JP2006206218A - ガラス基板等の搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】エクスチェンジャと製造ライン間の枚葉搬送を、ガラス基板の受け渡しと受け取りを同時に行なうことができ、タクトタイムのロスがなく、製造ラインのサイクルタイムに応じて搬送形態を設定し得る搬送システムを提供すること。
【解決手段】ガラス基板等のワークを多段収容したカセットの貯留部と複数台並設したエクスチェンジャの間を搬送手段によりカセット単位で搬送し、エクスチェンジャと製造ライン間は前記ワークを枚葉搬送するガラス基板等の搬送システムにおいて、エクスチェンジャ内を上下昇降するカセットに対してコンベヤを配置し、製造ライン側にワークを受け渡す専用コンベヤと製造ライン側から排出されるワークを受け取る専用コンベヤを上下二段に区画し、且つ前記エクスチェンジャの並設方向に沿って複数台を並設配置し、更に、前記エクスチェンジャ内に配置したコンベヤは上記両専用コンベヤの高さに対応して上下昇降自在とした。
【選択図】図１

Description

本発明は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）、ＥＬ（Electro Luminescence）等の製造工程における基板の貯留部（例えば、自動倉庫）と製造ライン間のガラス基板等の搬送システムに関する。

従来、ＬＣＤの製造ライン、例えばエッチング、フォトレジスト等の製造ラインにおいて、ガラス基板を多段状に収容したカセットの貯留部である自動倉庫（スタッカクレーン）から製造ライン側に、又製造ラインでの処理が完了したガラス基板を前記自動倉庫側に搬送する、所謂、枚葉式のハンドリングシステムにおいては、自動倉庫と製造ライン側との間に、各種の搬送システムが設置されている。

その搬送システムとして、例えば、特許文献１に示すような搬送システムが提案されている。その搬送システムは、ガラス基板を多段状に収容したカセットから基板を枚葉搬出する基板枚葉送り出し装置を２台配置し、各送り出し装置から払い出される基板を受け取り、プロセス装置の中心まで基板をスライドさせる走行式基板搬送コンベアを配置する。更に、走行式基板搬送コンベアから基板を受け取り搬送高さを上下二段階に切り替えて搬送する昇降式基板搬送コンベアと、該昇降式基板搬送コンベアから基板を受け取りプロセス装置に基板を供給する二層構造の昇降機能付きの二層昇降式基板搬送コンベアとで構成されている。

上記搬送システムを構成する基板枚葉送り出し装置は、ガラス基板をまとめて一時貯溜させるカセット（ガラス基板を所定の間隔で水平多段状に支持する横桟が設けられたカセット）を上下昇降するカセット昇降機構と、カセットに対してガラス基板をローディング／アンローディングする基板送り出しコンベアを備えている。

そして、その搬送システムによってカセット内のガラス基板をプロセス装置側に搬送供給、およびプロセス装置側から処理済のガラス基板をカセット側に搬送収容する動作は、昇降式基板搬送コンベアと二層昇降式基板搬送コンベアを上下に切り替えて搬送するというものである。
上記構成により、昇降式基板搬送コンベアと二層昇降式基板搬送コンベアとの間の基板移載と、二層昇降式基板搬送コンベアとプロセス装置との間の基板移載を独立した速度で並行して行い、プロセス装置への基板供給と後続基板の受け取りを、高さを違えた同一位置で同時に行うことが出来る。

叉、先行基板の供給完了から後続基板の供給開始までの時間を、二層昇降式基板搬送コンベアの上下段切り替えにより短くできる。従って、プロセス装置の搬送条件とラインの生産能力を満たすことができるとしている。

特開２００４−２８４７７２号公報

しかし、上記搬送システムは、複数台の基板枚葉送り出し装置と昇降式基板搬送コンベアとの間の基板搬送は、１つの搬送路のみであり、従って基板枚葉送り出し装置側とプロセス装置側との間の基板の受け渡しは、基板の供給叉は基板の回収の何れか一方、或いは基板の供給と回収を交互に行うかの何れかであり、少なくとも基板の供給と基板の回収を同時に行うことはできないものである。即ち、基板枚葉送り出し装置から昇降式基板搬送コンベア及び二層昇降式基板搬送コンベアを介してプロセス装置側へガラス基板を搬送している時、プロセス装置側で処理を完了したガラス基板を基板枚葉送り出し装置側に搬送することはできない。

従って、上記特許文献１記載の搬送システムにおいては、タクトタイムをロスし、供給叉は回収の何れかの基板は待機せざるを得ず、生産効率を高めることはできない。
また、上記搬送システムはワンウエイ搬送であるため、搬送路内における基板の収納密度は低い。

本発明は、上記事情に鑑みてその従来不具合を解消するため、エクスチェンジャと製造ライン間の枚葉搬送を、ガラス基板の受け渡し（供給）と受け取り（回収）を同時に行なうことができ、それによりタクトタイムをロスすることなく効率良く搬送することができ、製造ラインのサイクルタイムに応じて搬送形態を設定し得る自由度のある搬送システムを提供することを目的とする。
又、本発明の他の目的は、搬送路内におけるガラス基板の収納密度を高めることが出来る搬送システムを提供することにある。

