JP2003040446A - 基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】基板搬送装置が構造上強度の高い回転軸により
構成され、回転軸を支持する軸受装置のシール部材を容
易に交換可能となった基板処理装置を提供する。 【解決手段】処理槽１０１と、端部が外部に突出するよ
うに処理槽内に並設された複数の回転軸１１１’、並び
に各回転軸の端部を個別に回転自在に支持し、処理槽に
対して個別に着脱可能に装着された複数の軸受ユニット
１０を有し、各回転軸の回転によって基板を搬送する基
板搬送手段１１０と、搬送される基板に対して処理液を
吐出する処理液吐出手段１０５とを備える。各回転軸は
分離不可能な少なくとも１本のロッドからそれぞれ構成
され、軸受ユニットは回転軸を支持するベアリングと、
貫通孔の一方側にベアリングを保持するハウジングと、
回転軸が挿通される挿通孔を有し、一方端側がハウジン
グ貫通孔の他方側に気密状に嵌挿される封止部材と、回
転軸及び封止部材との間を封止するシール部材とを備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、処理槽内で基板を
搬送しながら、当該基板に対し所定の処理液を吐出し
て、処理を行う基板処理装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】例えば、液晶基板を構成するＴＦＴ基板
は、種々の工程を経て製造され、各工程では、現像液や
レジスト膜の塗布、その剥離用の薬液，エッチング液或
いは洗浄液の塗布など、ＴＦＴ基板に対して各種の処理
液が塗布される。 【０００３】この内、例えば、エッチング工程では、基
板を支持して水平搬送し、搬送される基板に対しエッチ
ング液を噴射して処理を行うように構成されたエッチン
グ装置が用いられている。かかるエッチング装置の一例
を図３に示す。 【０００４】同図３に示すように、このエッチング装置
１００はＴＦＴ基板（以下、単に基板という）Ｋにエッ
チング処理を施す装置であって、上部が開口した槽本体
１０１と、この槽本体１０１の開口部を閉塞する蓋体１
０３と、前記槽本体１０１内に配設されたエッチング液
噴射装置１０５、及び基板Ｋを水平方向に搬送する搬送
装置１１０などから構成される。 【０００５】前記エッチング液噴射装置１０５は、複数
のエッチング液噴射ノズル１０６と、加圧されたエッチ
ング液を前記エッチング液噴射ノズル１０６に供給する
エッチング液供給手段（図示せず）などからなり、エッ
チング液噴射ノズル１０６は、前記搬送装置１１０によ
って搬送される基板Ｋの上方に、その幅方向及び搬送方
向に沿って配列され、搬送される基板Ｋの上面にエッチ
ング液を噴射する。 【０００６】前記搬送装置１１０は、上下に並設された
回転軸１２１，１１１を紙面に対し直交する方向に多列
に配設して構成される。尚、上方の回転軸１２１は、全
ての下方の回転軸１１１に対して、その上方に設けられ
ている必要はなく、幾つかの回転軸１１１に対して選択
的に設けられていれば足りる。 【０００７】前記下方の各回転軸１１１は、その一方端
が槽本体１０１内に配設された軸受装置１２０によって
回転自在に支持される一方、その他方端は、槽本体１０
１の側板１０２を貫通し外部に突出して、軸受装置１３
０により回転自在に支持されており、更に、その先端部
にはプーリ１２４が取り付けられている。また、前記上
方の各回転軸１２１は、その両端部が槽本体１０１内に
配設された軸受装置１２０によってそれぞれ回転自在に
支持されている。 【０００８】前記軸受装置１３０は、同図４に示すよう
に、中心軸１１２及びこの中心軸１１２に外嵌されるス
リーブ１１３，１１４からなる回転軸１１１を回転自在
に支持するベアリング１３１，１３４、このベアリング
１３１，１３４を保持する縦断面Ｕ字形状をしたブラケ
ット１３２、前記側板１０２の取付孔１０２ａに装着さ
れ、且つ取付板１４５の取付孔１４５ａに装着されて支
持される封止部材１４０、この封止部材１４０の先端部
をカバーする保護カップ１４６などからなる。尚、前記
回転軸１２１も同様に、中心軸とスリーブからなる二重
構造となっている。 【０００９】前記封止部材１４０は、外周部が大径部と
小径部の段付状に形成された軸状の部材からなり、中心
