JP2004273868A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】処理室内の処理液および雰囲気の漏洩を防止しつつ、処理室外から処理室内の処理液供給具に処理液を供給することができかつ処理室外から処理室内の処理液供給具に回動力を伝達することができる信頼性の高い基板処理装置を提供する。
【解決手段】処理室1内に複数のシャワーパイプ6がX方向に延びるように水平に等間隔で配置されている。各シャワーパイプ6の一端は、回転継手8にそれぞれ接続されている。各回転継手8は処理液用配管9に接続されている。処理液用配管9は、側壁1bを貫通して外部に取り出されている。処理液用配管9と側壁1bとの間はシール材または接着剤により密封されている。各シャワーパイプ6の他端にはマグネット円板5がそれぞれ取り付けられている。また、側壁1aを介して各マグネット円板5に対向するようにマグネット円板4がそれぞれ設けられている。
【選択図】 図1
【解決手段】処理室1内に複数のシャワーパイプ6がX方向に延びるように水平に等間隔で配置されている。各シャワーパイプ6の一端は、回転継手8にそれぞれ接続されている。各回転継手8は処理液用配管9に接続されている。処理液用配管9は、側壁1bを貫通して外部に取り出されている。処理液用配管9と側壁1bとの間はシール材または接着剤により密封されている。各シャワーパイプ6の他端にはマグネット円板5がそれぞれ取り付けられている。また、側壁1aを介して各マグネット円板5に対向するようにマグネット円板4がそれぞれ設けられている。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板に処理液を供給して所定の処理を行う基板処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用ガラス基板、半導体ウエハ等の基板に種々の処理を行うために基板処理装置が用いられている。例えば、シャワーパイプを揺動させつつシャワーパイプに設けられた複数の吐出孔から処理液を基板に供給する基板処理装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
図6は従来の基板処理装置の一例を示す概略正面図である。図7は図6の基板処理装置の処理室内の平面構成を示す概略図である。
【0004】
図6に示すように、基板処理装置200は、処理室50を有する。処理室50内には、複数のシャワーパイプ52が水平に配置されている。シャワーパイプ52には複数の吐出孔56が設けられている。シャワーパイプ52には処理液用配管53を通して処理液が供給される。処理室50は側壁50aからなる。
【0005】
回転軸55は、側壁50aの貫通孔を通るように設けられており、処理室50外に設けられた駆動部54と処理室50内に設けられた従動部51とを連結している。また、シャワーパイプ52は、従動部51に接続されている。
【0006】
駆動部54によって発生した回転力は、回転軸55に伝達される。回転軸55からの回転力により処理室50内の従動部51を介してシャワーパイプ52が揺動する。シャワーパイプ52の下方には複数の搬送ローラ(図示せず)により基板Wが支持されている。
【0007】
図7に示すように、各シャワーパイプ52に接続された各処理液用配管53は、接続部(図示せず)を介して一括して処理室50外の処理液を貯留する貯留タンク(図示せず)に接続されている。この場合、各処理液用配管53は、従動部51による各シャワーパイプ52の揺動が可能なように伸縮可能で可撓性を有する構成となっている。従動部51により各シャワーパイプ52は、方向Fに揺動しながら処理液を基板Wの表面に均一に吐出する。
【0008】
【特許文献1】
特開平10−79368号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
上記の従来の基板処理装置200では、図6の側壁50aと回転軸55との隙間を密封するために、回転軸55の貫通部分には、樹脂性のVリングやOリング等のシール部材(図示せず)が装着されている。このシール部材は、吐出孔56から吐出された処理液および処理室50内の雰囲気が処理室50外へ漏洩することを防止する。
【0010】
しかしながら、このシール部材は、側壁50aとの接触による磨耗や経年変化等で劣化する。このシール部材が劣化してしまうと、所定のシール性能を発揮することが不可能になり、処理液および雰囲気の漏洩が発生する。その結果、駆動部54における各部品の汚染および腐食が生じ部品の寿命が著しく短縮する。
【0011】
また、各シャワーパイプ52には処理室50内でそれぞれ複数の処理液用配管53が接続されているので、処理室50内の構造が複雑化する。それにより、メンテナンスの作業が困難となるとともに、シャワーパイプ52の揺動により処理液用配管53との接続部分が破損する場合がある。
【0012】
本発明の目的は、処理室内の処理液および雰囲気の漏洩を防止しつつ、処理室外から処理室内の処理液供給具に処理液を供給することができかつ処理室外から処理室内の処理液供給具に回動力を伝達することができる信頼性の高い基板処理装置を提供することである。
【0013】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