上記目的を達成するために本発明のガラス基板等の搬送システムは、ガラス基板等のワークを多段収容したカセットの貯留部と複数台並設したエクスチェンジャの間を搬送手段によりカセット単位で搬送し、エクスチェンジャと製造ライン間は前記ワークを枚葉搬送するガラス基板等の搬送システムにおいて、前記エクスチェンジャ内に、該エクスチェンジャ内を上下昇降するカセットに対してワークをローディング又はアンローディングするコンベヤを配置し、そのエクスチェンジャにおけるワークをローディング／アンローディングする側に、製造ライン側にワークを受け渡す受け渡し（供給）専用コンベヤと製造ライン側から排出されるワークを受け取る受け取り（回収）専用コンベヤを上下二段に区画し、且つ前記エクスチェンジャの並設方向に沿って複数台をワークの受け渡しが順次可能になるように二段式コンベヤを並設配置し、更に、前記エクスチェンジャ内に配置したコンベヤは前記受け渡し専用コンベヤと受け取り専用コンベヤの高さに対応して上下昇降自在としたことを特徴とする（請求項１）。

上記エクスチェンジャに対して供給／取り出されるカセットは、ガラス基板等、平板状のワークを水平多段状に収容するもので、例えば、ワークを水平に支持するワイヤーが水平方向に所定間隔をおいて平行に且つ上下方向に所定の間隔をおいて張設されたワイヤーカセット、或いは、底板、天板及び柱によって箱形に構成され、各柱には箱内方に向いた水平な横桟が鉛直方向に向かって定ピッチで設けられたカセット等、何れでもよい。そして、そのカセットの底面にはワークをローディング／アンローディングするローラコンベヤが嵌入し得る開口が形成されている。
上記エクスチェンジャにおけるガラス基板をローディング／アンローディングする側とは、エクスチェンジャに対してカセットが挿脱される側と対向する側、即ちカセットの搬送手段（例えば、スタッカクレーン）とは反対側を意味する。
エクスチェンジャにカセットの受け渡しを行う搬送手段としては、例えば、カセットが段積みされた自動倉庫のスタッカクレーン、或いは無人台車（ＡＧＶ）、専用コンベヤ等が挙げられる。

上記エクスチェンジャの並設方向に沿って上下二段の受け取り専用コンベヤと受け渡し専用コンベヤを複数台、ワークの受け渡しが順次可能になるように並設配置するの意味は、エクスチェンジャ内のコンベヤと受け取り専用コンベヤ叉は受け渡し専用コンベヤとの間のワークの受け渡し、及び複数台並設された受け取り専用コンベヤ相互間のワークの受け渡し、受け渡し専用コンベヤ相互間のワークの受け渡しを意味する。
又、二段式コンベヤは、上記したように搬送方向を直交する二方向に切り替え可能であるため、クロスローラコンベヤで構成するのが有効である。ローラコンベヤの駆動方式は、磁力を利用した非接触型の駆動方式、或いは今日一般的な接触型のベルト方式等何れでもよい。

上記手段によれば、エクスチェンジャに収納したカセットの上下昇降と、該エクスチェンジャ内に配置したコンベヤの上下調整、及び該エクスチェンジャに沿って並設配置した複数台の上下二段式のコンベヤとにより、各エクスチェンジャは基板の供給及び回収の何れの作業にも対応可能となる。即ち、基板の供給を完了してカセットが空になれば、回収用のカセットに切り替え、エクスチェンジャ内のコンベヤの位置も上下切り替えて基板を回収収納することが出来る。

前記受け取り専用コンベヤと受け渡し専用コンベアは、磁力を利用した非接触型のローラコンベヤであることを特徴とする（請求項２）。
上記手段によれば、上下二段式の受け取り専用／受け渡し専用コンベヤが磁力を利用した非接触型のローラコンベヤであるため、上下二段のコンベヤのピッチを小さく（コンパクトに）でき、しかも非接触の動力伝達により発塵がなく、クリーン度を高めた搬送が可能となり、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）、ＥＬ（Electro Luminescence）等の製造におけるガラス基板の搬送には特に有効となる。しかも、上下二段のコンベヤの高さをコンパクト化できたことにより、これに関係するエクスチェンジャの機高も低くでき、その結果、建屋内におけるエクスチェンジャ上面と建屋天井との間のカセット収納スペース（ストックヤード）を広く取ることが出来る。

