JP2005286001A - 基板の搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】搬送軸を回転可能に支持する軸受から潤滑油が溶け出して基板を汚染することが無いようにした処理装置を提供する。
【解決手段】チャンバと、チャンバ内に設けられチャンバ内に供給された基板を搬送する搬送ユニット１１とを具備し、搬送ユニットは、フレーム１２と、それぞれに基板を搬送するための複数の搬送ローラが設けられた複数の搬送軸２１と、フレームに搬送軸を基板の搬送方向に沿って所定間隔で回転可能に支持する無給油軸受１５と、フレームと一体的に設けられ搬送軸を回転駆動するための動力伝達軸４１とによって構成されている。
【選択図】図３

Description

この発明は基板をチャンバ内に搬送して処理液で処理する基板の処理装置に用いられる基板の搬送装置に関する。

たとえば液晶表示装置や半導体装置の製造工程においては、基板としての液晶用ガラス基板や半導体ウエハをエッチング処理したり、エッチング後にマスクとして使用されたレジストの剥離処理を行なう工程がある。このような基板の処理工程では、基板を一枚づつ搬送しながら処理する枚葉方式が採用されることがある。

枚葉方式によって基板を処理する場合、基板を搬送しながらその上下面或いは上面にシャワ−ノズルから処理液を噴射して処理する処理装置が知られている。この処理装置はチャンバを有し、このチャンバ内には前記基板の搬送方向に沿って搬送軸が回転可能に設けられている。この搬送軸には複数の搬送ロ−ラが軸方向に所定間隔で設けられている。そして、前記搬送軸を回転駆動することで、前記基板を搬送ローラによって搬送するようになっている。

前記搬送軸の両端部は前記チャンバの両側壁に形成された貫通孔から外部に突出し、その突出部分はそれぞれ軸受によって回転可能に支持されている。搬送軸の一方の端部には従動歯車が設けられ、この従動歯車には駆動源によって回転駆動される駆動歯車が噛合している。それによって、チャンバ内に供給された基板を前記搬送ローラによって所定方向に搬送するようになっている。

前記搬送ロ−ラによって搬送される基板に処理液を噴射すると、この処理液はミスト状となってチャンバ内に充満する。処理液としてはエッチング液や剥離液などの薬液が用いられる。そのため、たとえばエッチング液の場合には金属を腐食したり、作業環境を悪化させるから、チャンバから外部に流出するのを防止しなければならない。

処理液が処理槽から流出する虞のある箇所としては、基板を搬入する搬入口、搬出する搬出口及び前記搬送軸の両端部が貫通したチャンバの側壁に形成された貫通孔がある。前記搬入口と搬出口はシャッタによって開閉することで、処理液の流出を防止しており、前記貫通孔は前記搬送軸にシール装置を設けてシールすることで、処理液の流出を防止している。

回転駆動される搬送軸をシールするシール装置としては、メカニカルシールが知られている。しかしながら、メカニカルシールは構造が複雑で、高価であるため、処理装置の処理槽のように多数の搬送軸が設けられる場合には、装置全体のコストが大幅に上昇することになる。そこで、搬送軸を支持する軸受をチャンバ内に設け、チャンバ側壁に貫通孔を形成せずにすむようにすることが考えられている。

ところで、搬送軸を回転可能に支持する軸受は通常、アウターレース、インナーレース及びこれらケース間に設けられる球体が金属で作られている。そして、球体を介してのアウターレースの円滑な回転を確保するため、一対のケース間には潤滑油が供給される。

しかしながら、軸受をチャンバ内に設けるようにしたのでは、この軸受に供給された潤滑油が処理液によって溶かされて不純物としてチャンバ内に拡散するから、その不純物が基板に付着し、汚染の原因になるということがある。

また、搬送軸を単にチャンバ内に設けるようにしたのでは、複数の搬送軸をチャンバ内に組み込まなければならないから、その組立作業に多くの手間が掛かるということがあるばかりか、修理点検時には搬送軸の取り外し作業を容易に行なうことができないということもある。

