KR20090125935A - 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 이송 장치는 이송 챔버, 제1 자성 디스크, 제2 자성 디스크, 제1 롤러 유닛, 제2 롤러 유닛 및 기판 전달 유닛을 포함한다. 상기 제1 및 제2 자성 디스크들은 상기 이송 챔버의 제1 측벽을 기준으로 바깥쪽 및 안쪽에서 서로 마주보게 배치된다. 상기 제1 롤러 유닛은 상기 이송 챔버의 내부에서 상기 제2 자성 디스크의 회전 중심으로부터 연장된다. 상기 제2 롤러 유닛은 상기 제1 롤러 유닛과 수직하면서 상기 제1 롤러 유닛보다 하부에 배치된다. 상기 기판 전달 유닛은 상기 제1 롤러 유닛과 연결되고, 상기 제1 롤러 유닛을 하부 방향으로 원호를 그리면서 이동시킨다. 따라서, 제1 롤러 유닛을 원호를 그리면서 이동시킴으로써, 자성 결합하고 있는 제1 및 제2 자성 디스크들을 안전하게 이격시킬 수 있다.

Description

기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING A GLASS AND APPARATUS FOR PROCESSING A GLASS INCLUDING THE SAME}
본 발명은 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 공정이 처리되는 기판을 이송하는 장치 및 이를 포함하여 상기 기판을 처리하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판표시장치에서 영상을 표시하는 사용되는 디스플레이 소자는 투명한 유리 재질의 기판을 기초로 하여 제조된다. 구체적으로, 상기 디스플레이 소자는 증착 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정등을 수행하여 제조된다.
이러한 공정들은 일반적으로, 연속적인 공정 루트를 갖는 기판 처리장치에 의해 진행된다. 상기 기판 처리 장치는 동일 면상에서 서로 평행하게 배치되어 상기 공정들을 수행하는 제1 및 제2 처리부들과 상기 제1 및 제2 처리부들 사이에서 상기 기판을 이송하는 기판 이송부를 포함한다.
상기 기판 이송부는 상기 제1 및 제2 처리부들의 위치 특성 상 상기 기판의 이송 방향을 수직하게 전환시키는 구성을 갖는다.
구체적으로, 상기 기판 이송 장치는 상기 제1 및 제2 처리부들과 연결된 이송 챔버, 상기 이송 챔버의 내부에 배치되고 제1 방향으로 상기 기판을 이송하는 제1 롤러 유닛 및 상기 제1 롤러 유닛보다 하부에 배치되고 상기 기판을 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 이송하는 제2 롤러 유닛을 포함한다.
여기서, 상기 제1 및 제2 롤러 유닛들의 단부들에는 제1 및 제2 자성 디스크들이 결합되고, 상기 이송 챔버의 외부에는 상기 제1 및 제2 자성 디스크들 각각과 마주하는 제3 및 제4 자성 디스크들이 배치된다. 즉, 상기 제3 및 제4 자성 디스크들의 회전을 통해 상기 제1 및 제2 자성 디스크를 회전시켜 상기 기판을 이송시킨다.
한편, 상기 기판 이송부는 상기 제1 롤러 유닛으로부터 상기 기판을 상기 제2 롤러 유닛으로 전달하기 위한 기판 전달부를 더 포함한다. 상기 기판 전달부는 상기 제1 롤러 유닛을 하부 방향으로 수직하게 이동시킨다. 즉, 상기 제1 및 상기 제3 자성 디스크들도 수직하게 미끄러지면서 이격된다.
