WO2003105216A1 - 容器搬送システム - Google Patents

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WO2003105216A1
WO2003105216A1 PCT/JP2003/000223 JP0300223W WO03105216A1 WO 2003105216 A1 WO2003105216 A1 WO 2003105216A1 JP 0300223 W JP0300223 W JP 0300223W WO 03105216 A1 WO03105216 A1 WO 03105216A1
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container
transport
transfer
transfer device
processing
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PCT/JP2003/000223
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Inventor
徹典 大田黒
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平田機工株式会社
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    • H01L21/67769—Storage means

Definitions

  • the invention of the present application relates to a container transport system, and in particular, in a manufacturing factory for semiconductor devices and liquid crystal devices, a plurality of containers such as FOUPs and SMIF pods for storing substrates such as semiconductor wafer reticles and glass substrates are installed in a clean room.
  • the present invention relates to an improvement in a container transfer system capable of freely transferring between processing devices and between a plurality of processing devices and a transfer device.
  • a pair of horizontal fixed guide rails are arranged in parallel in the ceiling space, and one or more horizontal traveling guide rails are erected between the pair of fixed guide rails.
  • the guide rail can run along the fixed guide rail.
  • the traveling guide rail is provided with a traveling body traveling along the traveling guide rail, and the fixed guide rail, the traveling guide rail, and the traveling body constitute horizontal moving means. Further, the traveling body is provided with elevating means capable of elevating and rotating the container gripping means, and the elevating means and the horizontal moving means constitute three-dimensional moving means.
  • This container transfer device is designed to transfer the ceiling space above the clean room for container transfer. Since it is used as a rear, the space in the clean room can be used effectively. Therefore, for the same equipment, the required clean room volume can be reduced, and the equipment cost and maintenance cost of the clean room can be reduced. Further, the container gripping means can be linearly moved from one position to another position, so that the efficiency of container transfer can be improved.
  • the elevating means comprises a multi-joint arm, and the plurality of arms of the multi-joint arm are sequentially and alternately overlapped and connected at their respective ends. Since the articulated arm expands and contracts as the arm rotates, the center of gravity of the articulated arm does not shift, the weight balance of the entire arm is stabilized, and the articulated arm extends (the lifting means When it falls, there is little deflection due to gravity. As a result, the container holding means can transfer the container without being displaced to each processing apparatus, and when transporting the container horizontally, the lifting / lowering means can be compactly folded and turbulence of the air flow can be minimized. , And so on.
  • the present applicant has further advanced the above-mentioned invention, and has devised an improved container transport system in order to further improve the transport efficiency, functionality, space saving, and safety of the container transport device.
  • a patent application was filed (Japanese Patent Application No. 2002-111111). Since this improved overhead traveling type container transport system includes a plurality of container gripping means, loading and unloading of the container can be performed in a short time, and the transport efficiency of the container is further improved. The production efficiency of the production line in the clean room can be greatly improved.
  • the lifting / lowering means is composed of a telescopic-type telescopic mechanism, and provided at its lower end with a swiveling mechanism for rotating the container gripping means, the lifting / lowering mechanism is simplified and space-saving, making it possible to transport containers over short distances. This makes it possible to further reduce the space and cost of transporting in a clean room.
  • the swiveling mechanism of the container gripping means allows containers to be loaded and unloaded in any direction, and allows containers to be removed in any direction. improves.
  • the work area is equipped with a shelf for sorting the storage board in the container and a safety net with only the access to the processing unit cut out, if necessary. Because of this, various functions such as a container stocking function, a buffer function, and a substrate sorting function in the container are secured, so that the container transport efficiency and space saving can be further improved. It is possible to achieve excellent safety, etc. Disclosure of the invention
  • the first issue is the transport capacity for long-distance transport. All of these ideas have a high degree of freedom, and the same transport device or transport system can deliver containers to multiple processing devices.However, if the transfer distance is long, the time will be longer. This may be the case.
  • the second problem is that even in the case of an overhead traveling container transport system, there is a limit in the transport processing capacity of a transport system consisting of a single transport device.
  • a method of transferring containers to and from a processing device using a transport trolley and a conveyor is disclosed, but the transfer processing capacity is limited because the method is composed of a single transfer device.
  • a third problem is that it is difficult to improve the transfer processing capacity without increasing the footprint of the transfer means.
  • the fourth issue is that the stock function of the container is not sufficient. If the stock function can be expanded, it will be possible to reduce the storage capacity of stockers placed between processes.
  • the fifth issue is that it does not have a container sorting function. In these respects, there is still room for improvement in the conventional container transport device and container transport system.
  • the invention of the present application solves these problems of the conventional container transport device and the container transport system, and has a transport capability, a transport processing capability, a footprint, a container stock function and a sort function, a space saving, and the like. It is another object of the present invention to provide a further improved container transport system.
  • such a problem is a container transport system that transports a container that stores a substrate such as a wafer or a reticle in a clean room, wherein the container transport system is disposed substantially in parallel with a plurality of processing apparatuses.
  • a transfer device that transfers the container, and a transfer device that can freely move in a ceiling space in the clean room; a plurality of the processing devices are arranged on at least one side of a passage; An interface device is provided on the side facing the passage, the interface device temporarily receives the container, and transfers the substrate from the inside of the container to the inside of the processing device; Conversely, the transfer device can be moved in a sealed atmosphere, and the transfer device is provided between the transfer device and the plurality of processing devices or between the plurality of processing devices. It is solved by the vessel conveying system according to claim which is adapted to carry out the transfer of the container.
  • the container transport system includes the transport device and the transfer device, the transport device transports the container to a predetermined position along the plurality of processing devices, and the transport device includes the transport device. And a cleanle covering the area where multiple processing units are located
  • the container in the operation area can be freely moved by moving freely in the three-dimensional space above the ceiling in the ceiling space, and the volume between the transfer device and multiple processing devices or between multiple processing devices. Containers can be delivered.
  • the container transport system is responsible for transporting containers along multiple processing devices, and is responsible for three-dimensional free movement of the ceiling space above the clean room to deliver containers. Since it has a transfer device and separate functions from each other, various effects as described below can be obtained.
  • a part of the transport that was conventionally entrusted to the transfer device can be replaced by the transfer device, and the containers can be transferred freely by the cooperation of both transfer means (the transfer device and the transfer device). 'Because it can be transferred, the transport capacity of containers can be greatly improved when viewed as a whole.
  • the container can be transferred by the transfer device, and the container transfer time and the container transfer time can overlap, so that the container transfer processing capacity can be increased. Can be improved.
  • a plurality of containers can be placed on the transfer device, and a plurality (U) of the transfer device can be placed. Since multiple containers at a location can be transferred to multiple (U) processing units, the degree of freedom in transporting containers to multiple processing units is improved from a one-to-U relationship to a U-to-U relationship. Can be made.
  • the transport device and the transfer device are arranged vertically, and the transport and transfer of the containers are performed in cooperation with each other, so that the transport process of the container can be performed without enlarging the photo print of the container transport system.
  • the capacity can be improved, and the space in the clean room can be effectively used to reduce clean room equipment costs and maintenance costs.
  • the stock function and standby function of the container transfer system have been expanded and placed between processes.
  • the storage capacity of the intermediate stocker can be reduced.
  • a plurality of containers can be placed on the transfer device, and the transfer device can hold any of these containers and transfer it to a predetermined processing device.
  • a plurality of containers on the transport device can be delivered, and the transport device can be provided with a sorting function.
  • the transport device has a plurality of transport paths, and is provided with a transport unit that can travel independently on each transport path.
  • the transport capacity of the container transport system can be easily increased, and each transport unit has an independent drive mechanism, so that it can be independently moved, stopped, or reversed when necessary. And it is easy to lengthen or change the transport path as needed, and each transport unit is united as an independent device.
  • the plurality of transport paths are arranged vertically. As a result, the space in the clean room can be effectively used to install a plurality of transport device units, and the cost of equipment and maintenance of the clean room can be further reduced.
  • the plurality of transport paths are arranged left and right. I have.
  • the loading and unloading of containers on the transport device becomes easier, and the stocking and sorting of containers becomes easier.
  • the transfer distance of the transfer device is shortened, and the transfer time is shortened, so that the container processing capacity can be further improved.
  • the transport unit comprises a conveyor.
  • the transfer device can be configured very easily using general-purpose means.
  • the transfer device comprises at least two transfer device units.
  • the problem described above is also a container transport system that transports a container that stores a substrate such as a wafer reticle in a clean room, and the ceiling space above the clean room.
  • a transfer device that is disposed substantially in parallel with the plurality of processing devices and transfers the container, and a ceiling space above the clean room can be freely moved in a vertical plane along the transfer device.
  • a transfer device wherein the plurality of processing devices are arranged on at least one side of a passage, and each of the processing devices is provided with an interface device on a side facing the passage, and the interface device temporarily receives the container.
  • the substrate can be moved from the inside of the container to the inside of the processing apparatus, and vice versa, in a sealed atmosphere.
  • Mounting device is solved by the container conveyance system characterized in that it is to perform the transfer of the container between or between a plurality of the processing device and the conveying device and the plurality of processing devices.
  • the container transfer system includes a transfer device and a transfer device in the ceiling space above the clean room, and the transfer device transfers the container to a predetermined position along a plurality of processing devices.
  • the transfer unit moves the ceiling space above the clean room covering the area where multiple processing units are arranged in a vertical plane along the transfer unit, and freely transfers the containers in the operation area.
  • the container can be transferred between the transfer device and the plurality of processing devices or between the plurality of processing devices. in this way,
  • a container transport system moves the ceiling space above the clean room along multiple processing devices to transfer containers, and a container transport system moves the ceiling space above the clean room along the transport device to transfer containers.
  • a transfer device that is responsible for the delivery of the product, and separate functions of each device, so that various effects as described below can be obtained.
  • a part of the transport that has been conventionally entrusted to the transfer device can be replaced by the transfer device, and the container is transported by the two transport means (the transport device and the transfer device) in cooperation.
  • the transport device and the transfer device can be freely transferred and transferred to a plurality of processing devices along the transfer and transfer direction, so that the transfer capacity of containers can be greatly improved as a whole.
  • the container can be transferred by the transfer device.Since the container transfer time and the container transfer time can be overlapped, the container transfer processing capacity can be increased. Can be improved.
  • a plurality of containers can be placed on the transfer device, and a plurality of containers at a plurality of (U) locations on the transfer device can be transferred to a plurality of (U) processing devices.
  • the degree of freedom in transporting containers to the processing equipment can be improved from a one-to-U relationship to a U-to-U relationship.
  • the transfer device and the transfer device are arranged adjacently and in parallel in the ceiling space above the clean room, and the transfer and transfer of the containers are performed in cooperation with each other. It is possible to improve the transfer capacity of the container without increasing the size of the print, and to effectively use the space in the clean room while using the space below the transfer device as a passage for workers. The cost of clean room equipment and maintenance can be greatly reduced.
  • a plurality of containers can be placed on the transfer device, and a plurality of containers can be stored on the transfer device, so that the stock function and the standby function of the container transfer system are expanded and arranged between processes.
  • the storage capacity of the intermediate stocker can be reduced.
  • a plurality of containers can be placed on the transfer device, and the transfer device Since any of these containers can be grasped and transferred to a predetermined processing device, multiple containers on the transfer device can be transferred and the transfer device has a sorting function. Can be made.
  • a plurality of branch transport paths are provided at appropriate intervals in the transport direction of the transport apparatus, and the plurality of branch transport paths can receive the containers transported by the transport apparatus and make them stand by.
  • the transfer device can hold the containers waiting on the plurality of branch transport paths and transfer the containers to any of the plurality of processing devices. Have been.
  • the containers received by the branch transport path can be stopped and stopped on the branch transport path until the transfer device conveys the containers to a predetermined processing device. There is no need to wait on the transfer device for transfer to the loading device, and the transfer device does not hinder the progress of other containers. As a result, when viewed as a whole, the container processing capacity can be further improved.
  • the plurality of processing devices are arranged on both sides of the passage, and the transport device includes two transport unit units that respectively travel on two transport routes, an outward route and a return route,
  • the transfer device is provided on each of the left and right sides of the transfer device.
  • the two transport paths are arranged in parallel on the left and right.
  • the transport device including the transfer mechanism and the like, by connecting the two transport units that respectively travel on the two transport routes, the outward route and the return route.
  • the two transport paths are arranged in parallel up and down. Have been.
  • the two transport device units that travel on the two transport routes, the outward route and the return route are arranged vertically and assembled three-dimensionally, so that a plurality of processing devices ( Although the space between the treatment equipment groups is narrowed and the passages for workers are slightly narrowed, the space as a whole can be saved to the minimum necessary, and the clean room equipment costs and maintenance costs can be further reduced.
  • FIG. 1 is a layout diagram of a processing area of a production line in a clean room to which a container transport system according to an embodiment (Embodiment 1) of the present invention is applied.
  • FIG. 2 is a perspective view showing a basic configuration of one processing area of a production line in a clean room to which the container transport system is applied.
  • FIG. 3 is a plan view of the same.
  • Fig. 4 is the side view.
  • FIG. 5 is a side view showing a basic configuration of one processing area of a production line in a clean room to which the container transport system according to an embodiment (Embodiment 2) of the present invention is applied, and is a view corresponding to FIG. is there.
  • FIG. 6 is a plan view showing a basic configuration of one processing area of a production line in a clean room to which the container transport system according to an embodiment (Embodiment 3) of the present invention is applied.
  • FIG. 7 is a left side view of the same.
  • Fig. 8 is the inner side view.
  • FIG. 9 is a plan view showing a basic configuration of one processing area of a production line in a clean room to which the container transport system according to one embodiment (Embodiment 4) of the present invention is applied.
  • FIG. 10 is a left side view of the same.
  • FIG. 11 is an inner side view of the same. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
  • the container transport system according to the first embodiment is particularly suitable for manufacturing semiconductor devices and liquid crystal devices.
  • a manufacturing plant multiple processing equipment installed on a production line in a clean room
  • Figure 1 shows the layout of the rear of the processing line on the production line in a clean room in such a manufacturing plant.
  • the production line 1 in the clean room has a rectangular inter-process transfer path 3a that goes around the entire circumference of the floor 2, and a central straight inter-process transfer path that bisects the floor 2.
  • a plurality of processing equipment groups 4-1, 4-2, 4-3- are arranged side by side in the direction along 3b.
  • Each processing unit group 4-m (m ⁇ n) is composed of a plurality of processing units 5-1, 5-2, 5-3,. 3- ⁇ 'are arranged in a direction perpendicular to the inter-process transport path 3 b.
  • the plurality of processing devices 5-1, 5-2, 5-3-,... are facilities for sequentially processing the work (substrate) stored in the container, and perform different processes.
  • a plurality of the same processing apparatuses may be included in consideration of the balance of the tact time of the workpiece processing.
