JPH03154751A - 多品種搬送方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体等の製造システムに係り、特に、フレ
キシブルな多品種生産ラインに好適な搬送システムを実
現するための、搬送設備構成、処理装置構成及びこれら
のコントロールにより、被加工物の流れをコントロール
する多品種搬送方法及び装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、半導体製造工場の製造ラインは特開昭５６−１９
６３５号公報等に見られるように、ウェハを処理、搬送
及び保管するための処理装置等を設置している清浄な雰
囲気を必要とする作業エリアと付帯設備やユーティリテ
ィを設置している高い清浄度を必要としない保全エリア
に分離されいた。そのため、これらを効率的に配置する
ため、中央通路の左右に作業エリアと保全エリアを交互
に設けたペイ方式と呼ばれる構造をとっていた。

そして処理装置の配置は、このペイ方式において。

１ベイ内に同種の処理装置を配置した、いわゆるジョブ
ショップ方式であった。

また、ウェハの搬送は、例えば、特開昭６３−２９９２
３号公報に見られるようにウェハをカセット（キャリア
と称することもある）に入れ、そのカセットをカセット
ケースに収納して行っていた。

そして、ペイ方式では、処理装置間でのウェハの搬送は
、ペイ内搬送とペイ間搬送とにより成り立ち、その接続
点であるペイの出入口にカセットを収納するストッカを
設けていた。つまり、ペイ内搬送は、ペイの入口に設け
られたカセットのストッカから処理装置にカセットを搬
送するものであり、ペイ間搬送は各ペイのストッカから
他のペイのストッカへカセットを搬送するものである。

そのため、一般に処理装置から処理装置へのウェハの搬
送はペイ内の搬送車→ストッカ→ベイ間の搬送車→スト
ッカーベイ内の搬送車というような経路で行われていた
。

そして、無軌道の搬送車としては、ＡＧＶ　（オートマ
チイック・ガイドディト・ビイ−クルＡｕｔｏＩｌａｔ
ｉｃ　　Ｇｕｉｄｅｄ　　Ｖｅｈｉｃｌｅ）と呼ばれる
搬送車があり、数カセットを混載して低速で搬送してい
た。また、軌道式の搬送車としては例えば、特開昭６２
−１８５３３６号公報に見られるように。

カセットを数個載せて搬送するものがあった。

そして、ウェハの処理装置への投入は、特開昭６２−４
８０３８号公報に開示されているように自走式ロボット
が１個のカセットをハンドリングして行っていた。つま
り、ウェハを処理するときは自走式ロボットがストッカ
からカセットを取り出し、処理装置の前まで自走し処理
装置のローダ部にカセットをセットしてウェハを投入し
ていた。

またカセットに収納していたウェハが全て処理を終了し
た場合は、自走式ロボットが処理装置の前まで自走し、
アンローダ部からカセットを取り出し、ストッカまで自
走して、ストッカにカセットを保管していた。

また、クリーン化に関しては、−ｍには付帯設備やユー
ティリティ関係を設置している保全エリアと処理装置の
設置している作業エリアを中央通路の左右にそれぞれ交
互に設けている。さらには、処理装置を自由にレイアウ
トできるように、付帯設備とユーティリティを１階に、
処理装置を２階に設置した例もある。また、もう一つの
動向としては特開昭６０−１４３６２３号公報に開示さ
れているような部分的なりリーンルーム化をはかった方
式が提案されている。これは、クリーンエリアを最小に
おさえるため、処理装置にウェハを投入する時は、予め
処理装置に設けられたインターフェースにカセットの入
ったボックスをセットすることにより行われる。このよ
うにすることによリウエハは雰囲気を外と遮断してクリ
ーンな状態で受は渡される。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、従来の生産方式では次のような多くの課題が
あった。

まず、半導体プロセスは工程数が多く同じ工程の繰り返
しが多いため、従来のようなペイ方式ではペイ間の搬送
経路が複雑になり、搬送に時間を費やすことになる。ま
た、前の工程の装置や後の工程の装置が状態が分からな
いため、装置間の同期が取りにくくなる。そのため、各
ペイで仕掛り量が増え、その結果として工完が長くなる
。また仮に製造ラインをフローショップ方式にしたとし
ても１品種ごとに工程フローが異なるため、多品種生産
には対応できない、その上、半導体プロセスは工程の変
更が多く１品種も頻繁に切り換わるため、レイアウトを
頻繁に変更しなければならないことが考えられる。

また、処理装置に対するウェハの投入は、１ベイ内に配
置している処理装置に対して同一の自走式ロボットでウ
ェハを投入しなければならない。

ところが現状の半導体製造装置は、カセットを装填する
位置の高さ、奥行及びカセットの向きが処理装置ごとに
異なるため、１ベイ内には、そのペイ内を走行している
自走式ロボットがカセットを装填できる処理装置しか設
置できず、処理装置の選定、レイアウトに大きな制約を
受ける。また、新規に処理装置を導入した場合、自走式
ロボットの制約上利用できなくなる可能性がある。

また、処理装置とカセットを保管するストッカが位置的
に離れるため、処理装置にカセットを投入するのにある
程度１時間を要する。また自走式ロボットが、数台の処
理装置に付き１台しかないため同時に複数の処理位置に
カセットを投入できない、よって、これらの要因により
処理装置の稼働率が低く抑えられる。

また、クリーン化に関しては、ペイ方式などのフロア全
体を高い清浄に保つ方式では、クリーン化しなければな
らない空間が広いので高い清浄度を維持するには、巨額
の投資を必要とし、運用コストも非常に高いものになる
。その上、ウェハと作業者が雰囲気的に分離されていな
いので、クリーンルーム内を高い清浄度に保つことは非
常に困難である。

一方、インタフェースにカセットボックスをセットする
方式ではウェハはカセット内に収められ密閉されている
ので、１枚ずつの取り扱いが困難である。その上ウェハ
を取り巻く雰囲気は静止しているため、−度塵埃が発生
すると取り除かれず。

そのままウェハに付着する可能性がある。

また、半導体は、ＡＳＩＣに代表されるように、多品種
の製品がそれぞれ少量求められている。また、将来的に
もこの多品種少量生産の傾向は強まることが考えられる
。そのため、ロットサイズが小さくなり２５枚入りのカ
セットに十数枚しかウェハを収納しなくなることが考え
られる。また、品種によってもロットサイズが異なって
きている。

そのため、従来と比較して同じ生産量にもかかわらず、
搬送しなければならないカセットの数が増え、従来より
高い搬送能力が必要となる。

さらには、半導体ウェハは、従来より、ウェハ径が４イ
ンチから５インチ、さらには、６インチと大口径化の一
途をたどっている。また将来的には８インチへと移行す
る傾向にある。そのため。

ウェハをカセット単位で搬送することが困難になること
が考えられる。

また、処理装置については、ウェハを１枚ずつ処理する
枚葉処理が主流と成ってきている。

このように、多品種少量生産とウェハの大口径化及び、
枚葉処理装置化の傾向が増々はげしくなることが予測さ
れ、このような状況の下ではウェハを２５枚程度まとめ
てカセット単位で管理することは、多品種少量生産にお
ける最適ロットサイズ。

カセットの重量化の点から見ても非常に困難になる。

本発明の目的は、複数の種類のワークの同時搬送が行え
、夫々の種類のワークに応じた処理を行える多品種搬送
方法及び装置を提供するにある。

本発明の他の目的は、ワークの１つ１つを管理すること
ができる多品種搬送方法及び装置を提供するにある。

本発明のさらに他の目的は、部分的なりリーン化が可能
な多品種搬送方法及び装置を提供するにある。

さらに他の本発明の目的は、搬送部と処理部との間のイ
ンタフェースを共通化し、種々の処理の変更に対応可能
な多品種搬送方法及び装置を提供するにある。

さらに、他の本発明の目的は、ワークの流れをコントロ
ールでき、かつ、処理部の稼働率を上げることのできる
多品種搬送方法及び装置を提供するにある。

〔課題を解決するための手段〕

このため、本発明は、複数の種類のワークを処理する複
数の処理手段と、複数の種類のワークを搬送する搬送手
段と、前記搬送手段と前記処理手段間でワークを授受す
る移載手段より成り、前記搬送手段が、前記複数の処理
手段間で多種類のワークを同時に搬送し、前記移載手段
の所定の位置にワークがきたときに、前記移載手段が、
前記搬送手段との間で所望の種類のワークを認識して授
受する多品種搬送方法を実現するものである。

また、多種類のワークを同時に搭載して複数の処理手段
間を走行し、該処理手段に対応づけて設けたワークの移
載手段の所定の位置に搬送する搬送手段と、前記搬送手
段との間で所望の種類のワークを認識して授受する移載
手段と、により構成される多品種搬送装置を実現するも
のである。

この点をさらに詳述すると、以下のようである。

まず半導体プロセスの中で続けて処理することの多い工
程（例えばレジスト塗布→露光→現像。

洗浄→拡散）の処理装置を対象に処理装置間にウェハを
第１の処理装置から第２の処理装置へ移載する装ｒｒＬ
（例えば、移載ロボット）を設置し、処理装置の一貫化
を図り（以下、このようにつないだ装置も一貫処理装置
と称する）、フローショップ化する。そしてこの一貫処
理装置を半導体製造プロセスの大きな流れに沿って（例
えば、成膜→ホト→エッチ→成膜→・・・）トラック状
の搬送路の回りに配置する。また、ラインバランス上、
同種の一貫処理装置が複数台必要な場合には、処理装置
の運用を効率的に行うため、同種の一貫処理装置を１カ
所に集めて配置する。そして、各−頁処理装置に、ウェ
ハを保管する機能と搬送車と処理装置との間でウェハを
受は渡す機能を有する装置を備える。つまり、各−頁処
理装置に、そのウェハ装填方法に対応した移載ロボット
と搬送車の搬送してきたウェハ１枚ずつ管理、保管する
保管棚を設けた装置を設ける。

