JP2009124131A - 駆動磁力部材と、これを利用した基板移送ユニット及び基板処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】直接駆動方式を使用することによって、駆動メカニズムの構成を簡素化し、より安定的に基板を移送できる駆動磁力部材と、これを利用した基板移送ユニット及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を移送する基板移送ユニットは、互いに並んで配列される基板移送用のシャフトと、前記シャフトの一端に設置される第１磁力部材と、前記第１磁力部材とマグネチックカップリング（Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｃｏｕｐｌｉｎｇ）されるように対向して設置され、円周面に沿って複数の突出部の形成された第２磁力部材と、前記第２磁力部材のうち、隣接した何れか２つの前記第２磁力部材に形成された前記突出部との噛み合いにより、前記第２磁力部材間に回転力を伝達する動力伝達部材と、前記第２磁力部材のうちの何れか一つに回転力を提供する駆動部材と、を備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、基板を処理する装置に関し、さらに詳細には、マグネチックカップリングにより駆動力を提供する駆動磁力部材と、これを利用してウエハ又は平板表示素子の製造に用いられる基板を移送する基板移送ユニット及び基板移送ユニットが備えられた基板処理装置に関する。

最近になって、情報処理機器は、多様な形態の機能とより速くなった情報処理速度を有するように急速に発展しつつある。このような情報処理機器は、稼働した情報を表示する表示パネルを有する。今まで表示パネルとしては、主にブラウン管（Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ Ｔｕｂｅ）モニターが使用されたが、最近では、技術の急速な発展につれて、軽くかつ空間を小さく占める液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）のような平板ディスプレイ装置の使用が急激に増大している。

平板型ディスプレイ装置を製造するためには、蒸着、酸化、拡散、エッチング、洗浄などの多様な工程が行われ、平板型ディスプレイ装置に用いられる基板は、移送ユニットにより各々の工程が行われる処理ユニット間又は処理ユニット内で移送される。

移送ユニットは、並んで配置されて回転するシャフトと、各々のシャフトを挿入しシャフトと共に回転するように設置されたローラを有する。シャフトは、一般に、両端支持された状態で駆動部材の回転力を伝達されて回転し、シャフトに設置されたローラは、シャフトと共に回転しつつ基板を移送する。

従来では、駆動部材の回転力をシャフトに伝達するために、ギアのような機械的接触方式による動力伝達メカニズムが主に用いられたが、機械的接触方式は、動力伝達過程でギアの摩耗などによって多くのパーティクルが発生するという問題点を有する。そのため、最近では、直接的に接触せずに駆動部材の回転力をシャフトに伝達するための手段として、磁力を利用した動力伝達メカニズムが主に用いられている。

本発明の目的は、動力伝達メカニズムの構成を簡素化して、費用を低減し、かつ空間の活用度を上げることができる駆動磁力部材と、これを利用した基板移送ユニット及び基板処理装置を提供することにある。

また、本発明の他の目的は、安定した基板の移送を具現できる駆動磁力部材と、これを利用した基板移送ユニット及び基板処理装置を提供することにある。

本発明の目的は、ここに制限されず、言及されないさらに他の目的は、以下の記載から当業者が明確に理解できるはずであろう。

上記の課題を達成すべく、本発明による基板移送ユニットは、基板を移送する基板移送ユニットであって、互いに並んで配列される基板移送用のシャフトと、前記シャフトの一端に設置される第１磁力部材と、前記第１磁力部材とマグネチックカップリング（Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｃｏｕｐｌｉｎｇ）されるように対向して設置され、円周面に沿って複数の突出部の形成された第２磁力部材と、前記第２磁力部材のうち、隣接した何れか２つの前記第２磁力部材に形成された前記突出部との噛み合いにより、前記第２磁力部材間に回転力を伝達する動力伝達部材と、前記第２磁力部材のうちの何れか一つに回転力を提供する駆動部材と、を備えることを特徴とする。

上述のような構成を有する本発明による基板移送ユニットにおいて、前記突出部は、チェーンギア（Ｓｐｒｏｃｋｅｔ）の歯形に形成され、前記動力伝達部材は、チェーンギアの歯形の前記突出部と噛み合うチェーンからなりうる。

