてくるカセット(製品)群の流れをとめ
る。そして1分岐・合流用の流れしゃ断装置222の向
きを変えて、該当する液体式カセット授受機4!!23
1を有する方向に該カセットを誘導する。そして、同期
化搬送機構220へ処理完了後のカセットは、図に示し
たようにしゃ新装r!1222で合流させる。この同期
化搬送機構220は、水や水銀等の液体を一定の方向に
定速で流すことにより、浮遊式搬送治具230を動かす
もので、液体式カセット授受機構231も同じ方向に定
速で流す。
第49図は積層タイプ同期化搬送機構の例を示すもので
、上部積層式集中型多品種搬送系223とその真下に下
部積層式集中型多品種搬送系224から構成した場合の
例である。この場合、特急品と通常品、試作品と量産品
、ベース工程と配線工程区分やプロセス区分により、2
階層からn階層に積層した集中型多品種搬送系を設けて
カセット(製品)203を分けて管理する場合に有効で
ある。第50図は、双方向の集中型多品種搬送系の例で
あり、第49図の利用方法の他に、搬送時間を短縮を狙
った場合に有効である。右廻りのコンベア式集中型多品
種搬送系225と左廻りのコンベア式の搬送系226の
構成となっている。該カセット(製品)が搬送されてく
ると、吊掛式カセットハンド227で把握して、装置側
に供給する。この機構は、移動部228とハンド部23
2が支柱229で支えられており該カセットの場所と位
置を見定めて把握するものである。
、上部積層式集中型多品種搬送系223とその真下に下
部積層式集中型多品種搬送系224から構成した場合の
例である。この場合、特急品と通常品、試作品と量産品
、ベース工程と配線工程区分やプロセス区分により、2
階層からn階層に積層した集中型多品種搬送系を設けて
カセット(製品)203を分けて管理する場合に有効で
ある。第50図は、双方向の集中型多品種搬送系の例で
あり、第49図の利用方法の他に、搬送時間を短縮を狙
った場合に有効である。右廻りのコンベア式集中型多品
種搬送系225と左廻りのコンベア式の搬送系226の
構成となっている。該カセット(製品)が搬送されてく
ると、吊掛式カセットハンド227で把握して、装置側
に供給する。この機構は、移動部228とハンド部23
2が支柱229で支えられており該カセットの場所と位
置を見定めて把握するものである。
第51図は、ウェハを装置に着脱する機構の例である。
多品種搬送系で送付されたカセットは該処理装置まで搬
送され、る。例えば、スライド式開口部付カセット24
1には、バーコードで表示したロット識別子が付いてい
るバーコード式ICカード244が埋込み式でセットさ
れている。そして所定の位置にカセット241が到着す
ると、ブツシャ等によりスライドガイド242に押込ま
れる。押込まれたカセット241は、開口部が自動的に
開いて、クリーンボックス234のウェハ受取口238
に固定される。そして、ウェハチャージャ237により
、カセット214内のウェハ240を順次抜き取って、
装置200のローダ235に送り込む。一方、空になっ
たカセット241は、ブツシャ等によりクリーンボック
ス234より取除され、装置200の近くに保管される
。
送され、る。例えば、スライド式開口部付カセット24
1には、バーコードで表示したロット識別子が付いてい
るバーコード式ICカード244が埋込み式でセットさ
れている。そして所定の位置にカセット241が到着す
ると、ブツシャ等によりスライドガイド242に押込ま
れる。押込まれたカセット241は、開口部が自動的に
開いて、クリーンボックス234のウェハ受取口238
に固定される。そして、ウェハチャージャ237により
、カセット214内のウェハ240を順次抜き取って、
装置200のローダ235に送り込む。一方、空になっ
たカセット241は、ブツシャ等によりクリーンボック
ス234より取除され、装置200の近くに保管される
。
該カセット241の処理が終了すると、再び、クリーン
ボックス234のウェハ払出口239に固定される。
ボックス234のウェハ払出口239に固定される。
該カセット241が固定されると装置fi 200のア
ンローダ236に処理完了のウェハが送られるので、ウ
ェハチャージャ237によってウェハ払出口239に固
定されている該カセット241内に、順次格納する。
