KR100560959B1 - 기판이송축의 처짐방지용 마그네트 베어링이 구비된기판반송장치 - Google Patents

Abstract

기판이송장치 이송축의 처짐 방지용 베어링 수단이 개시된다. 그러한 기판이송장치는 구동원이 구비되는 프레임 및 중간 프레임과, 상기 프레임상에 배치되며, 상기 구동원에 연결되어 회전함으로써 기판을 이송시킬 수 있는 적어도 하나 이상의 기판 이송축과, 상기 기판 이송축에 구비되어 회전가능하며, 서로 동일극끼리 대응되도록 배치되는 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링과, 상기 중간 프레임에 고정적으로 장착되며 상기 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링과 동일극끼리 서로 대응되도록 배치됨으로써 척력에 의하여 상기 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링을 지지하여 기판 이송축의 중간처짐을 방지하는 제2 마그네틱 베어링을 포함한다.

기판, 반송, 이송축, 처짐, 마그네트

Description

기판이송축의 처짐방지용 마그네트 베어링이 구비된 기판반송장치{APPARATUS FOR TRANSPORTING WORKS HAVING MAGNET BEARING FOR USE IN PREVENTING SHAFT FROM VENDING}

도1 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이송축의 처짐 방지용 마그네트 베어링이 구비된 기판반송장치를 도시하는 사시도.

도2 는 도1 에 도시된 마그네틱 베어링 수단을 확대하여 도시하는 확대 사시도.

도3 은 도2 에 도시된 마그네틱 베어링 수단의 측면도.

도4 는 도3 에 도시된 제2 마그네틱 베어링을 도시하는 사시도.

도5 는 도4 에 도시된 제2 마그네틱 베어링의 다른 실시예를 도시하는 사시도.

도6 은 도4 에 도시된 제2 마그네틱 베어링의 또 다른 실시예를 도시하는 측면 구조도.

본 발명은 기판 이송축의 처짐방지용 마그네틱 베어링 부재에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 마그네트 베어링에 의하여 기판 이송축을 지지함으로써 기판 이송축의 처짐을 방지할 수 있는 기판 이송축의 처짐방지용 마그네틱 베어링 부재에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이(FPD;Flat Panel Display), 반도체 웨이퍼, LCD, 포토 마스크용 글라스 등에 사용되는 기판은 에칭, 스트립, 린스 등의 공정을 통하여 제조된다.

이러한 기판 처리라인에 있어서는 기판을 이송시키기 위하여 기판 이송장치가 구비되며, 상기 기판 이송장치는 통상적으로 기판을 이송하는 다수개의 이송축과, 다수개의 이송축을 구동시키는 동력원, 그리고, 기판을 일정한 방향으로 안내하는 가이드롤러로 이루어진다.

따라서, 상기 다수개의 이송축이 모터 등의 동력원에 의하여 회전함으로써 기판이 이송되며, 가이드롤러에 의하여 일측으로 편중되지 않고 직선방향으로 진행하게 된다.

그리고, 이러한 이송축은 일반적으로 그 양단부를 회전가능하게 지지하는 구조를 갖음으로써 기판을 이송할 수 있다.

그러나, 근래에는 기판이 6세대 혹은 7세대로 변경됨에 따라 대형화되는 추세임으로 기판의 이송과정에 있어서 기판의 중간부위가 처지는 현상이 발생하는 문제점이 있다.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으 로서, 본 발명의 목적은 기판의 중간을 지지함으로써 처짐을 방지하기 위한 기판 반송장치를 제공하는데 있다.

또한, 마그네트 방식을 적용함으로써 보다 용이하게 이송축의 중간처짐을 방지할 수 있는 기판반송장치의 이송축 처짐방지 장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 목적을 실현하기 위하여, 본 발명은 구동원이 구비되는 프레임 및 중간 프레임과; 상기 프레임상에 배치되며, 상기 구동원에 연결되어 회전함으로써 기판을 이송시킬 수 있는 적어도 하나 이상의 기판 이송축과; 상기 기판 이송축에 구비되어 회전가능하며, 서로 동일극끼리 대응되도록 배치되는 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링과; 그리고 상기 중간 프레임에 고정적으로 장착되며 상기 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링과 동일극끼리 서로 대응되도록 배치됨으로써 척력에 의하여 상기 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링을 지지하여 기판 이송축의 중간처짐을 방지하는 제2 마그네틱 베어링을 포함하는 기판 이송장치를 제공한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 반송장치를 상세히 설명한다.

도1 내지 도3 에 도시된 바와 같이, 본 발명이 제안하는 기판반송장치는 프레임(1)과, 상기 프레임(1)의 상부에 회전 가능하게 지지되어 기판을 이송시키는 다수의 기판 이송축(3)과, 상기 기판 이송축(3)을 회전시키기 위한 구동부(5)와, 상기 기판 이송축(3)의 중간부를 비접촉방식에 의하여 회전 가능하게 지지함으로서 처짐을 방지하는 마그네틱 베어링 수단(9)을 포함한다.

이러한 구조를 갖는 기판 이송장치에 있어서, 상기 다수의 기판 이송축(3)은 프레임(1)상에 서로 일정 간격을 유지한 상태로 배열됨으로써 회전시 기판을 일측으로 이송시킨다.

그리고, 상기 기판 이송축(3)의 일단부는 모터 조립체 등의 구동부(5)에 연결되는 동력전달축(7)에 기어물림방식에 의하여 연결된다.

따라서, 상기 구동부(5)가 구동하는 경우, 동력 전달축(7)이 기판 이송축(3)을 회전시킴으로써 기판(G)을 이송시킨다.

상기 기판 이송축(3)은 그 중간부가 상기한 마그네틱 베어링 수단(9)에 의하여 지지됨으로써 중간처짐이 방지된다.

즉, 상기 마그네틱 베어링 수단(9)은 자기력에 의하여 상기 기판 이송축(3)의 중간부를 지지함으로써 기판 이송축(3)의 중간 처짐을 방해한다.

이러한 마그네틱 베어링 수단(9)은 기판 이송축에 삽입되는 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링(10,12)과, 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링(10,12)의 사이에 배치되는 스페이서(Spacer;14)와, 중간 프레임(26)상에 구비되어 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링(10,12)에 근접함으로써 척력에 의하여 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링(10,12)을 지지하는 제2 마그네틱 베어링(16)을 포함한다.

한 쌍의 제1 마그네틱 베어링(10,12)은 기판 이송축(3)에 각각 삽입되어 스페이서(14)를 중심으로 서로 대응된다. 즉, 스페이서(14)의 일측에 구비된 마그네틱 베어링(10)은 스페이서 방향이 N극, 반대방향이 S극을 갖도록 배치된다.

그리고, 스페이서(14)의 타측에 구비된 마그네틱 베어링(12)은 스페이서 방 향이 N극, 반대방향이 S 극을 갖도록 배치된다.

따라서, 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링(10,12)은 서로 동일극끼리 대응하도록 배치된다.

한편, 상기 제2 마그네틱 베어링(16)은 중간 프레임(26)에 구비되어 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링(10,12)을 척력에 의하여 지지한다.

이러한 제2 마그네틱 베어링(16)은 브래킷(18)에 의하여 중간 프레임(26)의 상면에 고정된다.

그리고, 제2 마그네틱 베어링(16)은 도4 에 도시된 바와 같이 원통형상으로 이루어지며 상부(17)에는 상기 제1 마그네틱 베어링(16)과 동일한 극성, 바람직하게는 N극으로 구성되며, 하부(19)는 S극으로 구성된다.

따라서, 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링(10,12) 및 제2 마그네틱 베어링(16)은 서로 동일극끼리 대응되도록 배치됨으로써 척력이 작용하여 제2 마그네틱 베어링(16)이 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링(10,12)을 지지하게 된다.

이때, 제1 마그네틱 베어링(10,12)의 양 외측단부 극성은 S극이므로 N 극인 제2 마그네틱 베어링(16)과 서로 인력이 작용하게 되고, 이러한 인력은 제1 마그네틱 베어링(10,12)의 양 내측단부와 제2 마그네틱 베어링(16)의 사이에 작용하는 척력과 역학적으로 균형을 이루게 된다.

따라서, 제1 마그네틱 베어링(10,12)과 제2 마그네틱 베어링(16)은 이러한 힘의 균형에 의하여 안정적인 위치를 유지하게 된다.

결과적으로, 상기 이송축(3)이 모터 조립체 등의 구동원(5)에 의하여 회전하 는 경우, 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링(10,12)과 제2 마그네틱 베어링(16)이 서로 비접촉 상태에서 회전하게 되므로 기판 이송축(3)의 중간을 지지하여 하부 처짐을 방지한다.

한편, 도5 에는 상기 제2 마그네틱 베어링(16)의 다른 실시예가 도시된다. 도시된 바와 같이, 상기 실시예에서는 마그네틱의 극성이 상,하부로 구분되지만, 도5 에 도시된 제2 마그네틱 베어링(16)은 내주 및 외주방향으로 극성이 구분되는 차이점이 있다.