本発明に係る基板処理装置は、基板に処理液を用いた処理を行う基板処理装置であって、壁部を有する処理室と、処理室内に回動可能に設けられ、処理液を基板に供給する処理液供給具と、処理室外から処理室の壁部を貫通して処理室内に延びる処理液供給管と、処理室外に設けられ、回動力を発生する回動手段と、処理室内で処理液供給具を処理液供給管に回動可能に連結する回転継手と、回動手段により発生された回動力を磁力により処理液供給具に伝達する伝達手段とを備え、伝達手段は、処理室外において壁部に対向するように配置され、回動手段により発生された回動力により回動する第1の伝達部材と、処理室内において処理液供給具とともに回動可能に設けられた第2の伝達部材とを含むものである。
【0014】
本発明に係る基板処理装置においては、処理室内に処理液供給具が回動可能に配置されている。処理液供給管は、処理室外から処理室の壁部を貫通して処理室内に延びる。処理液供給具は、処理液供給管に処理室内で回転継手により回動可能に連結される。それにより、処理室外から処理液供給管および処理室内の回転継手を通して処理液供給具に処理液が供給される。
【0015】
また、処理室外において回動手段により発生された回動力により第1の伝達部材が回動する。第1の伝達部材の回動力が磁力により処理室の壁部を介して第2の伝達部材に伝達される。それにより、処理室内において第2の伝達部材が処理液供給具とともに回動する。
【0016】
このように、回転継手により処理液供給具が処理液供給管に回動可能に連結されるので、処理液供給管を処理室の壁部に密封状態で貫通させることができる。また、処理室の壁部に孔部を設けることなく、処理室内の処理液供給具に処理室外の回動手段による回動力を伝達することができる。
【0017】
さらに、処理液供給管が処理液供給具とともに回動することがないので、処理液供給管が破損することが防止される。
【0018】
したがって、処理室内の処理液および雰囲気が処理室外に漏洩することを防止しつつ処理室外から処理室内の処理液供給具に処理液を供給しかつ処理室外から処理室内の処理液供給具に回動力を伝達することができるとともに高い信頼性が得られる。
【0019】
第1の伝達部材は、壁部に対向する第1の面および第1の回動軸を有するとともに、第1の回動軸を中心とする円周に沿って配置された複数の第1の磁石を内蔵し、第2の伝達部材は、壁部を介して前記第1の面に対向可能な第2の面および第2の回動軸を有するとともに、第2の回動軸を中心とする円周に沿って配置された複数の第2の磁石を内蔵してもよい。
【0020】
この場合、第1の伝達部材の第1の面と第2の伝達部材の第2の面とが処理室の壁部を介して対向する。それにより、第1の伝達部材の複数の第1の磁石と第2の伝達部材の複数の第2の磁石と間に磁力による引力が発生し、第1の伝達部材の回動に伴って第2の伝達部材も回動する。
【0021】
複数の第1の磁石は、第1の面にN極およびS極が交互に形成されるように等ピッチで配置され、複数の第2の磁石は、第2の面にN極およびS極が交互に形成されるように複数の第1の磁石と同じピッチで配置してもよい。
【0022】
この場合、第1の伝達部材のN極と第2の伝達部材のS極との間で引力が発生し、第1の伝達部材のS極と第2の伝達部材のN極との間で引力が発生する。したがって、第1の伝達部材の複数の第1の磁石と第2の伝達部材の複数の第2の磁石と間に磁力による引力が発生し、第1の伝達部材の回動に伴って第2の伝達部材も回動する。また、第1の磁石と第2の磁石とが同じピッチで配置されているため、第1の伝達部材の回動力が第2の伝達部材に確実に伝達される。
【0023】
処理液供給具は、処理液の吐出口を有する管状部材を含み、管状部材の一端が回転継手を介して処理液供給菅に接続され、管状部材の他端に第2の伝達部材を設けてもよい。
【0024】
この場合、処理液供給管および回転継手を通して管状部材に処理液が供給される。また、第1の伝達部材の回動力が磁力により第2の伝達部材に伝達されることにより、管状部材が回動する。それにより、管状部材の吐出口から基板に処理液が吐出される。管状部材の吐出口から処理液が揺動しつつ基板に吐出される。
【0025】
処理液供給具は、処理液の吐出口を有するとともに並列に配列された複数の管状部材を含み、複数の管状部材の一端がそれぞれ回転継手を介して処理液供給管に共通に接続され、複数の管状部材の他端に第2の伝達部材を設けてもよい。
【0026】
この場合、処理液供給管および回転継手を通して複数の管状部材に処理液が供給される。また、第1の伝達部材の回動力が磁力により第2の伝達部材に伝達されることにより、複数の管状部材が回動する。それにより、管状部材の吐出口から基板に処理液が吐出される。複数の管状部材の吐出口から処理液が揺動しつつ基板に吐出される。
【0027】
回転継手は樹脂により形成してもよい。この場合、処理液による回転継手の腐食が防止される。
【0028】
第1の伝達部材および第2の伝達部材は非磁性体からなり、磁石を内蔵してもよい。この場合、第1の伝達部材に内蔵される磁石と第2の伝達部材に内蔵される磁石との間で磁力が働き、第1の伝達部材の回動力が第2の伝達部材に効率良く伝達される。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係る基板処理装置について図1から図3に基づき説明する。図1は本発明の実施の形態に係る基板処理装置の概略平面図である。図2は図1の基板処理装置のA−A線概略断面図である。図3は図1の基板処理装置のB−B線概略断面図である。
