JP2009124131A - 駆動磁力部材と、これを利用した基板移送ユニット及び基板処理装置 - Google Patents

駆動磁力部材と、これを利用した基板移送ユニット及び基板処理装置 Download PDF

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Abstract

【課題】直接駆動方式を使用することによって、駆動メカニズムの構成を簡素化し、より安定的に基板を移送できる駆動磁力部材と、これを利用した基板移送ユニット及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を移送する基板移送ユニットは、互いに並んで配列される基板移送用のシャフトと、前記シャフトの一端に設置される第1磁力部材と、前記第1磁力部材とマグネチックカップリング(Magnetic Coupling)されるように対向して設置され、円周面に沿って複数の突出部の形成された第2磁力部材と、前記第2磁力部材のうち、隣接した何れか2つの前記第2磁力部材に形成された前記突出部との噛み合いにより、前記第2磁力部材間に回転力を伝達する動力伝達部材と、前記第2磁力部材のうちの何れか一つに回転力を提供する駆動部材と、を備える。
【選択図】図2

Description

本発明は、基板を処理する装置に関し、さらに詳細には、マグネチックカップリングにより駆動力を提供する駆動磁力部材と、これを利用してウエハ又は平板表示素子の製造に用いられる基板を移送する基板移送ユニット及び基板移送ユニットが備えられた基板処理装置に関する。
最近になって、情報処理機器は、多様な形態の機能とより速くなった情報処理速度を有するように急速に発展しつつある。このような情報処理機器は、稼働した情報を表示する表示パネルを有する。今まで表示パネルとしては、主にブラウン管(Cathode Ray Tube)モニターが使用されたが、最近では、技術の急速な発展につれて、軽くかつ空間を小さく占める液晶ディスプレイ(LCD)のような平板ディスプレイ装置の使用が急激に増大している。
平板型ディスプレイ装置を製造するためには、蒸着、酸化、拡散、エッチング、洗浄などの多様な工程が行われ、平板型ディスプレイ装置に用いられる基板は、移送ユニットにより各々の工程が行われる処理ユニット間又は処理ユニット内で移送される。
移送ユニットは、並んで配置されて回転するシャフトと、各々のシャフトを挿入しシャフトと共に回転するように設置されたローラを有する。シャフトは、一般に、両端支持された状態で駆動部材の回転力を伝達されて回転し、シャフトに設置されたローラは、シャフトと共に回転しつつ基板を移送する。
従来では、駆動部材の回転力をシャフトに伝達するために、ギアのような機械的接触方式による動力伝達メカニズムが主に用いられたが、機械的接触方式は、動力伝達過程でギアの摩耗などによって多くのパーティクルが発生するという問題点を有する。そのため、最近では、直接的に接触せずに駆動部材の回転力をシャフトに伝達するための手段として、磁力を利用した動力伝達メカニズムが主に用いられている。
本発明の目的は、動力伝達メカニズムの構成を簡素化して、費用を低減し、かつ空間の活用度を上げることができる駆動磁力部材と、これを利用した基板移送ユニット及び基板処理装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、安定した基板の移送を具現できる駆動磁力部材と、これを利用した基板移送ユニット及び基板処理装置を提供することにある。
本発明の目的は、ここに制限されず、言及されないさらに他の目的は、以下の記載から当業者が明確に理解できるはずであろう。
上記の課題を達成すべく、本発明による基板移送ユニットは、基板を移送する基板移送ユニットであって、互いに並んで配列される基板移送用のシャフトと、前記シャフトの一端に設置される第1磁力部材と、前記第1磁力部材とマグネチックカップリング(Magnetic Coupling)されるように対向して設置され、円周面に沿って複数の突出部の形成された第2磁力部材と、前記第2磁力部材のうち、隣接した何れか2つの前記第2磁力部材に形成された前記突出部との噛み合いにより、前記第2磁力部材間に回転力を伝達する動力伝達部材と、前記第2磁力部材のうちの何れか一つに回転力を提供する駆動部材と、を備えることを特徴とする。