  • a processing apparatus for example, there is a processing apparatus for performing processing such as resist coating, exposure, development, ion implantation, annealing, and sputtering of a semiconductor wafer. In the following description, the processing for a semiconductor wafer will be described in mind.
  • the path between the processing unit group 4-m and the processing unit group 4-m + 1 is usually a maintenance passage, and the processing area consisting of the processing unit group 4_2 and the processing unit group 4-3 is expanded.
  • a plurality of processing devices 5-1, 5-2, 5-3- The transfer device 7 is installed.
  • the transport device 7 has two transport paths arranged vertically above the base 18 that is independent from the floor 2, and transport device units 7 a and 7 b that travel along the respective transport paths are provided. ing.
  • a plurality of substrate storage containers 8 can be placed. Therefore, the transfer device 7 can temporarily store the plurality of containers 8 and has a stock function. Further, the order of the plurality of containers 8 temporarily stored in this manner can be arbitrarily changed by a transfer device (a three-dimensional moving mechanism) 9 described later, and the transport device 7 sorts the containers 7. It also has functions. In addition, the container 8 is put into and taken out of the lower transfer device unit 7b when one end of the upper transfer device unit 7a is cut off and the length is reduced (the lower right portion in FIG. 2). ).
  • the stock function of the container 8 is a function of stocking a container 8 for storing a wafer after a certain processing step in a series of wafer processing steps until the next processing step is performed.
  • an intermediate stocker is provided between the processing steps as having such a function.
  • the intermediate (between processes) stocker 17 described below corresponds to such an intermediate stocker, but this function is provided not only in the intermediate stocker but also in the transfer device 7 as described above.
  • the container 8 can also be placed on standby on the top 7, and the storage capacity of the intermediate stocker can be reduced accordingly, and the operating efficiency of the intermediate stocker can be improved.
  • the sorting function of the container 8 refers to the following function. That is, in a series of wafer processing steps, the container 8 that stores a wafer after a certain processing step is stored in an intermediate stoker and kept in a standby state until it is turned to the next processing step. Here, there is no problem if the next processing step is performed in the same order as the previous processing step has been completed.However, in a complicated processing step, it is necessary to change the order or change the processing step. May be. In such a case, it is necessary to rearrange the containers 8 between the processing steps.
  • the function that can satisfy such a need is the soot function. By providing this function not only in the intermediate storage but also in the transfer device 7 as described above, the containers 8 can be rearranged during transfer, shortening the transfer tact time, and The transfer efficiency can be improved.
  • the height of the transfer section of the upper transfer unit 7 a constituting the transfer device 7 is designed so as not to exceed approximately 90 mm from the floor 2.
  • the configuration of the transport unit includes a roller conveyor using rollers that rotate on the contact surface with the container 8, a belt conveyor using a belt, a pallet conveyor using a pallet, and a slide equipped with a positioning jig.
  • Various types such as a conveyor can be used.
  • each of these two transfer device units 7a and 7b can have its own drive mechanism, which can be independently moved, stopped, or reversed as necessary. .
  • the transport path can be easily lengthened or changed as needed. Therefore, each of the transfer device units 7a and 7b can be unitized as an independent device, whereby the functionality of the transfer device 7 can be significantly improved.
  • a positioning device for the container 8, a rotating device for changing the direction of the container 8, a transfer device for changing the transfer direction to a right angle, an elevator for changing the vertical transfer height, and the like are added to the transfer device units 7a and 7b.
  • a frame structure is formed between the upper transport unit 7a and the container 8 with respect to the lower transport unit 7b. Should be able to be taken in and out from the side.
  • transport unit units 7a and 7b do not necessarily need to be provided in a line, and it is sufficient that at least one is provided.
  • the plurality of processing units 5-1, 5-2, 5-3 ⁇ are located on the side facing the passage, in other words, on the side facing the transporting device 7, 2, 6-3 ⁇ ⁇ 'It has each.
  • the substrate contained in the container 8 is temporarily closed. It can be moved from the interior of the container 8 to the interior of the processing devices 5-1, 5-2, 5-3-'and vice versa in a closed atmosphere.
  • the ceiling space can be freely moved.
  • a moving mechanism 9 is provided.
  • the three-dimensional moving mechanism 9 is a transfer device for the container 8 that can hold the container 8 and freely move in the ceiling space to transfer the container 8 between any two points.
  • the transfer device 9 is composed of two transfer device units 9a and 9b. It is possible to provide three or more transfer units, but it is desirable to configure in this way because control becomes complicated. Since these transfer device units 9a and 9b have the same structure, only the transfer device unit 9b will be described below.
  • Such a transfer device 9 is sometimes called a gantry robot.
  • the transfer device unit 9b includes a container gripping means 10 for gripping the container 8, and a horizontal mechanism for moving the container gripping means 10 in the ceiling space above the clean room in the horizontal direction.
  • the apparatus includes a moving means 11 and an elevating means 12 provided on the horizontal moving means 11 for suspending the container gripping means 10 and elevating and turning the container.
  • the horizontal moving means 11 includes a pair of horizontal fixed guide rails 13 arranged parallel to the ceiling space above the clean room, a traveling guide rail 14 erected between the pair of horizontal fixed guide rails 13, and A traveling body 15 (see FIG. 3) is provided so as to be able to travel along the traveling guide rails 14. Therefore, the horizontal moving means 11 enables arbitrary movement of the traveling body 15 in the XY horizontal plane sandwiched between the pair of fixed guide rails 13 in the ceiling space above the clean room.
  • the container gripping means 10 is moved linearly from one position to another position on the opposite side across the central passage so that the container gripping means 10 can be moved to the in-face device 6-1, 6-2, 6-3. • ⁇ It can be located directly above the container mounting table.
  • the pair of horizontal fixed guide rails 13 are supported by a plurality of columns (not shown) above the processing device group 4-2 and the processing device group 4-3, and are respectively disposed.
  • the traveling drive mechanism of the traveling body 15 is not shown in detail, a motor integrated with the traveling body 15 is accommodated in the traveling guide rail 14, and rollers fixed to the rotating shaft thereof are driven by the traveling guide rail 14.
  • the running body 15 runs along the running guide rail 14 by rolling on the inner wall surface.
  • the elevating means 12 has its S3 ⁇ 4 (upper end) fixedly connected to the traveling body 15 and travels along with the traveling body 15.
  • the elevating means 12 is made up of a multi-joint arm, and the multi-joint arm expands and contracts by rotating a plurality of arms around each joint. And this Taseki
  • the container gripping means 10 described above is pivotably attached to the end of the last arm of the knot arm.
  • the container gripping means 10 has two gripping portions, and can grip two containers simultaneously, while the other gripping portion picks up the container while one gripping portion throws in the container. Can be used.
  • the container transport system includes a transport device 7 described above, a transfer device 9, and a plurality of processing devices 5-1, 5-2, and 5-3 '.
  • the face device 6-1, 6-2, 6-3- ⁇ is a comprehensive transport system for containers 8 configured to be assembled under a predetermined cooperative relationship. These device elements are involved in transporting the container 8 in each of the manners described above.
  • a plurality of intermediate (inter-process) stockers: 17 are arranged on the central straight inter-process transfer path 3b.
  • Each of these intermediate stockers 17 is transported between adjacent processing equipment groups, for example, between a processing equipment group 4-2 provided with the transfer equipment 9 and a processing equipment group 4-3.
  • the processing area is located on road 3b and consists of this set of processing equipment (usually referred to as "one processing step", with all processing performed in this processing area as one unit).
  • the container 8 containing the workpieces processed in the above is transported to the intermediate stocker 17 by the transfer device 9 or a work robot (not shown) and is stocked there.
  • the transporter 7 is installed in the processing area including a set of processing equipments in which the transfer device 9 is provided, and the transporter 7 has a stock function and is used as a standby place.
  • the storage capacity of the intermediate (between process) stockers 17 can be designed to be as small as possible, and the load on the transfer device between processes can be leveled to ensure a stable transfer capacity.
  • one (one) transfer device 7 can hold 10 containers 8 on standby, and if there are a total of 40 transfer devices 7, a maximum of 400 transfer devices 7 can be provided on the transfer device 7 side. As a result, the storage capacity of the intermediate (between process) stockers 17 can be reduced.
  • the container of the interface unit 6-1 of the processing unit 5-1 belonging to the processing unit group 4-2 The container 8 placed on the mounting table (in FIG. 3, the side of the processing unit group 4-2 The container 8) on the rightmost side is moved to the container mounting table of the processing unit 5-u belonging to the processing unit group 4-3, the interface unit 6-u (in FIG. 3, The case in which the container 8 is transferred on the table on the left where the container 8 is placed) will be described.
  • the traveling guide rail 14 of the transfer unit 9a moves rightward in FIG. 3 to just above the transfer target container 8 on the processing unit group 4-2 side, and then the traveling body 15
  • the gripping means 10 moves downward in FIG. 3 until the gripping means 10 comes to a position immediately above the transfer target container 8, and then the lifting / lowering means 12 extends (down), and the gripping means 10 attached to the lowermost end thereof is moved.
  • One of the holding portions holds the transfer target container 8.
  • the lifting / lowering means 12 contracts (rises), and the traveling body 15 moves until the gripping means 10 holding the transfer target container 8 comes to a position immediately above the transport unit 7a. After the is extended again, the gripping means 10 throws the gripped container 8 onto the transport device unit 7a.
  • the transfer device unit 7a travels leftward in FIG. 3, and transfers the currently loaded transfer target container 8 to the processing device 5-u belonging to the processing device group 4-3. -Transport to the front of the U container mounting table. During this time, the transfer guide unit 14 and the transfer unit 15 of the transfer unit 9b are also positioned so that the holding means 10 is located directly above the expected position of the transfer target container 8 on the transfer unit 7a. In Figure 3, they are moving leftward and upward, respectively.
  • the lifting / lowering means 12 of the transfer device unit 9 b is extended, and the free gripping portion of the gripping means 10 attached to the lowermost end thereof is moved to the transfer target container 8 on the transfer unit 7 a.
  • the traveling body 15 of the transfer unit 9 b is moved until the holding means 10 holding the container 8 comes to a position immediately above the container mounting table of the in-face device 6 -U, and the lifting means After the extension of 12 again, the gripping means 10 throws the gripped container 8 onto the container mounting table.
  • the given container transfer operation is completed.
  • the container 8 placed on the container mounting table of the interface unit 6-1 of the processing device 5-1 belonging to the processing device group 4-2 is processed by the processing belonging to the processing device group 4-3.
  • the transfer When transferring to the container mounting table of the interface device 6-U, the transfer must be performed. Since the transfer is performed in cooperation with the device unit 9a, the transfer device 7a, and the transfer device unit 9b, the transfer distance of the transfer device units 9a and 9b is shortened, the footprint of the container transfer system is reduced, and space is saved. In addition to the above, it is possible to greatly improve the transfer capacity and the transfer processing capacity of the container.
  • the transfer range of the transfer device units 9a and 9b is at most limited to the area defined by the travel guide rail 14 traveling half the length of the pair of fixed guide rails 13.
  • the number is reduced by half.
  • the improvement of the transfer capacity and transfer processing capacity of the container 8 is remarkable. In such a case, if only one (one) transfer device unit is used to transfer the container 8 over the entire length of the transfer distance, it is impossible to achieve structural strength and it takes time. .
  • the operation of the container transport system of the first embodiment as described above is performed by the container mounting of the interface device 6-1 of the optional processing device 5-t (t ⁇ u) belonging to the optional processing device group 4-m.
  • the container 8 placed on the table is transferred to the adjacent processing device group that faces the transport device 7 and any of the processing devices belonging to the group 4-m + 1 5-s (Ks ⁇ ) interface device 6-s Basically, there is no change in the case where the data is transferred on the table, so the detailed description is omitted.
  • the plurality of processing devices 5-1, 5-2, 5-3,... are arranged on both sides of the passage where the transfer device 7 is installed, On the side to be equipped with in-face devices 6-1, 6-2, 6-3 ⁇ '(for example, those belonging to the processing device group 4-2, the processing device group 4-3)
  • the processing units 5-1, 5-2, and 5-3- are not limited to this, but are arranged on only one side of the passage, and the in-face unit is located on the side facing this passage. 1, 6-2, 6-3 ⁇ ⁇ 'may be provided for each.
  • the transfer device 9 includes a plurality of processing devices 5-1, 5-2, 5-3,... Arranged on only one side of the passage in this way, and a transfer device 7 installed in the passage. And can be provided so as to straddle.
  • the container transport system includes a transport device 7 and a transfer device 9, and the transport device 7 includes a plurality of transport devices.
  • the containers are transported to a predetermined position along the processing equipment 5-1, 5-2, 5-3-.
  • the transfer equipment 9 is composed of the transport equipment 7 and a plurality of processing equipments 5-1 and 5-2. 5-3- ⁇ The three-dimensional free movement of the ceiling space above the clean room covering the area where the ' And the multiple processing units 5-1, 5-2, 5-3 'or between the multiple processing units 5-1, 5-2, 5-3' Can do it.
  • the container transport system is composed of the transport device 7 that is in charge of transporting the containers 8 along the multiple processing devices 5-1, 5-2, 5-3, and the ceiling space above the clean room. It has a transfer device 9 that is free to move in two dimensions and is responsible for the transfer of containers 8, and separates the functions of the transfer devices 9, so that it has various effects as described below. be able to.
  • a part of the part conventionally entrusted to transfer by the transfer device can be replaced by the transfer device 7, and the container is operated by the cooperation of both transfer means (the transfer device 7 and the transfer device 9). Since the transfer of the container 8 can be freely performed, the transfer capability of the container 8 can be greatly improved as a whole.
  • the container 8 can be transferred to a predetermined position by the transfer device 7, and the transfer time of the container 8 and the transfer time of the container 8 are made to overlap. Therefore, the transfer processing capacity of the container 8 can be greatly improved.
  • a plurality of containers 8 can be placed on the transfer device 7, and a plurality of (U) processing devices 5-1 and 5-2 can be placed on the transfer device 7 at a plurality of (U) locations. , 5-2, ..., so that the degree of freedom in transporting containers to multiple processing units 5-1, 5-2, 5-3- Relationship can be improved.
  • the transfer device 7 and the transfer device 9 are arranged vertically, and the cooperation and transfer of the container 8 are performed, so that the footprint of the transfer means (container transfer system) is increased. It is possible to improve the transfer capacity of containers without performing cleaning, and to effectively use the space in the clean room to reduce the equipment cost and maintenance cost of the clean room.
  • a plurality of containers 8 can be placed on the transport device 7, and a plurality of containers 8 can be placed on the transport device 7. Since the containers 8 can be stocked, the stocking function and the waiting function of the container transport system are expanded, and the storage capacity of the intermediate stockers 16a and 16b arranged between processes can be reduced.
  • a plurality of containers 8 can be placed on the transfer device 7, and the transfer device 9 grips any one of the containers 8 and transfers it to a predetermined processing device 5-r (r ⁇ u), a plurality of containers 8 on the transport device 7 can be delivered and the transport device 7 can have a sorting function.
