KR20110056024A - 기판 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 이송 장치가 제공된다. 기판 이송 장치는 수평 방향으로 기판을 이송하도록, 기판의 하면과 접촉하며 회전하는 다수의 롤러, 및 상기 다수의 롤러에 수직한 방향으로 설치되며, 상기 기판의 측면과 접촉하여 회전하는 사이드 롤러를 포함한다.
사이드 롤러, 회전축, 롤러 몸체, 접촉부재

Description

기판 이송 장치{Apparatus for conveying substrate}
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판의 측면을 지지하여 기판을 안정적으로 이송시킬 수 있는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
최근 들어 정보 처리 장치는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 처리된 정보를 외부로 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 디스플레이 장치로서, 현재 주목받고 있는 것은 액정 디스플레이 장치, 유기 EL 표시 장치, 플라즈마 디스플레이 장치 등과 같은 평판 디스플레이 장치이다.
이와 같은 평판 디스플레이 장치는 기판 상에 다층의 박막 및 배선 패턴을 포함한다. 기판 상에 박막 및/또는 패턴을 형성하기 위해서는 증착, 베이킹, 식각, 세정, 건조 등의 다양한 제조 공정이 요구된다. 각각의 공정은 주로 공정 챔버 내에서 이루어진다. 상기 요구되는 일련의 공정을 수행하기 위해서는 해당 공정 챔버로 기판을 반송하여야 하며, 이를 위해 각 공정의 챔버 사이에는 기판 반송 장치가 설치되어 있다. 이러한 기판 반송 장치는 롤러 등의 회전에 의하여 기판을 반송하는 것이 일반적이다.
이 같은 기판 반송 장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 기판(S)을 기준으로 하부에 제1 오-링(O-ring)(22)이 삽입되고, 기판(S)이 이송되는 방향으로 회전 가능한 하부 회전 롤러(20)를 구비한다.
한편, 상부에는 제2 오-링(12)이 삽입되고, 하부 회전 롤러(20)와 동일한 방향으로 회전 가능한 상부 회전 롤러(10)가 형성된다.
이 같은 구성에 따라, 하부 회전 롤러(20)와 상부 회전 롤러(10)가 서로 기판(S)과 밀착되어 회전되면서 기판(S)이 이송된다. 이때, 제1 오-링(22)과 제2 오-링(12)에 접촉된 상태를 유지하여 기판(S)의 미끄럼이 방지될 수 있다.
그러나 이와 같은 종래의 기판 이송 장치는 패턴이 형성되거나, 또는 LTPS(Low Temperature Poly-Si, 저온폴리 실리콘)/ OLED(Organic Light Emitting Diodes, 스스로 빛을 내는 자체발광형 유기물질)등이 기판(S) 전체에 사용되는 공정이 이루어지면 상부 회전 롤러(10)를 사용할 수 없게되면서 이송중인 기판(S)이 미끄러져 원활하게 이송되지 못하는 문제가 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 기판의 미끄러짐을 방지할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 수평 방향으로 기판을 이송하도록, 기판의 하면과 접촉하며 회전하는 다수의 롤러, 및 상기 다수의 롤러에 수직한 방향으로 설치되며, 상기 기판의 측면과 접촉하여 회전하는 사이드 롤러를 포함한다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 따르면, 사이드 롤러에 형성된 접촉부재를 기판 측면에 접하도록 배치함으로써, 기판 이송시 상부 패턴을 보호하며, 기판 이송 속도와 동일하게 사이드 롤러를 회전시킴으로써 기판이 미끄러지는 것을 방지한다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있 을 것이다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
이하, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 평면도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 샤프트(110), 롤러(120), 사이드 롤러(140) 등을 포함한다.
기판 이송 장치(100)는 공정 챔버 내에 일정 간격으로 수평하게 배치되는 다수의 샤프트(110)를 구비한다.
각각의 샤프트(110)에는 기판(S)의 하면을 지지하여 이를 이송시키기 위한 다수의 롤러(120)가 일정 간격으로 구비되어 있다.
또한, 기판(S) 이송 방향에 수직한 방향으로 기판(S)의 측면에 배치되는 사이드 롤러(140)가 구비된다. 사이드 롤러(140)는 기판(S)의 측면에 밀착되어 설치되는 것이 바람직하다. 그러나 이에 한정하는 것은 아니며, 도 2에 도시된 기판(S)의 크기보다 작은 크기의 기판(S)일 경우 기판(S)이 사이드 롤러(140)와 밀착되지 않아도 롤러(120) 상에서 기판(S)이 이탈되는 것을 적어도 부분적으로 방지할 수 있다.
한편, 사이드 롤러(140)는 도 2에 도시된 바와 같이, 기판 이송 장치(100)의 양 사이드에 각각 배치될 수 있는데, 몇몇 실시예에서, 샤프트(110)와 샤프트(110)의 사이에 복수개로 배치될 수 있다. 또한 기판의 측면에 밀착시켜 배치되는 사이드 롤러는 기판의 크기가 작거나 큰 정도에 따라 사이드 롤러의 위치가 변경될 수 있다.
이하, 본 발명의 사이드 롤러의 자세한 구성에 대해서는 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 사용되는 사이드 롤러의 정면도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 사용되는 사이드 롤러의 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)의 사이드 롤러(140)는 롤러 몸체(150), 접촉부재(160), 회전축(170)을 포함한다.
롤러 몸체(150)는 원형의 형상을 가지고 있으며, 외주면에 홈(152)을 형성한다. 예컨대, 그 홈(152)은 반원형 단면 형상을 이루고 있다.
접촉부재(160)는 상기 홈에 적어도 일부가 삽입되며, 삽입되지 않는 다른 일부가 기판(S)의 측면을 지지할 수 있다. 접촉부재(160)는 오-링으로 형성되며, 오-링은 다수의 롤러(120) 상에서 흔들리는 기판(S)의 측면과 접촉하면서 기판(S)을 지지한다. 이에 따라 기판(S)이 정하여진 위치를 이탈하는 것을 방지한다. 오-링은 예컨대, 고무 오-링으로 적용될 수 있지만, 이에 제한되지 않음은 물론이다.
이러한 접촉부재(160)는 공정 챔버 내에서의 다양한 약액 처리시 부식 또는 변질되지 않도록, 내부식성이 우수한 에틸렌 프로필렌 디엔 모노머(Ethylene Propylene Diene Monomer: EPDM)로 형성되는 것이 바람직하다.
회전축은 롤러 몸체(150)의 일측, 도면 상에서는 롤러 몸체(150)의 하면 중심에 소정 길이로 돌출 형성되며, 회전축(170)은 롤러 몸체(150)와 함께 회전가능하게 일체로 형성된다.
한편, 회전축(170)의 회전시 회전축(170)이 흔들리는 것을 방지하기 위해 회전축(170)의 일측에 지지 블록(180)이 롤러 몸체(150)와 대응되게 결합된다.
지지 블록(180)은 회전축(170)이 삽입되는 제1 홀(182)을 형성한다. 즉, 제1 홀(182)의 직경은 회전축(170)의 직경보다 크거나 같다.
또한, 회전축(170)과 지지 블록(180)을 결합시킨 후 회전축(170)과 지지 블 록(180)을 서로 고정시키기 위해 고정 블록(190)을 설치한다.
고정 블록(190)은 중앙에 홀을 형성하여 지지 블록(180)을 기준으로 회전축(170)의 상부와 하부에 결합된다. 예컨대, 회전축(170)은 지지 블록(180)에 삽입된 후, 고정 블록(190)으로 고정시킴으로써 회전축(170)이 수직한 방향으로 설치될 수 있으며, 회전축(170)의 회전이 가능하다.
이하, 도 2 및 도 5를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 동작에 대해 설명한다.
먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 다수의 샤프트(110)의 양단부에는 풀리가 구비되고, 다수의 풀리는 체인 또는 벨트에 의해 상호 연결되어 있을 수 있다. 물론 다수의 풀리 중 적어도 하나의 풀리에는 회전력을 제공하는 구동 부재(130)가 연결되어 있다.