この発明は、搬送軸の軸受をチャンバ内に設けても、潤滑油によって基板が汚染されることがないようにするとともに、搬送軸の組立や取り外し作業も容易に行なうことができるようにした基板の搬送装置を提供することにある。

この発明は、基板を処理液によって処理する処理装置に用いられる搬送装置において、
チャンバと、
このチャンバ内に設けられチャンバ内に供給された前記基板を搬送する搬送ユニットと
を具備し、
前記搬送ユニットは、
フレームと、
それぞれに前記基板を搬送するための複数の搬送ローラが設けられた複数の搬送軸と、
前記フレームに前記搬送軸を前記基板の搬送方向に沿って所定間隔で回転可能に支持する無給油軸受と、
前記フレームと一体的に設けられ前記搬送軸を回転駆動するための駆動機構と
によって構成されていることを特徴とする基板の搬送装置にある。

前記無給油軸受は、アウターレースと、インナーレースと、このインナーレースとアウターレースとの間に設けられた球体とを有し、前記各ケースは前記処理液に対して耐蝕性を備えた合成樹脂によって形成されており、前記球体はセラミックスによって形成されていることが好ましい。

前記駆動機構は、前記フレームの前記搬送軸の一端部に対向する位置に前記搬送軸と軸線をほぼ直交させて回転可能に設けられた動力伝達軸と、この動力伝達軸の前記各搬送軸の一端部と対向する位置にそれぞれ設けられた第１の磁気式伝動部材と、前記搬送軸の一端部に前記第１の磁気式伝動部材と非接触で対向して設けられこの第１の磁気式伝動部材の回転に連動する第２の磁気式伝動部材と
を有することが好ましい。

前記チャンバの外部には駆動源が設けられ、この駆動源の駆動軸には前記チャンバ内に位置する磁気式駆動歯車が設けられ、前記動力伝達軸には前記搬送ユニットを前記チャンバ内に設置したときに前記磁気式駆動歯車と非接触で対向しこの磁気式駆動歯車の回転に連動する磁気式従動歯車が設けられていることが好ましい。

前記チャンバの外部には駆動源が設けられていて、
前記駆動機構は、前記駆動源の回転軸に取り付けられて前記チャンバ内に設けられた駆動スプロケットと、前記搬送軸の端部に取り付けられた従動スプロケットと、この従動スプロケットと前記駆動スプロケットに掛け渡されたチェーンとを具備し、
前記駆動スプロケット、従動スプロケット及びチェーンは前記処理液に対して耐蝕性を備えた合成樹脂によって形成されていることが好ましい。

この発明によれば、搬送軸を無給油軸受によって回転可能に支持するため、潤滑油がチャンバ内に不純物として拡散することがないばかりか、複数の搬送軸をユニット化しているため、組立作業や取り外し作業を容易に行なうことが可能となる。

以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１乃至図６はこの発明の一実施の形態を示す。図１はこの発明の処理装置の幅方向に沿う縦断面図を示している。この処理装置はチャンバ１を備えている。このチャンバ１は、幅方向両側に位置する一対の側壁１ａ、一対の側壁１ａの上端部に設けられた天井壁１ｂ、下端部に設けられた底壁１ｃ及び側壁１ａの長手方向両端に設けられた一対の図示しない端面壁とによって構成されている。

前記天井壁１ｂの幅方向中央部には、長手方向全長にわたって角筒状の排気ダクト２が設けられている。この排気ダクト２のチャンバ１内に臨んだ両側面には排気口３が形成されている。この排気ダクト２は図示しない排気装置に接続されている。それによって、チャンバ１内の雰囲気を排出することができるようになっている。しかも、排気ダクト２は角筒状であるため、天井壁１ｂが補強され、チャンバ１全体の剛性を高めている。