  • the transfer device 7 also has a plurality of transfer paths, and is provided with transfer device units 7a and 7b that can travel independently on each transfer path, so that the transfer capacity of the container transfer system is provided. Can be easily increased.
  • each transport unit 7a, 7 is provided with an independent drive mechanism, so that it can be independently moved, stopped, or reversed as necessary, and can be transported as necessary. It is easy to lengthen or change the route. Therefore, the transport device units 7a and 7b can be unitized as independent devices, and the functionality of the transport device ⁇ ⁇ ⁇ can be significantly improved.
  • transport paths on which these transport unit 7a and 7b travel are arranged vertically, multiple transport unit 7a and 7b should be installed by effectively utilizing the space in the clean room. This can further reduce clean room equipment costs and maintenance costs.
  • the transfer device 7 can be configured very easily using general-purpose means. Furthermore, since the transfer device 9 is composed of at least two transfer device units 9a and 9b, the transfer capacity and transfer processing capacity of the container 8 can be performed without increasing the footprint of the container transfer system. Can be further improved.
  • the container transport system of the first embodiment can provide various effects.
  • a container transport system according to another embodiment (Embodiment 2) of the present invention will be described. Will be described.
  • the transport device ⁇ ⁇ has two transport paths arranged on the left and right on an upper part of a base 18 which is independent from the floor 2.
  • a left transfer unit 7a and a right transfer unit 7b are provided to travel along respective transfer paths.
  • the second embodiment is different from the first embodiment only in this point, and there is no difference in other points, so that the detailed description is omitted.
  • the container transport system of the second embodiment is configured as described above, and in the first embodiment, the transport device unit 7b, which has dived below the transport device unit 7a, appears outside over the entire length thereof.
  • the container 8 is easily put into and taken out of the transporting device 7 by the transfer device 9, and the stocking of the container 8 and the sorting of the container 8 can be performed more easily.
  • the transfer distance of the transfer device 9 can be set at any position of the transfer section of the right transfer device unit 7b, so that the container 8 can be loaded and unloaded. Since b can be arranged at a higher position, the transfer time can be shortened because the length can be shortened, so that the container processing capacity can be further improved.
  • the transfer device 9 is a maximum of two processing device groups (processing device group 4-m and processing device group 4-m + l) arranged on both sides of the passage. Also comprises a plurality of processing devices 5-1, 5-2, 5-3- ') and a transport device 7 installed in the passage so as to face these two processing device groups.
  • the present invention is not limited to this, and may be provided so as to be extended so as to extend over more processing device groups and the transport device 7.
  • the two processing device groups (the processing device group 4-2 and the processing device group 4-3) arranged on both sides of the passage are the same in number. 1, 5 -2, 5 -3- ⁇ ⁇ 5 -u, but this is because each of a plurality of processing unit groups 4-1, 4 -2, 4 -3- ⁇ ⁇ 4-n Does not always consist of the same number of processors.
  • Each of the two processing units arranged on both sides of the passage has a different number of processing units.
  • the transfer device 9 can operate in substantially the same manner as described above, even when the transfer device 9 is constituted by a transfer device.
  • Embodiment 3 of the present invention will be described.
  • one area of the production line in the clean room includes the processing equipment group 4-2 and the processing equipment on both sides of the central passage 23.
  • Groups 4-3 are arranged in a row, and a transfer device 7 is provided along the passage 23 in the ceiling space above the passage 23, and a transfer device 20 is provided on each of the left and right sides of the transfer device 7. Have been killed.
  • These two transfer devices 20 can freely move in the ceiling space above the clean room in the vertical plane (two-dimensional moving space) connected to the transfer device 7.
  • Each of the processing units 4-2, 4-3 is composed of a plurality of processing units 5-1, 5-2, 5-3-. -3 are arranged in a line along the passage 23, and are arranged on the side facing the passage 23, and the in-face device 6-1, 6-2, 6-3 'It has it all.
  • the transfer device 7 has two transfer paths, and these two transfer paths are arranged substantially in parallel with the processing device groups 4-2 and 4-3, and in parallel with the left and right. Further, a left transfer unit 7a and a right transfer unit b that run on the respective transfer paths are provided.
  • the left transport unit 7a forms a forward path
  • the right transport unit 7b forms a return path.
  • the forward path and the return path are connected at both ends by a transfer mechanism 24.
  • the container 8 conveyed on the conveying device 7 flows rightward on the left conveying device unit 7a as shown by the arrow in FIG. 6, and is reversed in direction by the transfer mechanism 24, and the right conveying device unit 7b, and flows leftward on the right semi-transport unit 7b as shown by the arrow in FIG.
  • the container 8 flows in a certain direction from the carry-in port to the carry-out port of the transfer device 7.
  • the direction of the container 8 is reversed by the transfer mechanism 24 and transferred to the left transfer unit 7a. 7 It may be configured to flow over a again.
  • a conveyor is used for the transport device units 7a and 7b, but is not limited thereto.
  • the left transport unit 7a and the right transport unit 7b are provided with a plurality of branch transport paths 22 so as to project outward at appropriate intervals in the transport direction.
  • the plurality of branch transport paths 22 can receive one of the containers 8 transported by each of the transport device units 7a and 7b, and stand by. All the containers 8 flowing on the transfer device 7 are controlled by the computer to determine which container 8 flows in the transfer device 7. Therefore, when the container 8 goes to an arbitrary processing device 5-1 or 5-s (described later), the transport device 7 is controlled so that the container 8 moves to the branch transport path 22 closest to the processing device. I have. Note that a plurality of containers 8 can be made to stand by in the branch conveyance path 22.
  • the branch conveying path 22 When the branch conveying path 22 receives the container 8 from each of the conveying units 7a and 7b, the container 8 is rotated by 90 degrees. Then, it is received by the holding unit 10 of the transfer device 20 which will be described later and stands by there, and the interface device 6-1 of the processing device 5-1 (1 ⁇ t ⁇ U) belonging to the processing device group 4-2 or the processing device It is transferred to the container mounting table of the 6-s in-plane unit of the processing unit 5-s (l ⁇ s ⁇ u) belonging to group 4-3.
  • Each of the interface devices 6-1, 6-2, 6-3- ⁇ ⁇ has two container mounting tables.
  • the two transfer devices 20 can move freely in the ceiling space above the clean room in the vertical plane along the transport unit 7a and in the vertical plane along the transport unit 7b. It is provided in.
  • the container mounting tables of the interface devices 6-1, 6-2, 6-3 are aligned on the left and right sides with the passage 23 interposed therebetween. It is directly below.
  • Each transfer device 20 includes two transfer device units 20a and 20b having different traveling ranges. Each of these two transfer device units 20a and 20b travels along a guide rail 21 laid horizontally on the ceiling above the clean room with a travel length substantially half the length thereof, and As described above, the container 8 received on the branch conveyance path 22 is transferred to the container mounting table of the predetermined processing device 5-s belonging to the processing device group 4-3, the 5-s interface device 6-s, and the processing device group 4-2. Interface of the specified processing unit 5-1 belonging to The chair device is transferred to the 6-t container mounting table.
  • the transfer device 20 is a traveling body that slides on a guide rail 21, an elevating means 12 attached to the traveling body, and is rotatably attached to a lower end of the elevating means 12, and holds the container 8.
  • the grip portion 10 has an inverted U-shaped grip finger, and can grip the container 8 with the grip finger and direct the container 8 in an arbitrary direction.
  • the transfer device 20 receives the container 8 transferred on the branch transport path 22, the inverted U-shaped gripping finger of the gripper 10 points the inner space surrounded by the U-shape to the container 8. Wait.
  • the elevating means 12 is configured by a telescopic arm mechanism including three rotating arms.
  • the holding unit 10 of the transfer device 20 As a method of causing the holding unit 10 of the transfer device 20 to hold the container 8, various other methods are conceivable. For example, when transferring the container 8 from the transfer device units 7 a and 7 b onto the branch transfer path 22, the container 8 is transferred in the same posture onto the branch transfer path 22, and then the transfer apparatus 20 is gripped. The gripper 10 is moved in the traveling direction, and the gripper 10 is positioned at a predetermined rotational position (a rotational position where the inverted U-shaped gripper of the gripper 10 can grip the container 8). The container 8 can be made to be grasped by the letter-shaped grasping finger.
  • the branching is performed with the posture unchanged.
  • the container 8 transferred on the transport path 22 can be gripped by the gripper 10 of the transfer device 20 from above the container 8.
  • the transport device units 7a and 7b do not need to have a direction change mechanism for adjusting the direction of the container 8 to the direction of the load port (interface device).
  • the transport apparatus 7, the transfer apparatus 20, the branch transport path 22, the transfer mechanism 24, and the like as described above constitute a container transport system of the third embodiment. Note that the branch transport path 22 is not always required to be used. Even if the branch transport path 22 is not used, the transport apparatus 7 can be intermittently driven to transfer a plurality of processing apparatuses 5-1, It is possible to directly transport the container 8 by the transfer device 20 to 5 -2, 5 -3.
  • the container transfer system is transferred and mounted with the transfer device 7 in the ceiling space above the clean room.
  • the transfer device 7 is provided at a predetermined position (a predetermined branch transfer position) along a plurality of processing devices 5-1, 5-2, 5-3-, arranged on both sides of the passage 23, respectively.
  • the container 8 is transported to the position where the passage 22 is located or the position above the predetermined processing device), and the transfer device 20 includes a plurality of processing devices 5-1, 5-2, 5-3-
  • the ceiling space above the clean room covering the area to be moved is moved in a vertical plane along the transfer device 7, and the container 8 in the operation area is transferred via the branch transfer path 22 or not. It can be freely transferred and transferred between the transfer device 7 and a plurality of processing devices 5-1, 5-2, 5-3-or a plurality of processing devices 5-1, 5-2, 5-3-
  • the container 8 can be delivered between '.
  • the transfer device 7 that moves the container 8 by moving the ceiling space above the clean room along the plurality of processing devices 5-1, 5-2, 5-3-
  • a transfer device 20 that moves the ceiling space above the inside of the ceiling along the transfer device 7 to transfer the containers 8 is provided, and the functions of each are separated. The effect can be achieved.
  • a part of the transfer conventionally entrusted to the transfer device 20 can be replaced by the transfer device 7, and the container 8 can be operated by the cooperation of both transfer means (the transfer device 7 and the transfer device 20).
  • the carrying capacity of the container 8 can be greatly improved.
  • the container 8 can be transferred by the transfer device 7, and the transfer time of the container 8 and the transfer time of the container 8 can be overlapped.
  • the transfer processing capacity can be greatly improved.
  • a plurality of containers 8 can be placed on the transfer device 7, and a plurality of (U) locations on the transfer device 7 can be transferred to a plurality (U) of processing devices.
  • the degree of freedom in transporting containers to the plurality of processing devices 5-1, 5-2, 5-3- ' can be improved from a one-to-U relationship to a U-to-U relationship.
  • the transfer device 7 and the transfer device 20 are adjacently arranged in parallel in the ceiling space above the clean room, and the cooperation and transfer of the container 8 is performed.
  • container 8 without increasing the footprint of The transfer processing capacity can be improved, and the space under the transfer device 7 can be used as the passage 23 for workers, while the space in the clean room can be effectively used to greatly save space in the clean room. This can reduce clean room equipment costs and maintenance costs.
  • a plurality of containers 8 can be placed on the transfer device 7, and the transfer device 20 can grasp any of the containers 8 and transfer the same to a predetermined processing device. Therefore, the plurality of containers 8 on the transport device 7 can be delivered and received, and the transport device 7 can have a sorting function.
  • the container 8 received by the branch conveying path 22 transfers the container 8 to the predetermined processing device 5-s, the in-face device 6-s, and 6-t of the specified processing device 5-1. It is possible to wait in a state of stopping on the branch transport path 22 until the transfer is completed, so that there is no need to wait on the transport device ⁇ for transfer to the transfer device 20, and the transport device 7 does not hinder the progress of other containers 8. This makes it possible to further improve the carrying capacity of the container 8 when viewed as a whole.
  • the plurality of processing units 5-1, 5-2, 5-3-, are arranged on both sides of the passage 23, respectively, and the transport unit 7 has two transport routes, an outbound route and a return route. It is equipped with two transport device units 7a and 7b that travel, and the transfer device 20 is provided on each of the right and left sides of the transport device 7, so while securing the worker passage 23 in the center,
  • the two transporting means (transporting device 7 and transfer device 20) are concentrated and arranged symmetrically in the upper ceiling space, and a plurality of processing devices 5-1, 5-2, 5-3- ⁇
  • the transfer of the container 8 to the container 8 can be performed by both transfer means (the transfer device 7 and the transfer device 20) on each of the left and right sides, making effective use of the space and increasing the transfer processing capacity of the container 8. It can be greatly improved.
  • the transport device 7 includes two transport device units 7a and 7b that respectively travel on two transport routes, an outward route and a return route, more transport devices are provided on the transport device 7.
  • the container 8 can be placed, and the stock function, the standby function, and the sorting function of the container transport system can be further enhanced.
  • the container transport system of the third embodiment can provide various effects.
  • Embodiment 4 a container transport system according to yet another embodiment (Embodiment 4) of the present invention will be described.
  • two transport paths on which the two transport device units 7a and 7b of the transport device 7 travel are arranged vertically in parallel.
  • the plurality of branch transport paths 22 are branched from the upper transport unit 7a and the lower transport unit 7b at appropriate intervals in the transport direction so as not to overlap each other. Is provided. Since the plurality of branch transport paths 22 are provided so as not to overlap one another, the transfer device 20 can take out the container 8 from any of the transport device units.
  • a transfer mechanism 24 that connects the upper transfer unit 7a and the lower transfer unit 7b is provided at one end (the right end in FIG. 9) of both transfer units 7a and 7b.
  • the container 8 that has flowed as shown by the arrow in FIG. 6 is placed on the upper transfer unit 7a, and the container 8 is lowered while reversing its direction, and the container 8 is transferred to the lower transfer unit 7b.
  • a container mounting table 25 is provided on the other end side (the left end side in FIG. 9) of the two transport unit units 7a and 7b for exchanging the container 8 with another area.
  • the transfer device 20 is composed of at least two transfer device units 20a and 20b, and each of the transfer device units 20a and 20b has a substantially different traveling range and a common portion. From one transfer unit to the other In order to enable the transfer of the container 8, a plurality of transfer tables 26 are provided separately from the branch conveyance path 22 at a predetermined height between adjacent ink-discharge devices at a substantially central portion in the longitudinal direction of the passage 23. Position.
  • the fourth embodiment is different from the third embodiment in the above points, but there is no difference in other points, and therefore, detailed description is omitted.
  • the two transport units 7a and 7b which run on the two transport paths of the forward path and the return path, respectively, are arranged vertically and assembled vertically.
