CN100582886C - 基板的处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种处理装置，可容易进行设有输送基板的驱动辊的驱动轴的组装。处理装置具有：处理腔(12)；多个支承辊(14)，可旋转，沿基板的输送方向及与输送方向交叉的上下方向设置在处理腔中，并支承基板的倾斜方向的下侧的面；多个驱动辊(17)，沿基板的输送方向以规定间隔设置，支承以规定角度倾斜的基板的下端；驱动机构(18)，对驱动辊进行旋转驱动并将支承在支承辊上的基板向规定方向输送，驱动机构包括：基座部件，安装在处理腔；多个驱动轴，以规定间隔可旋转地支承在基座部件上，并在向处理腔内突出的前端可装卸地设有驱动辊；及动力传递部件，设置在驱动轴的位于处理腔的外部的后端，将来自驱动源的动力传递到驱动轴使驱动轴旋转。

Description

基板的处理装置

技术领域

本发明涉及一种使基板以规定的角度倾斜输送并进行处理的基板的处理装置。

背景技术

在用于液晶显示装置的玻璃制基板上形成有电路图形。在基板上形成电路图形采用光刻处理。光刻处理如众所周知的那样，在上述基板上涂抹抗蚀剂，并隔着形成有电路图形的掩模对该抗蚀剂照射光。

然后，除去抗蚀剂的未照射光的部分或者照射光的部分，并对基板的除去了抗蚀剂的部分进行蚀刻。并且，重复多次在蚀刻后除去抗蚀剂的一连串工序，在上述基板上形成电路图形。

在这种光刻处理中，上述基板需要进行如下的工序：用显影液、蚀刻液、或在蚀刻后除去抗蚀剂的剥离液等处理液处理基板的工序；进而用漂洗液进行清洗的工序；在清洗后除去附着残留在基板上的漂洗液的干燥工序。

以往，在对基板进行上述一连串处理时，利用将轴线水平配置的输送辊，上述基板以大致水平的状态依次输送到进行各个处理的处理腔中，在各个处理腔中通过处理液对基板进行处理，在处理后喷射压缩气体进行干燥处理。

但是，最近用于液晶显示装置的玻璃制基板具有大型化和薄型化的趋势。因此，当水平输送基板时，由于输送辊之间的基板的弯曲增大，因此产生在各处理腔的处理不能对基板的板面全体均匀进行的问题。

并且，若基板大型化，设置有输送该基板的输送辊的输送轴加长。并且，由于基板大型化，向基板上供给的处理液增加，根据基板上处理液的量，施加在上述输送轴的载荷增大，由于这些情况，输送轴的弯曲增大。因此，基板由于输送轴弯曲而产生弯曲，因此存在不能进行均匀处理的情况。

因此，在用处理液对基板进行处理时，为了防止上述基板由于处理液的重量而弯曲，可以考虑使基板以规定的倾斜角度、例如75度的角度倾斜进行输送。如果使基板倾斜进行输送，处理液不停留在基板的板面上，从上方顺利地向下方流动，因此可以防止由处理液的重量而导致基板弯曲。

但是，在使基板以规定的角度倾斜输送并进行处理的处理装置的情况下，基板的倾斜方向的下侧的面由支承辊支承，下端由驱动辊支承。驱动辊安装在驱动轴上，该驱动轴由驱动源旋转驱动。在上述处理装置中，沿上述基板的输送方向以规定间隔配置多个上述支承辊和上述驱动辊。由此，上述基板由上述支承辊支承并由上述驱动辊驱动。因此，在处理装置中设置与设置在该处理装置的多个驱动辊的数量对应的驱动轴。

以往，在组装上述构成的处理装置时，进行将多个驱动轴一根一根地组装到处理装置的工作。即，在处理装置的处理腔中形成有与设置在该处理装置的驱动轴的数量对应的安装部。并且，在各安装部设置轴承，并将上述驱动轴可旋转地支承安装在该轴承中，同时进行定位，以便各个驱动轴相互平行且倾斜成对应于基板的倾斜角度的角度。

