KR100821964B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

Abstract

기판 이송 장치는 기판을 이송시키기 위한 회전축, 상기 회전축과 이격되어 배치된 구동축, 상기 회전축과 대향하는 상기 구동축 단부 상에 장착되어, 구동원으로부터의 회전력을 상기 구동축으로 전달하는 구동 풀리, 및 상기 구동축으로부터 상기 회전축으로 상기 회전력을 전달하기 위한 자기력을 상기 구동축과 상기 회전축 사이에서 발생시키는 자기력 발생부를 포함한다.

Description

기판 이송 장치{Apparatus for Carrying A Substrate}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 평면도이다.

도 2는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ' 선을 따라 절단한 도면이다.

도 3은 도 1의 Ⅱ-Ⅱ' 선을 따라 절단한 도면이다.

도 4는 도 1의 기판 이송 장치의 구동 풀리를 나타내는 부분 확대도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

100 : 기판 이송 장치 110 : 챔버

110a : 측벽 200 : 회전축

205 : 이송 롤러 210 : 제1 지지부재

300: 구동축 302 : 제3 지지부재

310 : 구동 풀리 320 : 타이밍 벨트

400 : 자기력 발생부 410 : 제1 마그네틱판

420 : 제2 마그네틱판 500 : 구동원

505 : 구동 기어 512 : 제2 지지부재

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, 유기전계발광소자(OLED : Organic Light Emitting Diode) 디스플레이 장치 등과 같은 평판 디스플레이 장치의 제조를 위한 평판형 기판을 이송하기 위한 장치에 관한 것이다.

최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 디스플레이 장치는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 사용이 급격히 증대하고 있다.

일반적으로 표시장치용 유리 기판들은 주처리 공정에서 포토레지스트 도포액이나 감광성 폴리아미드 수지, 컬러 필터용 염색체 등으로 이루어지는 박막층이 기판의 주면에 형성되고, 이 기판들은 기판반송장치에 로딩되어 일방향으로 이동되면서 후처리 공정 예를 들면, 약액 도포 공정, 세정 공정 및 건조 공정 등을 거치게 된다.

예를 들면, 약액 도포공정을 위한 장치는 박막층이 형성된 기판의 표면에 소정의 약액을 도포하여 표면 처리를 행할 수 있도록 한 것으로서, 기판 이송을 위한 기판 이송 장치와 연계되어 밀폐된 구조의 베스 내부에 기판을 통과시키면서 소정의 약액을 도포하여 표면 처리를 행하게된다.

상술한 바와 같이, 표시장치용 기판 처리 장치들은 소정의 공정이 처리되는 챔버 내에서 기판을 이송시키는 기판 이송 장치를 포함한다. 상기 기판 이송 장치 는 기판의 이송 방향으로 배열된 다수의 회전축과 상기 회전축 각각에 구비되어 상기 기판을 접촉 지지하며 이송시키는 이송 롤러들을 포함한다.

종래의 기판 이송 장치에 있어서, 상기 이송 롤러들은 회전축에 구비되어 상기 회전축의 회전에 의해서 회전하게 된다. 또한, 상기 회전축은 상기 기판 처리를 위한 챔버의 외부에 배치되는 구동원의 회전력에 의해 회전한다.

구체적으로, 상기 회전축의 일단부에는 제1 마그네틱 디스크가 장착되고, 제2 마그네틱 디스크는 챔버의 일측벽을 사이에 두고 상기 제1 마그네틱 디스크와 마주보며 배치된다. 상기 제2 마그네틱 디스크는 구동축의 일단부에 형성되고, 상기 구동축의 타단부에는 구동 풀리가 장착된다. 상기 구동 풀리는 타이밍 벨트에 의해 구동원과 연결되고, 상기 구동원의 회전력은 상기 타이밍 벨트에 의해 구동축에 전달되고, 상기 구동축의 회전력은 상기 제1 및 제2 마그네틱 디스크의 자기력에 의해 상기 회전축에 전달된다.

종래의 기판 이송 장치의 구동축에 있어서, 상기 구동 풀리는 상기 구동축의 타단부에 장착되고, 상기 제2 마그네틱 디스트는 상기 구동축의 일단부에 장착된다. 상기 구동축은 상기 구동 풀리와 상기 제2 마그네틱 디스크 사이에 구비되는 베어링에 의해 지지된다.