前記突出部は、円周方向に沿って凹凸形状に形成され、前記動力伝達部材は、凹凸形状の前記突出部と噛み合うベルトからなりうる。

前記突出部は、スパーギア（Ｓｐｕｒ Ｇｅａｒ）形状に形成され、前記動力伝達部材は、前記スパーギア形状の前記突出部と噛み合うギアからなりうる。

前記第１及び第２磁力部材のそれぞれは、ハウジングと、前記ハウジング内に配置される複数の磁石と、を備え、前記第１磁力部材の前記磁石と前記第２磁力部材の前記磁石とは、互いに対向し異なる極性を有するように設置されうる。

前記第１及び第２磁力部材のそれぞれは、ハウジングと、前記ハウジング内にリング形状の配列をなすように配置された板状の磁石と、を備え、前記第１磁力部材の前記磁石は、相異なる極性間に隣接配置され、前記第２磁力部材の前記磁石は、相異なる極性間に隣接配置され、前記第１及び第２磁力部材の互いに対向する前記磁石は、相異なる極性を有するように配置されうる。

上記の課題を達成すべく、本発明による基板処理装置は、基板処理工程が行われる工程チャンバーと、前記工程チャンバー内に並んで配列され、基板と接触される複数のローラの設置された移送用のシャフトと、前記シャフトの一端に設置される円板形の第１磁力部材と、前記工程チャンバーの外側に前記第１磁力部材と対向するように設置される円板形の第２磁力部材と、前記第２磁力部材の間に回転力を伝達する動力伝達部材と、前記第２磁力部材のうちの何れか一つに回転力を提供する駆動部材と、を備え、前記第２磁力部材の円周面上には、円周方向に沿って複数の突出部が形成され、前記動力伝達部材は、隣接した何れか２つの前記第２磁力部材に形成された前記突出部との噛み合いにより回転力を伝達することを特徴とする。

上述のような構成を有する本発明による基板処理装置において、前記突出部は、チェーンギア（Ｓｐｒｏｃｋｅｔ）の歯形に形成され、前記動力伝達部材は、チェーンギアの歯形の前記突出部と噛み合うチェーンからなりうる。

前記突出部は、円周方向に沿って凹凸形状に形成され、前記動力伝達部材は、凹凸形状の前記突出部と噛み合うベルトからなりうる。

前記突出部は、スパーギア（Ｓｐｕｒ Ｇｅａｒ）形状に形成され、前記動力伝達部材は、前記スパーギア形状の前記突出部と噛み合うギアからなりうる。

前記第１及び第２磁力部材のそれぞれは、円板形状のハウジングと、前記ハウジング内にリング形状の配列をなすように配置された板状の磁石と、を備え、前記第１磁力部材の前記磁石は、相異なる極性間に隣接配置され、前記第２磁力部材の前記磁石は、相異なる極性間に隣接配置され、前記第１磁力部材及び前記第２磁力部材の互いに対向する前記磁石は、相異なる極性を有するように配置されうる。

上記の課題を達成すべく、本発明による駆動磁力部材は、マグネチックカップリングされた従動磁力部材に回転力を提供する駆動磁力部材であって、円板形状の回転可能なハウジングと、前記ハウジング内に配置される複数の磁石と、を備え、前記ハウジングは、前記ハウジングを回転させる外力が作用できるように、円周面に沿って突出形成された複数の突出部を有することを特徴とする。