但是，相对于处理腔定位多个驱动轴并安装的操作，不但花费很多时间，而且由于驱动轴设置在处理腔的上下方向的下部，操作者必须以低的姿势进行操作，因此操作性不良、对操作者的负担增大。

发明内容

本发明提供一种基板的处理装置，可以使对处理腔的驱动轴安装操作容易，并且可以高精度地安装。

本发明的基板的处理装置，使基板以规定的角度倾斜输送并进行处理，其特征在于，具有：

处理腔；

多个支承辊，可旋转，沿上述基板的输送方向及与输送方向交叉的上下方向设置在该处理腔中，并支承上述基板的倾斜方向的下侧的面；

多个驱动辊，沿上述基板的输送方向以规定间隔设置，支承以规定角度倾斜的上述基板的下端；

驱动机构，对上述驱动辊进行旋转驱动并将支承在上述支承辊上的上述基板向规定方向输送，

上述驱动机构包括：基座部件，安装在上述处理腔的下端部外面；多个驱动轴，以规定间隔可旋转地被支承在该基座部件上，并在向上述处理腔内突出的前端可装卸地设有上述驱动辊；及动力传递部件，设置在该驱动轴的位于上述处理腔的外部的后端，将来自驱动源的动力传递到上述驱动轴使该驱动轴旋转。

发明效果

根据本发明，将构成对驱动辊进行旋转驱动的驱动机构的多个驱动轴安装在基座部件上，并将该基座部件安装在处理腔中。因此，如果将多个驱动轴以规定精度预先安装在基座部件上，则可以通过该基座部件将多个驱动轴一次安装在处理腔中，因此可以不进行将多个驱动轴一根一根地安装在处理腔中的花费时间的操作。

附图说明

图1是表示本发明第1实施方式的处理装置的概略结构的立体图。

图2是上述处理装置的处理腔的剖面图。

图3是表示设置在处理腔的下端部的驱动机构的放大图。

图4是在基座部件上安装了驱动轴的立体图。

图5是驱动辊的分解立体图。

图6是表示本发明第2实施方式的驱动辊的立体图。

具体设施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。

图1到图5表示本发明的第1实施方式。图1是表示本发明的处理装置的概略结构的立体图，该处理装置具有装置主体1。该装置主体1将分割的多个处理单元连结成一列，在本实施方式中将第1到第5处理单元1A～1E可分解地连结成一列。

各处理单元1A～1E具有架台2。在该架台2的前面以规定角度倾斜保持着箱形状的处理部3。在上述架台2和处理部3的上面设置有用点划线表示的上部输送部4。在上述架台2的下端的宽度方向两端可分解地设置板状的一对脚体5(只图示一个)。通过该脚体5在上述架台2的下面侧形成空间部6。

在上述空间部6中收纳有设备部9，该设备部9在壳体8内放置了供给如后所述在上述处理部3中进行的基板W的处理中所使用的药液或漂洗液等处理液的罐和泵、或对处理液的供给进行控制的控制装置等设备7。即，各处理单元1A～1E通过用脚体5支承架台2在处理部3的下方形成空间部6，被分割为位于上下方向的处理部3、上部输送部4、及设备部9的3个部分。

上述结构的处理装置可以分割成多个处理单元1A～1E，而且各处理单元可以分割成处理部3、上部输送部4、及设备部9。因此，即使在处理装置大型化时，在搬运时等不仅可以分解为多个处理单元1A～1E，并且可以将各处理单元1A～1E分割成处理部3、上部输送部4、及设备部9进行处理。

即，处理装置的装置主体1不仅可以减小长度尺寸、也可以减小高度尺寸进行处理，由此装入卡车的货箱时，可以不超过限制高度进行搬运。

如图1所示，上述处理部3具有在前面可开闭地设有盖体11的处理腔12。该处理腔12以规定角度、例如相对于垂直线75度的角度倾斜保持在上述架台2上，并在宽度方向的两侧面形成有使以75度的角度倾斜输送的基板W通过的缝隙13(图1只图示1处)。

