KR102108466B1 - 기판 반송 장치 - Google Patents

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KR102108466B1
KR102108466B1 KR1020190044139A KR20190044139A KR102108466B1 KR 102108466 B1 KR102108466 B1 KR 102108466B1 KR 1020190044139 A KR1020190044139 A KR 1020190044139A KR 20190044139 A KR20190044139 A KR 20190044139A KR 102108466 B1 KR102108466 B1 KR 102108466B1
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마혁진
여승철
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(주)도아테크
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Abstract

본 발명의 일 실시예는, 일단에 구동기어가 구비된 구동축, 상기 구동축과 직교되게 배치되고 상기 구동기어에 치합되도록 일단에 제1동력전달기어가 구비되어 상기 구동축의 회전 시 연동 회전하며 적어도 하나의 제2동력전달기어를 구비하는 동력전달축, 상기 동력전달축과 직교되게 배치되고 상기 제2동력전달기어에 치합되도록 일단에 하부 연동기어가 구비되어 상기 동력전달축의 회전 시 연동 회전하는 하부 연동축, 상기 구동축 및 상기 하부 연동축에 구비되어 기판을 반송하는 하부 반송롤러를 포함하는 하부 반송유닛; 상기 하부 연동기어와 치합되도록 일단에 상부 연동기어가 구비되어 상기 하부 연동축의 회전 시 연동 회전하는 상부 연동축, 상기 상부 연동축에 구비되는 상부 반송롤러를 포함하는 상부 반송유닛;을 포함하는 기판 반송 장치를 제공한다.

Description

기판 반송 장치{APPARATUS FOR TRANSPORTING SUBSTRATE}
본 발명은 공정 진행 시 평판 기판 등을 반송하는 기판 반송 장치에 관한 것이다.
반도체 메모리 소자의 기판으로 사용되는 웨이퍼(wafer), 액정 디스플레이 또는 플라즈마 디스플레이 패널로 사용되는 평판 기판 등은 박막과 금속막 등을 형성하는 여러 공정을 거쳐 메모리 소자나 디스플레이 소자로 제조된다.
각 공정은 외부와는 격리된 환경을 제공하는 공정 챔버(process chamber)에서 진행된다. 즉, 공정 챔버 내에서는 메모리 소자나 디스플레이 소자를 제조하기 위해 박막 형성 공정, 노광 공정, 현상 공정, 식각 공정, 세정 공정 등이 진행될 수 있다.
이때, 각각의 공정 챔버로 기판을 이동시키기 위해서, 또는 공정 챔버 내에서 기판을 이동시키기 위해서 기판 반송 장치가 구비된다.
일반적으로 기판 반송 장치는 기어의 기계적 결합에 의해 동력을 전달하는 동력전달장치를 구비하며, 이러한 동력전달장치에 사용되는 기어로는, 평 기어, 헬리컬 기어, 베벨기어, 웜기어, 랙피니언 기어 등이 있다.
그러나 기존의 기판 반송 장치는 약액이나 DIW 등에 의한 기판의 미끄러짐이나 유동 등을 초래하여 기판의 안정적인 반송에 취약한 문제가 있었다.
또한, 상기한 기계식 기어는 기어 간의 맞물림에 의해 소음이 발생하고, 기어의 마모 및 파티클이 발생할 뿐만 아니라, 내구성 및 열화에 대한 문제가 있으며, 동작 시 코깅(Cogging, 흔들림이나 충격)이 심하고 정기적으로 윤활유를 공급해야 하는 불편함이 있었다.
따라서, 최근에는 고청정 환경이 요구되는 LCD 제조설비, 반도체 설비, 제약설비, 식품 제조설비 등에서는 기계식 기어를 사용하지 않고 비접촉식 기어 예를 들면 마그네틱 기어를 사용하는 방법이 연구되고 있다.
한국공개특허 10-2010-0099938
본 발명의 실시예는 하부 반송유닛과 상부 반송유닛의 구동을 동시에 진행하여 기판을 안정적으로 반송할 수 있도록 한 기판 반송 장치를 제공한다.