ンローダ236に処理完了のウェハが送られるので、ウ
ェハチャージャ237によってウェハ払出口239に固
定されている該カセット241内に、順次格納する。
そして、全ウェハの格納が完了すると再びクリーンボッ
クス234から取除されて、次工程へ送られる。ここで
、ウェハ240面上の清浄度を確保するために、常に一
定の圧力を加えたクリーンエアを取入口243からクリ
ーンボックス234内に供給してクリーンボックス23
4の清浄度を維持する。又、ロット来歴等についても、
バーコード付ICカードに対して光や無線・有線を利用
して実績を古き加えるからロットのトラッキングや実績
を記録して次工程に同時に移動できる。
クス234から取除されて、次工程へ送られる。ここで
、ウェハ240面上の清浄度を確保するために、常に一
定の圧力を加えたクリーンエアを取入口243からクリ
ーンボックス234内に供給してクリーンボックス23
4の清浄度を維持する。又、ロット来歴等についても、
バーコード付ICカードに対して光や無線・有線を利用
して実績を古き加えるからロットのトラッキングや実績
を記録して次工程に同時に移動できる。
本発明によれば、約80種150台の設備を有するライ
ンにおいて、約500回の作業を必要とする微細加工製
品を対象とした場合、ライン仕掛り社を総量で規制でき
るので作業待ち時間の大巾な削減により1完も大巾に削
減(l/2〜1/3)できる。
ンにおいて、約500回の作業を必要とする微細加工製
品を対象とした場合、ライン仕掛り社を総量で規制でき
るので作業待ち時間の大巾な削減により1完も大巾に削
減(l/2〜1/3)できる。
又、1宛の大巾な削減により歩留まり向上も期待できる
。
。
この方式は、微細加工特有の職場を対象としており、薄
膜製品等にも適用可能である。
膜製品等にも適用可能である。
ラインの構造としては、ウェハを載せトラック状の搬送
レールで処理設備間を搬送する搬送車と。
レールで処理設備間を搬送する搬送車と。
搬送車と処理装置間で、ウェハ移載を行う移載ロボット
、ウェハを1枚ずつ品種グループ、工程ごとに一時保管
する保管棚、ウェハのウェハナンバーを識別する識別装
置により構成されるウェハ授受ユニットにより、ウェハ
1枚ずつの管理が可能になり、多品種同時生産が行え、
保管棚のウェハの仕掛り管理によりウェハの流れのコン
トロールができ、かつ、処理装置の稼働率を上げること
ができる。また、仕掛り量を減らし、短納期で要求にあ
った生産ができる効果がある。
、ウェハを1枚ずつ品種グループ、工程ごとに一時保管
する保管棚、ウェハのウェハナンバーを識別する識別装
置により構成されるウェハ授受ユニットにより、ウェハ
1枚ずつの管理が可能になり、多品種同時生産が行え、
保管棚のウェハの仕掛り管理によりウェハの流れのコン
トロールができ、かつ、処理装置の稼働率を上げること
ができる。また、仕掛り量を減らし、短納期で要求にあ
った生産ができる効果がある。
ウェハ自体にウェハナンバーを記載し、処理装置から出
て来たウェハを識別装置で識別することで、ウェハ1枚
ごとの進行を確認することができるため、ウェハの進行
管理が容易に行え、多品種のウェハを要求に合った順序
で生産することができる。
て来たウェハを識別装置で識別することで、ウェハ1枚
ごとの進行を確認することができるため、ウェハの進行
管理が容易に行え、多品種のウェハを要求に合った順序
で生産することができる。
処理装置の構成において、処理装置をハード的に数工程
分接続し、一貫処理装置にすることにより、投入と処理
終了の管理データ量が少なくなるので制御量が減る。ま
た、処理装置の搬送工程数が減るので、搬送距離2回数
が減り生産期間が短くなる効果が出る。
分接続し、一貫処理装置にすることにより、投入と処理
終了の管理データ量が少なくなるので制御量が減る。ま
た、処理装置の搬送工程数が減るので、搬送距離2回数
が減り生産期間が短くなる効果が出る。
ウェハ1枚ごとに品種グループ、工程ごとに処理装置に
投入すべきウェハを保管する保管棚により、要求にあっ
たウェハの投入ができるので、処理装置の稼働率を上げ
ることができ、また、1枚単位で管理できる。識別装置
でき、ウェハの実際の進行状況をリアルタイムに把握す
ることができるため、1宛の短縮、仕掛り量削減を図っ
た生産ができる。