如图2所示，在上述处理腔12内部，构成倾斜输送装置的多个输送轴15(只图示1个)以规定间隔设置在处理腔12的宽度方向上。在该输送轴15的轴方向上，以规定间隔可旋转地设置有多个支承辊14。

上述输送轴15的下端被下部托架15a支承、上端被上部托架15b支承，以便轴线与上述缝隙13以相同角度倾斜。各托架15a、15b的一端固定在上述处理腔12上，另一端支承着上述输送轴15的下端部和上端部。

基板W由图1中点划线所示的第1姿势变换部16从水平状态变换为75度的角度，从上述缝隙13搬入上述处理腔12内。搬入处理腔12内的基板W由设置在上述输送轴15的支承辊14支承作为非器件面的背面。该基板W的下端由驱动辊17支承。该驱动辊17由驱动机构18旋转驱动。由此，下端支承在驱动辊17上、背面支承在上述支承辊14上的上述基板W，向驱动辊17的旋转方向输送。

另外，如图2所示，在各处理单元1A～1E的处理部3内设置有对基板W进行处理、例如对基板W喷射处理液的喷淋单元等处理装置20。

依次通过各处理单元1A～1E并被处理的基板W，在以75度的角度倾斜的状态下被搬出。从最终段处理单元1E搬出的基板W，通过图1中点划线表示的第2姿势变换部19，姿势从倾斜状态变换为水平状态，输送到下一工序。

如图3和图4所示，上述驱动机构18具有沿着上述基板W的输送方向较长的基座部件12。在该基座部件21中，相对于其长度方向以规定间隔、即与上述输送轴15相同的间隔穿设有多个第1安装孔22。在该实施方式中，若在一个处理部3中设有10根输送轴15，则在该处理部3的处理腔12中排成一列地设有2个基座部件21，并在各基座部件21中分别形成有5个第1安装孔22。

如图3所示，在上述第1安装孔22中插入了在轴方向两端部内设置有一对轴承23的外部外筒体24的前端部。在该外部外筒体24的前端部设置有凸缘25。该凸缘25由螺钉26安装固定在上述基座部件21上形成的无图示的第2安装孔26中。

在上述外部外筒体24中插通有驱动轴27。驱动轴27的后端部侧由上述一对轴承23可旋转地支承。在该驱动轴27从上述外部外筒体24突出的后端部嵌合固定有作为动力传递部件的第1齿轮28。

如图4所示，在上述基座部件21中形成有第3安装孔29，并通过该第3安装孔29，由无图示的螺钉安装固定在上述处理腔12的下端部外面的安装面12a上。

在上述安装面12a上，以与形成在上述基座部件21中的第1安装孔22对应的间隔形成有插通孔31。在将基座部件21安装在上述安装面12a上之前，在各插通孔31中插通支承了内部外筒体32。该内部外筒体32在后端设置有直径比上述插通孔31大的凸缘33。在该凸缘33的一侧面设置有由在与上述安装面12a之间存在的O环构成的密封件34，在另一侧面形成有沿着半径方向的通气槽35。

并且，上述基座部件21，在上述内部外筒体32插入支承在各插通孔31中的状态下，将上述驱动轴27的前端部插入上述内部外筒体32中，并且安装固定在上述安装面12a上。由此，上述内部外筒体32的凸缘33的另一侧面被按压在外部外筒体24的前端面被保持成不能在轴方向上移动。

并且，在插入支承于驱动轴27的上述内部外筒体32中的前端部侧，形成有直径比上述内部外筒体32的内径尺寸稍小的多个大直径部36。由此，上述内部外筒体32通过上述大直径部36被保持成在直径方向上不松动。