  • the space between the multiple processing devices 5-1, 5-2, 5-3-'arranged on both sides of the passage 23 becomes narrower, and the worker's passage 23 becomes slightly narrower. Overall, space can be saved to a minimum, and the cost of installing and maintaining a clean room can be further reduced.
  • a plurality of processing devices 5-1, 5-2, 5-3,... are arranged on both sides of the passage 23, and accordingly, the transfer device 20 is provided on each side.
  • each is provided on the left and right sides of the transport unit 7 (transport unit units 7a, 7b).
  • the present invention is not limited to this, and a plurality of processing devices 5-1, 5-2, 5-3-'are arranged only on one side of the passage 23, and accordingly, the transfer device 20 is also provided.
  • the ceiling space above the plurality of processing devices 5-1, 5-2, 5-3- may be provided only on one side of the transfer device 7 (the transfer device units 7a and 7b). .
  • the left transfer device unit 7a and the right transfer device unit 7b are provided with a plurality of branch transfer paths so as to project outward at appropriate intervals in the transfer direction.
  • the present invention is not limited to this, and the branch transport path 22 may not necessarily be provided.

Landscapes

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Description

明細書 容器搬送システム 技術分野
本願の発明は、 容器搬送システムに関し、 特に半導体装置や液晶装置等の製造 工場において、 半導体ウェハゃレチクル、 ガラス基板等の基板を収納する F O U Pや S M I Fポヅド等の容器を クリーンルーム内に設置される複数の処理装置 間および複数の処理装置と搬送装置との間で自在に搬送することができるように されてなる容器搬送システムの改良に関する。
背景技術
半導体集積回路や液晶表示パネル等の製造工程においては、 ウェハゃレチクル 、 ガラス基板等の基板に塵埃やパーティクルが付着することにより製品の歩留り が低下する。 このため、 クリーンルーム内生産ラインが稼働しており、 このクリ —ンルーム内に設置される各種の処理装置間で容器を自在に搬送することができ る容器搬送装置や容器搬送システムに関して、 種々の工夫がなされている。 本出願人は、 先に、 クリーンルーム内上方の天井空間で、 容器を把持する容器 把持手段を任意の 3次元方向に移動させることができる移動手段を備えた容器搬 送装置を創案して、 特許出願を行なった （特願 2 0 0 1— 2 8 3 4 0 7号） 。 このものにおいては、 天井空間に一対の水平な固定ガイドレールが平行に配設 されており、 これら一対の固定ガイドレール間に水平な走行ガイドレールが 1本 ないし複数本架設されていて、 この走行ガイドレールが固定ガイドレールに沿つ て走行できるようになつている。 また、 走行ガイドレールには、 該走行ガイドレ ールに沿って走行する走行体が設けられており、 これら固定ガイドレール、 走行 ガイドレ一ル、 走行体によって水平移動手段が構成されている。 さらに、 この走 行体には、 容器把持手段を昇降および回転させることができる昇降手段が設けら れていて、 該昇降手段と前記水平移動手段とにより、 3次元移動手段が構成され ている。
この容器搬送装置は、 クリーンルーム内上方の天井空間を容器搬送のためのェ リアとして利用するので、 クリーンルーム内のスペースを有効活用することがで きる。 このため、 同一設備に対しては、 必要なクリーンルーム容積を小さくする ことができ、 クリーンルームの設備コストおよび維持コストを安価にすることが できる。 また、 容器把持手段をある位置から他の位置に直線的に移動させること ができるので、 容器の搬送 ¾ί率を向上させることができる。
さらに、 この容器搬送装置にあっては、 昇降手段が多関節アームからなり、 該 多関節アームが有する複数のアームは、 それらの各端部で順次交互に互い違いに 重ねて連結されており、 各アームが回動することにより多関節アームが伸縮する ようにされているので、 多関節アームの重心がずれることがなく、 アーム全体の 重量バランスが安定して、 多関節アームが伸長 （昇降手段が下降） したときにも 、 重力による撓みが少ない。 これにより、 容器把持手段が各処理装置に位置ずれ することなく容器を受け渡すことができ、 容器を水平搬送するときには、 昇降手 段をコンパクトに畳み、 気流の乱れを最小限に抑えることができる、 等々の優れ た効果を奏するものである。
本出願人は、 また、 先の創案をさらに進めて、 容器搬送装置の搬送効率、 機能 性、 省スペース、 安全性の面でのさらなる向上を図るべく、 改良された容器搬送 システムを創案して、 特許出願を行なった （特願 2 0 0 2— 1 1 1 2 2 7号） 。 この改良された天井走行式の容器搬送システムは、 容器把持手段を複数備えて いるので、 容器のローディングとアンローディングとを短時間に行なうことがで き、 容器の搬送効率がさらに向上して、 クリーンルーム内生産ラインの生産効率 を大きく向上させることができる。
また、 昇降手段がテレスコピックタイプの伸縮機構からなり、 その下端部に、 容器把持手段を旋回させる旋回機構を備えているので、 昇降機構部が簡略 ·省ス ペース化され、 容器の短距離搬送が可能になり、 クリーンルーム内搬送のさらな る省スペース化、 低価格化を実現することができる。 また、 容器把持手段の旋回 機構により、 容器をどのような向きにも投入 ·搬入することができ、 どのような 向きの容器をも取り出すことができて、 この面からも、 容器の搬送効率が向上す る。
さらに、 容器搬送システムの作業領域内であって、 作業者通路の上方に、 容器 を載置する棚が配設され、 必要に応じて、 同作業領域内に、 容器内収納基板をソ —トするソ一夕や、 処理装置へのアクセス部分のみが切り欠かれた安全ネヅトが 設けられるので、 容器のストック機能、 バッファ機能、 容器内基板のソート機能 等の諸機能が確保されて、 容器の搬送効率、 省スペース化をさらに向上させるこ とができ、 また、 作業者の十分な安全を図ることができる、 等々の優れた効果を 奏するものである。 発明の開示
しかしながら、 これらのいずれの搬送手段によっても、 未だ搬送能力、 搬送処 理能力の点で十分なものとは言えなかった。 第 1の課題は、 長距離搬送の場合の 搬送能力である。 これらの創案になるものは、 いずれも自由度が大きく、 同一の 搬送装置もしくは搬送システムで複数の処理装置への容器の受渡しが可能である が、 移載距離が長くなつた場合に、 時間がかかる場合がある。
第 2の課題は、 天井走行式の容器搬送システムといえども、 単一の搬送装置か らなる搬送システムにあっては、 搬送処理能力に限界があるということである。 この点に関連して、 特開平 6— 0 1 6 2 0 6号公報、 特閧平 2 0 0 0— 3 5 3 7 3 5号公報、 WO 0 0 / 3 7 3 3 8号公報等にも、 搬送台車ゃコンベアを使った 、 処理装置との間での容器の受渡しの方法が開示されているが、 矢張り、 単一の 搬送装置からなるので、 搬送処理能力に限界がある。
第 3の課題は、. 搬送処理能力を搬送手段のフットプリントを大きくすることな しに向上させることが難しいということである。第 4の課題は、 容器のストック 機能が十分でないということである。 ストック機能を拡充できれば、 工程間に配 置されるストッカーの収納容量を小さくすることが可能になる。 さらに、 第 5の 課題は、 容器のソート機能を備えない'ということである。 これらの点で、 従来の 容器搬送装置、 容器搬送システムには、 なお改善すべき余地が残されていた。 本願の発明は、 従来の容器搬送装置や容器搬送システムが有するこれらの問題 点を解決して、 搬送能力、 搬送処理能力、 フットプリント、 容器のストック機能 およびソート機能、 省スペース化等の点で、 さらに改良された容器搬送システム を提供することを課題とする。 本願の発明によれば、 このような課題は、 クリーンルーム内で、 ウェハゃレチ クル等の基板を収納した容器を搬送する容器搬送システムであって、 複数の処理 装置に略並行に配置されて、 前記容器を搬送する搬送装置と、 前記クリーンルー ム内上方の天井空間を自由に移動することができる移載装置とを備え、 複数の前 記処理装置は、 通路の少なくとも片側に配列されて、 前記通路に面する側にイン 夕一フェイス装置をそれそれ備え、 前記イン夕一フェイス装置は、 前記容器を一 時受けて、 前記基板を前記容器の内部から前記処理装置の内部に、 また、 その逆 に、 密閉された雰囲気下で移動させることができるようにされており、 前記移載 装置が、 前記搬送装置と複数の前記処理装置との間または複数の前記処理装置の 間で前記容器の受渡しを行なうようにされていることを特徴とする容器搬送シス テムにより解決される。
この容器搬送システムによれば、 容器搬送システムが、 搬送装置と移載装置と を備え、 搬送装置は、 複数の処理装置に沿って所定の位置まで容器を搬送し、 移 載装置は、 搬送装置および複数の処理装置が配置されるエリァを覆うクリーンル
—ム内上方の天井空間を 3次元的に自由に移動して、 その動作ェリァ内の容器を 自在に移載し、 搬送装置と複数の処理装置との間または複数の処理装置の間で容 器の受渡しを行なうことができる。
この容器搬送システムは、 このように、 複数の処理装置に沿った容器の搬送を 担当する搬送装置と、 クリーンルーム内上方の天井空間を 3次元的に自由に移動 して、 容器の受渡しを担当する移載装置とを備えていて、 それそれの機能を分離 しているので、 以下に述べるような種々の効果を奏することができる。
先ず、 従来、 移載装置に委ねられていた搬送の一部を搬送装置に肩代わりさせ ることができ、 また、 両搬送手段 （搬送装置と移載装置） の協働により、 容器を 自在に搬送'移載することができるので、 全体としてみた場合に、 容器の搬送能 力を大きく向上させることができる。
また、 移載装置が移載動作中でも、 搬送装置により容器を搬送することができ 、 容器の搬送時間と容器の移載時間とをオーバ一ラヅプさせることができるので 、 容器の搬送処理能力を大きく向上させることができる。
また、 搬送装置上に複数の容器が載置可能になり、 搬送装置上の複数 (U) の 場所にある複数の容器を複数 （U) の処理装置に受け渡すことができるので、 複 数の処理装置への容器搬送の自由度を 1対 Uの関係から U対 Uの関係へと向上さ せることができる。
さらに、 搬送装置と移載装置とが上下に配置されており、 これらの協働により 、 容器の搬送 '移載が行なわれるので、 容器搬送システムのフヅトプリントを大 きくすることなしに容器の搬送処理能力を向上させることができ、 また、 クリ一 ンルーム内のスペースを有効に活用して、 クリーンルームの設備コスト、 維持コ ストを低減することができる。
また、 搬送装置上に複数の容器が載置可能になり、 搬送装置上に複数の容器を ストックすることができるので、 容器搬送システムのストック機能、 待機機能が 拡充されて、 工程間に配置される中間ストッカーの収納容量を小さくすることが できる。
さらに、 また、 搬送装置上に複数の容器が載置可能になり、 移載装置がこれら の容器のうちの任意の容器を把持して、 これを所定の処理装置に受け渡すことが できるので、 搬送装置上にある複数の容器を受渡しの対象とすることができ、 搬 送装置にソート機能を持たせることができる。
好ましい実施形態では、 その搬送装置は、 複数の搬送路を有し、 それそれの搬 送路を独立して走行することができる搬送装置ュニッ卜が設けられている。 これ により、容器搬送システムの搬送能力を容易に増大させることができるとともに、 それぞれの搬送装置ュニヅ卜に独立した駆動機構を持たせることにより、 必要に 応じて独立して動かしたり、 止めたり、 逆転させたりすることができ、 また、 必 要に応じて搬送路を長くしたり、変更したりすることが容易にできるようになり、 各搬送装置ュニヅトは、 それそれが独立した装置としてュニット化されることが できる。 これにより、 搬送装置の機能性を格段に向上させるヒとができる。 別の好ましい実施形態では、 その複数の搬送路は、 上下に配列されている。 こ の結果、 クリーンルーム内のスペースを有効に活用して複数の搬送装置ュニヅト を設置することができ、 クリーンルームの設備コスト、 維持コストをさらに低減 することができる。
さらに、 別の好ましい実施形態では、 その複数の搬送路は、 左右に配列されて いる。 この結果、 搬送装置上への容器の投入、 取出しが容易になり、 容器のスト ック、 容器のソートがより容易に行なえるようになる。 また、 移載装置の移載距 離が短くなり、 移載時間が短縮されて、 容器の搬送処理能力をさらに向上させる ことができる。
さらに、 別の好ましい実施形態では、 その搬送装置ユニットは、 コンペァから なる。 これにより、 搬送装置を、 汎用の手段を用いて、 きわめて容易に構成する ことができる。
さらに、 別の好ましい実施形態では、 その移載装置は、 少なくとも 2つの移載 装置ユニットからなる。 この結果、 容器搬送システムのフヅトプリントを大きく することなしに容器の搬送能力と搬送処理能力とをさらに大きく向上させること ができる。
本願の発明によれば、 前記のような課題は、 また、 クリーンルーム内で、 ゥェ ハゃレチクル等の基板を収納した容器を搬送する容器搬送システムであって、 前 記クリーンルーム内上方の天井空間に、 複数の処理装置に略並行に配置されて、 前記容器を搬送する搬送装置と、 前記クリーンルーム内上方の天井空間を、 前記 搬送装置に沿つた鉛直面内で、 自由に移動することができる移載装置とを備え、 複数の前記処理装置は、 通路の少なくとも片側に配列されて、 前記通路に面する 側にイン夕一フェイス装置をそれそれ備え、 前記インターフェイス装置は、 前記 容器を一時受けて、前記基板を前記容器の内部から前記処理装置の内部に、また、 その逆に、 密閉された雰囲気下で移動させることができるようにされており、 前 記移載装置が、 前記搬送装置と複数の前記処理装置との間または複数の前記処理 装置の間で前記容器の受渡しを行なうようにされていることを特徴とする容器搬 送システムにより解決される。
この容器搬送システムによれば、 容器搬送システムが、 クリーンルーム内上方 の天井空間に搬送装置と移載装置とを備え、 搬送装置は、 複数の処理装置に沿つ て所定の位置まで容器を搬送し、 移載装置は、 複数の処理装置が配置されるエリ ァを覆うクリーンルーム内上方の天井空間を搬送装置に沿った鉛直面内で移動し て、 その動作エリア内の容器を自在に移載し、 搬送装置と複数の処理装置との間 または複数の処理装置の間で容器の受渡しを行なうことができる。 このように、 容器搬送システムが、 クリーンルーム内上方の天井空間を複数の処理装置に沿つ て移動して容器の搬送を担当する搬送装置と、 クリーンルーム内上方の天井空間 を搬送装置に沿って移動して、容器の受渡しを担当する移載装置とを備えていて、 それそれの機能を分離しているので、 以下に述べるような種々の効果を奏するこ とができる。