投入すべきウェハを保管する保管棚により、要求にあっ
たウェハの投入ができるので、処理装置の稼働率を上げ
ることができ、また、1枚単位で管理できる。識別装置
でき、ウェハの実際の進行状況をリアルタイムに把握す
ることができるため、1宛の短縮、仕掛り量削減を図っ
た生産ができる。
クリーン構成においては、搬送中は、搬送棚に入れて密
閉し、処理装置に投入または処理が終了して搬送車に載
せるために一時保管しているときはクリーンボックス内
部にいれておくことにより作業者とウェハの雰囲気を隔
離できるため歩留まりが向上する。また、クリーン部分
の極小化を図ることができるためコストが削減し、メン
テが容易になる。さらに、作業者の作業領域が確保でき
るため、処理装置の保全がしやすくなるという効果があ
る。
閉し、処理装置に投入または処理が終了して搬送車に載
せるために一時保管しているときはクリーンボックス内
部にいれておくことにより作業者とウェハの雰囲気を隔
離できるため歩留まりが向上する。また、クリーン部分
の極小化を図ることができるためコストが削減し、メン
テが容易になる。さらに、作業者の作業領域が確保でき
るため、処理装置の保全がしやすくなるという効果があ
る。
搬送単位においては、搬送する時、及び処理装置へ投入
または処理されて出てきたウェハを搬送車に載せる時も
、1枚単位で保管することで、ウェハがどこにあるか常
に1枚単位で把握することできるため、実時間に忠実な
枚葉管理が行える。
または処理されて出てきたウェハを搬送車に載せる時も
、1枚単位で保管することで、ウェハがどこにあるか常
に1枚単位で把握することできるため、実時間に忠実な
枚葉管理が行える。
また、多品種少量生産が容易に行える効果がある。
トラック状の軌道を巡回しながら、所定のウェハ授受ユ
ニットで搬送車に必要な時にウェハを載せ必要な時に搬
送車から降ろすことにより、トータルの搬送距離が少な
くなり、搬送車の制御が容易になる。
ニットで搬送車に必要な時にウェハを載せ必要な時に搬
送車から降ろすことにより、トータルの搬送距離が少な
くなり、搬送車の制御が容易になる。
また、1枚単位でウェハを管理して、搬送を行うため、
品種変更に柔軟に対応できる効果がある。
品種変更に柔軟に対応できる効果がある。
ウェハの流れにおいては、工程順序が同類の品種をグル
ープ化し、保管棚に仕掛るウェハに対して品種グループ
、工程ごとに標準仕掛り量を算出して、この標準仕掛り
量に実際のウェハの仕掛り量値が一致するように、保管
棚から処理装置へ投入させ、かつ、搬送車で対象ウェハ
を次工程へ搬送することで、ウェハを流す順序を容易に
コントロールできるため、生産計画に忠実な生産ができ
る。また、ウェハ1枚ごとの流れのコントロールが℃き
るため、多品種、さらには、繰り返し工程が多く流れの
複雑な品種でも管理が容易に行え多品種同時生産ができ
る。また、工程間の進行を実時間でコントロールできる
ため、工程間のずれ量を見込んだ最小仕掛り量にするこ
とができるため。
ープ化し、保管棚に仕掛るウェハに対して品種グループ
、工程ごとに標準仕掛り量を算出して、この標準仕掛り
量に実際のウェハの仕掛り量値が一致するように、保管
棚から処理装置へ投入させ、かつ、搬送車で対象ウェハ
を次工程へ搬送することで、ウェハを流す順序を容易に
コントロールできるため、生産計画に忠実な生産ができ
る。また、ウェハ1枚ごとの流れのコントロールが℃き
るため、多品種、さらには、繰り返し工程が多く流れの
複雑な品種でも管理が容易に行え多品種同時生産ができ
る。また、工程間の進行を実時間でコントロールできる
ため、工程間のずれ量を見込んだ最小仕掛り量にするこ
とができるため。
仕掛り全削減ができる。
また、投入順序は、要求量に基づき、1枚単位の投入順
序を決定し、この順序を守るようにコントロールするこ
とで、要求した順序で生産ができるため、生産計画の手
直しがいらなくなり計画が容易に行え、コスト、品質、
納期を満足することができる。
序を決定し、この順序を守るようにコントロールするこ
とで、要求した順序で生産ができるため、生産計画の手
直しがいらなくなり計画が容易に行え、コスト、品質、
納期を満足することができる。
第1図は、本発明による多品種搬送装置の1実施例を示
す全体構成図、第2図は、第1図におけるウェハ授受ユ
ニットの構成図、第3図は、第2図のA矢視図、第4図