그러나, 상기 제1 및 제3 자성 디스크가 이격되는 도중 상대적으로 많은 부하가 발생함으로써, 상기 제1 롤러 유닛에서 이송되는 상기 기판이 파손될 수 있는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 제1 롤러 유닛에서 이송된 기판을 안전하게 제2 롤러 유닛으로 전달할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기한 기판 이송 장치를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 기판 이송 장치는 이송 챔버, 제1 자성 디스크, 제2 자성 디스크, 제1 롤러 유닛, 제3 자성 디스크, 제4 자성 디스크, 제2 롤러 유닛 및 기판 전달 유닛을 포함한다. 상기 제1 및 제2 자성 디스크들은 상기 이송 챔버의 제1 측벽을 기준으로 바깥쪽 및 안쪽에서 서로 마주보게 배치된다. 상기 제1 롤러 유닛은 상기 이송 챔버의 내부에서 상기 제2 자성 디스크의 회전 중심으로부터 연장되고, 상기 제2 자성 디스크와 같이 회전하면서 기판을 이송한다. 상기 제3 및 제4 자성 디스크들은 상기 이송 챔버의 제1 측벽과 수직한 제2 측벽을 기준으로 바깥쪽 및 안쪽에서 서로 마주보게 배치되고, 회전력을 전달하도록 구성된다. 상기 제2 롤러 유닛은 상기 제1 롤러 유닛과 수직하면서 상기 제1 롤러 유닛보다 하부에서 상기 제4 자성 디스크로부터 연장되고, 상기 제4 자성 디스크와 같이 회전하면서 상기 기판을 상기 제1 롤러 유닛과 수직한 방향으로 이송한다. 상기 기판 전달 유닛은 상기 제1 롤러 유닛과 연결되 고, 상기 제1 롤러 유닛을 하부 방향으로 원호를 그리면서 이동시켜, 상기 제2 자성 디스크를 상기 제1 자성 디스크로부터 이격시키면서 상기 제1 롤러 유닛에서 이송되는 상기 기판을 상기 제2 롤러 유닛으로 전달한다.
상기 기판 전달 유닛은 상기 제1 롤러 유닛을 회전이 가능하도록 고정하는 브라켓, 상기 이송 챔버의 바닥과 상기 브라켓을 링크 연결하고, 상기 브라켓을 상기 바닥으로부터 지지하는 지지 로드 및 상기 브라켓과 연결되고, 상기 브라켓을 하부 방향으로 직선 운동시켜 상기 지지 로드에 의해 상기 브라켓이 원호를 그리면서 이동하도록 유도하는 구동부를 포함한다.
여기서, 상기 지지 로드의 하부와 상기 제1 측벽 사이의 수평 거리는 상기 지지 로드의 상부와 상기 제1 측벽 사이의 수평 거리보다 짧은 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 구동부는 직선 구동력을 발생하는 실린더 및 상기 실린더 및 상기 브라켓을 사이에서 링크 연결하고, 상기 직선 구동력을 상기 브라켓에 전달하는 구동 로드를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 구동 로드의 하부와 상기 제1 측벽 사이의 수평 거리는 상기 구동 로드의 상부와 상기 제1 측벽 사이의 수평 거리보다 긴 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제1 및 제2 롤러 유닛들은 각각 서로 수직한 제1 및 제2 샤프트들 및 상기 제1 및 제2 샤프트들 각각에 일정한 간격으로 결합된 다수의 제1 롤러들 및 제2 롤러들을 포함한다. 이에, 상기 제1 샤프트들 각각은 상기 제2 롤러들 사이에 배치될 수 있다. 또한, 상기 제2 롤러들의 직경은 상기 제1 롤러들의 직경보다 작게 형성될 수 있다.
상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 기판 처리 장치는 제1 처리부, 제2 처리부 및 기판 이송부를 포함한다. 상기 제1 및 제2 처리부들은 동일 면상에서 서로 평행하게 배치되고, 기판을 대상으로 공정을 처리한다. 상기 기판 이송부는 상기 제1 및 제2 처리부들 사이에 설치되고, 상기 제1 처리부에서 처리된 상기 기판을 제2 처리부로 이송한다.
이에, 상기 기판 이송부는 상기 제1 및 제2 처리부들과 연결된 이송 챔버, 상기 이송 챔버의 제1 측벽을 기준으로 바깥쪽 및 안쪽에서 서로 마주보게 배치된 제1 및 제2 자성 디스크들, 상기 이송 챔버의 내부에서 상기 제2 자성 디스크의 회전 중심으로부터 연장되고 상기 제2 자성 디스크와 같이 회전하면서 기판을 이송하는 제1 롤러 유닛, 상기 이송 챔버의 제1 측벽과 수직한 제2 측벽을 기준으로 바깥쪽 및 안쪽에서 서로 마주보게 배치되고 회전력을 전달하도록 구성된 제3 및 제4 자성 디스크들, 상기 제1 롤러 유닛과 수직하면서 상기 제1 롤러 유닛보다 하부에서 상기 제4 자성 디스크로부터 연장되고 상기 제4 자성 디스크와 같이 회전하면서 상기 기판을 상기 제1 롤러 유닛과 수직한 방향으로 이송하는 제2 롤러 유닛 및 상기 제1 롤러 유닛과 연결되고 상기 제1 롤러 유닛을 하부 방향을 따라 원호를 그리면서 이동시켜 상기 제2 자성 디스크를 상기 제1 자성 디스크로부터 이격시키면서 상기 제1 롤러 유닛에서 이송되는 상기 기판을 상기 제2 롤러 유닛으로 전달하는 기판 전달 유닛을 포함한다.