部には前記回転軸１１１が挿通される挿通孔１４１が形
成され、前記小径部側の端面には止り孔１４２が形成さ
れている。そして、この封止部材１４０は、その小径部
が前記側板１０２の取付孔１０２ａに嵌挿，装着されと
ともに、大径部が前記取付板１４５の取付孔１４５ａに
嵌挿，装着され、且つ大径部の端面がブラケット１３２
に当接した状態となっている。 【００１０】前記スリーブ１１３は、その先端部が段付
状に形成され、前記封止部材１４０の小径部端面に密接
する第２シール部材（回転シール）１４４、及び前記封
止部材１４０の止り孔１４２底面に密接する第１シール
部材（回転シール）１４３が、それぞれ外嵌されてい
る。尚、このスリーブ１１３は、エッチング液から前記
中心軸１１２を保護するために設けられており、通常、
エッチング液に対し耐腐食性を有する塩化ビニール製と
なっている。また、スリーブ１１４は、前記スリーブ１
１３の延長上に配設されており、その先端部は段付状に
形成されて、同段付部に前記ベアリング１３４及びプー
リ１２４が外嵌されている。 【００１１】前記保護カップ１４６は、テーパ孔を備え
た椀状の部材からなり、前記封止部材１４０の小径部先
端が前記テーパ孔内に位置するように、前記スリーブ１
１３に外嵌されている。尚、図４中の符号１２６はプー
リ１２４の抜けを防止する止め具である。 【００１２】また、前記ブラケット１３２は、垂直部材
１３２ａ，１３２ｃ及び水平部材１３２ｂの各部材から
なり、上述したように縦断面がＵ字状の形状をなしてい
る。このブラケット１３２は、前記回転軸１１１の配列
方向（紙面と直交する方向）に、前記側板１０２に沿っ
て延在するように配設されており、垂直部材１３２ａに
は前記各回転軸１１１を支持する複数のベアリング１３
１がそれぞれ保持され、垂直部材１３２ｃにも同様に前
記各回転軸１１１を支持する複数のベアリング１３４が
それぞれ保持されている。また、垂直部材１３２ａに
は、前記ベアリング１３１の外輪の抜けを防止する押え
蓋１３５が取り付けられており、この押え蓋１３５は図
示しない取付ボルトによって、当該垂直部材１３２ａ及
び前記封止部材１４０と共に一体的に結合されている。 【００１３】そして、前記プーリ１２４には、駆動モー
タ（図示せず）の回転動力を伝達する伝動ベルト（図示
せず）が巻き掛けられ、この伝動ベルト（図示せず）及
びプーリ１２４を介して前記駆動モータ（図示せず）の
回転動力が回転軸１１１に伝達され、更に、回転軸１１
１に伝達された回転動力が、この回転軸１１１に設けら
れたギヤ１１９及び前記回転軸１２１に設けられ前記ギ
ヤ１１９に噛合するギヤ１２３を介して回転軸１２１に
伝達され、これにより、両回転軸１１１，１２１がその
軸中心に回転する。 【００１４】また、下方の回転軸１１１には、基板Ｋの
幅より若干広い間隔をあけて一対のフランジ付ローラ１
１７が設けられ、更に、このフランジ付ローラ１１７，
１１７の間に適宜間隔で複数のローラ１１８が設けられ
ている。また、上方の回転軸１２１には、前記フランジ
付ローラ１１７の上方位置にローラ１２２が設けられて
いる。 【００１５】斯くして、この基板処理装置１００によれ
ば、前記搬送装置１１０の回転軸１１１，１２１の回転
によって、基板Ｋが前記フランジ付ローラ１１７及びロ
ーラ１２２の間に挟持された状態で、紙面に対して直交
する方向に搬送され、搬送される基板Ｋに対して、その
上面にエッチング液噴射ノズル１０６からエッチング液
が噴射され、これにより、当該基板Ｋがエッチング処理
される。 【００１６】ところで、前記第１シール部材１４３及び
第２シール部材１４４は、自身回転しながら前記封止部
材１４０に摺接しており、同摺接部が摩耗などにより損
傷して封止効果が劣化するため、これを定期的に交換す
る必要があり、かかる交換のためには、回転軸１１１と
軸受装置１３０との係合関係を解除して、これらを分離
する必要がある。 【００１７】しかるに、上記構成の軸受装置１３０で
は、各回転軸１１１をそれぞれ支持する複数のベアリン
グ１３１，１３４が、一つのブラケット１３２に保持さ
れた構造となっているため、軸受装置１３０を分解して
前記第１シール部材１４３及び第２シール部材１４４を
交換しようとすると、押え蓋１３５，垂直部材１３２ａ
及び封止部材１４０の結合関係を解除したり、ブラケッ