【0030】
ここで、水平面内で直交する2方向をX方向およびY方向とし、鉛直方向をZ方向とする。なお、本実施の形態においては、基板処理装置100にX方向から基板(図示せず)が搬入される。また、基板とは、液晶表示装置用ガラス基板、PDP(プラズマディスプレイパネル)用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板、半導体ウエハ等をいう。
【0031】
図1に示すように、基板処理装置100は、処理室1を有する。処理室1は、Y方向に平行な側壁1a,1bおよびX方向に平行な側壁1c,1dからなる。側壁1a,1b,1c,1dは、耐薬品性樹脂(例えば塩化ビニール樹脂)からなる。
【0032】
処理室1内に複数のシャワーパイプ6がX方向に延びるように水平に等間隔で配置されている。また、処理室1の側壁1aの外側にはモータ2a、リンク機構2bおよび可動板2cが設けられている。各シャワーパイプ6の下面には複数のスプレーノズル7が設けられている。
【0033】
各シャワーパイプ6の一端は、回転継手8にそれぞれ接続されている。各回転継手8は処理液用配管9に接続されている。処理液用配管9は、側壁1bを貫通して外部に取り出されている。処理液用配管9と側壁1bとの間はシール材または接着剤により密封されている。また、処理液用配管9は、処理室1外に設けられた処理液を貯留する貯留タンク(図示せず)に接続されている。ポンプ(図示せず)の動作により貯留タンク内の処理液が処理液用配管9を介して各シャワーパイプ6に供給される。処理液は、例えば、エッチング液、現像液、洗浄液などである。
【0034】
回転継手8は、耐薬品性樹脂(例えば塩化ビニール樹脂)からなる。図2に示すように、回転継手8は2つの円形部材8a,8bが互いに回転可能に結合されている。円形部材8aにシャワーパイプ6の一端が固定され、円形部材8bが処理液用配管9に固定されている。それにより、回転継手8は、シャワーパイプ6を回動可能に保持している。
【0035】
複数のシャワーパイプ6の他端近傍は、Y方向に延びる支持板11により回転自在に支持されている。支持板11は、図2に示すように、支持部材12,13を介して処理室1の上面部に固定されている。
【0036】
各シャワーパイプ6の他端にはマグネット円板5がそれぞれ取り付けられている。また、側壁1aを介して各マグネット円板5に対向するようにマグネット円板4がそれぞれ設けられている。各マグネット円板4は、回転軸3を中心として回転自在に設けられている。また、各マグネット円板4は、図2の係止突起4dにより可動板2cに係合している。可動板2cは、モータ2aおよびリンク機構2bによりY方向に往復運動する。それにより、複数のマグネット円板4が正方向および逆方向に回動する。
【0037】
図2および図3に示すように、複数のシャワーパイプ6の下方に複数のローラ軸21がY方向に延びるように配置されている。各ローラ軸21には複数の搬送ローラ20が取り付けられている。複数の搬送ローラ20上に基板Wが支持される。駆動装置(図示せず)によりローラ軸21が回転することにより基板WがX方向に搬送される。
【0038】
図4はマグネット円板の駆動機構を説明するための模式図である。
図4に示すように、複数のマグネット円板4の外周部近傍に係合突起4dが設けられている。係合突起4dが可動板2cに係合している。図2のモータ2aの回転力がリンク機構2bにより往復運動に変換され、可動板2cが矢印Cの方向に往復運動する。この可動板2cの往復運動によりマグネット円板4が矢印Rの方向に回動する。それにより、図3に示すように、シャワーパイプ6が回動し、スプレーノズル7が矢印Eで示すように揺動する。
【0039】
次に、マグネット円板4およびマグネット円板5の構成について図5に基づき説明する。図5は、マグネット円板の内部構造を示す図である。図5(a)はマグネット円板の横断面図、図5(b)は図5(a)のマグネット円板のD−D線断面図、図5(c)は側壁1aを挟んで対向するマグネット円板の側面図である。
【0040】
図5(a),(b)に示すように、マグネット円板4の内部には、一面側にS極を有し他面側にN極を有する磁石4bと、一面側にN極を有し他面側にS極を有する磁石4aとが交互に円形に設けられている。マグネット円板5の構造はマグネット円板4の構造と同様である。また、図5(b)に示すように、マグネット円板4はボルト4cにより回転軸3の端面に固定されている。マグネット円板4は、非磁性体で形成される。例えば、PTFE(四フッ化エチレン)、PCTFE(三フッ化エチレン)等のフッ素樹脂、PCV(ポリ塩化ビニル)等の樹脂またはチタン、アルミニウム、ステンレス等の非磁性体の金属もしくは合金を用いることができる。また、上記の非磁性体の金属および合金は例示であって、これに限定されるものではなく、他の非磁性体を用いることもできる。
【0041】
図5(c)に示すように、側壁1aの一面にマグネット円板4が対向し、側壁1aの他面にマグネット円板5が対向する。
【0042】
