KR20090011754A - 기판 반송 장치 - Google Patents

기판 반송 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20090011754A
KR20090011754A KR1020070075668A KR20070075668A KR20090011754A KR 20090011754 A KR20090011754 A KR 20090011754A KR 1020070075668 A KR1020070075668 A KR 1020070075668A KR 20070075668 A KR20070075668 A KR 20070075668A KR 20090011754 A KR20090011754 A KR 20090011754A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
shaft
upper roller
fixing
lower roller
Prior art date
Application number
KR1020070075668A
Other languages
English (en)
Inventor
김병재
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020070075668A priority Critical patent/KR20090011754A/ko
Publication of KR20090011754A publication Critical patent/KR20090011754A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67288—Monitoring of warpage, curvature, damage, defects or the like
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

기판 반송 장치는 구동부, 하부 롤러부 및 상부 롤러부를 포함한다. 구동부는 회전력을 발생시킨다. 하부 롤러부는 구동부로부터 제공되는 회전력을 통해 그 상부에 놓여지는 기판을 반송시킨다. 상부 롤러부는 반송이 이루어지는 기판이 사이에 개재되도록 하부 롤러부의 상부에 배치되고, 처짐을 방지하기 위하여 가운데가 분리된다. 따라서, 상부 롤러부의 처짐을 방지하여 기판의 반송을 안정적으로 수행할 수 있다.

Description

기판 반송 장치{APPARATUS FOR CONVEYING GLASS}
본 발명은 기판 반송 장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 평판표시장치를 제조하기 위한 유리 기판을 공정 상에서 반송시키는 기판 반송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판표시장치는 액정을 이용하는 액정표시장치(LCD), 플라즈마 를 이용하는 플라즈마 표시장치(PDP), 유기 발광 소자를 이용하는 유기 발광 표시장치(OLED) 등을 들 수 있다.
이와 같은 상기 평판표시장치는 실질적으로 영상을 표시하기 위한 표시패널을 포함한다. 상기 표시패널은 유리 기판을 모기판으로 하여 제조된다. 구체적으로, 상기 표시패널은 상기 모기판을 기초로 한 증착 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정 및 검사 공정 등을 통해 제조된다. 이때, 상기 모기판은 상기와 같은 공정들을 수행하기 위하여 별도의 기판 반송 장치를 통해 상기 공정들이 이루어지는 위치로 반송된다.
상기 기판 반송 장치는 구동 모터를 포함하여 회전력을 발생시키는 구동부 및 상기 구동부와 연결되어 상기 회전력을 통해 실질적으로 상기 모기판을 반송하는 하부 롤러부 및 상기 하부 롤러부의 상부에서 상기 모기판의 반송을 보조하는 상부 롤러부를 포함한다.
최근 들어, 상기 평판표시장치가 대형화됨에 따라, 상기 모기판의 사이즈도 커지는 추세에 있다. 이로 인해, 상기 하부 롤러부 및 상기 상부 롤러부의 길이도 길어지고 있다.
그러나, 상기 상부 롤러부의 길이가 길어짐에 따라, 가운데가 상기 모기판의 처지게 되는 등의 이유로, 상기 모기판의 반송이 원활하게 진행되지 않는 문제점을 갖는다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 기판의 사이즈가 커져도 이의 반송을 원활하게 진행시킬 수 있는 기판 반송 장치를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 기판 반송 장치는 구동부, 하부 롤러부 및 상부 롤러부를 포함한다. 상기 구동부는 회전력을 발생시킨다. 상기 하부 롤러부는 상기 구동부로부터 제공되는 회전력을 통해 그 상부에 놓여지는 기판을 반송시킨다. 상기 상부 롤러부는 상기 반송이 이루어지는 기판이 사이에 개재되도록 상기 하부 롤러부의 상부에 배치되고, 처짐을 방지하기 위하여 가운데가 분리된다.
상기 하부 롤러부는 상기 기판이 반송되는 방향에 수직하도록 길게 형성된 제1 샤프트 및 상기 제1 샤프트의 양측부에 형성되면서 상기 기판을 반송시키기 위하여 상기 기판의 하면에 접촉하는 제1 및 제2 메인 반송부를 포함한다.