在上述驱动轴27的向处理腔21内突出的前端部，通过轴衬37安装有上述驱动辊17。如图3和图5所示，该驱动辊17具有盘状体42。在该盘状体42上设置有对开轴套部(半割りのボス部)41，并且沿着周方向在半径方向周边部以90度间隔形成有较长的4个通孔43。在通孔43的长度方向中途部形成有大直径部43a。

并且，通过将上述轴套部41安装在上述驱动轴27的前端部，并将半圆形状的固定部件44用螺钉44a固定在其对开轴套部41上，由此上述盘状体42可装卸地安装固定在上述驱动轴27上。

通过从上述通孔43的大直径部43a插通的螺钉46，安装环45被可装卸地安装固定在上述盘状体42的盘面上。上述安装环45的外周面上可装卸地安装有，由超高分子量聚乙烯、或EPDM(一种橡胶材料)等弹性材料形成的弹性环47。并且，如图3所示，由上述弹性环47支承基板W的下端。

另外，螺钉46的头部的外形尺寸是，比上述通孔43的大直径部43a小、比大直径部43a以外的部分大。因此，安装在安装环45上的螺钉46可以只从上述通孔43的大直径部43a装拆。

如图3和图4所示，在与上述驱动轴27的从上述外部外筒体24突出的后端嵌合的第1齿轮28上啮合了第2齿轮51。与多个第1齿轮28啮合的多个第2齿轮51，以规定间隔安装在安装轴52上。该安装轴52可旋转地被支承，并在中途部嵌合了从动带轮53。

在上述从动带轮53和设置在驱动源54的输出轴55上的驱动带轮56上拉紧设置有带57。由此，如果上述驱动源54工作而使上述输出轴55旋转，则其旋转通过上述安装轴52传递到上述驱动轴27，因此，设置在该驱动轴27的前端的驱动辊17旋转。如果驱动辊17旋转，则由该驱动辊17的弹性环47支承了下端的基板W，向上述驱动辊17的旋转方向输送。

如图3所示，在与上述基座部件21的与安装孔22对应的部位的下端面穿设有与该第1安装孔22连通的给气孔58。对上述第1安装孔22内供给干净的空气和氮气等气体的气体供给管59与该给气孔58连接。

从上述气体供给管59向第1安装孔22内供给的气体，如图3中的箭头所示，从内部外筒体32的凸缘33上形成的通气槽35，流入内部外筒体32的内部和外部外筒体24的内部。

流入内部外筒体32的气体从其前端开口流出。由此，防止处理腔12内的含有处理液的气氛，通过内部外筒体32向处理腔12的外部流出。流入外部外筒体24的气体从其后端开口流出。由此，即使从支承驱动轴27的一对轴承23产生尘埃，也可以防止该尘埃通过内部外筒体32流入处理腔12内。

在这种构成的处理装置中，在将驱动机构18组装到处理腔12中时，首先，将多个外部外筒体24安装固定在基座部件21上。然后，将在后端嵌合了第1齿轮28的驱动轴27插入各外部外筒体24中，并且将其后端部侧由设置在上述外部外筒体24内的一对轴承23可旋转地支承。

如果将驱动轴27插通支承在外部外筒体24中，则将内部外筒体32插通支承在处理腔12的下端部外面的安装面12a上形成的插通孔31中。然后，将保持了驱动轴27的上述基座部件21安装固定在上述安装面12a上。此时，使设置在驱动轴27的后端的第1齿轮28与设置在安装轴52上的第2齿轮51啮合。

在将上述基座部件21安装固定在上述安装面12a上时，将驱动轴27插入上述内部外筒体32内，并且将插通支承在上述插通孔31中的上述内部外筒体32的凸缘33，嵌入形成在基座部件21的第1安装孔22内。由此，驱动轴27的前端部从上述内部外筒体32的前端面突出，并且内部外筒体32的后端的凸缘33由外部外筒体24的前端面按压保持。