上述のような構成を有する本発明による基板移送ユニットにおいて、前記突出部は、チェーンギア(Sprocket)の歯形に形成され、前記動力伝達部材は、チェーンギアの歯形の前記突出部と噛み合うチェーンからなりうる。
前記突出部は、円周方向に沿って凹凸形状に形成され、前記動力伝達部材は、凹凸形状の前記突出部と噛み合うベルトからなりうる。
前記突出部は、スパーギア(Spur Gear)形状に形成され、前記動力伝達部材は、前記スパーギア形状の前記突出部と噛み合うギアからなりうる。
前記第1及び第2磁力部材のそれぞれは、ハウジングと、前記ハウジング内に配置される複数の磁石と、を備え、前記第1磁力部材の前記磁石と前記第2磁力部材の前記磁石とは、互いに対向し異なる極性を有するように設置されうる。
前記第1及び第2磁力部材のそれぞれは、ハウジングと、前記ハウジング内にリング形状の配列をなすように配置された板状の磁石と、を備え、前記第1磁力部材の前記磁石は、相異なる極性間に隣接配置され、前記第2磁力部材の前記磁石は、相異なる極性間に隣接配置され、前記第1及び第2磁力部材の互いに対向する前記磁石は、相異なる極性を有するように配置されうる。
上記の課題を達成すべく、本発明による基板処理装置は、基板処理工程が行われる工程チャンバーと、前記工程チャンバー内に並んで配列され、基板と接触される複数のローラの設置された移送用のシャフトと、前記シャフトの一端に設置される円板形の第1磁力部材と、前記工程チャンバーの外側に前記第1磁力部材と対向するように設置される円板形の第2磁力部材と、前記第2磁力部材の間に回転力を伝達する動力伝達部材と、前記第2磁力部材のうちの何れか一つに回転力を提供する駆動部材と、を備え、前記第2磁力部材の円周面上には、円周方向に沿って複数の突出部が形成され、前記動力伝達部材は、隣接した何れか2つの前記第2磁力部材に形成された前記突出部との噛み合いにより回転力を伝達することを特徴とする。
上述のような構成を有する本発明による基板処理装置において、前記突出部は、チェーンギア(Sprocket)の歯形に形成され、前記動力伝達部材は、チェーンギアの歯形の前記突出部と噛み合うチェーンからなりうる。
前記突出部は、円周方向に沿って凹凸形状に形成され、前記動力伝達部材は、凹凸形状の前記突出部と噛み合うベルトからなりうる。
前記突出部は、スパーギア(Spur Gear)形状に形成され、前記動力伝達部材は、前記スパーギア形状の前記突出部と噛み合うギアからなりうる。
前記第1及び第2磁力部材のそれぞれは、円板形状のハウジングと、前記ハウジング内にリング形状の配列をなすように配置された板状の磁石と、を備え、前記第1磁力部材の前記磁石は、相異なる極性間に隣接配置され、前記第2磁力部材の前記磁石は、相異なる極性間に隣接配置され、前記第1磁力部材及び前記第2磁力部材の互いに対向する前記磁石は、相異なる極性を有するように配置されうる。
上記の課題を達成すべく、本発明による駆動磁力部材は、マグネチックカップリングされた従動磁力部材に回転力を提供する駆動磁力部材であって、円板形状の回転可能なハウジングと、前記ハウジング内に配置される複数の磁石と、を備え、前記ハウジングは、前記ハウジングを回転させる外力が作用できるように、円周面に沿って突出形成された複数の突出部を有することを特徴とする。
上述のような構成を有する本発明による駆動磁力部材において、前記複数の突出部は、チェーンギア(Sprocket)の歯形に形成されうる。
前記複数の突出部は、円周方向に沿って凹凸形状に形成されうる。
前記複数の突出部は、スパーギア(Spur Gear)形状に形成されうる。
前記複数の磁石は、リング形状の配列をなすように前記ハウジング内に配置されうる。
前記複数の磁石は、互いに相異なる極性同士が隣接するように配置されうる。
本発明によれば、動力伝達メカニズムの構成を簡素化することができる。