この場合、図4に示したように可動板2cの往復運動によりマグネット円板4が回転する。マグネット円板4の内部の磁石4bとマグネット円板5の内部の磁石4aとが磁石により引き合い、マグネット円板4の内部の磁石4aとマグネット円板5の内部の磁石4bとが磁石により引き合う。それにより、マグネット円板5がシャワーパイプ6とともに回転する。
【0043】
なお、側壁1aのマグネット円板4とマグネット円板5とで挟まれた部分は、マグネット円板4とマグネット円板5との間の磁力を強く作用させるために、他の部分よりも厚みを薄くしてもよい。
【0044】
本実施の形態に係る基板処理装置においては、シャワーパイプ6の一端を回転継手8を介して処理液用配管9に連結することにより、処理室1の側壁1bを貫通した状態で処理液用配管9と側壁1bとの間を密封することができる。
【0045】
また、シャワーパイプ6の他端にマグネット円板5を取り付けるとともに側壁1aを介してマグネット円板5に対向するようにマグネット円板4を設けることにより、処理室1の側壁1aに貫通孔を設ける必要がなくなる。それにより、スプレーノズル7から吐出される処理液および処理室1内の雰囲気が処理室1外に漏洩することを防止することができる。したがって、モータ2a、リンク機構2bおよび可動板2c等の部品の汚染および腐食を防止することができる。
【0046】
また、処理液用配管9がシャワーパイプ6とともに回動せずに側壁1bに固定されるので、処理液用配管9の破損が防止される。さらに、リンク機構2b、可動板2c等の伝達機構が処理室1外に設けられ、複数のシャワーパイプ6が共通の処理液用配管9に接続されるので、処理室1内の構造の複雑化を回避でき、メンテナンスを容易に行うことができる。
【0047】
なお、本実施の形態においては、マグネット円板4における磁石4a,4bおよびマグネット円板5における磁石5a,5bをそれぞれ4対ずつ設けたが、これに限定されるものではなく、マグネット円板4の回転力をマグネット円板5に適切に伝えるために、マグネット円板4,5に任意の数の磁石を内蔵させることができる。また、磁石4a,4bおよび磁石5a,5bの形状を略正方形としたが、これに限定されるものではなく、任意の形状に設定することもできる。
【0048】
さらに、マグネット円板4の回転力をマグネット円板5に適切に伝えるために、磁石4a,4b,5a,5bの大きさおよび磁力の強さ、マグネット円板4における磁石4a,4bの配置、マグネット円板5における磁石5a,5bの配置およびマグネット円板4とマグネット円板5との間隔は適宜設定することができる。
【0049】
本実施の形態においては、側壁1a,1bが壁部に相当し、モータ2aが回動手段に相当し、回転軸3が第1の回動軸に相当し、マグネット円板4が第1の伝達部材に相当し、マグネット円板5が第2の伝達部材に相当し、磁石4a,4bが第1の磁石に相当し、磁石5a,5bが第2の磁石に相当する。また、シャワーパイプ6が処理液供給具、第2の回動軸および管状部材に相当し、スプレーノズル7が吐出口に相当し、処理液用配管9が処理液供給管に相当する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る基板処理装置の概略平面図である。
【図2】図1の基板処理装置のA−A線概略断面図である。
【図3】図1の基板処理装置のB−B線概略断面図である。
【図4】マグネット円板の駆動機構を説明するための模式図である。
【図5】マグネット円板の内部構造を示す図である。
【図6】従来の基板処理装置の一例を示す概略正面図である。
【図7】図6の基板処理装置の処理室内の平面構成を示す概略図である。
【符号の説明】
1 処理室
1a,1b 側壁
2a モータ
3 回転軸
4,5 マグネット円板
4a,4b,5a,5b 磁石
6 シャワーパイプ
7 スプレーノズル
8 回転継手
9 処理液用配管
100 基板処理装置
W 基板
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板に処理液を供給して所定の処理を行う基板処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用ガラス基板、半導体ウエハ等の基板に種々の処理を行うために基板処理装置が用いられている。例えば、シャワーパイプを揺動させつつシャワーパイプに設けられた複数の吐出孔から処理液を基板に供給する基板処理装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
図6は従来の基板処理装置の一例を示す概略正面図である。図7は図6の基板処理装置の処理室内の平面構成を示す概略図である。
【0004】
図6に示すように、基板処理装置200は、処理室50を有する。処理室50内には、複数のシャワーパイプ52が水平に配置されている。シャワーパイプ52には複数の吐出孔56が設けられている。シャワーパイプ52には処理液用配管53を通して処理液が供給される。処理室50は側壁50aからなる。
【0005】
回転軸55は、側壁50aの貫通孔を通るように設けられており、処理室50外に設けられた駆動部54と処理室50内に設けられた従動部51とを連結している。また、シャワーパイプ52は、従動部51に接続されている。
【0006】
駆動部54によって発生した回転力は、回転軸55に伝達される。回転軸55からの回転力により処理室50内の従動部51を介してシャワーパイプ52が揺動する。シャワーパイプ52の下方には複数の搬送ローラ(図示せず)により基板Wが支持されている。
