KR20140114530A - 반도체 및 led 세정용 세정 장치의 체인 구동 방식의 컨베이어 장치 - Google Patents

반도체 및 led 세정용 세정 장치의 체인 구동 방식의 컨베이어 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 및 LED 세정용 세정 장치에 구비되는 체인 구동 방식의 컨베이어 장치에 관한 것으로, 특히 이송 밸트에 의한 반도체(또는 LED)의 이동 경로 상에서 반도체를 향해 고압 세정이 이루어질 때 반도체가 밸트에서 이탈되는 것을 방지하면서도 반도체가 손상되는 것을 방지하도록, 반도체를 백킹(backing)하는 백킹롤러와 이 백킹롤러가 상기 밸트의 이송속도와 동일하게 회전되도록 구동하는 백킹롤러 구동부가 구비된 컨베이어 장치에 관한 것이다.
이와 같은 컨베이어 장치는 반도체 또는 LED를 이송하는 밸트와, 상기 밸트의 이동경로 상에 배치되어 상기 반도체 또는 LED에 고압 세정수를 분사하는 분사노즐 및 분사노즐의 고압 세정수 분사시 상기 반도체 또는 LED를 백킹(backing)하는 백킹롤러를 포함하는 세정 장치의 컨베이어 장치에 있어서, 상기 밸트의 이동에 따라 상기 반도체 또는 LED와 접촉하여 백킹하는 백킹롤러를 회전시키는 백킹롤러 구동부;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 및 LED 세정용 세정 장치의 체인 구동 방식의 컨베이어 장치{Semiconductor and LED cleaning device for cleaning of the chain-driven conveyor device}
본 발명은 반도체 및 LED 세정용 세정 장치에 구비되는 체인 구동 방식의 컨베이어 장치에 관한 것으로, 특히 이송 밸트에 의한 반도체(또는 LED)의 이동 경로 상에서 반도체를 향해 고압 세정이 이루어질 때 반도체가 밸트에서 이탈되는 것을 방지하면서도 반도체가 손상되는 것을 방지하도록, 반도체를 백킹(backing)하는 백킹롤러와 이 백킹롤러가 상기 밸트의 이송속도와 동일하게 회전되도록 구동하는 백킹롤러 구동부가 구비된 컨베이어 장치에 관한 것이다.
반도체 및 LED 세정용 세정 장치는 도 1에 도시한 바와 같은 컨베이어 장치(100)를 포함한다.
컨베이어 장치(100)는 반도체 또는 LED를 이송하는 밸트(10)와, 상기 밸트(10)의 이동경로 상에 배치되어 상기 반도체 또는 LED에 고압 세정수를 분사하는 분사노즐(20) 및 상기 분사노즐(20)의 고압 세정수 분사시 상기 반도체 또는 LED를 지지하는 백킹롤러(30)를 포함한다.
이와 같은 컨베이어 장치(100)는 반도체(또는 LED일 수 있음)가 유입부(1)를 통해 유입되면 밸트(10)로 지지 및 고압 세정수를 분사하는 분사노즐(20) 측으로 이송하여 반도체 표면을 세정한다. 이때 분사노즐(20)의 주위에는 반도체를 백킹(backing)하는 백킹롤러(30)가 구비되어 있는데 이러한 백킹롤러(30)는 분사노즐(20)의 고압 분사시의 충격에 의한 반도체의 손상 및 이탈을 방지한다.
상기 컨베이어 장치(100)의 백킹롤러(30)는 보통 서스(SUS, 스테인레스강) 재질로 이루어져 있었으나, 이는 반도체에 손상을 주어 PE(폴리에틸렌), 또는 테프론 재질로 변경되었다.
그러나 PE, 또는 테프론 재질로 이루어진 백킹롤러(30)는 사용 시간이 경과됨에 따라 마모가 발생해 반도체를 백킹하는 기능이 상실되는 문제점이 있었고, 한편으로 반도체를 백킹시 백킹롤러(30)가 원활히 회전되어야 반도체의 손상을 방지할 수 있는데 종래에는 백킹롤러(30)가 원활히 회전되지 않아 반도체와의 접촉 또는 슬립으로 인하여 스크레치가 발생하는 등 반도체를 손상시키는 문제점이 있었다.