前記天井壁１ｂには、前記排気ダクト２の両側に点検口４が開口形成され、この点検口４は開閉可能な蓋体５によって気密に閉塞されている。

前記チャンバ１の一対の端面壁の一方には例えば液晶表示パネルに用いられるガラス製の基板Ｗを導入する搬入口６（鎖線で示す）が開口形成され、他方にはチャンバ１内で処理された前記基板Ｗを搬出する搬出口（図示せず）が開口形成されている。なお、底壁１ｃはチャンバの幅方向中央に行くにつれて低くなっていて、最も低い位置には排液管７が接続されている。

前記チャンバ１内には、前記搬入口６からチャンバ１内に搬入された基板Ｗを前記搬出口へ向かって搬送する複数の搬送ユニット１１（１つだけ図示）がチャンバ１の長手方向に沿って並設されている。この搬送ユニット１１は角パイプによって形成された矩形状のフレーム１２を有する。このフレーム１２の幅方向両側の外面には、図２に示すようにそれぞれ長さ寸法の約半分の長さに分割されたそれぞれ２つの取り付け板１３が取り付けられる。各取り付け板１３には上端面に開放するＵ字状の複数の凹部１４が長手方向に所定間隔で形成されている。この実施の形態では各取り付け板１３にはそれぞれ５つの凹部１４が形成されている。

各凹部１４には無給油軸受１５が着脱可能に保持されている。この無給油軸受１５は、図４に示すようにリング状のアウターレース１６と、このアウターレース１６内に設けられる同じくリング状のインナーレース１７を有する。アウターレース１６の内周面と、インナーレース１７の外周面とにはそれぞれ断面円弧状の凹部１６ａ，１７ａが形成されていて、これらの凹部１６ａ，１７ａにはリテーナ１８によって回転可能に保持された複数の球体１９が設けられている。

前記各ケース１６，１７はエッチング液などの処理液に対して耐蝕性を有する合成樹脂、たとえば超高分子量ポリエチレン、ピーク樹脂、フッ素系樹脂などによって形成されており、前記球体１９は同じく処理液に対して耐蝕性を備えるとともに所定の剛性を備えた材料、たとえばセラミックスなどによって形成されている。前記リテーナ１８は耐蝕性を備えた金属材料、たとえばステンレス鋼や銅などの金属材料或いは金属材料に耐蝕性を備えた樹脂をコーティングしたものなどが用いられる。

各ケース１６，１７を上述した樹脂で形成し、球体１９をセラミックスで形成することで、これらの間には潤滑性を持たせることができるため、従来の軸受のように潤滑油を供給することなく使用することができるようになっている。

前記アウターレース１６の外周面には取り付け溝１６ｂが形成されている。そして、無給油軸受１５はその取り付け溝１６ｂを前記取り付け板１３の凹部１４に係合させることで、この取り付け板１３に着脱可能に保持される。

なお、図１に示すように、フレーム１２の幅方向中央部には、前記取り付け板１３と同様、複数の無給油軸受１５が補助取り付け板１３ａに着脱可能に保持されている。この補助取り付け板１３ａは、前記フレーム１２の幅方向と交差する長手方向に沿って架設されている。

一対の取り付け板１３及び補助取り付け板１３ａに保持された、対応する各３つの無給油軸受１５には、それぞれ搬送軸２１が両端部及び軸方向中途部を回転可能に支持されている。つまり、各搬送軸２１はフレーム１２の幅方向に沿って架設されている。各搬送軸２１には複数の搬送ローラ２２が軸方向に所定間隔で設けられている。

前記搬入口６からチャンバ１内に搬入された基板Ｗは図１に鎖線で示すように各搬送ローラ２２に乗って搬送される。基板Ｗの幅方向両端部は、前記フレーム１２の幅方向と交差する方向に位置する一対の側辺の両端部に設けられたガイドローラ２３によって幅方向の両端がガイドされるようになっている。

前記ガイドローラ２３は、図５に示すように前記フレーム１２に下端がねじ止め固定される軸部材２４を有する。この軸部材２４の上端部は大径部２５に形成され、この大径部２５には筒体２６が回転可能に設けられる。つまり、大径部２５の外周面と、筒体２６の内周面とには円弧状の凹部２５ａ，２６ａが形成され、これらの凹部２５ａ，２６ａには複数の球体２７が回転可能に設けられる。複数の球体２７はリテーナ２８によって保持されている。