叉、前記上下二段の受け取り専用コンベヤ及び受け渡し専用コンベヤは、該コンベヤ全体を枠体で密閉すると共に、回転部を支持する軸受部分は封止部材で包被し、且つ前記枠体内に該枠体の一方から他方に向かって清浄空気を流通させる空気路を配設した構成としてもよい（請求項３）。
上記清浄空気の供給源としては、ファン・フィルタユニット（ＦＦ）が好適である。
上記手段によれば、磁力を利用した非接触型のローラコンベヤが枠体で密閉され、しかも、前記ローラコンベヤの回転部を支持する軸受を樹脂成形品の封止部材で包被してあるため、該軸受に塗布されているグリース等の塵が外部に流出することはない。そして、前記枠体内には一方から他方に向かって清浄空気を流通させていることで、極めて高水準のクリーン度（クリーンクラス１０以下）を実現することができる。

更に、前記上下二段の受け取り専用コンベヤ及び受け渡し専用コンベヤは、複数台設置するが、前記エクスチェンジャと対応して同数配置すると有効である（請求項４）。
上記手段によれば、上下二段の受け取り専用コンベヤ及び受け渡し専用コンベヤ（クロスローラコンベヤ）をエクスチェンジャと対応して同数（例えば、３：３、４：４等）設置されていることで、エクスチェンジャの状況に応じて対応する受け取り専用コンベヤ叉は受け渡し専用コンベヤとの間で直接ワークの受け渡しを行ったり、或いは一直線状に配置された隣接する受け取り専用コンベヤ叉は受け渡し専用コンベヤを径由してワークの受け渡しを行なう等、幅広く対応することができる。

本発明のガラス基板等の搬送システムは請求項１記載の構成により、複数台の各エクスチェンジャはワークの供給及び回収の何れの作業にも対応可能となり、連続したワークの供給及び回収を省スペースで行うことができる。即ち、カセット内のワークを製造ライン側に供給してカセット内が空になれば、回収用のカセットに切り替え、エクスチェンジャ内のコンベヤの位置も上下切り替えてワークを製造ライン側からカセットへ回収収納することが出来る。そして、ワークの供給と、処理済みのワークの回収収納を同時に行うことが可能である。
叉、請求項２記載の構成により、上下二段のコンベヤのピッチを小さく（コンパクトに）でき、しかも非接触の動力伝達により発塵がなく、クリーン度を高めた搬送が可能となり、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）、ＥＬ（Electro Luminescence）等の製造におけるガラス基板の搬送には特に有効となる。しかも、上下二段のコンベヤの高さをコンパクト化できたことにより、これに関係するエクスチェンジャの機高も低くでき、その結果、建屋内におけるエクスチェンジャ上面と建屋天井との間のカセット収納スペース（ストッカー）を広く取ることができ、ワークの収納密度（カセットの段積み数）を高めることができる。
更に、請求項３記載の構成により、極めて高水準のクリーン度（クリーンクラス１０以下）を実現することができる。
また、請求項４記載の構成により、エクスチェンジャの状況に応じて対応する受け取り専用コンベヤ叉は受け渡し専用コンベヤとの間で直接ワークの受け渡しを行ったり、或いは一直線状に配置された隣接する受け取り専用コンベヤ叉は受け渡し専用コンベヤを径由してワークの受け渡しを行なう等、幅広く対応することができる。従って、タクトタイムのロスをなくし、生産効率の向上を図ることができる、製造ライン側のシステムに対応した自由度のある搬送システムを提供することが出来る。

以下、本発明の搬送システムの実施形態の一例を、カセットの搬送手段が自動倉庫（スタッカクレーン）の場合について図面により説明する。
図１及び図２は、クリーンルーム内に設置した搬送システムの概略を示し、自動倉庫ＡのスタッカクレーンＡ’に沿って複数台（図示は３台）のエクスチェンジャＢ１，Ｂ２，Ｂ３が一直線状に並設配置され、そのエクスチェンジャＢ１〜Ｂ３における処理済みのワークＷ’をローディング、叉はワークＷをアンローディングする側（スタッカクレーン側とは反対側）に、製造ライン（ＥＱ）側にワークを受け渡す受け渡し専用コンベヤと製造ライン側から排出される処理済みワークを受け取る受け取り専用コンベヤを上下二段に区画配置した二段式コンベヤＣ１，Ｃ２，Ｃ３が前記エクスチェンジャと対応させて並設配置されて構成されている。尚、図示のシステムでは二段式コンベヤＣ１〜Ｃ３と製造ライン側（ＥＱ）との間のワークの受け渡しを直接行なうようにした状態を示しているが、製造ライン側の関係で該製造ライン側と二段式コンベヤとの間に搬送コンベヤを適宜配置するようにしてもよい。

エクスチェンジャＢ１〜Ｂ３は、図３に示すようにガラス基板等、平板状のワークＷを多段状に収容したワイヤーカセットＦをスタッカクレーンＡ’から受け取り、そのワイヤーカセットＦに収納されたワークＷを二段式コンベヤＣ１〜Ｃ３の受け渡し専用コンベヤ（下段）IN１〜IN３にアンローディング、及び空のワイヤーカセットＦ内に処理済みのワークＷ’を二段式コンベヤＣ１〜Ｃ３の受け取り専用コンベヤ（上段）OUT１〜OUT３からローディングし得るように構成されている。