そして、一貫処理装置間で搬送するものをウェハのみの
限定する。つまり、ウェハをカセットに入れ、それをカ
セットケースに収納して搬送するのではなく、搬送車の
一部にカセットと同様なウェハを保持する機構を取り付
け、ウェハのみを搬送する。そして棚ごとにウェハの有
無を確認するセンサを設け、各欄ごとに品種、加工履歴
を記憶する。また、搬送車はすべての一貫処理装置を巡
回して、一貫処理装置の前に到着すると処理を終了した
ウェハを載せ、さらに、その処理装置で処理するウェハ
を下す。

また、ウェハの管理は１枚ずつとする。そのため、ウェ
ハに１枚ずつ品種及び品種別の通し番号から成るウェハ
ナンバーを記載し、そのウェハナンバーで管理する。そ
して、ウェハの加工履歴は、コンピュータが管理し、全
体の進行制御に利用する。また、自動化に際しては、処
理装置が誤ってウェハを処理していないか、ウェハの欠
ｔｆｉがナイかを確認するため処理後にウェハのウェハ
ナンバーを識別する。

そして、クリーン化のため搬送中はウェハを収納した状
態で完全に密閉する。また、搬送車からウェハを処理装
置に投入するときはその雰囲気のみを高い清浄度に保つ
ため周囲と雰囲気を仕切り、移載ロボットと保管棚と処
理装置の一部のみをクリーン化する。そのクリーン化の
ために、上面にＨＥＰＡフィルタ等の除塵フィルタと送
風用のファンを設け、床面はグレーチング構造とし、垂
直な層流状態にする。

〔作用〕

ラインの構造として、品種、工程順序が同類のものをま
とめてグループ化し、処理設備の前に、ウェハ１枚ずつ
品種グループ・工程ごとに、処理装置へ投入すべきウェ
ハまたは、処理装置から処理されて出てきてウェハを保
管する保管棚を設け、処理装置間をウェハを載せ搬送す
る搬送設備でつなぐことにより、保管棚からどの品種の
どの工程のウェハを処理装置に投入するか、また、処理
されたウェハのどのウェハを搬送するかにより、ウェハ
の流れをコントロールできる作用がある。これにより各
処理装置間で、流れの順序がコントロールでき、計画に
基づいたウェハの順序・量を保つように、その度、任意
のウェハを搬送させることで、あたかも品種ごとの専用
ラインであるかのように、ウェハを流すことができる。

ウェハ自体に対して、ウェハを処理する前に、ウェハの
品種と品種別の通し番号であるウェハナンバーを付ける
ことで、ウェハ１枚ごとの管理が行え、また、ｒａ別装
置でウェハを識別することによりどのウェハかをウェハ
自体で確認することができる。これにより、投入したウ
ェハがどの工程まで進んでいるかをウェハ１枚重位で正
確に知ることができる。

処理装置においては、常に同じ工程を繰り返す工程経路
に対応したそれぞれの装置を数台連ねることで、投入す
ると数工程分処理されて出てくるため、管理する工程が
少なくなり、また、処理装置間のトータルの搬送距離、
搬送回数が少なくなる。

搬送設備と処理装置間のウェハ受は渡しでは、搬送設備
と処理装置間でつ；ハ移載する移載ロボットと処理装置
に投入、または、処理されたウェハを搬送車に載せるた
めに一時保管して品種グループ、工程ごとに管理する保
管棚、処理装置で処理されたウェハが、どのウェハなの
かを識別する識別装置を設け、これらをクリーンボック
スで囲んだウェハ授受ユニットにより、搬送車と処理装
置間のウェハの移載をクリーンな状態で行え、ウェハ１
枚ごとの進行を正確に把握することができ。

ウェハの流れを忠実に把握できる作用がある。

クリーン構成では、ウェハ１枚ずつ搬送棚に保管して密
閉搬送し、処理、または搬送するために一時保管する場
合はクリーンな雰囲気を保った状態で保管するクリーン
ボックスに入れることにより、クリーン領域を少なくす
ることができる。

ウェハの搬送単位は、１枚重位で搬送管理するため１枚
を基準とした管理が容易に行える。

搬送設備においては、トラック状の軌道を巡回する搬送
車に、所定のステーションにおいてウェハ１枚重位で移
載できるようにし、搬送中も１枚重位で保管することで
、搬送設備を有効に活用できる。

ウェハの流れにおいては、工程順序が同類の品種をグル
ープ化することにより、制御量を少なくし、保管棚から
投入する順序、搬送車でウェハを搬送する順序をコント
ロールし、ウェハの品種グループ間の流れる割合を投入
から搬出まで一定にするようにウェハを流すことで、要
求順序・量に合ったウェハの生産ができる。

〔実施例〕

実施例目次 （１，構成） （１，１全体構成） （１，２各装置の構成） （１，３コントローラ構成） （１，４データ構成） （２，コントローラの動作） （２，１ｍ別装置のデータ構成） （２，２コントローラの通信手順） （３，生産方式） （３，１投入順序決定方式） （３，２サークルライン方式） （３，３進行制御） （４，ウェハの流れと各装置の動作） （５５代替実施例） （１，構成） （１，１全体構成） 本発明の一実施例を第１図から第４０図により説明する
。

全体構成図を第１図に示し、説明する。

中央部の天井に、トラック状の搬送レール１を設け、そ
の搬送レール１に沿って走行する搬送車２を設置し、こ
の回りに、ウェハの数工程の処理を行うように装置を連
ね構成した処理装置６０を設け、この処理装置６０の前
に、ウェハを搬送する搬送車２との間でウェハの受は渡
しをクリーンな雰囲気中で行う、ウェハ授受ユニット２
０を設置し、処理装置６０とウェハ授受ユニット２０を
合わせた設備モジュール９０を基本単位としていくつか
構成する。ある処理装置６０でウェハが処理されると、
搬送車２がそのウェハを載せ次工程の処理装置６０へと
搬送し１次々と処理工程を進めていくことで一連のウェ
ハの処理が終了する。これらの装置構成に、これから処
理すべきウェハの投入、又、一連の処理が終了したウェ
ハの搬出を行う投入・取り出し装置８０を搬送レール１
の近傍に設ける。また、ホストコントローラ１１０は、
投入・取り出し装置８０、搬送車２．ウェハ授受ユニッ
ト２０．処理装置６０と通信ケーブル１１７で接続され
、管理、コントロールする。

この構成において、ウェハは最初、投入・取り出し装置
８０から、投入される。すなわち、搬送車２のいずれか
が、投入・取り出し装置８０まで移動し停車する。そし
て、投入・取り出し装置８０から、ウェハが搬送車２に
移載される。この時、所定の処理が終了したウェハがあ
る場合は、搬送車２から投入・取り出し装置８０へ移載
される。

搬送車２にウェハが載せられると、搬送レール１にそっ
て対象工程の所へ搬送車２が移動し、ウェハ授受ユニッ
ト２０で、ウェハを受は取り一時保管する。このとき、
処理が終了し、次工程に搬送するウェハがある場合は、
ウェハ授受ユニット２０から搬送車２に移載される。ウ
ェハ授受ユニッ１−２０は、ウェハを品種グループ（処
理工程が同類の品種同士をグループ化したもの）及び工
程ごとに管理し、どのウェハでも任意に処理装置６０に
投入することができる機能をもっている。そして、ホス
トコントローラ１１０の指令に基づき、ウェハ授受ユニ
ット２０で、指定されたウェハを処理装置６０に投入し
、処理が終了するとウェハナンバー（品種２品種ごとの
通し番号）を識別し、再び、次工程へ搬送するため、−
時保管される。そして、搬送車２が来ると、ウェハ授受
二ニア＋”２０でウェハを移載して、次工程へ搬送する
。このようにして、一連の処理が終了するまで、この動
作を繰り返す。

一連の処理が終了すると、投入・取り出し装置８０の所
まで、搬送車２によって搬送され、投入・取り出し装置
８０へ移載される。

（１，２各装置の説明） 第１図に示したウェハ授受ユニット２０を第２図に示す
、第３図は、第２図のＡ矢視図、第４図は第２図のＢ−
Ｂ線断面図、第５図は、Ｃ−Ｃ線断面、第６図はウェハ
、第７図は、第２図の保管棚の構成図、第８図は、第７
図の保管棚のウェハ保持部の詳細図である。

ウェハ授受ユニット２０は、トラック状の搬送レート１
に沿って走行する搬送車２から所定の品種と工程のウェ
ハを受取り、それを処理装置（例えばホトリソ装置など
）６０に投入し、処理の終了したウェハを再び搬送車２
へ移載する機能を有している。

ウェハ授受ユニット２０は、第２図に示すように、ウェ
ハを保管する保管棚３０．ウェハをハンドリングする移
載ロボット２１．ウェハに記載されている品種２品種別
の通し番号を示すウェハナンバーを読み取る識別装置４
０及びこれらの装置と処理装置６０のローダ部６１とア
ンローダ部６２を清浄な雰囲気に保つためのクリーンボ
ックスから構成されている。保管棚３０には第８図に示
すようにウェハ７０を１枚ずつ保持するための保持部３
１が設けてあり、各保持部３１にはウェハ７０の有無を
確認するためのセンサ（たとえば光電スイッチなど）が
設けてあり、ウェハ授受ユニット２０を管理、コントロ
ールするウェハ授受ユニットコントローラがウェハ有無
の確認を行う。

第３図に示すように、ウェハ授受ユニット２０の中央部
に、移載ロボット２１を配置させ、搬送棚１０１〜保管
棚３０間、保管棚３０〜ロ一ダ部６１間、アンローダ部
６２〜識別装置４０間、識別装置４０〜保管４１ｍ３０
間のウェハの移載を行う。移載ロボット２１の構成を第
４図で説明する。

移載ロボット２１は、１枚のウェハを真空吸着するグリ
ッパ−２２と前腕２３及び上腕２４が上下軸２５で上下
動するように構成されている。移載ロボット２１のコン
トローラは、ウェハ授受ユニットコントローラから移載
の指示を受け、移載ロボット２１をコントロールしてウ
ェハを移載し、ウェハ授受ユニットコントローラにウェ
ハの移載が終了したことを伝える。

識別袋ｒ！１４０の構成を第５図を用いて説明する。

識別装置４０は、照明光源４２とテレビカメラ４１及び
データ処理部４３により構成される。移載ロボット２１
により識別装置４０のステージ部４４にセットされたウ
ェハには照明光源４２により光があてられ、ウェハに明
示されたウェハナンバーをテレビカメラ４１でとらえ、
画像データとして取り込む。そして。