前記軸部材２４と筒体２６とは前記無給油軸受と同様、処理液に対して耐蝕性を備えた合成樹脂によって形成され、前記球体２７はセラミックスによって形成されている。前記リテーナ２８も同様に、処理液に対する耐蝕性を備えた金属や金属に耐蝕性を備えた合成樹脂をコーティングして形成されている。それによって、ガイドローラ２３は無給油軸受１５と同様、潤滑油を供給せずに潤滑性を備えることができる。

図１と図３に示すように、搬送軸２１の両端部にはそれぞれ末端から所定寸法軸方向内方の箇所に位置決めフランジ３１が外嵌固定されている。搬送軸２１の一端部の位置決めフランジ３１よりも末端側には第１のカラー３２を介して前記無給油軸受１５が取り付けられている。

前記搬送軸２１の他端部には、前記位置決めフランジ３１よりも端部側に第２のカラー３３、前記無給油軸受１５、第３のカラー３４及び第２の磁気式伝動部材３５が順次外嵌固定されている。

図２に示すように、前記搬送軸２１の他端部側に位置する一対の取り付け板１３の長手方向両端部は、フレーム１２の幅方向外方に向かってＬ字状に折り曲げられた折り曲げ部３７に形成されている。各折り曲げ部３７には凹部３７ａが形成され、これら凹部３７ａには搬送軸２１を回転可能に支持したのと同じ構成の無給油軸受１５が保持されている。これらの無給軸受１５には駆動機構を構成する動力伝達軸４１が軸方向の両端部と中途部とが回転可能に支持されて設けられている。それによって、前記動力伝達軸４１と前記各搬送軸２１とは軸線をほぼ直交させて配置されている。

前記動力伝達軸４１には、各搬送軸２１の端部と対応する位置にそれぞれ第１の磁気式伝動部材４２が外嵌固定されている。図３においては、第１の磁気式伝動部材４２が動力伝達軸４１に外嵌されている状態が示されているが、図２では動力伝達軸４１から外された状態が示されている。

前記第１の磁気式伝動部材４２と第２の磁気式伝動部材３５とは軸線を直交させるとともに外周面を接近させて対向している。各磁気式伝動部材３５，４２は周方向にＮ極とＳ極とが交互に、しかも軸方向に４５度の角度で磁化されている。それによって、軸線を直交させて配置された第１、第２の磁気式伝動部材３５，４２はどちらか一方が回転すれば、他方が磁気結合力によって連動して回転する。

図１と図２に鎖線で示すように前記動力伝達軸４１の中途部には磁気式従動歯車４３が外嵌固定されている。この磁気式従動歯車４３は、軸線を前記動力伝達軸４１と平行にして配置される駆動源４４の駆動軸４５に取り付けられた磁気式駆動歯車４６と磁気的に結合する。それによって、前記磁気式駆動歯車４６が回転駆動されれば、その回転に前記磁気式従動歯車４３が連動する。

なお、前駆第１、第２の磁気式伝動部材３５，４２、磁気式従動歯車４３及び磁気式駆動歯車４６は処理液に対する耐蝕性に優れた磁性材料で形成したり、通常の磁性材料の表面を処理液に対する耐蝕性に優れた合成樹脂で被覆して形成されている。

前記搬送ユニット１１の幅方向一端部と他端部、つまり搬送軸２１の無給油軸受１５によって支持された両端部はそれぞれ板材をコ字状に折曲したカバー４７によって覆われる。各カバー７はたとえばステンレス鋼板などの板材を耐蝕性の合成樹脂でコーティングした材料が用いられており、図２に示すようにフレーム１２の幅方向両側に立設された取り付けピン４８によって固定される。

