CN103316862A - 一种基板清洗装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基板清洗装置，包括内部具有清洗室的壳体；枢装于壳体、且沿基板移动方向并排分布的多个喷淋管道，每一个喷淋管道具有将喷淋管道内的液体导向基板被清洁面的若干个喷液口，每一个喷淋管道的一端具有与其同轴固定的传动齿轮；通过传动齿轮驱动喷淋管道同频率往复转动的驱动系统，其中一部分喷淋管道的往复转动方向与另一部分喷淋管道的往复转动方向相反。本发明提供的基板清洗装置能够保证对基板移动速度影响较小的前提下，提高对基板表面的清洁效果。

Description

一种基板清洗装置

技术领域

本发明涉及平板显示器制造设备技术领域，特别涉及一种基板清洗装置。

背景技术

清洗是平板显示器所用基板的生产过程中非常重要的一个环节，无论是在基板镀膜之前，还是在基板生产工艺完成之后，清洗效果的好坏都会直接影响基板的产品质量。

现有的基板清洗装置大多采用固定的喷淋管道，喷淋管道上具有朝向基板的喷嘴，在对基板进行清洁时，喷嘴将喷淋管道内的液体沿垂直于基板的方向喷向基板表面，来实现对基板被清洁面的清洗。但是这种清洗方式，能够直接喷进基板表面的沟道、凹槽或窄缝内的液体较少，对基板的沟道、凹槽或窄缝内残留杂质的清洁效果较差，从而影响了基板整体的清洁效果。

发明内容

本发明提供了一种基板清洗装置，能够保证对基板移动速度影响较小的前提下，提高对基板表面的清洁效果。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种基板清洗装置，包括：

内部具有清洗室的壳体；

枢装于所述壳体、且沿基板移动方向并排分布的多个喷淋管道，每一个所述喷淋管道具有将所述喷淋管道内的液体导向基板被清洁面的若干个喷液口，每一个所述喷淋管道的一端具有与其同轴固定的传动齿轮；

通过所述传动齿轮驱动所述喷淋管道同频率往复转动的驱动系统，其中一部分所述喷淋管道的往复转动方向与另一部分所述喷淋管道的往复转动方向相反。

优选地，往复转动方向相反的两部分所述喷淋管道的数量相同。

优选地，所述驱动系统包括：

安装于所述壳体的驱动电机；

驱动多个所述传动齿轮轴向往复转动的传动机构，所述传动机构的动力输入端与所述驱动电机的输出轴传动连接。

优选地，所述传动机构包括：

与所述驱动电机的输出轴同轴固定的主动轮；

一端与所述主动轮铰接的连杆；

与所述连杆另一端铰接的过渡齿轮，所述主动轮、连杆以及过渡齿轮形成四连杆机构；

与多个所述传动齿轮、过渡齿轮连接的传送皮带；

至少一个用于张紧所述传送皮带的张紧轮。

优选地，多个所述传动齿轮形成依次相邻的若干个齿轮组，任意相邻的两个所述齿轮组的所述传动齿轮上的传送皮带绕向相反。

优选地，每一个所述齿轮组包括至少一个所述传动齿轮。

优选地，多个所述传动齿轮形成若干个分别具有两个相互啮合的所述传动齿轮的齿轮组；

所述传动机构包括形成曲柄滑块机构的主动轮、连杆、滑轨和推杆，以及连接所述推杆和每一个所述齿轮组中的一个传动齿轮、将所述推杆的直线运动转换为所述传动齿轮的周向运动的转换机构：其中，

所述主动轮与所述驱动电机的输出轴同轴固定；

所述连杆的一端与所述主动轮铰接，另一端与所述推杆的一端铰接；

所述滑轨与所述壳体相对固定、且沿基板移动方向延伸；

所述推杆滑动装配于所述滑轨。

优选地，多个所述传动齿轮形成若干个分别具有两个相互啮合的所述传动齿轮的齿轮组；

所述传动机构包括形成凸轮连杆机构的凸轮、滑轨和推杆，以及连接所述推杆和每一个所述齿轮组中的一个传动齿轮、将所述推杆的直线运动转换为所述传动齿轮的周向运动的转换机构；其中：