즉, 제2 마그네틱 베어링(20)은 원통형상이며 그 외주부(21)에는 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링(10,12;도2)과 동일극, 즉, N극이며, 내주부(22)는 S극이다.

따라서, 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링(10,12;도2) 및 제2 마그네틱 베어링(16)의 사이에는 척력이 작용함으로써 제2 마그네틱 베어링(20)이 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링(10,12)을 지지하게 된다.

또한, 도6 에는 다른 실시예가 도시되며, 본 실시예에서는 제1 마그네틱 베어링(27)이 제2 마그네틱 베어링(28)의 내부에 삽입되는 차이점이 있다.

즉, 제2 마그네틱 베어링(28)은 중간이 빈 원통형상을 가지며, 제1 마그네틱 베어링(27)이 그 빈 공간에 위치한 구조이다. 이때, 상기 제1 및 제2 마그네틱 베어링(27,28)은 일정 간격(D) 떨어진 구조를 갖는다.

또한, 상기 제1 마그네틱 베어링(27)과 제2 마그네틱 베어링(28)은 서로 동일한 극성끼리 대응되도록 배치된다. 즉, 일측 단부는 동일하게 N극끼리 대응되고, 타측 단부는 S끼리 대응됨으로서 서로 척력이 작용하게 된다.

그리고, 상기 제2 마그네틱 베어링(28)은 중간 프레임(26)내부에 베어링(27)이 이송축(3)에 결합되고, 제2 마그네틱 베어링(28)은 중간 프레임(26)에 고정된다.

따라서, 상기 이송축(3)이 회전하는 경우 상기 제1 마그네틱 베어링(27)은 제2 마그네틱 베어링(28)에 의하여 자력에 의하여 지지된 상태로 회전하게 된다.

결과적으로, 상기 이송축(3)은 회전시 제1 및 제2 마그네틱 베어링(27,28)에 의하여 중간처짐이 방지된다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 기판 반송장치의 이송축의 처짐 방지용 마그네트 베어링 수단은 제1 및 제2 마그네틱 베어링을 구성하고, 서로 동일극끼리 대응되도록 함으로써 반발력에 의하여 이송축의 중간처짐을 방지할 수 있는 장점이 있다.

또한, 제1 및 제2 마그네틱 베어링의 형상을 다양화 함으로써 설계의 폭을 넓힐 수 있는 장점이 있다.

상기에서는 본 발명에 따른 기판반송장치의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.

Claims (5)

1. 구동원이 구비되는 프레임 및 중간 프레임과;

   상기 프레임상에 배치되며, 상기 구동원에 연결되어 회전함으로써 기판을 이송시킬 수 있는 적어도 하나 이상의 기판 이송축과;

   상기 기판 이송축에 구비되어 회전가능하며, 서로 동일극끼리 대응되도록 배치되는 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링과; 그리고

   상기 중간 프레임에 고정적으로 장착되며 상기 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링과 동일극끼리 서로 대응되도록 배치됨으로써 척력에 의하여 상기 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링을 지지하여 기판 이송축의 중간처짐을 방지하는 제2 마그네틱 베어링을 포함하는 기판 이송장치.
2. 제1 항에 있어서, 상기 한 쌍의 제1 마그네틱 베어링은 그 사이에 스페이서가 구비되며, 이 스페이서를 중심으로 서로 동일극끼리 대응되는 구조를 갖는 기판 이송장치.
3. 제2 항에 있어서, 상기 제2 마그네틱 베어링은 원통형상으로 이루어지며 상부에는 상기 제1 마그네틱 베어링의 양 내측 극성과 동일한 극성을 가지며, 하부에는 반대의 극성을 갖도록 구성되는 기판 이송장치.
4. 제2 항에 있어서, 상기 제2 마그네틱 베어링은 원통형상으로 이루어지며 외주방향에는 상기 제1 마그네틱 베어링의 양 내측 극성과 동일한 극성을 가지며, 내주방향에는 반대의 극성을 갖도록 구성되는 기판 이송장치.
5. 제2 항에 있어서, 상기 제2 마그네틱 베어링은 중간이 빈 원통형상이며, 그 내부에는 상기 제1 마그네틱 베어링이 회전가능하게 배치되며, 상기 제1 및 제2 마그네틱 베어링은 서로 동일극끼리 대응되어 척력이 발생하는 기판 이송장치.

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