前記搬送ユニット１１は、そのフレーム１２がチャンバ１内の幅方向両端部に長手方向に沿って設けられた受け部材４９に着脱可能に載置される。前記チャンバ１の一方の側壁１ａには、前記搬送ユニット１１の動力伝達軸４１に設けられた磁気式従動歯車４３に対向する部位に小室５１が側壁１ａの外部に張り出して形成されている。この小室５１には前記磁気式駆動歯車４６が設けられ、この磁気式駆動歯車４６を回転駆動する前記駆動源４４は前記小室５１の外部に配置されている。そして、駆動源４４の駆動軸４５は小室５１の側壁から内部に液密に突出し、そこに前記磁気式駆動歯車４６が嵌着されている。

前記駆動源４４、つまり小室５１内に配置された磁気式駆動歯車４６は図１に示す小室５１の下部から図６に示すように上部に位置を変更できるようになっている。すなわち、搬送ユニット１１を図１に示すようにチャンバ１内に水平に保持した状態から、図６に示すように一方の受け部材４９とフレーム１２の幅方向一端部との間に高さ調整部材５２を入れて搬送ユニット１１を幅方向に所定の角度、たとえば５度に傾斜させることができる。搬送ユニット１１を傾斜させて磁気式従動歯車４３の高さ位置が変化した場合、それに応じて駆動源４４の位置を変更すれば、前記磁気式駆動歯車４６を前記磁気式従動歯車４３に磁気的に結合する位置に変更することができる。

搬送ユニット１１を傾斜させたとき、前記調整部材５２は一方の受け部材４９とフレーム１２とにねじ止め固定され、他方の受け部材４９とフレーム１２とは連結板５０によって連結固定される。それによって、搬送ユニット１１は傾斜状態が確実に維持される。

なお、チャンバ１内に設置される複数の搬送ユニット１１を別々の駆動源４によって駆動する場合、前記小室５１は各動力伝達軸４１に設けられた磁気式従動歯車４３に対向する位置に形成される。

図１に示すように、前記チャンバ１の小室５１が形成されていない他方の側壁１ａの上部には通孔５３が形成されている。この通孔５３は閉塞板５４によって閉塞されている。この閉塞板５４にはヘッダパイプ５５が液密に貫通している。チャンバ１の一方の側壁１ａの内面には下部受け部５６と上部受け部５７とが設けられている。

図１に示すように、チャンバ１内で搬送ユニット１１が水平に保持されているとき、前記ヘッダパイプ５５は先端部が下部受け部５６に支持されて水平となっている。ヘッダパイプ５５には複数の連通管５８によってシャワーパイプ５９が連結されている。シャワーパイプ５９は搬送ユニット１１の幅寸法とほぼ同じ長さ寸法を有し、複数のノズル６１が所定間隔で設けられている。それによって、搬送ユニット１１の搬送ローラ２２によってチャンバ１内を搬送される基板Ｗの上面には前記ノズル６１からエッチング液などの処理液を噴射することができる。

前記搬送ユニット１１を図６に示すように傾斜させた場合、下部受け部５６に係合させたヘッダパイプ５５の先端部を上部受け部５７に係合させる。それによって、シャワーパイプ５９は搬送ユニット１１によって搬送される基板Ｗと平行に傾斜するから、各ノズル６１から基板Ｗの板面の幅方向に処理液を均一な強さで噴射することができる。この場合、基板Ｗに噴射された処理液は基板Ｗの傾斜方向下方に向かって円滑に流れることになる。

なお、前記構成の処理装置において、処理液に対して耐蝕性を備えているとして説明した部材以外であっても、耐蝕性の金属材料を用いたり、表面を耐蝕性の樹脂でコーティングするなどして処理液に対し耐蝕性を持たせるようにしている。

このような構成の処理装置によれば、搬送ユニット１１のフレーム１２に、搬送軸２１を回転可能に支持するために、無給油軸受１５を用いるようにした。そのため、無給油軸受１５には潤滑油を供給せずにすむから、潤滑油を必要とする軸受を用いた従来のように、潤滑油が溶け出してチャンバ１内に拡散し、基板Ｗを汚染するということがない。