は、第2図のB−B線断面図、第5図は、第2図のC−
C線断面図、第6図は、ウェハの構成図、第7図は、保
管棚の構成図、第8図は、保管棚のウェハ保持部の詳細
図、第9図は、搬送車の構成を示す正面図、第10図は
、搬送車の構成を示す側面図、第11図は、投入・取り
出し装置の構成図、第12図は、第10図のD−D線断
面図、第13図は、コントローラの構成図、第14図は
、工程フローデータを示す図、第15図は2品種グルー
プ工程ブローデータを示す図、第16図は、品種グルー
プ別仕掛りデータを示す図、第17図は、標準仕掛りデ
ータを示す図、第18図は、装置別仕掛りデータを示す
図、第19図は、搬送車のデータを示す図、第20図は
、保管棚のデータを示す図。 第21図は、搬送棚のデータを示す図、第22図は。 レシピデータを示す図、第23図は、識別装置のデータ
処理フローチャート、第24図(a)、(b)は、搬送
棚、保管欄間のウェハ移載時のコントローラ間通信手順
を示すフローチャート、第25図は、保管棚、処理装置
間のウェハ移載時のコントローラ間通信手順を示すフロ
ーチャート、第26図は、処理装置til別装置、保管
欄間のウェハ移載時のコントローラ間通信手順を示すフ
ローチャート、第27図は、投入計画のフローチャート
、第28図は。 平準化負荷クラブを示す図、第29図は、投入順序決定
用語の定義表を示す図、第30図は、例題の標準日程要
求量を示す図、第31図は、例題の平準化負荷グラフを
示す図、第32図は、例題の平準化要求量を示す図、第
33図は、例題の品種グループ別投入順序を示す図、第
34図は、例題の平準化前の要求量を示す図、第35図
は、例題の平準化後の要求量を示す図、第36図は、例
題の品種別投入順序を示す図、第37図は、進行制御方
式の概念を示す図、第38図は、ウェハの流れを示す概
略図、第39図は、ウェハの流れのフローチャート、第
40図(a)、(b)及び(c)は、装置の動作フロー
チャート、第41図から第43図は、集中型多品種搬送
の全体構成を示す図、第44図はロボットによる同期化
搬送機構を示す図、第45図は、搬送治具。 ロボットによる同期化搬送機構を示す図、第46図は、
組込み式搬送治具による同期化搬送機構を示す図、第4
7図は、分岐ガイドによる同期化搬送機構を示す図、第
48図は、液体を利用した同期化搬送機構を示す図、第
49図は、積層タイプの同期化搬送機構を示す図、第5
0図は、双方向タイプの同期化搬送機構を示す図、第5
1図は、ウェハ着脱機構を示す図である。 1・・・搬送レール、 2・・・搬送車。 3・・・昇降装置、 4・・・昇降ヘッド。 5・・・搬送棚、 6・・・ガイド車輪、7・
・・駆動装置、 8・・・上下動駆動装置、9・
・・上下ガイド、 10・・・前後動駆動装置、1
1・・・前後動ガイド、 12・・・搬送W扉。 20・・・ウェハ授受ユニット、 21・・・移載ロボット222・・・グリッパ−23・
・・前腕、24・・・上腕、 25・・・上下軸、30・・・保管棚。 31・・・保持部、 4o・・・識別装置。 50・・・クリーンボックス。 60・・・処理装置、 61・・・ローダ部、6
2・・・アンローダ部、 70・・・ウェハ、80・
・・投入・取り出し装置、 81・・・移載ロボット、82・・・保管棚、83・・
・クリーンボックス、 90・・・設備モジュール、 100・・・走行車、1
02・・・移載”A置、 101・・・搬送棚、 103・・・アーム、 110・・・ホストコントローラ、 111・・・識別装置コントローラ。 112・・・ロボットコントローラ、 113・・・ウェハ授受ユニットコントローラ、114
・・・処理装置コントローラ、 115・・・搬送車コントローラ、 116・・・投入・取り出し装置コントローラ。 117・・・通信ケーブル。 zI 集 図 挑 ワ 図 纂 0 図 1 1υ F 纂 捲 1 図 !04 第 12 図 纂 !4− 図 為 5 図 第 !3 図 纂 6 関 第 7 図 集 18 図 為 9 図 拓 0 図 栴 I 図 稟 24− ffi(b) 稟 7 図 集 28 図 田村 〔日〕 纂 q 図 第 2 図 纂 3 図 イO 負荷 栴 7 図 嶌 3? 挑 40 図 (C) 嶌 今3 図
す全体構成図、第2図は、第1図におけるウェハ授受ユ
