KR20080098239A - 기판 제조 장치의 기판 이송 장치 - Google Patents

기판 제조 장치의 기판 이송 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20080098239A
KR20080098239A KR1020070043666A KR20070043666A KR20080098239A KR 20080098239 A KR20080098239 A KR 20080098239A KR 1020070043666 A KR1020070043666 A KR 1020070043666A KR 20070043666 A KR20070043666 A KR 20070043666A KR 20080098239 A KR20080098239 A KR 20080098239A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
roller
shafts
shaft
rollers
Prior art date
Application number
KR1020070043666A
Other languages
English (en)
Inventor
신광섭
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020070043666A priority Critical patent/KR20080098239A/ko
Publication of KR20080098239A publication Critical patent/KR20080098239A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices

Abstract

기판 제조 장치의 기판 이송 장치가 제공된다. 본 발명의 일실시예에 따른 기판 제조 장치의 기판 이송 장치는, 공정챔버 내에 기판의 이송방향에 수직한 방향으로 평행하게 배치된 복수의 샤프트와, 샤프트가 삽입되는 관통홀을 가지며 샤프트와 함께 회전되도록 샤프트에 결합되고, 기판과 접촉하여 기판을 이송하는 복수의 롤러와, 복수의 샤프트와 결합되며 복수의 샤프트에 회전력을 전달하는 동력전달부재 및 동력전달부재에 회전력을 전달하는 구동부를 포함하며, 롤러의 원주면에는 롤러의 회전 방향을 따라 요철이 반복적으로 형성된다.
기판, 기판 이송, 롤러