以下、エクスチェンジャＢ１〜Ｂ３について図面に基づき説明すると、図３に示すように器枠１内にワイヤーカセットＦを載承して上下昇降する昇降ユニット２と、未処理のワークＷ叉は処理済みのワークＷ’を搬送するローラコンベヤ３が収容配置され、前記昇降ユニット２とローラコンベヤ３の動作でワイヤーカセットＦに対して処理済みのワークＷ’をローディング、又は未処理のワークＷをアンローディングし得るように構成されている。
そして前記ローラコンベヤ３は、器枠１の高さ方向の略中間位置において後述する二段式コンベヤＣ１〜Ｃ３の上段に配置された受け取り専用コンベヤOUT１〜OUT３と下段に配置された受け渡し専用コンベヤIN１〜IN３とに対応して、ローディング位置とアンローディング位置の間をその目的に応じて上下移動するように構成されている。

器枠１は、図３に示すように、平面略矩形状をした台枠１ａと、その台枠１ａの相対向する二辺に亘って起立固定した門形支柱フレーム１ｂとで構成され、台枠１ａには脚座４が上下調節自在に取り付けられ、これにより器枠１を設置床面の傾斜や凹凸に関係なく水平に設置し得るようになっている。そして、ワイヤーカセットＦは門形支柱フレーム１ｂ間の側方からスタッカクレーンＡ’のフォークにより供給又は取り出すことができる。

ワイヤーカセットＦを上下昇降する昇降ユニット２は、図３に示すようにワイヤーカセットＦの底部を載承支持する支承フレーム５と、その支承フレーム５を前記門形支柱フレーム１ｂの左右支柱に沿い左右同期して上下させる昇降駆動部６とで構成されている。
支承フレーム５は、金属製角パイプ等を用いて平面矩形状に形成され、その支承フレーム５の上面にワイヤーカセットＦの底部四隅部を定着支持するカセット支承部が固着されている。これにより、ワイヤーカセットＦは支承フレーム５に位置決めされて安定よく載置支承される。

上記支承フレーム５を上下する昇降駆動部６は、図３に示すように前記支承フレーム５の左右側辺の中央上面に取り付けた支持部材７と、その支持部材７を上下昇降させるボールネジ機構８及び鉛直方向へ案内するガイド部材（図示省略）と、左右のボールネジ機構８を駆動する動力源のモータ９等で構成されている。
左右のボールネジ機構８及びガイド部材（図示省略）は、図３に示すように門形支柱フレーム１ｂの左右支柱の内側に鉛直に配置され、ボールネジ機構８のネジ杆に螺合するナット部材に前記支持部材７の垂直辺部が固着され、ナット部材はガイド部材のスライダーに連結されている。それにより、ネジ杆が回転することで支持部材７が固着されたナット部材はガイド部材の案内作用により上下方向に移動される。尚、ガイド部材としては、ＬＭガイドが好適である。
又、昇降駆動部６の働きで支承フレーム５を上下昇降する範囲は、該支承フレームに載承されたワイヤーカセットＦのワークＷをアンローディングする開始位置（上限位置）と、ワイヤーカセットＦにワークＷをローディングする開始位置（下限位置）との間である。

上記昇降ユニット２で上下昇降されるワイヤーカセットＦに対してワークＷをローディング／アンローディングするローラコンベヤ３は、図３に示すように前記器枠１内に収容されるワイヤーカセットＦに対して接触せずに嵌脱し得るよう櫛歯形状に形成したコンベヤフレーム１０と、その櫛歯様の各起立枠の上部に取り付けた搬送ローラ１１と、各起立枠の搬送ローラ１１を駆動回転させる駆動源（図示省略）とで構成されている。
コンベヤフレーム１０を櫛歯形状に構成した理由は、ワークＷを水平多段状に収容支持するカセットの形態によるもので、ワイヤーカセットＦ内の多段状に収容されたワークＷをアンローディングする時、及び空のワイヤーカセットＦに処理済みのワークＷ’を多段状にローディングする時、ワイヤーカセットＦは前記した昇降ユニットで上下昇降されるが、その上下昇降を妨げず、しかもワークＷをローディング／アンローディングするためである。即ち、コンベヤフレーム１０の起立枠相互の隙間にワイヤーカセットＦの並設されたワイヤーｆ’が接触せずに嵌入して通過するように構成されている。

コンベヤフレーム１０の上部に配置した各搬送ローラ１１を駆動回転する駆動部（図示省略）は、モータと、そのモータの回転をマグネットの吸引・反発を利用した非接触の動力伝達方式で各搬送ローラ１１の軸に伝達するように構成されている。それにより、発塵がほとんどなく、クリーンな環境下でワークＷの搬送を行なうことができる。
そして、上記の如く構成したローラコンベヤ３は、二段式コンベヤＣ１〜Ｃ３の上段に配置した受け取り専用コンベヤOUT１〜OUT３と下段に配置した受け渡し専用コンベヤIN１〜IN３の高さに対応してコンベヤ昇降ユニット１２で上下に移動するように構成されている。