이러한 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 따르면, 제1 롤러 유닛에서 이송되는 기판을 제2 롤러 유닛으로 전달하기 위하여 상기 제1 롤러 유닛을 하부 방향으로 원호를 그리면서 이동시킴으로써, 제2 자성 디스크를 상기 제1 자성 디스크로부터 부하가 걸리지 않도록 이격시킬 수 있다.
이로써, 상기 제1 및 제2 자성 디스크들이 이격될 때의 부하로 인한 상기 제1 롤러 유닛의 흔들림 또는 트러짐을 방지하여 상기 기판의 파손을 방지할 수 있다. 즉, 상기 기판의 생산성 향상을 기대할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르 게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 측면에서 바라본 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 이송 챔버(10), 제1 자성 디스크(20), 제2 자성 디스크(30), 제1 롤러 유닛(40), 제2 롤러 유닛(50) 및 기판 전달 유닛(60)을 포함한다.
상기 이송 챔버(10)는 기판(G)을 수평 방향으로 이송시키기 위한 공간을 제공한다. 여기서, 상기 기판(G)은 일 예로, 액정을 이용하여 영상을 표시하는 액정표시장치(LCD)를 제조하는데 사용되는 유리 재질의 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 기판 또는 컬러 필터(Color Filter; CF) 기판일 수 있다. 이와 달리, 상기 기판(G)은 반도체 소자를 제조하는데 사용되는 반도체 기판일 수 있다.
상기 제1 자성 디스크(20)는 상기 이송 챔버(10)의 제1 측벽(12)을 기준으로 바깥쪽에 배치된다. 상기 제1 자성 디스크(20)는 외부의 모터(M)와 구조적으로 연결되어 상기 모터(M)로부터 회전력을 제공 받아 회전한다.
상기 제2 자성 디스크(30)는 상기 이송 챔버(10)의 제1 측벽(12)을 기준으로 안쪽에서 상기 제1 자성 디스크(20)와 서로 마주보게 배치된다. 상기 제2 자성 디스크(30)는 상기 제1 측벽(12)을 사이에 두고, 상기 제1 자성 디스크(20)와 자성 결합한다.
이를 위하여, 상기 제1 및 제2 자성 디스크(20, 30)들의 회전 중심을 기준으로 주위에 각각 제1 및 제2 마그네틱(22, 32)들이 일정한 간격으로 형성된다.
상기 제1 롤러 유닛(40)은 상기 이송 챔버(10)의 내부에서 상기 제2 자성 디스크(30)의 회전 중심으로부터 연장된다. 상기 제1 롤러 유닛(40)의 상부에는 상기 기판(G)이 놓여진다.
상기 제1 롤러 유닛(40)은 상기 제2 자성 디스크(30)와 같이 회전한다. 즉, 상기 제1 롤러 유닛(40)은 상기 제2 자성 디스크(30)가 상기 제1 자성 디스크(20)에 의해 회전할 때, 이를 전달 받아 상기 기판(G)을 제1 방향을 따라 이송시킨다.
이러한 상기 제1 롤러 유닛(40)은 구체적으로, 상기 제2 자성 디스크(30)의 회전 중심과 직접 연결된 제1 샤프트(42) 및 상기 제1 샤프트(42)에 일정한 간격으로 형성되어 상기 기판(G)과 실질적으로, 접촉하는 제1 롤러(44)들을 포함한다.
이에, 상기 기판 이송 장치(100)는 상기 제1 및 제2 자성 디스크(20, 30)들과 동일한 개념으로 상기 이송 챔버(10)의 제1 측벽(12)과 수직한 제2 측벽(13)에 제3 및 제4 자성 디스크(70, 80)들을 더 포함한다.
구체적으로, 상기 제3 및 제4 자성 디스크(70, 80)들은 상기 이송 챔버(10)의 제2 측벽(13)을 기준으로 바깥쪽 및 안쪽에 각각 배치된다. 또한, 상기 제3 및 제4 자성 디스크(70, 80)들은 상기 제1 및 제2 자성 디스크(20, 30)들과 마찬가지로, 서로 자성 결합하는 구조를 갖는다.