【0007】
図7に示すように、各シャワーパイプ52に接続された各処理液用配管53は、接続部(図示せず)を介して一括して処理室50外の処理液を貯留する貯留タンク(図示せず)に接続されている。この場合、各処理液用配管53は、従動部51による各シャワーパイプ52の揺動が可能なように伸縮可能で可撓性を有する構成となっている。従動部51により各シャワーパイプ52は、方向Fに揺動しながら処理液を基板Wの表面に均一に吐出する。
【0008】
【特許文献1】
特開平10−79368号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
上記の従来の基板処理装置200では、図6の側壁50aと回転軸55との隙間を密封するために、回転軸55の貫通部分には、樹脂性のVリングやOリング等のシール部材(図示せず)が装着されている。このシール部材は、吐出孔56から吐出された処理液および処理室50内の雰囲気が処理室50外へ漏洩することを防止する。
【0010】
しかしながら、このシール部材は、側壁50aとの接触による磨耗や経年変化等で劣化する。このシール部材が劣化してしまうと、所定のシール性能を発揮することが不可能になり、処理液および雰囲気の漏洩が発生する。その結果、駆動部54における各部品の汚染および腐食が生じ部品の寿命が著しく短縮する。
【0011】
また、各シャワーパイプ52には処理室50内でそれぞれ複数の処理液用配管53が接続されているので、処理室50内の構造が複雑化する。それにより、メンテナンスの作業が困難となるとともに、シャワーパイプ52の揺動により処理液用配管53との接続部分が破損する場合がある。
【0012】
本発明の目的は、処理室内の処理液および雰囲気の漏洩を防止しつつ、処理室外から処理室内の処理液供給具に処理液を供給することができかつ処理室外から処理室内の処理液供給具に回動力を伝達することができる信頼性の高い基板処理装置を提供することである。
【0013】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
本発明に係る基板処理装置は、基板に処理液を用いた処理を行う基板処理装置であって、壁部を有する処理室と、処理室内に回動可能に設けられ、処理液を基板に供給する処理液供給具と、処理室外から処理室の壁部を貫通して処理室内に延びる処理液供給管と、処理室外に設けられ、回動力を発生する回動手段と、処理室内で処理液供給具を処理液供給管に回動可能に連結する回転継手と、回動手段により発生された回動力を磁力により処理液供給具に伝達する伝達手段とを備え、伝達手段は、処理室外において壁部に対向するように配置され、回動手段により発生された回動力により回動する第1の伝達部材と、処理室内において処理液供給具とともに回動可能に設けられた第2の伝達部材とを含むものである。
【0014】
本発明に係る基板処理装置においては、処理室内に処理液供給具が回動可能に配置されている。処理液供給管は、処理室外から処理室の壁部を貫通して処理室内に延びる。処理液供給具は、処理液供給管に処理室内で回転継手により回動可能に連結される。それにより、処理室外から処理液供給管および処理室内の回転継手を通して処理液供給具に処理液が供給される。
【0015】
また、処理室外において回動手段により発生された回動力により第1の伝達部材が回動する。第1の伝達部材の回動力が磁力により処理室の壁部を介して第2の伝達部材に伝達される。それにより、処理室内において第2の伝達部材が処理液供給具とともに回動する。
【0016】
このように、回転継手により処理液供給具が処理液供給管に回動可能に連結されるので、処理液供給管を処理室の壁部に密封状態で貫通させることができる。また、処理室の壁部に孔部を設けることなく、処理室内の処理液供給具に処理室外の回動手段による回動力を伝達することができる。
【0017】
さらに、処理液供給管が処理液供給具とともに回動することがないので、処理液供給管が破損することが防止される。
【0018】
したがって、処理室内の処理液および雰囲気が処理室外に漏洩することを防止しつつ処理室外から処理室内の処理液供給具に処理液を供給しかつ処理室外から処理室内の処理液供給具に回動力を伝達することができるとともに高い信頼性が得られる。
【0019】
第1の伝達部材は、壁部に対向する第1の面および第1の回動軸を有するとともに、第1の回動軸を中心とする円周に沿って配置された複数の第1の磁石を内蔵し、第2の伝達部材は、壁部を介して前記第1の面に対向可能な第2の面および第2の回動軸を有するとともに、第2の回動軸を中心とする円周に沿って配置された複数の第2の磁石を内蔵してもよい。
【0020】
この場合、第1の伝達部材の第1の面と第2の伝達部材の第2の面とが処理室の壁部を介して対向する。それにより、第1の伝達部材の複数の第1の磁石と第2の伝達部材の複数の第2の磁石と間に磁力による引力が発生し、第1の伝達部材の回動に伴って第2の伝達部材も回動する。
【0021】
複数の第1の磁石は、第1の面にN極およびS極が交互に形成されるように等ピッチで配置され、複数の第2の磁石は、第2の面にN極およびS極が交互に形成されるように複数の第1の磁石と同じピッチで配置してもよい。
【0022】
