KR100904451B1 - 컨베이어 장치 및 컨베이어 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이(flat panel display)의 제조 공정에서 비접촉식 구동에 의해 기판을 이송하는 평판 디스플레이 제조를 위한 컨베이어 장치에 관한 것으로, 본 발명의 평판 디스플레이 제조를 위한 컨베이어 장치는 구동모터에 의해 구동되는 구동 샤프트; 상기 구동 샤프트의 일단에 설치되 구동 마그네틱판; 상기 구동 마그네틱판과 서로 마주보고 설치되는 그리고 상기 구동 마그네틱판의 회전시 자성에 의한 자력으로 회전하는 종동 마그네틱판; 일단에 상기 종동 마그네틱판이 설치되는 그리고 상기 종동 마그네틱의 회전에 의해 회전되는 그리고 기판을 지지하는 이송롤러들을 갖는 종동 샤프트를 포함하되; 상기 구동 마그네틱판과 상기 종동 마그네틱판 각각은 S극을 갖는 자석과 N극을 갖는 자석이 서로 교대로 설치된 비자성체의 프레임 및, 상기 자석들을 외부 오염으로부터 보호하기 위하여 상기 프레임을 감싸는 밀폐형 커버를 포함한다. 이러한 구성을 갖는 본 발명은 자석을 이용하여 비접촉식으로 동력을 전달하기 때문에, 구동 샤프트측의 회전력을 종동 샤프트(반송 샤프트)측으로 전달하기 위해 반송챔버의 측벽에 홀을 뚫지 않아도 된다. 따라서, 반송챔버를 외부로부터 완전히 차단될 수 있어, 반송챔버 내의 약액의 퓸(fume) 등에 의한 실내 오염을 방지할 수 있다. 또한 본 발명은 종동 마그네틱판과 구동 마그네틱판은 자석들이 밀폐형 커버에 의해 보호됨으로써, 자석의 오염을 예방하고, 자석의 내구성을 영구히 보존할 수 있다.

Description

컨베이어 장치 및 컨베이어 방법{CONVEYOR APPARATUS AND CONVEYOR METHOD}
도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 평판 디스플레이 제조를 위한 컨베이어 장치를 개략적으로 보여주는 구성도;
도 2는 도 1에 도시된 종동 마그네틱판의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
110 : 반송챔버
120 : 종동 샤프트
130 : 종동 마그네틱판
140 : 구동 샤프트
142 : 모터
150 : 구동 마그네틱판
152 : 자석
156 : 밀폐형 커버
본 발명은 기판이송장치 및 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 평판 디스플레이(flat panel display)의 제조 공정에서 비접촉식 구동에 의해 기판을 이송하는 평판 디스플레이 제조를 위한 컨베이어 장치 및 컨베이어 방법에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 주로 디스플레이 장치로는 주로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 적고 저전압 구동형인 액정 표시 소자(liquid crystal display)가 널리 사용되고 있다.
이들 액정 표시 소자 제작을 위해서 기판(glass substrate) 상에는 패턴 형성을 위해 복수의 단위 공정들이 수행되며, 식각, 수세, 또는 건조와 같은 공정 진행시에 기판은 컨베이어 장치에 의해 이송된다.