상기 제2 롤러 유닛(50)은 상기 이송 챔버(10)의 내부에서 상기 제1 롤러 유닛(40)과 수직하면서 상기 제1 롤러 유닛(40)보다 하부에 배치된다. 또한, 상기 제2 롤러 유닛(40)은 상기 제4 자성 디스크(80)로부터 연장된다. 이로써, 상기 제2 롤러 유닛(50)은 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향을 따라 상기 기판(G)을 이송시킨다.
이러한 상기 제2 롤러 유닛(50)은 구체적으로, 상기 제4 자성 디스크(80)의 회전 중심과 직접 연결된 제2 샤프트(52) 및 상기 제2 샤프트(52)에 일정한 간격으로 형성되어 상기 기판(G)과 실질적으로, 접촉하는 제2 롤러(54)들을 포함한다. 즉, 상기 제2 샤프트(52)는 상기 제1 샤프트(42)와 실질적으로 수직하게 배치된다.
상기 기판 전달 유닛(60)은 상기 제1 롤러 유닛(40)과 연결된다. 상기 기판 전달 유닛(60)은 상기 제1 롤러 유닛(40)을 하부 방향을 따라 원호를 그리면서 이동시켜 상기 제1 롤러 유닛(40)에 이송되는 상기 기판(G)을 상기 제2 롤러 유닛(50)으로 이송시킨다.
이하, 도 3 및 도 4를 추가적으로 참조하여 상기 기판 전달 유닛(60)에 의해 전달된 상기 기판(G)의 이동 상태를 구체적으로 설명하고자 한다.
도 3은 도 2에 도시된 기판 이송 장치 중 제1 롤러 유닛이 이동한 상태를 나타낸 도면이고, 도 4는 도 3에 도시된 제1 롤러 유닛이 이동한 상태에서 기판이 제2 롤러 유닛을 따라 이송되는 상태를 나타낸 도면이다.
도 3 및 도 4를 추가적으로 참조하면, 상기 기판 전달 유닛(60)은 상기 제1 롤러 유닛(40)을 우선, 상기 제2 방향으로 소정 이동시킨 다음, 연속적으로 하부 방향으로 원호를 그리면서 이동시킨다.
즉, 상기 기판 전달 유닛(60)은 상기 제2 자성 디스크(30)를 우선, 상기 제2 방향으로 상기 제1 자성 디스크(20)로부터 소정 이격시킨 다음, 연속적으로 하부 방향으로 원호를 그리면서 이동시킨다.
이와 같이, 상기 제1 롤러 유닛(40)에서 이송되는 상기 기판(G)을 제2 롤러 유닛(50)으로 전달하기 위하여 상기 제1 롤러 유닛(40)을 하부 방향으로 원호를 그리면서 이동시킴으로써, 제2 자성 디스크(30)를 상기 제1 자성 디스크(20)로부터 부하가 걸리지 않도록 이격시킬 수 있다.
이로써, 상기 제1 및 제2 자성 디스크(20, 30)들이 이격될 때의 부하로 인한 상기 제1 롤러 유닛(40)의 흔들림 또는 트러짐을 방지하여 상기 기판(G)의 파손을 방지할 수 있다.
상기와 같은 기능을 수행하기 위하여, 상기 기판 전달 유닛(60)은 브라켓(62), 지지 로드(64) 및 구동부(66)를 포함한다. 상기 브라켓(62)은 상기 제1 롤 러 유닛(40)을 하부에서 회전이 가능하도록 고정한다.
이를 위해, 상기 브라켓(62)은 상기 제1 롤러 유닛(40)의 제1 샤프트(42)를 적어도 두 부위들에서 홀딩하는 구조를 갖는다. 이때, 상기 제1 샤프트(42)의 회전이 가능하도록 하기 위하여 상기 홀딩하는 부위들에는 베어링(미도시) 결합될 수 있다. 이때, 상기 브라켓(62)은 상기 제1 롤러 유닛(40)을 보다 안정적으로 고정하기 위하여 상기 제1 샤프트(42)의 양 단부를 홀딩할 수 있다.
상기 지지 로드(64)는 상기 이송 챔버(10)의 바닥(14)과 상기 브라켓(62)을 링크 연결한다. 상기 지지 로드(64)는 상기 브라켓(62)을 상기 바닥(14)으로부터 지지한다.