이에 따라, 상기 구동축의 일단부와 타단부는 상기 베어링을 중심으로 반대 방향으로 우력이 작용하게 된다. 이러한 우력에 의한 모멘트는 상기 구동축과 상기 베어링에 손상을 발생시키는 문제점이 있다.

본 발명의 목적은 구동축의 우력 모멘트를 감소시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 데 있다.

상기 본 발명의 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 기판을 이송시키기 위한 회전축, 상기 회전축과 이격되어 배치된 구동축, 상기 회전축과 대향하는 상기 구동축 단부 상에 장착되어, 구동원으로부터의 회전력을 상기 구동축으로 전달하는 구동 풀리, 및 상기 구동축으로부터 상기 회전축으로 상기 회전력을 전달하기 위한 자기력을 상기 구동축과 상기 회전축 사이에서 발생시키는 자기력 발생부를 포함한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 자기력 발생부는 상기 구동축 단부 상에 장착되는 제1 마그네틱판 및 상기 구동축과 대향하는 상기 회전축 단부 상에 장착되며, 상기 제1 마그네틱판과 마주보는 제2 마그네틱판을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 구동 풀리는, 상기 제2 마그네틱판과 마주보는 상기 제1 마그네틱판의 일면의 반대 면에 근접하여 배치될 수 있다. 또한, 상기 구동 풀리는 상기 제1 마그네틱판과 일체로 형성될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기판을 처리하는 챔버를 더 포함하며, 상기 회전축은 상기 챔버 내에 형성되고, 상기 제1 및 제2 마그네틱판들은 상기 챔버의 일 측벽을 사이에 두고 서로 마주하여 배치될 수 있다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 회전축과 이격되어 배치된 구동축의 일단부 상에 장착되고, 구동원으로부터의 회전력을 상기 구동축으로 전달하는 구동 풀리 및 상기 회전력을 상기 구동축으로부터 상기 회전축으로 전달하기 위한 마그네틱판을 포함한다.

이리하여, 상기 구동축의 일단부에는 상기 구동 풀리와 상기 마그네틱판이 장착되고, 상기 구동축의 타단부에는 상기 구동축을 지지하는 베어링과 같은 지지부재가 배치되어 우력에 의한 모멘트를 감소시킬 수 있으며 상기 구동축과 상기 베어링에 손상을 억제할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것 으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 평면도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 기판을 이송시키기 위한 회전축(200), 상기 회전축과 이격되어 배치된 구동축(300), 상기 구동축 단부 상에 장착되는 구동 풀리(310) 및 상기 구동축으로부터 상기 회전축으로 구동원(500)의 회전력을 전달하기 위한 자기력 발생부(400)를 포함한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 유리 기판과 같은 평판형 기판을 처리하기 위한 챔버 내에서 상기 기판을 일 방향으로 이송하기 위하여 바람직하게 사용될 수 있다.

예를 들면, 평판형 기판은 액정 디스플레이(liquid crystal display: LCD), 플라즈마 디스플레이(plasma display: PDP), 진공 형광 디스플레이(vacuum fluorescent display: VFD), 전계 형광 디스플레이(field emission display: FED) 또는 전계 방출 디스플레이(electro luminescence display: ELD)를 제조하기 위한 기판일 수 있다.

상기 평판형 기판 처리 공정의 예로는 기판 상의 막 또는 불순물을 제거하기 위한 식각 공정, 기판 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 식각 또는 세정 후 기판을 린스 처리하기 위한 린스 공정, 기판을 건조시키기 위한 건조 공정 등이 있다.

도시되지는 않았으나, 상기와 같은 처리 공정을 수행하기 위하여, 상기 기판 이송 장치(100)의 회전축(200)의 상부 또는 하부에는 상기 기판의 처리를 위한 약액 또는 처리 가스 등을 제공하는 노즐들, 에어 나이프(air knife) 또는 샤워 나이프(shower knife) 등이 배치될 수 있다.

상기 기판 이송 장치(100)는 회전축(200) 상에 구비되어 상기 기판과 접촉하여 상기 기판을 이송시키기 위한 이송 롤러들(205)을 더 포함할 수 있다. 상기 회전축(200)과 이송 롤러들(205)은 상기 기판을 처리하기 위한 챔버(110) 내에 배치되고, 상기 구동축(300)과 상기 구동원(500)은 상기 챔버(110)의 외부에 배치될 수 있다.

상기 복수의 회전축(200)들은 일 방향으로, 예를 들면, 상기 기판의 이송 방향을 따라 서로 평행하게 배열될 수 있다. 또한, 상기 이송 롤러들(205)은 처리 또는 이송하고자 하는 기판의 크기에 따라 변화될 수 있으며, 상기 회전축(200)의 길이, 수량 및 상기 이송 롤러들(205)의 수량 등에 의해 본 발명의 범위가 한정되지는 않을 것이다.

상기 회전축(200)은 상기 챔버(110) 내에 배치되는 제1 지지부재(210)에 의해 수평 또는 다소의 경사각을 갖도록 배치될 수 있다. 구체적으로, 상기 회전 축(200)은 상기 제1 지지부재(210)를 관통하여 설치될 수 있으며, 상기 제1 지지부재(210)는 상기 회전축(200)의 원활한 회전을 위하여 다양한 형태의 베어링들을 포함 할 수 있다.

도 2는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ' 선을 따라 절단한 단면도이고, 도 3은 도 1의 Ⅱ-Ⅱ' 선을 따라 절단한 단면도이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 구동원(500)은 상기 챔버(110)의 측벽(110a)과 인접하게 배치될 수 있다. 상기 구동원(500)은 회전력을 발생시키는 모터(도시되지 않음), 상기 모터의 회전력을 전달하기 위한 구동기어(505)와 같은 동력 전달 유닛과 상기 모터의 회전 속도 및 회전력을 조절하기 위한 감속기(도시되지 않음) 등을 포함할 수 있다.

상기 구동축(300)은 상기 챔버(110)의 외부에 배치되며, 회전축(200)의 연장 방향과 실질적으로 일치하는 축을 따라 회전축(200)과 평행하게 배치될 수 있다. 또한, 상기 구동축(300)은 회전축(200)의 연장 방향보다 약간 높거나 낮은 위치의 축을 따라 회전축(200)과 평행하게 배치될 수 있다.

따라서, 상기 회전축(200)의 일단부와 상기 구동축(300)의 일단부들은 상기 챔버의 측벽(110a)을 사이에 두고 서로 마주하여 배치될 수 있다.

도 4는 도 1의 기판 이송 장치의 구동 풀리를 나타내는 부분 확대도이다.

도 4를 참조하면, 상기 자기력 발생부(400)는 회전축(200)과 구동축(300) 사이에서 자기력을 발생시키고, 구동축(300)의 회전력은 상기 자기력에 의해 회전축(200)으로 전달된다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 자기력 발생부(400)는 제1 마그네틱판(410)과 제2 마그네틱판(420)을 포함할 수 있다. 상기 제1 마그네틱판은 상기 구동축의 일단부 상에 장착되고, 상기 제2 마그네틱판은 상기 구동축과 대향하는 상기 회전축의 일단부 상에 장착된다. 따라서, 상기 제1 마그네틱판(410)과 상기 제2 마그네틱판(420)들은 상기 챔버의 측벽(110a)을 사이에 두고 서로 마주하여 배치될 수 있다.

또한, 상기 제1 마그네틱판(410)과 상기 제2 마그네틱판(420)들은 디스크 형상들을 가질 수 있다. 각각의 제1 마그네틱판(410)과 제2 마그네틱판(420)들은 중심에 대하여 방사상으로 배치되는 다수의 영구 자석들은 내장하고 있으며, 상기 영구 자석들은 제1 마그네틱판(410)과 제2 마그네틱판(420)의 원주 방향으로 극성이 변화되도록 배치될 수 있다.

본 발명에 따르면, 상기 구동 풀리(310)는 상기 제1 마그네틱판(410)이 장착되는 상기 구동축의 일단부에 장착될 수 있다. 상기 구동 풀리(310)는 상기 제1 마그네틱판(410)과 인접하여 배치될 수 있다. 상기 구동 풀리(310)는 제2 마그네틱판(420)과 마주보는 제1 마그네틱판(410)의 일면의 반대 면에 근접하여 배치될 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 구동 풀리(310)는 제1 마그네틱판(410)과 일체로 형성될 수 있다.

따라서, 상기 구동 풀리(310)는 회전축(200)과 대향하는 구동축(300)의 일단부 상에 장착되어, 구동원(500)으로부터의 회전력을 구동축(300)으로 전달하는 역할을 한다.

상기 구동원(500)의 구동 기어(505)와 상기 구동 풀리(310)는 타이밍 벨트(320)에 의해 연결될 수 있다. 상기 구동 기어(505)와 상기 구동 풀리(310) 사이에는 상기 타이밍 벨트(320)의 장력을 조절하고 상기 회전력의 전달 효율을 향상시키기 위한 제1 아이들 기어(510)가 배치될 수 있다. 상기 제1 아이들 기어(510)는 상기 챔버의 일측벽(110a)에 형성된 제2 지지부재(512)에 의해 지지될 수 있다.

상기 구동축(300)에 장착된 구동 풀리(310)는 인접하는 구동축의 구동 풀리와 타이밍 벨트(320)에 의해 연결될 수 있다. 상기 구동 풀리(310)와 이에 인접하는 구동 풀리 사이에는 상기 회전력의 전달 효율을 향상시키기 위한 제1 아이들 기어(510)가 배치될 수 있다. 상기 타이밍 벨트(320)는 상기 구동원(500)의 구동 기어(505)와 다시 연결되고, 이 때 제2 아이들 기어(520)가 배치되어 상기 회전력의 전달 효율을 향상시킨다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 구동축(300)의 일단부에는 상기 구동 풀리(310)와 상기 제1 마그네틱판(410)이 장착되고, 상기 구동축(300)의 타단부에는 구동축(300)을 지지하는 제3 지지부재(302)가 배치될 수 있다. 상기 제3 지지부재(302)는 상기 회전축(300)의 원활한 회전을 위하여 다양한 형태의 베어링들을 포함 할 수 있다.

이리하여, 상기 구동축의 우력 모멘트의 발생을 방지할 수 있으며, 상기 구동축이 상기 챔버의 외부로 노출되는 부분을 줄이고, 부품 수를 감소시킬 수 있게된다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송 장치는 회전축과 이격되어 배치된 구동축의 일단부 상에 장착되고, 구동원으로부터의 회전력을 상기 구동축으로 전달하는 구동 풀리 및 상기 회전력을 상기 구동축으로부터 상기 회전축으로 전달하기 위한 마그네틱판을 포함한다.

이리하여, 상기 구동축의 일단부에는 상기 구동 풀리와 상기 마그네틱판이 장착되고, 상기 구동축의 타단부에는 상기 구동축을 지지하는 베어링과 같은 지지부재가 배치되어 우력에 의한 모멘트를 감소시키며 상기 구동축과 상기 베어링에 손상을 억제할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (9)

1. 기판을 이송시키기 위한 회전축;

   상기 회전축과 이격되어 배치된 구동축;

   상기 회전축과 대향하는 상기 구동축 단부 상에 장착되어, 구동원으로부터의 회전력을 상기 구동축으로 전달하는 구동 풀리; 및

   상기 구동축으로부터 상기 회전축으로 상기 회전력을 전달하기 위한 자기력을 상기 구동축과 상기 회전축 사이에서 발생시키는 자기력 발생부를 포함하고,

   상기 자기력 발생부는 상기 구동축 단부 상에 장착되는 제1 마그네틱판 및 상기 구동축과 대향하는 상기 회전축 단부 상에 장착되며 상기 제1 마그네틱판과 마주보는 제2 마그네틱판을 포함하며,

   상기 구동 풀리는 상기 제1 마그네틱판과 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서, 상기 구동 풀리는, 상기 제2 마그네틱판과 마주보는 상기 제1 마그네틱판의 일면의 반대 면에 근접하여 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
4. 삭제
5. 제 1 항에 있어서, 상기 구동 풀리는 상기 구동원과 타이밍 벨트로 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
6. 제 5 항에 있어서, 상기 구동 풀리와 상기 구동원 사이에 상기 타이밍 벨트의 장력을 조절하기 위한 아이들 기어(idle gear)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
7. 제 1 항에 있어서, 상기 구동축의 회전 동작을 지지하는 베어링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
8. 제 1 항에 있어서, 상기 기판을 처리하는 챔버를 더 포함하며,

   상기 회전축은 상기 챔버 내에 형성되고, 상기 제1 및 제2 마그네틱판들은 상기 챔버의 일 측벽을 사이에 두고 서로 마주하여 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
9. 제 1 항에 있어서, 상기 회전축 상에 구비되어 상기 기판과 접촉하여 상기 기판을 이송시키기 위한 이송 롤러들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.

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