コンベヤ昇降ユニット１２は、図３に示すようにコンベヤフレーム１０の底部四箇所を支持するクランクアーム１２ａと、それら四箇所のクランクアーム１２ａを回動するギヤボックス付きの昇降用モータ１２ｂ及びコンベヤフレーム１０を鉛直方向に案内するガイド（図示省略）とで構成され、昇降用モータ１２ｂの回転はギヤボックス及び連結シャフトを介して前記クランクアーム１２ａに伝達され、四箇所のクランクアーム１２ａが同期作動してローラコンベヤ３を上下させる。尚、ローラコンベヤ３が上下移動する距離は、後述する二段式コンベヤＣ１〜Ｃ３の受け取り専用コンベヤOUT１〜OUT３と受け渡し専用コンベヤIN１〜IN３の間隔と同じで、その間隔によって決定される。

二段式コンベヤＣ１〜Ｃ３は、直角に交差する二方向に搬送し得るように構成したクロスローラコンベヤ１７からなる受け取り専用コンベヤOUT１〜OUT３を上段に、受け渡し専用コンベヤIN１〜IN３を下段に配置し、且つそのコンベヤを収容した枠体１３を架台１４上に載置して構成されている。
上記枠体１３は平面矩形状をした平形の箱状に構成され、その高さ方向の略中央部に仕切り板１５が水平に取り付けられて内部が上下に区画されており、仕切り板１５より上側の部屋と下側の部屋の両方にクロスローラコンベヤ１７が収容配置され、更に該枠体１３の周壁には枠体１３内の上下に配置したクロスローラコンベヤ１７で搬送されるワークＷ（又はワークＷ’)が通過する為の開口１６が該コンベヤの搬送方向と対応させて開設されている。尚、前記仕切り板１５は、その外周縁を枠体内面と離間し、仕切り板１５の周囲に上下流通し得る通路３２が確保されている。この通路３２は後述する清浄空気の流通路として機能する。
架台１４は脚部に上下（高さ）調節機構を備え、これの調節により関連するエクスチェンジャＢ１〜Ｂ３或いは製造ライン側の装置の高さに応じて調整できるように構成されている。

上記受け取り専用コンベヤOUT１〜OUT３及び受け渡し専用コンベヤIN１〜IN３を構成するクロスローラコンベヤ１７は、図４及び図５に示すように、並設したエクスチェンジャＢ１〜Ｂ３に沿って二段式コンベヤＣ１〜Ｃ３相互間でワークＷの受け渡しを行なうローラコンベヤ１７ａと、前記エクスチェンジャＢ１〜Ｂ３との間でワークＷをローディング／アンローディングするローラコンベヤ１７ｂとで構成されている。そして、前記ローラコンベヤ１７ａは所定の位置に定着され、他方のローラコンベヤ１７ｂは前記ローラコンベヤ１７ａの搬送面に対して上下方向に出没自在に構成されている。即ち、ローラコンベヤ１７ｂは、ローラコンベヤ１７ａの作動時は該コンベヤ１７ａの搬送面より下側に降下しており、エクスチェンジャＢ１〜Ｂ３との間でワークＷをローディング／アンローディングする時はローラコンベヤ１７ａの搬送面より上方に突出してワークＷを搬送する。

又、上記クロスローラコンベヤ１７を構成するローラコンベヤ１７ａ，１７ｂの搬送ローラの回転方式は、モータの回転をマグネットの吸引・反発を利用した非接触型の動力伝達機構で搬送ローラを取り付けた各ローラ軸に伝達し、回転するように構成してある。
図示の動力伝達機構は、ローラコンベヤ１７ａにおいては、搬送ローラ１８を所定間隔で取り付けたローラ軸１９の軸端にマグネットリング（従動磁気車）２０を固着し、そのマグネットリング（従動磁気車）２０と対応させてマグネットリング（駆動磁気車）２１を取り付けた駆動軸２２を前記マグネットリング（従動磁気車）２０の直下に非接触状態で直交配置し、駆動軸２２をモータによって回転することで各ローラ軸１９はマグネットリング（駆動磁気車）２１とマグネットリング（従動磁気車）２０の作用で回転される。

