KR20080103753A - 기판 이송 장치 - Google Patents

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KR20080103753A
KR20080103753A KR1020070050889A KR20070050889A KR20080103753A KR 20080103753 A KR20080103753 A KR 20080103753A KR 1020070050889 A KR1020070050889 A KR 1020070050889A KR 20070050889 A KR20070050889 A KR 20070050889A KR 20080103753 A KR20080103753 A KR 20080103753A
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Abstract

액정 표시 장치(Liquid Crystal Display: LCD)뿐만 아니라 평판 표시 장치(Flat Panel Display: FPD)의 기판을 반송하는데 사용되는 기판 이송 장치를 제공한다. 이러한 기판 이송 장치는, 기판이 이송되는 방향을 향하여 일정 간격으로 나란히 배열되고, 서로 다른 극성을 갖는 마그넷이 링(ring) 형태로 형성된 복수의 내륜(內輪) 롤러, 각 내륜 롤러의 외측에 서로 다른 극성을 갖는 마그넷이 링 형태로 형성되고, 각 내륜 롤러가 회전함에 따라 회전하여 기판을 이송시키는 복수의 외륜(外輪) 롤러, 복수의 내륜 롤러와 복수의 외륜 롤러 사이에 형성되어 일정 간격을 유지하는 간극 유지 부재, 및 복수의 외륜 롤러가 회전하려는 힘보다 큰 고착력을 가져 기판을 정지시키는 스토퍼(stopper)를 포함한다.
Figure P1020070050889
기판 이송, 롤러, 비접촉, 마그넷, 스토퍼

Description

기판 이송 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATES}
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ'선을 절개한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치가 구비된 기판 처리 장치를 도시한 설명도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 이송 롤러를 나타낸 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 이송 롤러의 동작 원리를 설명하기 위한 개념도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
1: 기판 처리 장치 2: 기판 도입부
3: 처리부 4: 기판 토출부
31: 제1 세정부 32: 제2 세정부
33: 저압수 공급부 34: 고압수 공급부
35: 세정수 공급부 36: 순수 공급부
37: 건조부 100: 기판
110: 복수의 내륜 롤러 120: 복수의 외륜 롤러
112, 122: 마그넷 112a, 122a: N극성
112b, 122b: S극성 130: 간극 유지 부재
140: 스토퍼 150: 구동 벨트
160: 모터
본 발명은 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display: LCD)뿐만 아니라 평판 표시 장치(Flat Panel Display: FPD)의 기판을 반송하는데 사용되는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체나 액정 표시 장치, 플라즈마 표시 장치 등의 평판 표시 장치를 제조하기 위해서는 매우 복잡한 공정을 거치게 된다.
각 제조 공정은 서로 상이한 단위 공정들로 연결되어 있고, 각 단위 공정을 행하는 장비가 다르기 때문에 각 장비들로 평판 표시 장치의 기판을 운반하는 컨베이어(conveyor) 즉, 이송 장치가 마련되어야 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송 장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ'선을 절개한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 종래의 기판 이송 장치(1)는 좌우 양측에 프레 임(11)이 설치되어 있으며, 프레임(11) 사이에 회전축(12)이 설치되어 기판(10)의 이송 방향을 향하여 일정 간격으로 두고 나란히 배열되어 있다. 그리고, 각 회전축(12)의 양단부에는 기판(10)의 측부 가장자리를 가이드하는 롤러(13)가 설치되어 회전축(12)과 함께 회전 운동하도록 구성되어 있다.
프레임(11) 내부에는 회전축(12)을 회전시키기 위한 구동 유닛(14)이 구비되어 있다.
구동 유닛(14)은 주로 모터(M)를 이용하며, 이 경우 모터(M)의 회전량을 제어하는 모터 드라이버와, 모터(M)의 회전 변위값을 측정하여 모터 드라이버에 공급하는 엔코더(encoder)를 추가로 포함한다.
이와 같이 구성되는 종래 기술에 따른 기판 이송 장치(1)는, 구동 유닛(14)의 제어에 따라 회전축(12)이 회전하게 되면, 회전축(12)의 양단부에 구비된 롤러(13)가 회전하게 되므로 롤러(13) 상에 로딩된 기판(10)이 일방향으로 서서히 이동하게 된다.