Description

기판 제조 장치의 기판 이송 장치 {Substrate transfering apparatus for manufacturing flat panel display devices}
도 1은 종래의 기판 제조 장비의 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2a 및 도 2b는 종래의 기판 이송 장치에서 사용되는 롤러를 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 기판 제조 장치의 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 3의 기판 제조 장치의 기판 이송 장치에서 롤러의 일실시예를 나타나는 사시도이다.
도 5는 도 4의 롤러의 변형된 예를 나타내는 사시도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100: 기판 이송 장치
10: 기판
20: 샤프트
30: 롤러
40: 풀리
50: 구동모터
60: 벨트
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 제조 장치의 기판 이송 장치에 관한 것이다.
최근 영상을 표현하는 표시장치로서 액정 디스플레이(LCD) 소자와 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 소자 등이 종래의 브라운관(CRT)을 빠른 속도로 대체하여 오고 있다. 이러한 것들은 흔히 평판표시장치(FPD, Flat Panel Display)이라고 불리우는 기판을 사용하고 있다.
평판표시장치를 제작하기 위해서는 기판 제작공정, 셀 제작공정, 모듈 제작공정 등의 많은 공정을 수행하여야 한다. 특히, 기판 제작공정에 있어서, 기판 상에 패턴들을 형성하기 위해서는 세정을 시작으로 포토 레지스트 형성, 노광, 현상, 식각, 포토 레지스트 제거로 이루어지는 패터닝 공정을 수행하고 이후, 검사 공정까지 거쳐야 한다.
이와 같은 여러 단위 공정들을 수행하기 위해서는 해당 공정챔버로 기판을 이송하는 과정이 필요하다.
도 1은 종래의 기판 제조 장비의 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 종래의 기판 이송 장치에서 롤러의 형상을 나타내는 분해 사시도이다.
기판 이송 장치(100)는 공정챔버의 내부에 일정간격으로 배치되는 복수의 샤 프트(20)과 각각의 샤프트(20)에 기판(10)을 지지하여 이를 이송시키기 위한 복수의 롤러(30)를 포함한다. 각각의 샤프트(20)의 일단에는 풀리(40)가 연결되고, 인접하는 각각의 풀리(40)는 서로 벨트(60) 또는 체인(도시되지 않음)에 의해 연결된다. 복수의 풀리(40) 중 하나의 풀리(40)에는 회전력을 전달하기 위해 구동모터와 같은 구동부(50)가 벨트(60)에 의해 연결되어 있다. 구동부(50)가 작동하면 각각의 샤프트(20)가 회전되면서 기판(10)의 저면에 접촉하는 각각의 롤러(30)에 의해 기판(10)이 이송되는 것이다.
도 2a 및 도 2b는 종래의 기판 이송 장치에서 사용되는 롤러를 나타내는 사시도이다.
도 2a에 도시된 바와 같이, 일반적으로 사용되는 롤러(30)는 그 표면이 매끄럽게 형성된다. 이 경우, 제조 공정에서 사용되는 처리액이 분사되는 경우, 기판(10)의 저면과 롤러(30)의 원주면 사이에 수막 현상이 발생하게 된다. 따라서 기판(10)이 이송되는 도중에 기판(10)이 미끄러지기 쉽다. 또한, 이들 세척액이 기판 상에 잔류하여 세척 효율이 저하된다.
도 2b에 도시된 바와 같이, 또 다른 형태의 롤러(30)는 샤프트(20)에 삽입 고정되는 몸체(31)와, 기판(10)과 접촉하여 미끄럼을 방지하기 위해 몸체(31)의 외경에 구비되는 오링(O-ring, 34)으로 구성되어 있다. 여기서, 몸체(31)의 외경에는 홈(33)이 형성되며, 그 홈(33)에 고무 오링(34)이 삽입된다.
따라서, 기판(10)의 저면은 각각의 롤러(30)의 오링(34)에 접촉된 상태를 유지하여 기판(10)의 미끄러짐을 줄일 수 있었다.
그러나 이와 같은 경우에도, 각각의 샤프트(20)에 구비되는 롤러(30)의 오링(34)이 원형 단면을 가지므로, 기판(10)과 오링(34)간의 선접촉 또는 점접촉을 이루어져 접촉 면적이 작아 이송 중인 기판(10)이 원활하게 이송되지 못하는 문제점이 있다. 또한, 공정에 사용하는 처리액이 유기용제 등인 경우, 고무 재질의 오링(34)이 녹는 문제도 발생한다.