その画像データをデータ処理部４３で解析し、ウェハナ
ンバーを読み取る。

ウェハは、第６図に示すように、そのウェハの品種を示
す品種名７１と品種別につけられた通し番号７２よりな
るウェハナンバー７３が書き込まれている。そして、ウ
ェハナンバー７３の読み取りは識別装置４０で行われる
。これによりウェハ１枚１枚を管理することができる。

クリーンボックス５０はウェハを搬送棚５と処理装置６
０の間で受は渡すときにウェハを汚染させないように雰
囲気を清浄に保つもので、第３図に示すように保管棚３
０．移載ロボット２１．識別装置４０゜及び処理装置の
ローダ部６１．アンローダ部６２を内部に収めている。

第４図、第５図で示すように、クリーンボックス５０の
構成は、上面に内部の空気の流れが層流になるように送
風用のファン５２と送風の塵埃を取り除＜ＨＥＰＡフィ
ルタ５３をとりつけ、下面は送風が吹きぬけるようグレ
ーチング構造となっている。

また、搬送棚５との間でウェハを受は渡すことができる
ように開閉するクリ−ンボクス扉５１が側面に取り付け
られている。このクリーンボックス扉５１は通常は閉じ
られており、搬送車２の搬送棚５がセットされたときに
開く。

搬送車２の正面図を第９図に、側面図を第１０図に示す
。例えば、第４回インタナショナル・コンファレンス・
オン・アセンブリ・オートメーション・プロシーディン
グ（４ｔｈ　　Ｉ　ｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌＣｏｎｆ
ｅｒｅｎｃｅ　　ｏｎ　　Ａ　ｓｓｅｍｂｌｙ　　Ａ　
ｕｔｏｍａｔｉｏｎＰｒｏｃｅｅｄｉｎｇ）　　（ｐ　
、　ｐ　、　３０３〜３１３）に類似の実施例が見られ
る。

搬送車２にはガイド用車輪６と駆動装置７（例えばリニ
アモータ）が取付けられており、搬送レール１に沿って
動くような構造となっている。また搬送棚５をクリーン
ボックス５０にセットするための昇降装置３．及び昇降
ヘッド４を具備している。昇降ヘッド４は、上下動ガイ
ド９に沿って上下動駆動装置８（たとえばモータとボー
ルネジなど）により上下動する構造となっている。また
搬送棚５は前後動ガイド１１に沿って、前後動ガイドｒ
！１１０（例えばモータとボールネジなど）により前後
の動きをする構造となっている。第２図を用いて動作を
説明する。搬送車２は予め設置されたトラック状の搬送
レール１に懸垂して走行し、ウェハ授受ユニット２０の
前で停止すると、昇降ヘッド４をクリーンボックス扉５
１の位置まで下げ、次に搬送棚５をクリーンボックス５
０に進入させる。そして、クリーンボックス扉５１が開
いた後、搬送種卵１２が開くようになっている。そして
移載ロボット２１のグリッパ−２２により、ウェハの移
載が終了すると、搬送１ｙ３１２が閉じ、クリーンボッ
クス扉５１が閉じ、前後動ガイド１１により搬送棚５を
戻し。

昇降ヘッド４をもとの高さに戻す。

第１１図に投入・取り出し装置８０の構成を示す。

第１２図は第１１図のＤ−Ｄ線断面図を示したものであ
る。

第１１図において、投入・取り出し装ｒｆ１８０はウェ
ハをハンドリングする移載ロボット８１．ウェハを保管
する保管棚８２、及びこれらの装置を清浄な界囲気に保
つクリーンボックスにより構成されている。第１２図に
おいてクリーンボックスは、ウェハ授受ユニットのとこ
ろで説明した構成のように、送風用のファン８５と送風
の塵埃を取り除＜ＨＥＰＡフィルタ８６をとりつけ、下
面には送風が吹き抜けるようグレーチング構造となって
いる。また、搬送車２に載せられた搬送棚５との間でウ
ェハを受渡すことができるように扉（第４図のクリーン
ボックス扉５１と同様）と、これから処理すべきウェハ
を投入したり、処理の終了したウェハを取り出したりす
るために開閉する搬送＋ｍ１１０４が側面に取付けられ
ている。ｍ送棚１０１は走行車１００から投入・取り出
し装置８０に対しウェハの投入、取出しを行うため、走
行車１００には、搬送７９１０１を保持するアー４１０
３を直進駆動するスライドガイド１０２（例えば、モー
タ及びボールネジ）が具備されている。走行車１００が
投入・取り出し装置８０の所定の位置にくると、停車し
、アーム１０３を直進させ、クリーンボックス８３に搬
送棚１０１を入れ込みセットする。クリーンボックス５
８４，１送棚扉１０１がそれぞれ開き、移載ロボット８
１により搬送棚１０１のウェハを取り出し、保管棚８２
にセットする。このとき、処理の終了したウェハがある
時は、保管棚８２から搬送棚１０１にウェハを移載する
動作も連続的に行う。この移載中、第１１図のように搬
送車２がきて、搬送棚５が投入・取り出し装置８０にセ
ットされた場合、保管＠８２〜搬送棚５間の移載も同時
に行う。搬送棚１０１の移載が終了すると、搬送棚５１
０１．クリーンボックス扉８４が閉まり、アーム１０３
を戻し、走行車１００によって、次工程へ搬送させる。

（１，３コントローラ構成） 第１３図は、第１図の制御系統図を示したものである。

ホストコントローラ１１０は、下位に第２図に示すウェ
ハ授受ユニット２０と処理装置６０から成る設備モジュ
ール９０を１つのコントロール系の構成単位として、ウ
ェハ授受ユニット２０のコントローラであるウェハ授受
ユニットコントローラ１１３゜識別装置４０のコントロ
ーラである識別装置コントローラ１１１．移載ロボット
２１のコントローラであるロボットコントローラ１１２
．処理装置６０のコントローラである処理装置コントロ
ーラ１１４を設ける。そしてその他に、ウェハの没入・
取り出し装置８０のコントローラである投入・取り出し
装置コントローラ１１６とウェハ移載を行う移載ロボッ
トのコントローラであるロボットコントローラ６０２゜
搬送車２のコントローラである搬送車コントローラ１１
５を設ける。

ホストコントローラ１１０は、ウェハを品種グループ・
工程ごとに進行管理するデータを保持し、上記、各コン
トローラと連係をとりながら指示。

確認を行い、ウェハがスムーズに流れるように制御する
。

ウェハ授受ユニットコントローラ＋１３は、保管１ｌＩ
ｌ！３０に保管しているウェハの種類を管理し、又。

ロボットコントローラ１１２と通信し、ウェハ授受ユニ
ット２０をコントロールする。

識別装置コントローラ１１１は、識別装Ｕ４０で識別し
たウェハのウェハナンバーをウェハ授受ユニットコント
ローラ１１３に送信する。

ロボットコントローラ１１２は、移載ロボット２１の起
動、停止、動作をコントロールする。

処理装置コントローラ１１４は、処理装置６０の処理状
態とレシピを管理し、処理装置６０のコントロールを行
う。

搬送車コントローラ１１５は、搬送車２の起動、停止、
走行のコントロールし、搬送棚５の棚番に対して、どの
品種グループのどの工程のウェハが保持されているかを
管理する。

投入・取り出し装置コントローラ１１６は、投入・取り
出し装置８０の保管棚８２に対して、どの柵にどの品種
グループのどの工程のウェハを保管しているか管理し、
ロボットコントローラ１１２と通信し、投入・取り出し
装置８０のコントロールを行う。

これらのコントローラ間は、トークンリング構成の光Ｌ
ＡＮで接続し、２本の通信ケーブル１１７により各装置
コントローラを結び、各装置コントローラの接続部は、
システム障害に応じてスイッチングにより障害を回避す
るようにして、ケーブルの断線、各装置のコントローラ
ダウンによる通信障害を防ぐ構造としている。

この構造により、高速通信ができ、ポイント・トウ・ポ
イント方式から送受信時間が計算できる為リアルタイム
にデータ通信が行え、各コントローラ間の通信信号の消
費が少なく、信号の優先度がつけやすいので、コントロ
ールしやすい。

（１，４データ構成） 第１３図に示したコントローラ構成に基づいて必要なデ
ータ構成を第１４図〜第２２図に示す。

ホストコントローラ１１０は、第１４図に示す品種ａ工
、ｂよ・・・ごとの工程フローデータ１２０から、第１
５図に示すような、工程順序とレシピが同類である品種
ａｎｔ　ａ２・・・のものをグループ化した品種グルー
プＡ、Ｂ、・・・を作成して品種グループ工程フローデ
ータ１２１を決定する。また、ウェハの進行制御を行う
ため、第１６図に示すように、品種グループごと及び工
程ごとに仕掛っている仕掛り量を示す品種グループ別仕
掛りデータ１２２、第１７図に示すように、品種グルー
プごとに各工程に仕掛るべき標準仕掛り量を記した！３
′＄仕掛りデータ１２３を管理している。また、第１８
図に示すように、処理装置ごとに仕掛っている仕掛り量
を示す装置別仕掛りデータ１２４、また、第１９図に示
すように、各搬送車で搬送しているウェハの種類と加工
履歴を示す搬送車データ１２５も管理している。

ウェハ授受ユニットコントローラ１１３ハ、各保管棚に
保管しているウェハをそれぞれ管理するため、第２０図
に示すように、管理しているウェハの情報を保管棚デー
タ１２６として、管理している。

搬送車コントローラ１１５は、各搬送棚に保管している
ウェハをそれぞれ管理するため、第２１図に示すように
、搬送棚のウェハの情報を搬送棚データ１２７として管
理している。

処理装置コントローラ１１５は、第２２図に示すように
、加工条件（レシピ）をコード化したレシピＮ　ｏ、に
対応するその処理装置の加工条件を表す情報をレシピデ
ータ１２８として持っている。