上述のような構成を有する本発明による駆動磁力部材において、前記複数の突出部は、チェーンギア（Ｓｐｒｏｃｋｅｔ）の歯形に形成されうる。

前記複数の突出部は、円周方向に沿って凹凸形状に形成されうる。

前記複数の突出部は、スパーギア（Ｓｐｕｒ Ｇｅａｒ）形状に形成されうる。

前記複数の磁石は、リング形状の配列をなすように前記ハウジング内に配置されうる。

前記複数の磁石は、互いに相異なる極性同士が隣接するように配置されうる。

本発明によれば、動力伝達メカニズムの構成を簡素化することができる。

そして、本発明によれば、基板処理装置の製造費用を低減し、基板処理装置の設備占有面積を減らして、空間の活用度を上げることができる。

また、本発明によれば、安定した基板の移送を実現することができる。

以下、添付された図面を参照して、本発明の好ましい実施の形態による駆動磁力部材と、これを利用した基板移送ユニット及び基板処理装置を詳細に説明する。まず、各図面の構成要素に参照符号を付するに当たって、同じ構成要素に対しては、たとえ他の図面上に表示されても可能なかぎり同じ符号を付していることに留意すべきである。また、本発明を説明するにおいて、本発明と関連した公知構成又は機能に対する具体的な説明が本発明の要旨を不明にすると判断される場合には、その詳細な説明を省略する。
（実施の形態）
本実施の形態で基板Ｓは、平板ディスプレイ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）装置の製造に用いられるガラス基板を例に挙げて説明する。しかしながら、基板Ｓは、上述したガラス基板の他に半導体デバイスの製造に用いられるウエハでありうる。
図１は、本発明の一実施の形態による基板処理装置１を示す図である。図１に示すように、基板処理装置１は、複数のチャンバー１０、２２、２４、３０、基板移送ユニット１００、及び洗浄ユニット２００、３００を備える。それぞれのチャンバー１０、２２、２４、３０は、基板処理工程が行われる空間を提供する。基板移送ユニット１００は、チャンバー１０、２２、２４、３０間に、そしてチャンバー１０、２２、２４、３０内で基板Ｓを一方向へ移動させる。洗浄ユニット２００、３００は、チャンバー２２、２４内で基板移送ユニット１００により移送される基板Ｓを洗浄する。

以下では、上述した構成要素について詳細に説明する。

それぞれのチャンバー１０、２２、２４、３０は、内部が空いている、概して直六面体形状を有する。チャンバー１０、２２、２４、３０は、一列に並んで配置される。それぞれのチャンバー１０、２２、２４、３０の一側壁には、チャンバー１０、２２、２４、３０に基板Ｓが流入する流入口１２が提供され、これと対向する他側壁には、チャンバー１０、２２、２４、３０から基板Ｓが流出する流出口１４が提供される。基板Ｓは、流入口１２及び流出口１４を介して最も前方に位置したチャンバーから最も後方に位置したチャンバーまで順次移送される。各チャンバー１０、２２、２４、３０内では、基板Ｓに対して所定の工程が行われる。チャンバー１０、２２、２４、３０のうちの少なくとも一つのチャンバー２２、２４では、洗浄工程が行われる。洗浄工程が行われるチャンバー２２の前方に位置したチャンバー１０では、エッチング工程が行われ、洗浄工程が行われるチャンバー２４の後方に位置したチャンバー３０では、乾燥工程が行われることができる。

一例によれば、第１洗浄チャンバー２２、第２洗浄チャンバー２４、及び乾燥チャンバー３０は、一列に順次配置される。第１洗浄チャンバー２２と第２洗浄チャンバー２４には、洗浄ユニット２００、３００が設置される。第１洗浄チャンバー２２に提供された洗浄ユニットは、ブラシ洗浄部材２００であり、第２洗浄チャンバー２４に提供された洗浄ユニットは、流体供給ノズル（Ｆｌｕｉｄ Ｓｕｐｐｌｙ Ｎｏｚｚｌｅ）３００である。

基板Ｓは、第１洗浄チャンバー２２と第２洗浄チャンバー２４とに移送されつつ洗浄され、以後、乾燥チャンバー３０に移送されて乾燥される。ブラシ洗浄部材２００は、基板Ｓ上の領域をブラシの物理的接触力を利用して洗浄する。流体供給ノズル３００は、第１洗浄チャンバー２２から除去されないパーティクルとブラシ洗浄部材２００により基板Ｓから除去されたが、基板Ｓ上に又は基板Ｓの上部に残留するパーティクルを基板Ｓから除去する。流体供給ノズル３００は、脱イオン水に高圧のガスを供給して、脱イオン水を噴霧状態にした後、噴霧状態の脱イオン水を基板Ｓに噴射する構造を有する。流体供給ノズル３００としては、一方向に長い長さを有するスリットノズルが用いられうる。

乾燥チャンバー３０には、基板Ｓに乾燥ガスを供給する乾燥ノズル３０ａが設置される。乾燥ノズル３０ａは、加熱した空気又は加熱した窒素ガスのような不活性ガスなどを供給して、基板Ｓを乾燥することができる。選択的に乾燥ノズル３０ａは、イソプロピルアルコール（Ｉｓｏ−Ｐｒｏｐｙｌ Ａｌｃｏｈｏｌ、ＩＰＡ）のような有機溶剤を基板Ｓに供給した後、上述した加熱した空気などを基板Ｓに供給して基板Ｓを乾燥することができる。乾燥ノズル３０ａとしては、一方向に長い長さを有するスリットノズルが用いられうる。