そして、本発明によれば、基板処理装置の製造費用を低減し、基板処理装置の設備占有面積を減らして、空間の活用度を上げることができる。
また、本発明によれば、安定した基板の移送を実現することができる。
以下、添付された図面を参照して、本発明の好ましい実施の形態による駆動磁力部材と、これを利用した基板移送ユニット及び基板処理装置を詳細に説明する。まず、各図面の構成要素に参照符号を付するに当たって、同じ構成要素に対しては、たとえ他の図面上に表示されても可能なかぎり同じ符号を付していることに留意すべきである。また、本発明を説明するにおいて、本発明と関連した公知構成又は機能に対する具体的な説明が本発明の要旨を不明にすると判断される場合には、その詳細な説明を省略する。
(実施の形態)
本実施の形態で基板Sは、平板ディスプレイ(Flat Panel Display)装置の製造に用いられるガラス基板を例に挙げて説明する。しかしながら、基板Sは、上述したガラス基板の他に半導体デバイスの製造に用いられるウエハでありうる。
図1は、本発明の一実施の形態による基板処理装置1を示す図である。図1に示すように、基板処理装置1は、複数のチャンバー10、22、24、30、基板移送ユニット100、及び洗浄ユニット200、300を備える。それぞれのチャンバー10、22、24、30は、基板処理工程が行われる空間を提供する。基板移送ユニット100は、チャンバー10、22、24、30間に、そしてチャンバー10、22、24、30内で基板Sを一方向へ移動させる。洗浄ユニット200、300は、チャンバー22、24内で基板移送ユニット100により移送される基板Sを洗浄する。
以下では、上述した構成要素について詳細に説明する。
それぞれのチャンバー10、22、24、30は、内部が空いている、概して直六面体形状を有する。チャンバー10、22、24、30は、一列に並んで配置される。それぞれのチャンバー10、22、24、30の一側壁には、チャンバー10、22、24、30に基板Sが流入する流入口12が提供され、これと対向する他側壁には、チャンバー10、22、24、30から基板Sが流出する流出口14が提供される。基板Sは、流入口12及び流出口14を介して最も前方に位置したチャンバーから最も後方に位置したチャンバーまで順次移送される。各チャンバー10、22、24、30内では、基板Sに対して所定の工程が行われる。チャンバー10、22、24、30のうちの少なくとも一つのチャンバー22、24では、洗浄工程が行われる。洗浄工程が行われるチャンバー22の前方に位置したチャンバー10では、エッチング工程が行われ、洗浄工程が行われるチャンバー24の後方に位置したチャンバー30では、乾燥工程が行われることができる。
一例によれば、第1洗浄チャンバー22、第2洗浄チャンバー24、及び乾燥チャンバー30は、一列に順次配置される。第1洗浄チャンバー22と第2洗浄チャンバー24には、洗浄ユニット200、300が設置される。第1洗浄チャンバー22に提供された洗浄ユニットは、ブラシ洗浄部材200であり、第2洗浄チャンバー24に提供された洗浄ユニットは、流体供給ノズル(Fluid Supply Nozzle)300である。
基板Sは、第1洗浄チャンバー22と第2洗浄チャンバー24とに移送されつつ洗浄され、以後、乾燥チャンバー30に移送されて乾燥される。ブラシ洗浄部材200は、基板S上の領域をブラシの物理的接触力を利用して洗浄する。流体供給ノズル300は、第1洗浄チャンバー22から除去されないパーティクルとブラシ洗浄部材200により基板Sから除去されたが、基板S上に又は基板Sの上部に残留するパーティクルを基板Sから除去する。流体供給ノズル300は、脱イオン水に高圧のガスを供給して、脱イオン水を噴霧状態にした後、噴霧状態の脱イオン水を基板Sに噴射する構造を有する。流体供給ノズル300としては、一方向に長い長さを有するスリットノズルが用いられうる。