본 발명의 목적은 전술한 바에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의한 기판 반송 장치는, 일단에 구동기어가 구비된 구동축, 상기 구동축과 직교되게 배치되고 상기 구동기어에 치합되도록 일단에 제1동력전달기어가 구비되어 상기 구동축의 회전 시 연동 회전하며 서로 이격된 복수의 제2동력전달기어를 구비하는 동력전달축, 상기 구동축과 동일 위상에 상기 동력전달축과 직교하면서 상기 구동축과 평행하게 배치되고 복수의 상기 제2동력전달기어에 각각 치합되도록 일단에 하부 연동기어가 구비되어 상기 동력전달축의 회전 시 연동 회전하는 복수의 하부 연동축, 상기 구동축 및 복수의 상기 하부 연동축에 각각 구비되어 상기 구동축 및 복수의 상기 하부 연동축 상에 기판을 반송하기 위한 반송 경로를 제공하는 하부 반송롤러를 포함하는 하부 반송유닛;
상기 하부 연동기어와 치합되도록 일단에 상부 연동기어가 구비되어 상기 하부 연동축의 회전 시 연동 회전하는 상부 연동축, 상기 상부 연동축에 구비되는 상부 반송롤러를 포함하는 상부 반송유닛;
을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 하부 연동기어는 상기 제2동력전달기어에 치합되는 제1기어부, 상기 상부 연동기어에 치합되는 제2기어부가 일체로 구비될 수 있다.
이때, 상기 제2동력전달기어와 상기 제1기어부는 각각 축 방향이 서로 교차되는 교차축 기어로 이루어지고, 상기 제2동력전달기어의 기어치와 상기 하부 연동기어의 기어치는 서로 다른 극성을 갖는 복수 개의 자석이 원주 방향으로 교대로 배열된 마그네틱 기어로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 상부 연동기어와 상기 제2기어부는 각각 축 방향이 서로 평행한 평기어로 이루어지고, 상기 상부 연동기어의 기어치와 상기 제2기어부의 기어치는 서로 다른 극성을 갖는 복수 개의 자석이 원주 방향으로 교대로 배열된 마그네틱 기어로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 구동기어와 상기 제1동력전달기어는 각각 축 방향이 서로 교차되는 교차축 기어로 이루어질 수 있다.
본 발명의 실시예에서, 상기 구동기어와 상기 동력전달기어를 감싸는 기어박스; 상기 구동기어와 동력전달기어의 맞물림부에 DIW를 공급하는 급수라인;을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의한 기판 반송 장치는 베벨기어와 평기어의 기능을 복합, 일체형으로 구성함으로써, 상부 반송유닛과 하부 반송유닛을 동시에 구동할 수 있다. 따라서, 베벨기어와 평기어를 별도로 설치하지 않아도 되므로 기어 세팅에 따른 유지가 쉽고, 설비의 컴팩트화에 기여할 수 있다.
또한, 동력전달을 위한 베벨기어와 평기어의 복합 기어를 마그네틱 기어로 적용함으로써 각 기어의 기어치 마모를 최소화하고, 파티클 발생을 감소시킬 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술하는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이다. 따라서, 본 발명은 이러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석될 필요는 없다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 의한 기판 반송 장치를 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 의한 기판 반송 장치의 하부 반송유닛을 도시한 평면도이다.
도 3은 도 2의 “A” 부분을 상세히 보인 확대도이다.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 의한 기판 반송 장치의 하부 반송유닛의 일부를 도시한 평면도이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 의한 기판 반송 장치의 하부 반송유닛의 일부를 도시한 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 본 발명의 본질과 관계없는 부분은 그에 대한 상세한 설명을 생략할 수 있으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 부여할 수 있다.
또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 여기서 사용되는 용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것으로서 본 발명을 한정하도록 의도되지 않으며, 본 명세서에서 다르게 정의되지 않는 한 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 이해되는 개념으로 해석될 수 있다.