図２は、図１の基板移送ユニット１００の一実施の形態を示す図である。

図２に示すように、基板移送ユニット１００は、複数のシャフト１１０を有する。シャフト１１０は、チャンバー２２内に互いに平行に並んで配置される。シャフト１１０は、流入口（図１の図面符号１２）と隣接した位置から流出口（図１の図面符号１４）と隣接した位置まで提供される。各々のシャフト１１０には、その長さ方向に沿って複数のローラ１１２が設置される。ローラ１１２は、基板の下面と接触する。シャフト１１０の回転によりローラ１１２が回転され、基板Ｓは、その下面がローラ１１２に接触された状態でシャフト１１０の配列方向に沿って直線移動する。シャフト１１０は、基板Ｓが水平状態で移送されるように水平に配置されうる。選択的に基板Ｓが傾斜した状態で移送されるように、シャフト１１０の一端と他端とは、相異なる高さに位置できる。

第１磁力部材１２０は、チャンバー２２の内側に配置されたシャフト１１０の一端に各々設置される。第２磁力部材１３０は、チャンバー２２の外側に第１磁力部材１２０と対向するように設置される。第１磁力部材１２０の内部と第２磁力部材１３０の内部には、後述する磁石１２４、１３４が内蔵される。磁石１２４、１３４の相互間の磁力により、第１磁力部材１２０と第２磁力部材１３０とは、マグネチックカップリング（Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｃｏｕｐｌｉｎｇ）される。

第１磁力部材１２０のそれぞれは、図３及び図４に示すように、ハウジング１２２と磁石１２４とを備える。ハウジング１２２は、円板形状を有し、ハウジング１２２の中心がシャフト１１０の中心と整列された状態でシャフト１１０の一端に結合される。ハウジング１２２は、ポリ塩化ビニール（ＰＶＣ）材質から製造されうる。ハウジング１２２の内部には、磁石１２４が設置される空間が提供される。磁石１２４は、図４に示すように、概８個が提供されることができ、これとは異なる数の磁石１２４が提供されることもできる。それぞれの磁石１２４は、円板形状を有し、ハウジング１２２の中央を中心にリング形状をなすように配列される。隣接した磁石１２４は、磁石１２４の配列平面上から見るとき、互いに異なる極性を有するように配置される。すなわち、Ｎ極の極性を有する磁石１２４とＳ極の極性を有する磁石１２４とが交互に配置される。そして、磁石１２４の一側には、磁石１２４間に伝達される磁力を強くするために、ステンレススチール材質の補強板１２５が配置されうる。

第２磁力部材１３０は、第１磁力部材１２０と一対一に対応し、第１磁力部材１２０と対向するように、チャンバー２２の外側に提供される。第２磁力部材１３０は、図５〜図７に示すように、円板形状のハウジング１３２を有し、ハウジング１３２の内部には、磁石１３４が提供される。磁石１３４は、円板形状を有し、磁石１３４の配置構造は、第１磁力部材１２０の磁石１２４の配置構造と似ている。ただし、第２磁力部材１３０の磁石１３４は、第１磁力部材１２０の磁石１２４と相異なる極性を有するように配置される。すなわち、第２磁力部材１３０の磁石１３４のうち、Ｎ極の極性を有する磁石１３４は、第１磁力部材１２０のＳ極の極性を有する磁石１２４と対向するように配置され、第２磁力部材１３０の磁石１３４のうち、Ｓ極の極性を有する磁石１３４は、第１磁力部材１２０のＮ極の極性を有する磁石１２４と対向するように配置される。このような磁石１２４、１３４の配置構造により、第１磁力部材１２０と第２磁力部材１３０との間には、磁気的引力が作用し、この力により第１磁力部材１２０と第２磁力部材１３０とがマグネチックカップリングされる。そして、磁石１３４の一側には、磁石１３４間に伝達される磁力を強くするために、ステンレススチール材質の補強板１３５が配置されうる。