この場合、第1の伝達部材のN極と第2の伝達部材のS極との間で引力が発生し、第1の伝達部材のS極と第2の伝達部材のN極との間で引力が発生する。したがって、第1の伝達部材の複数の第1の磁石と第2の伝達部材の複数の第2の磁石と間に磁力による引力が発生し、第1の伝達部材の回動に伴って第2の伝達部材も回動する。また、第1の磁石と第2の磁石とが同じピッチで配置されているため、第1の伝達部材の回動力が第2の伝達部材に確実に伝達される。
【0023】
処理液供給具は、処理液の吐出口を有する管状部材を含み、管状部材の一端が回転継手を介して処理液供給菅に接続され、管状部材の他端に第2の伝達部材を設けてもよい。
【0024】
この場合、処理液供給管および回転継手を通して管状部材に処理液が供給される。また、第1の伝達部材の回動力が磁力により第2の伝達部材に伝達されることにより、管状部材が回動する。それにより、管状部材の吐出口から基板に処理液が吐出される。管状部材の吐出口から処理液が揺動しつつ基板に吐出される。
【0025】
処理液供給具は、処理液の吐出口を有するとともに並列に配列された複数の管状部材を含み、複数の管状部材の一端がそれぞれ回転継手を介して処理液供給管に共通に接続され、複数の管状部材の他端に第2の伝達部材を設けてもよい。
【0026】
この場合、処理液供給管および回転継手を通して複数の管状部材に処理液が供給される。また、第1の伝達部材の回動力が磁力により第2の伝達部材に伝達されることにより、複数の管状部材が回動する。それにより、管状部材の吐出口から基板に処理液が吐出される。複数の管状部材の吐出口から処理液が揺動しつつ基板に吐出される。
【0027】
回転継手は樹脂により形成してもよい。この場合、処理液による回転継手の腐食が防止される。
【0028】
第1の伝達部材および第2の伝達部材は非磁性体からなり、磁石を内蔵してもよい。この場合、第1の伝達部材に内蔵される磁石と第2の伝達部材に内蔵される磁石との間で磁力が働き、第1の伝達部材の回動力が第2の伝達部材に効率良く伝達される。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係る基板処理装置について図1から図3に基づき説明する。図1は本発明の実施の形態に係る基板処理装置の概略平面図である。図2は図1の基板処理装置のA−A線概略断面図である。図3は図1の基板処理装置のB−B線概略断面図である。
【0030】
ここで、水平面内で直交する2方向をX方向およびY方向とし、鉛直方向をZ方向とする。なお、本実施の形態においては、基板処理装置100にX方向から基板(図示せず)が搬入される。また、基板とは、液晶表示装置用ガラス基板、PDP(プラズマディスプレイパネル)用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板、半導体ウエハ等をいう。
【0031】
図1に示すように、基板処理装置100は、処理室1を有する。処理室1は、Y方向に平行な側壁1a,1bおよびX方向に平行な側壁1c,1dからなる。側壁1a,1b,1c,1dは、耐薬品性樹脂(例えば塩化ビニール樹脂)からなる。
【0032】
処理室1内に複数のシャワーパイプ6がX方向に延びるように水平に等間隔で配置されている。また、処理室1の側壁1aの外側にはモータ2a、リンク機構2bおよび可動板2cが設けられている。各シャワーパイプ6の下面には複数のスプレーノズル7が設けられている。
【0033】
各シャワーパイプ6の一端は、回転継手8にそれぞれ接続されている。各回転継手8は処理液用配管9に接続されている。処理液用配管9は、側壁1bを貫通して外部に取り出されている。処理液用配管9と側壁1bとの間はシール材または接着剤により密封されている。また、処理液用配管9は、処理室1外に設けられた処理液を貯留する貯留タンク(図示せず)に接続されている。ポンプ(図示せず)の動作により貯留タンク内の処理液が処理液用配管9を介して各シャワーパイプ6に供給される。処理液は、例えば、エッチング液、現像液、洗浄液などである。
【0034】
回転継手8は、耐薬品性樹脂(例えば塩化ビニール樹脂)からなる。図2に示すように、回転継手8は2つの円形部材8a,8bが互いに回転可能に結合されている。円形部材8aにシャワーパイプ6の一端が固定され、円形部材8bが処理液用配管9に固定されている。それにより、回転継手8は、シャワーパイプ6を回動可能に保持している。
【0035】
複数のシャワーパイプ6の他端近傍は、Y方向に延びる支持板11により回転自在に支持されている。支持板11は、図2に示すように、支持部材12,13を介して処理室1の上面部に固定されている。
【0036】
各シャワーパイプ6の他端にはマグネット円板5がそれぞれ取り付けられている。また、側壁1aを介して各マグネット円板5に対向するようにマグネット円板4がそれぞれ設けられている。各マグネット円板4は、回転軸3を中心として回転自在に設けられている。また、各マグネット円板4は、図2の係止突起4dにより可動板2cに係合している。可動板2cは、モータ2aおよびリンク機構2bによりY方向に往復運動する。それにより、複数のマグネット円板4が正方向および逆方向に回動する。
【0037】
図2および図3に示すように、複数のシャワーパイプ6の下方に複数のローラ軸21がY方向に延びるように配置されている。各ローラ軸21には複数の搬送ローラ20が取り付けられている。複数の搬送ローラ20上に基板Wが支持される。駆動装置(図示せず)によりローラ軸21が回転することにより基板WがX方向に搬送される。