이에, 상기 상부 롤러부는 상기 제1 메인 반송부가 형성된 위치에서 상기 제1 샤프트와 평행하게 형성된 제2 샤프트 및 상기 제2 샤프트에 상기 제1 메인 반송부와 마주보도록 형성된 제1 서브 반송부를 갖는 제1 상부 롤러부, 및 상기 제2 메인 반송부가 형성된 위치에서 상기 제2 샤프트와 동일한 중심축을 갖도록 형성된 제3 샤프트 및 상기 제3 샤프트에 상기 제2 메인 반송부와 마주보도록 형성된 제2 서브 반송부를 갖는 제2 상부 롤러부를 포함한다.
여기서, 상기 제2 및 제3 샤프트의 사이 거리는 상기 제1 및 제2 서브 반송 부의 사이 거리보다 0.8 내지 1배일 수 있다.
한편, 상기 기판 반송 장치는 상기 하부 롤러부의 양측부를 고정하는 제1 고정부 및 상기 상부 롤러부의 양측부를 고정하는 제2 고정부를 더 포함할 수 있다. 이에, 상기 하부 롤러부는 상기 구동부에 의해 회전할 때 상기 제1 고정부와의 마찰을 감소시키기 위하여 상기 제1 고정부와의 사이에 형성된 제1 베어링부를 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 상부 롤러부는 상기 기판의 반송에 의하여 간접적으로 회전할 때 상기 제2 고정부와의 마찰을 감소시키기 위하여 상기 제2 고정부와의 사이에 형성된 제2 베어링부를 더 포함할 수 있다.
이러한 기판 반송 장치에 따르면, 상부 롤러부를 가운데가 분리되도록 구성하여 기판으로의 처짐을 방지함으로써, 상기 기판의 반송을 원활하게 진행시킬 수 있다.
첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 반송 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 이해하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다.
또한, 제1 및 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 장치를 나타낸 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1의 기판 반송 장치를 위에서 바라본 도면이며, 도 3은 도 1의 기판 반송 장치의 하부 롤러부 및 상부 롤러부의 일부를 나타낸 사시도이다.
도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 장치(1000)는 구동부(100), 하부 롤러부(200) 및 상부 롤러부(300)를 포함한다.
상기 구동부(100)는 회전력을 발생시킨다. 이를 위해, 상기 구동부(100)는 일반적으로, 구동 모터를 포함한다. 예를 들어, 상기 구동부(100)는 정밀 제어가 가능한 서보 모터(servo motor)를 포함할 수도 있고, 단계적 회전이 가능한 인덱스 모터(index motor)를 포함할 수도 있다.
상기 하부 롤러부(200)의 상부에는 기판(10)이 놓여진다. 상기 기판(10)은 일 예로, 평판표시장치의 핵심 구성인 표시패널을 제조하기 위한 유리 기판일 수 있다. 즉, 상기 평판표시장치가 대형화되어 가고 있기 때문에, 상기 기판(10)의 사이즈도 커지고 있다.
상기 하부 롤러부(200)는 상기 기판(10)이 X축을 따라 반송된다면, 상기 X축에 수직한 Y축을 따라 길게 배치된다. 상기 하부 롤러부(200)는 상기 기판(10)의 사이즈가 커짐에 따라, 그 길이 또한 길어진다. 또한, 상기 하부 롤러부(200)는 상기 X축을 따라 일정 간격으로 평행하게 다수개가 배치된다.
상기 하부 롤러부(200)는 상기 구동부(100)와 기계적으로 연결되어 상기 구동부(100)의 회전력을 제공받는다. 상기 하부 롤러부(200)는 상부에 놓여진 상기 기판(10)을 반송시킨다. 상기 하부 롤러부(200)는 상기 Y축을 따라 길게 형성되어 상기 구동부(100)의 회전력이 제공되는 제1 샤프트(210)와 상기 제1 샤프트(210)의 양측부에 형성되어 실질적으로 상기 기판(10)을 반송시키는 제1 및 제2 메인 반송부(220, 230)를 포함한다.