1. 국내등록특허공보 제10-0275135호(공고일자: 2001년01월15일) 2. 국내등록특허공보 제10-0630325호(공고일자: 2006년10월04일)
본 발명의 목적은 반도체 또는 LED를 세정하는 세정 기술 분야에 있어서, 특히 이송 밸트에 의한 반도체(또는 LED)의 이동 경로 상에서 반도체를 향해 고압 세정이 이루어질 때 반도체가 밸트에서 이탈되는 것을 방지하면서도 반도체가 손상되는 것을 방지하도록, 반도체를 백킹(backing)하는 백킹롤러와 이 백킹롤러가 상기 밸트의 이송속도와 동일하게 회전되도록 구동하는 백킹롤러 구동부가 구비된 반도체 및 LED 세정용 세정 장치의 체인 구동 방식의 컨베이어 장치를 제공하려는 데 있다.
상기와 같은 본 발명의 목적은,
반도체 또는 LED를 이송하는 밸트와, 상기 밸트의 이동경로 상에 배치되어 상기 반도체 또는 LED에 고압 세정수를 분사하는 분사노즐 및 분사노즐의 고압 세정수 분사시 상기 반도체 또는 LED를 백킹(backing)하는 백킹롤러를 포함하는 세정 장치의 컨베이어 장치에 있어서,
상기 밸트의 이동에 따라 상기 반도체 또는 LED와 접촉하여 백킹하는 백킹롤러를 회전시키는 백킹롤러 구동부;
를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 및 LED 세정용 세정 장치의 체인 구동 방식의 컨베이어 장치에 의해 달성된다.
본 발명에 의하면, 반도체 또는 LED를 이송하는 밸트의 이송속도와 동일하게 백킹롤러를 회전시킴으로 인해 반도체 또는 LED의 손상을 방지할 수 있다. 즉, 백킹롤러가 원활히 회전되지 않으면 반도체와의 접촉 또는 슬립으로 인하여 스크래치가 발생하는 등 반도체 또는 백킹롤러가 손상되나 본 발명에서는 밸트의 이송속도와 동일하게 백킹롤러를 회전시킴으로써 반도체 또는 LED의 손상을 방지할 수 있는 것이다.
또한, 본 발명은 백킹롤러에 오링을 부가하고 있어 반도체 또는 LED의 손상을 최대한 방지할 수 있고, 이에 따라 불량율이 현저히 줄어들며 제품 신뢰도가 향상되는 장점이 있다.
또한, 백킹롤러가 카트리지 타입으로 되어 있어 교체 및 유지 보수가 용이한 장점이 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 반도체 및 LED 세정용 세정 장치의 컨베이어 장치를 나타낸 도면,
도 2는 본 발명에 따른 반도체 및 LED 세정용 세정 장치의 체인 구동 방식의 컨베이어 장치를 나타낸 도면,
도 3은 도 2의 정면도,
도 4는 도 3의 주요부의 동작관계도,
도 5는 도 2의 평면도,
도 6은 도 5의 A-A 단면도,
도 7은 도 2의 측면도,
도 8 내지 도 10은 본 발명의 주요부 및 주요부의 동작관계도,
도 11은 본 발명에 따른 백킹롤러의 오링 및 오링의 작용관계를 나타낸 도면.
본 발명에 따른 반도체 및 LED 세정용 세정 장치의 체인 구동 방식의 컨베이어 장치(이하, '컨베이어 장치(100)'라 한다)는 반도체(200) 또는 LED(이하에서는 생략함)를 이송하는 밸트(10)와, 상기 밸트(10)의 이동경로 상에 배치되어 상기 반도체(200)에 고압 세정수를 분사하는 분사노즐(20)과, 상기 분사노즐(20)의 고압 세정수 분사시 상기 반도체(200) 또는 LED를 백킹(backing)하는 백킹롤러(30)와, 상기 밸트(10)의 이동에 따라 상기 반도체(200) 또는 LED와 접촉하여 백킹하는 백킹롤러(30)를 회전시키는 백킹롤러 구동부(70)를 포함한다.
이와 같은 컨베이어 장치(100)에 있어서, 상기 백킹롤러 구동부(70)는 상기 밸트(10)를 구동하는 밸트 구동 모터(7)의 동력을 이용하여 백킹롤러(30)를 회전시키는 것을 특징으로 하며, 상기 밸트 구동 모터(7)와 연결되어 밸트 구동 모터(7)의 회전력을 전달하는 기어부(55)와, 상기 백킹롤러(30)와 연결된 스프라켓(40)과, 상기 기어부(55)와 스프라켓(40)에 연결되어 상기 밸트 구동 모터(7)의 회전력을 백킹롤러(30)에 전달하는 체인(51)을 포함한다.