도 1 내지 도 3은 각각 본 발명의 제1실시예에 의한 기판 반송 장치를 도시한 도면이다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 기판 반송 장치는 하부 반송유닛(100) 및 상부 반송유닛(200)을 포함한다. 하부 반송유닛(100)은 기판(S) 반송 시 실질적으로 구동력을 제공하고, 상부 반송유닛(200)은 하부 반송유닛(100)에 연계되어 기판의 유동을 방지한다.
하부 반송유닛(100)은 구동축(110), 동력전달축(120)을 매개로 구동축(110)으로부터 구동력을 전달받는 하부 연동축(130), 구동축(110) 및 하부 연동축(130)에 결합되어 기판을 반송하는 하부 반송롤러(140)를 포함한다.
구동축(110)은 Y축 방향으로 길게 설치될 수 있다. 구동축(110)의 길이는 반송하고자 하는 기판의 너비를 고려하여 설정될 수 있다. 구동축(110)의 일단에는 구동모터(111)가 배치되고, 타단에는 구동기어(112)가 배치된다. 구동모터(111)는 구동력을 발생하고, 구동축(110)에 회전력을 제공한다. 구동축(110)은 회전력을 동력전달축(120)에 전달한다.
구동기어(112)는 구동축(110)의 타단 즉, 구동모터(111)가 결합된 반대측 단부에 구비될 수 있다. 구동기어(112)는 후술하는 동력전달축(120)의 제1동력전달기어(121)와 치합된다.
동력전달축(120)은 구동축(110)의 회전 시 연동 회전한다. 즉, 동력전달축(120)의 일단에는 제1동력전달기어(121)가 배치되고, 제1동력전달기어(121)는 구동기어(112)에 치합된다. 따라서, 구동축(110)의 회전 시 구동기어(112)가 회전하면 구동기어(112)에 치합된 제1동력전달기어(121) 역시 회전하고, 결과적으로 동력전달축(120)이 회전하게 된다.
동력전달축(120)은 구동축(110)과 직교되게 배치될 수 있다. 즉, 동력전달축(120)은 X축 방향으로 길게 설치될 수 있다. 동력전달축(120)은 구동축(110)으로부터 전달받은 회전력을 하부 연동축(130)에 전달한다.
구동축(110)과 동력전달축(120)이 서로 직교되므로, 구동기어(112)와 제1동력전달기어(121)는 각각 축 방향이 서로 교차되는 교차축 기어 예를 들면, 베벨기어로 구성될 수 있다.
동력전달축(120)에는 제2동력전달기어(122)가 더 구비되며, 제2동력전달기어(122)는 동력전달축(120)에 일정 간격으로 복수 배치될 수 있다. 제2동력전달기어(122)는 후술하는 반송부의 하부 연동기어(131)에 회전력을 전달한다. 제2동력전달기어(122) 및 하부 연동기어(131)는 각각 축 방향이 서로 교차되는 교차축 기어 예를 들면, 베벨기어로 구성될 수 있다.
하부 연동축(130)은 동력전달축(120)의 회전 시 연동 회전한다. 하부 연동축(130)은 구동축(110)과 동일 위상으로 평행하게 복수 배치되고, 하부 연동축(130)의 축 방향 연장선은 동력전달축(120)과 직교되게 배치될 수 있다. 즉, 하부 연동축(130)은 Y축 방향으로 길게 설치될 수 있다. 하부 연동축(130)의 길이는 반송하고자 하는 기판의 너비를 고려하여 설정될 수 있다. 하부 연동축(130)은 구동축(110)의 길이와 동일한 길이를 가질 수 있다.
하부 연동축(130)의 일단에는 하부 연동기어(131)가 구비된다. 하부 연동기어(131)는 제2동력전달기어(122)에 치합되는 제1기어부(131a)를 포함할 수 있다. 제1기어부(131a)는 교차축 기어 예를 들면, 베벨기어로 형성될 수 있다. 하부 연동기어(131)는 상부 반송유닛(200)에 구동력을 전달하도록 제2기어부(131b)를 더 포함할 수 있다. 제2기어부(131b)는 상부 반송유닛(200)의 상부 연동기어(211)와 치합되는 평기어로 형성될 수 있다. 즉, 하부 연동기어(131)는 베벨기어의 제1기어부(131a)와 평기어의 제2기어부(131b)가 일체로 구비된 복합 기어로 구성될 수 있다.