따라서, 종래기술의 기판 이송 장치(100)는 기판(10)의 원할한 이송이 이루어지지 못해 제조 공정 사고가 발생하는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 고안된 것으로, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 평면표시장치 제조 공정에 있어서 기판을 이송할 때 기판이 미끄러지는 것을 방지할 수 있는 구조를 통해 기판의 이송을 정확하게 하여 불량 발생을 최소화하고 공정의 안정성과 신뢰성을 향상시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 제조 장치의 기판 이송 장치는, 공정챔버 내에 기판의 이송방향에 수직한 방향으로 평행하게 배치된 복수의 샤프트와, 상기 샤프트가 삽입되는 관통홀을 가지며 상기 샤프트와 함 께 회전되도록 상기 샤프트에 결합되고, 상기 기판과 접촉하여 상기 기판을 이송하는 복수의 롤러와, 상기 복수의 샤프트와 결합되며 상기 복수의 샤프트에 회전력을 전달하는 동력전달부재 및 상기 동력전달부재에 회전력을 전달하는 구동부를 포함하며, 상기 롤러의 원주면에는 상기 롤러의 회전 방향을 따라 요철이 반복적으로 형성된다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다
이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 기판 제조 장치의 기판 이송 장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 기판 제조 장치의 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이다.
본 발명의 일실시예에 따른 기판 제조 장치의 기판 이송 장치는, 복수의 샤프트(20)와, 복수의 롤러(30)와, 동력전달부재(40, 60) 및 구동부(50)를 포함한다.
공정챔버 내의 기판 이송 장치(100)에는 복수의 샤프트(20)들이 배치되며, 각각의 샤프트(20)는 균일한 간격으로 기판(10)의 이송방향에 수직한 방향으로 서로 평행하게 배치된다. 복수의 샤프트(20)들은 수평하게 배치되거나, 일단이 타단에 비해 높게 위치되도록 경사지게 배치될 수 있다. 각각의 샤프트(20)의 양단은 베어링에 의해 안정적으로 지지되어 원활한 회전을 할 수 있다.
구동부(50)는 기판(10)을 이송시키기 위해 복수의 샤프트(20)와 복수의 롤러(30)를 회전시킨다. 구동부(50)는 복수의 샤프트(20) 중 어느 하나에 회전력을 제공하며 구동모터 등이 사용될 수 있다. 필요에 따라서는 구동모터를 하나 이상 사용하여 여러 개의 샤프트(20)에 연결할 수도 있다. 바람직하게는 구동모터로서 스테핑 모터(stepping motor)를 사용할 수 있다. 스테핑 모터는 펄스 신호의 주파수에 비례한 회전속도를 얻을 수 있으므로 속도 제어가 광범위하고, 기동, 정지, 정역회전, 변속이 용이하며 응답특성이 좋다는 장점이 있다.
샤프트(20)들 중 어느 하나에 제공된 구동모터의 회전력을 인접하는 샤프트(20)로 전달하기 위해 각각의 샤프트(20)에는 동력전달부재(40, 60)가 결합된다.
동력전달부재(40, 60)로는 바람직하게는 각각의 샤프트(20)의 일단에 설치된 복수의 풀리(40)와 이들을 연결하는 벨트(60)를 포함한다. 샤프트(20)들 각각의 일단에는 풀리(40)가 연결되고, 인접하는 풀리(40)들은 서로 벨트(60)에 의해 연결된다. 이들 복수의 풀리(40) 중 하나는 구동부(50)에 연결될 수 있다. 다른 실시예에 의하면, 각각의 샤프트(20)에 구동부(50)가 결합되고, 각각의 구동부(50)에 의해 샤프트(20)가 회전될 수 있다. 한편, 벨트(60) 대신 체인을 사용할 수도 있다.
다른 실시예에 의하면, 동력전달부재(40, 60)로는 기어(도시되지 않음)들이 사용될 수 있다. 각각의 샤프트(20)의 양단에는 기어가 결합되고 인접하는 각각의 샤프트(20)에 설치되는 기어는 서로 맞물리도록 위치된다.
또 다른 실시예의 의하면, 동력전달부재(40, 60)로는 기계적 마찰에 의해 파티클이 발생되지 않도록 자력을 이용하여 회전력을 전달하는 자석 부재(도시되지 않음)가 사용될 수도 있다.
각각의 샤프트(20)에는 그 길이 방향으로 복수의 롤러(30)가 결합된다.
각각의 롤러(30)는 원통형의 몸체(31)를 가지고 내부에 샤프트(20)가 삽입되는 관통홀(32)을 가지며, 샤프트(20) 상에서 미끄러지지 않도록 결합되어 있어 샤프트(20)가 회전할 때 함께 회전하게 된다.
구동부(50)가 구동하게 되면 회전력이 동력전달부재(40, 60)에 전달되고, 이는 다시 회전력이 각각의 샤프트(20)와 롤러(30)에 전달된다. 이로 인해 롤러(30)의 상부에 놓여져 롤러(30)에 직접 맞닿아 접촉하는 기판(10)은 일방향으로 이송된다.
도 4는 도 3의 기판 제조 장치의 기판 이송 장치에서 롤러의 일실시예를 나타나는 사시도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 롤러(30)의 원주면에는 롤러(30)의 회전 방향을 따라 요철(凹凸)(35, 36)이 형성된다. 바람직하게는, 요철(35, 36)은 샤프트(20)의 길이 방향과 나란하게 형성된 요부(凹部, 35)와 철부(凸部, 36)를 가진다.
