KR20080062268A - 기판 이송 장치 - Google Patents

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KR20080062268A
KR20080062268A KR1020060137834A KR20060137834A KR20080062268A KR 20080062268 A KR20080062268 A KR 20080062268A KR 1020060137834 A KR1020060137834 A KR 1020060137834A KR 20060137834 A KR20060137834 A KR 20060137834A KR 20080062268 A KR20080062268 A KR 20080062268A
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여승철
지현
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 공정 챔버 외부에 상기 공정 챔버 일면과 마주보도록 형성된 구동 자석, 공정 챔버 내부에 구동 자석에 대응하여 형성된 피동 자석, 피동 자석과 제1 베벨 기어 샤프트로 연결된 제1 베벨 기어, 제1 베벨 기어 샤프트와 수직하도록 공정 챔버 내에 수평으로 형성된 제2 베벨 기어 샤프트, 제2 베벨 기어 샤프트 상에 소정 간격씩 이격되어 복수개가 형성되며, 그 중 하나가 제1 베벨 기어와 인접하도록 형성된 제2 베벨 기어, 복수개의 제2 베벨 기어와 각각 인접하도록 제1 베벨 기어와 대응되는 위치에 형성된 복수개의 제3 베벨 기어 및 복수개의 제3 베벨 기어 각각에서 연장되어 형성되어 기판을 이송하는 이송 샤프트를 포함한다.
기판 이송 장치, 구동 자석, 베벨 기어

Description

기판 이송 장치{Apparatus for cleaning the substrate}
도 1은 종래 기술의 기판 이송 장치의 일부를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 일부를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 일부를 나타낸 평면도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 설명*
100: 공정 챔버 200: 구동부
210: 모터 구동부 220: 구동 샤프트
230: 구동 자석 240: 피동 자석
300: 베벨 기어부 310: 제1 베벨 기어 샤프트
320: 제1 베벨 기어 330: 제2 베벨 기어 샤프트
340: 제2 베벨 기어 350: 제3 베벨 기어
400: 이송 샤프트 420: 이송 롤러
440: 지지대
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
반도체 메모리 소자의 기판으로 사용되는 웨이퍼(wafer), 액정 디스플레이 또는 플라즈마 디스플레이 패널로 사용되는 평판 기판 등은 박막과 금속막 등을 형성하는 여러 공정을 거쳐 메모리 소자나 디스플레이 소자로 제조된다. 이러한 각 공정은 외부와는 격리된 환경을 제공하는 공정 챔버(process chamber)에서 진행된다. 즉, 공정 챔버 내에서는 메모리 소자나 디스플레이 소자를 제조하는 도포 공정, 노광 공정, 현상 공정, 식각 공정, 세정 공정, 스트립 공정 등이 진행될 수 있다.
이 때, 각각의 공정 챔버로 기판을 이동시키기 위해서, 또는 공정 챔버 내에서 기판을 이동시키기 위해서 기판 이송 장치가 구비된다.
도 1은 종래의 기판 이송 장치의 일부를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
기판 이송 장치에는 복수개의 이송 샤프트(110)가 구비되고, 각각의 이송 샤프트(110)에는 기판을 지지하고 이송시키는 복수개의 이송 롤러(120)가 일정 간격으로 형성된다. 이송 샤프트(110)의 일측에는 복수개의 이송 샤프트(110)를 연결하여 지지하는 지지대(130)가 이송 샤프트(110)가 정렬된 방향과 수직으로 형성되어 있다. 한편, 각각의 이송 샤프트(110)의 일단에는 이송 샤프트(110)를 회전시키는 피동 자석(150)이 형성된다. 피동 자석(150)은 공정 챔버(100) 일면과 마주보도록 형성되며, 각각의 피동 자석(150)과 대응되는 위치에 구동 자석(140)이 형성된다. 구동 자석(140)은 구동부(미도시)와 연결되며, 구동부는 구동 자석(140)을 회전시키게 된다.
즉, 종래의 기판 이송 장치에는 이송 샤프트(110)의 수만큼의 피동 자석(150) 및 구동 자석(140)이 구비된다. 즉, 설비에 요구되는 구동 자석(140) 및 피동 자석(150)의 수가 많아, 비용 부담이 크다.