그런데, 종래 기술에 따른 기판 이송 장치(1)는 기판(10)을 정지시키고자 하는 경우 구동 유닛(14)의 모터 드라이버와 엔코더를 이용하여 롤러(13)의 구동을 제어하여야 하므로, 구동 유닛(14)을 구성하는 요소가 간단하지 않으며, 오동작이 발생할 수 있다.
더욱이, 구동 유닛(14)을 이용하여 롤러(13)의 구동을 정지시키면, 구동 유닛(14)에 의해 발생된 요동 또는 진동에 의해 기판(10)에 충격을 주거나, 또는 기판(10)을 오정렬시킬 수 있는 문제점이 있다.
또한, 기판(10)과 롤러(13)간 마찰에 의해 기판(10)을 오염시키는 파티클(particle)을 발생시킬 수 있는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 기판 이송 장치에 전자석을 이용하여 비접촉식으로 기판을 이송함으로써 기판 정지시 요동이나 진동없이 안정적으로 수행할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 이송중인 기판을 정지할 경우 기구적으로 간단히 구현함으로써 복잡한 모터 제어가 불필요하고 기판과의 마찰에 의한 파티클 발생을 방지할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 이송 장치는, 기판이 이송되는 방향을 향하여 일정 간격으로 나란히 배열되고, 서로 다른 극성을 갖는 마그넷이 링(ring) 형태로 형성된 복수의 내륜(內輪) 롤러, 상기 각 내륜 롤러의 외측에 서로 다른 극성을 갖는 마그넷이 링 형태로 형성되어지되, 상기 각 내륜 롤러의 마그넷과 마주보게 되는 마그넷은 서로 다른 극성을 갖도록 배치되어 상기 각 내륜 롤러간 인력을 유지하며, 상기 각 내륜 롤러가 회전함에 따라 동시에 회전하여 상기 기판을 이송시키는 복수의 외륜(外輪) 롤러, 및 상기 복수의 내륜 롤러와 상기 복수의 외륜 롤러 사이에 작용하는 인력보다 큰 고착력을 가져 상기 기판을 정지시키는 스토퍼(stopper)를 포함한다.
그리고, 상기 복수의 내륜 롤러의 양쪽 끝단을 걸어 회전 동력을 전달하는 구동 벨트를 추가로 포함할 수 있다.
상기 구동 벨트의 구동 원동력을 공급하는 모터를 추가로 포함할 수 있다.
상기 복수의 내륜 롤러와 상기 복수의 외륜 롤러 사이에 형성되어 일정 간격을 유지하는 간극 유지 부재를 추가로 포함할 수 있다.
상기 복수의 내륜 롤러의 상기 마그넷은 코일을 이용한 전자석 또는 영구자석인 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 외륜 롤러의 상기 마그넷은 코일을 이용한 전자석 또는 영구 자석인 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 내륜 롤러는 서로 다른 극성을 갖는 마그넷이 교번적으로 배열된 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 외륜 롤러는 서로 다른 극성을 갖는 마그넷이 교번적으로 배열된 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 내륜 롤러의 상기 마그넷과 상기 복수의 외륜 롤러의 상기 마그넷은 실질적으로 동일한 원주각을 갖는 것을 특징으로 한다.
상기 서로 다른 극성을 갖는 마그넷은 N극 및 S극인 것을 특징으로 한다.
상기 간극 유지 부재는 베어링인 것을 특징으로 한다.
상기 스토퍼는 핀 형태로 구비되는 것을 특징으로 한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치에 대하여 상세히 설명한다.
먼저, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치가 적용되는 기판 처리 장치에 대해 설명한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치가 구비된 기판 처리 장치를 도시한 설명도이다.
도 3에 도시된 바와 같이 기판 처리 장치(1)는 전 공정으로부터의 기판(B)이 유입되는 기판 유입부(2), 기판(B)을 각종 제조 공정에 따라 처리하는 처리부(3), 처리 후 기판(B)을 후 공정으로 받아넘기는 기판 토출부(4)가 인라인 형태로 배치되어 있다.
이러한 기판 처리 장치(1)는 기판 유입부(2)와 처리부(3) 및 기판 토출부(4)의 순서대로 기판(B)을 이송하면서 기판(B)에 소정의 처리를 실시한다.
이때, 기판(B)은 액정 표시 장치뿐만 아니라 평판 표시 장치 등을 제작하기 위한 기판이며, 반도체의 웨이퍼(wafer)도 가능하다.
처리부(3)는 제1 세정부(31), 제2 세정부(32), 건조부(37)로 구성되며, 제2 세정부(32)는 세부적으로 저압수 공급부(33), 고압수 공급부(34), 세정수 공급부(35), 순수 공급부(36)로 구분될 수 있다.
제1 세정부(31)는 이송 수단(5)에 의해 이송되는 기판(B)의 표면에 소정의 약액을 공급하여 기판(B)을 세정하고, 제2 세정부(32)는 약품 세정 후, 이송 수단(5)에 의해 이송되는 기판(B)에 세정수를 공급하여 기판(B)을 2차 세정한다.
이와 같이 구성되는 기판 처리 장치(1)에서, 각 공정을 수행하기 위한 공간 사이에는 기판(B)을 이송하기 위한 이송 수단(5)이 마련되고, 이러한 이송 수단(5)으로 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치를 사용한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 사시도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 이송 롤러를 나타낸 사시도이다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는 회전 가능한 복수의 내륜(內輪) 롤러(110)와 복수의 외륜(外輪) 롤러(120), 복수의 내륜 롤러(110)와 복수의 외륜 롤러(120) 사이의 간극 유지 부재(130), 기판(100)의 위치를 제어하기 위한 스토퍼(stopper: 140), 구동 벨트(150) 및 모터(160)를 포함한다.
복수의 내륜 롤러(110)는 기판(100)이 이송되는 방향을 향하여 일정 간격으로 나란히 배열되고, 서로 다른 극성을 갖는 마그넷(112)이 링(ring) 형태로 형성된다.
서로 다른 극성을 갖는 마그넷(112)은 N극성(112a) 및 S극성(112b)이다.
서로 다른 극성을 갖는 마그넷(112)은 서로 교번적으로 배열되며, 도시된 바와 같이 N극성-S극성-N극성-S극성 순으로 이루어지는 패턴대로 배열되거나 또는 N극성-N극성-S극성-S극성 순으로 배열될 수 있다.
이때, 마그넷(112)은 코일을 이용한 전자석이거나 또는 영구자석일 수 있다.
전자석인 경우, 마그넷(112)에 특정 극성의 자력을 제공하기 위한 전원공급부(도시하지 않음)가 추가로 구비될 수 있다.
영구자석인 경우, N극 및 S극과 같이 특정 극성을 갖는 자석을 각각 구비함으로써 별도의 메커니즘 없이 간단히 구성할 수 있다.
서로 다른 극성을 갖는 마그넷(112)의 크기는 실질적으로 서로 동일하게 구비되며, 마그넷(112)의 개수는 자력의 크기 및 회전 수에 따라 달라진다.
복수의 외륜 롤러(120)는 복수의 내륜 롤러(110) 각각의 외측에 링 형태로 구비되며, 내륜 롤러(110)와 마찬가지로 서로 다른 극성을 갖는 마그넷(122)이 형성된다.
이때, 복수의 외륜 롤러(120)에서의 마그넷(122)은 각 내륜 롤러(110)와 서로 마주보게 되는 마그넷(112)과 서로 다른 극성을 갖도록 배치되어, 각 내륜 롤러(110)간 인력을 유지하면서 고착된다.
예를 들면, 각 내륜 롤러(110)의 마그넷(112)이 N극성-S극성-N극성-S극성 패턴으로 배열되면, 복수의 외륜 롤러(120)의 마그넷(122)은 S극성-N극성-S극성-N극성 패턴으로 각 내륜 롤러(110)의 마그넷(112)과 대응되게 배열될 수 있다.
서로 다른 극성을 갖는 마그넷(122)의 크기는 실질적으로 서로 동일하게 구비되며, 마그넷(122)의 개수는 자력의 크기 및 회전 수에 따라 달라진다.
또한, 서로 다른 극성을 갖는 마그넷(122)은 코일을 이용한 전자석이거나 또는 영구자석일 수 있다.
전자석인 경우, 마그넷(122)에 특정 극성의 자력을 제공하기 위한 전원공급부(도시하지 않음)가 추가로 구비될 수 있다.
이 경우, 전원공급부는 각 마그넷(122)에 일대일 대응으로 각각 구비할 수 있으며, 또는 동일한 극성을 갖는 마그넷(122)끼리 그룹화하여 극성별 구비할 수 있다.
영구자석인 경우, N극 및 S극과 같이 특정 극성을 갖는 자석을 각각 구비함으로써, 별도의 추가 구성없이 내륜 롤러(110)의 마그넷(112) 사이에서 커플링(coupling) 효과에 의해 구동할 수 있다.