상기 제1 및 제2 메인 반송부(220, 230)는 구체적으로, 상기 기판(10)의 하면 중 상기 X축을 기준으로 그 양측부에 대응되도록 상기 제1 샤프트(210)에 결합된다. 상기 제1 및 제2 메인 반송부(220, 230)는 상기 기판(10)에 직접적으로 접촉 한다. 상기 제1 및 제2 메인 반송부(220, 230)는 상기 제1 샤프트(210)의 회전에 따라 같이 회전한다. 이를 위해, 상기 제1 및 제2 메인 반송부(220, 230)는 상기 제1 샤프트(210)와 일체형을 형성될 수 있다. 이와 달리, 상기 제1 및 제2 메인 반송부(220, 230)는 별도로 제작된 후, 키(key) 또는 로커(locker)를 이용하여 상기 제1 샤프트(210)에 고정될 수 있다.
이로써, 상기 하부 롤러부(200)는 상기 제1 샤프트(210)를 통해 상기 제1 및 제2 메인 반송부(220, 230)를 회전시켜 이와 접촉된 상기 기판(10)을 반송시킬 수 있다. 이때, 상기 제1 및 제2 메인 반송부(220, 230)는 상기 기판(10)과의 미끄러짐을 방지하기 위하여 그 둘레에 고무와 같이 마찰 계수가 높은 재질의 제1 링(240)이 결합된다. 여기서, 상기 제1 링(240)은 상기 기판(10)과의 접촉면을 평평하게 형성시켜 그 마찰력을 극대화시킬 수 있다.
또한, 상기 하부 롤러부(200)는 상기 제1 및 제2 메인 반송부(220, 230) 사이에서 상기 기판(10)이 처질 수 있으므로, 이를 방지하기 위하여 상기 기판 지지부(250)를 더 포함할 수 있다. 상기 기판 지지부(250)는 상기 제1 샤프트(210)에 결합된다. 하지만, 상기 기판 지지부(250)는 실질적으로, 상기 기판(10)을 반송시킬 필요는 없으므로, 상기 제1 샤프트(210)의 회전에 따라 같이 회전할 필요성은 없다.
상기 상부 롤러부(300)는 반송되는 상기 기판(10)이 사이에 개재되도록 상기 하부 롤러부(200)의 상부에 배치된다. 상기 상부 롤러부(300)는 상기 하부 롤러부(200)가 상기 기판(10)을 반송을 보조한다. 예를 들어, 상기 상부 롤러부(300)는 반송 도중 상기 기판(10)의 흔들리거나, 그 반송 방향이 틀어지는 것을 방지할 수 있다.
상기 상부 롤러부(300)는 가운데가 분리된 구조를 갖는다. 즉, 상기 상부 롤러부(300)는 상기 X축을 기준으로 반송되는 상기 기판(10)의 양측에 배치된 제1 및 제2 상부 롤러부(310, 360)를 포함한다. 이와 같은 상기 상부 롤러부(300)는 상기 X축을 따라 보았을 때, 그 효율면에서 상기 하부 롤러부(200)의 일정한 개수마다 하나씩 배치될 수 있다. 이와 달리, 상기 기판(10)의 사이즈가 매우 클 경우, 상기 하부 롤러부(200)에 일대일로 대응해서 배치될 수 있다. 또한, 상기 제1 및 제2 상부 롤러부(310, 360)는 상기 기판(10)의 원활한 반송을 위하여 동일한 중심축을 갖는다.
상기 제1 상부 롤러부(310)는 실질적으로 상기 제1 메인 반송부(220)에 대응하는 위치에 배치된다. 즉, 상기 제1 상부 롤러부(310)는 상기 Y축을 따라 상기 제1 샤프트(210)보다 짧게 형성된 제2 샤프트(320) 및 상기 제2 샤프트(320)에 상기 제1 메인 반송부(220)와 마주보도록 형성된 제1 서브 반송부(330)를 포함한다.
상기 제1 서브 반송부(330)는 상기 제1 메인 반송부(220)에 보조적인 역할을 한다는 것을 제외하고는 동일한 구성을 갖는다. 즉, 상기 제1 서브 반송부(330)는 상기 기판(10)과의 마찰력을 극대화시키기 위하여 제2 링(340)을 포함한다.