先ず、 従来、 移載装置に委ねられていた搬送の一部を搬送装置に肩代わりさせ ることができ、 また、 両搬送手段 （搬送装置と移載装置） の協働により、 容器を 両搬送手段の搬送 ·移載方向に沿った複数の処理装置に自在に搬送 ·移載するこ とができるので、 全体としてみた場合に、 容器の搬送能力を大きく向上させるこ とができる。
また、 移載装置が移載動作中でも、 搬送装置により容器を搬送することができ. 、 容器の搬送時間と容器の移載時間とをオーバーラップさせることができるので 、 容器の搬送処理能力を大きく向上させることができる。
また、 搬送装置上に複数の容器が載置可能になり、 搬送装置上の複数 (U) の 場所にある複数の容器を複数 （U) の処理装置に受け渡すことができるので、 複 数の処理装置への容器搬送の自由度を 1対 Uの関係から U対 Uの関係へと向上さ せることができる。
さらに、 搬送装置と移載装置とがクリーンルーム内上方の天井空間で隣接して 並行に配置されており、 これらの協働により、 容器の搬送，移載が行なわれるの で、 容器搬送システムのフットプリントを大きくすることなしに容器の搬送処理 能力を向上させることができ、 また、 搬送装置下方の空間を作業者用通路として 利用しつつ、 クリーンルーム内のスペースを有効に活用して、 クリーンルームの スペースを大きく節約することができ、 クリーンルームの設備コスト、 維持コス トを大きく低減することができる。
また、 搬送装置上に複数の容器が載置可能になり、 搬送装置上に複数の容器を ストヅクすることができるので、 容器搬送システムのストック機能、 待機機能が 拡充されて、 工程間に配置される中間ストッカーの収納容量を小さくすることが できる。
また、 搬送装置上に複数の容器が載置可能になり、 移載装置がこれらの容器の うちの任意の容器を把持して、 これを所定の処理装置に受け渡すことができるの で、 搬送装置上にある複数の容器を受渡しの対象とすることができ、 搬送装置に ソート機能を持たせることができる。
好ましい実施形態では、 その搬送装置の搬送方向に適宜間隔を置いて、 複数の 分岐搬送路が設けられ、 複数の該分岐搬送路は、 搬送装置により搬送されてきた 容器を受けて待機させることができるようにされており、 移載装置が、 複数の該 分岐搬送路上に待機させられている容器を把持して、 複数の処理装置のうちの任 意の処理装置に受け渡すことができるようにされている。 これにより、 分岐搬送 路により受けられた容器は、 移載装置が該容器を所定の処理装置まで運んでくれ るまでの間、 該分岐搬送路上で停止した状態で待機することができるので、 移載 装置への乗換えのために搬送装置上で待機する必要がなく、 搬送装置による他の 容器の進行の妨げとなることがない。 この結果、 全体として見た場合に、 容器の 搬送処理能力をさらに向上させることができる。
別の好ましい実施形態では、複数の処理装置は、通路の両側に配列されており、 搬送装置は、 往路と復路の 2つの搬送路をそれそれ走行する 2つの搬送装置ュニ ットを備え、 移載装置は、 搬送装置の左右両側にそれそれ設けられている。 これ により、 通路の両側に複数の処理装置がそれそれ配列されたクリーンルーム内生 産ラインにおいて、 中央部に作業者用通路を確保しつつ、 上方の天井空間に両搬 送手段 （搬送装置と移載装置） を左右対称に集中的に配置して、 通路各側の複数 の処理装置への容器の搬送 ·移載を左右各側の両搬送手段（搬送装置と移載装置） により担わせることができるので、 スペースを有効に活用して、 容器の搬送処理 能力をさらに向上させることができる。 また、 搬送装置上にさらに多くの複数の 容器が載置可能になり、 容器搬送システムのストック機能、 待機機能、 ソート機 能をさらに拡充することができる。
さらに、 別の好ましい実施形態では、 その 2つの搬送路は、 左右に並行に配列 されている。 この結果、 往路と復路の 2つの搬送路をそれそれ走行する 2つの搬 送装置ュニットをつなく、乗り移り機構等を含む搬送装置の構造を簡単化すること ができる。
さらに、 別の好ましい実施形態では、 その 2つの搬送路は、 上下に並行に配列 されている。 これにより、 往路と復路の 2つの搬送路をそれそれ走行する 2つの 搬送装置ユニットは、 上下に配置されて立体的に組み立てられるので、 通路の両 側にそれそれ配列された複数の処理装置（処理装置群）間のスペースが狭くなり、 作業者用通路はやや狭くなるものの、 全体としてスペースを必要最小限に節約し て、 クリーンルームの設備コスト、 維持コストをさらに低減することができる。 図面の簡単な説明
図 1は、 本願の発明の一実施形態 （実施形態 1 ) における容器搬送システムが 適用されるクリーンルーム内生産ラインの処理エリアのレイァゥト図である。 図 2は、 同容器搬送システムが適用されるクリーンルーム内生産ラインの 1処 理工リァの基本構成を示す斜視図である。
図 3は、 同平面図である。
図 4は、 同側面図である。
図 5は、 本願の発明の一実施形態 （実施形態 2 ) における容器搬送システムが 適用されるクリーンルーム内生産ラインの 1処理エリアの基本構成を示す側面図 であって、 図 4に対応する図である。
図 6は、 本願の発明の一実施形態 （実施形態 3 ) における容器搬送システムが 適用されるクリーンルーム内生産ラインの 1処理エリアの基本構成を示す平面図 である。
図 7は、 同左側面図である。
図 8は、 同内側面図である。
図 9は、 本願の発明の一実施形態 （実施形態 4 ) における容器搬送システムが 適用されるクリーンルーム内生産ラインの 1処理エリアの基本構成を示す平面図 である。
図 1 0は、 同左側面図である。
図 1 1は、 同内側面図である。 発明を実施するための最良の形態
本実施形態 1における容器搬送システムは、 特に半導体装置や液晶装置等の製 造工場において、 クリーンルーム内生産ラインに設置される複数の処理装置間で
、 ウェハゃレクチル等の半導体基板、 ガラス基板等の各種基板を収納した FOU Pや SMI Fポッド等の容器を搬送するために使用される。
このような製造工場におけるクリーンルーム内生産ラインの処理工リアのレイ アウトが、 図 1に示されている。
図 1に示されるように、 クリーンルーム内生産ライン 1は、 床面 2の全周を巡 る矩形状の工程間搬送路 3 a と、 床面 2を二分する中央の直線状の工程間搬送路 3 とにより区画された、 工程間搬送路 3bを挟んで隣接する両エリア内に、 複 数の処理装置群 4-1、 4-2、 4-3 - · · 4- nが工程間搬送路 3bに沿った方向に 並べられて設置されている。
各処理装置群 4- m (m^n) は、 複数の処理装置 5-1、 5-2、 5-3· · 'から なり、 これら複数の処理装置 5-1、 5-2、 5-3 - · 'が、 工程間搬送路 3bと直 交する方向に並べられて設置されている。 これら複数の処理装置 5 - 1、 5-2、 5 -3 - · ·は、 順次容器内収納ワーク （基板） の処理をする設備であって、 それそ れ異なる処理を実施するものであるが、 ワーク処理のタクトタイムのバランス等 を考慮して、 同一処理装置が複数含まれていてもよい。 このような処理装置とし ては、 例えば、 半導体ウェハのレジスト塗布、 露光、 現像、 イオン打込み、 ァニ ール、 スパッタリング等の処理を行なうための処理装置がある。 以下の説明にお いても、 半導体ウェハに対する処理を念頭において説明する。
処理装置群 4- mと処理装置群 4- m+1との間は、 通常、 メンテナンス用の通路と されており、 処理装置群 4 _2と処理装置群 4 -3とからなる処理エリアを拡大して 示す図 2〜図 4に詳細に図示されるように、 この通路に、 各処理装置群に属する 複数の処理装置 5-1、 5-2、 5-3 - · 'に略並行に、 搬送装置 7が設置されてい る。
次に、 搬送装置 7の構造について、 詳細に説明する。
搬送装置 7は、 床面 2から自立した基台 18の上部に上下に配列された 2つの搬 送路を有していて、 それそれの搬送路を走行する搬送装置ユニット 7a、 7bが 設けられている。
これら 2つの搬送装置ュニット 7a、 7bは、 それそれの搬送部の上に後述す る基板収納容器 8の複数個を載置することができる。 したがって、 搬送装置 7は 、 複数の容器 8を一時貯留しておくことができ、 ストック機能を備えている。 さ らに、 このようにして一時貯留された複数の容器 8は、 その順番を後述する移載 装置 （3次元移動機構） 9により任意に入れ替えることができ、 搬送装置 7は、 容器 7のソート機能をも併せ持つている。 なお、 下部の搬送装置ユニット 7bへ の容器 8の投入、 取出しは、 上部の搬送装置ユニット 7 aの一方の端部が切り落 とされて長さが短くなつた部分 （図 2において右下方部分） から行なわれる。 ここで、 容器 8のストック機能とは、 ウェハの一連の処理工程において、 ある 処理工程が終了したウェハを収納する容器 8を、 次の処理工程に回すまでの間、 ストックしておく機能であり、 このような機能を備えたものとして、 処理工程間 に中間ストッカ一が設けられるのが普通である。 後述する中間 （工程間） ストツ カー 17は、 このような中間ストッカーに相当するが、 この機能を、 中間ストッカ 一だけでなく、 前記のとおり、 搬送装置 7にも持たせることで、 この搬送装置 7 上でも容器 8の待機が可能になり、 その分、 中間ストッカーの収納容量を削減し て、 中間ストヅカ一の運転効率を向上させることができる。
また、 容器 8のソート機能とは、 次のような機能をいう。 すなわち、 ウェハの 一連の処理工程において、 ある処理工程が終了したウェハを収納する容器 8は、 次の処理工程に回されるまでの間、 中間ストヅカーに収納されて待機させられる 。 ここで、 前の処理工程が終了したそのままの順番で次の処理工程が行なわれれ ば問題はないが、 複雑な処理工程の中では、 順番の入れ替えや、 処理工程の変更 等の処置が必要になることがある。 このような時に、 処理工程間で容器 8の並べ 替えを行なう必要があるが、 このような必要を満たすことができる機能がソ一ト 機能である。 この機能を、 中間ストヅカ一だけでなく、 前記のとおり、 搬送装置 7にも持たせることで、 容器 8の搬送途中での並べ替えが可能になり、 搬送タク トタイムを短縮して、 容器 8の搬送効率を向上させることができる。
搬送装置 7を構成する上部の搬送装置ュニット 7 aの搬送部の高さは、 床面 2 から概ね 9 0 O mmを越えないように設計される。 搬送部の構成としては、 容器 8との接触面に回転するローラを用いたローラ式コンベア、 ベルトを用いたベル トコンベア、 パレットを用いたパレット式コンベア、 位置決め治具を備えたスラ ットコンベア等、 種々の形態のものを使用できる。
また、 これら 2つの搬送装置ユニット 7a、 7 bの各々には独自の駆動機構を 持たせることができ、 これにより、 必要に応じて独立して動かしたり、 止めたり 、 逆転させたりすることができる。 また、 必要に応じて搬送路を長くしたり、 変 更したりすることが容易に行なえる。 したがって、 搬送装置ユニット 7a、 7b は、 それそれが独立した装置としてユニット化されることができ、 これにより、 搬送装置 7の機能性を格段に向上させることができる。
さらに、 搬送装置ユニット 7a、 7 bに容器 8の位置決め装置、 容器 8の向き を変える回転装置、 搬送方向を直角方向に変える移行装置、 上下の搬送高さを変 えるエレべ一夕等を加えることにより、 複雑な動作をするように構成することも 可能である。 この場合、 特に下部の搬送装置ユニット 7bにもこれらの装置を加 えるのには、 上部の搬送装置ュニヅト 7aとの間が骨組構造にされて、 下部の搬 送装置ュニット 7bに対して容器 8を側方からも出し入れできるようにされると よい。
なお、 これらの搬送装置ュニヅ ト 7a、 7bは、 必ずしも 2つ揃って備えられ る必要はなく、 少なくとも 1つ備えられればよい。
複数の処理装置 5-1、 5-2、 5-3 · · ·は、 通路に面する側、 換言すれば、 搬 送装置 7に面する側にイン夕一フェイス装置 6-1、 6-2、 6-3 · · 'をそれそれ 備えている。 これらのイン夕一フェイス装置 6-1、 6-2、 6-3 - · 'は、 処理装 置 5-1、 5-2、 5-3 - · ·の内部とクリーンルームとを遮断するためのバッファ 空間を構成するものであって、 通常は閉じられており、 その通路に面した側に設 けられた載置台上に容器 8を一時受けると、 該容器 8内に収納された基板を該容 器 8の内部から処理装置 5-1、 5-2、 5-3 - · 'の内部に、 また、 その逆に、 密 閉された雰囲気下で移動させることができる。
搬送装置 7の上方にあって、 処理装置群 4 -2と処理装置群 4 -3とを含むェリァ のクリーンルーム内上方の天井空間には、 該天井空間を自由に移動することがで きる 3次元移動機構 9が設けられている。 この 3次元移動機構 9は、 容器 8を把 持して該天上空間を自由に移動して、 任意の 2点間で容器 8の受渡しを行なうこ とができる容器 8の移載装置である。 次に、 この移載装置 （3次元移動機構） 9の構造について、 詳細に説明する。 移載装置 9は、 2つの移載装置ユニット 9 a、 9 bからなつている。 3つ以上 の移載装置ュニットを備えるようにされることもできるが、 制御が煩瑣になるの で、 このように構成されるのが望ましい。 これらの移載装置ユニット 9 a、 9 b は、 いずれも構造が同じであるので、 以下においては、 移載装置ユニット 9 bに ついてのみ説明する。 このような移載装置 9は、 ガントリ一ロボットと呼ばれる こともある。
移載装置ユニット 9 bは、 図 2〜図 4に図示されるように、 容器 8を把持する 容器把持手段 10と、 クリーンルーム内上方の天井空間で容器把持手段 10を水平方 向に移動させる水平移動手段 11と、 該水平移動手段 11に設けられ、 容器把持手段 10を吊持して、 これを昇降および旋回させる昇降手段 12とを備えている。
水平移動手段 11は、 クリーンルーム内上方の天井空間に平行に配設された一対 の水平な固定ガイドレール 13と、 これら一対の水平な固定ガイドレール 13間に架 設された走行ガイドレール 14と、 該走行ガイドレール 14に沿って走行可能に配設 された走行体 15 (図 3参照） とからなっている。 したがって、 この水平移動手段 11は、 クリーンルーム内上方の天井空間で、 一対の固定ガイドレール 13間に挟ま れた X Y水平面内での走行体 15の任意の移動を可能にし、 これにより、 昇降手段 12および容器把持手段 10をある位置から中央の通路を挟んで反対側の他の位置に 直線的に移動させて、 容器把持手段 10がイン夕一フェイス装置 6 -1、 6 -2、 6 -3 • · 'の容器載置台の直上にあるようにすることができる。 なお、 一対の水平な 固定ガイドレール 13は、 処理装置群 4 -2と処理装置群 4 -3との上方に、 図示され ない複数の支柱により支持されて、 それそれ配設されている。
走行体 15の走行駆動機構は、 詳細には図示されないが、 走行体 15と一体のモー 夕が走行ガイドレール 14内に収容されていて、 その回転軸に固定されたローラが 走行ガイドレール 14の内壁面を転動することにより、 走行体 15が走行ガイドレ一 ル 14に沿って走行するようになっている。 昇降手段 12は、 その S¾部 （上端部） がこの走行体 15に固定的に連結されていて、 走行体 15に随伴して走行する。 この昇降手段 12は、 多関節ァ一厶からなり、 複数のアームが各節を中心に回動 することにより、 多関節アームが伸縮するようになっている。 そして、 この多関 節アームの最終段アームの先端に、 前記した容器把持手段 10が旋回可能に取り付 けられている。 この容器把持手段 10は、 2つの把持部を有し、 2つの容器を同時 に把持することができるとともに、 一方の把持部が容器を投入する間に、 他方の 把持部が容器を取り上げるように使用することができる。
本実施形態 1における容器搬送システムは、 以上に述べた搬送装置 7と、 移載 装置 9と、 複数の処理装置 5 -1、 5 -2、 5 -3 - · 'の各々が備えるイン夕一フエ イス装置 6 -1、 6 -2、 6 -3 - · ·とが所定の連係関係の下に集合されて構成され た容器 8の総合搬送システムである。 これらの装置要素は、 以上に説明したよう なそれそれの態様で、 容器 8の搬送に係わっている。