이러한 구성에서, 서로 대응되는 외륜 롤러(120)의 마그넷(122)과 내륜 롤러(110)의 마그넷(112)은 실질적으로 동일한 원주각(도 6의 θ)을 가질 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.
간극 유지 부재(130)는 도 5에 도시된 바와 같이 복수의 내륜 롤러(110)와 복수의 외륜 롤러(120) 사이에 위치되어 이들 간극을 유지하는 역할을 한다.
즉, 무부하 상태에서는 내륜 롤러(110)와 외륜 롤러(120) 사이에 인력이 작용하는데, 내륜 롤러(110)와 외륜 롤러(120)는 내륜 롤러(110)와 외륜 롤러(120) 사이의 간극 유지 부재(130)로 일정한 간격을 유지한 상태로 서로 고착된다.
일반적으로, 간극 유지 부재(130)는 베어링으로 구비될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
스토퍼(140)는 기판(100)을 정지시키고자 하는 위치에 배치되어 기판(100)의 위치를 제어한다.
이러한 스토퍼(140)는 복수의 외륜 롤러(120)가 회전하려는 힘보다 큰 고착력을 가지고 있어, 이송 중인 기판(100)이 스토퍼(140)에 닿으면 스토퍼(140)의 고착력에 의해 외륜 롤러(120)의 구동이 멈추게 되고, 이에 따라 기판(100)이 정지하게 된다.
스토퍼(140)는 핀 형태로 구비될 수 있다.
구동 벨트(150)는 복수의 내륜 롤러(110)의 끝단을 걸어 회전 동력을 전달한다. 이를 위한 구동 벨트(150)는 구동 원동력을 공급하는 모터(160)와 연결된다.
구동 벨트(150)는 안정된 균형을 위하여 도시된 바와 같이 복수의 내륜 롤러(110)의 양쪽에 구비될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
이와 같이 구성되는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는 다음과 같은 원리로 동작한다.
도 6은 도 5에 도시된 이송 롤러의 동작 원리를 설명하기 위한 개념도이다.
먼저 모터(160)를 이용하여 구동 벨트(150)를 구동시키면, 기판(100)을 이송하고자 하는 일방향으로 구동 벨트(150)가 움직이게 되고, 이에 따라 복수의 내륜 롤러(110)에 구동력이 전달되면서 일방향으로 회전하게 된다.
이때, 복수의 내륜 롤러(110)의 마그넷(112)과 복수의 외륜 롤러(120)의 마 그넷(122) 사이에 작용하는 고착 인력에 의해 복수의 내륜 롤러(110)가 회전하게 됨에 따라 복수의 외륜 롤러(120)가 동시에 회전하게 된다.
즉, 도 6에 도시된 바와 같이 무부하 상태에서는 내륜 롤러(110)의 마그넷(112)과 외륜 롤러(120)의 마그넷(122) 사이에 인력이 작용하는데, 내륜 롤러(110)와 외륜 롤러(120) 사이의 간극 유지 부재(130)에 의해 일정한 간격을 유지한 상태로 서로 고착되어 있다가 내륜 롤러(110)가 회전하게 되면, 복수의 내륜 롤러(110)의 회전력이 복수의 외륜 롤러(120)에 그대로 전달되어 같은 운동 상태를 유지하게 된다.
따라서, 복수의 내륜 롤러(110)와 함께 복수의 외륜 롤러(120)가 회전하게 되고, 복수의 외륜 롤러(120) 상에 로딩된 기판(100)이 외륜 롤러(120)에 의해 일방향으로 서서히 이송된다.
기판(100)을 반대 방향으로 이송하고자 하는 경우에는 모터(160)를 통한 구동 벨트(150)의 이동 방향을 반대로 제어하면 가능하다.
이때, 기판(100)을 이송함에 있어서, 복수의 외륜 롤러(120)는 복수의 내륜 롤러(110)에 구비된 마그넷(112)에 의해 비접촉으로 회전하게 되고, 간극 유지 부재(130)에 의해 간극을 일정하게 유지할 수 있으므로 기판(100)과의 마찰을 해소하여 파티클 발생 및 파손을 방지할 수 있다.