여기서, 상기 제2 샤프트(320)는 실질적으로, 상기 제1 상부 롤러부(310)의 기능 상 상기 제1 메인 반송부(220)를 통한 상기 기판(10)의 반송에 보조적인 역할만 하면 되므로, 외측으로부터 상기 제1 서브 반송부(330) 위치까지 연장된다. 한 편, 상기 제2 샤프트(320)는 상기 제1 서브 반송부(330)가 외부로 빠지는 것을 고려하여 상기 제1 서브 반송부(330)보다 조금 더 연장되도록 형성될 수 있다.
상기 제2 상부 롤러부(360)는 실질적으로 상기 제2 메인 반송부(230)에 대응하는 위치에 배치된다. 즉, 상기 제2 상부 롤러부(360)는 상기 Y축을 따라 상기 제2 샤프트(320)와 동일한 중심축을 가지면서 그 형상 또한 동일하게 형성된 제3 샤프트(370) 및 상기 제3 샤프트(370)에 상기 제2 메인 반송부(230)와 마주보도록 형성된 제2 서브 반송부(380)를 포함한다.
여기서, 상기 제2 및 제3 샤프트(320, 370)의 사이 거리는 상기 제2 및 제2 샤프트(320, 370)가 외측으로부터 상기 제1 및 제2 서브 반송부(330, 380)까지 연장되거나, 그보다 조금 연장된 것을 고려하여 상기 제1 및 제2 서브 반송부(330, 380)의 사이 거리보다 0.8 내지 1배일 수 있다.
이하, 상기 제2 상부 롤러부(360)는 상기 제1 상부 롤러부(310)와 대칭적인 구조를 갖는 것을 제외하고는 상기 제1 상부 롤러부(310)와 동일한 구성을 가지므로, 그 중복되는 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이와 같이, 상기 상부 롤러부(300)의 가운데가 분리되어 상기 제1 및 제2 상부 롤러부(310, 360)로 구성됨으로써, 상기 기판(10)의 사이즈가 커짐에 따라 처질 수 있는 가능성을 배제시킬 수 있다. 즉, 상기 제1 및 제2 상부 롤러부(310, 360)의 중심축이 상기 처짐으로 인해 변경되는 것을 방지할 수 있다.
결과적으로, 상기 제1 및 제2 상부 롤러부(310, 360)의 중심축을 항상 상기 기판(10)과 평행하게 유지시킴으로써, 상기 기판(10)을 원활하게 진행시킬 수 있 다.
또한, 상기 상부 롤러부(300)의 가운데가 제거됨으로써, 이를 제작하기 위한 자재 비용을 절감할 수 있다. 한편, 상기 제1 및 제2 상부 롤러부(310, 360)는 상기 기판(10)의 사이즈가 변동될 때 그 형성 위치만 변경시키면 되므로, 호환적으로 사용할 수 있다.
도 4는 도 1의 기판 반송 장치의 하부 롤러부 및 상부 롤러부의 위치를 확대하여 구동부를 구체적으로 나타낸 도면이고, 도 5는 도 4의 하부 롤러부 및 상부 롤러부를 옆에서 바라본 도면이다.
도 3, 도 4 및 도 5를 참조하면, 하부 롤러부(200)는 구동부(100)와 기어 결합을 통해 회전력을 제공받는다.
구체적으로, 상기 구동부(100)는 구동 모터(110) 및 상기 구동 모터(110)로부터 발생된 회전력에 의해 실질적으로 회전하는 구동 축(120)을 포함한다. 이에, 상기 하부 롤러부(200)는 상기 구동 축(120)에 연결된 제1 기어(400)와 그 단부에 고정되면서 상기 제1 기어(400)와 기계적으로 연결된 제2 기어(500)를 통해 회전한다. 여기서, 상기 제1 및 제2 기어(400, 500)는 서로 톱니에 의해 회전력을 인가하는 스퍼 기어(spur gear)일 수 있다.
상기 구동부(100)는 상기 하부 롤러부(200)의 하부에 배치된다. 구체적으로, 상기 구동부(100)는 기판 반송 장치(1000)가 커지는 것을 방지하기 위하여 상기 하부 롤러부(200)의 안쪽으로 형성될 수 있다.
