KR100783069B1 - 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 이송 장치는 상호 평행하게 배열되며 각각 회전 가능하도록 배치된 다수의 제1 회전축들 및 제1 회전축들과 함께 회전하도록 각각의 제1 회전축들에 체결되며 평판형 기판의 하면을 기울어진 상태로 지지하는 다수의 제1 이송 롤러들을 구비하는 제1 이송 유닛, 상기 다수의 제1 회전축들 사이에 제1 회전축의 연장 방향에 대하여 수직하게 배치되며 회전 가능한 다수의 제2 회전축 및 제2 회전축에 의하여 회전하도록 제2 회전축에 체결되며 평판형 기판의 측면을 지지하는 제2 이송 롤러를 구비하는 제2 이송 유닛 및 제1 회전축들이 회전함에 따라 제2 회전축을 회전시키는 회전력 전달 유닛을 포함한다.

Description

기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING A SUBSTRATE AND APPARATUS FOR TREATING THE SUBSTRATE INCLUDING THE SAME}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도1의 기판 이송 장치를 도시한 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 평판형 기판 100: 기판 이송 장치
110, 210: 제1 이송 유닛 111, 211: 제1 회전축들
113, 213: 제1 이송 롤러들 130, 230: 제2 이송 유닛
131, 231: 제2 회전축들 133, 233: 제2 이송 롤러들
150, 250: 회전력 전달 유닛 151, 251 : 제1 헬리컬 마그네틱 기어
153, 253: 제2 헬리컬 마그네틱 기어
160, 260: 구동부 205: 챔버
207: 측벽 270: 처리액 제공부
본 발명은 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, OLED(Organic Light Emitting Diode) 디스플레이 장치 등과 같은 평판 디스플레이 장치의 제조를 위한 평판형 기판을 이송하기 위한 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
최근, 정보 처리 기기는 다양한 형태와 기능, 더욱 빨라진 정보 처리 속도 등에 대한 요구에 따라 급속하게 발전하고 있으며, 이들 정보 처리 기기는 가공된 정보를 표시하기 위한 디스플레이 장치를 요구한다. 상기와 같은 정보 디스플레이 장치들은 주로 CRT 모니터를 사용하였으나, 최근 휴대형 정보 기기의 발달에 따라 휴대의 편의성, 소형 경량화에 대한 요구를 실현하기 위하여 액정 디스플레이 장치 또는 OLED 디스플레이 장치 등에 대한 요구가 증가되고 있다. 또한, 가정용 또는 사무용 디스플레이 장치의 경우에도 보다 선명한 화질, 응답 속도, 작업자의 피로도 감소, 공간 확보 등을 위하여 상기 평판 디스플레이 장치에 대한 요구가 증가되고 있다.
예를 들면, 상기 액정 디스플레이 장치의 경우, 상부 기판과 하부 기판 사이에 있는 액정 분자들의 배열 구조에 따른 광의 투과율 차이를 이용하는 디스플레이 장치로서, 최근에는 표시 정보량의 증가와 이에 따른 표시 면적의 증가 요구에 부 응하기 위하여 화면을 구성하는 모든 화소에 대하여 개별적으로 구동 신호를 인가하는 액티브 매트릭스(Active Matrix) 방식의 액정 디스플레이 장치에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있다.
상기 액정 디스플레이 장치는 화상 데이터를 액정의 광학적 성질을 이용하여 표시하는 액정 패널과 이를 구동하기 위한 구동 회로를 포함하는 액정 패널 어셈블리와, 화면 표시를 위한 광을 제공하는 백라이트 어셈블리와, 이들을 고정 및 수용하는 몰드 프레임 등을 포함할 수 있다.