이때, 제2동력전달기어(122)와 하부 연동기어(131)의 제1기어부(131a)는 마그네틱 베벨기어로 형성될 수 있다. 즉, 제2동력전달기어(122)의 기어치와 제1기어부(131a)의 기어치는 서로 접촉하지 않도록 일정한 틈새를 유지하며, 제2동력전달기어(122)의 기어치는 서로 다른 극성을 가지는 복수 개의 자석이 원주 방향으로 교대로 배열된 형태로 이루어지고, 제1기어부(131a)의 기어치는 제2동력전달기어(122) 측의 자석과의 극성에 의한 인력작용과 척력작용으로 회전력이 발생하도록 제2동력전달기어(122)의 자석의 배열에 대응하는 복수 개의 자석이 서로 다른 극성을 가지면서 원주 방향으로 교대로 배열된다.
이에 따라, 제2동력전달기어(122)와 제1기어부(131a)는 각각의 기어치가 비접촉 상태로 구동하게 되므로, 기어치의 마모를 최소화할 수 있고, 기어치 마모에 따른 파티클 발생을 감소시킬 수 있다.
하부 반송롤러(140)는 구동축(110) 및 하부 연동축(130)에 설치되어 기판을 반송한다. 하부 반송롤러(140)는 구동축(110) 및 하부 연동축(130) 각각에 복수 구비될 수 있으며, 각각의 하부 반송롤러(140)는 일정 간격으로 배치될 수 있다. 하부 반송롤러(140)가 회전함에 따라 기판은 하부 반송롤러(140) 상에서 X축 방향으로 이송될 수 있다.
구동축(110) 및 하부 연동축(130)의 양단에는 하부 베어링(150)이 구비될 수 있다. 하부 베어링(150)은 각각 구동축(110) 및 하부 연동축(130)의 회전을 지지해 준다.
한편, 기판은 약액 처리 시 기판 표면에 묻은 약액에 의해 미끄러짐이 발생할 수 있고, 경우에 따라서는 기판의 반송 시 반송로에서 이탈할 수 있다. 또한, 약액을 세정하기 위한 DIW 분사 시 하부 반송롤러(140)와 기판 사이에 수막 현상이 발생하여 기판의 미끄러짐이 발생할 수 있다. 또한, 공정 진행 시 약액을 분사할 때나 세정 후 건조를 위해 에어(Air)의 분사 시 에어(Air)의 토출 압력에 의해 기판이 뒤로 밀리거나 기판의 떨림이 발생하여 기판에 불균일한 진동이 발생하여 얼룩이 발생될 가능성이 있다.
이에 따라, 하부 반송유닛(100)의 상측에는 상부 반송유닛(200)이 배치되어 하부 반송유닛(100)의 작동 시 연동되며, 상부 반송유닛(200)은 반송 경로 상에서 기판의 이탈이나 유동 등을 방지한다.
즉, 상부 반송유닛(200)은 기판의 반송 시 상기한 기판의 미끄러짐에 의한 유동이나 이탈 및 기판의 떨림이나 진동 등으로부터 기판이 안정적으로 반송될 수 있도록 해 준다. 따라서, 기판은 하부 반송유닛(100)과 상부 반송유닛(200) 사이에 개재되며, 하부 반송롤러(140)에 지지된 상태에서 상부 반송롤러(220)에 접촉된 상태로 이송된다.
상부 반송유닛(200)은 하부 연동축(130)의 회전 시 연동 회전하는 상부 연동축(210)을 포함한다. 상부 연동축(210)은 하부 연동축(130)과 서로 다른 위상으로 평행하게 복수 배치된다. 즉, 상부 연동축(210)은 하부 연동축(130)의 상측에 Y축 방향으로 길게 설치된다.
상부 연동축(210)의 일단에는 상부 연동기어(211)가 구비된다. 상부 연동기어(211)는 하부 연동기어(131)와 치합된다. 즉, 상부 연동기어(211)는 하부 연동기어(131)의 상측에 대응 위치되며, 하부 연동기어(131)의 회전 시 연동 회전한다.