同様に、基板Ｗの搬送方向をガイドするガイドローラ２３や動力伝達軸４１を回転可能に支持する軸受１５も無給油式としたから、これらからも潤滑油が溶け出して基板Ｗを汚染するのを防止できる。

駆動源４４の駆動軸４５の回転を、搬送ユニット１１の動力伝達軸４１に伝達するために、前記駆動源４４の駆動軸４５には磁気式駆動歯車４６を設け、前記動力伝達軸４１には、前記磁気式駆動歯車４６と非接触状態で磁気的に結合する磁気式従動歯車４３を設けるようにした。

そのため、磁気式駆動歯車４６と磁気式従動歯車４３との間に機械的に噛合した歯車のように接触摩擦によって塵埃が発生するということがないから、そのことによってチャン板１内に塵埃が飛散して基板Ｗが汚染されるのを防止できる。

動力伝達軸４１に第１の磁気式伝動部材４２を設け、搬送軸２１には第１の磁気式伝動部材４２と磁気的に結合する第２の磁気式伝動部材３５を設けるようにした。そのため、駆動源４４によって回転駆動された動力伝達軸４１の回転を複数の搬送軸２１に磁気的に伝達することができるから、そのことによっても動力を機械的に伝達する場合のように接触摩擦によって塵埃が発生するのを防止することができる。

すなわち、搬送軸２１の駆動を、チャンバ１内に設けられた磁気式の動力伝達部材、つまり磁気式駆動歯車４６、磁気式従動歯車４３、第１の磁気式伝動部材４２及び第２の磁気式伝動部材３５によって行なうようにした。そのため、これらの磁気式の歯車がチャンバ１の内部に設けられていても、塵埃の発生を招くことがないばかりか、従来のようにチャンバ１の側壁１ａに搬送軸２１を貫通させ、その貫通部分をメカニカルシールによってシールするということをせずにすむ。

複数の搬送軸２１をフレーム１２に設け、このフレーム１２をチャンバ１内の受け部材４９に着脱可能に載置するようにした。つまり、複数の搬送軸２１をフレーム１２に設けて搬送ユニット１１とした。

そのため、複数の搬送軸２１を予めフレーム１２に取り付けて搬送ユニット１１とした状態で、チャンバ１内に組み込むことができるから、１本ずつチャンバ１内に組み込む場合に比べてその組立作業を容易かつ迅速に行なうことができるばかりか、組立作業がし易いことによって組立精度を高めることもできる。

同様に、搬送軸２１や無給油軸受１５などを点検したり、修理、交換する場合なども、複数本の搬送軸２１を搬送ユニット１１ごと一度にチャンバ１から取り出すことができる。そのため、複数本の搬送軸２１を１本ずつチャンバ１から取り外す場合に比べて作業性を大幅に向上させることができる。すなわち、複数の搬送軸２１をフレーム１２に設けることでユニット化したから、搬送軸２１の組立や取り外しなどの作業性を向上させることができる。

図７はこの発明の他の実施の形態を示す。この実施の形態は搬送軸２１を回転駆動する駆動機構の変形例である。すなわち、チャンバ１の外部に設けられた駆動源４４の駆動軸４５は、チャンバ１の側壁１ａにシール装置６５によって液密にシールして設けられた伝動軸６６の一端部に継ぎ手６７を介して連結される。この伝動軸６６のチャンバ１内に突出した他端部には処理液に対して耐蝕性を備えた合成樹脂からなる駆動スプロケット６８が嵌着される。

搬送ユニット１１に設けられた複数の搬送軸２１の１つの端部には同じく合成樹脂によって形成された第１の従動スプロケット６９が嵌着されている。前記駆動スプロケット６８と第１の従動スプロケット６９には、同じく処理液に対して耐蝕性を備えた合成樹脂製のチェーン７１が掛けられている。