또한, 복수개의 구동 자석(140)을 한꺼번에 구동시키기 위해서는 구동부와 연결된 타이밍 벨트(미도시)로 복수개의 구동 자석(140)을 연결한다. 이 때, 타이밍 벨트의 갈림 현상에 의해 설비의 신뢰성이 저하되게 되고, 타이밍 벨트가 늘어나거나 손실됨에 따른 교체 비용이 추가로 발생하여, 생산성이 저하될 수 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 생산성이 향상된 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 공정 챔버 외부에 상기 공정 챔버 일면과 마주보도록 형성된 구동 자석, 상기 공정 챔버 내부에 상기 구동 자석에 대응하여 형성된 피동 자석, 상기 피동 자석과 제1 베벨 기어 샤프트로 연결된 제1 베벨 기어, 상기 제1 베벨 기어 샤프트와 수직하도록 상기 공정 챔버 내에 수평으로 형성된 제2 베벨 기어 샤프트, 상기 제2 베벨 기어 샤프트 상에 소정 간격씩 이격되어 복수개가 형성되며, 그 중 하나가 상기 제1 베벨 기어와 인접하도록 형성된 제2 베벨 기어, 상기 복수개의 제2 베벨 기어와 각각 인접하도록 상기 제1 베벨 기어와 대응되는 위치에 형성된 복수개의 제3 베벨 기어 및 상기 복수개의 제3 베벨 기어 각각에서 연장되어 형성되어 기판을 이송하는 이송 샤프트를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
및/또는 은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 포함한다(comprises) 및/또는 포함하는(comprising)은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
이하, 도 2 및 도 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 대하여 보다 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 일부를 개략적으로 나타낸 사시도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 일부를 나타낸 평면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 공정 챔버(100), 구동부(200), 베벨 기어부(300) 및 이송 샤프트(400)를 포함한다.
공정 챔버(100)에서는 기판이 이송되는데, 공정 챔버(100) 내에는 이송 샤프트(400), 베벨 기어부(300) 등이 형성되며 구동부(200)의 일부인 피동 자석(240)이 형성된다.
구동부(200)는 구동 샤프트(220), 구동 자석(230) 및 피동 자석(240)을 포함한다.
구동 샤프트(220)는 모터 구동부(210)와 연결되어 모터 구동부(210)에 의해 회전할 수 있는데 공정 챔버(100) 외부에 구비된다.
구동 샤프트(220)에는 구동 자석(230)이 연결된다. 구동 자석(230)은 원판 형상일 수 있는데, 구동 자석(230)의 일면은 공정 챔버(100)와 마주보게 된다. 구동 자석(230)은 N극성 또는 S극성을 가질 수 있다. 또는, N극성 및 S극성의 자석이 공정 챔버(100)와 마주보는 면에 복수개 형성되어 있을 수 있다. 구동 자석(230)은 구동 샤프트(220)가 회전함에 따라 회전하게 되는데, 구동 자석(230)은 공정 챔 버(100)와 맞닿지 않도록 형성되기 때문에 구동 자석(230)이 회전하더라도, 구동 자석(230)과 공정 챔버(100) 간에 마찰이 발생하지 않는다.
피동 자석(240)은 구동 자석(230)과 대응되도록 공정 챔버(100) 내부에 형성되며, 원판 형상 일 수 있다. 피동 자석(240)의 일면은 공정 챔버(100)와 마주보도록 형성되며, 피동 자석(240)의 타면은 제1 베벨 기어 샤프트(310)와 연결된다.
피동 자석(240)은 N극성 또는 S극성을 가질 수 있다. 또는, N극성 및 S극성의 자석이 공정 챔버(100)와 마주보는 면에 복수개 형성되어 있을 수 있다. 피동 자석(240)은 구동 자석(230)과 대응되는 영역에 구동 자석(230)과 반대의 극성이 위치되도록 형성된다. 예를 들어, 구동 자석(230)이 N극성인 경우, 피동 자석(240)은 S극성이고, 구동 자석(230)이 S극성인 경우, 피동 자석(240)은 N극성이다. 구동 자석(230)에 N극성과 S극성이 복수개 형성된 경우, 피동 자석(240)에는 구동 자석(230)의 N극성과 대응되는 위치에는 S극성이, S극성에 대응되는 위치에는 N극성이 위치하도록 형성된다.
구동 자석(230)과 피동 자석(240)은 공정 챔버(100)를 사이에 두고 마주보도록 형성되는데, 구동 자석(230)과 피동 자석(240)은 반대되는 극성을 띠고 있어, 강한 힘으로 서로 끌어당기고 있다. 따라서, 물리적으로 떨어져 있음에도 불구하고, 구동 자석(230)이 회전함에 따라, 피동 자석(240)도 같이 회전하게 된다. 구동부(200)를 구동 자석(230) 및 피동 자석(240)으로 형성하면, 공정 챔버(100)에 구멍을 뚫어 베어링을 연결하지 않고도, 공정 챔버(100) 외부의 모터 구동부(210)로, 공정 챔버(100) 내부의 이송 샤프트(400)등을 구동시킬 수 있다.
베벨 기어부(300)는 제1 베벨 기어 샤프트(310), 제1 베벨 기어(320), 제2 베벨 기어 샤프트(330), 제2 베벨 기어(340) 및 제3 베벨 기어(350)를 포함한다.
제1 베벨 기어 샤프트(310)의 일단은 피동 자석(240)과 연결되고 타단은 제1 베벨 기어(320)와 연결되어, 피동 자석(240)이 회전함에 따라 제1 베벨 기어(320)를 회전시킨다.
제1 베벨 기어(320)는 피동 자석(240)에 의해 회전하며, 예를 들어, 자석 베벨 기어일 수 있다. 제1 베벨 기어(320)가 자석 베벨 기어인 경우, 제1 베벨 기어(320)는 복수개의 자석(322)을 포함한다.
제1 베벨 기어 샤프트(310)는 제1 베벨 기어 샤프트(310)와 수직하도록 공정 챔버(100) 내에 수평으로 형성되는데, 제2 베벨 기어 샤프트(330) 상에는 제2 베벨 기어(340)가 소정 간격씩 이격되어 복수개가 형성된다. 여기서, 제2 베벨 기어(340)도 예를 들어, 자석 베벨 기어일 수 있다. 한편, 제2 베벨 기어(340) 중의 하나는 제1 베벨 기어(320)와 인접하도록 형성된다.
제3 베벨 기어(350)는 복수개의 제2 베벨 기어(340)와 각각 인접하도록 복수개가 형성되는데 제1 베벨 기어(320)와 대응되는 위치에 형성되며, 제3 베벨 기어(350)는 이송 샤프트(400)의 일단에 형성된다.
제1 내지 제3 베벨 기어(320, 340, 350)가 자석 베벨 기어인 경우, 제1 내지 제3 베벨 기어(320, 340, 350)는 서로 맞닿지 않고, 일정 간격 이격되어 형성된다. 또한, 제1 내지 제3 베벨 기어(320, 340, 350)가 자석 베벨 기어인 경우, 제1 내지 제3 베벨 기어(320, 340, 350)는 복수개의 자석(322, 342, 352)을 포함한다. 이 때, 제1 내지 제3 베벨 기어(320, 340, 350)의 자석(322, 342, 352)은 N극성 및 S극성이 교대로 위치하도록 형성되어, 제1 베벨 기어의 자력에 의해 제2 베벨 기어(340)를 회전시키고, 제2 베벨 기어(340)의 자력에 의해 제3 베벨 기어(350)를 회전시킬 수 있다.
한편, 제1 내지 제3 베벨 기어(320, 340, 350)가 자석 베벨 기어가 아닌 경우, 제1 내지 제3 베벨 기어(320, 340, 350)는 서로 맞물리도록 형성될 수 있으며, 서로 맞물림으로써, 제1 베벨 기어(320)의 회전력에 의해 제2 베벨 기어(340)를 회전시키고, 제2 베벨 기어(340)의 회전력에 의해 제3 베벨 기어(350)를 회전시킬 수 있다.
이송 샤프트(400)는 복수개의 제3 베벨 기어(350) 각각에서 연장되어 형성된다. 즉, 공정 챔버(100) 내부에 복수개의 이송 샤프트(400)가 소정 간격씩 이격되어 나란하게 형성되어 있다. 각각의 이송 샤프트(400)에는 복수개의 이송 롤러(420)가 형성되는데, 이송 롤러(420)는 이송 샤프트(400)가 회전함에 따라 같이 회전하면서 기판을 지지하고 이송시킨다.