又、ローラコンベヤ１７ｂは、扁平長尺のケース２３内に、該ケースの長手方向に沿ってマグネットリング（従動磁気車）２５を取り付けた搬送ローラ２４を回転可能に軸支し、そのマグネットリング（従動磁気車）２５の直下に、前記マグネットリング（従動磁気車）２５と対応してマグネットリング（駆動磁気車）２６を取り付けた駆動軸２７を非接触状態で回転可能に直交配置すると共に、該駆動軸２７の所定箇所にはマグネットリング（伝達用磁気車）２８が固着されている。そして、上記の如く搬送ローラ２４を備えたケース２３を支持桟（図示省略）上に所定の間隔（前記ローラコンベヤ１７ａのローラ軸相互間から出没し得る間隔）をおいて並設固定し、各ケース２３のマグネットリング（伝達用磁気車）２８の直下に、該マグネットリング（伝達用磁気車）２８と対応させてマグネットリング（伝達用磁気車）３０を取り付けた動力伝達軸２９が直交配置され、その動力伝達軸２９はモータ３１の回転が歯車列を介して伝達されるように構成されている。それにより、動力伝達軸２９が回転すると該動力伝達軸２９に取り付けられたマグネットリング（伝達用磁気車）３０と各ケース２３のマグネットリング（伝達用磁気車）２８の作用で各ケース２３に内蔵された駆動軸２７が回転し、その駆動軸２７に取り付けられたマグネットリング（駆動磁気車）２６とマグネットリング（従動磁気車）２５の作用で搬送ローラ２４が回転される。
そして、上記ローラコンベヤ１７ｂは上下昇降手段、例えば、エアーシリンダ３４とリンク機構の組合せによってローラコンベヤ１７ａに対して上下出没自在に構成されている。

更に、前記二段式コンベヤＣ１〜Ｃ３を構成する枠体１３の上面外側にはファン・フィルタユニット（ＦＦ）３３が設置され、そのファン・フィルタユニット（ＦＦ）３３から流入したクリーンルーム内の室内空気が前記枠体１３の上側の部屋に流入し、その流入した空気は仕切り板１５周囲の通路３２を通って下側の部屋及び並設されたエクスチェンジャＢ１〜Ｂ３に流れ、枠体１３の下側から枠体外に流出することで、二段式コンベヤＣ１〜Ｃ３内のクリーン度が確保されている。
ファン・フィルタユニット（ＦＦ）３３から枠体１３内に流入した空気の流れは図６（ａ）、（ｂ）に示す通りである

また、前記二段式コンベヤＣ１〜Ｃ３の受け取り専用コンベヤOUT１〜OUT３及び受け渡し専用コンベヤIN１〜IN３を構成するクロスローラコンベヤ１７は、磁力を利用した非接触型の駆動方式に加えて、搬送ローラを取り付けた軸、或いは動力伝達のマグネットリングを取り付けた軸等、回転部は円滑で抵抗の少ない回転を得る為に軸受で支持されるが、その軸受部分に塗布される潤滑油が外部に流出しないように、該軸受を樹脂成形品からなる封止部材で包被（ラビリンス構造）することができる。この構成により、クリーンクラス１０以下（０．３μ）を実現することができる。

次に、図１及び図２に示した搬送システムによる搬送動作の基本パターンを図７に基づいて説明する。尚、同図におけるエクスチェンジャＢ１〜Ｂ３に収容されたワイヤーカセットＦは、［Ｘ］カセット及び［Ｙ］カセットはワークＷが収容された供給カセット、［Ｚ］カセットはワークＷが収容されていない空カセットで収納カセットを表す。
１．自動倉庫ＡからスタッカクレーンＡ’によってワークＷが収容された供給カセット［Ｘ］、［Ｙ］をエクスチェンジャＢ１、Ｂ２に供給し、エクスチェンジャＢ３には空カセット［Ｚ］を供給セットする。
２．エクスチェンジャＢ１は、内蔵する上下昇降自在のローラコンベヤ３を下段位置にセットし、供給カセット［Ｘ]を昇降ユニット２によって下降させ、該カセットの最下段に収容されたワークＷが前記ローラコンベヤ３に移乗する位置で下降を停止させる。そして、ローラコンベヤ３を作動させてワークＷを前方の二段式コンベヤＣ１の下段に配置された受け渡し専用コンベヤIN１にアンローディングする。この時、受け渡し専用コンベヤIN１は、ローラコンベヤ３からワークＷを受け取るためにクロスローラコンベヤ１７のローラコンベヤ１７ｂが突出して受け取り、ワークＷが完全にクロスローラコンベヤ１７上に移乗した時点でローラコンベヤ１７ｂの作動を停止すると共に、下降させてもう一方のローラコンベヤ１７ａの搬送面より下方に位置させ、ワークＷをローラコンベヤ１７ａで支持する。そして、二段式コンベヤＣ１に連続して並設配置されている他の二段式コンベヤＣ２、Ｃ３の各受け渡し専用コンベヤIN２、IN３のローラコンベヤ１７ａを作動させてワークＷを受け渡し専用コンベヤIN１→IN２→IN３と搬送する。二段式コンベヤＣ３の受け渡し専用コンベヤIN３はローラコンベヤ１７ａがワークＷを完全に受け取った時点で、該ローラコンベヤ１７ａの作動を停止し、もう一方のローラコンベヤ１７ｂを上昇させてワークＷを支持し、該コンベヤ１７ｂを作動させてワークＷを製造ライン（ＥＱ）側に排出する。この動作を前記供給カセット［Ｘ]に収容されているワークＷに行い、ワークＷを連続して製造ライン（ＥＱ）側に供給する（図７（ａ）参照）。