以下各データについて詳細に説明する。

第１４図に示す工程フローデータ１２０は、品種別に、
処理順序に従って、工程順序と加工条件であるレシピを
表すレシピＮｏ、が付けられている。

第１５図に示す品種グループ工程フローデータ１２１は
、工程フローデータ１２０より作成したものであり、工
程順序とレシピが同類である品種ａ工。

ａ２・・・のものをグループ化した品種グループＡ、Ｂ
　。

・・・ごとの工程フローである。

第１６図に示す品種グループ別仕掛りデータ１２２は、
ウェハの品種グループと加工履歴別に全てのウェハの枚
数をデータとしてもつものである。

第１７図に示す標準仕掛りデータ１２３は、品種グルー
プごとに各工程に仕掛るべき標準仕掛り量を示したもの
である。

ホストコントローラ１１０は、これら品種グループ工程
フローデータ１２１９品種グループ別仕掛りデータ１２
２．　ｍｌ仕掛りデータ１２３により処理すべき品種グ
ループ、工程を選択する。

第１８図に示す装置別仕掛りデータ１２４は、処理装置
別に保管棚に保管しているウェハの品種グループと加工
履歴と枚数をデータとしてもつものである。そして、ホ
ストコントローラ１１０は、このデータに基づき処理装
置に対し着工指示を行う。

第１９図に示す搬送車データ１２５は、搬送車が保管し
ているウェハの品種、加工履歴及び枚数をデータとして
もつものである。そして、ホストコントローラ１１０は
、このデータに基づき搬送車から保管棚に移載する指示
を行う。

第２０図に示す保管棚データ１２６は、各保管棚の１つ
の保持部ごとにつけた保管棚番号に対して。

保管しているウェハのウェハナンバー、加工履歴、及び
保管棚に保管された順番を示す到着順番を対応させたも
のである。ウェハ授受ユニットコントローラ１１３は、
このデータに基づき同じ品種グループ、加工履歴のウェ
ハの中で処理するウェハを特定する。

第２１図に示す搬送棚データ１２７は、各搬送車の搬送
棚の１つの保持部ごとにつけた搬送棚番号に対して、搬
送しているウェハのウェハナンバー加工履歴及び搬送車
に乗せられた順番を示す到着順番をつけたものである。

搬送車コントローラ１１５は、このデータに基づき同じ
品種グループ。

加工履歴のウェハの中で保管棚に移載するウェハを特定
する。

（２，コントローラの動作） （２，１識別装置のデータ処理） 識別装置コントローラ１１１のデータ処理フローチャー
トを第２３図に示し、処理フローを説明する。

識別装置コントローラ１１１は、識別装置４０ヘセツト
されたウェハのウェハナンバーを画像データとして取り
込み（ステップＡ２）、データ処理を行い（ステップＡ
３）、ウェハナンバーが読み取り可能かどうか判断する
（ステップＡ４）、そして、読み取り可能ならば、ウェ
ハナンバーを読み取る（ステップＡ５）。そして、ウェ
ハ授受ユニットコントローラ１１３に、読み取り結果と
して。

ウェハナンバーを送信する（ステップＡ６）。ところが
、ウェハナンバーを読み取れなければ１文字読み取り誤
り訂正可能か、つまり、ウェハナンバーが完全に読み取
れなくとも、ある程度読み取ることが可能で、高い確立
でウェハナンバーを判別できるかを判断する（ステップ
Ａ７）。文字読み取り誤り訂正可能ならば、文字読み取
り誤り訂正を行う（ステップＡ８）。そして、そのウェ
ハナンバーを読み取り（ステップＡ９）、ウェハ授受ユ
ニットコントローラ１１３に、読み取り結果として、ウ
ェハナンバーとその再マーキングが必要であることを送
信する（ステップＡ１０）。文字読み取り誤り訂正が不
可能であるならば、ウェハが識別装置３３０にセットさ
れた状態から処理をやりなおす、そして、３回繰り返し
ても、ウェハナンバーを判別できなければ、判別結果と
して、ウェハ授受ユニットコントローラ１１３に、識別
結果として、読み取りが不可能であることを伝える（ス
テップＡ１２）　。

（２，２コントローラ間の通信手順） 以下、第２図、第１３図、第１８図〜第２１回、及び第
２４図〜第２６図により各装置の動作とコントローラ間
の通信手順を説明する。

移載ロボット２１のウェハ移載動作は（１）　Ｉｆ）１
送棚５→保管棚３０　　（２）保管棚３０→処理装置６
０のａ−ダ部６１　　（３）処理装置６０のアンローダ
部６２→識別装置４０→保管棚３０　　（４）保管棚３
０−＋搬送棚５の４つである。ただし、移載ロボット２
１を効率的に動かすため、搬送棚５→保管棚３０．保管
棚３０→搬送棚５のウェハ移載動作は同時に並行して行
う。

搬送Ｗ５と保管棚３０の間で、ウェハを移載する時の各
コントローラの処理手順とコントローラ間の通信手順を
第２４図に示し、説明する。

搬送車コントローラ１１５は、搬送車２がウェハ授受ユ
ニット２０の前に到着する（ステップＢｌ）と、ホスト
コントローラ１１０に搬送車２が到着したことを送信す
る（ステップｌ３２）。そして、ホストコントローラ１
１０が受信する。（ステップＢ３）。

すると、ホストコントローラ１１０は、搬送棚５から保
管棚３０に移載するべきウェハの品種グループ、加工履
歴及び枚数を搬送車コントローラ１１５に送信するが、
保管棚３０．　Ｗｉ送＠５間で移載するウェハがない場
合は、搬送車コントローラ１１５に対しそのまま走行す
るように指示（１２送指示）を送信する（ステップＢ４
．Ｂ５）ａ　また、ホストコントローラ１１０は、保管
棚３０から搬送棚５に移載するべきウェハの品種グルー
プ、加工履歴、及び枚数を決定し、ウェハ授受ユニット
コントローラ１１３に送信する（ステップＢ７．Ｂ８）
。すると搬送車２は昇降装置３で上下動ガイド９を下し
、前後動ガイド１１を前進させ、ウェハの入っている搬
送棚５をクリーンボックス扉５１にセットする。そこで
、クリーンボックス扉５１が開き次に敞送種卵１２が開
く。このようにして搬送ｌｌｌ５のウェハはクリーンボ
ックス５０内の移載ロボット２１で自由に出し入れでき
る状態になる（ステップＢ６）。そこで、ウェハ授受ユ
ニットコントローラ１１３は、第２０図に示す保管棚デ
ータ１２６に基づき、移載するウェハを決定する（ステ
ップＢ９）。また、搬送車コントローラ１１５は、ｍ送
棚データ１２７に基づき移戟するウェハを決定し、その
ウェハのウェハナンバー、加工履歴、搬送棚番号、及び
ウェハの入っていない棚の搬送棚番号をウェハ授受ユニ
ットコントローラ１１３に送信する（ステップＢＩＯ，
Ｂ１１）。

そして、ウェハ授受ユニットコントローラ１１３は、保
管棚３０から搬送棚５に移載するウェハの移載光である
搬送棚の位置、搬送棚５から保管ｌｌｌ１３０へ移載す
るウェハの移載光である保管棚の位置、及び搬送棚５か
ら保管棚３０移載するウェハの移載光の位置を移載する
ウェハ全てについて決定し、移載手順を決定する。（ス
テップＢ１２）、その決定した手順に基づいて、ロボッ
トコントローラ１１２に対して移載光と移載光を送信す
る（ステップＢ１４゜Ｂ１５）。移載ロボット２１はそ
の指示に基づいて。

作業を行い（ステップＢ１６）、終了した時点で終了し
たことをウェハ授受ユニットコントローラ１１３に伝え
る（ステップＢ１７．　Ｂ１８）　、この作業をホスト
コントローラ１１０の指示したウェハ全てについて移載
が終了するまで繰り返す、ただし、この移載処理の途中
で、処理装置コントローラ１１４からウェハ移載の要求
があった場合は、移載処理を中断し、処理装置コントロ
ーラ１１４の要求に応じ。

その後、処理を再開する。終了すると、ウェハ授受ユニ
ットコントローラ１１３は、搬送車コントローラ１１５
に対し、搬送棚５に移載したウェハのウェハナンバー、
加工履歴、及び搬送棚番号を送信する（ステップＢ１９
．　Ｂ２０）　、そして、保管棚データ１２６の保管棚
の棚番号に対応している、ウェハナンバー、加工履歴及
び到着順番を更新する（ステップＢ２１）、さらに、ホ
ストコントローラ１１０に対して、保管棚３０に保管し
ているウェハの品種グループ、加工履歴を送信する（ス
テップＢ２２、　Ｂ２６）、また、搬送車コントローラ
１１５は、搬送棚データ１２６の搬送棚番号に対応する
ウェハナンバー、加工履歴及び到着順番を更新する（ス
テップＢ２３）、さらに、ホストコントローラ１１０に
対して、搬送棚５に保管しているウェハの品種グループ
、加工履歴を送信する（ステップＢ２４．　Ｂ２６）。

そして、搬送車２は１次の搬送を開始する（ステップＢ
２５）。また、ホストコントローラ１１０は。

ウェハ授受ユニットコントローラ１１３及び搬送車コン
トローラ１１５から、送信されてきた、保管棚５に保管
しているウェハの品種グループ、加工履歴、及び搬送棚
３０に保管しているウェハの品種グループ、加工履歴を
受信する（ステップＢ２６）。

そして、ホストコントローラ１１０は、装置別仕掛りデ
ータ１２４９品種グループ別仕掛りデータ１２２゜及び
搬送車データ１２５を更新する（ステップＢ２７）。

次に、保管棚３０から処理装置のローダ部６１ヘウエハ
を移載する時の各コントローラの処理手順とコントロー
ラ間の通信手順を第２５図に示し、説明する。

ホストコントローラ１１０は、処理装置コントローラ１
１４に対し着工指示として、処理すべき品種グループ、
加工履歴、レシピＮｏ、及び枚数を送信する（ステップ
Ｃ１，Ｃ２）。そして、処理装置コントローラ１１４は
この指示に従ってレシピを設定する（ステップＣ３）。

そして、処理装置コントローラ１１４は処理装置６０が
ウェハを処理できる状態になったら、ウェハ授受ユニッ
トコン１−ローラ１１３に対して、処理するウェハの品
種グループと加工履歴を送信する（ステップＣ４，Ｃ５
）。