また、図２に示すように、第１磁力部材１２０とマグネチックカップリングされた第２磁力部材１３０のそれぞれは、回転軸１３６とベアリング部材１３７とにより回転可能に支持される。第２磁力部材１３０のそれぞれは、互いに隣接配置された第２磁力部材１３０から回転力を伝達される。第２磁力部材１３０間の回転力の伝達は、動力伝達部材１４０によりなされ、駆動部材１５０は、第２磁力部材１３０のうちの何れか一つの第２磁力部材１３０に回転力を提供する。駆動部材１５０の回転力が何れか一つの第２磁力部材１３０に提供されれば、隣接配置された第２磁力部材１３０間には、動力伝達部材１４０により回転力が伝達され、第２磁力部材１３０の回転力は、第２磁力部材１３０とマグネチックカップリングされた第１磁力部材１２０に伝達される。このような駆動メカニズムにより駆動部材１５０の回転力が第１磁力部材１２０と結合されたシャフト１１０に最終伝達されることによって、シャフト１１０のローラ１１２に接触支持された基板Ｓが一方向へ移送される。

駆動部材１５０の回転力を第２磁力部材１３０間に伝達するための駆動メカニズムとしては、チェーンギア（Ｓｐｒｏｃｋｅｔ）駆動方式、ベルト駆動方式、ギアトレイン（Ｇｅａｒ Ｔｒａｉｎ）駆動方式などの直接駆動方式が用いられうる。直接駆動方式とは、駆動部材１５０の回転力を少なくとも一つの第２磁力部材１３０に直接伝達し、第２磁力部材１３０間にも回転力が直接伝達される駆動方式のことをいう。これと対応される概念である間接駆動方式は、駆動部材１５０の回転力がベルト−プーリーアセンブリーのような中間媒介体を経て、間接的に第２磁力部材１３０に伝達される駆動方式のことをいう。

直接駆動方式を利用して駆動部材１５０の回転力を第２磁力部材１３０に伝達するためには、第２磁力部材１３０の円周面上には、第２磁力部材１３０を回転させる外力が作用するように突出部が形成されなければならず、動力伝達部材１４０は、隣接した何れか２つの第２磁力部材１３０に形成された突出部と噛み合わなければならない。

例えば、図２に示すチェーンギア駆動方式の場合、突出部は、チェーンギア（Ｓｐｒｏｃｋｅｔ）の歯形で、動力伝達部材１４０は、チェーンギアの歯形と噛み合うチェーン（Ｃｈａｉｎ）である。チェーンギアの歯形１３８ａ、１３８ｂは、図５〜図７に示すように、ハウジング１３２の円周面上に円周方向に沿って一定間隔をなすように形成されることができ、ハウジング１３２の回転軸方向に沿って２列構造で並んで形成されることができる。動力伝達部材１４０、すなわちチェーンは、図８に示すように、互いに隣接した何れか２つの第２磁力部材１３０に形成されたチェーンギアの歯形１３８ａ、１３８ｂと噛み合う。一方、駆動部材１５０は、第２磁力部材１３０のうちの何れか一つに直接回転力を伝達するように提供されることができ、またチェーンギア駆動方式として第２磁力部材１３０に回転力を伝達するように提供されることもできる。

以下では、駆動部材１５０の回転力を第２磁力部材１３０間に伝達するための駆動メカニズムとして、ベルト駆動方式と、ギアトレイン（Ｇｅａｒ Ｔｒａｉｎ）駆動方式を例に挙げて説明する。

まず、図９〜図１３を参照して、ベルト駆動方式について説明する。ここで、図２及び図５〜図８に示された構成要素と同じ構成要素は、参照番号を同一に付し、これらについての具体的な説明は省略する。

図９に示すように、第２磁力部材１３０´は、第１磁力部材１２０と一対一に対応し、第１磁力部材１２０と対向するようにチャンバー２２の外側に提供される。第２磁力部材１３０´は、図１０〜図１２に示すように、円板形状のハウジング１３２を有し、ハウジング１３２の内部には、磁石１３４が提供される。各々の磁石１３４は、円板形状を有し、ハウジング１３２の中央を中心にリング形状をなすように配列される。隣接した磁石１３４は、磁石１３４の配列平面上から見るとき、互いに異なる極性を有するように配置される。そして、第２磁力部材１３０´の磁石１３４は、第１磁力部材１２０の磁石１２４と相異なる極性を有するように配置される。このような磁石１２４、１３４の配置構造により、第１磁力部材１２０と第２磁力部材１３０´との間には磁気的引力が作用し、この力により第１磁力部材１２０と第２磁力部材１３０´とがマグネチックカップリングされる。そして、磁石１３４の一側には、磁石１３４間に伝達される磁力を強くするために、ステンレススチール材質の補強板１３５が配置されうる。