이와 같은 원리로 기판(100)을 이송하는 중, 스토퍼(140)와 같은 장애물을 만나거나 또는 외력에 의해 저지당하게 되면, 외륜 롤러(120)의 회전은 정지되지만 내륜 롤러(110)의 회전은 구동 벨트(150)의 구동력에 의해 정지되지 않고 그대로 회전 상태를 유지한다.
단, 스토퍼(140)와 같은 장애물이나 외력이 내륜 롤러(110)와 외륜 롤러(120)의 고착 인력보다 커야 한다. 적어도 외륜 롤러(120)가 회전하려는 힘보다는 커야 한다.
이와 같이, 외륜 롤러(120)의 회전이 정지되면 외륜 롤러(120) 상에 로딩된 기판(100)의 이송이 정지됨으로써, 기판(100)의 위치를 외부의 스토퍼(140)나 외력에 의해 제어가 가능하다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기본적으로, 자석을 이용하여 롤러를 회전시키므로 기판(100)을 이송하고자 하는 구동 시스템이 기존보다 비교적 간단하며, 자석에 의한 비접촉식으로 이루어지므로 파티클 발생의 주 요인을 제거할 수 있다.
게다가, 외부의 스토퍼(140)나 외력에 의해 기판(100)의 정지가 가능하므로, 기판(100)의 위치를 제어하기 위한 위치 제어 장치가 불필요하며, 이로 인해 전체적인 시스템을 더욱 간단하게 구성할 수 있다.
또한, 외부의 스토퍼(140)나 외력에 의해 외륜 롤러(120)의 회전이 정지되기 때문에 기판(100)과의 마찰을 해소할 수 있으며, 이로 인해 파티클 발생 여지를 거의 억제할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 자석을 이용하여 비접촉식으로 롤러를 회전시키므로 기판을 이송하고자 하는 구동 시스템이 기존보다 비교적 간단하며, 파티클 발생의 주 요인을 제거할 수 있는 효과가 있다.
또한, 외부의 스토퍼나 외력에 의해 기판의 정지가 가능하므로, 기판의 위치를 제어하기 위한 위치 제어 장치가 불필요하여 전체적인 시스템을 더욱 간단하게 구성할 수 있다.
또한, 외부의 스토퍼나 외력에 의해 외륜 롤러의 회전이 정지되기 때문에 기판과의 마찰을 해소할 수 있어 파티클 발생 여지를 거의 억제할 수 있는 효과가 있다.

Claims (12)

  1. 기판이 이송되는 방향을 향하여 일정 간격으로 나란히 배열되고, 서로 다른 극성을 갖는 마그넷이 링(ring) 형태로 형성된 복수의 내륜(內輪) 롤러;
    상기 각 내륜 롤러의 외측에 서로 다른 극성을 갖는 마그넷이 링 형태로 형성되어지되, 상기 각 내륜 롤러의 마그넷과 마주보게 되는 마그넷은 서로 다른 극성을 갖도록 배치되어 상기 각 내륜 롤러간 인력을 유지하며, 상기 각 내륜 롤러가 회전함에 따라 동시에 회전하여 상기 기판을 이송시키는 복수의 외륜(外輪) 롤러; 및
    상기 복수의 내륜 롤러와 상기 복수의 외륜 롤러 사이에 작용하는 인력보다 큰 고착력을 가져 상기 기판을 정지시키는 스토퍼(stopper)
    를 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 내륜 롤러의 양쪽 끝단을 걸어 회전 동력을 전달하는 구동 벨트를 추가로 포함하는 기판 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 구동 벨트의 구동 원동력을 공급하는 모터를 추가로 포함하는 기판 이송 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 내륜 롤러와 상기 복수의 외륜 롤러 사이에 형성되어 일정 간격을 유지하는 간극 유지 부재
    를 추가로 포함하는 기판 이송 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 내륜 롤러의 상기 마그넷은 코일을 이용한 전자석 또는 영구자석인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 외륜 롤러의 상기 마그넷은 코일을 이용한 전자석 또는 영구 자석인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 내륜 롤러는 서로 다른 극성을 갖는 마그넷이 교번적으로 배열된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 외륜 롤러는 서로 다른 극성을 갖는 마그넷이 교번적으로 배열 된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 내륜 롤러의 상기 마그넷과 상기 복수의 외륜 롤러의 상기 마그넷은 실질적으로 동일한 원주각을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 서로 다른 극성을 갖는 마그넷은 N극 및 S극인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 간극 유지 부재는 베어링인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 스토퍼는 핀 형태로 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
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