하부 연동기어(131)의 제2기어부(131b)와 상부 연동기어(211)는 축 방향이 서로 평행한 마그네틱 평기어로 형성될 수 있다. 즉, 하부 연동기어(131)의 제2기어부(131b)의 기어치와 상부 연동기어(211)의 기어치는 서로 접촉하지 않도록 일정한 틈새를 유지하며, 제2기어부(131b)의 기어치는 서로 다른 극성을 가지는 복수 개의 자석이 원주 방향으로 교대로 배열된 형태로 이루어지고, 상부 연동기어(211)의 기어치는 제2기어부(131b) 측의 자석과의 극성에 의한 인력작용과 척력작용으로 회전력이 발생하도록 제2기어부(131b)의 자석의 배열에 대응하는 복수 개의 자석이 서로 다른 극성을 가지면서 원주 방향으로 교대로 배열된다.
이에 따라, 제2기어부(131b)와 상부 연동기어(211)는 각각의 기어치가 비접촉 상태로 구동하게 되므로, 기어치의 마모를 최소화할 수 있고, 기어치 마모에 따른 파티클 발생을 감소시킬 수 있다.
상부 연동축(210)에는 기판을 이송하기 위한 상부 반송롤러(220)가 회전 가능하도록 구비된다. 상부 반송롤러(220)는 각각의 상부 연동축(210)에 복수 구비될 수 있으며, 각각의 상부 반송롤러(220)는 일정 간격으로 배치될 수 있다. 상부 반송롤러(220)는 하부 반송롤러(140)와 대응되는 위치에 배치될 수 있다. 상부 반송롤러(220)가 회전함에 따라 기판은 하부 반송롤러(140)와 상부 반송롤러(220) 사이에서 X축 방향으로 이송될 수 있다.
상부 연동축(210)의 양단에는 상부 베어링(230)이 구비될 수 있다. 상부 베어링(230)은 상부 연동축(210)의 회전을 지지해 준다.
이와 같이, 일 실시예에 의한 기판 반송 장치는 베벨기어와 평기어의 기능을 복합, 일체형으로 구성함으로써, 상부 반송유닛(200)과 하부 반송유닛(100)을 동시에 구동할 수 있다. 예컨대, 복합 기어 방식이 아닌 경우 베벨기어와 평기어를 별도로 설치해야 하며, 이 경우 각각의 기어 세팅에 따른 유지가 쉽지 않고, 설치 공간도 복합 기어 방식에 비해 커져야 하는 단점이 있다. 이는 설비의 컴팩트화를 저해하는 요인이 될 수 있으며, 각각의 부품을 따로 제작하는 방식을 하나의 일체화된 기어의 방식으로 제작함으로써 부품 제작비를 절감할 수 있다.
도 4 및 도 5는 각각 본 발명의 제2실시예에 의한 기판 반송 장치를 도시한 도면이다.
도 4 및 도 5를 참고하면, 구동축(110)의 구동기어(112)와 동력전달축(120)의 제1동력전달기어(121)의 기어 맞물림부 외측에는 기어박스(300)가 구비된다.
기어박스(300)는 구동기어(112)와 제1동력전달기어(121)를 감싸며, 외부의 이물질이 그 내부로 유입되는 것을 방지하는 것으로, 박스본체(310)와 박스커버(320)를 포함할 수 있다.
박스본체(310)는 상면이 개방되도록 구성된다. 박스본체(310)는 내부에 구동기어(112)와 제1동력전달기어(121)가 수용되도록 충분한 내용적을 갖는다.
박스커버(320)는 박스본체(310)에 착탈 가능하도록 저면이 개방되도록 구성되며, 박스본체(310)의 개구부를 덮어 기어박스(300)가 밀폐되도록 한다.
박스본체(310) 또는 박스커버(320)에는 급수라인(330)이 연결된다. 급수라인(330)의 일단은 기어 맞물림부에 대응 위치된다.