所述凸轮安装于所述驱动电机的输出轴；

所述滑轨与所述壳体相对固定、且沿基板移动方向延伸；

所述推杆与所述滑轨配合滑动，且所述推杆的一端配合安装于所述凸轮。

优选地，所述转换机构包括：

所述推杆具有的垂直于基板的滑槽；

一端固定于所述齿轮组中的一个所述传动齿轮，另一端伸入所述滑槽的滑杆。

优选地，所述转换机构包括：

设置于所述推杆朝向所述传动齿轮的一侧、与每一个所述齿轮组中的一个所述传动齿轮啮合的齿条。

优选地，每一个所述喷淋管道上间隔设置若干个喷嘴，形成所述喷液口。

本发明提供的一种基板清洗装置，包括：

内部具有清洗室的壳体；

枢装于壳体、且沿基板移动方向并排分布的多个喷淋管道，每一个喷淋管道具有将喷淋管道内的液体导向基板被清洁面的若干个喷液口，每一个喷淋管道的一端具有与其同轴固定的传动齿轮；

通过传动齿轮驱动喷淋管道同频率往复转动的驱动系统，其中一部分喷淋管道的往复转动方向与另一部分喷淋管道的往复转动方向相反。

采用本发明提供的基板清洗装置对基板被清洁面进行清洗时，通过外部的输送管道将液体持续注入到喷淋管道内，喷淋管道内的液体通过喷液口喷向基板表面。由于各喷淋管道同频率轴向往复转动，而喷淋管道的轴向往复转动会带动喷液口持续喷出的液体往复摆动，使得液体从喷液口喷出的方向与基板之间的角度发生规律性变化，从而保证了有更多的液体能够直接喷进基板表面的沟道、凹槽或窄缝内，提高对基板表面的沟道、凹槽或窄缝内残留杂质的清洗效果。

另外，由于两部分喷淋管道往复转动方向相反，使得两部分喷淋管道上喷液口持续喷出的液体的往复摆动方向相反，从而使得转动方向相反的两部分喷淋管道上的液体从喷液口喷出的方向相反，喷出方向相反的液体对基板移动时的推动效果和阻碍效果相互抵消，减小了液体的冲击对基板在运输设备上运行速度的影响。

因此，本发明提供的基板清洗装置能够保证对基板移动速度影响较小的前提下，提高对基板表面的清洁效果。

附图说明

图1为本发明提供的基板清洗装置的第一种传动机构中传送皮带的一种绕向示意图；

图2为本发明提供的基板清洗装置中喷淋管道的机构示意图；

图3为本发明提供的基板清洗装置的第一种传动机构中的传送皮带的另一种绕向示意图；

图4为本发明提供的基板清洗装置中第二种传动机构的结构示意图；

图5为本发明提供的基板清洗装置的第三种传动机构的结构示意图；

图6为本发明提供的基板清洗装置中另一种驱动系统的驱动原理示意图；

图7为本发明提供的基板清洗装置的第四种传动机构的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参考图1、图2，本发明提供了一种基板清洗装置，包括：

内部具有清洗室的壳体；

枢装于壳体、且沿基板1移动方向a并排分布的多个喷淋管道2，每一个喷淋管道2具有将喷淋管道2内的液体导向基板1被清洁面的若干个喷液口21；每一个喷淋管道2的一端具有与其同轴固定的传动齿轮3；

通过传动齿轮3驱动喷淋管道2同频率往复转动的驱动系统4，其中一部分喷淋管道2的往复转动方向与另一部分喷淋管道2的往复转动方向相反。

开启驱动系统4后，驱动系统4能够驱动一部分传动齿轮3按照先逆时针、后顺时针的方式轴向往复转动，并带动与该部分传动齿轮3中的每一个传动齿轮3同轴固定的喷淋管道2也按照先逆时针、后顺时针的方式轴向往复转动；同时，驱动系统4还驱动另一部分传动齿轮3按照先顺时针、后逆时针的方式轴向往复转动，带动另一部分喷淋管道2按照先顺时针、后逆时针的方式轴向往复转动；且两部分传动齿轮3轴向往复转动的频率均相同。

采用本发明提供的基板清洗装置对基板1表面进行清洗时，喷淋管道2与外部的输送管道连通，外部的输送管道将液体持续注入到喷淋管道2内，喷淋管道2内的液体通过喷液口21喷向基板1表面，各喷淋管道2同频率轴向往复转动的同时带动从喷液口21持续喷出的液体往复摆动，使得液体从喷液口21的喷出方向与基板1之间的角度发生规律性变化，从而保证了更多的液体能够直接喷进基板1表面的沟道、凹槽或窄缝内，提高对基板1表面的沟道、凹槽或窄缝内残留杂质的清洗效果。

另外，由于两部分喷淋管道2往复转动方向相反，使得两部分喷淋管道2上喷液口21持续喷出的液体的往复摆动方向相反，从而使得转动方向相反的两部分喷淋管道2上的液体从喷液口21喷出的方向相反，喷出方向相反的液体对基板1的推动效果和阻碍效果相互抵消，减小了液体的冲击对基板1在运输设备上运行速度的影响。