乾燥チャンバー30には、基板Sに乾燥ガスを供給する乾燥ノズル30aが設置される。乾燥ノズル30aは、加熱した空気又は加熱した窒素ガスのような不活性ガスなどを供給して、基板Sを乾燥することができる。選択的に乾燥ノズル30aは、イソプロピルアルコール(Iso−Propyl Alcohol、IPA)のような有機溶剤を基板Sに供給した後、上述した加熱した空気などを基板Sに供給して基板Sを乾燥することができる。乾燥ノズル30aとしては、一方向に長い長さを有するスリットノズルが用いられうる。
図2は、図1の基板移送ユニット100の一実施の形態を示す図である。
図2に示すように、基板移送ユニット100は、複数のシャフト110を有する。シャフト110は、チャンバー22内に互いに平行に並んで配置される。シャフト110は、流入口(図1の図面符号12)と隣接した位置から流出口(図1の図面符号14)と隣接した位置まで提供される。各々のシャフト110には、その長さ方向に沿って複数のローラ112が設置される。ローラ112は、基板の下面と接触する。シャフト110の回転によりローラ112が回転され、基板Sは、その下面がローラ112に接触された状態でシャフト110の配列方向に沿って直線移動する。シャフト110は、基板Sが水平状態で移送されるように水平に配置されうる。選択的に基板Sが傾斜した状態で移送されるように、シャフト110の一端と他端とは、相異なる高さに位置できる。
第1磁力部材120は、チャンバー22の内側に配置されたシャフト110の一端に各々設置される。第2磁力部材130は、チャンバー22の外側に第1磁力部材120と対向するように設置される。第1磁力部材120の内部と第2磁力部材130の内部には、後述する磁石124、134が内蔵される。磁石124、134の相互間の磁力により、第1磁力部材120と第2磁力部材130とは、マグネチックカップリング(Magnetic Coupling)される。
第1磁力部材120のそれぞれは、図3及び図4に示すように、ハウジング122と磁石124とを備える。ハウジング122は、円板形状を有し、ハウジング122の中心がシャフト110の中心と整列された状態でシャフト110の一端に結合される。ハウジング122は、ポリ塩化ビニール(PVC)材質から製造されうる。ハウジング122の内部には、磁石124が設置される空間が提供される。磁石124は、図4に示すように、概8個が提供されることができ、これとは異なる数の磁石124が提供されることもできる。それぞれの磁石124は、円板形状を有し、ハウジング122の中央を中心にリング形状をなすように配列される。隣接した磁石124は、磁石124の配列平面上から見るとき、互いに異なる極性を有するように配置される。すなわち、N極の極性を有する磁石124とS極の極性を有する磁石124とが交互に配置される。そして、磁石124の一側には、磁石124間に伝達される磁力を強くするために、ステンレススチール材質の補強板125が配置されうる。
第2磁力部材130は、第1磁力部材120と一対一に対応し、第1磁力部材120と対向するように、チャンバー22の外側に提供される。第2磁力部材130は、図5〜図7に示すように、円板形状のハウジング132を有し、ハウジング132の内部には、磁石134が提供される。磁石134は、円板形状を有し、磁石134の配置構造は、第1磁力部材120の磁石124の配置構造と似ている。ただし、第2磁力部材130の磁石134は、第1磁力部材120の磁石124と相異なる極性を有するように配置される。すなわち、第2磁力部材130の磁石134のうち、N極の極性を有する磁石134は、第1磁力部材120のS極の極性を有する磁石124と対向するように配置され、第2磁力部材130の磁石134のうち、S極の極性を有する磁石134は、第1磁力部材120のN極の極性を有する磁石124と対向するように配置される。このような磁石124、134の配置構造により、第1磁力部材120と第2磁力部材130との間には、磁気的引力が作用し、この力により第1磁力部材120と第2磁力部材130とがマグネチックカップリングされる。そして、磁石134の一側には、磁石134間に伝達される磁力を強くするために、ステンレススチール材質の補強板135が配置されうる。
また、図2に示すように、第1磁力部材120とマグネチックカップリングされた第2磁力部材130のそれぞれは、回転軸136とベアリング部材137とにより回転可能に支持される。第2磁力部材130のそれぞれは、互いに隣接配置された第2磁力部材130から回転力を伝達される。第2磁力部材130間の回転力の伝達は、動力伝達部材140によりなされ、駆動部材150は、第2磁力部材130のうちの何れか一つの第2磁力部材130に回転力を提供する。駆動部材150の回転力が何れか一つの第2磁力部材130に提供されれば、隣接配置された第2磁力部材130間には、動力伝達部材140により回転力が伝達され、第2磁力部材130の回転力は、第2磁力部材130とマグネチックカップリングされた第1磁力部材120に伝達される。このような駆動メカニズムにより駆動部材150の回転力が第1磁力部材120と結合されたシャフト110に最終伝達されることによって、シャフト110のローラ112に接触支持された基板Sが一方向へ移送される。
駆動部材150の回転力を第2磁力部材130間に伝達するための駆動メカニズムとしては、チェーンギア(Sprocket)駆動方式、ベルト駆動方式、ギアトレイン(Gear Train)駆動方式などの直接駆動方式が用いられうる。直接駆動方式とは、駆動部材150の回転力を少なくとも一つの第2磁力部材130に直接伝達し、第2磁力部材130間にも回転力が直接伝達される駆動方式のことをいう。これと対応される概念である間接駆動方式は、駆動部材150の回転力がベルト−プーリーアセンブリーのような中間媒介体を経て、間接的に第2磁力部材130に伝達される駆動方式のことをいう。
直接駆動方式を利用して駆動部材150の回転力を第2磁力部材130に伝達するためには、第2磁力部材130の円周面上には、第2磁力部材130を回転させる外力が作用するように突出部が形成されなければならず、動力伝達部材140は、隣接した何れか2つの第2磁力部材130に形成された突出部と噛み合わなければならない。
例えば、図2に示すチェーンギア駆動方式の場合、突出部は、チェーンギア(Sprocket)の歯形で、動力伝達部材140は、チェーンギアの歯形と噛み合うチェーン(Chain)である。チェーンギアの歯形138a、138bは、図5〜図7に示すように、ハウジング132の円周面上に円周方向に沿って一定間隔をなすように形成されることができ、ハウジング132の回転軸方向に沿って2列構造で並んで形成されることができる。動力伝達部材140、すなわちチェーンは、図8に示すように、互いに隣接した何れか2つの第2磁力部材130に形成されたチェーンギアの歯形138a、138bと噛み合う。一方、駆動部材150は、第2磁力部材130のうちの何れか一つに直接回転力を伝達するように提供されることができ、またチェーンギア駆動方式として第2磁力部材130に回転力を伝達するように提供されることもできる。
以下では、駆動部材150の回転力を第2磁力部材130間に伝達するための駆動メカニズムとして、ベルト駆動方式と、ギアトレイン(Gear Train)駆動方式を例に挙げて説明する。
まず、図9〜図13を参照して、ベルト駆動方式について説明する。ここで、図2及び図5〜図8に示された構成要素と同じ構成要素は、参照番号を同一に付し、これらについての具体的な説明は省略する。
図9に示すように、第2磁力部材130´は、第1磁力部材120と一対一に対応し、第1磁力部材120と対向するようにチャンバー22の外側に提供される。第2磁力部材130´は、図10〜図12に示すように、円板形状のハウジング132を有し、ハウジング132の内部には、磁石134が提供される。各々の磁石134は、円板形状を有し、ハウジング132の中央を中心にリング形状をなすように配列される。隣接した磁石134は、磁石134の配列平面上から見るとき、互いに異なる極性を有するように配置される。そして、第2磁力部材130´の磁石134は、第1磁力部材120の磁石124と相異なる極性を有するように配置される。このような磁石124、134の配置構造により、第1磁力部材120と第2磁力部材130´との間には磁気的引力が作用し、この力により第1磁力部材120と第2磁力部材130´とがマグネチックカップリングされる。そして、磁石134の一側には、磁石134間に伝達される磁力を強くするために、ステンレススチール材質の補強板135が配置されうる。