３．製造ライン（ＥＱ）側を通過して所定の処理が施されたワークＷ’は、搬送手段（図示省略）によって二段式コンベヤＣ１の上段に配置された受け取り専用コンベヤOUT１に排出される。この時、受け取り専用コンベヤOUT１は、搬送手段（図示省略）からワークＷ’を受け取るためにクロスローラコンベヤ１７のローラコンベヤ１７ｂが突出して受け取り、ワークＷ’が完全にクロスローラコンベヤ１７上に移乗した時点でローラコンベヤ１７ｂの作動を停止すると共に、下降させてもう一方のローラコンベヤ１７ａの搬送面より下方に位置させ、ワークＷ’をローラコンベヤ１７ａで支持する。そして、二段式コンベヤＣ１に連続して並設配置されている他の二段式コンベヤＣ２、Ｃ３の各受け取り専用コンベヤOUT２、OUT３のローラコンベヤ１７ａを作動させてワークＷ’を受け取り専用コンベヤOUT１→OUT２→OUT３と搬送する。二段式コンベヤＣ３の受け取り専用コンベヤOUT３はローラコンベヤ１７ａがワークＷ’を完全に受け取った時点で、該ローラコンベヤ１７ａの作動を停止し、もう一方のローラコンベヤ１７ｂを上昇させてワークＷ’を支持し、該コンベヤ１７ｂを作動させてワークＷ’をエクスチェンジャＢ３の空カセット[Ｚ］に収納する。
空カセット［Ｚ］に対するワークＷ’のローディング（収納）は、前記したワークＷのアンローディングと逆の動作で、エクスチェンジャＢ３に装備されているローラコンベヤ３を上段位置（二段式コンベヤＣ３の上段に配置された受け取り専用コンベヤOUT３の搬送面と同じ高さ位置）に上昇セットし、且つ空カセット［Ｚ］を最上段のワイヤー位置が前記ローラコンベヤ３の位置と合う高さ位置で停止させる。そして、ローラコンベヤ３を作動させて二段式コンベヤＣ３の受け取り専用コンベヤOUT３におけるローラコンベヤ１７ｂからワークＷ’を空カセット［Ｚ］にローディング（収納）する。空カセット［Ｚ］を昇降ユニット２によって所定ピッチ間隔で上昇させて、該空カセット［Ｚ］の各段にワークＷ’を連続的に収納する（図７（ｂ）参照）。

４．エクスチェンジャＢ１の供給カセット［Ｘ］に収容されたワークＷを全部供給完了すると、下段位置に位置したローラコンベヤ３は上段位置へ移動され、空カセット［Ｚ］に切り替わる。
５．そして、エクスチェンジャＢ１の供給カセット［Ｘ］が空カセット［Ｚ］に切り替わった後、エクスチェンジャＢ２の供給カセット［Ｙ］に収容されたワークＷが前記２．と同様の作動により二段式コンベヤＣ２の受け渡し専用コンベヤIN２にアンローディングされ、更に二段式コンベヤＣ３の受け渡し専用コンベヤIN３を径由して製造ライン（ＥＱ）側へ供給が連続して行なわれる。
一方、前記３．のエクスチェンジャＢ３の空カセット［Ｚ］へのワークＷ’のローディング（収納）が満杯になると、そのカセットはスタッカクレーンＡ’によってエクスチェンジャＢ３から取り出され、代わりにワークＷが収容された供給カセット［Ｙ］がスタッカクレーンＡ’によってエクスチェンジャＢ３にセットされる（図７（ｃ）参照）。

６．製造ライン（ＥＱ）側を通過して所定の処理が施されたワークＷ’は、エクスチェンジャＢ３の空カセット［Ｚ］への収納が満杯になった後は、エクスチェンジャＢ１の供給カセット［Ｘ］からワークＷを供給し終えて空カセット［Ｚ］に切り替わったカセットに二段式コンベヤＣ１の受け取り専用コンベヤOUT１、及びエクスチェンジャＢ１のローラコンベヤ３と空カセット［Ｚ］の上昇動作によりローディング（収納）される（図７（ｄ）参照）。

又、製造ライン（ＥＱ）側においてトラブルが発生し、不良品が発生した場合は、エクスチェンジャＢ１の供給カセット［Ｘ］又はエクスチェンジャＢ２の供給カセット［Ｙ］のワークＷを供給し終えて空になったカセットに、前記３．と同様の作動によって該不良品のワークＷ’を一括収納するようにしてもよいし、供給停止された二段式コンベヤＣ１、Ｃ２、Ｃ３上にあるワークＷを空カセットに移し替えてもよい。