상기 액정 디스플레이 장치의 제조에는 대면적의 유리 기판이 사용되며, 상기 유리 기판 상에 전극 패턴들을 형성하기 위하여 다양한 단위 공정들이 수행될 수 있다. 예를 들면, 상기 유리 기판 상에 막을 형성하는 성막 공정, 상기 막을 목적하는 패턴들로 형성하기 위한 식각 공정, 상기 유리 기판 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 상기 유리 기판을 건조시키기 위한 건조 공정 등이 필요에 따라 반복적으로 수행될 수 있다.
상기 공정들을 수행하기 위한 기판 처리 장치는 기판의 로딩을 위한 기판 로더와, 상기 로더에 의해 반입된 기판에 대한 식각 또는 세정 공정을 수행하기 위한 제1 처리부와, 상기 식각 또는 세정 처리된 기판을 린스액을 이용하여 린스 처리하기 위한 제2 처리부와, 린스 처리된 기판을 건조시키기 위한 제3 처리부와, 상기 기판을 반출하기 위한 언로더 등을 포함할 수 있다. 또한, 상기 기판 처리 장치는 필요에 따라 기판 상의 정전기를 제거하기 위한 제전 장치, 기판의 일시 대기를 위한 버퍼 챔버 등을 더 포함할 수도 있다.
상기 기판 처리 장치를 사용하여 유리 기판과 같은 평판형 기판을 처리하는 경우, 상기 기판은 다수의 회전 롤러들에 의해 상기 로더로부터 언로더를 향하여 이송될 수 있다. 상기 회전 롤러들은 상기 기판의 이송 방향으로 배열된 다수의 회전축들에 장착되며, 상기 회전 롤러들은 상기 기판 처리를 위한 각 챔버들의 외부에 배치되는 구동부에 의해 회전 가능하도록 설치된다.
상기와 같이 평판형 기판을 이송하기 위한 종래의 기판 이송 장치에서, 기판을 기울어진 상태로 이송할 수 있다. 이는, 사용되는 처리액의 소비량을 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 처리액이 기판 상에 잔류하는 것을 억제할 수 있다.
그러나, 기울어진 상태로 이송되는 기판을 가이드 하는 가이드 유닛이 추가적으로 필요할 수 있다. 상기 가이드 유닛는 회전축 및 상기 회전축에 체결된 가이드 롤러를 포함한다. 이때, 상기 회전축은 별도의 구동부에 의하여 회전하는 것이 아니라, 기판이 이송됨에 따라 가이드 롤러와 이송되는 기판의 접촉에 의하여 회전하게 된다. 하지만, 상기 가이드 유닛이 기판의 측면을 가이드할 경우, 기판의 측면과 가이드 롤러간의 접촉에 의하여 기판의 측면이 마모될 수 있고 또한, 이물질이 기판의 측면으로부터 발생하는 문제가 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 기판의 측면의 마모에 따른 이물질의 발생을 억제할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 기판 측면의 마모에 따른 이물질의 발생을 억제할 수 있는 기판 이송 장치를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.
상기 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 상호 평행하게 배열되며 각각 회전 가능하도록 배치된 다수의 제1 회전축들 및 상기 제1 회전축들과 함께 회전하도록 각각의 제1 회전축들에 체결되며 평판형 기판의 하면을 기울어진 상태로 지지하는 다수의 제1 이송 롤러들을 구비하는 제1 이송 유닛, 상기 다수의 제1 회전축들 사이에 상기 제1 회전축의 연장 방향에 대하여 수직하게 배치되며 회전 가능한 다수의 제2 회전축 및 상기 제2 회전축에 의하여 회전하도록 제2 회전축에 체결되며 상기 평판형 기판의 측면을 지지하는 제2 이송 롤러를 구비하는 제2 이송 유닛 및 상기 제1 회전축들이 회전함에 따라 상기 제2 회전축을 회전시키는 회전력 전달 유닛을 포함한다. 여기서, 상기 회전력 전달 유닛은 상기 제1 회전축들과 함께 회전하도록 각각의 상기 제1 회전축들에 체결된 제1 헬리컬 마그네틱 기어들 및 상기 제2 회전축에 체결되고 상기 제1 헬리컬 마그네틱 기어들의 회전에 따라 상기 제2 회전축을 각각 회전시키는 제2 헬리컬 마그네틱 기어를 포함할 수 있다. 또한, 상기 제1 회전축들은 상기 평탄형 기판을 상기 제2 회전축으로 기울어지게 하기 위하여 기울어진 상태로 배열될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 상기 제1 회전축들과 기계적으로 연결되며, 상기 제1 회전축을 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 공정 챔버, 상기 공정 챔버의 일측에서 타측으로 연장되며, 상호 평행하게 배 열되며 각각 회전 가능하도록 배치된 다수의 제1 회전축들 및 상기 제1 회전축들과 함께 회전하도록 각각의 제1 회전축들에 체결되며 평판형 기판의 하면을 기울어진 상태로 지지하는 다수의 제1 이송 롤러들을 구비하는 제1 이송 유닛, 상기 다수의 제1 회전축들 사이에 상기 제1 회전축의 연장 방향에 대하여 수직하게 배치되며 회전 가능한 다수의 제2 회전축들 및 상기 제2 회전축들과 함께 회전하도록 각각의 제2 회전축들에 체결되며 상기 평판형 기판의 측면을 지지하는 다수의 제2 이송 롤러들을 구비하는 제2 이송 유닛, 상기 제1 회전축들이 회전함에 따라 상기 제2 회전축을 회전시키는 회전력 전달 유닛 및 상기 공정 챔버 내부에 배치되어 상기 평판형 기판 상으로 처리액을 제공하는 처리액 제공부를 포함한다. 여기서, 상기 회전력 전달 유닛은 상기 제1 회전축들과 함께 회전하도록 각각의 상기 제1 회전축들에 체결된 제1 헬리컬 마그네틱 기어들 및 상기 제2 회전축에 체결되고 상기 제1 헬리컬 마그네틱 기어들의 회전에 따라 상기 제2 회전축을 각각 회전시키는 제2 헬리컬 마그네틱 기어를 포함할 수 있다. 또한, 상기 제1 회전축들은 상기 평탄형 기판을 상기 제2 회전축으로 기울어지게 하기 위하여 기울어진 상태로 배열될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 상기 제1 회전축들과 기계적으로 연결되며, 상기 제1 회전축을 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부를 더 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 의하면, 제1 이송 유닛의 회전에 따른 제2 이송 유닛을 회전시키는 회전력 전달 부재를 포함함으로써 기판의 측면 및 제2 이송 유닛의 제2 이송 롤러간의 접촉에 따른 이물질의 발생이 억제된다. 또한, 평판형 기판의 이송 경로를 가이드하는 제2 이송 유닛을 구동시키기 위한 별도의 구동부없이 제2 이송 유닛을 구동할 수 있고, 제1 이송 유닛의 기판 이송 속도와 실질적으로 동일한 속도로 제2 이송 유닛이 평판형 기판의 측면과 접촉할 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 될 것이다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하 는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다. 또한, 본 발명의 실시예에서는 평판형 기판을 대상으로 한정하고 있지만, 유리 기판, 인쇄 회로 기판, 반도체 등에도 본 발명의 실시예를 확장시킬 수도 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다. 도 2는 도1의 기판 이송 장치를 도시한 측면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 유리 기판과 같은 평판형 기판(10)에 대한 처리 공정에서 상기 기판(10)을 일 방향으로 이송하기 위하여 바람직하게 사용될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 제1 이송 유닛(110), 제2 이송 유닛(130) 및 회전력 전달 유닛(150)을 포함한다.
제1 이송 유닛(110)은 평판형 기판(10)을 이송한다. 제1 이송 유닛(110)은 평판형 기판(10)을 기울어진 상태로 평판형 기판(10)의 하면을 지지한다. 예를 들면, 제1 이송 유닛(110)은 예를 들면, 제2 이송 유닛(130)을 향하여 기울어진 상태로 지지할 수 있다.
제1 이송 유닛(110)은 제1 회전축들(111) 및 제1 이송 롤러들(113)을 포함한다.
제1 회전축들(111)은 상호 평행하게 배열되며 각각 회전 가능하도록 배치된다. 예를 들면, 다수의 제1 회전축들(111)은 상기 이송 방향에 대하여 수직한 방향으로 배열될 수 있다. 제1 회전축들(111)은 지면에 대하여 기울어진 상태로 각각 배치될 수 있다. 예를 들면, 제1 회전축들(111)은 봉 형상을 가질 수 있다. 제1 회전축(111)은 외부로부터 구동력을 전달받아 회전한다.
제1 이송 롤러들(113)은 제1 회전축(111)에 각각 체결된다. 제1 회전축(111)의 각각에 체결되는 제1 이송 롤러들(113)의 개수 및 직경은 평판형 기판(10)의 크기 및 무게에 따라 달라질 수 있다. 제1 이송 롤러들(113)은 예를 들면, 디스크 형상을 가질 수 있다. 또한, 제1 회전축들(111) 및 제1 이송 롤러들(113)을 포함하는 제1 이송 유닛(110)은 분리형 또는 일체형으로 제작될 수 있다.
제1 회전축들(111) 및 제1 이송 롤러들(113)을 포함하는 제1 이송 유닛(110)은 평판형 기판(10)을 지면에 대하여 기울어진 상태로 이송한다. 따라서, 기판 이송 중 기판 상에 공급되는 처리액이 작은 양으로 기판 전체를 덮을 수 있다. 또한, 상기 처리액이 처리 공정 후 평판형 기판(10)에 잔류하는 문제가 억제될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 기판 이송 장치는 제1 이송 롤러들(113)을 제1 회전축(111)에 체결하기 위한 제1 체결 부재를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 체결 부재는 너트, 돌기 또는 홈이 형성되어 끼움 방식으로 체결되는 체결구 등을 포함할 수 있다.
제2 이송 유닛(130)은 제1 이송 유닛들(110)의 사이에 배치된다. 또한, 제2 이송 유닛(130)이 평판형 기판(10)의 이송 경로를 방해하지 않도록 위치한다. 제2 이송 유닛(130)은 기울어진 상태로 이송되는 평판형 기판(10)의 측면과 접촉한다. 따라서, 제2 이송 유닛(130)은 평판형 기판(10)의 이송 경로를 가이드하게 된다.
제2 이송 유닛(130)은 제2 회전축(131) 및 제2 이송 롤러(133)를 포함한다. 제2 회전축(131)은 하부에서부터 상부로 연장된다. 예를 들면, 제2 회전축(131)은 봉 형상을 가질 수 있다.
제2 이송 롤러(133)는 제2 회전축(131)의 상단부에 체결된다. 제2 이송 롤러(133)는 평판형 기판(10)의 측면과 접촉하도록 배치된다. 따라서, 제2 이송 롤러(133)는 기울어진 상태로 이송되는 평판형 기판(10)을 이송 경로를 가이드한다. 그 결과, 평판형 기판(10)이 이송 중에 이송 경로를 이탈하는 것을 억제하여 평판형 기판(10)의 낙하에 따라 파손되는 것을 방지한다.
제2 이송 롤러(133)는 제1 이송 롤러(111)와 실질적으로 동일한 직경을 가질 수 있다. 따라서, 제1 이송 롤러(113)가 평판형 기판(10)을 이송시키는 이송 속도와 제2 이송 롤러(133)가 평판형 기판(10)을 가이드하여 이송하는 이송 속도가 실질적으로 동일함으로써 제2 이송 롤러(133) 및 평판형 기판(10)의 측면간의 마모가 감소된다.
회전력 전달 유닛(150)은 제1 회전축들(111)이 회전함에 따라 제2 회전축(131)에 회전력을 전달하여 제2 회전축(131)을 회전시킨다. 다시 말하면, 외부로부터 전달받은 회전력에 의하여 제1 회전축들(111)이 회전한다. 이때 제1 회전축들(111)이 회전함에 따라 회전력 전달 유닛(150)은 상기 회전력이 제2 회전축(131)에 그대로 전달된다. 제1 회전축들(111)의 회전 속도가 제2 회전축(131)에 그대로 유지된다. 따라서, 제1 이송 유닛(110)에 의하여 이송되는 평판형 기판(10)의 이송 속도와 동일하게 제2 이송 유닛(130)은 평판형 기판(10)을 측면을 지지한다
본 발명의 일 실시예에 있어서, 회전력 전달 유닛(150)은 제1 헬리컬 마그네 틱 기어(151) 및 제2 헬리컬 마그네틱 기어(153)를 포함한다.
제1 헬리컬 마그네틱 기어(151)는 제1 회전축(111)에 체결된다. 제1 헬리컬 마그네틱 기어(151)는 나선형을 형성된 제1 영구 자석 및 상기 제1 영구 자석의 형태 사이에 나선형으로 형성된 제2 영구 자석을 포함한다. 예를 들면, 상기 제1 영구 자석은 N형 영구자석에 해당되고 제2 영구 자석은 S형 영구자석을 해당하며, 그 반대일 수 있다.
제2 헬리컬 마그네틱 기어(153)는 제2 회전축(131)에 체결된다. 제2 헬리컬 마그네틱 기어(153)는 나선형을 형성된 제3 영구 자석 및 상기 제3 영구 자석의 형태 사이에 나선형으로 형성된 제4 영구 자석을 포함한다. 예를 들면, 상기 제3 영구 자석은 N형 영구자석에 해당되고 제4 영구 자석은 S형 영구자석을 해당하며, 그 반대일 수 있다.
따라서, 제1 회전축(111)이 회전함에 따라 제1 헬리컬 마그네틱 기어(151)도 함께 회전하게 된다. 이때, 제1 및 제2 헬리컬 마그네틱 기어들(151, 153)간의 자력 반응에 의하여 제2 헬리컬 마그네틱 기어(153)가 회전함으로써, 제2 회전축(131)이 회전하게 된다. 따라서, 제2 회전축(131)에 체결된 제2 이송 롤러(133)가 회전하여 이송되는 평판형 기판(10)의 측면과 접촉한다. 결과적으로 제2 회전축(131)을 회전시키는 별도의 구동부를 설치하지 않고 제2 이송 롤러(133)가 회전할 수 있다. 또한, 제1 이송 롤러(113)가 회전하는 회전 속도와 실질적으로 동일하게 제2 이송 롤러(133)가 회전함으로써 제2 이송 롤러(133) 및 평판형 기판(10) 간의 마찰을 감소시켜 이물질의 발생이 억제된다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(200)는 유리 기판과 같은 평판형 기판(10)에 대한 처리 공정에서 사용될 수 있다.
상기 처리 공정의 예로는 기판(10) 상의 막 또는 불순물을 제거하기 위한 식각 공정, 기판(10) 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 식각 또는 세정 후 기판(10)을 린스 처리하기 위한 린스 공정, 기판(10)을 건조시키기 위한 건조 공정 등이 있다. 도시되지는 않았으나, 상기와 같은 처리 공정을 수행하기 위하여, 상기 기판 이송 장치(100)의 상부 또는 하부에는 상기 기판(10)의 처리를 위한 약액 또는 처리 가스등을 제공하는 노즐들, 에어 나이프(air knife) 또는 샤워 나이프(shower knife) 등이 배치될 수 있다.
상기 기판 처리 공정은 챔버(205) 또는 처리조 내에서 수행될 수 있다. 상기 챔버(205)는 예시적으로 도시된 것이며, 이와 유사한 처리 챔버들이 일렬로 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 평판형 기판(10)이 상기 처리 챔버들을 통해 이송되는 동안 식각, 세정, 스트립, 현상 등과 같은 처리 공정과, 처리된 기판에 대한 세정 공정, 린스 공정, 건조 공정 등이 순차적으로 수행될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(200)는 공정 챔버(205), 제1 이송 유닛(210), 제2 이송 유닛(230), 회전력 전달 유닛(250) 및 처리액 공급부(270)를 포함한다.
공정 챔버(205)는 평판형 기판(10)을 수용하며, 처리 공정을 수행하기 위한 공정 공간을 제공한다.
제1 이송 유닛(210), 제2 이송 유닛(230) 및 회전력 전달 유닛(250)은 도1 및 도2를 참고로 설명한 기판 이송 장치(100)를 구성하는 부재와 실질적으로 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 제1 이송 유닛(210)에 의해 이송되는 평판형 기판(10)의 상부에는 평판형 기판(10)을 처리하기 위한 처리액을 공급하는 처리액 제공부(270)가 배치될 수 있다.
처리액 제공부(270)는 상기 처리액의 공급을 위하여 평판형 기판(10)의 이송 방향을 따라 평판형 기판(10)의 양측 부위에서 평행하게 연장하는 처리액 공급 배관들(미도시) 및 상기 처리액 공급 배관들 사이에는 상기 처리액을 평판형 기판(10) 상으로 공급하기 위한 다수의 노즐들이 형성된 노즐 파이프들(미도시)이 연결된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(200)는 다수의 제1 회전축들(211)에 회전력을 제공하는 구동부(260)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제1 회전축들(211)과 제1 이송 롤러들(213)은 평판형 기판(10)의 처리를 위한 공정 챔버(205) 내에 배치될 수 있으며, 상기 구동부(260)는 공정 챔버(205)의 외측에 배치될 수 있다.
구동부(260)는 공정 챔버(205)의 측벽(207)과 인접하여 배치되며, 회전력을 발생시키는 모터(261)와, 모터(261)의 회전력을 전달하기 위한 동력 전달 유닛(263)과, 회전 속도 및 회전력을 조절하기 위한 감속기(미도시) 등을 포함할 수 있다.
상세히 도시되지는 않았으나, 상기 모터(261)의 회전력은 상기 감속기 및 동력 전달 유닛(263)을 통하여 각각의 제1 회전축들(211)에 전달될 수 있다. 예를 들면, 상기 동력 전달 유닛(263)은 타이밍 벨트(262)와 구동축(264) 및 다수의 기어들의 조합에 의해 구현될 수 있다.
구동축들(264)의 단부들과 제1 회전축들(211)의 단부들은 챔버(205)의 측벽(207)을 사이에 두고 서로 마주하여 배치되며, 상기 단부들에는 비접촉 방식으로 회전력을 전달하기 위한 마그네틱(magnetic) 동력 전달 부재들(267)이 장착될 수 있다. 각각의 마그네틱 동력 전달 부재들(267)은 자체 중심에 대하여 방사상으로 배치되는 다수의 영구 자석들을 내장하고 있으며, 상기 영구 자석들은 마그네틱 동력 전달 부재(264)의 원주 방향으로 극성이 변화되도록 배치된다.
상기와 같이 상기 회전력은 상기 모터(261)로부터 상기 타이밍 벨트(262), 구동축들(264) 및 마그네틱 동력 전달 부재들(267)을 통해 제1 회전축들(211)으로 전달되며, 상기 회전축(211)의 회전에 의해 제1 이송 롤러들(213) 상에 지지된 평판형 기판(10)의 이송이 가능하게 된다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 의하면, 제1 이송 유닛의 회전에 따른 제2 이송 유닛을 회전시키는 회전력 전달 부재를 포함함으로써, 기판의 측면 및 제2 이송 유닛의 제2 이송 롤러간의 접촉에 따른 이물질의 발생이 억제된다. 또한, 평판형 기판의 이송 경로를 가이드하는 제2 이송 유닛을 구동시키기 위한 별도의 구동부없이 제2 이송 유닛을 구동할 수 있고, 제1 이송 유닛의 기판 이송 속도와 실질적으로 동일한 속도로 제2 이송 유닛이 평판형 기판의 측면과 접촉할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (8)

  1. 상호 평행하게 배열되며 각각 회전 가능하도록 배치된 다수의 제1 회전축들 및 상기 제1 회전축들과 함께 회전하도록 각각의 제1 회전축들에 체결되며 평판형 기판의 하면을 기울어진 상태로 지지하는 다수의 제1 이송 롤러들을 구비하는 제1 이송 유닛;
    상기 다수의 제1 회전축들 사이에 상기 제1 회전축의 연장 방향에 대하여 수직하게 배치되며 회전 가능한 다수의 제2 회전축 및 상기 제2 회전축에 의하여 회전하도록 제2 회전축에 체결되며 상기 평판형 기판의 측면을 지지하는 제2 이송 롤러를 구비하는 제2 이송 유닛; 및
    상기 제1 회전축들이 회전함에 따라 상기 제2 회전축을 회전시키는 회전력 전달 유닛을 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 회전력 전달 유닛은,
    상기 제1 회전축들과 함께 회전하도록 각각의 상기 제1 회전축들에 체결된 제1 헬리컬 마그네틱 기어들; 및
    상기 제2 회전축에 체결되고 상기 제1 헬리컬 마그네틱 기어들의 회전에 따라 상기 제2 회전축을 각각 회전시키는 제2 헬리컬 마그네틱 기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 회전축들은 상기 평탄형 기판을 상기 제2 회전축으로 기울어지게 하기 위하여 기울어진 상태로 배열되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 회전축들과 기계적으로 연결되며, 상기 제1 회전축을 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 공정 챔버;
    상기 공정 챔버의 일측에서 타측으로 연장되며, 상호 평행하게 배열되며 각각 회전 가능하도록 배치된 다수의 제1 회전축들 및 상기 제1 회전축들과 함께 회전하도록 각각의 제1 회전축들에 체결되며 평판형 기판의 하면을 기울어진 상태로 지지하는 다수의 제1 이송 롤러들을 구비하는 제1 이송 유닛;
    상기 다수의 제1 회전축들 사이에 상기 제1 회전축의 연장 방향에 대하여 수직하게 배치되며 회전 가능한 다수의 제2 회전축들 및 상기 제2 회전축들과 함께 회전하도록 각각의 제2 회전축들에 체결되며 상기 평판형 기판의 측면을 지지하는 다수의 제2 이송 롤러들을 구비하는 제2 이송 유닛;
    상기 제1 회전축들이 회전함에 따라 상기 제2 회전축을 회전시키는 회전력 전달 유닛; 및
    상기 공정 챔버 내부에 배치되어 상기 평판형 기판 상으로 처리액을 제공하 는 처리액 제공부를 포함하는 기판 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 회전력 전달 유닛은,
    상기 제1 회전축들과 함께 회전하도록 각각의 제1 회전축들에 체결된 제1 헬리컬 마그네틱 기어들; 및
    상기 제2 회전축에 체결되고 상기 제1 헬리컬 기어들의 회전에 따라 상기 제2 회전축들을 각각 회전시키는 제2 헬리컬 마그네틱 기어들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 제1 회전축들은 상기 평탄형 기판을 상기 제2 회전축으로 기울어지게 하기 위하여 기울어진 상태로 배열되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 제1 회전축들과 기계적으로 연결되며, 상기 제1 회전축을 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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CN113942860A (zh) * 2020-07-17 2022-01-18 台郡科技股份有限公司 水平式输送基板的传动机构

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