또한, 상기 지지 로드(64)는 상기 브라켓(62)을 통해 상기 제1 롤러 유닛(40)이 하부 방향으로 원호를 그리면서 이동하도록 유도한다. 이러기 위하여, 상기 제1 및 제2 자성 디스크(20, 30)들이 마주할 때 상기 지지 로드(64)의 하부와 상기 이송 챔버(10)의 제1 측벽(12) 사이의 수평 거리는 상기 지지 로드(64)의 상부와 상기 제1 측벽(12) 사이의 수평 거리보다 짧도록 상기 지지 로드(64)를 연결한다.
이때, 상기 지지 로드(64)와 링크 연결되는 상기 바닥(14)과 상기 브라켓(62)에는 그 연결 부위를 링크 상태로 고정하기 위한 제1 링크 커버(65)가 설치될 수 있다.
상기 구동부(66)는 상기 브라켓(62)과 연결된다. 상기 구동부(66)는 상기 브라켓(62)을 하부 방향으로 직선 운동시킨다. 즉, 상기 구동부(66)는 상기 브라 켓(62)을 통하여 상기 제1 롤러 유닛(40)이 하부 방향으로 원호를 그리도록 상기 브라켓(62)에 구동력을 제공한다.
상기 구동부(66)는 상기 이송 챔버(10)의 외부에 설치되어 직선 구동력을 발생하는 실린더(67) 및 상기 실린더(67)와 상기 브라켓(62)을 링크 연결하여 상기 직선 구동력을 상기 브라켓(62)에 전달하는 구동 로드(68)를 포함한다.
여기서, 상기 구동 로드(68)는 상기 직선 구동력을 최대한 효율적으로 상기 브라켓(62)에 전달하기 위하여, 상기 구동 로드(68)의 하부와 상기 이송 챔버(10)의 제1 측벽(12) 사이의 수평 거리는 상기 구동 로드(68)의 상부와 상기 제1 측벽(12) 사이의 수평 거리보다 길도록 연결한다.
이때, 상기 구동 로드(68)와 링크 연결되는 상기 브라켓(62)과 상기 실린더(67)의 연결 부위에는 링크 상태로 고정하기 위한 제2 링크 커버(69)가 설치될 수 있다.
한편, 상기 제1 롤러 유닛(40)의 제1 샤프트(42)들 각각은 상기 제2 샤프트(52)들 각각에 형성된 상기 제2 롤러(54)들 사이에 배치될 수 있다. 이는, 상기 제1 롤러 유닛(40)이 원호를 그리면서 이동할 때 상기 제1 샤프트(42)들에 형성된 상기 제1 롤러(44)들이 상기 제2 롤러(54)들에 의해 간섭되는 것을 방지하기 위해서이다.
또한, 상기 제2 롤러(54)들의 직경은 상기 제1 롤러(44)들의 직경보다 작게 형성된다. 이는, 상기 제1 롤러 유닛(40)이 원호를 그리면서 이동하는 거리를 충분히 확보하여 상기 제2 자성 디스크(30)와 상기 제1 자성 디스크(20) 사이에서 작용 하는 자기력을 서로 완전하게 분리시키기 위해서이다.
이렇게 상기 기판 전달 유닛(60)에 의하여 상기 제1 롤러 유닛(40)으로부터 상기 제2 롤러 유닛(50)으로 전달된 상기 기판(G)을 연속적으로 상기 제2 방향을 따라 상기 제2 롤러 유닛(50)에 의해 이송하게 된다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
본 실시예에서, 기판 이송부는 도 1 내지 도 4에 도시된 기판 이송 장치와 동일한 구성을 가지므로, 동일한 참조 번호를 사용하며, 그 중복되는 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(1000)는 로딩부(200), 제1 처리부(300), 제2 처리부(400), 기판 이송부(100) 및 언로딩부(500)를 포함한다.
상기 로딩부(200)에는 여러 공정들을 수행하기 위한 다수의 기판(G)들이 외부로부터 로딩된다. 상기 제1 처리부(300)는 상기 로딩부(200)로부터 상기 기판(G)을 공급받아 제1 공정을 수행한다. 상기 제1 처리부(300)에는 상기 제1 공정을 수행하기 위한 다수의 공정 챔버(미도시)들이 제1 방향(a)을 따라 연속적으로 형성될 수 있다.