즉, 마그네틱 기어의 토크 한계성 때문에 구동기어(112) 및 제1동력전달기어(121)를 마그네틱 기어로 구동하기에는 무리가 있다. 구동에 필요한 최소 토크를 구현하기 위해서는 일반 베벨기어로 구동이 필요하다. 그러나 일반 베벨기어로 구동 시 기어의 맞물림에 의한 마찰이 발생하여 파티클이 발생할 수 있다. 이러한 파티클의 확산을 방지하기 위해 밀폐 형태의 기어박스(300)를 구성하고 기어 맞물림부에 DIW or 약액을 미세 조정 가능하도록 구성하여 공급한다. 이에 따라, 기어 마찰부의 윤활작용을 통해 파티클 발생 최소화, 발열 방지, 내구성 증대를 도모할 수 있다.
본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있으므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다.
본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100; 하부 반송유닛 110; 구동축
111; 구동모터 112; 구동기어
120; 동력전달축 121; 제1동력전달기어
122; 제2동력전달기어 130; 하부 연동축
131; 하부 연동기어 131a; 제1기어부
131b; 제2기어부 140; 하부 반송롤러
150; 하부 베어링 200; 상부 반송유닛
210; 상부 연동축 211; 상부 연동기어
220; 상부 반송롤러 230; 상부 베어링
300; 기어박스 310; 박스본체
320; 박스커버 330; 급수라인

Claims (8)

  1. 일단에 구동기어가 구비된 구동축, 상기 구동축과 직교되게 배치되고 상기 구동기어에 치합되도록 일단에 제1동력전달기어가 구비되어 상기 구동축의 회전 시 연동 회전하며 서로 이격된 복수의 제2동력전달기어를 구비하는 동력전달축, 상기 구동축과 동일 위상에 상기 동력전달축과 직교하면서 상기 구동축과 평행하게 배치되고 복수의 상기 제2동력전달기어에 각각 치합되도록 일단에 하부 연동기어가 구비되어 상기 동력전달축의 회전 시 연동 회전하는 복수의 하부 연동축, 상기 구동축 및 복수의 상기 하부 연동축에 각각 구비되어 상기 구동축 및 복수의 상기 하부 연동축 상에 기판을 반송하기 위한 반송 경로를 제공하는 하부 반송롤러를 포함하는 하부 반송유닛;
    상기 하부 연동기어와 치합되도록 일단에 상부 연동기어가 구비되어 상기 하부 연동축의 회전 시 연동 회전하는 상부 연동축, 상기 상부 연동축에 구비되는 상부 반송롤러를 포함하는 상부 반송유닛;
    을 포함하는 기판 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 하부 연동기어는 상기 제2동력전달기어에 치합되는 제1기어부, 상기 상부 연동기어에 치합되는 제2기어부가 일체로 구비된 기판 반송 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2동력전달기어와 상기 제1기어부는 각각 축 방향이 서로 교차되는 교차축 기어로 이루어진 기판 반송 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제2동력전달기어의 기어치와 상기 제1기어부의 기어치는 서로 다른 극성을 갖는 복수 개의 자석이 원주 방향으로 교대로 배열된 마그네틱 기어로 이루어진 기판 반송 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 상부 연동기어와 상기 제2기어부는 각각 축 방향이 서로 평행한 평기어로 이루어진 기판 반송 장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 상부 연동기어의 기어치와 상기 제2기어부의 기어치는 서로 다른 극성을 갖는 복수 개의 자석이 원주 방향으로 교대로 배열된 마그네틱 기어로 이루어진 기판 반송 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 구동기어와 상기 제1동력전달기어는 각각 축 방향이 서로 교차되는 교차축 기어로 이루어진 기판 반송 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 구동기어와 상기 제1동력전달기어를 감싸서 외부로부터의 이물 유입을 방지하는 기어박스;
    상기 기어박스에 연결되며 상기 구동기어와 상기 제1동력전달기어의 맞물림부에 윤활작용 및 발열 방지를 위하여 약액을 조정된 양으로 공급하는 급수라인;을 더 포함하는 기판 반송 장치.
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