また、図9に示すように、第1磁力部材120とマグネチックカップリングされた第2磁力部材130´の各々は、回転軸136とベアリング部材137により回転可能に支持される。第2磁力部材130´の各々は、互いに隣接配置された第2磁力部材130´から回転力を伝達される。第2磁力部材130´間の回転力の伝達は、動力伝達部材140´によりなされ、駆動部材150は、第2磁力部材130´のうち、何れか一つの第2磁力部材130´に回転力を提供する。
駆動部材150の回転力を第2磁力部材130´間に伝達するための駆動メカニズムとして、ベルト駆動方式が用いられる。図9に示すベルト駆動方式の場合、第2磁力部材130´を回転させるための外力が作用する突出部138´は、ハウジング132の円周面上に形成された凹凸形状であり、動力伝達部材140´は、凹凸形状の突出部138´と噛み合うベルトである。凹凸形状の突出部138´は、図10〜図12に示すように、ハウジング132の円周面上に円周方向に沿って形成されうる。突出部138´の凹部と凸部は、磁石134の配列平面上から見るとき、同じ幅を有するように形成されうる。動力伝達部材140´、すなわちベルトの内側面には、ハウジング132の円周面上の凹凸形状と対応する凹凸形状が形成され、ベルト140´は、図13に示すように互いに隣接した何れか2つの第2磁力部材130´に形成された凹凸形状の突出部138´と噛み合う。
次に、図14〜図18を参照してギアトレイン駆動方式について説明する。ここで、図2及び図5〜図8に示す構成要素と同じ構成要素は、参照番号を同一に付し、これらについての具体的な説明は省略する。
図14に示すように、第2磁力部材130´´は、第1磁力部材120と一対一に対応し、第1磁力部材120と対向するようにチャンバー22の外側に提供される。第2磁力部材130´´は、図15〜図17に示すように、円板形状のハウジング132を有し、ハウジング132の内部には、磁石134が提供される。各々の磁石134は、円板形状を有し、ハウジング132の中央を中心にリング形状をなすように配列される。隣接した磁石134は、磁石134の配列平面上から見るとき、互いに異なる極性を有するように配置される。そして、第2磁力部材130´´の磁石134は、第1磁力部材120の磁石124と相異なる極性を有するように配置される。このような磁石124、134の配置構造により、第1磁力部材120と第2磁力部材130´´との間には、磁気的引力が作用し、この力により第1磁力部材120と第2磁力部材130´´とがマグネチックカップリングされる。そして、磁石134の一側には、磁石134間に伝達される磁力を強くするために、ステンレススチール材質の補強板135が配置されうる。
また、図14に示すように、第1磁力部材120とマグネチックカップリングされた第2磁力部材130´´のそれぞれは、回転軸136とベアリング部材137とにより回転可能に支持される。第2磁力部材130´´のそれぞれは、互いに隣接配置された第2磁力部材130´´から回転力を伝達される。第2磁力部材130´´間の回転力の伝達は、動力伝達部材140´´によりなされ、駆動部材150は、第2磁力部材130´´のうちの何れか一つの第2磁力部材130´´に回転力を提供する。
駆動部材150の回転力を第2磁力部材130´´間に伝達するための駆動メカニズムとしては、ギアトレイン駆動方式が用いられる。図14に示すギアトレイン駆動方式の場合、第2磁力部材130´´を回転させるための外力が作用する突出部138´´は、ハウジング132の円周面上に形成されたスパーギア(Spur Gear)形状であり、動力伝達部材140´´は、スパーギア形状の突出部138´´と噛み合うギアである。スパーギア形状の突出部138´´は、図15〜図17に示すように、ハウジング132の円周面上に円周方向に沿って形成される。動力伝達部材として用いられるギア140´´は、図18に示すように互いに隣接した何れか2つの第2磁力部材130´´間に位置し、第2磁力部材130´´に形成されたスパーギア形状の突出部138´´と噛み合う。