요철(35, 36)의 단면의 형상은 사각이나 사다리꼴 형상, 또는 원형(도시되지 않음)일 수 있다. 바람직하게는 원통의 외주면에서 요부(35)를 깎아낸 형상으로 철부(36)의 상단부는 라운드지는 것이 좋다. 또 다른 실시예에 의하면, 요철(35, 36)은 엠보싱 형상 또는 반구 형상의 돌기(도시되지 않음)로 이루어질 수도 있다.
요철(35, 36)은 롤러(30)와 기판(10) 사이의 접촉 면적을 증대시키게 되어 미끄럼 마찰을 크게 한다. 따라서, 기판(10)이 미끄러지는 것을 방지할 수 있다. 이는 기판 이송 장치(100)의 이송력 및 제동력을 향상시킨다.
또한, 기판(10)을 향해 분사된 처리액을 요부(35)의 홈을 통해 쉽게 배출할 수 있어 기판(10)의 저면과 롤러(30)의 원주면 사이에 발생하는 수막 현상을 방지할 수 있다. 따라서, 처리액이 기판(10) 상에 잔류하는 것을 방지하여 기판(10)의 처리 효율을 향상시킬 수 있다.
바람직하게는, 각각의 샤프트(20)에 결합된 복수의 롤러(30) 모두에 요철(35, 36)이 형성될 수 있다. 또 다른 실시예에 의하면, 기판(10)의 가장자리 부분의 저면과 접촉하는 롤러(30)와 같이, 전체 롤러(30) 중 일부의 롤러(30)에만 요철(35, 36)이 형성될 수 있다.
롤러(30)는 기판(10)의 표면에 흠집을 남기지 않으면서 기판(10)이 이동할 때에 발생하는 충격을 흡수할 수 있도록 테프론(teflon) 또는 PVC(polyvinyl chloride)와 같은 고분자 재료인 부드러운 재질로 이루어진다. 또는 롤러(30)에는 마찰력이 큰 고무패킹을 결합할 수 있다.
도 5는 도 4의 롤러의 변형된 예를 나타내는 사시도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 롤러(30)의 원주면의 원주 방향으로 요철(35, 36) 을 관통하는 홈(37)이 형성될 수 있다. 이 홈(37)은 처리액이 좀더 효과적으로 배출될 수 있도록 도와준다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 기판 제조 장치의 기판 이송 장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 기판 제조 장치의 기판 이송 장치에 따르면, 이송하고자 하는 기판(10)이 공정챔버 내로 로딩되면 구동부(50)를 구동시켜 동력전달부재(40, 60)에 의해 복수의 샤프트(20)를 회전시키게 된다. 이 때, 각각의 샤프트(20)에 고정 결합된 복수의 롤러(30)도 샤프트(30)와 같은 방향으로 회전하게 되고, 기판(10)의 저면에 접촉하고 있는 롤러(30) 위에 얹혀진 기판(10)이 이송하게 된다.
롤러(30)의 원주면에 형성된 요철(35, 36)은 롤러(30)와 기판(10) 사이의 접촉 면적을 증대시키게 되어 미끄럼 마찰을 크게 하여 기판(10)이 미끄러지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 구동부(50)에 의한 기판 이송 장치(100)의 이송력 및 제동력을 향상시킨다. 따라서, 기판(10)의 이송이 용이하고 정확하게 이루어진다.
또한, 기판(10)을 향해 분사된 처리액을 요부(35)의 홈을 통해 쉽게 배출할 수 있어 기판(10)의 저면과 롤러(30)의 원주면 사이에 발생하는 수막 현상을 방지할 수 있다. 따라서, 처리액이 기판(10) 상에 잔류하는 것을 방지하여 기판(10)의 오염을 막음으로써 기판(10)의 처리 효율을 향상시킬 수 있다.
상기 기판(10)은 액정표시장치(LCD, Liquid crystal display)의 기판에 한정되지 않고, 평판표시장치(FPD, Flat panel display)에 해당하는 모든 기판에 적용 가능하다. 그리고, 상기 기판(10)은 반도체 칩 제조에 사용되는 웨이퍼(wafer)일 수도 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
상기한 바와 같은 본 발명의 기판 제조 장치의 기판 이송 장치에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다.
첫째, 기판의 이송을 수행함에 있어 롤러의 원주면에 요철을 제공함으로써 기판이 이송될 때 기판이 미끄러지는 것을 방지하여 기판 이송이 용이하고 정확하게 이루어진다.
둘째, 기판으로 처리액을 공급하여 공정 진행시 롤러의 원주면의 요철을 통해 처리액이 기판 상에 잔류하는 것을 방지하여 기판 처리 효율을 향상시킬 수 있다.
셋째, 기판의 이송을 정확하게 하여 불량 발생을 최소화하고 제조 공정의 안정성과 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