ト１３２の取り外しや、封止部材１４０の取り外しなど
の作業を要し、更に、再組み立てに際しては、回転軸１
１１とベアリング１３１，１３４との位置関係を正確に
位置合わせする必要があるなど、その交換作業が極めて
煩雑である。 【００１８】そこで、上述した従来の基板処理装置１０
０では、図３及び図５に示すように、回転軸１１１を構
成する中心軸１１１及びスリーブ１１３を、それぞれ中
心軸１１１ａ，１１１ｂ及びスリーブ１１３ａ，１１３
ｂの２部材から構成し、これらを槽本体１０１内の中央
部で、継手１１５により連結した構造としている。尚、
継手１１５とスリーブ１１３ａ，１１３ｂとは、ボルト
（図示せず）などによって連結されている。 【００１９】このような構造にすれば、継手１１５によ
る連結を解除し、止め具１２６を中心軸１１１ａから取
り外すことによって、容易に、回転軸１１１ａ及びスリ
ーブ１１３ａを前記軸受装置１３０から抜き取ることが
でき、前記第１シール部材１４３及び第２シール部材１
４４の交換を行うことができる。 【００２０】 【発明が解決しようとする課題】ところが、中心軸１１
１及びスリーブ１１３を２部材から構成し、これらを継
手１１５により連結した上記構造の基板処理装置１００
においても、以下に説明するような問題があった。 【００２１】即ち、エッチング液が噴射される槽本体１
０１内では、金属製の部材を内部に配置すると、エッチ
ング液に対し耐腐食性を有しないものは容易に腐食さ
れ、耐腐食性を有するものでも、微量な金属イオンの溶
出によって基板がメタル汚染されることから、通常、塩
化ビニールなどの樹脂製の部材が用いられ、前記継手１
１５についても、同様の理由から、塩化ビニール製のも
のが使用されており、その強度面での問題を生じてい
た。 【００２２】上記軸受装置１３０では、適宜間隔をあけ
て配設された２つのベアリング１３１，１３４によって
回転軸１１１（中心軸１１２ａ）を支持しており、これ
により片持ち支持の不安定さは幾分解消されているが、
それでもなお支持状態としては十分なものではなく、更
に、前記継手１１５には、軸受装置１２０によって片持
ち支持される他方の中心軸１１２ｂ及びスリーブ１１３
ｂの自重が作用するため、かかる荷重によって当該継手
１１５は比較的早期に損傷し、その交換を余儀なくされ
ていた。 【００２３】本発明は、以上の実情に鑑みなされたもの
であって、基板搬送装置が構造上強度の高い回転軸によ
って構成され、しかも、これを支持する軸受装置のシー
ル部材を容易に交換することができる構造となった基板
処理装置の提供を目的とする。 【００２４】 【課題を解決するための手段及びその効果】上記課題を
解決するための本発明は、処理槽と、端部が外部に突出
するように前記処理槽内に並設された複数の回転軸、並
びに該各回転軸の前記端部を個別に回転自在に支持し、
前記処理槽に対して個別に着脱可能に装着された複数の
軸受ユニットを有し、前記各回転軸の回転によって基板
を搬送する基板搬送手段と、該基板搬送手段により搬送
される基板に対して処理液を吐出する処理液吐出手段と
を備えて構成される基板処理装置であって、前記各回転
軸が、軸方向に分離不可能な少なくとも１本のロッドを
備えてそれぞれ構成され、前記軸受ユニットが、前記回
転軸を回転自在に支持するベアリングと、貫通孔を備
え、該貫通孔の一方側に前記ベアリングを保持するハウ
ジングと、一方端から他方端に貫通する孔であって、前
記回転軸が挿通される挿通孔を有し、前記一方端側が前
記ハウジング貫通孔の他方側に気密状に嵌挿される封止
部材と、前記封止部材に挿通され、且つ前記ベアリング
によって支持される回転軸、及び前記封止部材の双方に
密接して、前記回転軸と封止部材との間を封止するシー
ル部材とを備えて構成され、前記封止部材の他方端側
が、前記処理槽に対して、その外部から挿抜可能に構成
された基板処理装置に係る。 【００２５】この基板処理装置によれば、回転軸が軸方
向に分離不可能な少なくとも１本のロッドを備えて構成
されているので、高強度であり、しかも上述した従来の
基板処理装置におけるような継手が存在しないので、こ
れらが損傷するといった問題も生じない。 【００２６】また、各回転軸を個別に支持する各軸受ユ
ニットは、その前記封止部材の他方端側が前記処理槽に
対してその外部から挿抜可能に構成されて、前記処理槽
に対して個別に着脱可能に装着されており、これを処理
槽の外側に抜き取ることによって、回転軸から容易に分
離することができる。逆に、軸受ユニットを処理槽に装
着する際には、当該軸受ユニットを回転軸に対し個々に
位置決めすれば足り、その作業は極めて簡便である。し
たがって、軸受ユニットの前記シール部材を交換する際
には、上記従来の基板処理装置に比べて、極めて容易に
これを行うことができる。 【００２７】 【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施形態
について添付図面に基づき説明する。図１は、本実施形
態に係る基板処理装置の概略構成を示した縦断面図であ
り、図２は、図１に示した軸受ユニットを拡大して示す
縦断面図である。 【００２８】尚、本例の基板処理装置１は、図３に示し
た従来の基板処理装置１００を改良したものであり、し
たがって、上記従来の基板処理装置１００と同じ構成部
分については、同一の符号を用いるとともに、その詳し
い説明を省略する。 【００２９】図１及び図２に示すように、本例の基板処
理装置１は、紙面に対して直交する方向に多列に並設さ
れた各回転軸１１１’が、それぞれ軸方向に分離不可能
な１本のロッドからなる中心軸１１２’及びこれに外嵌
されるスリーブ１１３’、１１４’から構成され、その
一方端が槽本体１０１内に配設された軸受装置１２０に
よって回転自在に支持される一方、その他方端が、本体
１０１の側板１０２を貫通して外部に突出し、軸受ユニ
ット１０によって個別に回転自在に支持された構成を備
えている。尚、各回転軸１１１’の先端部にはプーリ１
２４が取り付けられている。 【００３０】図２に示すように、本例の軸受ユニット１
０は、中心軸１１２’及びこの中心軸１１２’に外嵌さ
れるスリーブ１１３’，１１４’からなる回転軸１１
１’を回転自在に支持するベアリング１１、このベアリ
ング１１を保持するハウジング１２、一方端がハウジン
グ１２に嵌挿され、他方端が槽本体１０１の側板１０２
に嵌挿された封止部材２０などからなる。 【００３１】前記ハウジング１２は、中心部に貫通孔１
３ｂを備え、更に、その図示左側に止り孔１３ａを、図
示右側に止り孔１３ｃをそれぞれ備えてなる。そして、
前記止り孔１３ａには前記ベアリング１１が嵌挿され、
止り孔１３cには前記封止部材２０が嵌挿されている。 【００３２】尚、ベアリング１１は、前記スリーブ１１
３’から延在するように前記中心軸１１２’に外嵌され
たスリーブ１１４’に外嵌しており、前記中心軸１１
２’及びスリーブ１１３’，１１４’から構成される回
転軸１１１’を回転自在に支持する。また、スリーブ１
１４’にはプーリ１２４も外嵌しており、更に、ベアリ
ング１１とプーリ１２４との間には間座１４が配設され
ており、ベアリング１１は、この間座１４によってその
内輪の抜けが防止されている。一方、ベアリング１１の
外輪は、ハウジング１２に固設された押え蓋１６によっ
てその抜けが防止される。 【００３３】また、このハウジング１２は、その図示右
側端部が支持板３８の取付孔３８ａに嵌挿された状態
で、当該支持板３８に固設されており、支持板３８は、
貫通孔４１を備えたブラケット４０に固設され、ブラケ
ット４０は前記槽本体１０１の側板１０２に固設されて
いる。 【００３４】前記封止部材２０は、中心部に前記回転軸
１１１’が挿通される挿通孔２１を備え、その図示右側
には止り孔２２を、更にこの止り孔２２より小径のテー
パ状をした止り孔２３を備えてなる。そして、その一方
端側がＯリング３０を介して前記ハウジング１１の止り
孔１３ｃに気密状に嵌挿され、他方端側がＯリング３１
を介して前記側板１０２の取付孔１０２ａにその外部か
ら気密状に嵌挿されている。尚、側板１０２には補助板
３９が固設されており、封止部材２０はこの補助板３９
の取付孔３９ａにも、Ｏリング３２を介して気密状に嵌
挿されている。 【００３５】前記スリーブ１１３’は、前記封止部材２
０の止り孔２２，２３に対応する位置にフランジ部を備
えており、このフランジ部の右隣には、外径が前記止り
孔２２の内径より僅かに小径となったリング状の邪魔板
３７が、前記止り孔２２内に位置するように気密状に外
嵌され、左隣には、前記止り孔２３の底面に密接する第
２シール部材（回転シール）３４が気密状に外嵌されて