クリーンルーム内生産ライン 1において、 中央の直線状の工程間搬送路 3b上 には、 複数の中間 （工程間） ストッカー: 17が配設されている。 これらの中間スト ッカ一 17の各々は、 隣接する処理装置群、 例えば、 移載装置 9が設けられる 1組 の処理装置群 4 -2と処理装置群 4 -3との間の工程間搬送路 3 b上に配設されてお り、 この一組の処理装置群からなる処理エリア （通常、 この処理エリアで実行さ れる全処理を 1つの単位として、 「一つの処理工程」 と呼ばれている。 ） で処理 されたワークを収納した容器 8は、 移載装置 9もしくは図示されない作業用ロボ ットにより、 この中間ストッカー 17の所にまで運ばれ、 ここにストックされる。 そして、 次の処理エリアの空き等を見て、 工程間搬送路 3 a、 3 bを走行する図 示されない工程間搬送装置に渡されて、 この新しい処理エリアに搬送される。 移載装置 9が設けられる 1組の処理装置群を含む処理ェリァには、 前記のとお り、 搬送装置 7が設置されており、 この搬送装置 7は、 ストック機能を備え、 待 機場所として利用できるので、 中間 （工程間） ストッカー 17の収納容量をそれだ け小さく設計することができ、 また、 工程間搬送装置の負荷を平準化して、 安定 した搬送能力を確保することができる。 例えば、 1つ （1台） の搬送装置 7に 1 0個の容器 8を待機させることができ、 搬送装置 7が全部で 4 0台あるとすると 、 最大 4 0 0個は搬送装置 7側でストックさせることができることになり、 その 分、 中間 （工程間） ストッカー 17の収納容量を削減することができる。
次に、 前記のように構成されてなる本実施形態 1の容器搬送システムの作用を 、 図 2および図 3を参照しつつ、 詳細に説明する。 今、 処理装置群 4 -2に属する処理装置 5 -1のィン夕一フェイス装置 6 -1の容器 載置台上に載置された容器 8 (図 3において、 処理装置群 4 - 2側の最も右側にあ る容器 8 ) を、 処理装置群 4 - 3に属する処理装置 5 - uのイン夕一フェイス装置 6 - uの容器載置台 （図 3において、 処理装置群 4 - 3側の最も左側にある容器 8が載 置されている台） 上に移載する場合について説明する。
この場合、 先ず、 移載装置ュニット 9 aの走行ガイドレール 14が処理装置群 4 -2側の移載対象容器 8の直上まで図 3において右方向に移動し、 次いで、 その走 行体 15が、 把持手段 10が移載対象容器 8の直上の位置に来るまで図 3において下 方向に移動し、 次いで、 昇降手段 12が伸長 （下降） して、 その最下端に取り付け られた前記把持手段 10の一方の把持部が移載対象容器 8を把持する。
次いで、 昇降手段 12が縮小 （上昇） し、 走行体 15は、 移載対象容器 8を把持し た把持手段 10が搬送装置ュニット 7 aの直上の位置に来るまで移動して、 昇降手 段 12が再度伸長してから、 把持手段 10が、 把持した容器 8を搬送装置ユニット 7 a上に投入する。
次いで、 搬送装置ユニット 7 aが図 3において左方向に走行して、 今投入され た移載対象容器 8を、 処理装置群 4 -3に属する処理装置 5 -uのィン夕一フヱイス 装置 6 -Uの容器載置台の前まで運ぶ。 この間、 移載装置ユニット 9bも、 その把 持手段 10が搬送装置ュニット 7 a上の移載対象容器 8の到達予定位置の直上にあ るように、 その走行ガイドレール 14と走行体 15とが図 3において左方向、 上方向 にそれそれ移動している。
次いで、 移載装置ユニット 9 bの昇降手段 12が伸長して、 その最下端に取り付 けられた把持手段 10の空いた方の把持部が、 搬送装置ュニット 7 a上の移載対象 容器 8を把持する。 次いで、 移載装置ュニット 9 bの走行体 15は、 容器 8を把持 した把持手段 10がィン夕一フェイス装置 6 -Uの容器載置台の直上の位置に来るま で移動して、 昇降手段 12が再度伸長してから、 把持手段 10が、 把持した容器 8を その容器載置台上に投入する。このようにして、所与の容器移載作業が終了する。 このように、 処理装置群 4 - 2に属する処理装置 5 -1のィン夕一フェイス装置 6 - 1の容器載置台上に載置された容器 8を、 処理装置群 4 - 3に属する処理装置 5 - u のインターフェイス装置 6 -Uの容器載置台上に移載する場合、 その移載は、 移載 装置ユニット 9a、 搬送装置 7a、 移載装置ユニット 9bの協働により行なわれ るので、 移載装置ユニット 9a、 9bの移載距離が短縮され、 容器搬送システム のフットプリントが小さくなり、 スペースを節約することができるとともに、 容 器の搬送能力、 搬送処理能力を大きく向上させることができる。
特に移載装置ユニット 9a、 9bの各移載範囲は、 最大でも、 一対の固定ガイ ドレール 13の各長さの半分を走行ガイドレール 14が走行することによつて画定さ れる領域内に限られ、 搬送装置 7を備えない従来の容器搬送システムと比べると 、 半減されている。 また、 前記の例の場合のように、 特に移載距離が長くなつた 場合に、 容器 8の搬送能力、 搬送処理能力の向上が顕著である。 このような場合 、 その移載距離の全長にわたる容器 8の移載を 1つ （1台） の移載装置ユニット のみに頼るのでは、 構造強度上無理が生じ、 また、 時間がかかるものである。 以上のような本実施形態 1の容器搬送システムの作用は、 任意の処理装置群 4 -mに属する任意の処理装置 5 -t (t <u) のイン夕一フェイス装置 6- 1の容器載 置台上に載置された容器 8を、 搬送装置 7を挟んで向かい合う隣接する処理装置 群 4- m+1に属する任意の処理装置 5- s ( Ks≤ ) のインターフェイス装置 6 - sの容器載置台上に移載する場合についても、 基本的に変わらないので、 詳細な 説明を省略する。
なお、 以上の実施形態 1において、 複数の処理装置 5-1、 5-2、 5-3· · 'は 、 搬送装置 7が設置される通路の両側にそれそれ配列されて、 この通路に面する 側にイン夕一フェイス装置 6-1、 6-2、 6-3· · 'をそれそれ備えるようにされ た （例えば、 処理装置群 4- 2、 処理装置群 4- 3に属するこれらの処理装置 5-1、 5-2、 5-3 - ■ ·参照） が、 これに限定されず、 同通路の片側にのみ配列されて 、 この通路に面する側にイン夕一フェイス装置 6-1、 6-2、 6-3 · · 'をそれそ れ備えるようにされてもよい。 この場合、 移載装置 9は、 このようにして通路の 片側にのみ配列された複数の処理装置 5-1、 5- 2、 5-3· · 'と、 該通路に設置 される搬送装置 7とにまたがるようにして設けられることができる。
本実施形態 1の容器搬送システムは、 前記のように構成されているので、 次の ような効果を奏することができる。
容器搬送システムが、 搬送装置 7と移載装置 9とを備え、 搬送装置 7は、 複数 の処理装置 5-1、 5-2、 5-3 - · ·に沿って所定の位置まで容器を搬送し、 移載 装置 9は、 搬送装置 7および複数の処理装置 5-1、 5-2、 5-3 - · 'が配置され るエリアを覆うクリ一ンルーム内上方の天井空間を 3次元的に自由に移動して、 その動作ェリァ内の容器 8を自在に移載し、 搬送装置 7と複数の処理装置 5-1、 5-2、 5-3 · · 'との間または複数の処理装置 5-1、 5-2、 5-3· · 'の間で容 器 8の受渡しを行なうことができる。
このように、 容器搬送システムが、 複数の処理装置 5-1、 5-2、 5-3· · 'に 沿った容器 8の搬送を担当する搬送装置 7と、 クリーンルーム内上方の天井空間 を 3次元的に自由に移動して、 容器 8の受渡しを行なうのを担当する移載装置 9 とを備えて、 それそれの機能を分離しているので、 以下に述べるような種々の効 果を奏することができる。
先ず、 従来、 移載装置による搬送に委ねられていた部分の一部を搬送装置 7に 肩代わりさせることができ、 また、 両搬送手段 （搬送装置 7と移載装置 9) の協 働により、 容器 8を自在に搬送'移載することができるので、 全体としてみた場 合に、 容器 8の搬送能力を大きく向上させることができる。
また、 移載装置 9が移載動作中でも、 搬送装置 7により所定の位置まで容器 8 を搬送させることができ、 容器 8の移載時間と容器 8の搬送時間とをォ一バーラ ヅプさせることができるので、 容器 8の搬送処理能力を大きく向上させることが できる。
また、 搬送装置 7上に複数の容器 8が載置可能になり、 搬送装置 7上の複数 ( U) の場所にある複数の容器 8を複数 （U) の処理装置 5-1、 5-2、 5-2· · · に受け渡すことができるので、 複数の処理装置 5-1、 5-2、 5-3 - · 'への容器 搬送の自由度を 1対 Uの関係から U対 Uの関係へと向上させることができる。 さらに、 搬送装置 7と移載装置 9とが上下に配置されており、 これらの協働に より、 容器 8の搬送 '移載が行なわれるので、 搬送手段 （容器搬送システム） の フットプリントを大きくすることなしに容器の搬送処理能力を向上させることが でき、 また、 クリーンルーム内のスペースを有効に活用して、 クリーンルームの 設備コスト、 維持コストを低減することができる。
また、 搬送装置 7上に複数の容器 8が載置可能になり、 搬送装置 7上に複数の 容器 8をストックすることができるので、 容器搬送システムのストック機能、 待 機機能が拡充されて、 工程間に配置される中間ストッカー 16a、 16bの収納容量 を小さくすることができる。
また、 搬送装置 7上に複数の容器 8が載置可能になり、 移載装置 9がこれらの 容器 8のうちの任意の容器 8を把持して、 これを所定の処理装置 5 - r ( r≤u) に受け渡すことができるので、 搬送装置 7上にある複数の容器 8を受渡しの対象 とすることができ、 搬送装置 7にソート機能を持たせることができる。
搬送装置 7は、 また、 複数の搬送路を有し、 それそれの搬送路を独立して走行 することができる搬送装置ユニット 7 a、 7 bが設けられているので、 容器搬送 システムの搬送能力を容易に増大させることができる。 また、 それそれの搬送装 置ュニヅト 7 a、 7 に独立した駆動機構を持たせることにより、 必要に応じて 独立して動かしたり、 止めたり、 逆転させたりすることができ、 必要に応じて搬 送路を長くしたり、 変更したりすることも容易に行なえる。 したがって、 搬送装 置ユニット 7 a、 7 bを、 それそれが独立した装置としてユニット化することが でき、 搬送装置 Ίの機能性を格段に向上させることができる。
また、 それらの搬送装置ユニット 7 a、 7 bが走行する搬送路は、 上下に配列 されているので、 クリーンルーム内のスペースを有効に活用して複数の搬送装置 ユニット 7 a、 7bを設置することができ、 クリーンルームの設備コスト、 維持 コストをさらに低減することができる。
さらに、 搬送装置ュニット 7 a、 7 b がコンペァから構成される場合には、 汎 用の手段を使用して、 搬送装置 7をきわめて容易に構成することができる。 さらに、 また、 移載装置 9は、 少なくとも 2つの移載装置ユニット 9 a、 9 b から構成されているので、 容器搬送システムのフットプリントを大きくすること なしに容器 8の搬送能力と搬送処理能力とをさらに大きく向上させることができ る。
以上のように、 本実施形態 1の容器搬送システムは、 種々の効果を奏すること ができる。 次に、 本願の発明の他の実施形態 （実施形態 2 ) である容器搬送システムにつ いて説明する。
本実施形態 2の容器搬送システムにおいては、 図 5に図示されるように、 その 搬送装置 Ίが、 床面 2から自立した基台 18の上部に左右に配列された 2つの搬送 路を有していて、 それそれの搬送路を走行する左部搬送装置ユニット 7 a、 右部 搬送装置ュニヅト 7 b が設けられている。
本実施形態 2は、 この点が実施形態 1と異なっているのみで、 その他の点にお いて異なるところはないので、 詳細な説明を省略する。
本実施形態 2の容器搬送システムは、 前記のように構成されており、 実施形態 1においては搬送装置ュニヅト 7 aの下部に潜っていた搬送装置ュニット 7 bが 、 その全長にわたって外部に現れるようにされているので、 移載装置 9による搬 送装置 7上への容器 8の投入、 取出しが容易になり、 容器 8のストック、 容器 8 のソートがより容易に行なえる。
また、 移載装置 9の移載距離も、 右部搬送装置ユニット 7 bの搬送部のどこの 位置においてでも容器 8の投入、 取出しができるようになることにより、 また、 右部搬送装置ュニット 7 bをより高い位置に配置することができるようになるこ とにより、 短くなるので、 それだけ移載時間が短縮されて、 容器の搬送処理能力 をさらに向上させることができる。 以上の実施形態 1、 2において、 移載装置 9は、 最大、 通路の両側に配列され た 2つの処理装置群 （処理装置群 4 - mと処理装置群 4 - m+l。 これらは、 いずれも 、 複数の処理装置 5 -1、 5 - 2、 5 -3 - · 'からなる。 ） と、 これら 2つの処理装 置群に面するように該通路に設置された搬送装置 7とにまたがるようにして設け られたが、 これに限定されず、 さらに多くの処理装置群と搬送装置 7とにまたが るように拡張されて設けられてもよい。
また、 以上の実施形態 1、 2においては、 通路の両側に配列される 2つの処理 装置群 （処理装置群 4 - 2と処理装置群 4 - 3) は、 いずれも、 同数の処理装置 5 -1 、 5 -2、 5 -3 - · · 5 -uからなるものとされたが、 これは、 複数の処理装置群 4 - 1、 4 -2、 4 -3 - ■ · 4 - nの各々が常に同数の処理装置からなるものであること を意味しない。 通路の両側に配列された 2つの処理装置群の各々が異なる数の処 理装置からなる場合であっても、 移載装置 9は、 以上に説明したのと略同様に作 用することができる。 次に、 本願の発明のさらに他の実施形態 （実施形態 3) である容器搬送システ ムについて説明する。
本実施形態 3において、 クリーンル一ム内生産ラインの 1エリアには、 図 6お よび図 7に図示されるように、 中央の通路 23の両側に、 処理装置群 4-2と処理装 置群 4- 3とがそれそれ配列され、 また、 通路 23の上方の天上空間に、 通路 23に沿 つて搬送装置 7が設けられ、 搬送装置 7の左右両側に、 移載装置 20がそれそれ設 けられている。 これら 2つの移載装置 20は、 クリーンルーム内上方の天井空間を 、 搬送装置 7に つた鉛直面 （二次元移動空間） 内で、 自由に移動することがで ぎる。
処理装置群 4-2、 4- 3は、 それそれ複数の処理装置 5-1、 5-2、 5-3 - · 'か らなり、 これら複数の処理装置 5-1、 5-2、 5-3 · · 'は、 通路 23に沿って 1列 に並べられて整列配置されており、 通路 23に面する側に、 イン夕一フェイス装置 6-1、 6-2、 6-3 · · 'をそれそれ備えている。
搬送装置 7は、 2つの搬送路を有していて、 これら 2つの搬送路は、 処理装置 群 4- 2、 4-3にそれそれ略並行して、 左右に並行に配列されている。 そして、 そ れそれの搬送路を走行する左部搬送装置ュニット 7a、 右部搬送装置ュニット Ί bが設けられている。 左部搬送装置ュニット 7aは往路をなし、 右部搬送装置ュ ニット 7bは復路をなしていて、 これらの往路と復路とは、 それらの両端部で移 替え機構 24によってつながれている。
したがって、 搬送装置 7上を搬送される容器 8は、 左部搬送装置ユニット 7a 上を図 6矢印のように右方向に流れ、 移替え機構 24によって向きを反転させられ て、 右部搬送装置ュニット 7b上に移し替えられ、 該右部準送装置ュニット 7b 上を図 6矢印のように左方向に流れる。 このようにして、 容器 8は、 搬送装置 7 の搬入口から搬出口まで一定方向に流される。 なお、 右部搬送装置ユニット 7b の終端部 （図 6において左端部） において、 移替え機構 24により容器 8の向きを 反転させて、 左部搬送装置ュニット 7a上に移し替え、 左部搬送装置ュニット 7 a上を再度流れるように構成されてもよい。 搬送装置ユニット 7a、 7bには、 コンベアが使用されるが、 これに限定されない。
