JP4464724B2 - 基板の搬送装置 - Google Patents
基板の搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4464724B2 JP4464724B2 JP2004096017A JP2004096017A JP4464724B2 JP 4464724 B2 JP4464724 B2 JP 4464724B2 JP 2004096017 A JP2004096017 A JP 2004096017A JP 2004096017 A JP2004096017 A JP 2004096017A JP 4464724 B2 JP4464724 B2 JP 4464724B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- chamber
- transport
- magnetic
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Rolling Contact Bearings (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
チャンバと、
このチャンバ内に設けられチャンバ内に供給された前記基板を搬送する搬送ユニットと
を具備し、
前記搬送ユニットは、
フレームと、
それぞれに前記基板を搬送するための複数の搬送ローラが設けられた複数の搬送軸と、
前記フレームに前記搬送軸を前記基板の搬送方向に沿って所定間隔で回転可能に支持する無給油軸受と、
前記フレームと一体的に設けられ前記搬送軸を回転駆動するための駆動機構とによって構成されていて、
前記駆動機構は、前記フレームの前記搬送軸の一端部に対向する位置に前記搬送軸と軸線を直交させて回転可能に設けられた動力伝達軸と、この動力伝達軸の前記各搬送軸の一端部と対向する位置にそれぞれ設けられた第1の磁気式伝動部材と、前記搬送軸の一端部に前記第1の磁気式伝動部材と非接触で対向して設けられこの第1の磁気式伝動部材の回転に連動する第2の磁気式伝動部材とを有し、
前記チャンバの外部には駆動源が設けられ、この駆動源の駆動軸には前記チャンバ内に位置する磁気式駆動歯車が設けられ、前記動力伝達軸には前記搬送ユニットを前記チャンバ内に設置したときに前記磁気式駆動歯車と非接触で対向しこの磁気式駆動歯車の回転に連動する磁気式従動歯車が設けられていることを特徴とする基板の搬送装置にある。
図1乃至図6はこの発明の一実施の形態を示す。図1はこの発明の処理装置の幅方向に沿う縦断面図を示している。この処理装置はチャンバ1を備えている。このチャンバ1は、幅方向両側に位置する一対の側壁1a、一対の側壁1aの上端部に設けられた天井壁1b、下端部に設けられた底壁1c及び側壁1aの長手方向両端に設けられた一対の図示しない端面壁とによって構成されている。
Claims (2)
- 基板を処理液によって処理する処理装置に用いられる搬送装置において、
チャンバと、
このチャンバ内に設けられチャンバ内に供給された前記基板を搬送する搬送ユニットと
を具備し、
前記搬送ユニットは、
フレームと、
それぞれに前記基板を搬送するための複数の搬送ローラが設けられた複数の搬送軸と、
前記フレームに前記搬送軸を前記基板の搬送方向に沿って所定間隔で回転可能に支持する無給油軸受と、
前記フレームと一体的に設けられ前記搬送軸を回転駆動するための駆動機構とによって構成されていて、
前記駆動機構は、前記フレームの前記搬送軸の一端部に対向する位置に前記搬送軸と軸線を直交させて回転可能に設けられた動力伝達軸と、この動力伝達軸の前記各搬送軸の一端部と対向する位置にそれぞれ設けられた第1の磁気式伝動部材と、前記搬送軸の一端部に前記第1の磁気式伝動部材と非接触で対向して設けられこの第1の磁気式伝動部材の回転に連動する第2の磁気式伝動部材とを有し、
前記チャンバの外部には駆動源が設けられ、この駆動源の駆動軸には前記チャンバ内に位置する磁気式駆動歯車が設けられ、前記動力伝達軸には前記搬送ユニットを前記チャンバ内に設置したときに前記磁気式駆動歯車と非接触で対向しこの磁気式駆動歯車の回転に連動する磁気式従動歯車が設けられていることを特徴とする基板の搬送装置。 - 前記無給油軸受は、アウターレースと、インナーレースと、このインナーレースとアウターレースとの間に設けられた球体とを有し、前記アウターレースと前記インナーレースは前記処理液に対して耐蝕性を備えた合成樹脂によって形成されており、前記球体はセラミックスによって形成されていることを特徴とする請求項1記載の基板の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004096017A JP4464724B2 (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 基板の搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004096017A JP4464724B2 (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 基板の搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005286001A JP2005286001A (ja) | 2005-10-13 |
JP4464724B2 true JP4464724B2 (ja) | 2010-05-19 |
Family
ID=35184070
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004096017A Expired - Fee Related JP4464724B2 (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 基板の搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4464724B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008056471A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-13 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 搬送ローラ及び基板搬送装置 |
JP2010225687A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板の処理装置 |
KR101300502B1 (ko) * | 2010-07-14 | 2013-08-26 | 삼성전기주식회사 | 기판 건조장치 |
JP5667827B2 (ja) * | 2010-09-29 | 2015-02-12 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板の処理装置及び搬送装置 |
CN107818814B (zh) * | 2017-10-20 | 2024-08-06 | 北京雪迪龙科技股份有限公司 | 一种真空位移调节装置 |
-
2004
- 2004-03-29 JP JP2004096017A patent/JP4464724B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005286001A (ja) | 2005-10-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4495618B2 (ja) | 基板の処理装置及び処理方法 | |
JPH05506947A (ja) | 写真処理タンク | |
JP4464724B2 (ja) | 基板の搬送装置 | |
KR20060076715A (ko) | 워크 반송 장치 | |
TWI415210B (zh) | Substrate transfer apparatus and method, and a substrate manufacturing apparatus having the same | |
KR100776816B1 (ko) | 배관 내부 검사용 이동로봇 | |
KR20090049169A (ko) | 구동 자력 부재와, 이를 이용한 기판 이송 유닛 및 기판처리 장치 | |
JP4359580B2 (ja) | 処理液供給装置 | |
JP2004284694A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2007165452A (ja) | 基板の処理装置 | |
KR100813617B1 (ko) | 기판 이송 유닛 및 이를 이용한 기판 이송 방법 | |
JPH0864564A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2004273868A (ja) | 基板処理装置 | |
KR102108466B1 (ko) | 기판 반송 장치 | |
JP4727104B2 (ja) | シール装置及びこのシール装置を用いた処理装置 | |
JP5242345B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
KR100779949B1 (ko) | 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
KR20050064923A (ko) | 기판 처리시스템 | |
JP2021015900A (ja) | 真空チャンバ及び基板処理装置 | |
JP2007008695A (ja) | ローラコンベア及びベアリング組立体 | |
CN219702808U (zh) | 盘料平板清洗机构及清洗设备 | |
JP2007165643A (ja) | 基板の処理装置 | |
KR101121199B1 (ko) | 기판 이송 장치 | |
KR102189874B1 (ko) | 기판 처리 장치, 그리고 기판 처리 장치를 이용한 기판 처리 방법 | |
JP2003040446A (ja) | 基板処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070327 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091208 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100201 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100216 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100219 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130226 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4464724 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130226 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140226 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |