KR20080047747A - 기판 이송 장치 - Google Patents

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KR20080047747A
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Abstract

본 발명은 기판 이송 장치를 개시한 것으로서, 이송 샤프트에 의해 이동되는 기판의 측면을 접촉 지지하는 가이드 롤러가 착탈 가능하게 설치되는 것을 구성상의 특징으로 가진다. 이러한 구성에 의하면, 유지 보수 비용을 절감시켜 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공할 수 있다.
기판 이송, 가이드 롤러, 착탈

Description

기판 이송 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATES}
도 1은 본 발명에 따른 기판 이송 장치가 적용된 기판 처리 장치의 일 예를 도시해 보인 단면도,
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 평면도,
도 3은 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 측면도,
도 4 및 도 5는 도 2 및 도 3에 도시된 가이드 부재의 사시도 및 분해 사시도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100 : 공정 챔버 200 : 기판 이송 유닛
210 : 이송 샤프트 220 : 동력 전달 부재
230 : 구동부 240 : 가이드 부재
242 : 가이드 축 244 : 베어링 부재
246 : 가이드 롤러 247 : 체결 나사
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 평판 표시 소 자의 제조에 사용되는 기판을 이송하는 장치에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 갖는다. 지금까지는 디스플레이 장치로 브라운관 모니터가 주로 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판형 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대되고 있다.
평판형 디스플레이 장치를 제조하기 위해서는 다양한 공정들이 수행되며, 평판형 디스플레이 장치에 사용되는 기판은 반송 유닛을 통해 각각의 공정들이 수행되는 챔버로 이송된다.
반송 유닛은 나란하게 배치되어 회전하는 샤프트들과, 샤프트들의 일 측에 구비되어 이동하는 기판의 측면을 지지하는 가이드 롤러들을 갖는다. 가이드 롤러는 플라스틱 합성 수지 재질로 이루어져 있고, 일정 시간 사용 후에는 기판과의 접촉에 의해 표면이 마모되기 때문에, 주기적으로 교체해 주어야 한다. 그런데, 가이드 롤러의 기판과 접촉하는 부분이 베어링 부재와 일체형으로 구비되어 있기 때문에, 가이드 롤러의 유지 보수시 베어링 부재가 포함된 전체를 교체하게 되어 유지 보수 비용이 상승하는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상술한 바와 같은 종래의 통상적인 기판 반송 유닛이 가진 문제점을 감안하여 이를 해소하기 위해 창출된 것으로서, 본 발명의 목적은 유지 보수 비용을 절감시켜 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하기 위한 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 기판 이송 장치는, 기판을 이송하는 장치에 있어서, 서로 나란하게 배열되며, 기판과 접촉되는 다수의 이송 롤러들이 설치된 이송 샤프트들과; 상기 이송 샤프트들에 의해 이동되는 기판을 안내하는 가이드 부재;를 포함하되, 상기 가이드 부재는 상기 기판의 측면과 접촉 회전하는 다수의 가이드 롤러들과; 상기 각각의 가이드 롤러들을 회전 가능하게 지지하며, 상기 가이드 롤러에 착탈 가능하게 결합되는 베어링 부재들;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 기판 이송 장치에 있어서, 상기 가이드 롤러는 중공형의 원통 부재로 마련되고, 상기 베어링 부재는 상기 가이드 롤러의 내측에 착탈 가능하게 삽입 설치되는 것이 바람직하다.
본 발명의 특징에 따르면, 상기 이송 샤프트들은 지면에 대해 일정 경사각을 가지도록 기울어지게 배치되는 것이 바람직하다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 기판 이송 장치을 상세히 설명하기로 한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
( 실시 예 )
본 실시 예에서는, 기판으로 평판 디스플레이(Flat Panel Display) 장치의 제조에 사용되는 유리 기판을 예로 들어 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 이송 장치가 적용된 기판 처리 장치의 일 예를 도시해 보인 단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 실시 예의 기판 처리 장치(10)는 공정 챔버들(100,100',100")과 기판 이송 유닛들(200,200',200")을 포함한다.
공정 챔버들(100,100',100")은 기판(S) 처리 공정이 진행되는 공간을 제공한다. 각각의 공정 챔버들(100,100',100") 내에는 기판(S)을 이송하기 위한 기판 이송 유닛(200,200',200")들이 설치된다. 그리고, 도면에는 도시되어 있지 않지만, 기판(S)을 처리하기 위한 각종 처리 유닛(미도시)들이 공정 챔버들(100,100',100") 내에 설치될 수 있다.
공정 챔버(100)는 대체로 직육면체 형상을 가지며, 서로 인접하게 배치된다. 공정 챔버(100,100',100")의 일 측벽에는 공정 챔버(100,100',100")로 기판(S)이 유입되는 유입구(110a,110a")가 제공되고, 이와 마주보는 타 측벽에는 공정 챔버(100,100',100")로부터 기판(S)이 유출되는 유출구(110b,110b')가 제공된다.
기판 이송 유닛(200')에 의해 유출구(110b') 및 유입구(110a)를 통해 공정 챔버(100')로부터 공정 챔버(100)로 기판(S)이 반입된다. 공정 챔버(100)에서는 처리 유닛(미도시)에 의해 기판(S)에 대한 처리 공정이 진행된다. 처리 공정이 진행된 기판(S)은 기판 이송 유닛(200)에 의해 유출구(110b) 및 유입구(110a")를 통해 공정 챔버(100)로부터 공정 챔버(100")로 반출된다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 평면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 측면도이다.
도 2 및 도 3과, 도 1을 참조하여 기판 이송 유닛(200)을 설명하면 다음과 같다. 기판 이송 유닛(200)은 이송 샤프트(210)들, 동력 전달 부재(220), 구동 부재(230), 그리고 가이드 부재(240)를 포함한다.
이송 샤프트(210)들은 공정 챔버(100)의 측벽에 형성된 유입구(110a) 및 유출구(110b)에 대응하는 높이에 나란하게 배치된다. 이송 샤프트(210)들은 수평하게 배치될 수 있다. 또한, 이송 샤프트(210)들은, 도 3에 도시된 바와 같이, 일단이 타단에 비해 높게 위치되도록 경사지게 배치될 수도 있다. 이때 낮은 위치에 배치된 이송 샤프트(210)들의 타단 일 측에는 후술할 가이드 부재(240)가 배치되어 경사진 상태에서 이동하는 기판의 측면을 지지한다. 약액이나 탈이온수 등을 분사하여 기판을 처리하는 공정은 통상 기판을 이송하면서 수행되며, 이때 기판을 처리한 처리액이 기판으로부터 용이하게 제거되도록 하기 위해 기판을 일정 각도로 경사지게 한 상태에서 이송한다.
이송 샤프트(210)들의 양단은 베어링 등의 회전 지지 부재(미도시)에 의해 지지된다. 이송 샤프트(210)들의 길이 방향으로 복수의 지점에 이송 롤러(212)들이 설치된다. 이송 롤러(212)들은 이송 샤프트(210)를 삽입하며 이송 샤프트(210)와 함께 회전되도록 설치된다.
이송 샤프트(210)들에는 동력 전달 부재(220)가 연결된다. 동력 전달 부 재(220)는 구동 부재(230)의 회전력을 이송 샤프트(210)에 전달한다. 동력 전달 부재(220)는 풀리(222)들 및 벨트(224)들을 포함한다. 풀리(222)는 이송 샤프트(210)들의 양단 중 어느 일단에 설치될 수 있으며, 이송 샤프트(210)들의 양단에 각각 설치될 수 있다. 풀리(222)들은 벨트(224)에 의해 연결된다. 인접한 이송 샤프트(210)들에 설치되어 있는 풀리(222)들은 벨트(224)에 의해 쌍을 이루며 연결된다.
이와 달리, 동력 전달 부재(220)로는 기어가 사용될 수 있다. 이송 샤프트(210)들의 양단 또는 어느 일단에 기어가 연결되고, 기어들이 서로 맞물리도록 이송 샤프트(210)들이 배치될 수 있다. 또한, 선택적으로 기계적 마찰에 의한 파티클 발생을 방지하기 위해, 동력 전달 부재(220)로는 자력을 이용하여 회전력을 전달하는 자석 부재(미도시)가 사용될 수도 있다.
구동 부재(230)는 동력 전달 부재(220)들 중 적어도 하나에 회전력을 제공하도록 풀리(222)들 중 어느 하나에 연결된다. 구동 부재(230)로는 모터가 사용될 수 있다.
구동 부재(230)의 회전력이 동력 전달 부재(220)에 의해 이송 샤프트(210)들에 전달되면, 이송 샤프트(210)들의 롤러(212)들 상측에 놓인 기판(S)이 롤러(212)들의 회전에 의해 일 방향으로 이송된다.
도 4 및 도 5는 도 2 및 도 3에 도시된 가이드 부재의 사시도 및 분해 사시도이다.
도 4 및 도 5, 그리고 도 3을 참조하여 가이드 부재(240)를 설명하면 다음과 같다. 앞서 설명한 바와 같이, 이송 샤프트(210)들은 일단이 타단에 비해 높게 위치되도록 경사지게 배치될 수 있으며, 이때 경사진 상태로 이동하는 기판의 측면을 지지하도록 가이드 부재(240)가 이송 샤프트(210)들의 일단에 구비된다.
가이드 부재(240)는 가이드 축(242)과, 베어링 부재(244)와, 그리고 가이드 롤러(246)를 포함한다. 가이드 축(242)은 이송 샤프트(210)들의 배열 방향을 따라 이송 샤프트(210)들의 일단 부근에 일렬로 배치된다. 가이드 축(242)에는 베어링 부재(244)가 설치되고, 베어링 부재(244)의 외측 둘레에는 베어링 부재(244)를 감싸도록 가이드 롤러(246)가 설치된다. 구체적으로, 가이드 롤러(246)는 중공형의 원통 부재로 마련될 수 있으며, 베어링 부재(244)는 가이드 롤러(246)의 내측에 삽입 설치된다.
가이드 롤러(246)는 폴리에테르에테르케톤(PEEK) 등의 합성 수지 재질로 마련될 수 있다. 가이드 롤러(246)가 합성 수지 재질로 마련되기 때문에, 가이드 롤러(246)는 기판의 측면을 지지할 때 기판과의 접촉에 의해 마모될 수 있다. 이 경우, 가이드 롤러(246)를 주기적으로 교체해 주어야 하며, 이를 위해 가이드 롤러(246)는 베어링 부재(244)에 착탈 가능하게 결합될 수 있다.
베어링 부재(244)의 몸체 하단부에 플랜지(245)가 구비되고, 플랜지(245)에는 체결 홀(245a)들이 형성된다. 그리고 가이드 롤러(246)의 하면에도 플랜지(245)의 체결 홀(245a)들에 대응하도록 체결 홀(246a)들이 형성된다. 플랜지(245)의 상면과 가이드 롤러(246)의 하면이 맞닿도록 베어링 부재(244)를 가이드 롤러(246)의 내측에 삽입 설치하고, 플랜지(245)와 가이드 롤러(246)에 형성된 체결 홀(245a.246a)들에 체결 나사(247)를 체결함으로써, 가이드 롤러(246)가 베어링 부재(244)에 착탈 가능하게 결합될 수 있다. 이러한 구성에 의해 가이드 롤러(246)만을 분리하여 교체할 수 있게 됨으로써, 기판 이송 장치의 유지 보수 비용을 절감시킬 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 유지 보수 비용을 절감시켜 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공할 수 있다

Claims (3)

  1. 기판을 이송하는 장치에 있어서,
    서로 나란하게 배열되며, 기판과 접촉되는 다수의 이송 롤러들이 설치된 이송 샤프트들과;
    상기 이송 샤프트들에 의해 이동되는 기판을 안내하는 가이드 부재;를 포함하되,
    상기 가이드 부재는,
    상기 기판의 측면과 접촉 회전하는 다수의 가이드 롤러들과;
    상기 각각의 가이드 롤러들을 회전 가능하게 지지하며, 상기 가이드 롤러에 착탈 가능하게 결합되는 베어링 부재들;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 가이드 롤러는 중공형의 원통 부재로 마련되고,
    상기 베어링 부재는 상기 가이드 롤러의 내측에 착탈 가능하게 삽입 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 이송 샤프트들은 지면에 대해 일정 경사각을 가지도록 기울어지게 배치 되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101121200B1 (ko) * 2009-11-30 2012-03-22 세메스 주식회사 기판 이송 장치
WO2014106360A1 (zh) * 2013-01-05 2014-07-10 深圳市华星光电技术有限公司 一种用于传送硬质工件的导向装置
KR101843195B1 (ko) * 2011-10-24 2018-03-29 엘지디스플레이 주식회사 기판이송장치

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