기존의 컨베이어 장치는 외부 반송모터에 내부 기어가 직접 연결되는 방식으로, 기어간의 직접적인 마찰로 인한 마모에 의해 파티클이 발생되고, 기어간의 물리적인 접촉에 따른 소음과 진동 등이 발생된다. 특히, 이러한 기어 연결 방식은 기판상으로 분사되는 각종 약액의 퓸(fume)이 외부로 빠져나가지 않도록 기판 이송부를 외부와 격리(밀폐)해야 하는데 많은 어려움이 따른다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 기판 반송이 이루어지는 반송챔버를 완전히 밀폐할 수 있는 그리고, 반송 샤프트를 구동시키는 동력전달부의 구조를 단순화할 수 있는 그리고 동력전달부가 약액 퓸(fume)으로부터 동력전달부의 오염을 방지할 수 있는 새로운 평판 디스플레이 제조를 위한 컨베이어 장치 및 컨베이어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 기술적 과제들을 이루기 위한 평판 디스플레이 제조를 위한 컨베이어 장치는 구동모터에 의해 구동되는 구동 샤프트; 상기 구동 샤프트의 일단에 설치되 구동 마그네틱판; 상기 구동 마그네틱판과 서로 마주보고 설치되는 그리고 상기 구동 마그네틱판의 회전시 자성에 의한 자력으로 회전하는 종동 마그네틱판; 일단에 상기 종동 마그네틱판이 설치되는 그리고 상기 종동 마그네틱의 회전에 의해 회전되는 그리고 기판을 지지하는 이송롤러들을 갖는 종동 샤프트를 포함하되; 상기 구동 마그네틱판과 상기 종동 마그네틱판 각각은 S극을 갖는 자석과 N극을 갖는 자석이 서로 교대로 설치된 비자성체의 프레임 및, 상기 자석들을 외부 오염으로부터 보호하기 위하여 상기 프레임을 감싸는 밀폐형 커버를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 구동 마그네틱판과 상기 종동 마그네틱판 사이에는 반송챔버의 측벽이 설치되어 있어, 기판이 이송되는 반송챔버는 외부로부터 완전 격리된다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도 1 내지 도 2를 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 상기 도면들에 있어서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동 일한 참조번호가 병기되어 있다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다.
본 실시예에서 기판은 평판 디스플레이(flat panel display, 이하 'FPD') 소자를 제조하기 위한 것으로, FPD는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(FieldEmission Display), ELD(Electro Luminescence Display) 일 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 평판 디스플레이 제조를 위한 컨베이어 장치(100)을 개략적으로 보여주는 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 종동 마그네틱판의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면 컨베이어 장치(100)는 반송챔버(110)를 갖는다. 상기 반송챔버(110)는 4개의 측벽(112a-112d)에 의해 형성된다. 상기 반송챔버(110)의 측벽(112a,112c)에는 기판 출입구(114)가 설치된다.
상기 반송챔버(110)에는 다수의 종동 샤프트(120)들이 배치되며, 각각의 종동 샤프트(120)에는 복수의 반송롤러(122)들이 일정한 간격으로 설치되어 있다.
상기 종동 샤프트(120)의 양단은 지지프레임(118)에 의해 회전 가능하게 지지되며, 상기 종동 샤프트(120)의 일단에는 종동 마그네틱판(130)이 설치된다.
상기 반송챔버(110) 외부 일측에는 복수의 구동 샤프트(140)들이 설치되며, 이 구동 샤프트(140)들을 회전 구동하기 위한 모터(142)와 벨트(144)들 그리고 풀리(pulley;146)들이 설치된다. 상기 풀리(146)들은 상기 구동 샤프트(140)들의 일단에 각각 설치되고 이들 사이에는 벨트(144)들이 걸쳐진다. 각 구동 샤프트(140)들은 상기 모터의 구동력을 전달받아 동일 방향으로 회전된다. 예컨대, 상기 벨트는 일체형으로 이루어질 수 있다.
상기 구동 샤프트(140)들의 일단에는 구동 마그네틱판(150)이 설치된다. 상기 구동 마그네틱판(150)은 상기 반송챔버(1100의 측벽(112b)을 통해서 상기 종동 마그네틱판(130)과 마주보도록 배치된다. 상기 구동 마그네틱판(150)의 회전에 의해 상기 종동 마그네틱판(130)이 회전된다. 즉, 상기 모터(142)에 의한 회전운동이 벨트(144)를 통해서 구동 샤프트(140)들로 전달되고, 구동 마그네틱판(150)이 회전된다. 상기 구동 마그네틱판(150)의 자석들(미도시됨)과 상기 종동 마그네틱판(130)의 자석(132)들이 자성에 의해 끌어 당기고, 그것에 의해 상기 종동 마그네틱판(130)이 종동 샤프트(120)와 함께 회전하며, 그로 인해 상기 반송롤러(122)들에 의해 지지된 기판(w)이 이송되게 된다.
상기 종동 마그네틱판(130)과 상기 구동 마그네틱판(150)은 동일한 내부 구성을 갖는다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 종동 마그네틱판(130)은 내부에 S극을 갖는 자석(132)과 N극을 갖는 자석(132)이 서로 교대로 설치된 비자성체의 프레임(134)을 가지며, 이 프레임(134)은 밀폐형 커버(136)에 의해 감싸진다. 이처럼, 상기 종동 마그네틱판(130)은 상기 자석들이 밀폐형 커버(136)에 의해 보호됨으로써, 자 석(132)의 오염을 예방하고, 자석의 내구성을 영구히 보존할 수 있다.