한편, 이송 샤프트(400)의 일측에는 복수개의 이송 샤프트(400)를 연결하여 지지하는 지지대(440)가 이송 샤프트(400)가 정렬된 방향과 수직으로 형성되어 있을 수 있다.
이하, 도 2 및 도 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 이송 공정에 대하여 설명한다.
공정 챔버(100) 내로 평판 표시 채널 등의 기판이 로딩되면, 이송 샤프 트(400)를 회전시켜, 기판을 이송한다.
이송 샤프트(400)를 회전시키기 위해서, 우선, 모터 구동부(210)에 의해 구동 자석(230)을 회전시킨다. 그러면, 구동 자석(230)과 대응되게 형성된 피동 자석(240)이 회전하게 되고, 제1 베벨 기어 샤프트(310)로 피동 자석과 연결된 제1 베벨 기어(320)과 회전하게 된다. 제1 베벨 기어(320)가 회전하면, 제1 베벨 기어(320)와 인접하여 형성된 제2 베벨 기어(340)가 회전하게 된다. 하나의 제2 베벨 기어(340)가 회전하게 되면, 제2 베벨 기어(340)가 형성된 제2 베벨 기어 샤프트(330)가 회전하게 되고, 결과적으로 제2 베벨 기어 샤프트(330) 상에 형성된 복수개의 제2 베벨 기어(340)가 모두 회전하게 된다. 제2 베벨 기어(340)가 회전하게 되면, 각각의 제2 베벨 기어와 인접하여 형성된 제3 베벨 기어(350)가 회전하게 되고, 각각의 제3 베벨 기어(350)와 연결된 이송 샤프트(400)가 회전하게 된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 따르면, 하나의 구동 자석(230) 및 피동 자석(240)으로 복수개의 이송 샤프트(400)를 회전시킨다. 따라서, 설비가 보다 간소해질 수 있다. 또한, 구동 자석(230)이 하나밖에 요구되지 않기 때문에, 타이밍 벨트 등의 소모성 부재가 요구되지 않아, 비용이 줄어들어 생산성이 향상될 수 있다.
한편, 소모성 부재로 인한 불량 등을 방지할 수 있어 설비의 신뢰성이 향상될 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수 적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
상기한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 이상 있다.
첫째, 하나의 구동 자석 및 피동 자석으로 복수개의 이송 샤프트를 회전시킴으로써, 설비가 보다 간소해지며, 구동 자석이 하나밖에 요구되지 않기 때문에, 타이밍 벨트 등의 소모성 부재가 요구되지 않아, 비용이 줄어들어 생산성이 향상될 수 있다.
둘째, 소모성 부재로 인한 불량 등을 방지할 수 있어 설비의 신뢰성이 향상될 수 있다.

Claims (5)

  1. 공정 챔버 외부에 상기 공정 챔버 일면과 마주보도록 형성된 구동 자석;
    상기 공정 챔버 내부에 상기 구동 자석에 대응하여 형성된 피동 자석;
    상기 피동 자석과 제1 베벨 기어 샤프트로 연결된 제1 베벨 기어;
    상기 제1 베벨 기어 샤프트와 수직하도록 상기 공정 챔버 내에 수평으로 형성된 제2 베벨 기어 샤프트;
    상기 제2 베벨 기어 샤프트 상에 소정 간격씩 이격되어 복수개가 형성되며, 그 중 하나가 상기 제1 베벨 기어와 인접하도록 형성된 제2 베벨 기어;
    상기 복수개의 제2 베벨 기어와 각각 인접하도록 상기 제1 베벨 기어와 대응되는 위치에 형성된 복수개의 제3 베벨 기어; 및
    상기 복수개의 제3 베벨 기어 각각에서 연장되어 형성되어 기판을 이송하는 이송 샤프트를 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 제 1항 있어서,
    상기 제1 내지 제3 베벨 기어는 복수개의 자석을 포함하는 자석 베벨 기어인 기판 이송 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제1 내지 제3 베벨 기어는 서로 맞닿지 않는 기판 이송 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 구동 자석은 상기 구동 자석을 회전 시키는 모터 구동부와 연결된 기판 이송 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 구동 자석 및 상기 피동 자석은 상기 공정 챔버와 맞닿지 않는 기판 이송 장치.
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