KR20110057680A - 반송 샤프트 - Google Patents

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KR20110057680A
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이진석
이우송
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세메스 주식회사
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Abstract

평판디스플레이 제조 설비에 사용되는 반송 샤프트에 관한 것으로, 본 발명의 반송 샤프트는 다수의 가이드 롤러들이 외주면에 설치되는 파이프; 내륜과, 상기 내륜과는 다수개의 볼을 사이에 두고 배치되는 외륜을 구비하는 그리고 상기 파이프의 양단에 설치되는 베어링; 상기 베어링을 지지하는 베어링 지지블록; 및 상기 베어링 지지블록에 설치되며 상기 베어링의 외륜을 자력으로 고정시키기 위한 자성체를 포함한다

Description

반송 샤프트{TRANSFER SHAFT}
본 발명은 LCD(Liquid Crystal Display)기판 등과 같은 각종 반도체 부품을 이송함에 있어서, 동력장치에 의해 회전이 이루어지고 LCD기판이 얹혀져 이송되는 반송 샤프트에 관한 것이다.
잘 알려진 바와 같이, LCD(liquid crystal display) 소자는 증착 공정, 확산공정, 패터닝 공정 및 열처리 공정 등 다양한 공정 등에 의하여 제작되고 있으며, 이러한 공정들은 챔버, 베스 또는 확산로와 같은 기판처리장치 내에서 진행되고 있다. 상기 기판처리장치는 LCD용 기판 즉, 유리기판을 지지 및 이송시키기 위한 수단으로 이송장치(conveyor)가 주로 사용되고 있다.
이와 같은 이송장치는 유리 기판을 지지 및 이송시키기 위한 다수의 반송 샤프트를 포함하고 있다. 이들 반송 샤프트는 동력전달수단에 의해 설정된 위치에서 회전이 이루어지는바, 원활한 회전을 위해 일측 단부에는 베어링이 설치되고, 베어링은 지지블록에 지지된 상태에서 별도의 브라켓에 의해 고정 설치된다.
즉, 베어링 상부에서 브라켓을 이용해 누르는 방식으로 고정하기 때문에 누르는 힘이 커지면 베어링의 구리스 누출 및 마모가 발생된다.
본 발명의 목적은 무리한 힘이 가해지지 않도록 베어링을 고정하는 반송 샤프트를 제공하는데 있다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반송 샤프트는 다수의 가이드 롤러들이 외주면에 설치되는 파이프; 내륜과, 상기 내륜과는 다수개의 볼을 사이에 두고 배치되는 외륜을 구비하는 그리고 상기 파이프의 양단에 설치되는 베어링; 상기 베어링을 지지하는 베어링 지지블록; 및 상기 베어링 지지블록에 설치되며 상기 베어링의 외륜을 자력으로 고정시키기 위한 자성체를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 자성체는 상기 베어링의 외륜과 면접촉되도록 반구형상으로 이루어진다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 베어링을 자성체로 고정함으로써 베어링에 무리한 힘이 가해지지 않음으로 베어링의 눌림 및 구리스 누출 등이 발생되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명된 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 반송 샤프트가 적용된 컨베이어 장치를 보여주는 도면이다.
도 1에서와 같이, 컨베이어 장치(100)는 반송챔버(110)를 갖는다. 반송챔버(110)는 4개의 측벽(112a-112d)에 의해 형성된다. 반송챔버(110)의 측벽(112a,112c)에는 기판 출입구(114)가 설치된다.
반송챔버(110)에는 다수의 반송 샤프트(200)들이 배치되며, 각각의 반송 샤프트(200)에는 복수의 롤러(212)들이 일정한 간격으로 설치되어 있다. 반송 샤프트(200)는 파이프(210) 양단에 베어링(220)이 설치되며, 베어링(220)은 베어링 지지블록(230)에 의해 지지되며, 베어링 지지블록(230)에 설치된 자성체(240)에 의해 고정 설치된다.
반송챔버(110) 외부 일측에는 복수의 구동 샤프트(140)들과, 이 구동 샤프트(140)들을 회전 구동하기 위한 모터(142)와 벨트(144)들 그리고 풀리(pulley;146)들이 설치된다. 풀리(146)들은 구동 샤프트(140)들의 일단에 각각 설치되고 이들 사이에는 벨트(144)들이 걸쳐진다. 각 구동 샤프트(140)들은 모터의 구동력을 전달받아 동일 방향으로 회전된다. 예컨대, 벨트는 일체형으로 이루어질 수 있다. 구동 샤프트(140)들의 일단에는 구동 마그네틱판(150)이 설치된다. 구동 마그네틱판(150)은 반송챔버(110)의 측벽(112b)을 통해서 종동 마그네틱판(130)과 마주보도록 배치된다. 구동 마그네틱판(150)의 회전에 의해 종동 마그네틱판(130)이 회전된다. 즉, 모터(142)에 의한 회전운동이 벨트(144)를 통해서 구동 샤프트(140)들로 전달되고, 구동 마그네틱판(150)이 회전된다. 구동 마그네틱판(150)의 자석들(미도시됨)과 종동 마그네틱판(130)의 자석(132)들이 자성에 의해 끌어 당기고, 그것에 의해 종동 마그네틱판(130)이 반송 샤프트(200)와 함께 회전하며, 그로 인해 상기 롤러(122)들에 의해 지지된 기판(S)이 이송되게 된다.
도 2는 반송 샤프트의 정면도이고, 도 3은 반송 샤프트의 베어링을 지지하는 구조를 보여주는 요부 사시도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 반송 샤프트(200)는 파이프(210), 베어링(220), 베어링 지지블록(230) 그리고 자성체(240)를 포함한다.
파이프(210)는 내부가 비어있는 중공형 파이프로 이루어질 수 있으며, 대면적화된 글래스 기판을 반송하기에 충분한 길이를 갖는다. 파이프(210)에는 기판과 직접 접촉하는 복수개의 롤러(212)들이 반송 샤프트(200)의 길이방향으로 일정간격 이격되어 설치된다. 베어링(220)은 내륜(222)과, 내륜(222)과는 다수개의 볼을 사이에 두고 배치되는 외륜(224)을 구비하며, 파이프(210)의 양단에 설치된다. 베어링(220)은 베어링 지지블록(230)에 의해 지지되며, 베어링 지지블록(230)에는 베어링(220)을 자력으로 고정하기 위한 자성체(240)가 설치된다. 자성체(240)는 베어링(220)의 외륜(224)과 면접촉되도록 반구형상으로 이루어진다.
본 발명에서 기판(S)은 평판 디스플레이(flat panel display, 이하 'FPD') 소자를 제조하기 위한 것으로, FPD는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(FieldEmission Display), ELD(Electro Luminescence Display) 일 수 있다.
이상에서, 본 발명에 따른 반송 샤프트의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
도 1은 본 발명에 따른 반송 샤프트가 적용된 컨베이어 장치를 보여주는 도면이다.
도 2는 반송 샤프트의 정면도이다.
도 3은 반송 샤프트의 베어링을 지지하는 구조를 보여주는 요부 사시도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
200 : 반송 샤프트
210 : 파이프
220 : 베어링
230 : 베어링 지지블록
240 : 자성체

Claims (2)

  1. 반송 샤프트에 있어서:
    다수의 가이드 롤러들이 외주면에 설치되는 파이프;
    내륜과, 상기 내륜과는 다수개의 볼을 사이에 두고 배치되는 외륜을 구비하는 그리고 상기 파이프의 양단에 설치되는 베어링;
    상기 베어링을 지지하는 베어링 지지블록; 및
    상기 베어링 지지블록에 설치되며 상기 베어링의 외륜을 자력으로 고정시키기 위한 자성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 샤프트.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 자성체는 상기 베어링의 외륜과 면접촉되도록 반구형상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반송 샤프트.
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