또한, 상기 백킹롤러(30)는 반도체(200) 또는 LED와 접촉되는 면에 오링(31)이 구비되고, 카트리지(cartridge) 타입으로 구성된 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 양호한 실시예를 도시한 첨부 도면들을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 컨베이어 장치(100)는 반도체 세정용 세정 장치의 일부분으로서 반도체(200)를 이송하는 밸트(10)와, 상기 밸트(10)의 이동경로 상에 배치되어 상기 반도체(200)에 고압 세정수를 분사하는 분사노즐(20)과, 상기 분사노즐(20)의 고압 세정수 분사시 상기 반도체(200) 또는 LED를 백킹(backing)하는 백킹롤러(30)를 포함하고 있으나, 이 외에도 도 2에 도시한 바와 같이 분사노즐(20)을 고정하는 노즐 브라켓(90)과, 백킹롤러(30)를 지지하는 롤러 브라켓(80)과, 반도체(200)가 유입되는 유입부(1)와, 밸트(10)의 터닝 포인트 지점에 위치된 휠(2)과 밸트(10)를 서포트하는 서포트 롤러(3)와, 밸트를 구동하는 밸트 구동 모터(7) 및 기어박스(8)의 구성이 있으며, 특히, 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이 상기 밸트(10)의 이동에 따라 상기 반도체(200) 또는 LED와 접촉하여 백킹하는 백킹롤러(30)를 회전시키는 백킹롤러 구동부(70)를 포함하는 것이 특징이다.
구체적으로, 본 발명의 주요부인 백킹롤러 구동부(70)는 밸트 구동 모터(7)를 이용하지 않고 독립적인 구동부로 구동될 수 있으나, 바람직하게는 백킹롤러(30)가 밸트(10)의 이송 속도와 대응되는 회전 속도를 갖도록 상기 밸트 구동 모터(7)를 이용한다.
이와 같은 백킹롤러 구동부(70)는 밸트 구동 모터(7)의 동력을 백킹롤러(30)에 전달하기 위하여 기어부(55)와, 스프라켓(40)과, 체인(51)의 구성을 포함한다.
기어부(55)는 밸트 구동 모터(7)와 연결되어 밸트 구동 모터(7)의 회전력을 전달하는 구성으로, 도 2에 도시한 바와 같이 메인 회전축(55)과, 베벨기어 형태로 구성된 제1,2 기어(52,53)와, 회전풀리(54)로 구성된다.
메인 회전축(55)은 밸트 구동 모터(7)의 동력을 분배하는 기어박스(8)와 연결되고, 제1 기어(52)는 메인 회전축(55)과 연결되며, 제2 기어(53)는 제1 기어(52)와 맞물려 메인 회전축(55)과 평행하지 않은 다른 축방향으로 회전력을 전달하고, 회전풀리(54)는 제1 기어(52)의 하부에 위치되어 제1 기어(52)의 회전과 연동되며 밸트(10)에 회전력을 전달한다.
스프라켓(40)은 도 8과 같이 백킹롤러(30)와 연결된 축(32)의 일단에 장착되고, 체인(51)은 상기 기어부(55)의 제2 기어(53)와 스프라켓(40)에 연결되어 상기 밸트 구동 모터(7)의 회전력을 백킹롤러(30)에 전달한다.
한편, 스프라켓(40)은 다수개 구비될 수 있는데 이때 제2 기어(53)와 멀리 떨어져 있는 스프라켓(49)은 장력 조절을 위하여 장력조절부(61)와 장력조절홀(62)이 구비된 장력조절부(60)에 장착된다.
밸트(10)는 반도체(200)가 유입되는 유입부(1)측에 위치된 휠(2)과, 상기 기어부(55)의 회전풀리(54)에 연결되어 회전되는 구성으로, 도 9와 같이 몸체(11)와 지지홀(12)로 이루어져 있고, 몸체(11)는 회전풀리(54) 및 휠(2)의 외주면에 밀착되어 회전될 수 있도록 하고, 지지홀(12)은 반도체(200)의 일측을 지지하는 용도로 이용된다. 이와 같은 밸트(10)는 마주하는 방향에 더 구비되어 있어 반도체(200)를 안정적으로 지지하며 이송한다.