上記した搬送パターンは動作をわかり易くするために各工程毎に独立して説明してあるが、二段式コンベヤは受け渡し専用コンベヤと受け取り専用コンベヤが上下に独立して配置されているため、図７（ａ）に示すワークＷの供給と、図７（ｂ）に示す処理済みのワークＷ’の回収収納を同時に行うことができるものである。また、図７に示した搬送パターンは一例であり、製造ライン（ＥＱ）側の構成等に応じて本搬送システムの構成を変更し、且つ搬送パターンを変更することは任意である。
他の実施例を図８に基づいて簡単に説明する。
図８（ａ）に示す搬送システムは、二段式コンベヤＣ１〜Ｃ４を横一列に並設し、エクスチェンジャＢ１〜Ｂ３はエクスチェンジャＢ２とＢ３との間（二段式コンベヤＣ３に対応する箇所）を空けて設置し、そのエクスチェンジャＢ２とＢ３との間をカセット置き場（自動倉庫の一部）として使用し、ワークＷのアンローディング及び処理済みのワークＷ’のローディングを図示の矢印、或いは前記実施例のパターンと同様に行う。
又、図８（ｂ）に示す搬送システムは、エクスチェンジャＢ１〜Ｂ４と二段式コンベヤＣ１〜Ｃ４をそれぞれ４基設置し、ワークＷの供給と処理済みワークＷ’の回収収納をそれぞれ、２基ずつに分けて搬送するようにしてもよい。

上記した実施の形態において、二段式コンベヤＣ１〜Ｃ３は下段を受け渡し専用コンベヤとし、上段を受け取り専用コンベヤとしたが、逆の形態としてもよいものである。尚、逆の形態とした場合は、当然のことながらエクスチェンジャのローラコンベヤのローディング／アンローディングの位置を上下逆にする必要がある。
又、二段式コンベヤの受け渡し専用コンベヤと受け取り専用コンベヤを構成するクロスローラコンベヤの駆動方式は、磁力を利用した非接触型の方式に限らず、今日一般的に採用されている駆動方式でもよいものである。但し、その場合は、クリーン度を維持する為に、他の機器を設置する必要がある。

本発明に係る搬送システムの概略を示すレイアウト図。 同側面図。 エクスチェンジャ及び二段式コンベヤの概略を示す断面図。 二段式コンベヤを構成するクロスローラコンベヤの概略を示す平面図。 図４の（５）−（５）線に添える拡大断面図。 二段式コンベヤにおけるファン・フィルタユニット（ＦＦ）から枠体内に流入した空気の流れを示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図。 動作の基本パターンを示す説明図。 （ａ）、（ｂ）は搬送システムの他の実施例を示すレイアウト図。

符号の説明

Ａ…自動倉庫 Ａ’…スタッカクレーン
Ｂ１〜Ｂ３…エクスチェンジャ Ｃ１〜Ｃ３…二段式コンベヤ
IN１〜IN３…受け渡し専用コンベヤ OUT１〜OUT３…受け取り専用コンベヤ
Ｆ…ワイヤーカセット Ｗ…ワーク（ガラス基板等）
３…ローラコンベヤ １７…クロスローラコンベヤ
３３…ファン・フィルタユニット

Claims (4)

1. ガラス基板等のワークを多段収容したカセットの貯留部と複数台並設したエクスチェンジャの間を搬送手段によりカセット単位で搬送し、エクスチェンジャと製造ライン間は前記ワークを枚葉搬送するガラス基板等の搬送システムにおいて、
   前記エクスチェンジャ内に、該エクスチェンジャ内を上下昇降するカセットに対してワークをローディング又はアンローディングするコンベヤを配置し、そのエクスチェンジャにおけるワークをローディング／アンローディングする側に、製造ライン側にワークを受け渡す受け渡し専用コンベヤと製造ライン側から排出されるワークを受け取る受け取り専用コンベヤを上下二段に区画し、且つ前記エクスチェンジャの並設方向に沿って複数台をワークの受け渡しが順次可能になるように並設配置し、更に、前記エクスチェンジャ内に配置したコンベヤは前記受け渡し専用コンベヤと受け取り専用コンベヤの高さに対応して上下昇降自在としたことを特徴とするガラス基板等の搬送システム。
2. 前記上下二段の受け取り専用コンベヤ及び受け渡し専用コンベヤは、磁力を利用した非接触型のローラコンベヤであることを特徴とする請求項１記載のガラス基板等の搬送システム。
3. 前記上下二段の受け取り専用コンベヤ及び受け渡し専用コンベヤは、該コンベヤ全体を枠体で密閉すると共に、回転部を支持する軸受部分を封止部材で包被し、且つ前記枠体内に該枠体の一方から他方に向かって清浄空気を流通させる空気路を配設したことを特徴とする請求項２記載のガラス基板等の搬送システム。
4. 前記上下二段の受け取り専用コンベヤ及び受け渡し専用コンベヤは、前記エクスチェンジャと対応して同数配置されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項記載のガラス基板等の搬送システム。

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