以上で説明したように、駆動部材150の回転力を第2磁力部材130間に伝達するための駆動メカニズムとして、チェーンギア駆動方式、ベルト駆動方式、ギアトレイン駆動方式などの直接駆動方式を使用することによって、従来のベルト−プーリーアセンブリーを利用した間接駆動方式と比較して、第2磁力部材間に回転力を伝達する駆動メカニズムの構成を簡素化することができるという利点がある。
そして、駆動メカニズムの簡素化により基板処理装置の製造費用を低減することができ、基板処理装置の設備占有面積を減らして空間の活用度を上げることができる。
また、チェーンギア駆動方式、ベルト駆動方式、ギアトレイン駆動方式などの直接駆動方式を利用して第2磁力部材間に回転力を伝達するために、従来の間接駆動方式と比較して、より安定的に基板を移送することができる。
一方、上述した実施の形態で言及された第1磁力部材及び第2磁力部材は、請求項に応じては、従動磁力部材及び駆動磁力部材に該当する。
以上の説明は、本発明の技術思想を例示的に説明したものに過ぎないもので、本発明の属する技術分野における通常の知識を有した者であれば、本発明の本質的な特性から逸脱しない範囲内で多様な修正及び変形が可能であろう。したがって、本発明に開示された実施の形態は、本発明の技術思想を限定するためのものではなく説明するためのものであり、このような実施の形態によって本発明の技術思想の範囲が限定されるものではない。本発明の保護範囲は、特許請求の範囲によって解析されなければならず、それと同等の範囲内にあるすべての技術思想は、本発明の権利範囲に含まれるものと解析されなければならない。
本発明の一実施の形態による基板処理装置を示す図である。 図1における基板移送ユニットの一実施の形態を示す図である。 図2における第1磁力部材の断面図である。 図3におけるA−A´線に沿う断面図である。 図2における第2磁力部材の斜視図である。 図5における第2磁力部材の断面図である。 図6におけるB−B´線に沿う断面図である。 図2におけるC−C´線に沿う断面図である。 図1における基板移送ユニットの他の実施の形態を示す図である。 図9における第2磁力部材の斜視図である。 図10における第2磁力部材の断面図である。 図11におけるD−D´線に沿う断面図である。 図9におけるE−E´線に沿う断面図である。 図1における基板移送ユニットのさらに他の実施の形態を示す図である。 図14における第2磁力部材の斜視図である。 図15における第2磁力部材の断面図である。 図16におけるF−F´線に沿う断面図である。 図14におけるG−G´線に沿う断面図である。
符号の説明
22 チャンバー
100 基板移送ユニット
110 シャフト
120 第1磁力部材
124、134 磁石
130、130´、130´´ 第2磁力部材
138a、138b、138´、138´´ 突出部
140、140´、140´´ 動力伝達部材
150 駆動部材

Claims (17)

  1. 基板を移送する基板移送ユニットであって、
    互いに並んで配列される基板移送用のシャフトと、
    前記シャフトの一端に設置される第1磁力部材と、
    前記第1磁力部材とマグネチックカップリングされるように対向して設置され、円周面に沿って複数の突出部の形成された第2磁力部材と、
    前記第2磁力部材のうち、隣接した何れか2つの前記第2磁力部材に形成された前記突出部との噛み合いにより、前記第2磁力部材間に回転力を伝達する動力伝達部材と、
    前記第2磁力部材のうちの何れか一つに回転力を提供する駆動部材と、を備えることを特徴とする基板移送ユニット。
  2. 前記突出部は、チェーンギアの歯形に形成され、
    前記動力伝達部材は、チェーンギアの歯形の前記突出部と噛み合うチェーンからなることを特徴とする請求項1に記載の基板移送ユニット。
  3. 前記突出部は、円周方向に沿って凹凸形状に形成され、
    前記動力伝達部材は、凹凸形状の前記突出部と噛み合うベルトからなることを特徴とする請求項1に記載の基板移送ユニット。
  4. 前記突出部は、スパーギア形状に形成され、