受信したウェハ授受ユニットコントローラ１１３は該当
する品種グループ、加工履歴のウェハの中で。

最も早く保管棚１１０に保管されたウェハを保管棚デー
タ１２６で検索し、ウェハを選択する（ステップＣ６）
。そして、そのウェハナンバーを処理装置コントローラ
１１４に伝える（ステップＣ８）と共にそのウェハの保
管されている保管棚の位置をロボットコントローラ１１
２に伝え、保管＄Ｊ１３０から処理装置のローダ部６１
にウェハの移載を指示する（ステップＣ９，Ｃｌ０）。

この指示に基づき、移載ロボット２１はウェハを保管棚
３０から取り出して処理装置６０のローダ部６１にセッ
トする（ステップＣ１１）。

終了すると、ロボットコントローラ１１２が作業を終了
したことをウェハ授受ユニットコントローラ１１３に伝
える（ステップＣ１２，Ｃ１３）。ウェハ授受ユニット
コントローラ１１３は該当するウェハの保管棚データ１
２６を消去する（ステップＣ１４）。一方、処理装置６
０はウェハの処理を開始する（ステップＣ１３）　　。

次に、処理袋ｒｒＬ６０による処理が終了して処理装置
のアンローダ部６２から識別装置４０ヘウエハを移載し
保管棚にウェハを保管する時の各コントローラの処理手
順とコントローラ間の通信手順を第２６図に示し、説明
する。

処理装置６０は処理を終えたウェハをアンローダ部６２
に運ぶ（ステップＤｉ）。そして、処理装置コントロー
ラ１１４１１　ウェハ授受ユニットコントローラ１１３
にアンローダ部６２のウェハのウェハナンバーを送信し
て、取り出しを要求する（ステップＤ２．Ｄ３）。する
と、ウェハ授受ユニットコントローラ１１３は、ロボッ
トコントローラ１１２に対し、アンローダ部６２から識
別装置４０ヘウエハを移載するように指示する（ステッ
プＤ４．Ｄ５）。

この指示に基づき、移載ロボット２１はウェハをアンロ
ーダ部６２から取り出して識別装置４０にセットする（
ステップＤ６）。終了すると、ロボットコントローラ１
１２が作業を終了したことをウェハ授受ユニットコント
ローラ１１３に伝える（ステップＤ７、Ｄ８）。そして
、識別装置コントローラ１１１は、ここで第２３図に示
したような識別、処置をし、識別結果をウェハ授受ユニ
ットコントローラ１１３に送信する（ステップＤ９．Ｄ
ＩＯ）、そして、ウェハ授受ユニットコントローラ１１
３は識別装置コントローラ１１１より識別結果を受信す
ると（ステップＤＩＯ）、ウェハを保管する保管棚３０
の位置を決定しくステップＤｌｌ）　、　　ロボットコ
ントローラ１１２にその位置を伝え、移載を指示する（
ステップＤ１２゜Ｄ１３）。そして移載ロボット２１が
、識別装置４０からウェハを取り、保管棚３０へ保管す
る（ステップＤ１４）　、終了すると（ステップＤ１５
．　Ｄ１６）　、ウェハ授受ユニットコントローラ１１
３はウニハラ保管した保管棚番号に対応するウェハナン
バー、加工履歴を保管棚データ１２６として記憶する（
ステップＤ　１７）、更に、ホストコントローラ１１０
に処理の終了したウェハのウェハナンバー、加工履歴を
送信する（ステップＤ　１ｇ）、ホストコントローラ１
１０は、ウェハナンバー、加工履歴を受信しくステップ
−ＩＪ９）、品種グループ別仕掛りデータ１２２．及び
装置別仕掛りデータ１２４を更新する（ステップＤ　２
０）。

（３，生産方式） （３，１投入順序決定方式） 第２７図に、第１図に示した生産システムに対して、ど
のような順序でウェハの投入を行うかを決定する投入計
画フローを示す。作業量に対して、実現可能な標準日程
要求量を求め（ステップＥｌ）、この値に対し、日ごと
の要求量と納期を満足した上、作業量の平準化を行い、
これとともに要求量の平準化が行われる。（ステップＥ
２）。要求生産量に対応する品種をグループ（処理工程
が同類のもの）すなわち品種グループに分類する（ステ
ップＥ３）。次に１品種グループごとの要求割合を保っ
た要求順序を決定しくステップＥ４）、さらに、品種グ
ループ内の品種の割合を保った要求順序を決定する（ス
テップＥ５）。これらの要求順序により、それぞれの品
種グループの要求順序に対して１品種の要求順序を順番
にあてはめていくことにより、品種ごとつまり、ウェハ
１枚重位の要求順序が決定され、この要求順序をそのま
ま投入順序として決定する（ステップＥ６）。以下各処
理手順を詳細に説明する。

第２８図に、標準日程要求量を求め、装置のレシピ等変
更に伴う作業の平準化を行う作業量を図った要求量平準
化方法を示す。図において、原点０とスケジューリング
期間の総要求量である作業量をＥとした端点Ｅと１日々
の要求生産量、実現可能で守らなければならない生産量
に対する作業量の累積である累積最遅負荷（ハ）の各部
分にピンを立て、ゴムひもを実現可能な生産量に対する
作業量である累積限界負荷（イ）と、納期を守った最低
生産量（白丸で示す）に対する作業量でもある累積最遅
負荷との間にいれ、両端○、Ｅを緊張させた時、このゴ
ムひもの作る折れ線が要求量、納期を満足する平準化負
荷（ニ）となる。この負荷曲線から日ごとの要求量を求
める。この時、日ごとの要求量に端数が発生した場合は
、スケジューリング期間内の全体要求量に平準化要求量
が一致するように調整する。また、１日の作業量が非常
に少なくなった場合、その作業量に見合った作業量を前
倒しする。このようにすることで、実現可能な作業量で
、納期に遅れることなく１作業量の平準化を行うことが
でき、これに伴い、要求量の平準化も図れる。

次に、投入順序算出方法について示す。第２９図に示す
ように用語を定義する。に日日に対象となる品種グルー
プ数がＭ２品種グループ中の品種数がＮで、平準化要求
量がＰｊｉの時、全要求生産量Ｘは、 Ｊ！１　　　ｉｍｌ となり１品種グループｊのキヨリ基準１ｏｊは、となり
、品種グループｊの品種ｉのキヨリ基；曽１ｏｊｉは、 Σ　Ｐｊｉ ｌ目１ １ｏｊｉ″　Ｐｊｉ （ｊ＝１．２．・・・；　ｉ＝１．２．・・・）となり
、品種グループごと、品種ごとのキヨリ基準が求まる。

このキョリ基準１ｏｊとキョリｌｊから正規化キョリＺ
ｏｊを求める０次に、品種グループごとに、正規化キョ
リＺｏｊの大きいものから順に順序づけをし、同様に、
それぞれの品種グループに対して、品種ごとの正規化キ
ョリＺｏｊを求め、品種ごとの順序づけを行う。このよ
うにすることで１品種単位の１枚ごとの要求順序がわか
り、この順序に基づいて投入することにより、要求量に
対する品種グループごとの割合、品種ごとの割合が常に
保たれ、要求に合った生産を行うことができる。

第２７図から第２９図に示した投入順序決定方法を具体
的に例題を用いて第３０図から第３５図を用いて示す。

第３０図に、スケジューリング期間を６日間としてその
要求量を示す、この要求量に基づいて、累積負荷グラフ
を作成したものを第３１図に示す。このグラフの平準化
負荷より、平準化した日ごとの要求量を第３２図に示す
、なお、第３０図において。

Ａ、Ｂ、Ｃは品種グループ、ａ　ｘ　””　ａ　＊　ｔ
　ｂ　ｘ　〜ｂ　４　ｔＣ工〜ｃＪは品種を示す。

次に、この要求量に基づいた要求順序算出方法について
説明する。品種グループごとの要求順序である１番目を
算出してみると、 キョリ基準１ｏｊは、 ２ 品種グループＡ　　　　ｌｏＡ”　ｓ　”２．４２ Ｂ１ｏＢ＝＝、　”２−４ ２ Ｃ１ｏｃ＝　　　　＝６ となり、キョリｌｊはすべて１であるから、正規化キョ
リＺｏｊは、 品種グループＡ　　　　ＺｏＡ＝Ｔ〒＝０．４１３３図
に示す。

・第３４図に平準化前の要求量、第３５図に平準化後の
要求量をグラフで示す。これかられかるように。

負荷量全体が平準化され、品種グループ間でも平準化さ
れているのがわかる。

次に、品種グループ内の品種ごとの要求順序決定方法に
ついて説明する。

品種グループＡのグループ内のキョリ基準１ｏｊｉは、 Ｃ７ｏＣ＝τ＝０．１６ となる。正規化キョリが同値のときは、品種グループの
若い順に投入するものとして、品種グループＡが要求順
序１として算出される。このようにして品種グループ間
の要求順序を求めた結果を第となり、キョリｌｌｉはす
べて１であるから、正規化キョリＺ　ｏｌｉは、 品種ａｘ　　　　　ＺｏＡａｔ＝２．５　＝０．４１ ａ　３　　　　　ＺｏＡ　ａ　３　＝ｓ　＝０．２〃ａ
４ＺｏＡａ−丁＝０・２ となり、品種ａ１が要求順序１として算出される。

このようにして、品種ごとの要求順序が決定される。品
種グループごとの要求順序に、品種ごとの要求順序をあ
てはめ投入順序を決定した結果を第３６図に示す。この
要求順序に基づき投入を行うことでウェハのスムーズな
流れを作れる。

（３，２サークルライン方式） 第３７図に、第１図に示した装置構成において、どのよ
うにウェハを流すか、つまり、進行制御を行うかを示す
。設備モジュール９０をいくつか祷成し、ある工程フロ
ーの中で、処理順序が同類の品種をまとめた品種グルー
プごと、及び、工程ごとに管理することで、生産の同期
確保と装置の稼働率向上を図ったスムーズなウェハの流
れをつくる。