また、図９に示すように、第１磁力部材１２０とマグネチックカップリングされた第２磁力部材１３０´の各々は、回転軸１３６とベアリング部材１３７により回転可能に支持される。第２磁力部材１３０´の各々は、互いに隣接配置された第２磁力部材１３０´から回転力を伝達される。第２磁力部材１３０´間の回転力の伝達は、動力伝達部材１４０´によりなされ、駆動部材１５０は、第２磁力部材１３０´のうち、何れか一つの第２磁力部材１３０´に回転力を提供する。

駆動部材１５０の回転力を第２磁力部材１３０´間に伝達するための駆動メカニズムとして、ベルト駆動方式が用いられる。図９に示すベルト駆動方式の場合、第２磁力部材１３０´を回転させるための外力が作用する突出部１３８´は、ハウジング１３２の円周面上に形成された凹凸形状であり、動力伝達部材１４０´は、凹凸形状の突出部１３８´と噛み合うベルトである。凹凸形状の突出部１３８´は、図１０〜図１２に示すように、ハウジング１３２の円周面上に円周方向に沿って形成されうる。突出部１３８´の凹部と凸部は、磁石１３４の配列平面上から見るとき、同じ幅を有するように形成されうる。動力伝達部材１４０´、すなわちベルトの内側面には、ハウジング１３２の円周面上の凹凸形状と対応する凹凸形状が形成され、ベルト１４０´は、図１３に示すように互いに隣接した何れか２つの第２磁力部材１３０´に形成された凹凸形状の突出部１３８´と噛み合う。

次に、図１４〜図１８を参照してギアトレイン駆動方式について説明する。ここで、図２及び図５〜図８に示す構成要素と同じ構成要素は、参照番号を同一に付し、これらについての具体的な説明は省略する。

図１４に示すように、第２磁力部材１３０´´は、第１磁力部材１２０と一対一に対応し、第１磁力部材１２０と対向するようにチャンバー２２の外側に提供される。第２磁力部材１３０´´は、図１５〜図１７に示すように、円板形状のハウジング１３２を有し、ハウジング１３２の内部には、磁石１３４が提供される。各々の磁石１３４は、円板形状を有し、ハウジング１３２の中央を中心にリング形状をなすように配列される。隣接した磁石１３４は、磁石１３４の配列平面上から見るとき、互いに異なる極性を有するように配置される。そして、第２磁力部材１３０´´の磁石１３４は、第１磁力部材１２０の磁石１２４と相異なる極性を有するように配置される。このような磁石１２４、１３４の配置構造により、第１磁力部材１２０と第２磁力部材１３０´´との間には、磁気的引力が作用し、この力により第１磁力部材１２０と第２磁力部材１３０´´とがマグネチックカップリングされる。そして、磁石１３４の一側には、磁石１３４間に伝達される磁力を強くするために、ステンレススチール材質の補強板１３５が配置されうる。

また、図１４に示すように、第１磁力部材１２０とマグネチックカップリングされた第２磁力部材１３０´´のそれぞれは、回転軸１３６とベアリング部材１３７とにより回転可能に支持される。第２磁力部材１３０´´のそれぞれは、互いに隣接配置された第２磁力部材１３０´´から回転力を伝達される。第２磁力部材１３０´´間の回転力の伝達は、動力伝達部材１４０´´によりなされ、駆動部材１５０は、第２磁力部材１３０´´のうちの何れか一つの第２磁力部材１３０´´に回転力を提供する。

駆動部材１５０の回転力を第２磁力部材１３０´´間に伝達するための駆動メカニズムとしては、ギアトレイン駆動方式が用いられる。図１４に示すギアトレイン駆動方式の場合、第２磁力部材１３０´´を回転させるための外力が作用する突出部１３８´´は、ハウジング１３２の円周面上に形成されたスパーギア（Ｓｐｕｒ Ｇｅａｒ）形状であり、動力伝達部材１４０´´は、スパーギア形状の突出部１３８´´と噛み合うギアである。スパーギア形状の突出部１３８´´は、図１５〜図１７に示すように、ハウジング１３２の円周面上に円周方向に沿って形成される。動力伝達部材として用いられるギア１４０´´は、図１８に示すように互いに隣接した何れか２つの第２磁力部材１３０´´間に位置し、第２磁力部材１３０´´に形成されたスパーギア形状の突出部１３８´´と噛み合う。