左部搬送装置ュニット 7a、 右部搬送装置ュニット 7bには、 その搬送方向に 適宜間隔を置いて、 外方に張り出すようにして複数の分岐搬送路 22が設けられて いる。 これらの複数の分岐搬送路 22は、 各搬送装置ユニット 7a、 7bにより搬 送されてきた容器 8の 1つを受けて待機させることができる。 搬送装置 7上を流 れる容器 8は、 全てコンピュータにより、 どの容器 8が搬送装置 7のどこを流れ ているかを管理されている。 したがって、 容器 8が任意の処理装置 5- 1もしくは 5-s (後述） に向かう場合、 その処理装置に最も近い分岐搬送路 22に容器 8が移 動するように、 搬送装置 7が制御されている。 なお、 分岐搬送路 22には、 複数の 容器 8を待機させるようにすることも可能である。
分岐搬送路 22が各搬送装置ュニット 7a、 7bから容器 8を受けるときには、 容器 8は、 その向きを 90度回転させられる。 そして、 そこに待機する後述する 移載装置 20の把持部 10により受け取られて、 処理装置群 4- 2に属する処理装置 5 - 1 ( 1≤ t≤ U) のインターフェイス装置 6 - 1もしくは処理装置群 4- 3に属する 処理装置 5-s (l≤s≤u) のイン夕一フヱイス装置 6-sの容器載置台上に移載 される。 インターフェイス装置 6-1、 6-2、 6-3 - · ·は、 いずれも容器載置台 を 2台備えている。
2つの移載装置 20は、 クリーンルーム内上方の天井空間を、 搬送装置ユニット 7aに沿った鉛直面内および搬送装置ュニット 7bに沿った鉛直面内で、 それそ れ自由に移動することができるようにして設けられている。 通路 23を挟んで左右 各側に整列させられているインタ一フェイス装置 6-1、 6-2、 6-3· · 'の容器 載置台は、 このような移載装置 20の移動軌跡の略直下にある。
各移載装置 20は、 走行範囲を異にする 2つの移載装置ユニット 20a、 20bから なっている。 これら 2つの移載装置ユニット 20a、 20bの各々は、 クリーンル一 ム内上方の天井部に水平に敷設されたガイドレール 21に沿って、 その略半分長を 走行範囲として走行して、 前記のとおり、 分岐搬送路 22上に受けられた容器 8を 処理装置群 4 -3に属する所定の処理装置 5- sのインターフェイス装置 6 -sの容器 載置台上へ、 また、 処理装置群 4- 2に属する所定の処理装置 5- 1のインターフエ イス装置 6 -tの容器載置台上へ、 それそれ移載する。
移載装置 20は、 ガイドレール 21上を摺動する走行体と、 該走行体に取り付けら れた昇降手段 12と、 昇降手段 12の下端に回転可能に取り付けられて、 容器 8を把 持する把持部 10とを備えている。 この把持部 10は、 倒立 U字状の把持指を有し、 該把持指により容器 8を把持して、 任意の方向に向けることができる。 そして、 移載装置 20が分岐搬送路 22上に移載された容器 8を受けるときには、 この把持部 10の倒立 U字状の把持指が、 U字で囲まれる内部の空間を容器 8に向けて待機す る。 昇降手段 12は、 3本の回動アームからなる伸縮アーム機構により構成されて いる。
移載装置 20の把持部 10に容器 8を把持させる方法としては、 その外に種々の方 法が考えられる。 例えば、 容器 8を搬送装置ユニット 7 a、 7 bから分岐搬送路 22上に移載するに際して、 容器 8をそのままの姿勢で分岐搬送路 22上に移載し、 次いで、 移載装置 20の把持部 10をその走行方向に進めて、 所定の回転位置 （把持 部 10の倒立 U字状の把持指が容器 8を把持することができる回転位置） に位置決 めされた把持部 10の倒立 U字状の把持指に容器 8を把持させるようにすることが できる。 また、 例えば、 昇降手段 12を折り畳んだ状態にある移載装置 20と各搬送 装置ュニット 7 a、 7 bとの間に十分な上下方向の間隔が確保される場合には、 姿勢不変のまま分岐搬送路 22上に移載された容器 8を、 容器 8の上方から移載装 置 20の把持部 10に把持させるようにすることができる。 これらのいずれの場合に あっても、 搬送装置ユニット 7 a、 7 bは、 容器 8の向きをロードポート （イン 夕一フェイス装置） の向きに合わせるための方向転換機構を備える必要がない。 前記のような搬送装置 7、 移載装置 20、 分岐搬送路 22、 移替え機構 24等により 、 本実施形態 3の容器搬送システムが構成されている。 なお、 分岐搬送路 22は、 常に必ず使用されなければならないといったものではなく、 これを使用しなくて も、搬送装置 7を間歇駆動することにより、搬送装置 7から複数の処理装置 5 -1、 5 -2、 5 -3 - . 'へ、 移載装置 20による容器 8の直接搬送が可能である。
本実施形態 3の容器搬送システムは、 前記のように構成されているので、 次の ような効果を奏することができる。
容器搬送システムが、 クリーンルーム内上方の天井空間に搬送装置 7と移載装 置 20とを備え、 搬送装置 7は、 通路 23の両側にそれぞれ配列された複数の処理装 置 5 -1、 5 -2、 5 -3 - · ·に沿って所定の位置 （所定の分岐搬送路 22がある位置 または所定の処理装置がある位置の上方位置） まで容器 8を搬送し、 移載装置 20 は、 複数の処理装置 5 -1、 5 -2、 5 -3 - · 'が配置されるエリアを覆うクリーン ルーム内上方の天井空間を搬送装置 7に沿った鉛直面内で移動して、 その'動作ェ リア内の容器 8を分岐搬送路 22を介して、 もしくは介さないで、 自在に移載し、 搬送装置 7と複数の処理装置 5 -1、 5 -2、 5 -3 - · ·との間または複数の処理装 置 5 -1、 5 -2、 5 -3 - · 'の間で容器 8の受渡しを行なうことができる。
このように、 クリーンルーム内上方の天井空間を複数の処理装置 5 -1、 5 -2、 5 -3 - · 'に沿って移動して容器 8の搬送を担当する搬送装置 7と、 クリーンル —ム内上方の天井空間を搬送装置 7に沿って移動して容器 8の受渡しを担当する 移載装置 20とを備えていて、 それそれの機能を分離しているので、 以下に述べる ような種々の効果を奏することができる。
先ず、 従来、 移載装置 20に委ねられていた搬送の一部を搬送装置 7に肩代わり させることができ、 また、 両搬送手段 （搬送装置 7と移載装置 20) の協働により 、 容器 8を両搬送手段の搬送 ·移載方向に沿った複数の処理装置 5 -1、 5 -2、 5 - 3 · · ·に分岐搬送路 22を介して、 もしくは介さないで、 自在に搬送 ·移載する ことができるので、 全体としてみた場合に、 容器 8の搬送能力を大きく向上させ ることができる。
また、 移載装置 20が移載動作中でも、 搬送装置 7により容器 8を搬送すること ができ、 容器 8の搬送時間と容器 8の移載時間とをオーバーラップさせることが できるので、 容器 8の搬送処理能力を大きく向上させることができる。
また、 搬送装置 7上に複数の容器 8が載置可能になり、 搬送装置 7上の複数 ( U ) の場所にある複数の容器 8を複数 （U ) の処理装置に受け渡すことができる ので、 複数の処理装置 5 -1、 5 -2、 5 -3 - · 'への容器搬送の自由度を 1対 Uの 関係から U対 Uの関係へと向上させることができる。
さらに、 搬送装置 7と移載装置 20とがクリーンルーム内上方の天井空間で隣接 して並行に配置されており、 これらの協働により、 容器 8の搬送 ·移載が行なわ れるので、 容器搬送システムのフヅトプリントを大きくすることなしに容器 8の 搬送処理能力を向上させることができ、 また、 搬送装置 7下方の空間を作業者用 通路 23として利用しつつ、 クリーンルーム内のスペースを有効に活用して、 クリ ーンルームのスペースを大きく節約することができ、 クリーンルームの設備コス ト、 維持コストを低減することができる。
また、 搬送装置 7上に複数の容器 8が載置可能になり、 搬送装置 7上に複数の 容器 8をストックすることができるので、 容器搬送システムのストック機能、 待 機機能が拡充されて、 工程間に配置される中間ストッカーの収納容量を小さくす ることができる。
また、 搬送装置 7上に複数の容器 8が載置可能になり、 移載装置 20がこれらの 容器 8のうちの任意の容器 8を把持して、 これを所定の処理装置に受け渡すこと ができるので、 搬送装置 7上にある複数の容器 8を受渡しの対象とすることがで き、 搬送装置 7にソート機能を持たせることができる。
さらに、 分岐搬送路 22により受けられた容器 8は、 移載装置 20が該容器 8を所 定の処理装置 5 - s、 5 - 1のイン夕一フェイス装置 6 - s、 6 -tまで運んでくれるま での間、 該分岐搬送路 22上で停止した状態で待機することが.できるので、 移載装 置 20への乗換えのために搬送装置 Ί上で待機する必要がなく、 搬送装置 7による 他の容器 8の進行の妨げとなることがない。 これにより、 全体として見た場合に 、 容器 8の搬送処理能力をさらに向上させることができる。
複数の処理装置 5 -1、 5 -2、 5 -3 - · ，は、 また、 通路 23の両側にそれそれ配 列されており、 搬送装置 7は、 往路と復路の 2つの搬送路をそれそれ走行する 2 つの搬送装置ユニット 7 a、 7 bを備え、 移載装置 20は、 搬送装置 7の左右両側 にそれそれ設けられているので、 中央部に作業者用通路 23を確保しつつ、 上方の 天井空間に両搬送手段 （搬送装置 7と移載装置 20) を左右対称に集中的に配置し て、 通路 23各側の複数の処理装置 5 -1、 5 -2、 5 -3 - ■ ·への容器 8の搬送を左 右各側の両搬送手段 （搬送装置 7と移載装置 20) により担わせることができ、 ス ペースを有効に活用して、 容器 8の搬送処理能力をさらに大きく向上させること ができる。
また、 搬送装置 7は、 往路と復路の 2つの搬送路をそれそれ走行する 2つの搬 送装置ユニット 7 a、 7 bを備えているので、 搬送装置 7上にさらに多くの複数 の容器 8の載置が可能になり、 容器搬送システムのストック機能、 待機機能、 ソ —ト機能をさらに拡充することができる。
さらに、 また、 2つの搬送路は、 左右に並行に配列されているので、 往路と復 路の 2つの搬送路をそれぞれ走行する 2つの搬送装置ユニット 7 a、 7 b をつな ぐ乗り移り機構 23等を含む搬送装置 7の構造を簡単化することができる。
以上のように、 本実施形態 3の容器搬送システムは、 種々の効果を奏すること ができる。 次に、 本願の発明のさらに他の実施形態 （実施形態 4 ) である容器搬送システ ムについて説明する。
本実施形態 4においては、 搬送装置 7が備える 2つの搬送装置ュニヅ ト 7 a、 7 bが走行する 2つの搬送路が、 上下に並行に配列されている。 そして、 複数の 分岐搬送路 22が、 上部搬送装置ュニット 7 aからも、 下部搬送装置ュニット 7 b からも、 それらの搬送方向に適宜間隔を置いて、 上下に重ならないようにして、 分岐されて設けられている。複数の分岐搬送路 22が上下に重ならないようにして 設けられているので、 移載装置 20は、 いずれの搬送装置ユニットからも、 容器 8 を取り出すことができる。
2つの搬送路が上下に並行に配列される結果、 通路 23は、 搬送装置ユニットの 1つ分だけ幅が狭くされている。
上部搬送装置ュニット 7 aと下部搬送装置ュニット 7 bとをつなぐ乗り移り機 構 24は、 両搬送装置ユニット 7 a、 7 bの一方端側 （図.9において右方端側） に 設けられており、 上部搬送装置ュニット 7 a上を図 6矢印のように流れてきた容 器 8を載置して、 その向きを反転させつつ下降して、 容器 8を下部搬送装置ュニ ヅト 7 bに移し替える。 両搬送装置ュニヅト 7 a、 7 bの他方端側 （図 9におい て左方端側） には、 他エリアとの間の容器 8のやりとりのために、 容器載置台 25 が備えられている。
移載装置 20は、 少なくとも 2つの移載装置ユニット 20a、 20bからなり、 各移 載装置ユニット 20a、 20b は、 それそれの走行範囲を概ね異にしていて、 一部共 通にする部分において、 一方の移載装置ュニットから他方の移載装置ュニッ卜に 容器 8の受渡しを可能にするために、 複数の受渡しテーブル 26が、 分岐搬送路 22 とは別個に、 通路 23の長さ方向略中央部にある隣接するィン夕ーフヱイス装置間 の所定高さ位置に設けられている。
本実施形態 4は、 以上の点で実施形態 3と異なっているが、 その他の点におい て異なるところはないので、 詳細な説明を省略する。
本実施形態 4の容器搬送システムは、 前記のように構成されているので、 次の ような効果を奏することができる。
2つの搬送路が上下に並行に配列されているので、 往路と復路の 2つの搬送路 をそれそれ走行する 2つの搬送装置ュニット 7a、 7bは、 上下に配置されて立 体的に組み立てられることになり、 通路 23の両側にそれそれ配列された複数の処 理装置 5-1、 5-2、 5-3 - · '間のスペースが狭くなり、 作業者用通路 23はやや 狭くなるものの、 全体としてスペースを最小限に節約して、 クリーンルームの設 備コスト、 維持コストをさらに低減することができる。 以上の実施形態 3、 4において、 通路 23の両側に複数の処理装置 5-1、 5-2、 5-3 · · 'が配列され、 これに合わせて、 移載装置 20は、 各側の複数の処理装置 5-1、 5-2、 5-3 - · 'の上方の天井空間であって、 搬送装置 7 (搬送装置ュニ ヅト 7a、 7b ) の左右両側にそれそれ設けられたが、 これに限定されず、 通路 23の片側にのみ複数の処理装置 5-1、 5-2、 5-3 - · 'が配列されるようにし、 これに合わせて、 移載装置 20も、 この複数の処理装置 5-1、 5-2、 5-3 - · ·の 上方の天井空間であって、 搬送装置 7 (搬送装置ユニット 7a、 7b ) の片側に のみ設けられるようにしてもよい。
また、 以上の実施形態 3、 4において、 左部搬送装置ユニット 7a、 右部搬送 装置ユニット 7bには、 その搬送方向に適宜間隔を置いて、 外方に張り出すよう にして複数の分岐搬送路 22が設けられたが、 これに限定されず、 分岐搬送路 22は 、 必ずしも設けられなくてもよい。
なお、 本願の発明は、 以上の実施形態 1〜4に限定されることなく、 その要旨 を逸脱しない範囲内において、 種々の変更が可能である。

Claims

請求の範囲
1 . クリーンルーム内で、 ウェハゃレチクル等の 反を収納した容器を搬送する 容器搬送システムであって、
複数の処理装置に略並行に配置されて、 前記容器を搬送する搬送装置と、 前記クリ一ンルーム内上方の天井空間を自由に移動することができる移載装置 とを備え、
複数の前記処理装置は、 通路の少なくとも片側に配列されて、 前記通路に面す る側にィンターフェイス装置をそれそれ備え、
前記イン夕一フェイス装置は、 前記容器を一時受けて、 前記基板を前記容器の 内部から前記処理装置の内部に、 また、 その逆に、 密閉された雰囲気下で移動さ せることができるようにされており、
前記移載装置が、 前記搬送装置と複数の前記処理装置との間または複数の前記 処理装置の間で前記容器の受渡しを行なうようにされている
ことを特徴とする容器搬送システム。
2 . 前記搬送装置は、 複数の搬送路を有し、 それそれの搬送路を独立して走行す ることができる搬送装置ュニヅ卜が設けられていることを特徴とする請求項 1に 記載の容器搬送システム。
3 . 複数の前記搬送路は、 上下に並行に配列されていることを特徴とする請求項 2に記載の容器搬送システム。
4 . 複数の前記搬送路は、 左右に並行に配列されていることを特徴とする請求項 2に記載の容器搬送システム。
5 . 前記搬送装置ユニットは、 コンベアからなることを特徴とする請求項 2ない し請求項 4のいずれかに記載の容器搬送システム。
6 . 前記移載装置は、 少なくとも 2つの移載装置ユニットからなることを特徴と する請求項 1ないし請求項 5のいずれかに記載の容器搬送システム。
7 . クリーンルーム内で、 ウェハゃレチクル等の基板を収納した容器を搬送する 容器搬送システムであって、