상기 제2 처리부(400)는 상기 제1 처리부(300)와 동일 면상에서 서로 평행하게 배치된다. 상기 제2 처리부(400)에는 상기 제1 처리부(300)에서 상기 제1 공정을 수행한 상기 기판(G)이 공급된다.
이에, 상기 제2 처리부(400)에서는 상기 제1 공정에 연속적인 제2 공정이 상기 제1 처리부(300)로부터 공급 받은 상기 기판(G)을 대상으로 처리한다. 또한, 상기 제2 처리부(400)에는 상기 제2 공정을 수행하기 위한 다수의 공정 챔버(미도시)들이 상기 제1 방향(a)과 반대되는 제2 방향(b)을 따라 연속적으로 형성될 수 있다.
이때, 상기 제1 및 제2 처리부(300, 400)들을 통해 상기 기판(G)으로부터 영상을 표시하기 위한 디스플레이 소자를 제조하고자 할 경우에, 상기 제1 및 제2 공정들은 증착 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정 및 세정 공정 들 중 어느 하나일 수 있다.
상기 기판 이송부(100)는 상기 제1 및 제2 처리부(300, 400)들 사이에서 상기 기판(G)을 상기 제1 처리부(300)로부터 상기 제2 처리부(400)로 이송한다. 경우에 따라, 상기 기판 이송부(100)는 상기 기판(G)을 상기 제2 처리부(400)로부터 상기 제1 처리부(300)로 이송할 수도 있다.
이때, 상기 기판 이송부(100)의 이송 챔버(10)는 일측에 상기 제1 및 제2 처리부(300, 400)들이 상기 제1 방향(a)과 상기 제2 방향(b)에 수직한 제3 방향(c)을 따라 연결된다.
이에, 상기 기판 이송부(100)를 상기 제1 처리부(300)로부터 상기 제1 방향(a)을 따라 공급 받은 상기 기판(G)을 우선, 상기 제3 방향(c)으로 전환하고, 이어 다시 상기 제2 방향(b)으로 전환하여 상기 제2 처리부(400)에 공급한다. 즉, 상기 기판 이송부(100)는 2회에 걸쳐 상기 기판(G)의 이송 방향을 수직하게 전환한 다.
상기 언로딩부(500)는 상기 제2 처리부(400)로부터 상기 제2 공정을 수행한 상기 기판(G)을 공급 받아, 외부로 언로딩한다.
이와 같은 기판 처리 장치(1000)에 있어서, 상기 기판 이송부(100)가 도 1 내지 도 4를 참조한 설명에서와 같이, 제1 및 제2 자성 디스크(도 2의 20, 30)들 사이에서 부하가 걸리는 것을 방지하여 상기 기판(G)의 파손을 방지함으로써, 상기 기판(G)의 생산성 향상을 기대할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
상술한 본 발명은 제1 롤러 유닛에서 이송되는 기판을 제2 롤러 유닛으로 전달하기 위하여 상기 제1 롤러 유닛을 하부 방향으로 원호를 그리면서 이동시킴으로써, 제2 자성 디스크를 상기 제1 자성 디스크로부터 부하가 걸리지 않도록 이격시켜 기판의 파손을 방지할 수 있는 장치에 이용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 측면에서 바라본 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 기판 이송 장치 중 제1 롤러 유닛이 이동한 상태를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 제1 롤러 유닛이 이동한 상태에서 기판이 제2 롤러 유닛을 따라 이송되는 상태를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
G : 기판 M : 모터
10 : 이송 챔버 20 : 제1 자성 디스크
30 : 제2 자성 디스크 40 : 제1 롤러 유닛
50 : 제2 롤러 유닛 60 : 기판 전달 유닛
100 : 기판 이송 장치 300 : 제1 처리부
400 : 제2 처리부 1000 : 기판 처리 장치

Claims (8)

  1. 이송 챔버;
    상기 이송 챔버의 제1 측벽을 기준으로 바깥쪽 및 안쪽에서 서로 마주보게 배치되고, 회전력을 전달하도록 구성된 제1 및 제2 자성 디스크들;
    상기 이송 챔버의 내부에서 상기 제2 자성 디스크의 회전 중심으로부터 연장되고, 상기 제2 자성 디스크와 같이 회전하면서 기판을 이송하는 제1 롤러 유닛;
    상기 이송 챔버의 제1 측벽과 수직한 제2 측벽을 기준으로 바깥쪽 및 안쪽에서 서로 마주보게 배치되고, 회전력을 전달하도록 구성된 제3 및 제4 자성 디스크들;