    前記動力伝達部材は、前記スパーギア形状の前記突出部と噛み合うギアからなることを特徴とする請求項1に記載の基板移送ユニット。
  5. 前記第1及び第2磁力部材のそれぞれは、
    ハウジングと、
    前記ハウジング内に配置される複数の磁石と、を備え、
    前記第1磁力部材の前記磁石と前記第2磁力部材の前記磁石とは、互いに対向し異なる極性を有するように設置されることを特徴とする請求項1に記載の基板移送ユニット。
  6. 前記第1及び第2磁力部材のそれぞれは、
    ハウジングと、
    前記ハウジング内にリング形状の配列をなすように配置された板状の磁石と、を備え、
    前記第1磁力部材の前記磁石は、相異なる極性間に隣接配置され、前記第2磁力部材の前記磁石は、相異なる極性間に隣接配置され、前記第1及び第2磁力部材の互いに対向する前記磁石は、相異なる極性を有するように配置されることを特徴とする請求項1に記載の基板移送ユニット。
  7. 基板処理工程が行われる工程チャンバーと、
    前記工程チャンバー内に並んで配列され、基板と接触される複数のローラの設置された移送用のシャフトと、
    前記シャフトの一端に設置される円板形の第1磁力部材と、
    前記工程チャンバーの外側に前記第1磁力部材と対向するように設置される円板形の第2磁力部材と、
    前記第2磁力部材の間に回転力を伝達する動力伝達部材と、
    前記第2磁力部材のうちの何れか一つに回転力を提供する駆動部材と、を備え、
    前記第2磁力部材の円周面上には、円周方向に沿って複数の突出部が形成され、前記動力伝達部材は、隣接した何れか2つの前記第2磁力部材に形成された前記突出部との噛み合いにより回転力を伝達することを特徴とする基板処理装置。
  8. 前記突出部は、チェーンギアの歯形に形成され、
    前記動力伝達部材は、チェーンギアの歯形の前記突出部と噛み合うチェーンからなることを特徴とする請求項7に記載の基板処理装置。
  9. 前記突出部は、円周方向に沿って凹凸形状に形成され、
    前記動力伝達部材は、凹凸形状の前記突出部と噛み合うベルトからなることを特徴とする請求項7に記載の基板処理装置。
  10. 前記突出部は、スパーギア形状に形成され、
    前記動力伝達部材は、前記スパーギア形状の前記突出部と噛み合うギアからなることを特徴とする請求項7に記載の基板処理装置。
  11. 前記第1及び第2磁力部材のそれぞれは、
    円板形状のハウジングと、
    前記ハウジング内にリング形状の配列をなすように配置された板状の磁石と、を備え、
    前記第1磁力部材の前記磁石は、相異なる極性間に隣接配置され、前記第2磁力部材の前記磁石は、相異なる極性間に隣接配置され、前記第1磁力部材及び前記第2磁力部材の互いに対向する前記磁石は、相異なる極性を有するように配置されることを特徴とする請求項7に記載の基板処理装置。
  12. マグネチックカップリングされた従動磁力部材に回転力を提供する駆動磁力部材であって、
    円板形状の回転可能なハウジングと、
    前記ハウジング内に配置される複数の磁石と、を備え、
    前記ハウジングは、前記ハウジングを回転させる外力が作用できるように、円周面に沿って突出形成された複数の突出部を有することを特徴とする駆動磁力部材。
  13. 前記複数の突出部は、チェーンギアの歯形に形成されることを特徴とする請求項12に記載の駆動磁力部材。
  14. 前記複数の突出部は、円周方向に沿って凹凸形状に形成されることを特徴とする請求項12に記載の駆動磁力部材。
  15. 前記複数の突出部は、スパーギア形状に形成されることを特徴とする請求項12に記載の駆動磁力部材。
  16. 前記複数の磁石は、リング形状の配列をなすように前記ハウジング内に配置されることを特徴とする請求項13乃至15のうちの何れか1項に記載の駆動磁力部材。
  17. 前記複数の磁石は、互いに相異なる極性同士が隣接するように配置されることを特徴とする請求項16に記載の駆動磁力部材。
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