ニットの構成図、第3図は、第2図のA矢視図、第4図
は、第2図のB−B線断面図、第5図は、第2図のC−
C線断面図、第6図は、ウェハの構成図、第7図は、保
管棚の構成図、第8図は、保管棚のウェハ保持部の詳細
図、第9図は、搬送車の構成を示す正面図、第10図は
、搬送車の構成を示す側面図、第11図は、投入・取り
出し装置の構成図、第12図は、第10図のD−D線断
面図、第13図は、コントローラの構成図、第14図は
、工程フローデータを示す図、第15図は2品種グルー
プ工程ブローデータを示す図、第16図は、品種グルー
プ別仕掛りデータを示す図、第17図は、標準仕掛りデ
ータを示す図、第18図は、装置別仕掛りデータを示す
図、第19図は、搬送車のデータを示す図、第20図は
、保管棚のデータを示す図。 第21図は、搬送棚のデータを示す図、第22図は。 レシピデータを示す図、第23図は、識別装置のデータ
処理フローチャート、第24図(a)、(b)は、搬送
棚、保管欄間のウェハ移載時のコントローラ間通信手順
を示すフローチャート、第25図は、保管棚、処理装置
間のウェハ移載時のコントローラ間通信手順を示すフロ
ーチャート、第26図は、処理装置til別装置、保管
欄間のウェハ移載時のコントローラ間通信手順を示すフ
ローチャート、第27図は、投入計画のフローチャート
、第28図は。 平準化負荷クラブを示す図、第29図は、投入順序決定
用語の定義表を示す図、第30図は、例題の標準日程要
求量を示す図、第31図は、例題の平準化負荷グラフを
示す図、第32図は、例題の平準化要求量を示す図、第
33図は、例題の品種グループ別投入順序を示す図、第
34図は、例題の平準化前の要求量を示す図、第35図
は、例題の平準化後の要求量を示す図、第36図は、例
題の品種別投入順序を示す図、第37図は、進行制御方
式の概念を示す図、第38図は、ウェハの流れを示す概
略図、第39図は、ウェハの流れのフローチャート、第
40図(a)、(b)及び(c)は、装置の動作フロー
チャート、第41図から第43図は、集中型多品種搬送
の全体構成を示す図、第44図はロボットによる同期化
搬送機構を示す図、第45図は、搬送治具。 ロボットによる同期化搬送機構を示す図、第46図は、
組込み式搬送治具による同期化搬送機構を示す図、第4
7図は、分岐ガイドによる同期化搬送機構を示す図、第
48図は、液体を利用した同期化搬送機構を示す図、第
49図は、積層タイプの同期化搬送機構を示す図、第5
0図は、双方向タイプの同期化搬送機構を示す図、第5
1図は、ウェハ着脱機構を示す図である。 1・・・搬送レール、 2・・・搬送車。 3・・・昇降装置、 4・・・昇降ヘッド。 5・・・搬送棚、 6・・・ガイド車輪、7・
・・駆動装置、 8・・・上下動駆動装置、9・
・・上下ガイド、 10・・・前後動駆動装置、1
1・・・前後動ガイド、 12・・・搬送W扉。 20・・・ウェハ授受ユニット、 21・・・移載ロボット222・・・グリッパ−23・
・・前腕、24・・・上腕、 25・・・上下軸、30・・・保管棚。 31・・・保持部、 4o・・・識別装置。 50・・・クリーンボックス。 60・・・処理装置、 61・・・ローダ部、6
2・・・アンローダ部、 70・・・ウェハ、80・
・・投入・取り出し装置、 81・・・移載ロボット、82・・・保管棚、83・・
・クリーンボックス、 90・・・設備モジュール、 100・・・走行車、1
02・・・移載”A置、 101・・・搬送棚、 103・・・アーム、 110・・・ホストコントローラ、 111・・・識別装置コントローラ。 112・・・ロボットコントローラ、 113・・・ウェハ授受ユニットコントローラ、114
・・・処理装置コントローラ、 115・・・搬送車コントローラ、 116・・・投入・取り出し装置コントローラ。 117・・・通信ケーブル。 zI 集 図 挑 ワ 図 纂 0 図 1 1υ F 纂 捲 1 図 !04 第 12 図 纂 !4− 図 為 5 図 第 !3 図 纂 6 関 第 7 図 集 18 図 為 9 図 拓 0 図 栴 I 図 稟 24− ffi(b) 稟 7 図 集 28 図 田村 〔日〕 纂 q 図 第 2 図 纂 3 図 イO 負荷 栴 7 図 嶌 3? 挑 40 図 (C) 嶌 今3 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、複数の種類のワークを処理する処理手段、複数の種