保管棚３０の前には、いろいろな品種のいろいろな処理
工程のウェハが仕掛り、どのウェハを投入するかで、流
れをコントロールすることができる。

そこで１品種グループ工程ごとにそれぞれ最適な仕掛量
である標準仕掛り量を設定し、この増減をチエツクして
ウェハを順序よく流す。

（３，３進行制御） 次に、第３７図に示したように、品種グループごとに専
用ラインであるかのようにウェハをスムーズに進行させ
る方法を示す。多種、多工程のウェハの進行制御に必要
なデータを第１４図から第１７図に示し、進行制御方法
を説明する。

第１４図に示す品種ａ工、ｂ０．・・・ごとの工程フロ
ーデータ１２０から、第１５図に示すように、工程とレ
シピが同類である品種ａ工ｌ　ａ２・・・のものをグル
ープ化した品種グループＡ、Ｂ、・・・を作り出して品
種グループ工程フローデータ１２１を決定する。

第１６図は、物理的に実際に仕掛っている量を記憶した
品種グループ別仕掛りデータ１２２である。第１７図に
、品種グループごとに各工程に仕掛る標準仕掛り量を算
出した標準仕掛りデータ１２３を示す。

第１８図は、装置別の実際の仕掛り量を記憶した装置別
仕掛りデータ１２４である。

次に、どのようにして、進行制御を行うかを説明する。

あるサンプリング時間ごとに、標準仕掛りデータ１２３
に示す各工程ごとの標準仕掛り量に対して１品種グルー
プ別仕掛りデータ１２２の仕掛り量が最も少ない品種グ
ループ、工程順序のウェハを抽出する。この時、最も少
ない品種グループ工程順序に対応したウェハがいくつか
あった場合は品種グループが若いものでかつ工程順序が
若い工程を抽出し、その前工程を品種グループ工程フロ
ーデータ１２１から選び出し、その工程のウェハを着工
するように指示する。例えば、標準仕掛りデータ１２３
の中で、品種グループＢの工程順序３が、標準仕掛り量
に対して、実際の仕掛り量は２で最も少ないとすると、
不足分３を前工程に要求する。そこで、品種グループ工
程フローデータ１２１より、品種グループＢの工程順序
３の前工程である工程順序２を抽出し、装置別仕掛りデ
ータ１２４により、その品種グループ、及び工程のウェ
ハが仕掛っている処理装置を検索し、その処理装置６０
に着工させる。

以下、このように、サンプリングごとに不足分を抽出し
、ウェハの進行制御を行う。

（４，ウェハの流れと各装置の動作） 第１図に示した構成において、ウェハの流れを第３８図
に示す。ウェハの流れを第３９図に示したフローチャー
トによって説明する。ウェハが投入されると（ステップ
Ｇｌ）、１１１送車によって最初の工程に対応した処理
装置の所まで搬送され（ステップＧ２）、保管棚に一時
保管され（ステップＧ３）、ウェハの処理装置から投入
要求がくると処理装置に投入処理しくステップＧ４）、
処理終了後、品種等のデータを持ったウェハナンバーを
識別装置で識別しくステップＧ５）、この工程が終了し
たことを確認の上、再び保管棚に一時保管され（ステッ
プＧ６）、そして、Ｗｉ送車によって船速され（ステッ
プＧ７）、一連の処理が終了したかどうかをチエツク（
ステップＧ８）し、終了でない場合、次の工程に、Ｉｍ
送され、一連の処理が終了するまでこのループを繰り返
し、終了すると搬出（ステップＧ９）される。

第４０図に第１図で示した装置構成において、ウェハが
投入から搬出されるまでの一連の装置の動きを詳細に示
したフローチャートを示す。

この第１図に示す生産システムにウェハが投入されると
、第１１図に示すように、走行車１００の搬送棚１０２
に投入すべきウェハがセットされ（ステップＨ１）、走
行車１００が来たかどうかを判断（ステップＨ２）し、
来ない場合はステップＨ１ｌ進み、来た場合、走行車１
００は投入・取り出し装置８０の所定の場所まで床面を
走行してくる（ステップＨ３）。

所定の位置で停止し、搬送棚１０１を載せたアーム１０
３が前進し、クリーンボックス扉８４と搬送種卵１０４
を密着させる（ステップＨ４）。クリーンボックス扉８
４を開き（ステップＨ５）、搬送種卵１０４を開く（ス
テップＨ６）。投入・取り出し装５７８０の保管１８２
ヘセツトすべきウェハがあるか判断しくステップＨ７）
、ある場合は、移載ロボット８１により、搬送棚１０１
から保管棚８２にウェハをセットする（ステップＨ８）
。ない場合はステップＨ９に進む。次に搬送１ｊｌｌｏ
１ヘセツトするウェハがあるか判断しくステップＨ９）
、ある場合は、移載ロボット８１により、保管棚８２か
ら搬送棚１０１にセット（ステップＨｔｏ）　Ｌ、、な
い場合はステップＨ１ｌに進む。次に搬送車２が到着し
ているか判断しくステップＨ１ｌ）、到着してなければ
、ステップＨ２０に進み、到着していれば、搬送車２か
ら投入・取り出し装ｊｉｉ８０へ降ろすウェハがあるか
判断（ステップＨ１２）　Ｌ、降ろすウェハがなければ
、ステップＨ１８まで進み、降ろすウェハがあれば、上
下動ガイド９を下降（ステップＨ１３）させ、前後動ガ
イド１１を前進（ステップＨ１４）させて、搬送種卵１
２をクリーンボックス扉５１に密着させてセットする。

そして、クリーンボックス扉５１を開き（ステップＨ１
５）　、搬送種卵１２を開く（ステップｌ−１１６）。

移載ロボット８１により、搬送棚５から保管棚８２ヘセ
ツト（ステップＨ１７）する。さらに、搬送車２へ載せ
るクエへがあるか判断（ステップＨ１８）　Ｌ、、なけ
ればステップＨ１９に進み１乗せるウェハがある場合は
、移載ロボット８１により、保管棚８２から搬送棚５に
セット（ステップＨ１９）する、投入・取り出し装置８
０の中でウェハ移載があるか判断（ステップ）Ｉ２０）
　Ｌ、ある場合は、再びステップＨ２に戻り、ステップ
Ｈ２〜ステップＩ（２０を繰り返し、ない場合は、走行
車１００搬送棚１０１にウェハをセットしたか判断（ス
ステップＨ２１）　Ｌ、セットしない場合、ステップＨ
２７に進み、セットした場合は、走行車１００側では、
走行車１００の搬送［１０１１扉を閉じ（ステップＨ２
２）　、クリーンボックス扉８４を閉じ（ステップＨ２
４）、走行車１００のアーム１０３を後退（ステップＨ
２４）すると、走行車１００は移動（ステップＨ２５）
を開始し、次工程へ搬送（ステップＨ２６）する。搬送
車２側では、搬送車５を閉じ（ステップＨ２７）　、ク
リーンボックスｉ８４を閉じ（ステップＨ２８）で１前
後動ガイド１１が後退（ステップＨ２９）　Ｌ、上下動
ガイドが上昇（ステップＨ３０）　して、搬送状態に戻
る１次に１次工程搬送の要求がくるまで待ち（ステップ
８３１）、要求がくると、第２図に示すように、次工程
へ移動（ステップＨ３２）　Ｌ、搬送車２が到着する（
ステップＨ３３）。到着すると、投入・取り出し装置８
０場所か判断し、その場所であればステップＨ２に戻り
、その場所でなければ、上下動ガイド９が下降（ステッ
プＨ３５）Ｌ、前後動ガイド１１を前進（ステップＨ３
６）させて、搬送棚１２とクリーンボックス扉８４に密
着させてセットする。クリーンボックス扉を開き（ステ
ップＨ３７）、搬送種卵１２を開く。

搬送棚５から降ろすウェハがあるか判断（ステップＨ３
９）　Ｌ、ない場合はステップＨ４１に進み、ある場合
は、移載ロボット２１により、搬送棚５がら保管棚３０
にセット（ステップＨ４０）する。次に処理袋ｒａ６０
に投入するウェハがあるかどうか判断（ステップ８５３
）　Ｌ　、ない場合は、ステップＨ４’３に進み、ある
場合は、移載ロボット２１により、保管棚３ｏから処理
装置６０のローダ部６１に投入（ステップＨ４２）する
。次に、処理装置６０のアンローダ部６２から識別袋Ｗ
１４０へ搬送するウェハがあるかどうが判断（ステップ
Ｈ４３）　Ｌ、ない場合は、ステップＨ４５まで進み、
ある場合は、処理装置のアンローダ部４０２から識別装
置３３０へ搬送（ステップＨ４４）する。

癩に、識別袋ｒ１１４０から保管棚３０に戻るウェハが
あるかどうか判断（ステップＩ（４５）　Ｌ、ない場合
は、ステップＩ（４７に進み、ある場合は、移載ロボッ
ト２１により、搬送棚５から保管棚３０にセット（ステ
ップＨ４６）する。ウェハ授受ユニット２０内で搬送車
２〜保管棚３０間、保管棚３０〜処理装置６０間、処Ｆ
装置６Ｏ−３ａ別装置４０間ｐ　ｍ別装置４０〜保管！
１１３０間でウェハ移載があるかどうか判断し、ある場
合は、ステップＨ３９まで戻り、ステップＩ（３９〜ス
テツプＨ４７を繰り返し、ない場合は、搬送種卵１２を
閉じ（ステップＨ２７）　、クリーンボックス扉５１を
閉じ（ステップＨ２８）、前後動ガイド１１が後退（ス
テップＨ２９）Ｌ、上下動ガイド９が上昇（ステップｌ
−１３０）　して搬送状態に戻る。そして、搬送車２を
次工程に進める。このようにして、搬送車２によりウェ
ハを搬送しなからウェハの処理加工を進めていく。

（５１代替実施例） 本発明の一実施例を第４１図から第５１図により説明す
る。

第４１図、第４２図、第４３図は、集中型多品種搬送の
全体構成例である。第４１図は、定速で連続したスピー
ドで回転するタクト・コンベア式の集中型多品種搬送系
２０１をループ状に設けたものである。