第１の従動スプロケット６９が設けられていない他の搬送軸２１の駆動は、詳細は図示しないが全ての搬送軸２１の端部にそれぞれ２つの第２の従動スプロケットが設けられ、隣り合う搬送軸２１の一対の第２の従動スプロケットにチェーンを掛けることで、第１の従動スプロケット６９が設けられた搬送軸２１の回転を他の搬送軸２１に伝達することができるようになっている。

第１、第２のスプロケットが合成樹脂製であり、チェーン７１も合成樹脂製であるから、給油の必要がないばかりか、塵埃の発生も抑制することができる。つまり、合成樹脂製のスプロケットとチェーンを用い、これらをチャンバ１内に設けるようにしても、従来のように基板Ｗが塵埃や潤滑油によって汚染されるのを防止することができる。

この発明の一実施の形態を示すチャンバの幅方向に沿う縦断面図。 搬送ユニットの一部省略した分解斜視図。 搬送軸の無給油軸受によって支持された両端部の拡大図。 無給油軸受の断面図。 ガイドローラの一部断面した図。 チャンバ内で搬送ユニットを傾斜させた状態を示すチャンバの幅方向に沿う縦断面図。 この発明の他の実施の形態を示す駆動機構の構成図。

符号の説明

１…チャンバ、１１…搬送ユニット、１２…フレーム、１３…取り付け板、１５…無給油軸受、１６…アウターレース、１７…インナーレース、１９…球体、２１…搬送軸、３５…第２の磁気式伝動部材、４１…動力伝達軸、４２…第１の磁気式伝動部材、４３…磁気式従動歯車、４６…磁気式駆動歯車。

Claims (5)

1. 基板を処理液によって処理する処理装置に用いられる搬送装置において、
   チャンバと、
   このチャンバ内に設けられチャンバ内に供給された前記基板を搬送する搬送ユニットと
   を具備し、
   前記搬送ユニットは、
   フレームと、
   それぞれに前記基板を搬送するための複数の搬送ローラが設けられた複数の搬送軸と、
   前記フレームに前記搬送軸を前記基板の搬送方向に沿って所定間隔で回転可能に支持する無給油軸受と、
   前記フレームと一体的に設けられ前記搬送軸を回転駆動するための駆動機構と
   によって構成されていることを特徴とする基板の搬送装置。
2. 前記無給油軸受は、アウターレースと、インナーレースと、このインナーレースとアウターレースとの間に設けられた球体とを有し、前記各ケースは前記処理液に対して耐蝕性を備えた合成樹脂によって形成されており、前記球体はセラミックスによって形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板の搬送装置。
3. 前記駆動機構は、前記フレームの前記搬送軸の一端部に対向する位置に前記搬送軸と軸線をほぼ直交させて回転可能に設けられた動力伝達軸と、この動力伝達軸の前記各搬送軸の一端部と対向する位置にそれぞれ設けられた第１の磁気式伝動部材と、前記搬送軸の一端部に前記第１の磁気式伝動部材と非接触で対向して設けられこの第１の磁気式伝動部材の回転に連動する第２の磁気式伝動部材と
   を有することを特徴とする請求項１記載の基板の搬送装置。
4. 前記チャンバの外部には駆動源が設けられ、この駆動源の駆動軸には前記チャンバ内に位置する磁気式駆動歯車が設けられ、前記動力伝達軸には前記搬送ユニットを前記チャンバ内に設置したときに前記磁気式駆動歯車と非接触で対向しこの磁気式駆動歯車の回転に連動する磁気式従動歯車が設けられていることを特徴とする請求項３記載の基板の搬送装置。
5. 前記チャンバの外部には駆動源が設けられていて、
   前記駆動機構は、前記駆動源の回転軸に取り付けられて前記チャンバ内に設けられた駆動スプロケットと、前記搬送軸の端部に取り付けられた従動スプロケットと、この従動スプロケットと前記駆動スプロケットに掛け渡されたチェーンとを具備し、
   前記駆動スプロケット、従動スプロケット及びチェーンは前記処理液に対して耐蝕性を備えた合成樹脂によって形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板の搬送装置。

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