前記クリーンルーム内上方の天井空間に、 複数の処理装置に略並行に配置され て、 前記容器を搬送する搬送装置と、
前記クリーンルーム内上方の天井空間を、 前記搬送装置に沿った鉛直面内で、 自由に移動することができる移載装置とを備え、
複数の前記処理装置は、 通路の少なくとも片側に配列されて、 前記通路に面す る側にインターフェイス装置をそれそれ備え、
前記インターフェイス装置は、 前記容器を一時受けて、 前記基板を前記容器の 内部から前記処理装置の内部に、 また、 その逆に、 密閉された雰囲気下で移動さ せることができるようにされており、
前記移載装置が、 前記搬送装置と複数の前記処理装置との間または複数の前記 処理装置の間で前記容器の受渡しを行なうようにされている
ことを特徴とする容器搬送システム。
8 .前記搬送装置の搬送方向に適宜間隔を置いて、複数の分岐搬送路が設けられ、 複数の前記分岐搬送路は、 前記搬送装置により搬送されてきた前記容器を受け て待機させることができるようにされており、
前記移載装置が、 複数の前記分岐搬送路上に待機させられている前記容器を把 持して、 複数の前記処理装置のうちの任意の処理装置に受け渡すことができるよ うにされている
ことを特徴とする請求項 7に記載の容器搬送システム。
9 . 複数の前記処理装置は、 前記通路の両側に配列されており、
前記搬送装置は、 往路と復路の 2つの搬送路をそれそれ走行する 2つの搬送装 置ュニットを備え、
前記移載装置は、 前記搬送装置の左右両側にそれそれ設けられている ことを特徴とする請求項 7または請求項 8に記載の容器搬送システム。
1 0 . 2つの前記搬送路は、 左右に並行に配列されていることを特徴とする請求 項 9に記載の容器搬送システム。
1 1 . 2つの前記搬送路は、 上下に並行に配列されていることを特徴とする請求 項 9に記載の容器搬送システム。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006066893A (ja) * 2004-07-14 2006-03-09 Applied Materials Inc 基板キャリアを支持する場所を変更するための方法および装置
JP2006135030A (ja) * 2004-11-04 2006-05-25 Toyo Kanetsu Solutions Kk 基板搬送設備及び天井搬送装置
FR2887759A1 (fr) * 2005-07-04 2007-01-05 Uthemann Cyril De Procede de tri et de rangement d'instruments tels que des instruments chirurgicaux, et installation pour la mise en oeuvre de ce procede
US20140341679A1 (en) * 2004-08-23 2014-11-20 Brooks Automation, Inc. Elevator-based tool loading and buffering system
US9224628B2 (en) 2005-11-07 2015-12-29 Brooks Automation. Inc. Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system
CN109928198A (zh) * 2018-05-04 2019-06-25 上海翼人机器人有限公司 一种放射性粉末多功能自动上下料单元
US10515834B2 (en) * 2015-10-12 2019-12-24 Lam Research Corporation Multi-station tool with wafer transfer microclimate systems
JP2020167420A (ja) * 2005-11-07 2020-10-08 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド 半導体被加工物処理システム

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100999104B1 (ko) * 2003-10-01 2010-12-07 삼성전자주식회사 기판의 반송장치
TWI278416B (en) * 2004-12-09 2007-04-11 Au Optronics Corp Cassette stocker
WO2007026433A1 (ja) * 2005-08-31 2007-03-08 Hirata Corporation ワークハンドリング装置
US7637708B2 (en) * 2006-01-09 2009-12-29 Sumco Corporation Production system for wafer
JP2007305862A (ja) * 2006-05-12 2007-11-22 Tokyo Seimitsu Co Ltd カセット搬送方法およびカセット搬送装置
TW201422501A (zh) * 2012-12-04 2014-06-16 Tian-Sing Huang 晶圓承載裝置及其應用
US9921493B2 (en) * 2013-11-14 2018-03-20 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Photolithography system, method for transporting photo-mask and unit therein
CN109772713A (zh) * 2017-11-10 2019-05-21 北京京东尚科信息技术有限公司 物品拣选方法及系统
JP6955984B2 (ja) * 2017-12-05 2021-10-27 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置、基板処理装置の設置方法及びコンピュータ記憶媒体
US11830750B2 (en) * 2021-08-11 2023-11-28 Changxin Memory Technologies, Inc. Storage apparatus, transporting device and transporting method for front opening unified pod

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03154751A (ja) * 1989-11-08 1991-07-02 Hitachi Ltd 多品種搬送方法及び装置
EP0854499A2 (en) * 1997-01-21 1998-07-22 Tokyo Electron Limited Substrate transporting and processing system
JP2000053238A (ja) * 1998-08-05 2000-02-22 Toshiba Corp 基板搬送システム、基板搬送制御装置、基板搬送制御方法および基板搬送制御プログラムを記録した機械読み取り可能な記録媒体
WO2000037338A1 (en) * 1998-12-18 2000-06-29 Asyst Technologies, Inc. Integrated intra-bay transfer, storage and delivery system

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2697003B1 (fr) * 1992-10-16 1994-11-18 Commissariat Energie Atomique Système de manipulation et de confinement d'objets plats dans des boîtes individuelles.
JPH0616206A (ja) * 1992-07-03 1994-01-25 Shinko Electric Co Ltd クリーンルーム内搬送システム
IL113694A0 (en) * 1994-06-10 1995-08-31 Johnson & Johnson Vision Prod Apparatus for removing and transporting articles from molds
US5980183A (en) * 1997-04-14 1999-11-09 Asyst Technologies, Inc. Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system
US6280134B1 (en) * 1997-06-17 2001-08-28 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for automated cassette handling
DE19900804C2 (de) * 1999-01-12 2000-10-19 Siemens Ag Fördersystem
DE19913886A1 (de) * 1999-03-26 2000-09-28 Siemens Ag Anlage zur Fertigung von Halbleiterprodukten
DE19921246C2 (de) * 1999-05-07 2003-06-12 Infineon Technologies Ag Anlage zur Fertigung von Halbleiterprodukten
US6321138B1 (en) * 2000-09-15 2001-11-20 Woodson Incorporated Storage and retrieval system with automated order make up
EP1202325A1 (en) * 2000-10-25 2002-05-02 Semiconductor300 GmbH &amp; Co KG Arrangement for transporting a semiconductor wafer carrier
JP2003142547A (ja) * 2001-08-24 2003-05-16 Hirata Corp ワーク搬送装置
JP2003188229A (ja) * 2001-12-18 2003-07-04 Hitachi Kasado Eng Co Ltd ウエハ製造システムおよびウエハ製造方法
US6726429B2 (en) * 2002-02-19 2004-04-27 Vertical Solutions, Inc. Local store for a wafer processing station
US6990721B2 (en) * 2003-03-21 2006-01-31 Brooks Automation, Inc. Growth model automated material handling system

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03154751A (ja) * 1989-11-08 1991-07-02 Hitachi Ltd 多品種搬送方法及び装置
EP0854499A2 (en) * 1997-01-21 1998-07-22 Tokyo Electron Limited Substrate transporting and processing system
JP2000053238A (ja) * 1998-08-05 2000-02-22 Toshiba Corp 基板搬送システム、基板搬送制御装置、基板搬送制御方法および基板搬送制御プログラムを記録した機械読み取り可能な記録媒体
WO2000037338A1 (en) * 1998-12-18 2000-06-29 Asyst Technologies, Inc. Integrated intra-bay transfer, storage and delivery system

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4650831B2 (ja) * 2004-07-14 2011-03-16 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 基板キャリアを支持する場所を変更するための方法および装置
US7914248B2 (en) 2004-07-14 2011-03-29 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for repositioning support for a substrate carrier
JP2006066893A (ja) * 2004-07-14 2006-03-09 Applied Materials Inc 基板キャリアを支持する場所を変更するための方法および装置
US9368382B2 (en) * 2004-08-23 2016-06-14 Brooks Automation, Inc. Elevator-based tool loading and buffering system
US20140341679A1 (en) * 2004-08-23 2014-11-20 Brooks Automation, Inc. Elevator-based tool loading and buffering system
JP2006135030A (ja) * 2004-11-04 2006-05-25 Toyo Kanetsu Solutions Kk 基板搬送設備及び天井搬送装置
FR2887759A1 (fr) * 2005-07-04 2007-01-05 Uthemann Cyril De Procede de tri et de rangement d'instruments tels que des instruments chirurgicaux, et installation pour la mise en oeuvre de ce procede
EP1741401A2 (fr) * 2005-07-04 2007-01-10 De Uthemann, Cyril Procédé de tri et de rangement d'instruments tels que des instruments chirurgicaux, et installation pour la mise en oeuvre de ce procédé
EP1741401A3 (fr) * 2005-07-04 2007-02-21 De Uthemann, Cyril Procédé de tri et de rangement d'instruments tels que des instruments chirurgicaux, et installation pour la mise en oeuvre de ce procédé
US9224628B2 (en) 2005-11-07 2015-12-29 Brooks Automation. Inc. Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system
US10679882B2 (en) 2005-11-07 2020-06-09 Brooks Automation, Inc Reduced capacity carrier, transport, load port, buffer system
JP2020167420A (ja) * 2005-11-07 2020-10-08 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド 半導体被加工物処理システム
JP7405699B2 (ja) 2005-11-07 2023-12-26 ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシー 半導体被加工物処理システム
US10515834B2 (en) * 2015-10-12 2019-12-24 Lam Research Corporation Multi-station tool with wafer transfer microclimate systems
CN109928198A (zh) * 2018-05-04 2019-06-25 上海翼人机器人有限公司 一种放射性粉末多功能自动上下料单元
CN109928198B (zh) * 2018-05-04 2020-09-01 上海翼人机器人有限公司 一种放射性粉末多功能自动上下料单元

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