ループ状に配置した多品種搬送系２０１の周辺に、フォ
トレジ、成膜、拡散、インプラ、エツチング等の処理装
置群２００を配置した。更に、製品や設備に異常が発生
した時に、製品の一時保管倉庫２０８や、異常原因究明
のための製品検査・分析室２０７を設けである。材料（
ウェハ）を格納したカセット（製品）２０３が、製品の
投入・払出口２０６から投入されると、組込式搬送治具
２０２を取付けたタクト・コンベア式の集中型多品種搬
送系２０１の空の搬送治具にセットされる。そして、該
工程の処理装置２００の直前に到着すると、単位でも複
数個でも同時に対応できる合流・分岐装置Ｚｔ　２０４
により多品種搬送系２０１より分岐される。また、分岐
されたカセット２０３は、カセット授受機構２０５によ
り該処理装置にセットされる。この搬送系のスピードは
。

例えば、１日当り処理すべきカセット（製品）数の平均
投入間隔できまる。処理後は、カセット授受機構２０５
で次工程に搬送できるようにカセット２０３を、合流分
岐装′Ｅ１２０４で多品種搬送系２０１の空の搬送治具
上にのせて、次工程の処理設備に搬送する。又、第４２
図は、製品の処理工程を複数に分類し、分類した単位に
、処理装置を分類した処理工程の必要数に応じて”Ａａ
を並べた例である。第４１図の加速をしないで、一定の
速度で回転しているタクト・コンベア式の集中型多品種
搬送系２０１に対して、同様に一定の速度で回転してい
るベルト・コンベア式の集中型多品種搬送系２０９を用
いた場合である。各処理装置を処理の順序に並べ、回数
９回遊するだけで分類した単位の処理を完了させるとと
もに、分類した単位でカセット（製品）２０３の後戻り
を防止することにより、搬送距離や繰返し回数を少なく
することができる。第４３図は、第４２図のベルト・コ
ンベア式の集中型多品種搬送系２０９を、自動倉庫式の
集中型多品種搬送２１０にした例である。自動倉庫式の
集中型多品種搬送２１０では、複数の管理棚２３３を回
転方向と上下方向に設けることにより、仕掛りを集中的
に管理ができる。これは、装置の小型化・−貫化した場
合には好適となる。

第４４図は、ロボットを利用したベルトコンベア式の集
中型多品種搬送系２０９に、フォトレジ等の装ｒ１１２
００に専用のカセット授受装置２０３を設けたノンスト
ップの多品種搬送方法（以下、同じようにノンストップ
搬送例）である。定速でしかも連続した速度を維持しな
がら回遊しているベルトコンベア式の集中型多品種搬送
系２０９上にあるカセット（製品）２０３を、カセット
識別装置２１１で読み取って、該処理工程の設備であれ
ば、ラインコントローラ２１２が処理開始の指示を同期
式カセット授受ロボット２１３に送る。指示を受けた同
期式カセット授受ロボット２１３は、多品種搬送系２０
９と同じスピードを維持しながら、カセット（製品）２
０３を把握し、処理可能装置のカセット授受装置２１４
に渡す。該カセット（製品）２０３の処理完了後は、カ
セット授受装置２１４上のものを同期式カセット授受ロ
ボット２１３が把握し、多品種搬送系２１３のスピード
を維持しながら、多品種搬送系２１３に渡して次工程に
送り出す、カセット（製品）２１３を多品種搬送系２０
９のスピードに合わせて抜取る場合、ロボット２１３の
昇降部２１６でカセットを把握できる位置を調整し、２
軸以上の機構を有したハンド部２１５で多品種搬送系２
０９の搬送速度を維持しながらカセットを把握・抜取る
。そして、移動部２１７を左右に動かして、処理可能装
置前のカセット授受装置２１４にカセット（′！！！Ｊ
品）２０３を送る。第４５図は、搬送治具２１８を利用
した場合の例である。この場合、円形、方形、多角形等
のカセット形状でもよく、又設備の処理枚数に対応して
ウェハ枚数を準備する必要がある場合には好適である。

第４６図は、タクト・コンベア式多品種搬送の例である
。この場合、第４５図のような搬送治具２１８の管理が
不用になる点が有利となる。第４７図は、物理的にカセ
ット（１１品）２０３を、多品種搬送系２０９上を滑ら
して設備群にカセット（製品）を分配できるカセット授
受機構２０５に送り出す分岐合流機構２１９を有した例
である。この分岐合流機構２１９は、図で示したような
スライド弐のほかにブツシャ式のものでも可能である。

第４８図は流体を利用した同期化搬送機構２２０の例で
ある。この水などに浮かんでいる浮遊式搬送治具２３０
上のカセット（１０品）２０３は、カセットＷ別装置２
１１で読み取り、該処理工程の設備であればストッパ２
２１で搬送されてくるカセット（製品）群の流れをとめ
る。そして１分岐・合流用の流れしゃ断装置２２２の向
きを変えて、該当する液体式カセット授受機４！！２３
１を有する方向に該カセットを誘導する。そして、同期
化搬送機構２２０へ処理完了後のカセットは、図に示し
たようにしゃ新装ｒ！１２２２で合流させる。この同期
化搬送機構２２０は、水や水銀等の液体を一定の方向に
定速で流すことにより、浮遊式搬送治具２３０を動かす
もので、液体式カセット授受機構２３１も同じ方向に定
速で流す。

第４９図は積層タイプ同期化搬送機構の例を示すもので
、上部積層式集中型多品種搬送系２２３とその真下に下
部積層式集中型多品種搬送系２２４から構成した場合の
例である。この場合、特急品と通常品、試作品と量産品
、ベース工程と配線工程区分やプロセス区分により、２
階層からｎ階層に積層した集中型多品種搬送系を設けて
カセット（製品）２０３を分けて管理する場合に有効で
ある。第５０図は、双方向の集中型多品種搬送系の例で
あり、第４９図の利用方法の他に、搬送時間を短縮を狙
った場合に有効である。右廻りのコンベア式集中型多品
種搬送系２２５と左廻りのコンベア式の搬送系２２６の
構成となっている。該カセット（製品）が搬送されてく
ると、吊掛式カセットハンド２２７で把握して、装置側
に供給する。この機構は、移動部２２８とハンド部２３
２が支柱２２９で支えられており該カセットの場所と位
置を見定めて把握するものである。

第５１図は、ウェハを装置に着脱する機構の例である。

多品種搬送系で送付されたカセットは該処理装置まで搬
送され、る。例えば、スライド式開口部付カセット２４
１には、バーコードで表示したロット識別子が付いてい
るバーコード式ＩＣカード２４４が埋込み式でセットさ
れている。そして所定の位置にカセット２４１が到着す
ると、ブツシャ等によりスライドガイド２４２に押込ま
れる。押込まれたカセット２４１は、開口部が自動的に
開いて、クリーンボックス２３４のウェハ受取口２３８
に固定される。そして、ウェハチャージャ２３７により
、カセット２１４内のウェハ２４０を順次抜き取って、
装置２００のローダ２３５に送り込む。一方、空になっ
たカセット２４１は、ブツシャ等によりクリーンボック
ス２３４より取除され、装置２００の近くに保管される
。

該カセット２４１の処理が終了すると、再び、クリーン
ボックス２３４のウェハ払出口２３９に固定される。

該カセット２４１が固定されると装置ｆｉ　２００のア
ンローダ２３６に処理完了のウェハが送られるので、ウ
ェハチャージャ２３７によってウェハ払出口２３９に固
定されている該カセット２４１内に、順次格納する。

そして、全ウェハの格納が完了すると再びクリーンボッ
クス２３４から取除されて、次工程へ送られる。ここで
、ウェハ２４０面上の清浄度を確保するために、常に一
定の圧力を加えたクリーンエアを取入口２４３からクリ
ーンボックス２３４内に供給してクリーンボックス２３
４の清浄度を維持する。又、ロット来歴等についても、
バーコード付ＩＣカードに対して光や無線・有線を利用
して実績を古き加えるからロットのトラッキングや実績
を記録して次工程に同時に移動できる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、約８０種１５０台の設備を有するライ
ンにおいて、約５００回の作業を必要とする微細加工製
品を対象とした場合、ライン仕掛り社を総量で規制でき
るので作業待ち時間の大巾な削減により１完も大巾に削
減（ｌ／２〜１／３）できる。

又、１宛の大巾な削減により歩留まり向上も期待できる
。

この方式は、微細加工特有の職場を対象としており、薄
膜製品等にも適用可能である。

ラインの構造としては、ウェハを載せトラック状の搬送
レールで処理設備間を搬送する搬送車と。

搬送車と処理装置間で、ウェハ移載を行う移載ロボット
、ウェハを１枚ずつ品種グループ、工程ごとに一時保管
する保管棚、ウェハのウェハナンバーを識別する識別装
置により構成されるウェハ授受ユニットにより、ウェハ
１枚ずつの管理が可能になり、多品種同時生産が行え、
保管棚のウェハの仕掛り管理によりウェハの流れのコン
トロールができ、かつ、処理装置の稼働率を上げること
ができる。また、仕掛り量を減らし、短納期で要求にあ
った生産ができる効果がある。

ウェハ自体にウェハナンバーを記載し、処理装置から出
て来たウェハを識別装置で識別することで、ウェハ１枚
ごとの進行を確認することができるため、ウェハの進行
管理が容易に行え、多品種のウェハを要求に合った順序
で生産することができる。

処理装置の構成において、処理装置をハード的に数工程
分接続し、一貫処理装置にすることにより、投入と処理
終了の管理データ量が少なくなるので制御量が減る。ま
た、処理装置の搬送工程数が減るので、搬送距離２回数
が減り生産期間が短くなる効果が出る。

ウェハ１枚ごとに品種グループ、工程ごとに処理装置に
投入すべきウェハを保管する保管棚により、要求にあっ
たウェハの投入ができるので、処理装置の稼働率を上げ
ることができ、また、１枚単位で管理できる。識別装置
でき、ウェハの実際の進行状況をリアルタイムに把握す
ることができるため、１宛の短縮、仕掛り量削減を図っ
た生産ができる。

クリーン構成においては、搬送中は、搬送棚に入れて密
閉し、処理装置に投入または処理が終了して搬送車に載
せるために一時保管しているときはクリーンボックス内
部にいれておくことにより作業者とウェハの雰囲気を隔
離できるため歩留まりが向上する。また、クリーン部分
の極小化を図ることができるためコストが削減し、メン
テが容易になる。さらに、作業者の作業領域が確保でき
るため、処理装置の保全がしやすくなるという効果があ
る。

搬送単位においては、搬送する時、及び処理装置へ投入
または処理されて出てきたウェハを搬送車に載せる時も
、１枚単位で保管することで、ウェハがどこにあるか常
に１枚単位で把握することできるため、実時間に忠実な
枚葉管理が行える。

また、多品種少量生産が容易に行える効果がある。

トラック状の軌道を巡回しながら、所定のウェハ授受ユ
ニットで搬送車に必要な時にウェハを載せ必要な時に搬
送車から降ろすことにより、トータルの搬送距離が少な
くなり、搬送車の制御が容易になる。

また、１枚単位でウェハを管理して、搬送を行うため、
品種変更に柔軟に対応できる効果がある。

ウェハの流れにおいては、工程順序が同類の品種をグル
ープ化し、保管棚に仕掛るウェハに対して品種グループ
、工程ごとに標準仕掛り量を算出して、この標準仕掛り
量に実際のウェハの仕掛り量値が一致するように、保管
棚から処理装置へ投入させ、かつ、搬送車で対象ウェハ
を次工程へ搬送することで、ウェハを流す順序を容易に
コントロールできるため、生産計画に忠実な生産ができ
る。また、ウェハ１枚ごとの流れのコントロールが℃き
るため、多品種、さらには、繰り返し工程が多く流れの
複雑な品種でも管理が容易に行え多品種同時生産ができ
る。また、工程間の進行を実時間でコントロールできる
ため、工程間のずれ量を見込んだ最小仕掛り量にするこ
とができるため。

仕掛り全削減ができる。

また、投入順序は、要求量に基づき、１枚単位の投入順
序を決定し、この順序を守るようにコントロールするこ
とで、要求した順序で生産ができるため、生産計画の手
直しがいらなくなり計画が容易に行え、コスト、品質、
納期を満足することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による多品種搬送装置の１実施例を示
す全体構成図、第２図は、第１図におけるウェハ授受ユ
ニットの構成図、第３図は、第２図のＡ矢視図、第４図
は、第２図のＢ−Ｂ線断面図、第５図は、第２図のＣ−
Ｃ線断面図、第６図は、ウェハの構成図、第７図は、保
管棚の構成図、第８図は、保管棚のウェハ保持部の詳細
図、第９図は、搬送車の構成を示す正面図、第１０図は
、搬送車の構成を示す側面図、第１１図は、投入・取り
出し装置の構成図、第１２図は、第１０図のＤ−Ｄ線断
面図、第１３図は、コントローラの構成図、第１４図は
、工程フローデータを示す図、第１５図は２品種グルー
プ工程ブローデータを示す図、第１６図は、品種グルー
プ別仕掛りデータを示す図、第１７図は、標準仕掛りデ
ータを示す図、第１８図は、装置別仕掛りデータを示す
図、第１９図は、搬送車のデータを示す図、第２０図は
、保管棚のデータを示す図。 第２１図は、搬送棚のデータを示す図、第２２図は。 レシピデータを示す図、第２３図は、識別装置のデータ
処理フローチャート、第２４図（ａ）、（ｂ）は、搬送
棚、保管欄間のウェハ移載時のコントローラ間通信手順
を示すフローチャート、第２５図は、保管棚、処理装置
間のウェハ移載時のコントローラ間通信手順を示すフロ
ーチャート、第２６図は、処理装置ｔｉｌ別装置、保管
欄間のウェハ移載時のコントローラ間通信手順を示すフ
ローチャート、第２７図は、投入計画のフローチャート
、第２８図は。 平準化負荷クラブを示す図、第２９図は、投入順序決定
用語の定義表を示す図、第３０図は、例題の標準日程要
求量を示す図、第３１図は、例題の平準化負荷グラフを
示す図、第３２図は、例題の平準化要求量を示す図、第
３３図は、例題の品種グループ別投入順序を示す図、第
３４図は、例題の平準化前の要求量を示す図、第３５図
は、例題の平準化後の要求量を示す図、第３６図は、例
題の品種別投入順序を示す図、第３７図は、進行制御方
式の概念を示す図、第３８図は、ウェハの流れを示す概
略図、第３９図は、ウェハの流れのフローチャート、第
４０図（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、装置の動作フロー
チャート、第４１図から第４３図は、集中型多品種搬送
の全体構成を示す図、第４４図はロボットによる同期化
搬送機構を示す図、第４５図は、搬送治具。 ロボットによる同期化搬送機構を示す図、第４６図は、
組込み式搬送治具による同期化搬送機構を示す図、第４
７図は、分岐ガイドによる同期化搬送機構を示す図、第
４８図は、液体を利用した同期化搬送機構を示す図、第
４９図は、積層タイプの同期化搬送機構を示す図、第５
０図は、双方向タイプの同期化搬送機構を示す図、第５
１図は、ウェハ着脱機構を示す図である。 １・・・搬送レール、　　　２・・・搬送車。 ３・・・昇降装置、　　　　４・・・昇降ヘッド。 ５・・・搬送棚、　　　　　６・・・ガイド車輪、７・
・・駆動装置、　　　　８・・・上下動駆動装置、９・
・・上下ガイド、　　　１０・・・前後動駆動装置、１
１・・・前後動ガイド、　　　１２・・・搬送Ｗ扉。 ２０・・・ウェハ授受ユニット、 ２１・・・移載ロボット２２２・・・グリッパ−２３・
・・前腕、２４・・・上腕、 ２５・・・上下軸、３０・・・保管棚。 ３１・・・保持部、　　　　　４ｏ・・・識別装置。 ５０・・・クリーンボックス。 ６０・・・処理装置、　　　　６１・・・ローダ部、６
２・・・アンローダ部、　　７０・・・ウェハ、８０・
・・投入・取り出し装置、 ８１・・・移載ロボット、８２・・・保管棚、８３・・
・クリーンボックス、 ９０・・・設備モジュール、　１００・・・走行車、１
０２・・・移載”Ａ置、 １０１・・・搬送棚、 １０３・・・アーム、 １１０・・・ホストコントローラ、 １１１・・・識別装置コントローラ。 １１２・・・ロボットコントローラ、 １１３・・・ウェハ授受ユニットコントローラ、１１４
・・・処理装置コントローラ、 １１５・・・搬送車コントローラ、 １１６・・・投入・取り出し装置コントローラ。 １１７・・・通信ケーブル。 ｚＩ 集 図 挑 ワ 図 纂 ０ 図 １ １υ Ｆ 纂 捲 １ 図 ！０４ 第 １２ 図 纂 ！４− 図 為 ５ 図 第 ！３ 図 纂 ６ 関 第 ７ 図 集 １８ 図 為 ９ 図 拓 ０ 図 栴 Ｉ 図 稟 ２４− ｆｆｉ（ｂ） 稟 ７ 図 集 ２８ 図 田村 〔日〕 纂 ｑ 図 第 ２ 図 纂 ３ 図 イＯ 負荷 栴 ７ 図 嶌 ３？ 挑 ４０ 図 （Ｃ） 嶌 今３ 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、複数の種類のワークを処理する処理手段、複数の種
   類のワークを搬送する搬送手段、及び搬送手段、処理手
   段間でワークを授受する移載手段より成る生産システム
   であって、前記処理手段間で多種類のワークを搬送し、
   前記処理手段間の負荷バランスの吸収や前記処理手段の
   処理速度に応じてワークを供給するために保管し、必要
   に応じて処理の順序を変更し、前記授受手段が、処理手
   段の標準化された共通のワーク授受機構を有し、前記搬
   送手段との間で所望の種類のワークを認識して授受する
   ことを特徴とする多品種搬送方法。 ２、ワークを収納した搬送用治具を多種類同時に搭載し
   て処理手段間を走行し、該処理手段に対応づけて設けた
   ワークの移載手段の所定の位置に搬送する搬送手段と、
   前記搬送手段との間で所望の種類のワークを認識して前
   記搬送用治具を授受する移載手段と、により構成される
   ことを特徴とする多品種搬送装置。 ３、複数の種類のワークを処理する処理手段の間でワー
   ク又は、ワークを収納した搬送用治具を搬送する搬送シ
   ステムであって、多種類ワーク又は前記搬送用治具の搬
   送と、前記処理手段間の負荷バランスの吸収や処理速度
   を調整するための保管と必要に応じた順序変更と前記処
   理手段の標準化された共通のワーク授受機構と所望の種
   類のワークの認識を同時に行う搬送手段で搬送すること
   を特徴とする多品種搬送装置。 ４、多品種のワークを同時に搬送する搬送システムにお
   いて、ワークを処理する処理手段間で、ワークの進行順
   序、及び進行速度を制御するために処理前と処理後に分
   けて保管する手段を設け、かつ前記保管手段間を搬送す
   る搬送手段と、該搬送手段と前記保管手段間、前記保管
   手段と前記処理手段間の移載を行う移載手段と、移動元
   と移動先とを示された移動指示に基づいて移動させたワ
   ークの物理的位置を確認するトラッキング手段とにより
   搬送を行うことを特徴とする多品種搬送方法。 ５、搬送手段として、搬送速度に同期して多種類のワー
   クの移載を行う搬送手段を用いることを特徴とする請求
   項２記載の多品種搬送装置。 ６、搬送手段として、ワークを搭載した搭載手段が閉ル
   ープの液体を利用した軌道を走行する搬送手段を用いる
   ことを特徴とする請求項２記載の多品種搬送装置。 ７、搬送システムとして、ワーク毎に枚葉で搬送作業を
   行うことを特徴とする請求項４記載の多品種搬送方法。 ８、請求項４記載の搬送システムにおいて、裸のワーク
   の搬送作業を行うことを特徴とする多品種搬送方法。 ９、搬送手段において、円形の双方向に搬送する手段を
   設けてワークの進行順序及び進行速度を制御することを
   特徴とする請求項２記載の多品種搬送装置。