KR100978852B1 - 기판 반송 장치 및 그 방법 그리고 그 장치를 갖는 기판제조 설비 - Google Patents

기판 반송 장치 및 그 방법 그리고 그 장치를 갖는 기판제조 설비 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판 제조 설비에 사용되는 기판 반송 장치에 관한 것으로, 본 발명의 기판 반송 장치는 일군의 샤프트들과; 상기 일군의 샤프트들을 회전시키기 위한 구동부를 포함하되; 상기 일군의 샤프트들은 제1길이를 갖는 적어도 하나의 제1샤프트; 상기 적어도 하나의 제1샤프트와 동일평면상에 위치되고, 상기 제1길이보다 짧은 제2길이를 갖는 제2샤프트들; 및 상기 적어도 하나의 제1샤프트와 동일평면상에 위치되고, 상기 제1길이보다 짧은 제3길이를 갖는 제3샤프트들을 포함하며, 상기 제2샤프트들은 상기 적어도 하나의 제1샤프트의 타단보다 일단에 가깝게 위치되고, 상기 제3샤프트들은 상기 적어도 하나의 제1샤프트의 일단보다 타단에 가깝게 위치된다.
Figure R1020080055283
샤프트, 대형화, 디스플레이

Description

기판 반송 장치 및 그 방법 그리고 그 장치를 갖는 기판 제조 설비{METHOD AND APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATES, AND EQUIPMENT FOR PROCESSING SUBSTRATE HAVING THE APPARATUS}
본 발명은 기판 처리를 위한 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 평판 디스플레이(flat panel display)를 반송을 위한 장치 및 방법 그리고 그 장치를 갖는 기판 제조 설비에 관한 것이다.
최근 들어 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 디스플레이 장치로서 현재 주목받고 있는 것은 액정 디스플레이 장치, 유기 EL 표시 장치, 플라즈마 디스플레이 장치 등과 같은 평판 디스플레이 장치이다.
이와 같은 평판 디스플레이(FPD, Flat Panel Display) 장치를 제조하기 위해서는 다양한 공정들이 수행되며, 기본적으로 평판 GLASS를 기판으로 사용하게 되며, 기판은 표면에 절연층,컬러층, 편광층, 등 여러 박막층이 형성되고, 반송장치에 로딩되어 이동되면서 약액도포공정, 세정공정, 건조공정 등 다양한 처리 공정을 통해 제조되게 된다. 따라서 기판은 평판디스플레이 장치의 품질에 가장 큰 영향을 미치는 부품 중의 하나이다.
이러한 일련의 기판 처리 공정은 통상적으로 기판을 이송시키는 기판 반송장치와 연계되어 진행되기 때문에, 기판 반송장치는 기판의 일정한 이송속도 유지나 정밀 위치제어가 가능하도록 작동되는 것이 무엇보다도 중요하다.
특히, 평판 디스플레이 장치의 대형화(가로/세로의 폭이 1870 ~ 2200 ㎜인 7세대, 2160 ~ 2460 ㎜ 이상인 8, 10세대)로 인해 기판 또한 대형화되는 추세이기 때문에 기판의 보관, 이송, 특히 이송에 있어 각별한 주의가 요구되고 있다.
따라서 기판을 지지하고 이송하는 기판 반송 장치에서 샤프트는 기판의 대형화에 따라 그 길이가 더 길어지게 된다. 샤프트의 길이가 길어지면, 샤프트의 자중과, 대형화된 기판의 하중, 그리고 공정 진행 중 기판상에 공급되는 처리액의 분사 압력 및 유량 등에 의해, 샤프트의 처짐 변형이 발생되어 기판의 파손이나 변형을 초래할 수 있었다. 그 뿐만 아니라, 반송샤프트의 처짐 변형으로 인해 직진성이 저하되어 반송샤프트의 회전시 자체 진동 등에 의해 베어링 등의 관련부품이 손상될 수 있었고, 또한 공정의 정밀도가 현저히 감소되어 기판의 불량률이 증가된다.
본 발명의 목적은 대형 기판의 반송에 적합한 기판 반송 장치 및 방법 그리고 그 장치를 갖는 기판 처리 설비를 제공하는데 있다.
본 발명의 목적은 반송샤프트의 처짐변형을 방지할 수 있는 기판 반송 장치 및 방법 그리고 그 장치를 갖는 기판 처리 설비를 제공하는데 있다.
본 발명의 목적은 대형 기판의 반송에 적합한 기판 반송 장치 및 방법 그리고 그 장치를 갖는 기판 처리 설비를 제공하는데 있다.
본 발명의 목적은 일군의 샤프트들의 직진성 및 동심도 저하를 방지할 수 있는 대형 기판의 반송에 적합한 기판 반송 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 대형 기판을 반송하는 기판 반송 장치를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 기판 방송 장치는 일군의 샤프트들과; 상기 일군의 샤프트들을 회전시키기 위한 구동부를 포함하되; 상기 일군의 샤프트들은 제1길이를 갖는 적어도 하나의 제1샤프트; 상기 적어도 하나의 제1샤프트와 동일평면상에 위치되고, 상기 제1길이보다 짧은 제2길이를 갖는 제2샤프트들; 및 상기 적어도 하나의 제1샤프트와 동일평면상에 위치되고, 상기 제1길이보다 짧은 제3길이를 갖는 제3샤프트들을 포함하며, 상기 제2샤프트들은 상기 적어도 하나의 제1샤프트의 타단보다 일단에 가깝게 위치되고, 상기 제3샤프트들은 상기 적어도 하나의 제1샤프트의 일단보다 타단에 가깝게 위치된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 구동부는 상기 적어도 하나의 제1샤프트와 상기 제2샤프트들간의 회전력을 전달하도록 상기 적어도 하나의 제1샤프트와 상기 제2샤프트들을 연결하는 제1동력전달부; 상기 적어도 하나의 제1샤프트와 상기 제3 샤프트들간의 회전력력을 전달하도록 상기 적어도 하나의 제1샤프트와 상기 제3샤프트들을 연결하는 제2동력전달부; 상기 제1동력전달부로 회전력을 제공하는 동력원을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 적어도 하나의 제1샤프트는 양단이 기판의 반송 경로에서 벗어난 위치에서 베어링에 의해 지지되며, 상기 제2샤프트와 상기 제3샤프트는 일단이 기판의 반송 경로에서 벗어난 위치에서 베어링에 의해 지지되고, 다른 일단은 기판의 반송 경로에 해당되는 위치에서 베어링에 의해 지지된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2샤프트와 상기 제3샤프트는 동일 선상에 배치된다. 또한, 상기 제2샤프트와 상기 제3샤프트는 서로 엇갈리게 배치되며, 상기 제2샤프트들과 상기 제3샤프트들은 서로 이격되어 배치된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1길이는 기판의 폭보다 길고, 상기 제2길이와 상기 제3길이는 동일하다.
본 발명의 평판 디스플레이 제조를 위한 설비를 제공한다. 기판 제조 설비는 기판이 반송되는 공간을 제공하는 챔버; 기판이 반송되는 방향과 나란한 상기 챔버의 반송 공간 양측에 설치되는 제1,2지지프레임; 상기 제1지지프레임과 상기 제2지지프레임 사이에 설치되는 제3,4지지프레임; 상기 제1지지프레임과 상기 제2지지프레임에 회전가능하게 설치되는 적어도 하나의 제1샤프트; 상기 제1지지프레임과 상기 제3지지프레임에 회전 가능하게 설치되는 제2샤프트들; 상기 제2지지프레임과 상기 제4지지프레임에 회전 가능하게 설치되는 제3샤프트들; 및 상기 제1,2지지프레임 외측에 설치되며 상기 적어도 하나의 제1샤프트, 상기 제2샤프트들 그리고 상 기 제3샤프트들을 회전시키기 위한 하나의 동력원을 갖는 구동부를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 구동부는 상기 동력원의 회전력이 상기 적어도 하나의 제1샤프트와 상기 제2샤프트들로 전달되도록 상기 적어도 하나의 제1샤프트와 상기 제2샤프트들을 연결하는 제1동력전달부; 및 상기 적어도 하나의 제1샤프트의 회전력이 상기 제3샤프트들로 전달되도록 상기 적어도 하나의 제1샤프트와 상기 제3샤프트들을 연결하는 제2동력전달부을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 적어도 하나의 제1샤프트와 상기 제2샤프트들 그리고 상기 제3샤프트들은 동일 평면상에 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2샤프트와 상기 제3샤프트는 동일 선상에 배치되거나 또는 서로 엇갈리게 배치된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2샤프트들과 상기 제3샤프트들은 서로 이격되어 배치된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1지지프레임과 상기 제3지지프레임의 간격과, 상기 제2지지프레임과 상기 제4지지프레임의 간격은 동일하다.
본 발명은 상기의 기판 반송 장치를 이용한 기판 반송 방법을 제공한다. 기판 반송 방법은 상기 제1샤프트와 상기 제2샤프트는 상기 동력원으로부터 회전력을 제공받아 구동시키고, 상기 제3샤프트들은 상기 제1샤프트에 의해 제공되는 회전력을 제공받아 구동시킴으로써 기판을 반송한다.
본 발명은 대형 기판의 반송에 적합하다.
또한, 본 발명은 샤프트들의 처짐 변형을 최소화할 수 있다.
또한, 본 발명은 샤프트들의 직진성 및 동심도 저하를 방지할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 7을 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
본 실시예에서 기판은 평판 디스플레이(flat panel display, 이하 'FPD') 소자를 제조하기 위한 것으로, FPD는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(FieldEmission Display), ELD(Electro Luminescence Display) 일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비(200)는 유리 기판과 같은 평판형 기판 (10)에 대한 처리 공정, 예를 들면, 식각, 세정, 스트립, 현상, 린스 등과 같은 공정을 수행하기 위하여 바람직하게 사용될 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 기판 처리 설비(1)는 기판(10)에 대한 처리 공정이 수행되는 공정 챔버(100)와, 기판(10)을 이송하기 위한 기판 반송 장치(200)를 포함한다.
기판 처리 공정은 공정 챔버(100) 또는 처리조 내에서 수행될 수 있다. 공정 챔버(100)는 예시적으로 도시된 것이며, 이와 유사한 공정 챔버들이 일렬로 배치될 수 있다. 예를 들면, 기판(10)이 공정 챔버(100)들을 통해 이송되는 동안 식각, 세정, 스트립, 현상 등과 같은 처리 공정과, 처리된 기판에 대한 세정 공정, 린스 공정, 건조 공정 등이 순차적으로 수행될 수 있다. 공정 챔버(100)는 4개의 측벽(112a-112d)에 의해 이루어지며, 기판 처리 및 기판 반송이 이루어지는 공간을 제공한다. 공정챔버(100)의 측벽(112a,112c)에는 기판이 들어오고 나가는 입구(114a)와 출구(114b)가 마련된다. 공정 챔버(100)는 기판이 반송되는 방향과 나란하게 반송 공간의 양측에 설치되는 제1,2지지프레임(112,114)과, 제1지지프레임(112)과 제2지지프레임(114) 사이에 설치되는 제3,4지지프레임(116,118)을 포함한다. 이들 제1,2,3,4지지프레임(112,114,116,118)은 기판 반송 장치(200)의 일군의 샤프트들을 지지하는 구조물이다.
기판 반송 장치(200)는 공정 챔버(100)에 설치된다. 기판 반송 장치(200)는 일군의 샤프트(212,214,216)들과, 샤프트들에 장착되는 다수의 롤러들(204) 및 일군의 샤프트들을 회전시키기 위한 구동부(220)를 포함할 수 있다.
일군의 샤프트들은 제1샤프트(212)들, 제2샤프트(214)들 그리고 제3샤프트(216)들을 포함한다. 일군의 샤프트들은 일 방향으로, 예를 들면, 기판(10)의 이송 방향을 따라 서로 평행하게 배열되며, 각각의 샤프트(212,214,216)들에는 다수의 롤러들(204)이 장착된다. 롤러들(204)의 장착 수량은 처리 또는 이송하고자 하는 기판(10)의 크기에 따라 변화될 수 있다. 롤러(204)들은 샤프트(212,214,216)들에 고정되어 샤프트(212,214,216)들의 회전에 의해 롤러(110)들도 함께 회전할 수 있다. 그리하여 롤러들 위에 있는 기판도 롤러들의 회전에 의해 일방향으로 이송될 수 있다.
제1,2,3샤프트(212,214,216)들 각각은 챔버(100) 내에 배치되는 제1,2,3,4지지프레임(112,114,116,118))에 의해 수평 또는 다소의 경사도를 갖도록 배치될 수 있다. 제1,2,3,4지지프레임(112,114,116,118)은 제1,2,3샤프트(212,214,216)들의 원활한 회전을 위하여 다양한 형태의 베어링(120)들을 포함할 수 있다.
좀 더 구체적으로 살펴보면, 제1샤프트(212)들은 베어링(120)에 의해 제1지지프레임(112)과 제2지지프레임(114)에 회전가능하게 설치된다. 제2샤프트(214)들은 제1샤프트(212)와 동일평면상에 위치되고, 제1샤프트(212)보다 짧은 길이를 갖는다. 제2샤프트(214)들은 베어링(120)에 의해 제1지지프레임(112)과 제3지지프레임(116)에 회전가능하게 설치된다. 제3샤프트(216)들은 제1샤프트(212)와 동일평면상에 위치되고, 제1샤프트(212)보다 짧고, 제2샤프트(214)들과 동일한 길이를 갖는다. 제3샤프트(216)들은 베어링(120)에 의해 제4지지프레임(118)과 제2지지프레임(114)에 회전가능하게 설치된다. 제2샤프트(214)들은 제1샤프트(212)의 타단보다 일단에 가깝게 위치되고, 제3샤프트(216)들은 제1샤프트(212)의 일단보다 타단에 가깝게 위치된다. 그리고, 제2샤프트(214)들과 제3샤프트(216)들은 서로 동일 선상에 위치된다. 하지만, 도 4에서와 같이 제2샤프트(214)들과 제3샤프트(216)들은 서로 엇갈리게 배치될 수도 있다. 제2샤프트(214)들과 제3샤프트(216)들은 롤러 설치 간격의 2배 정도만큼 서로 이격되게 배치되는데, 제2샤프트(214)들과 제3샤프트(216)들 사이 간격은 제3지지프레임(116)과 제4지지프레임(118)의 설치 간격에 따라 더 가깝게 또는 더 멀게 위치될 수 있다.
도 3에서 보여주는 바와 같이, 제1샤프트(212)들이 챔버(100)의 기판 입구(114a)측에 인접하게 배치되고, 제2,3샤프트(214.216)들이 그 후단에 배치된다. 하지만, 제1,2,3샤프트(212,214,216)들의 배치는 다양하게 변경될 수 있다. 도 5a 및 도 5b는 제1,2,3샤프트(212,214,216)들의 다양한 배치 구조를 보여주는 도면이다. 도 5a에서와 같이, 제1샤프트들(212)들은 제2,3샤프트(214,216)들을 가운데 포진시키고 그 전단과 후단에 각각 배치될 수 있다. 또는 도 5b에서와 같이, 제2,3샤프트(214,216)들이 챔버의 기판 입구(114a)와 기판의 출구(114b)측에 인접하게 배치되고 그 사이에 제1샤프트(212)들이 배치될 수 있다. 이처럼, 제1,2,3 샤프트(212,214,216)들의 배치는 다양하게 이루어질 수 있다.
구동부(220)는 회전력을 발생시키는 동력원(222)과, 동력원(222)의 회전력을 제1,2,3샤프트(212,214,216)들로 전달하는 제1,2동력전달부(230,240)를 포함할 수 있다. 동력원(222)은 회전력(동력)을 발생시키는 부분으로서 전기력에 의해 작동하는 모터 또는 화학에너지를 기계적 운동으로 전환시키는 엔진을 포함할 수 있다.
제1,2동력전달부(230, 240)는 동력원(222)에 의해 발생한 회전력을 제1,2,3샤프트(212,214,216)들로 전달하기 위해서 다양하게 구성될 수 있다. 예를 들면, 제1,2동력 전달부(230,240)는 기어들의 조합이나, 타이밍 벨트와 다수의 풀리 또는 마그네틱을 이용한 비접촉 방식 등에 의해 구현될 수 있다.
제1동력전달부(230)는 동력원(222)에 연결되는 제1구동 샤프트(232), 제1구동 샤프트(232)에 설치되는 제1헬리컬 기어들(234), 제1헬리컬 기어(234)들과 상호 맞물리도록 제1샤프트(212)들과 제2샤프트(214)들의 일단에 설치되는 제2헬리컬 기어(236)를 포함한다.
제2동력전달부(240)는 제1샤프트(212)들의 타단과 제3샤프트(216)들이 타단에 설치되는 제3헬리컬 기어(242)들과, 제1샤프트(212)들과 제3샤프트(216)들의 제3헬리컬 기어(242)들과 상호 맞물리도록 제4헬리컬 기어(244)들이 설치된 제2구동 샤프트(246)를 포함한다. 제1,2동력전달부에 사용되는 헬리컬 기어들은 마그네틱 방식의 기어를 사용할 수 있다. 일반적으로 기어라 함은 톱니에 맞물림에 의해 다른 축으로 동력을 전달하는 구조를 의미할 수 있으나, 마그네틱 방식의 기어를 사용하는 경우에는 기어의 톱니를 직접 맞닿게 하지 않고도 동력을 전달할 수 있다.
상술한 바와 같은 구성으로 이루어진 구동부를 갖는 기판 반송 장치에서의 동작을 살펴보면, 동력원(222)에 의해 제1구동 샤프트(232)가 회전되고, 제1구동 샤프트(232)에 설치된 제1헬리컬 기어(234)들이 회전하면서 제1헬리컬 기어(234)들과 맞물린 제2헬리컬 기어(236)들이 함께 회전하게 된다. 제2헬리컬 기어(236)들의 회전은 제1샤프트(212)들과 제2샤프트(214)들을 동시에 회전시킨다. 한편, 제1샤프트(212)들의 회전은 제1샤프트(212)의 제3헬리컬 기어(242)와 맞물린 제4헬리컬 기어(244)를 통해 제2구동 샤프트(246)를 회전시키고, 이와 동시에 제4헬리컬 기어(244)와 맞물린 제3샤프트(216)들의 제3헬리컬 기어(244)를 통해 제3샤프트(216)들이 회전하게 된다.
즉, 동력원(222)의 회전력은 제1동력전달부(230)를 통해 제1,2샤프트(212,214)들을 회전시키고, 제1샤프트(212)들의 회전력은 제2동력전달부(240)를 통해 제3샤프트(216)들을 회전시키게 된다.
도 6은 제1,2동력전달부가 타이밍 벨트와 풀리 방식으로 이루어진 구동부를 보여주는 도면이다.
도 6에서와 같이, 제1동력 전달부(230a)는 제1샤프트(212)들의 일단에 결합된 제1풀리(233)들과 제2샤프트(214)들의 일단에 결합된 제2풀리(235)들 그리고 인접하는 풀리들을 연결하여 회전력을 전달하는 벨트(237)들을 포함한다. 동력원(222)의 회전축은 제1샤프트(212)의 일단에 결합된 제1풀리(233)와 연결되어 회전력을 제공한다.
제2동력 전달부(240a)는 제1동력 전달부(230a)와 거의 유사한 구성으로 이루어지는데, 우선, 제1샤프트(212)들의 타단에 결합된 제3풀리(243)들과 제3샤프트(216)들의 일단에 결합된 제4풀리(245)들 그리고 인접하는 풀리들을 연결하여 회전력을 전달하는 벨트(247)들을 포함한다
도 7은 비접촉 방식으로 회전력을 전달하기 위한 마그네틱(magnetic) 방식의 구동부를 설명하기 위한 도면이다.
도 7을 참조하면, 제1동력 전달부(260)는 제1샤프트(212)들과 제2샤프트(214)들에 회전력을 전달하기 위한 구동축(262)들을 포함하며, 구동축(262)들의 단부들과 제1샤프트(212)들 그리고 제2샤프트들(214)의 일단들은 챔버(100)의 격벽(119)을 사이에 두고 서로 마주하여 배치되며, 단부들에는 비접촉 방식으로 회전력을 전달하기 위한 마그네틱(magnetic) 동력 전달 부재들(264)이 장착될 수 있다. 각각의 마그네틱 동력 전달 부재들(264)은 자체 중심에 대하여 방사상으로 배치되 는 다수의 영구 자석들을 내장하고 있으며, 영구 자석들은 마그네틱 동력 전달 부재(264)의 원주 방향으로 극성이 변화되도록 배치된다. 상기와 같이 회전력은 동력원(222)로부터 기어(265)들 조합(또는 타이밍 벨트와 풀리)과 구동축들(262) 및 마그네틱 동력 전달 부재들(264)을 통해 제1샤프트(212)들과 제2샤프트(214)들로 전달된다.
제2동력 전달부(270)은 제1샤프트(212)들을 통해 제공되는 회전력을 회전축(274)으로 전달하는 제1구동축(272)과, 회전축(274)으로부터 제3샤프트(216)들로 회전력을 전달하는 제2구동축(273)들, 제1샤프트(212)들의 타단과 제3샤프트(216)들의 타단 그리고 제1,2구동축(272,273)의 일단에 설치되는 마그네틱(magnetic) 동력 전달 부재들(275)을 포함한다. 회전축과 제1,2구동축간의 회전력 전달은 기어 방식에 의해 이루어진다.
상술한 바와 같은 기판 반송 장치(200)는 기판의 폭보다 넓은 제1샤프트들 보다 기판(10)의 폭보다 짧은 제2,3샤프트들이 중심이 되어 기판을 반송하기 때문에 기판이 대형화되어도 기판의 처짐을 최소화할 수 있고, 특히 샤프트들의 처짐 변형으로 인한 직진성, 동심도 저하를 방지할 수 있다. 또한, 본 발명의 기판 반송 장치(200)는 단일 구동원에서 발생되는 회전력이 장축의 제1샤프트(212)를 통해 제2,3샤프트(214,216)들을 회전시키기 때문에 두 개의 구동원을 사용할 경우 제2,3샤프트들이 동일한 회전력으로 회전되도록 구동원들을 정밀하게 제어해야 하는 어려움을 해소할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 처리 설비를 보여주는 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 처리 설비의 측단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 기판 처리 설비의 사시도이다.
도 4는 엇갈리게 배치된 제2샤프트들과 제3샤프트들을 보여주는 도면이다.
도 5a 및 도 5b는 제1,2,3샤프트들의 다양한 배치 구조를 보여주는 도면이다.
도 6은 제1,2동력전달부가 타이밍 벨트와 풀리 방식으로 이루어진 구동부를 보여주는 도면이다.
도 7은 비접촉 방식으로 회전력을 전달하기 위한 마그네틱(magnetic) 방식의 구동부를 설명하기 위한 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100: 공정 챔버 200 : 기판 반송 장치
212 : 제1샤프트 214 : 제2샤프트
216 : 제3샤프트 220 : 구동부

Claims (16)

  1. 기판 반송 장치에 있어서:
    일군의 샤프트들과;
    상기 일군의 샤프트들을 회전시키기 위한 구동부를 포함하되;
    상기 일군의 샤프트들은
    제1길이를 갖는 적어도 하나의 제1샤프트;
    상기 적어도 하나의 제1샤프트와 동일평면상에 위치되고, 상기 제1길이보다 짧은 제2길이를 갖는 제2샤프트들; 및
    상기 적어도 하나의 제1샤프트와 동일평면상에 위치되고, 상기 제1길이보다 짧은 제3길이를 갖는 제3샤프트들을 포함하며,
    상기 제2샤프트들은 상기 적어도 하나의 제1샤프트의 타단보다 일단에 가깝게 위치되고, 상기 제3샤프트들은 상기 적어도 하나의 제1샤프트의 일단보다 타단에 가깝게 위치되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 구동부는
    상기 적어도 하나의 제1샤프트와 상기 제2샤프트들간의 회전력을 전달하도록 상기 적어도 하나의 제1샤프트와 상기 제2샤프트들을 연결하는 제1동력전달부;
    상기 적어도 하나의 제1샤프트와 상기 제3샤프트들간의 회전력력을 전달하도 록 상기 적어도 하나의 제1샤프트와 상기 제3샤프트들을 연결하는 제2동력전달부;
    상기 제1동력전달부로 회전력을 제공하는 동력원을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제1샤프트는
    양단이 기판의 반송 경로에서 벗어난 위치에서 베어링에 의해 지지되며,
    상기 제2샤프트와 상기 제3샤프트는
    일단이 기판의 반송 경로에서 벗어난 위치에서 베어링에 의해 지지되고, 다른 일단은 기판의 반송 경로에 해당되는 위치에서 베어링에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제2샤프트와 상기 제3샤프트는 동일 선상에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제2샤프트와 상기 제3샤프트는 서로 엇갈리게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제2샤프트들과 상기 제3샤프트들은 서로 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1길이는 기판의 폭보다 긴 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제2길이와 상기 제3길이는 동일한 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  9. 평판 디스플레이 제조를 위한 설비에 있어서:
    기판이 반송되는 공간을 제공하는 챔버;
    기판이 반송되는 방향과 나란한 상기 챔버의 반송 공간 양측에 설치되는 제1,2지지프레임;
    상기 제1지지프레임과 상기 제2지지프레임 사이에 설치되는 제3,4지지프레임;
    상기 제1지지프레임과 상기 제2지지프레임에 회전가능하게 설치되는 적어도 하나의 제1샤프트;
    상기 제1지지프레임과 상기 제3지지프레임에 회전 가능하게 설치되는 제2샤프트들;
    상기 제2지지프레임과 상기 제4지지프레임에 회전 가능하게 설치되는 제3샤프트들; 및
    상기 제1,2지지프레임 외측에 설치되며 상기 적어도 하나의 제1샤프트, 상기 제2샤프트들 그리고 상기 제3샤프트들을 회전시키기 위한 하나의 동력원을 갖는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조를 위한 설비.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 구동부는
    상기 동력원의 회전력이 상기 적어도 하나의 제1샤프트와 상기 제2샤프트들로 전달되도록 상기 적어도 하나의 제1샤프트와 상기 제2샤프트들을 연결하는 제1동력전달부; 및
    상기 적어도 하나의 제1샤프트의 회전력이 상기 제3샤프트들로 전달되도록 상기 적어도 하나의 제1샤프트와 상기 제3샤프트들을 연결하는 제2동력전달부을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조를 위한 설비.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제1샤프트와 상기 제2샤프트들 그리고 상기 제3샤프트들은 동일 평면상에 있는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조를 위한 설비.
  12. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 제2샤프트와 상기 제3샤프트는 동일 선상에 배치되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조를 위한 설비.
  13. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 제2샤프트와 상기 제3샤프트는 서로 엇갈리게 배치되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조를 위한 설비.
  14. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 제2샤프트들과 상기 제3샤프트들은 서로 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조를 위한 설비.
  15. 제9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 제1지지프레임과 상기 제3지지프레임의 간격과, 상기 제2지지프레임과 상기 제4지지프레임의 간격은 동일한 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조를 위한 설비.
  16. 상기 제1항의 기판 반송 장치에서의 기판 반송 방법에 있어서:
    상기 제1샤프트와 상기 제2샤프트는 상기 구동부로부터 회전력을 제공받아 구동시키고, 상기 제3샤프트들은 상기 제1샤프트에 의해 제공되는 회전력을 제공받아 구동시킴으로써 기판을 반송하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.
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