이와 같은 설치 상태에서 구동 부재(130)를 작동시키면, 회전력이 벨트에 의해 각각의 풀리로 전달되어 샤프트(110)가 회전된다. 이때 샤프트(110) 상에 배치된 기판(S)은 다수의 롤러(120)에 접촉된 상태를 유지하면서 도 2에 도시된 화살표 방향으로 이송된다.
한편, 다수의 롤러(120) 상에서 기판(S)이 이송되면서 사이드 롤러(140)는 기판(S)이 정하여진 위치를 이탈하지 않도록 한다. 이때, 사이드 롤러(140)는 기판(S)의 측면과 접촉하며 회전한다. 여기서 사이드 롤러(140)는 회전축(170)의 일측에 구동 부재(130)가 연결되어 기판(S)의 이송 속도와 동일하게 회전할 수 있거나, 별도의 구동 부재(130)에 의해 회전하지 않고, 기판(S)의 움직임에 따라 자연 적으로 회전하는 것일 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 사용되는 사이드 롤러의 사시도 이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)에 의하면, 공정 챔버 내에서 공정이 진행되는 동안 상부에 패턴이 형성된 기판(S)이 다수의 롤러(120)들 상에서 이탈하게 되면 사이드 롤러(140)가 기판(S)의 측면을 접촉하여 접촉된 상태를 유지하면서 기판(S)이 이송된다.
한편, 상술한 도 1에 도시된 도면과 같이, 상부 회전 롤러와 하부 회전 롤러에 밀착되어 기판이 회전되면 기판의 상부에 전체적으로 형성된 패턴에 얼룩이 발생하거나, 상부 회전 롤러가 배치된 기판의 일부분에는 패턴을 형성할 수 없다. 이에 따라 본 발명의 일 실시예인 사이드 롤러를 배치함으로써 기판 상부 전체의 패턴을 보호한다.
특히, 사이드 롤러(140)의 접촉부재(160)와 기판(S)이 밀착되어 접촉하여 회전하기 때문에 기판(S)이 미끄러지거나 이탈되지않음으로써 안정적으로 이송될 수 있다. 또한, 다수의 사이드 롤러(140)를 서로 마주보게 설치하여 기판(S)이 한쪽으로 치우치거나 움직임이 없도록 한다.
이와 같은 기판 이송 장치(100)에 기판(S)이 이송될 때, 기판(S)은 롤러 몸체(150)의 외주면에 삽입된 접촉부재(160)와 접촉되어 기판(S)과 동일한 속도로 회전하기 때문에 다수의 롤러(120)가 회전될 때 발생하는 기판(S)의 미끄러짐을 방지할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
도 1은 일반적인 기판 이송 장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 사용되는 사이드 롤러의 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 사용되는 사이드 롤러의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 사용되는 사이드 롤러의 사시도 이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100: 기판 이송 장치 140: 사이드 롤러
150: 몸체 160: 접촉부재
170: 회전축 180: 지지 블록
190: 고정 블록

Claims (4)

  1. 수평 방향으로 기판을 이송하도록, 기판의 하면과 접촉하며 회전하는 다수의 롤러; 및
    상기 다수의 롤러에 수직한 방향으로 설치되며, 상기 기판의 측면과 접촉하여 회전하는 사이드 롤러를 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 사이드 롤러는 롤러 몸체, 및
    상기 롤러 몸체의 외주면에 삽입 형성된 접촉부재를 포함하는 기판 이송 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 사이드 롤러를 상기 기판의 이송 속도와 실질적으로 동일한 속도로 회전시키는 사이드 롤러 회전 구동부를 더 포함하는 기판 이송 장치.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 접촉부재는 에틸렌 프로필렌 디엔 모노머를 포함하는 오-링으로 이루어지는 기판 이송 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101843195B1 (ko) * 2011-10-24 2018-03-29 엘지디스플레이 주식회사 기판이송장치
CN111824772A (zh) * 2019-04-19 2020-10-27 夏普株式会社 输送装置

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