如果将基座部件21安装固定在处理腔12的安装面12a，则在驱动轴27从内部外筒体32突出的前端部安装固定驱动辊17。并且，将气体供给管59与基座部件21的给气孔58连接。由此，可以将驱动机构18组装到处理腔12。

通过预先将多个驱动轴27组装到上述基座部件21上，并将该基座部件21安装固定在处理腔12的安装面12a上，由此可以一次将上述多个驱动轴27组装到处理腔12中。

因此，与将多个驱动轴27一根一根地组装到处理腔12的情况比较，可以容易且迅速地进行驱动轴27的组装操作。并且，由于可以将多个驱动轴27组装到基座部件21上，因此可以比较容易进行高精度、确实地设定驱动轴27的轴线之间的平行度和安装角度的工作。因此，可以将多个驱动轴27高精度地组装到处理腔12。

驱动辊17具有：盘状体42；安装环45，可装卸地安装在该盘状体42上；弹性环47，可装卸地安装在该安装环45上，由弹性材料制造。

在处理腔12内输送的基板W的下端由上述弹性环47支承。因此，虽然可以由上述弹性环47防止基板W的下端破损，但是不能避免由于长期使用而导致上述弹性环47磨损。

如果弹性环47发生了磨损，则将设置有弹性环47的安装环45固定在盘状体42上的螺钉46松动，并使安装环45向周方向旋转，使螺钉46位于通孔43的大直径部43a。并且，通过将螺钉46穿过大直径部43a，由此可以将安装环45与螺钉46一起从盘状体42拆下。

如果将安装环45从盘状体42拆下，则可以容易更换保持在安装环45上的上述弹性环47。即，通过将驱动辊17分割成盘状体42、安装环45、及安装在该安装环45上的弹性环47，由此如果该弹性环47由于使用而发生磨损，则可以容易进行更换。

并且，由于不从安装环45拆下螺钉46，就可以将该安装环45从盘状体42拆下，因此不但其拆下操作可以容易地进行，而且安装操作也可以容易地进行。

上述通孔43在周方向上形成得较长，并在中途部形成有螺钉46可以装拆的大直径部43a。因此，在将安装环45固定在盘状体42上时，如果使螺钉46位于通孔43的与驱动辊17的旋转方向相反侧的端部，则即使在使用中螺钉46松动，安装环45向与盘状体42旋转方向相反的方向旋转，螺钉46也不会到与通孔43的大直径部43a对应的位置。因此，只要螺钉46不从安装环45脱离，该安装环45不会从盘状体42脱离。

在位于处理腔12的外部的外部外筒体24和位于处理腔12的内部的内部外筒体32中插通支承着驱动轴27。并且，从外部外筒体24的前端与内部外筒体32的后端的连接部分，向这些外筒体24、32内供给气体，并使该气体从内部外筒体32的前端开口、和外部外筒体24的后端开口流出。

因此，不但可以防止含有处理腔12内雾状处理液的气氛流入内部外筒体32内、并向处理腔12的外部流出，而且即使从设置在外部外筒体24的轴承23产生尘埃，也可以防止该尘埃通过内部外筒体32流入处理腔12内。

在上述第1实施方式中，将外筒体分割成外部外筒体和内部外筒体，并将驱动轴插通支承在这些外筒体内，但是也可以是不将外筒体分割成2个而使外部外筒体与内部外筒体形成整体的构造。

图6是表示本发明第2实施方式的驱动辊17A的变形例。本实施方式的驱动辊17A在驱动轴27的前端设置有盘状体42A。没有具体图示，但是驱动轴27与盘状体42A的一个板面侧以与第1实施方式相同的连结结构连结。

在上述盘状体42A的另一板面以规定的厚度突出形成有圆盘部61，在该圆盘部61的周围沿周方向以120度间隔穿设有3个螺孔62。弹性环63通过与上述螺钉孔62螺合的螺钉64，可装卸地安装固定在该盘状体42A的另一板面。