또한, 상술한 바와 같은 구성을 갖는 컨베이어 장치(100)는 자석을 이용하여 비접촉식으로 동력을 전달하기 때문에, 상기 구동 샤프트측(140)의 회전력을 상기 종동 샤프트(120;반송 샤프트)측으로 전달하기 위해 상기 반송챔버의 측벽(112b)에 홀을 뚫지 않아도 된다. 따라서, 상기 반송챔버(110)가 외부로부터 완전히 차단될 수 있어, 상기 반송챔버(110) 내의 약액의 퓸(fume) 등에 의한 실내 오염을 방지할 수 있다.
한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 컨베이어 장치는 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
이상에서, 본 발명에 따른 컨베이어 장치는 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 갖는다. 첫째, 자석을 이용하여 비접촉식으로 동력을 전달하기 때문에, 구동 샤프트측의 회전력을 종동 샤프트(반송 샤프트)측으로 전달하기 위해 반송챔버의 측벽에 홀을 뚫지 않아도 된다. 따라서, 반송챔버를 외부로부터 완전히 차단될 수 있어, 반송챔버 내의 약액 의 퓸(fume) 등에 의한 실내 오염을 방지할 수 있다. 둘째, 종동 마그네틱판과 구동 마그네틱판은 자석들이 밀폐형 커버에 의해 보호됨으로써, 자석의 오염을 예방하고, 자석의 내구성을 영구히 보존할 수 있다.

Claims (14)

  1. 삭제
  2. 컨베이어 장치에 있어서:
    구동모터에 의해 구동되는 구동 샤프트;
    상기 구동 샤프트의 일단에 설치되 구동 마그네틱판;
    상기 구동 마그네틱판과 서로 마주보고 설치되는 그리고 상기 구동 마그네틱판의 회전시 자성에 의한 자력으로 회전하는 종동 마그네틱판;
    일단에 상기 종동 마그네틱판이 설치되는 그리고 상기 종동 마그네틱의 회전에 의해 회전되는 그리고 기판을 지지하는 반송롤러들을 갖는 종동 샤프트를 포함하되;
    상기 구동 마그네틱판과 상기 종동 마그네틱판 각각은 S극을 갖는 자석과 N극을 갖는 자석이 서로 교대로 설치된 비자성체의 프레임 및, 상기 자석들을 외부 오염으로부터 보호하기 위하여 상기 프레임을 감싸는 밀폐형 커버를 포함하되,
    상기 구동 마그네틱판과 상기 종동 마그네틱판 사이에는 반송챔버의 측벽이 설치되어 있어, 기판이 이송되는 상기 반송챔버는 외부로부터 격리되는 것을 특징으로 하는 컨베이어 장치.
  3. 반송 챔버와;
    반송롤러들이 설치된 복수의 종동 샤프트들과;
    모터에 의해 회전되는 복수의 구동 샤프트들과;
    상기 구동 샤프트에 설치되며 자석들을 가지는 구동 마그네틱 판과;
    상기 종동 샤프트에 설치되며 자석들을 가지는, 그리고 상기 구동 마그네틱 판과 마주보게 설치되는 종동 마그네틱 판을 구비하되,
    상기 종동 샤프트 및 상기 종동 마그네틱 판은 상기 반송 챔버 내의 공간에 설치되고,
    상기 구동 샤프트 및 상기 구동 마그네틱 판은 상기 반송 챔버의 외부에 배치되는 것을 특징으로 하는 컨베이어 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 구동 마그네틱 판의 자석들과 상기 종동 마그네틱 판의 자석들은 상기 구동 마그네틱 판의 회전에 의해 상기 종동 마그네틱 판이 회전되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 컨베이어 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 구동 마그네틱 판은 상기 자석들이 설치되는 비자성체의 프레임을 가지는 것을 특징으로 하는 컨베이어 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 구동 마그네틱 판은 상기 자석들이 설치되는 프레임을 가지며,
    상기 프레임은 원판 형상을 가지고, 상기 자석들은 상기 프레임의 중심축 둘레에 서로 이격되게 배치되는 것을 특징으로 하는 컨베이어 장치.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 종동 마그네틱 판은 상기 구동 마그네틱 판과 동일한 내부 구성을 가지는 것을 특징으로 하는 컨베이어 장치.
  8. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 종동 마그네틱 판은 상기 자석들과 상기 프레임을 감싸는 밀폐형 커버를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 컨베이어 장치.
  9. 삭제
  10. 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 챔버 내부는 상기 챔버의 외부와 격리되도록 제공되는 것을 특징으로 하는 컨베이어 장치.
  11. 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 종동 마그네틱 판과 상기 구동 마그네틱 판 사이에 제공되는 상기 챔버의 측벽에는 홀이 제공되지 않는 것을 특징으로 하는 컨베이어 장치.
  12. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 종동 마그네틱 판은,
    상기 자석들이 설치되는 프레임과;
    상기 프레임을 감싸는 밀폐형 커버를 가지며,
    상기 종동 샤프트는 상기 밀폐형 커버의 중앙에 결합되고,
    상기 프레임은 상기 종동 샤프트의 둘레에 각각의 상기 자석이 삽입되는 홀들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 컨베이어 장치.
  13. 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 종동 마그네틱 판과 상기 구동 마그네틱 판은 서로 이격되게 배치되는 것을 특징으로 하는 컨베이어 장치.
  14. 모터에 의해 회전되는 구동 샤프트의 회전력을 반송롤러가 설치된 종동 샤프트에 전달하는 컨베이어 방법에 있어서,
    상기 구동 샤프트에 설치된 구동 마그네틱 판과 상기 종동 샤프트에 설치된 종동 마그네틱 판 간에 자력을 이용하여 상기 구동 샤프트의 회전력이 상기 종동 샤프트에 전달하되,
    상기 종동샤프트들은 반송 챔버 내의 공간에 배치하여 기판을 상기 반송 챔버 내에서 이동시키고, 상기 구동샤프트들은 상기 반송 챔버의 외부에 배치시킴으로써, 상기 반송 챔버 내의 공간과 상기 반송 챔버 외부를 상기 종동샤프트들과 상기 구동샤프트들 사이에 위치된 상기 반송 챔버의 측벽에 의해 분리시키는 것을 특징으로 하는 컨베이어 방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107187873A (zh) * 2017-04-28 2017-09-22 武汉华星光电技术有限公司 一种传送装置

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100819039B1 (ko) * 2007-03-16 2008-04-03 세메스 주식회사 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR100914531B1 (ko) * 2007-10-10 2009-09-02 세메스 주식회사 기판 이송용 마그네틱 기어 및 그 제조 방법
KR100845893B1 (ko) * 2007-11-06 2008-07-14 김학사 렘젯 에어나이프, 기판 이송 장치와 이를 포함한 기판공정용 기기
KR20090049169A (ko) * 2007-11-13 2009-05-18 세메스 주식회사 구동 자력 부재와, 이를 이용한 기판 이송 유닛 및 기판처리 장치
KR100987763B1 (ko) * 2008-07-01 2010-10-13 김학사 기판 공정 장치
KR101299704B1 (ko) * 2009-07-22 2013-08-28 세메스 주식회사 기판 처리 장치
KR101033959B1 (ko) * 2009-12-16 2011-05-11 삼성전기주식회사 기판 이송장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR970006207Y1 (ko) * 1993-12-02 1997-06-19 대우전자 주식회사 보일러용 순환펌프의 마그네틱 구조장치
KR20040054533A (ko) * 2002-12-18 2004-06-25 마루야스 키카이 카부시키가이샤 롤러 컨베이어
JP2005335852A (ja) 2004-05-25 2005-12-08 Sanki Eng Co Ltd ホイールコンベヤ
JP2006186146A (ja) 2004-12-28 2006-07-13 Zebiosu:Kk ワーク搬送装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR970006207Y1 (ko) * 1993-12-02 1997-06-19 대우전자 주식회사 보일러용 순환펌프의 마그네틱 구조장치
KR20040054533A (ko) * 2002-12-18 2004-06-25 마루야스 키카이 카부시키가이샤 롤러 컨베이어
JP2005335852A (ja) 2004-05-25 2005-12-08 Sanki Eng Co Ltd ホイールコンベヤ
JP2006186146A (ja) 2004-12-28 2006-07-13 Zebiosu:Kk ワーク搬送装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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