【0038】
図4はマグネット円板の駆動機構を説明するための模式図である。
図4に示すように、複数のマグネット円板4の外周部近傍に係合突起4dが設けられている。係合突起4dが可動板2cに係合している。図2のモータ2aの回転力がリンク機構2bにより往復運動に変換され、可動板2cが矢印Cの方向に往復運動する。この可動板2cの往復運動によりマグネット円板4が矢印Rの方向に回動する。それにより、図3に示すように、シャワーパイプ6が回動し、スプレーノズル7が矢印Eで示すように揺動する。
【0039】
次に、マグネット円板4およびマグネット円板5の構成について図5に基づき説明する。図5は、マグネット円板の内部構造を示す図である。図5(a)はマグネット円板の横断面図、図5(b)は図5(a)のマグネット円板のD−D線断面図、図5(c)は側壁1aを挟んで対向するマグネット円板の側面図である。
【0040】
図5(a),(b)に示すように、マグネット円板4の内部には、一面側にS極を有し他面側にN極を有する磁石4bと、一面側にN極を有し他面側にS極を有する磁石4aとが交互に円形に設けられている。マグネット円板5の構造はマグネット円板4の構造と同様である。また、図5(b)に示すように、マグネット円板4はボルト4cにより回転軸3の端面に固定されている。マグネット円板4は、非磁性体で形成される。例えば、PTFE(四フッ化エチレン)、PCTFE(三フッ化エチレン)等のフッ素樹脂、PCV(ポリ塩化ビニル)等の樹脂またはチタン、アルミニウム、ステンレス等の非磁性体の金属もしくは合金を用いることができる。また、上記の非磁性体の金属および合金は例示であって、これに限定されるものではなく、他の非磁性体を用いることもできる。
【0041】
図5(c)に示すように、側壁1aの一面にマグネット円板4が対向し、側壁1aの他面にマグネット円板5が対向する。
【0042】
この場合、図4に示したように可動板2cの往復運動によりマグネット円板4が回転する。マグネット円板4の内部の磁石4bとマグネット円板5の内部の磁石4aとが磁石により引き合い、マグネット円板4の内部の磁石4aとマグネット円板5の内部の磁石4bとが磁石により引き合う。それにより、マグネット円板5がシャワーパイプ6とともに回転する。
【0043】
なお、側壁1aのマグネット円板4とマグネット円板5とで挟まれた部分は、マグネット円板4とマグネット円板5との間の磁力を強く作用させるために、他の部分よりも厚みを薄くしてもよい。
【0044】
本実施の形態に係る基板処理装置においては、シャワーパイプ6の一端を回転継手8を介して処理液用配管9に連結することにより、処理室1の側壁1bを貫通した状態で処理液用配管9と側壁1bとの間を密封することができる。
【0045】
また、シャワーパイプ6の他端にマグネット円板5を取り付けるとともに側壁1aを介してマグネット円板5に対向するようにマグネット円板4を設けることにより、処理室1の側壁1aに貫通孔を設ける必要がなくなる。それにより、スプレーノズル7から吐出される処理液および処理室1内の雰囲気が処理室1外に漏洩することを防止することができる。したがって、モータ2a、リンク機構2bおよび可動板2c等の部品の汚染および腐食を防止することができる。
【0046】
また、処理液用配管9がシャワーパイプ6とともに回動せずに側壁1bに固定されるので、処理液用配管9の破損が防止される。さらに、リンク機構2b、可動板2c等の伝達機構が処理室1外に設けられ、複数のシャワーパイプ6が共通の処理液用配管9に接続されるので、処理室1内の構造の複雑化を回避でき、メンテナンスを容易に行うことができる。
【0047】
なお、本実施の形態においては、マグネット円板4における磁石4a,4bおよびマグネット円板5における磁石5a,5bをそれぞれ4対ずつ設けたが、これに限定されるものではなく、マグネット円板4の回転力をマグネット円板5に適切に伝えるために、マグネット円板4,5に任意の数の磁石を内蔵させることができる。また、磁石4a,4bおよび磁石5a,5bの形状を略正方形としたが、これに限定されるものではなく、任意の形状に設定することもできる。
【0048】
さらに、マグネット円板4の回転力をマグネット円板5に適切に伝えるために、磁石4a,4b,5a,5bの大きさおよび磁力の強さ、マグネット円板4における磁石4a,4bの配置、マグネット円板5における磁石5a,5bの配置およびマグネット円板4とマグネット円板5との間隔は適宜設定することができる。
【0049】
本実施の形態においては、側壁1a,1bが壁部に相当し、モータ2aが回動手段に相当し、回転軸3が第1の回動軸に相当し、マグネット円板4が第1の伝達部材に相当し、マグネット円板5が第2の伝達部材に相当し、磁石4a,4bが第1の磁石に相当し、磁石5a,5bが第2の磁石に相当する。また、シャワーパイプ6が処理液供給具、第2の回動軸および管状部材に相当し、スプレーノズル7が吐出口に相当し、処理液用配管9が処理液供給管に相当する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る基板処理装置の概略平面図である。
【図2】図1の基板処理装置のA−A線概略断面図である。
【図3】図1の基板処理装置のB−B線概略断面図である。