한편, 상기 기판 반송 장치(1000)는 상기 하부 롤러부(200)의 양측에서 이를 지지하면서 외부 프레임(20)에 고정시키기 위한 제1 고정부(600)를 더 포함한다. 이에, 상기 하부 롤러부(200)는 상기 제1 고정부(600)와의 사이에서 그 회전에 의해 발생될 수 있는 마찰을 최소화하기 위하여 그 사이에 형성된 제1 베어링부(260)를 포함한다.
상기 제1 베어링부(260)는 실질적으로 회전에 따른 마찰을 감소시키기 위한 볼 베어링(ball bearing)으로 이루어질 수 있다. 이와 달리, 상기 제1 베어링부(260)는 상기 제1 고정부(600)와 일체형으로 형성되어 중심축의 변동에 유동적으로 대응할 수 있는 조심형 베어링으로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 기판 반송 장치(1000)는 상기 상부 롤러부(300)의 양측에서 이를 지지하면서 외부 프레임(20)에 고정시키기 위한 제2 고정부(700)를 더 포함한다. 이에, 상기 상부 롤러부(300)도 상기 제2 고정부(700)와의 사이에서 상기 기판(10)의 반송에 의하여 간접적으로 회전할 때 발생될 수 있는 마찰을 최소화하기 위하여 그 사이에 형성된 제2 베어링부(350)를 포함한다. 한편, 도 3에서는 제1 상부 롤러부(310)만 구체적으로 도시하여 이를 설명하였지만, 실질적으로는 제2 상부 롤러부(360)도 동일한 구성을 갖는다. 또한, 상기 제2 고정부(700) 및 상기 제2 베어링부(350)는 상기 제1 고정부(600) 및 상기 제1 베어링부(260)와 실질적으로, 동일할 수 있으므로, 그 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이와 같이, 상기 구동부(100)가 상기 하부 롤러부(200)만 회전시킴으로써, 상기 상부 롤러부(300)로 같이 회전시킬 경우보다 에너지 효율면에서 더 유리할 수 있다.
이와 같은 기판 반송 장치에 따르면, 상부 롤러부의 가운데를 분리하여 그 처짐을 방지함으로써, 상기 처짐으로 인하여 상기 상부 롤러부의 중심축이 변경되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 제1 및 제2 상부 롤러부로 구성된 상기 상부 롤러부의 중심축을 항상 기판과 평행하게 유지시킴으로써, 상기 기판을 원활하게 반송시킬 수 있다.
또한, 상기 상부 롤러부의 가운데가 제거됨으로써, 이를 제작하기 위한 자재 비용을 절감할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 장치를 나타낸 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1의 기판 반송 장치를 위에서 바라본 도면이다.
도 3은 도 1의 기판 반송 장치의 하부 롤러부 및 상부 롤러부의 일부를 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 1의 기판 반송 장치의 하부 롤러부 및 상부 롤러부의 위치를 확대하여 구동부를 구체적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4의 하부 롤러부 및 상부 롤러부를 옆에서 바라본 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 기판 100 : 구동부
200 : 하부 롤러부 220 : 제1 메인 반송부
230 : 제2 메인 반송부 260 : 제1 베어링부
300 : 상부 롤러부 310 : 제1 상부 롤러부
330 : 제1 서브 반송부 350 : 제2 베어링부
360 : 제2 상부 롤러부 380 : 제2 서브 반송부
1000 : 기판 반송 장치

Claims (5)

  1. 회전력을 발생시키는 구동부;
    상기 구동부로부터 제공되는 회전력을 통해 그 상부에 놓여지는 기판을 반송시키는 하부 롤러부; 및
    상기 반송이 이루어지는 기판이 사이에 개재되도록 상기 하부 롤러부의 상부에 배치되고, 처짐을 방지하기 위하여 가운데가 분리된 상부 롤러부를 포함하는 기판 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 하부 롤러부는
    상기 기판이 반송되는 방향에 수직하도록 길게 형성된 제1 샤프트; 및
    상기 제1 샤프트의 양측부에 형성되면서 상기 기판을 반송시키기 위하여 상기 기판의 하면에 접촉하는 제1 및 제2 메인 반송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 상부 롤러부는
    상기 제1 메인 반송부가 형성된 위치에서 상기 제1 샤프트와 평행하게 형성된 제2 샤프트 및 상기 제2 샤프트에 상기 제1 메인 반송부와 마주보도록 형성된 제1 서브 반송부를 갖는 제1 상부 롤러부; 및
    상기 제2 메인 반송부가 형성된 위치에서 상기 제2 샤프트와 동일한 중심축 을 갖도록 형성된 제3 샤프트 및 상기 제3 샤프트에 상기 제2 메인 반송부와 마주보도록 형성된 제2 서브 반송부를 갖는 제2 상부 롤러부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제2 및 제3 샤프트의 사이 거리는 상기 제1 및 제2 서브 반송부의 사이 거리보다 0.8 내지 1배인 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 하부 롤러부의 양측부를 고정하는 제1 고정부; 및