上述弹性环63是将环部63a、和设置在该环部63a的一个端面的凸缘部63b，由后述的合成树脂一体形成。该凸缘部63b形成为其内径尺寸比上述圆盘部61的外形尺寸稍大，并且在该凸缘部63b的与上述螺钉孔62对应的位置穿设有通孔64。

并且，上述弹性环63使上述凸缘部63与形成有盘状体42A的圆盘部61的板面接触，并通过从该通孔64向上述螺钉孔62拧入螺钉65来安装固定。

上述弹性环63的环部63a由如下的合成树脂形成：具有根据基板W的重量进行弹性变形的弹性，并且具有不易通过与基板W接触而磨损的耐磨性，并且具有在与盘状体42A一起旋转时不易与基板W的下端之间产生滑动的摩擦阻力。

作为具有这种特性的用于形成上述弹性环63的合成树脂，已知有将聚苯并咪唑(polybenzimidazole)树脂、聚醚醚酮树脂以规定比例进行混合的树脂。

根据这种构成的驱动辊17A，基板W的下端由弹性环63的环部63a的外周面弹性支承。因此，可以防止基板W的下端破损。上述环部63a不是如第1实施方式的弹性环47那样，在其内周设置有安装环45。因此，由于相对于载荷容易弹性变形，所以基板W的下端不易损伤。

上述弹性环63不只具有弹性，还具有不易通过与基板W接触而产生尘埃的耐磨性，还具有不易通过与盘状体42A一起旋转驱动而在与基板W下端之间产生滑动的摩擦阻力。因此，不但不会从弹性环63产生尘埃而污染输送的基板W，并且即使基板W上附有处理液等载荷，也可以不发生滑动而可靠地输送。

Claims (6)

1.一种基板的处理装置，使基板以规定的角度倾斜输送并进行处理，其特征在于，具有：

处理腔；

多个支承辊，可旋转，沿上述基板的输送方向及与输送方向交叉的上下方向设置在该处理腔中，并支承上述基板的倾斜方向的下侧的面；

多个驱动辊，沿上述基板的输送方向以规定间隔设置，支承以规定角度倾斜的上述基板的下端；

驱动机构，对上述驱动辊进行旋转驱动并将支承在上述支承辊上的上述基板向规定方向输送，

上述驱动机构包括：基座部件，安装在上述处理腔的下端部外面；多个驱动轴，以规定间隔可旋转地被支承在该基座部件上，并在向上述处理腔内突出的前端可装卸地设有上述驱动辊；及动力传递部件，设置在该驱动轴的位于上述处理腔的外部的后端，将来自驱动源的动力传递到上述驱动轴使该驱动轴旋转。

2.如权利要求1所述的基板的处理装置，其特征在于，

上述基座部件在安装上述驱动轴之后安装在上述处理腔的下端部外面。

3.如权利要求1所述的基板的处理装置，其特征在于，

上述驱动轴可旋转地插通支承在贯通上述处理腔的内部和外部而设置的外筒体中，在上述外筒体上连接有气体供给管，该气体供给管供给通过该外筒体的内部向上述处理腔内流出的气体。

4.如权利要求1所述的基板的处理装置，其特征在于，

上述驱动辊包括：

盘状体，可装卸地安装在上述驱动轴的前端；

安装环，可装卸地安装在该盘状体的盘面；

弹性环，可装卸地设置在该安装环的外周面，并承受上述基板的下端。

5.如权利要求1所述的基板的处理装置，其特征在于，

上述驱动辊具有：

盘状体，可装卸地安装在上述驱动轴的前端；以及

弹性环，具有由外周面承受上述基板的下端的环部，及一体设置在该环部的一端并可装卸地安装在上述盘状体的板面的凸缘部。

6.如权利要求5所述的基板的处理装置，其特征在于，

上述弹性环由合成树脂形成，该合成树脂具有根据基板的重量进行弹性变形的弹性、耐磨性、以及在支承并旋转基板的下端时使上述弹性环与基板之间不产生滑动的摩擦阻力。

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