【図4】マグネット円板の駆動機構を説明するための模式図である。
【図5】マグネット円板の内部構造を示す図である。
【図6】従来の基板処理装置の一例を示す概略正面図である。
【図7】図6の基板処理装置の処理室内の平面構成を示す概略図である。
【符号の説明】
1 処理室
1a,1b 側壁
2a モータ
3 回転軸
4,5 マグネット円板
4a,4b,5a,5b 磁石
6 シャワーパイプ
7 スプレーノズル
8 回転継手
9 処理液用配管
100 基板処理装置
W 基板
Claims (7)
- 基板に処理液を用いた処理を行う基板処理装置であって、
壁部を有する処理室と、
前記処理室内に回動可能に設けられ、処理液を基板に供給する処理液供給具と、
前記処理室外から前記処理室の壁部を貫通して前記処理室内に延びる処理液供給管と、
前記処理室外に設けられ、回動力を発生する回動手段と、
前記処理室内で前記処理液供給具を前記処理液供給管に回動可能に連結する回転継手と、
前記回動手段により発生された回動力を磁力により前記処理液供給具に伝達する伝達手段とを備え、
前記伝達手段は、
前記処理室外において壁部に対向するように配置され、前記回動手段により発生された回動力により回動する第1の伝達部材と、
前記処理室内において前記処理液供給具とともに回動可能に設けられた第2の伝達部材とを含むことを特徴とする基板処理装置。 - 前記第1の伝達部材は、
前記壁部に対向する第1の面および第1の回動軸を有するとともに、前記第1の回動軸を中心とする円周に沿って配置された複数の第1の磁石を内蔵し、
前記第2の伝達部材は、
前記壁部を介して前記第1の面に対向可能な第2の面および第2の回動軸を有するとともに、前記第2の回動軸を中心とする円周に沿って配置された複数の第2の磁石を内蔵することを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。 - 前記複数の第1の磁石は、
前記第1の面にN極およびS極が交互に形成されるように等ピッチで配置され、
前記複数の第2の磁石は、
前記第2の面にN極およびS極が交互に形成されるように前記複数の第1の磁石と同じピッチで配置されたことを特徴とする請求項2記載の基板処理装置。 - 前記処理液供給具は、処理液の吐出口を有する管状部材を含み、
前記管状部材の一端が前記回転継手を介して前記処理液供給菅に接続され、前記管状部材の他端に前記第2の伝達部材が設けられたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板処理装置。 - 前記処理液供給具は、処理液の吐出口を有するとともに並列に配列された複数の管状部材を含み、
前記複数の管状部材の一端がそれぞれ前記回転継手を介して前記処理液供給管に共通に接続され、前記複数の管状部材の他端に前記第2の伝達部材が設けられたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基板処理装置。 - 前記回転継手は樹脂により形成されたことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記第1の伝達部材および前記第2の伝達部材は非磁性体からなり、磁石を内蔵することを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の基板処理装置。
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JP2003064294A JP2004273868A (ja) | 2003-03-11 | 2003-03-11 | 基板処理装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009285652A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Semes Co Ltd | ケミカル噴射装置及びこれを含む基板処理装置 |
KR100982772B1 (ko) | 2008-05-30 | 2010-09-20 | 세메스 주식회사 | 약액 공급 장치 및 이를 갖는 기판 처리 장치 |
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JP2012228737A (ja) * | 2011-04-25 | 2012-11-22 | Minebea Co Ltd | クーラント噴射装置 |
CN103316862A (zh) * | 2013-07-12 | 2013-09-25 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种基板清洗装置 |
JP2017005264A (ja) * | 2016-08-30 | 2017-01-05 | 株式会社Nsc | スプレイエッチング装置 |
CN107042213A (zh) * | 2017-03-16 | 2017-08-15 | 广东美的制冷设备有限公司 | 喷液组件、清洗装置及空调器 |
-
2003
- 2003-03-11 JP JP2003064294A patent/JP2004273868A/ja active Pending
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