いる。また、スリーブ１１３’ａの左端には、前記封止
部材２０の端面に密接する第１シール部材（回転シー
ル）３３が気密状に外嵌されている。 【００３６】斯くして、以上の構成を備えた本例の基板
処理装置１によると、回転軸１１１’が軸方向に分離不
可能な１本の中心軸１１２’を備えて構成されているの
で、高強度であり、しかも上述した従来の基板処理装置
１００におけるような継手１１５が存在しないので、こ
れらが損傷するといった問題も生じない。 【００３７】また、各回転軸１１１’を個別に支持する
各軸受ユニット１０は、その前記封止部材２０の他方端
側が前記槽本体１０１に対してその外部から挿抜可能に
構成されて、前記槽本体１０１に対して個別に着脱可能
に装着されており、これを槽本体１０１の外側に抜き取
ることによって、回転軸１１１’から容易に分離するこ
とができる。逆に、軸受ユニット１０を槽本体１０１に
装着する際には、当該軸受ユニット１０を回転軸１１
１’に対し個々に位置決めして、槽本体１０１に装着す
れば良く、その作業が極めて簡便である。したがって、
軸受ユニット１０を構成する前記第１シール部材３３及
び第２シール部材３４を交換する際には、上記従来の基
板処理装置１００に比べて、極めて容易にこれを行うこ
とができる。 【００３８】以上、本発明の一実施形態について説明し
たが、本発明が採り得る具体的な態様は、何らこれに限
定されるものではない。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の概略
構成を示した縦断面図である。 【図２】図１に示した軸受ユニットを拡大して示す縦断
面図である。 【図３】従来の基板処理装置の概略構成を示した縦断面
図である。 【図４】図３に示した軸受装置を拡大して示す縦断面図
である。 【図５】図３に示した回転軸の中央部分を拡大して示す
縦断面図である。 【符号の説明】 １ 基板処理装置 １０ 軸受ユニット １１ ベアリング １２ ハウジング １３ａ，１３ｃ 止り孔 １３ｂ 貫通孔 ２０ 封止部材 ２１ 挿通孔 ２２，２３ 止り孔 ３３ 第１シール部材 ３４ 第２シール部材 ３７ 邪魔板 １１１’ 回転軸 １１２’ 中心軸 １１３’ スリーブ １１４’ スリーブ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｂ０５Ｃ 13/02 Ｈ０１Ｌ 21/306 Ｋ (72)発明者 松元 俊二 兵庫県尼崎市扶桑町１番10号 住友精密工 業株式会社内 Ｆターム(参考） 4F035 AA04 CA02 CA05 CB03 CB13 CC01 4F042 AA02 AA10 DF07 DF19 DF24 5F031 CA05 FA02 GA53 HA48 HA57 LA01 LA13 MA23 MA24 MA26 PA06 5F043 AA40 EE36

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 処理槽と、端部が外部に突出するように
   前記処理槽内に並設された複数の回転軸、並びに該各回
   転軸の前記端部を個別に回転自在に支持し、前記処理槽
   に対して個別に着脱可能に装着された複数の軸受ユニッ
   トを有し、前記各回転軸の回転によって基板を搬送する
   基板搬送手段と、該基板搬送手段により搬送される基板
   に対して処理液を吐出する処理液吐出手段とを備えて構
   成される基板処理装置であって、 前記各回転軸が、軸方向に分離不可能な少なくとも１本
   のロッドを備えてそれぞれ構成され、 前記軸受ユニットが、前記回転軸を回転自在に支持する
   ベアリングと、貫通孔を備え、該貫通孔の一方側に前記
   ベアリングを保持するハウジングと、一方端から他方端
   に貫通する孔であって、前記回転軸が挿通される挿通孔
   を有し、前記一方端側が前記ハウジング貫通孔の他方側
   に気密状に嵌挿される封止部材と、前記封止部材に挿通
   され、且つ前記ベアリングによって支持される回転軸、
   及び前記封止部材の双方に密接して、前記回転軸と封止
   部材との間を封止するシール部材とを備えて構成され、 前記封止部材の他方端側が、前記処理槽に対して、その
   外部から挿抜可能に構成されてなることを特徴とする基
   板処理装置。