以上で説明したように、駆動部材１５０の回転力を第２磁力部材１３０間に伝達するための駆動メカニズムとして、チェーンギア駆動方式、ベルト駆動方式、ギアトレイン駆動方式などの直接駆動方式を使用することによって、従来のベルト−プーリーアセンブリーを利用した間接駆動方式と比較して、第２磁力部材間に回転力を伝達する駆動メカニズムの構成を簡素化することができるという利点がある。

そして、駆動メカニズムの簡素化により基板処理装置の製造費用を低減することができ、基板処理装置の設備占有面積を減らして空間の活用度を上げることができる。

また、チェーンギア駆動方式、ベルト駆動方式、ギアトレイン駆動方式などの直接駆動方式を利用して第２磁力部材間に回転力を伝達するために、従来の間接駆動方式と比較して、より安定的に基板を移送することができる。

一方、上述した実施の形態で言及された第１磁力部材及び第２磁力部材は、請求項に応じては、従動磁力部材及び駆動磁力部材に該当する。

以上の説明は、本発明の技術思想を例示的に説明したものに過ぎないもので、本発明の属する技術分野における通常の知識を有した者であれば、本発明の本質的な特性から逸脱しない範囲内で多様な修正及び変形が可能であろう。したがって、本発明に開示された実施の形態は、本発明の技術思想を限定するためのものではなく説明するためのものであり、このような実施の形態によって本発明の技術思想の範囲が限定されるものではない。本発明の保護範囲は、特許請求の範囲によって解析されなければならず、それと同等の範囲内にあるすべての技術思想は、本発明の権利範囲に含まれるものと解析されなければならない。

本発明の一実施の形態による基板処理装置を示す図である。 図１における基板移送ユニットの一実施の形態を示す図である。 図２における第１磁力部材の断面図である。 図３におけるＡ−Ａ´線に沿う断面図である。 図２における第２磁力部材の斜視図である。 図５における第２磁力部材の断面図である。 図６におけるＢ−Ｂ´線に沿う断面図である。 図２におけるＣ−Ｃ´線に沿う断面図である。 図１における基板移送ユニットの他の実施の形態を示す図である。 図９における第２磁力部材の斜視図である。 図１０における第２磁力部材の断面図である。 図１１におけるＤ−Ｄ´線に沿う断面図である。 図９におけるＥ−Ｅ´線に沿う断面図である。 図１における基板移送ユニットのさらに他の実施の形態を示す図である。 図１４における第２磁力部材の斜視図である。 図１５における第２磁力部材の断面図である。 図１６におけるＦ−Ｆ´線に沿う断面図である。 図１４におけるＧ−Ｇ´線に沿う断面図である。

符号の説明

２２ チャンバー
１００ 基板移送ユニット
１１０ シャフト
１２０ 第１磁力部材
１２４、１３４ 磁石
１３０、１３０´、１３０´´ 第２磁力部材
１３８ａ、１３８ｂ、１３８´、１３８´´ 突出部
１４０、１４０´、１４０´´ 動力伝達部材
１５０ 駆動部材

Claims (17)