    상기 상부 롤러부의 양측부를 고정하는 제2 고정부를 더 포함하고,
    상기 하부 롤러부는 상기 구동부에 의해 회전할 때 상기 제1 고정부와의 마찰을 감소시키기 위하여 상기 제1 고정부와의 사이에 형성된 제1 베어링부를 더 포함하고, 상기 상부 롤러부는 상기 기판의 반송에 의하여 간접적으로 회전할 때 상기 제2 고정부와의 마찰을 감소시키기 위하여 상기 제2 고정부와의 사이에 형성된 제2 베어링부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
KR1020070075668A 2007-07-27 2007-07-27 기판 반송 장치 KR20090011754A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070075668A KR20090011754A (ko) 2007-07-27 2007-07-27 기판 반송 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070075668A KR20090011754A (ko) 2007-07-27 2007-07-27 기판 반송 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20090011754A true KR20090011754A (ko) 2009-02-02

Family

ID=40682842

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070075668A KR20090011754A (ko) 2007-07-27 2007-07-27 기판 반송 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20090011754A (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101066979B1 (ko) * 2009-06-23 2011-09-23 주식회사 에스에프에이 스퍼터 장치
KR101234960B1 (ko) * 2010-08-09 2013-02-19 김규환 평판 물체를 수평 반송하기 위한 운반 시스템 및 이를 이용한 인라인 디핑 구축 방법
KR20130051645A (ko) * 2011-11-10 2013-05-21 세메스 주식회사 기판 이송 장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101066979B1 (ko) * 2009-06-23 2011-09-23 주식회사 에스에프에이 스퍼터 장치
KR101234960B1 (ko) * 2010-08-09 2013-02-19 김규환 평판 물체를 수평 반송하기 위한 운반 시스템 및 이를 이용한 인라인 디핑 구축 방법
KR20130051645A (ko) * 2011-11-10 2013-05-21 세메스 주식회사 기판 이송 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20100081153A (ko) 이송 시스템
JP2008273687A (ja) 平板状基材の搬送装置
KR20090011754A (ko) 기판 반송 장치
TWI415210B (zh) Substrate transfer apparatus and method, and a substrate manufacturing apparatus having the same
KR100560959B1 (ko) 기판이송축의 처짐방지용 마그네트 베어링이 구비된기판반송장치
KR20110063016A (ko) 기판 이송 장치
KR101071268B1 (ko) 기판 이송 장치
KR20070121977A (ko) 기판 반송장치
KR20080022377A (ko) 기판이송장치
KR101116654B1 (ko) 기판 이송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR20090047603A (ko) 기판 반송 장치
JP4976358B2 (ja) 基板乾燥装置
JP2008265995A (ja) 基板搬送装置及びこれを用いた基板処理装置
KR20090043693A (ko) 기판 이송 장치
KR20100093891A (ko) 기판 이송 장치
KR101040696B1 (ko) 기판 이송 장치
KR101000494B1 (ko) 이송장치
KR20080082137A (ko) 기판 반송장치 및 기판처리방법
JP2009176858A (ja) 基板受渡装置
KR100977741B1 (ko) 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR101904892B1 (ko) 대면적 기판의 이송장치
KR101040695B1 (ko) 기판 이송 장치
KR100586187B1 (ko) 마그네트 베어링이 구비된 기판이송장치
KR20120110789A (ko) 백래쉬 측정장치
KR20100027455A (ko) 기판 이송 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E601 Decision to refuse application