분사노즐(20)은 분사 방향이 반도체(200)의 상단부, 또는 하단부를 향하도록 노즐 브라켓(90)에 고정되고, 반도체(200)에 고압 세정수를 분사하여 반도체(200)의 표면을 세정한다. 분사노즐(20)에서 분사되는 고압 세정수는 고압의 물 또는 세정액과 같은 액상의 물질이거나, 가스일 수 있다.
백킹롤러(30)는 상기 분사노즐(20)의 고압 세정수 분사시 상기 반도체(200)를 백킹(backing)하는 구성으로, 롤러 브라켓(80)에 지지되는 축(32)에 연결되고, 둘레에는 오링홈(30a)이 형성되어 있으며, 이 오링홈(30a)에는 반도체(200)와 접촉시 완충작용을 하는 오링(31)이 설치되어 있다. 또한, 백킹롤러(30)는 카트리지(cartridge) 타입으로 구성되는데, 이는 상기 스프라켓(40)과 연결된 축에 착탈 가능하도록 구성하여 백킹롤러(30)의 교체 및 유지 보수를 용이하게 하기 위함이다.
이하에서는 본 발명에 따른 컨베이어 장치(100)의 동작관계를 설명한다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 밸트(10)의 이송속도와 백킹롤러(30)의 회전속도는 동기화된 상태에서 반도체(200)가 투입되고, 반도체(200)의 양측이 밸트(10)의 지지홀(12)에 지지되어 이송되며, 반도체(200)가 분사노즐(20)에 도달하기 전 분사노즐(20)의 근방에 배치된 백킹롤러(30)에 의해 상,하부가 지지되고, 분사노즐(20)의 고압 세정수 분사로 표면이 세정된다. 이때 백킹롤러(30)에 구비된 오링(31)은 도 11에 도시한 바와 같이 백킹롤러(30)의 둘레로부터 설정길이(L1)만큼 돌출되어 있는데, 반도체(200)가 접촉되면 백킹롤러(30)의 둘레와 반도체(200)의 표면이 접촉되지 않도록 백킹롤러(30)의 표면과 간격(L2)을 유지할 수 있을 정도의 탄성력을 갖는 것이 바람직하다.
이상 본 발명이 양호한 실시예와 관련하여 설명되었으나, 본 발명의 기술 분야에 속하는 자들은 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에 다양한 변경 및 수정을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예는 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 하고, 본 발명의 진정한 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 컨베이어 장치 200: 반도체
7: 밸트 구동 모터 10: 밸트
20: 분사노즐 30: 백킹롤러
31: 오링 51: 체인
40: 스프라켓 55: 기어부
70: 백킹롤러 구동부

Claims (4)

  1. 반도체(200) 또는 LED를 이송하는 밸트(10)와, 상기 밸트(10)의 이동경로 상에 배치되어 상기 반도체(200) 또는 LED에 고압 세정수를 분사하는 분사노즐(20) 및 상기 분사노즐(20)의 고압 세정수 분사시 상기 반도체(200) 또는 LED를 백킹(backing)하는 백킹롤러(30)를 포함하는 세정 장치의 컨베이어 장치(100)에 있어서,
    상기 밸트(10)의 이동에 따라 상기 반도체(200) 또는 LED와 접촉하여 백킹하는 백킹롤러(30)를 회전시키는 백킹롤러 구동부(70);
    를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 및 LED 세정용 세정 장치의 체인 구동 방식의 컨베이어 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 백킹롤러 구동부(70)는,
    상기 밸트(10)를 구동하는 밸트 구동 모터(7)의 동력을 이용하여 백킹롤러(30)를 회전시키는 것을 특징으로 하는 반도체 및 LED 세정용 세정 장치의 체인 구동 방식의 컨베이어 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 백킹롤러 구동부(70)는,
    상기 밸트 구동 모터(7)와 연결되어 밸트 구동 모터(7)의 회전력을 전달하는 기어부(55)와;
    상기 백킹롤러(30)와 연결된 스프라켓(40)과;
    상기 기어부(55)와 스프라켓(40)에 연결되어 상기 밸트 구동 모터(7)의 회전력을 백킹롤러(30)에 전달하는 체인(51);
    을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 및 LED 세정용 세정 장치의 체인 구동 방식의 컨베이어 장치.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 백킹롤러(30)는 반도체(200) 또는 LED와 접촉되는 면에 오링(31)이 구비되고, 카트리지(cartridge) 타입으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 및 LED 세정용 세정 장치의 체인 구동 방식의 컨베이어 장치.
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