類のワークを搬送する搬送手段、及び搬送手段、処理手
段間でワークを授受する移載手段より成る生産システム
であって、前記処理手段間で多種類のワークを搬送し、
前記処理手段間の負荷バランスの吸収や前記処理手段の
処理速度に応じてワークを供給するために保管し、必要
に応じて処理の順序を変更し、前記授受手段が、処理手
段の標準化された共通のワーク授受機構を有し、前記搬
送手段との間で所望の種類のワークを認識して授受する
ことを特徴とする多品種搬送方法。 2、ワークを収納した搬送用治具を多種類同時に搭載し
て処理手段間を走行し、該処理手段に対応づけて設けた
ワークの移載手段の所定の位置に搬送する搬送手段と、
前記搬送手段との間で所望の種類のワークを認識して前
記搬送用治具を授受する移載手段と、により構成される
ことを特徴とする多品種搬送装置。 3、複数の種類のワークを処理する処理手段の間でワー
ク又は、ワークを収納した搬送用治具を搬送する搬送シ
ステムであって、多種類ワーク又は前記搬送用治具の搬
送と、前記処理手段間の負荷バランスの吸収や処理速度
を調整するための保管と必要に応じた順序変更と前記処
理手段の標準化された共通のワーク授受機構と所望の種
類のワークの認識を同時に行う搬送手段で搬送すること
を特徴とする多品種搬送装置。 4、多品種のワークを同時に搬送する搬送システムにお
いて、ワークを処理する処理手段間で、ワークの進行順
序、及び進行速度を制御するために処理前と処理後に分
けて保管する手段を設け、かつ前記保管手段間を搬送す
る搬送手段と、該搬送手段と前記保管手段間、前記保管
手段と前記処理手段間の移載を行う移載手段と、移動元
と移動先とを示された移動指示に基づいて移動させたワ
ークの物理的位置を確認するトラッキング手段とにより
搬送を行うことを特徴とする多品種搬送方法。 5、搬送手段として、搬送速度に同期して多種類のワー
クの移載を行う搬送手段を用いることを特徴とする請求
項2記載の多品種搬送装置。 6、搬送手段として、ワークを搭載した搭載手段が閉ル
ープの液体を利用した軌道を走行する搬送手段を用いる
ことを特徴とする請求項2記載の多品種搬送装置。 7、搬送システムとして、ワーク毎に枚葉で搬送作業を
行うことを特徴とする請求項4記載の多品種搬送方法。 8、請求項4記載の搬送システムにおいて、裸のワーク
の搬送作業を行うことを特徴とする多品種搬送方法。 9、搬送手段において、円形の双方向に搬送する手段を
設けてワークの進行順序及び進行速度を制御することを
特徴とする請求項2記載の多品種搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1288867A JPH03154751A (ja) | 1989-11-08 | 1989-11-08 | 多品種搬送方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1288867A JPH03154751A (ja) | 1989-11-08 | 1989-11-08 | 多品種搬送方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03154751A true JPH03154751A (ja) | 1991-07-02 |
Family
ID=17735784
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1288867A Pending JPH03154751A (ja) | 1989-11-08 | 1989-11-08 | 多品種搬送方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03154751A (ja) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1989
- 1989-11-08 JP JP1288867A patent/JPH03154751A/ja active Pending
Cited By (20)
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