    상기 제1 롤러 유닛과 수직하면서 상기 제1 롤러 유닛보다 하부에서 상기 제4 자성 디스크로부터 연장되고, 상기 제4 자성 디스크와 같이 회전하면서 상기 기판을 상기 제1 롤러 유닛과 수직한 방향으로 이송하는 제2 롤러 유닛; 및
    상기 제1 롤러 유닛과 연결되고, 상기 제1 롤러 유닛을 하부 방향으로 원호를 그리면서 이동시켜, 상기 제2 자성 디스크를 상기 제1 자성 디스크로부터 이격시키면서 상기 제1 롤러 유닛에서 이송되는 상기 기판을 상기 제2 롤러 유닛으로 전달하는 기판 전달 유닛을 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기판 전달 유닛은
    상기 제1 롤러 유닛을 회전이 가능하도록 고정하는 브라켓;
    상기 이송 챔버의 바닥과 상기 브라켓을 링크 연결하고, 상기 브라켓을 상기 바닥으로부터 지지하는 지지 로드; 및
    상기 브라켓과 연결되고, 상기 브라켓을 하부 방향으로 직선 운동시켜 상기 지지 로드에 의해 상기 브라켓이 원호를 그리면서 이동하도록 유도하는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 지지 로드의 하부와 상기 제1 측벽 사이의 수평 거리는 상기 지지 로드의 상부와 상기 제1 측벽 사이의 수평 거리보다 짧은 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 구동부는
    직선 구동력을 발생하는 실린더; 및
    상기 실린더 및 상기 브라켓을 사이에서 링크 연결하고, 상기 직선 구동력을 상기 브라켓에 전달하는 구동 로드를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 구동 로드의 하부와 상기 제1 측벽 사이의 수평 거리는 상기 구동 로드의 상부와 상기 제1 측벽 사이의 수평 거리보다 긴 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 롤러 유닛들은 각각
    서로 수직한 제1 및 제2 샤프트들; 및
    상기 제1 및 제2 샤프트들 각각에 일정한 간격으로 결합된 다수의 제1 롤러들 및 제2 롤러들을 포함하고,
    상기 제1 샤프트들 각각은 상기 제2 롤러들 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제2 롤러들의 직경은 상기 제1 롤러들의 직경보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  8. 동일 면상에서 서로 평행하게 배치되고, 기판을 대상으로 공정을 처리하는 제1 및 제2 처리부들; 및
    상기 제1 및 제2 처리부들 사이에 설치되고, 상기 제1 처리부에서 처리된 상기 기판을 제2 처리부로 이송하는 기판 이송부를 포함하고,
    상기 기판 이송부는
    상기 제1 및 제2 처리부들과 연결된 이송 챔버;
    상기 이송 챔버의 제1 측벽을 기준으로 바깥쪽 및 안쪽에서 서로 마주보게 배치되고, 회전력을 전달하도록 구성된 제1 및 제2 자성 디스크들;
    상기 이송 챔버의 내부에서 상기 제2 자성 디스크의 회전 중심으로부터 연장되고, 상기 제2 자성 디스크와 같이 회전하면서 기판을 이송하는 제1 롤러 유닛;
    상기 이송 챔버의 제1 측벽과 수직한 제2 측벽을 기준으로 바깥쪽 및 안쪽에서 서로 마주보게 배치되고, 회전력을 전달하도록 구성된 제3 및 제4 자성 디스크들;
    상기 제1 롤러 유닛과 수직하면서 상기 제1 롤러 유닛보다 하부에서 상기 제4 자성 디스크로부터 연장되고, 상기 제4 자성 디스크와 같이 회전하면서 상기 기판을 상기 제1 롤러 유닛과 수직한 방향으로 이송하는 제2 롤러 유닛; 및
    상기 제1 롤러 유닛과 연결되고, 상기 제1 롤러 유닛을 하부 방향으로 원호를 그리면서 이동시켜, 상기 제2 자성 디스크를 상기 제1 자성 디스크로부터 이격시키면서 상기 제1 롤러 유닛에서 이송되는 상기 기판을 상기 제2 롤러 유닛으로 전달하는 기판 전달 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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