KR100947329B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

Abstract

기판 이송 장치가 제공된다. 상기 기판 이송 장치는 기판을 특정 방향으로 이송하도록, 기판의 하면과 접촉하며 회전하는 다수의 롤러, 및 기판이 특정 방향에서 이탈하지 않도록, 기판의 측면과 접촉하며 회전하는 다수의 사이드 롤러를 포함하되, 각 사이드 롤러는 기판의 측면을 지지하는 지지 블록과, 지지 블록의 하부에 설치되고, 지지 블록의 높이를 조절하기 위해 적층된 다수의 높이 조절 블록을 포함한다.

기판 이송 장치, 사이드 롤러, 지지 블록, 높이 조절 블록

Description

기판 이송 장치{Glass substrate carrier}

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다.

최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 디스플레이 장치로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 주로 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 작으며 저전압 구동형인 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display)가 널리 사용되고 있다.

이러한 액정 디스플레이를 제조하기 위해 기판 상에는 패턴의 형성을 위해 예컨대, 식각, 세정, 또는 건조와 같은 다양한 공정이 실행되어야 한다. 그런데, 기판은 각각의 챔버 내에서 기판 이송 장치에 의해서 이송되면서 상기 각각의 공정이 진행되는데, 예를 들어, 기판은 기판 이송 장치에 의해 이송되면서 식각액에 의해 습식 식각되거나, 세정액에 의해 세정되게 된다.

이러한 기판 이송 장치는 기판을 특정 방향으로 이송하도록, 기판의 하면과 접촉하며 회전하는 다수의 롤러와, 상기 기판이 특정 방향에서 이탈하지 않도록 기판의 측면과 접촉하며 회전하는 다수의 사이드 롤러를 포함할 수 있다.

그런데, 사이드 롤러는 기판의 측면을 잘 지지할 수 있도록 위치(특히, 높이)가 설정되어 있어야 한다. 그런데, 각 설비마다(예를 들어, 식각 설비, 세정 설비 등) 또는 각 설비 내에서도 기판의 높이는 일정하지 않을 수 있기 때문에, 사이드 롤러의 높이는 동일하지 않을 수 있다. 따라서, 각 설비에 맞도록 사이드 롤러를 제작해야 하므로, 제작 기간이 상당히 소요된다. 뿐만 아니라, 제작된 사이드 롤러가 기판의 측면을 잘 지지해 주지 못하는 경우, 전량 다시 제작해야 한다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 사이드 롤러의 높이 설정이 용이한 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 태양에 따른 기판 이송 장치는 기판을 특정 방향으로 이송하도록, 기판의 하면과 접촉하며 회전하는 다수의 롤러, 및 기판이 특정 방향에서 이탈하지 않도록, 기판의 측면과 접촉하며 회전하는 다수의 사이드 롤러를 포함하되, 각 사이드 롤러는 기판의 측면을 지지하는 지지 블록과, 지지 블록의 하부에 설치되고, 지지 블록의 높이를 조절하기 위해 적층된 다수의 높이 조절 블록을 포함한다.

본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치(100)는 샤프 트(110), 롤러(120), 사이드 롤러(130) 등을 포함한다.

다수의 샤프트(110)는 공정 챔버의 내부에 일정 간격으로 배치되고, 다수의 롤러(120)는 샤프트(110)의 길이 방향으로 설치된다. 다수의 롤러(120)는 기판(S)의 하면과 접촉하며 회전하여 기판(S)을 특정 방향(x)으로 이송시킨다.

샤프트(110)가 회전하면서 다수의 롤러(120)가 회전하게 되고, 그에 따라 기판(S)는 특정 방향(x)으로 이송된다. 도 1에서는 설명의 편의를 위해서 샤프트(110)의 회전 방식에 대해서는 명확하게 도시하지 않았다. 예를 들어, 다수의 샤프트(110)의 양 단부에는 각각 풀리가 구비되고, 다수의 풀리는 체인 또는 벨트에 의해 상호 연결되어 있을 수 있다. 다수의 풀리 중 적어도 하나의 풀리에는 회전력을 제공하는 구동 부재(예를 들어, 모터)가 연결되어 있을 수 있다.

다수의 사이드 롤러(130)는 기판(S)이 특정 방향(x)에서 이탈하지 않도록 한다. 다수의 사이드 롤러(130)는 기판(S)의 측면과 접촉하며 회전한다. 여기서, 다수의 사이드 롤러(130)는 별도의 구동 부재에 의해 회전하는 것이 아니고, 기판(S)의 움직임에 따라 자연적으로 회전하는 것일 수 있다.

본 발명의 다수의 사이드 롤러(130)의 자세한 구성에 대해서는 도 2 내지 도 4를 참조하여 후술하도록 한다.

도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 사용되는 사이드 롤러를 설명하기 위한 단면도 및 분해 사시도이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 사이드 롤러(130)는 지지 블록(140)과, 다수의 높이 조절 블록(150, 160, 170)을 포함한다.

지지 블록(140)은 기판(S)의 측면과 접촉하며, 기판(S)을 지지하는 부분이다.

다수의 높이 조절 블록(150, 160, 170)은 지지 블록(140)의 하부에 설치되어 있고, 지지 블록(140)의 높이를 조절하기 위해 적층되어 있다.

이러한 다수의 높이 조절 블록(150, 160, 170)의 구성에 대해서는 도 3에 예시적으로 도시하였다.

높이 조절 블록(150, 160, 170)은 헤드(head)(152, 162, 172)와, 헤드(152, 162, 172)와 연결되고 다른 높이 조절 블록(150, 160, 170)과 결합하기 위한 바디(body)(154, 164, 174)를 포함한다.

또한, 헤드(162, 172) 내에는 다른 높이 조절 블록(150, 160)의 바디(154, 164)와 결합하기 위한 결합홈(166, 176)을 포함할 수 있다. 한편, 지지 블록(140)과 직접 결합하는 높이 조절 블록(150)의 헤드(156)에는, 지지 블록(140)과 결합하기 위한 결합홈(156)을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에서는 예시적으로, 다수의 높이 조절 블록(150, 160, 170)의 헤드(152, 162, 172)는 서로 높이가 동일한 경우(즉, H1으로 동일)를 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

그런데, 사이드 롤러(130)는 기판(S)의 측면을 잘 지지할 수 있도록 위치(특히, 높이)가 설정되어 있어야 한다. 그런데, 각 설비마다(예를 들어, 식각 설비, 세정 설비 등) 또는 각 설비 내에서도 기판(S)의 높이는 일정하지 않을 수 있기 때문에, 사이드 롤러(130)의 높이는 동일하지 않을 수 있다.

본 발명의 일 실시예에서는, 필요한 개수만큼 다수의 높이 조절 블록(150, 160, 170)을 적층함으로써, 지지 블록(140)이 기판(S)과 잘 접촉할 수 있도록 한다. 즉, 다수의 높이 조절 블록(150, 160, 170)을 이용하여 사이드 롤러(130)의 높이를 조절하게 된다. 예를 들어, 지지 블록(140)과 기판(S)이 정확하게 접촉하기 위해, 3H1의 높이가 필요하다면, 도 2 및 도 3에서와 같이, 3개의 높이 조절 블록(150, 160, 170)을 적층하면 된다. 또는, 5H1의 높이가 필요하다면, 5개의 높이 조절 블록을 적층하면 된다.

이와 같이 다수의 높이 조절 블록(150, 160, 170)을 이용할 경우, 각 설비에 맞도록 사이드 롤러(130)의 높이를 용이하게 조절할 수 있다. 사전에 다수의 높이 조절 블록(150, 160, 170)을 제작해 놓은 후, 필요한 개수만큼을 적층/조립하여 사용하면 된다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 사용되는 사이드 롤러를 설명하기 위한 단면도이다.

도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예가 일 실시예와 다른 점은, 다수의 높이 조절 블록(150, 161, 171)의 헤드는 서로 높이가 동일하지 않다는 것이다. 즉, 다수의 높이 조절 블록(150, 161, 171)의 헤드 중 적어도 2개는, 서로 높이가 다를 수 있다. 예시적으로 도 4에서는 높이 조절 블록(150)의 헤드는 높이가 H1이고, 높이 조절 블록(161, 171)의 헤드는 높이가 H2인 경우를 도시하였으나, 본 발명의 권리 범위가 이에 한정되는 것은 아니다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다.

도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 사용되는 사이드 롤러를 설명하기 위한 단면도 및 분해 사시도이다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 사용되는 사이드 롤러를 설명하기 위한 단면도이다.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

100 : 기판 이송 장치 130 : 사이드 롤러

140 : 지지 블록

150, 160, 161, 170, 172 : 높이 조절 블록

Claims (6)

1. 기판을 특정 방향으로 이송하도록, 상기 기판의 하면과 접촉하며 회전하는 다수의 롤러; 및

   상기 기판이 상기 특정 방향에서 이탈하지 않도록 상기 기판을 지지하며 회전하는 다수의 사이드 롤러를 포함하되, 상기 다수의 사이드 롤러는 자신의 회전축과 평행인 롤러면과 상기 기판의 측면이 접촉하여 회전하고,

   상기 각 사이드 롤러는 상기 기판의 측면을 지지하는 지지 블록과,

   상기 지지 블록의 하부에 설치되고, 상기 지지 블록의 높이를 조절하기 위해 적층된 다수의 높이 조절 블록을 포함하는 기판 이송 장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 다수의 높이 조절 블록에서, 각각의 높이 조절 블록은,

   헤드(head);

   상기 헤드와 연결되고, 상기 다수의 높이 조절 블록 중의 다른 하나와 결합하기 위한 바디(body); 및

   상기 헤드 내에 형성되고, 상기 다수의 높이 조절 블록 중의 또 다른 하나의 바디와 결합되거나, 또는 상기 지지 블록과 결합되는 결합홈을 포함하는 기판 이송 장치.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 다수의 높이 조절 블록의 헤드는, 서로 높이가 동일한 기판 이송 장치.
4. 제 2항에 있어서,

   상기 다수의 높이 조절 블록의 헤드 중 적어도 2개는, 서로 높이가 다른 기판 이송 장치.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 다수의 사이드 롤러의 회전 방향은 상기 다수의 롤러의 회전 방향과 다른 기판 이송 장치.
6. 제 1항에 있어서,

   상기 다수의 사이드 롤러는 각각 상기 기판이 특정 방향으로 움직임에 따라 상기 기판의 측면과 상기 각 사이드 롤러의 폐곡면인 롤러면이 맞닿아 회전하는 기판 이송 장치.

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