因此，本发明提供的基板清洗装置能够保证对基板移动速度影响较小的前提下，提高对基板表面的清洁效果。

具体地，往复转动方向相反的两部分喷淋管道2的数量相同。

这样，在任一时刻，两部分喷淋管道2上的喷液口21喷出的液体作用在基板1后，对基板1的移动所产生的推动效果和阻碍效果正好能够全部抵消，更大程度地减小了液体的冲击对基板1在运输设备上运行速度的影响。

请参考图1，具体地，本发明提供的基板清洗装置的驱动系统4包括：

驱动电机41；

驱动多个传动齿轮3往复转动的传动机构42，传动机构42的动力输入端与驱动电机41的输出轴传动连接。

采用驱动电机41作为动力输出设备，驱动电机41的输出轴通过传动机构42将动力传输给各传动齿轮3，通过传动机构42带动各传动齿轮3实现轴向往复运动。

请参考图1、图3，具体地，传动机构42包括：

与驱动电机41的输出轴同轴固定的主动轮421；

一端与主动轮421铰接的连杆422；

与连杆422另一端铰接的过渡齿轮423，主动轮421、连杆422以及过渡齿轮423形成四连杆机构；

与多个传动齿轮3、过渡齿轮423连接的传送皮带424；

至少一个用于张紧传送皮带424的张紧轮425。

连杆422的两端分别转动地连接一个与连杆422垂直的销轴（图中未示出），连杆422一端的销轴固定在主动轮421上，另一端的销轴固定在过渡齿轮423上，从而将连杆422铰接在主动轮421和过渡齿轮423之间，使得主动轮421、连杆422以及过渡齿轮423形成一个四连杆机构。驱动电机41通过该四连杆机构可以带动过渡齿轮423在一定角度范围内轴向往复转动，从而带动与过渡齿轮423连接的传送皮带424往复运动，传送皮带424往复运动的同时带动与其连接的各传动齿轮3轴向往复转动，每一个传动齿轮3轴向固定的一个喷淋管道2随该传动齿轮3一起往复转动，从而带动从喷淋管道2的喷液口21持续喷出的液体往复摆动，使得液体从喷液口21喷出的方向与基板1之间的角度发生规律性变化，提高了本发明提供的基板清洗装置对基板表面的清洁效果，且减小了液体对基板运行速度的影响。

另外，通过改变传送皮带424在各传动齿轮3上的绕向便可以很方便地调整各传动齿轮3的往复转动方向，以改变喷淋管道2的往复转动方向。

请继续参考图1、图3，具体地，多个传动齿轮3形成依次相邻的若干个齿轮组31，任意相邻的两个齿轮组31中的传动齿轮3上的传送皮带424绕向相反。

驱动电机41通过主动轮421、连杆422以及传送皮带424形成的四连杆机构驱动传送皮带424往复运动，传送皮带424往复运动的同时带动传动齿轮3轴向往复转动。在传送皮带424沿一个方向运动时，传送皮带424绕向相反的传动齿轮3的转动方向相反，转动方向相反的传动齿轮3带动的喷淋管道2的转动方向也相反，从而使得转动方向相反的两部分喷淋管道2中的液体从喷液口21喷出的方向相反，喷出方向相反的液体对基板1的推动效果和阻碍效果相互抵消，减小了液体的冲击对基板1在运输设备上运行速度的影响。

请继续参考图1、图3，具体地，上述每一个齿轮组31包括至少一个传动齿轮3。

更具体地，如图1中所示，上述每一个齿轮组31包括一个传动齿轮3，任意相邻的两个传动齿轮3上的传送皮带424绕向相反。

更具体地，如图3中所示，上述每一个齿轮组31包括两个传动齿轮3，同一个齿轮组31中的两个传动齿轮3上的传送皮带424的绕向相同，任意相邻的两个齿轮组31的传动齿轮3上的传送皮带424绕向相反。

请参考图4、图5，具体地，多个传动齿轮3形成若干个分别具有两个相互啮合的传动齿轮的齿轮组32；如图4中所示，齿轮组32中的齿轮321和齿轮322相互啮合；

传动机构42包括形成曲柄滑块机构的主动轮421、连杆422、滑轨426和推杆427，以及连接推杆427与每一个齿轮组32中的一个传动齿轮3、将推杆427的直线运动转换为传动齿轮3的周向运动的转换机构：其中，

主动轮421与驱动电机41的输出轴同轴固定；

连杆422的一端与主动轮421铰接，另一端与推杆427的一端铰接；

滑轨426与壳体相对固定、且沿基板1移动方向a延伸；

推杆427滑动装配于滑轨426。

连杆422的两端分别转动地连接一个与连杆422垂直的销轴，连杆422一端的销轴固定在主动轮421上，连杆422另一端的销轴固定在推杆427的一端，从而将连杆422铰接在主动轮421和推杆427之间，由于推杆427滑设于滑轨426内，从而使得主动轮421、连杆422以及过渡齿轮423形成一个曲柄滑块机构。驱动电机41通过该曲柄滑块机构驱动推杆427在滑轨426内沿直线往复运动，推杆427通过转换机构带动齿轮组32中的一个传动齿轮321轴向往复转动，由于同一齿轮组32中的传动齿轮321和传动齿轮322相互啮合，所以传动齿轮321和传动齿轮322一起同频率反方向往复转动，从而将推杆427的直线运动转换为传动齿轮321的周向运动。任意一个齿轮组32中的传动齿轮321和传动齿轮322分别连接的喷淋管道2的往复转动方向相反，从而使得往复转动方向相反的两部分喷淋管道2的数量相同，更大程度地减小了液体的冲击对基板1在运输设备上运行速度的影响。

请参考图6，具体地，多个传动齿轮3形成若干个分别具有两个相互啮合的传动齿轮的齿轮组32；如图4中所示，齿轮组32中的齿轮321和齿轮322相互啮合；

驱动多个传动齿轮3往复转动的传动机构42包括形成凸轮连杆机构的凸轮5、滑轨426和推杆427，以及连接推杆427和每一个齿轮组32中的一个传动齿轮321、将推杆427的直线运动转换为传动齿轮3的周向运动的转换机构；其中：

凸轮5安装于驱动电机41的输出轴；

滑轨426与壳体相对固定、且沿基板1移动方向a延伸；

推杆427与滑轨426配合滑动，且推杆427的一端配合安装于凸轮5。

驱动电机41的输出轴安装一个具有导向槽51的凸轮5，推杆427滑设于滑轨426内、且一端通过一滚轮配合安装于凸轮5的导向槽51内，使得凸轮5、推杆427和滑轨426形成一个凸轮连杆机构。驱动电机41通过凸轮连杆机构驱动推杆427在滑轨426内沿直线往复运动，推杆427通过转换机构带动齿轮组32中的一个传动齿轮321轴向往复转动，同时传动齿轮321带动与其啮合的另一传动齿轮322轴向往复转动，且传动齿轮321和传动齿轮322的往复转动方向相反，从而将推杆427的直线运动转换为多个传动齿轮3的周向运动。

请参考图4，一种可选实施方式中的转换机构包括：

推杆427具有的垂直于基板的滑槽428；

一端固定于齿轮组32中的一个传动齿轮321，另一端伸入滑槽428的滑杆429。

由于滑杆429的一端固定于齿轮组32中的一个传动齿轮321，使得滑杆429的运动方向必须与传动齿轮321的转动方向一致，而且滑杆429的另一端伸入滑槽428内，因此在推杆427带动滑杆429沿推杆427的运动方向往复运动的同时，滑杆429在推杆427的滑槽428内还会相对于推杆427上、下往复运动，从而将推杆427的直线运动转换为传动齿轮321的周向运动。

请参考图5，另一种可选实施方式中的转换机构包括：

设置于推杆427朝向传动齿轮3的一侧、与每一个齿轮组32中的一个传动齿轮321啮合的齿条6。

传动齿轮321啮合的齿条6构成一个转换机构，推杆427通过齿条6带动每一个齿轮组32中与齿条6啮合的传动齿轮321轴向往复转动，从而将推杆427的直线运动转换为多个传动齿轮3的周向运动。

请参考图7，具体地，多个传动齿轮3形成若干个分别具有两个相互啮合的传动齿轮的齿轮组32；如图4中所示，齿轮组32中的齿轮321和齿轮322相互啮合；

传动机构42包括主动轮421、连杆422和推杆427，以及连接推杆427与每一个齿轮组32中的一个传动齿轮3、将推杆427的直线运动转换为传动齿轮3的周向运动的转换机构：其中，

主动轮421与驱动电机41的输出轴同轴固定；

连杆422的一端与主动轮421铰接，另一端与推杆427的一端铰接。

而且，该实施方式中的转换机构包括：

推杆427具有的圆孔；

一端固定于齿轮组32中的一个传动齿轮321，另一端插入推杆427的圆孔中、且与圆孔转动配合的滑杆429。

连杆422的两端分别转动地连接一个与连杆422垂直的销轴，连杆422一端的销轴固定在主动轮421上，连杆422另一端的销轴固定在推杆427的一端，从而将连杆422铰接在主动轮421和推杆427之间；传动齿轮321固定的滑杆429插入推杆427的圆孔中构成一个转换机构。驱动电机41通过主动轮421和连杆422推动推杆427往复运动，推杆427在往复运动的同时通过滑杆429带动齿轮组32中的一个传动齿轮321轴向往复转动，由于同一齿轮组32中的传动齿轮321和传动齿轮322相互啮合，所以传动齿轮321和传动齿轮322会一起同频率反方向往复转动，从而将推杆427的直线运动转换为传动齿轮321的周向运动。

请参考图2，更具体地，每一个喷淋管道2上间隔设置若干个喷嘴7，形成喷液口21。

喷嘴7可以通过螺纹连接或焊接或其它连接方式设置在喷淋管道2上，每一个喷嘴7形成一个喷液口21。

显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (11)

1.一种基板清洗装置，其特征在于，包括：

内部具有清洗室的壳体；

枢装于所述壳体、且沿基板移动方向并排分布的多个喷淋管道，每一个所述喷淋管道具有将所述喷淋管道内的液体导向基板被清洁面的若干个喷液口，每一个所述喷淋管道的一端具有与其同轴固定的传动齿轮；

通过所述传动齿轮驱动所述喷淋管道同频率往复转动的驱动系统，其中一部分所述喷淋管道的往复转动方向与另一部分所述喷淋管道的往复转动方向相反。

2.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，往复转动方向相反的两部分所述喷淋管道的数量相同。

3.根据权利要求2所述的基板清洗装置，其特征在于，所述驱动系统包括：

安装于所述壳体的驱动电机；

驱动多个所述传动齿轮轴向往复转动的传动机构，所述传动机构的动力输入端与所述驱动电机的输出轴传动连接。

4.根据权利要求3所述的基板清洗装置，其特征在于，所述传动机构包括：

与所述驱动电机的输出轴同轴固定的主动轮；

一端与所述主动轮铰接的连杆；

与所述连杆另一端铰接的过渡齿轮，所述主动轮、连杆以及过渡齿轮形成四连杆机构；

与多个所述传动齿轮、过渡齿轮连接的传送皮带；

至少一个用于张紧所述传送皮带的张紧轮。

5.根据权利要求4所述的基板清洗装置，其特征在于，多个所述传动齿轮形成依次相邻的若干个齿轮组，任意相邻的两个所述齿轮组的所述传动齿轮上的传送皮带绕向相反。

6.根据权利要求5所述的基板清洗装置，其特征在于，每一个所述齿轮组包括至少一个所述传动齿轮。

7.根据权利要求3所述的基板清洗装置，其特征在于，多个所述传动齿轮形成若干个分别具有两个相互啮合的所述传动齿轮的齿轮组；

所述传动机构包括形成曲柄滑块机构的主动轮、连杆、滑轨和推杆，以及连接所述推杆和每一个所述齿轮组中的一个传动齿轮、将所述推杆的直线运动转换为所述传动齿轮的周向运动的转换机构：其中，

所述主动轮与所述驱动电机的输出轴同轴固定；

所述连杆的一端与所述主动轮铰接，另一端与所述推杆的一端铰接；

所述滑轨与所述壳体相对固定、且沿基板移动方向延伸；

所述推杆滑动装配于所述滑轨。

8.根据权利要求3所述的基板清洗装置，其特征在于，多个所述传动齿轮形成若干个分别具有两个相互啮合的所述传动齿轮的齿轮组；

所述传动机构包括形成凸轮连杆机构的凸轮、滑轨和推杆，以及连接所述推杆和每一个所述齿轮组中的一个传动齿轮、将所述推杆的直线运动转换为所述传动齿轮的周向运动的转换机构；其中：

所述凸轮安装于所述驱动电机的输出轴；

所述滑轨与所述壳体相对固定、且沿基板移动方向延伸；

所述推杆与所述滑轨配合滑动，且所述推杆的一端配合安装于所述凸轮。

9.根据权利要求7或8所述的基板清洗装置，其特征在于，所述转换机构包括：

所述推杆具有的垂直于基板的滑槽；

一端固定于所述齿轮组中的一个所述传动齿轮，另一端伸入所述滑槽的滑杆。

10.根据权利要求7或8所述的基板清洗装置，其特征在于，所述转换机构包括：

设置于所述推杆朝向所述传动齿轮的一侧、与每一个所述齿轮组中的一个所述传动齿轮啮合的齿条。

11.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，每一个所述喷淋管道上间隔设置若干个喷嘴，形成所述喷液口。

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