1. 基板を移送する基板移送ユニットであって、
   互いに並んで配列される基板移送用のシャフトと、
   前記シャフトの一端に設置される第１磁力部材と、
   前記第１磁力部材とマグネチックカップリングされるように対向して設置され、円周面に沿って複数の突出部の形成された第２磁力部材と、
   前記第２磁力部材のうち、隣接した何れか２つの前記第２磁力部材に形成された前記突出部との噛み合いにより、前記第２磁力部材間に回転力を伝達する動力伝達部材と、
   前記第２磁力部材のうちの何れか一つに回転力を提供する駆動部材と、を備えることを特徴とする基板移送ユニット。
2. 前記突出部は、チェーンギアの歯形に形成され、
   前記動力伝達部材は、チェーンギアの歯形の前記突出部と噛み合うチェーンからなることを特徴とする請求項１に記載の基板移送ユニット。
3. 前記突出部は、円周方向に沿って凹凸形状に形成され、
   前記動力伝達部材は、凹凸形状の前記突出部と噛み合うベルトからなることを特徴とする請求項１に記載の基板移送ユニット。
4. 前記突出部は、スパーギア形状に形成され、
   前記動力伝達部材は、前記スパーギア形状の前記突出部と噛み合うギアからなることを特徴とする請求項１に記載の基板移送ユニット。
5. 前記第１及び第２磁力部材のそれぞれは、
   ハウジングと、
   前記ハウジング内に配置される複数の磁石と、を備え、
   前記第１磁力部材の前記磁石と前記第２磁力部材の前記磁石とは、互いに対向し異なる極性を有するように設置されることを特徴とする請求項１に記載の基板移送ユニット。
6. 前記第１及び第２磁力部材のそれぞれは、
   ハウジングと、
   前記ハウジング内にリング形状の配列をなすように配置された板状の磁石と、を備え、
   前記第１磁力部材の前記磁石は、相異なる極性間に隣接配置され、前記第２磁力部材の前記磁石は、相異なる極性間に隣接配置され、前記第１及び第２磁力部材の互いに対向する前記磁石は、相異なる極性を有するように配置されることを特徴とする請求項１に記載の基板移送ユニット。
7. 基板処理工程が行われる工程チャンバーと、
   前記工程チャンバー内に並んで配列され、基板と接触される複数のローラの設置された移送用のシャフトと、
   前記シャフトの一端に設置される円板形の第１磁力部材と、
   前記工程チャンバーの外側に前記第１磁力部材と対向するように設置される円板形の第２磁力部材と、
   前記第２磁力部材の間に回転力を伝達する動力伝達部材と、
   前記第２磁力部材のうちの何れか一つに回転力を提供する駆動部材と、を備え、
   前記第２磁力部材の円周面上には、円周方向に沿って複数の突出部が形成され、前記動力伝達部材は、隣接した何れか２つの前記第２磁力部材に形成された前記突出部との噛み合いにより回転力を伝達することを特徴とする基板処理装置。
8. 前記突出部は、チェーンギアの歯形に形成され、
   前記動力伝達部材は、チェーンギアの歯形の前記突出部と噛み合うチェーンからなることを特徴とする請求項７に記載の基板処理装置。
9. 前記突出部は、円周方向に沿って凹凸形状に形成され、
   前記動力伝達部材は、凹凸形状の前記突出部と噛み合うベルトからなることを特徴とする請求項７に記載の基板処理装置。
10. 前記突出部は、スパーギア形状に形成され、
    前記動力伝達部材は、前記スパーギア形状の前記突出部と噛み合うギアからなることを特徴とする請求項７に記載の基板処理装置。
11. 前記第１及び第２磁力部材のそれぞれは、
    円板形状のハウジングと、
    前記ハウジング内にリング形状の配列をなすように配置された板状の磁石と、を備え、
    前記第１磁力部材の前記磁石は、相異なる極性間に隣接配置され、前記第２磁力部材の前記磁石は、相異なる極性間に隣接配置され、前記第１磁力部材及び前記第２磁力部材の互いに対向する前記磁石は、相異なる極性を有するように配置されることを特徴とする請求項７に記載の基板処理装置。
12. マグネチックカップリングされた従動磁力部材に回転力を提供する駆動磁力部材であって、
    円板形状の回転可能なハウジングと、
    前記ハウジング内に配置される複数の磁石と、を備え、
    前記ハウジングは、前記ハウジングを回転させる外力が作用できるように、円周面に沿って突出形成された複数の突出部を有することを特徴とする駆動磁力部材。
13. 前記複数の突出部は、チェーンギアの歯形に形成されることを特徴とする請求項１２に記載の駆動磁力部材。
14. 前記複数の突出部は、円周方向に沿って凹凸形状に形成されることを特徴とする請求項１２に記載の駆動磁力部材。
15. 前記複数の突出部は、スパーギア形状に形成されることを特徴とする請求項１２に記載の駆動磁力部材。
16. 前記複数の磁石は、リング形状の配列をなすように前記ハウジング内に配置されることを特徴とする請求項１３乃至１５のうちの何れか１項に記載の駆動磁力部材。
17. 前記複数の磁石は、互いに相異なる極性同士が隣接するように配置されることを特徴とする請求項１６に記載の駆動磁力部材。

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