Claims (4)

  1. 공정챔버 내에 기판의 이송방향에 수직한 방향으로 평행하게 배치된 복수의 샤프트;
    상기 샤프트가 삽입되는 관통홀을 가지며 상기 샤프트와 함께 회전되도록 상기 샤프트에 결합되고, 상기 기판과 접촉하여 상기 기판을 이송하는 복수의 롤러;
    상기 복수의 샤프트와 결합되며 상기 복수의 샤프트에 회전력을 전달하는 동력전달부재; 및
    상기 동력전달부재에 회전력을 전달하는 구동부를 포함하며,
    상기 롤러의 원주면에는 상기 롤러의 회전 방향을 따라 요철이 반복적으로 형성되는 기판 제조 장치의 기판 이송 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 요철은 상기 샤프트의 길이 방향과 나란하게 형성된 복수의 요부와 복수의 철부로 이루어지는 기판 제조 장치의 기판 이송 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 롤러의 원주면에는 상기 롤러의 회전 방향과 나란한 방향으로 상기 복수의 철부를 분할하는 홈을 더 포함하는 기판 제조 장치의 기판 이송 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 요철은 엠보싱 형상 또는 반구 형상의 돌기로 이루어지는 기판 제조 장치의 기판 이송 장치.
KR1020070043666A 2007-05-04 2007-05-04 기판 제조 장치의 기판 이송 장치 KR20080098239A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070043666A KR20080098239A (ko) 2007-05-04 2007-05-04 기판 제조 장치의 기판 이송 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070043666A KR20080098239A (ko) 2007-05-04 2007-05-04 기판 제조 장치의 기판 이송 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20080098239A true KR20080098239A (ko) 2008-11-07

Family

ID=40285808

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070043666A KR20080098239A (ko) 2007-05-04 2007-05-04 기판 제조 장치의 기판 이송 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20080098239A (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110024092A (ko) * 2009-09-01 2011-03-09 주식회사 테스 태양전지 열처리 장치
KR101284248B1 (ko) * 2012-10-29 2013-07-09 창성 주식회사 기판 반송용 오링
KR101502783B1 (ko) * 2013-12-11 2015-03-24 김종근 라벨 부착 장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110024092A (ko) * 2009-09-01 2011-03-09 주식회사 테스 태양전지 열처리 장치
KR101284248B1 (ko) * 2012-10-29 2013-07-09 창성 주식회사 기판 반송용 오링
KR101502783B1 (ko) * 2013-12-11 2015-03-24 김종근 라벨 부착 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100835202B1 (ko) 기판 이송 장치
KR20080098239A (ko) 기판 제조 장치의 기판 이송 장치
KR20090051930A (ko) 기판 세정 장치 및 방법
KR20080093824A (ko) 기판 제조 장치의 기판 이송 장치
KR20080062268A (ko) 기판 이송 장치
KR20110058012A (ko) 반송 샤프트 장치
KR20090111607A (ko) 기판 이송용 롤러 및 이를 구비하는 기판 이송 장치
KR100821964B1 (ko) 기판 이송 장치
KR20110063016A (ko) 기판 이송 장치
KR100730742B1 (ko) 기판 이송용 롤러
KR101131181B1 (ko) 기판이송장치
KR20110063015A (ko) 기판 이송 장치
KR101081514B1 (ko) 기판 이송 장치
KR20090020093A (ko) 기판 이송용 샤프트 지지 장치
KR100788385B1 (ko) 기판의 반송장치
KR100807250B1 (ko) 기판이송장치
KR100819039B1 (ko) 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR100767038B1 (ko) 기판 이송 장치
KR100947329B1 (ko) 기판 이송 장치
KR20100059402A (ko) 기판 이송 장치
KR101121200B1 (ko) 기판 이송 장치
KR20070035314A (ko) 기판 이송용 롤러
KR101284248B1 (ko) 기판 반송용 오링
KR100828422B1 (ko) 기판 이송 장치
KR20110056029A (ko) 기판 이송 장치

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination