KR101071268B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

Abstract

기판 이송 장치는 경사각을 갖도록 배치된 평판형 기판을 지지하여 이송하기 위한 이송 벨트와, 이송 벨트와 연결되며 기판을 이송하기 위하여 이송 벨트를 회전시키는 구동 풀리들과, 구동 풀리들과 연결되며 이송 벨트를 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부 및 이송 벨트에 의해 지지된 기판의 일평면 방향에 배치되어 기판의 이송 중에 기판이 쓰러지지 않도록 지지하는 아이들 롤러들(idle rollers)을 포함한다. 따라서 기판을 고경사각을 갖는 상태로 이송할 수 있다.

Description

기판 이송 장치{Apparatus for transferring a substrate}

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판형 기판이 경사각을 갖는 상태로 상기 기판을 이송하기 위한 장치에 관한 것이다.

일반적으로 처리된 정보의 표시를 위해 평판 디스플레이 장치가 널리 사용되고 있으며, 평판 디스플레이 장치의 대표적인 예로는 액정 표시 장치(LCD), 플라즈마 표시 장치(PDP), 유기 발광 표시 장치(OLED) 등을 들 수 있다.

이러한 평판 디스플레이 장치는 평판형 기판을 대상으로 상기 평판형 기판 상에 회로 패턴을 형성하기 위한 증착 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정, 검사 공정 등의 단위 공정들을 반복적으로 수행하여 제조된다.

상기 단위 공정들 중 식각 공정, 세정 공정 등은 액상의 처리 물질을 이용하여 상기 평판형 기판을 처리하게 된다. 이처럼 액상의 처리 물질을 이용하여 평판형 기판을 처리하는 경우 상기 평판형 기판을 소정 각도(약 6ㅀ각도)로 경사지도록 배치하여 이송하면서 처리 공정을 수행하는 방식이 일반적으로 사용된다. 즉, 상기 평판형 기판을 이송하기 위한 회전축들 및 회전 롤러들을 기울어지도록 배치하여 상기 평판형 기판이 기울어진 상태에서 이송되면서 상기 평판형 기판에 대한 처리 공정을 수행한다.

최근에는 디스플레이 장치의 대형화 요구에 의해 상기 평판형 기판의 면적이 점차 증가됨에 따라 상기 기판의 처리 공정 설비의 크기도 점차 증가되고 있다. 따라서 상기 기판 처리 설비의 설치 공간 확대에 다른 클린룸의 공간 사용 효율이 감소될 수 있다. 이에, 상기 클린룸의 공간 사용 효율을 증대시키기 위하여 상기 기판 처리 설비가 차지하는 면적을 감소시키기 위한 방안으로 상기 기판의 경사도를 증가시킬 수 있다.

하지만, 현재 적용되고 있는 롤러 방식의 기판 이송으로는 상기 기판의 경사도를 증가시키는데 한계가 있다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 일 과제는 평판형 기판의 이송에서 기판의 경사도를 증가시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위해 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 상기 이송 벨트는 경사각을 갖도록 배치된 평판형 기판을 지지하여 이송하기 위한 이송 벨트와, 상기 이송 벨트와 연결되며 상기 기판을 이송하기 위하여 상기 이송 벨트를 회전시키는 구동 풀리들과, 상기 구동 풀리들과 연결되며 상기 이송 벨트를 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부와, 상기 이송 벨트에 의해 지지된 기판의 일평면 방향에 배치되어 상기 기판의 이송 중에 상기 기판의 쓰러지지 않도록 지지하는 아이들 롤러들(idle rollers)을 포함할 수 있다.

여기서, 일 실시예에 따르면 상기 이송 벨트에는 상기 기판의 안정적 지지를 위해 상기 기판이 지지되는 벨트 바깥면에 상기 회전 방향을 따라서 형성된 슬릿 형태의 안착홈이 구비될 수 있다.

다른 실시예에 따르면, 상기 구동 풀리들의 외주면 양측 부위들에는 상기 이송 벨트가 이탈되는 것을 방지하기 위한 가이드 부재가 구비될 수 있다.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 이송 벨트는 동기 구동을 위해 벨트 안쪽면에 볼록 패턴 또는 오목 패턴으로 형성되는 제1 동기 패턴이 구비되며, 상기 구동 풀리들은 외주면에 상기 제1 동기 패턴에 대응하는 제2 동기 패턴이 구비될 수 있 다.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 기판 이송 장치는 상기 구동 풀리들의 양쪽 측방에 배치되어 상기 이송 벨트의 안쪽에 연결되며 상기 이송 벨트의 장력을 조절하기 위한 아이들 풀리들(idle pulleys)을 더 포함할 수 있다.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 기판이 갖는 상기 경사각의 범위는 60°내지 80°일 수 있다.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 구동부는 상기 회전력을 제공하는 동력 제공부와, 상기 동력 제공부와 상기 구동 풀리들 사이에 연결되어 상기 회전력을 전달하는 동력 전달부를 포함할 수 있다.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 동력 전달부는 제1 동력 전달부 및 제2 동력 전달부를 포함할 수 있다. 상기 제1 동력 전달부는 상기 동력 제공부와 연결된 타이밍 벨트와, 상기 타이밍 벨트와 연결된 다수의 구동 기어들과, 상기 구동 기어들과 결합된 다수의 제1 구동축들과, 상기 제1 구동축들의 단부들에 배치되며 영구 자석들을 포함하는 제1 마그네틱 기어들을 포함할 수 있다. 상기 제2 동력 전달부는 상기 제1 마그네틱 기어들과 각각 마주하여 배치되며 영구 자석들을 포함하는 제2 마그네틱 기어들과, 상기 제2 마그네틱 기어들과 상기 구동 풀리들 사이를 연결하는 제2 구동축들을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제1 및 제2 동력 전달부들 사이에서의 회전력 전달은 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들의 영구 자석들 사이에서 작용하는 자기력에 의해 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들은 상기 기판의 처리를 위한 챔버의 일 측벽을 사이에 두고 서로 마주하여 배치될 수 있다.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 구동 풀리들은 상기 이송 벨트가 상기 경사각에 대해 수직하게 배치되도록 상기 경사각에 대해 수직한 방향의 회전축을 가질 수 있다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 대면적을 갖는 차세대 평판형 기판의 처리를 위하여 상기 기판을 이송 벨트를 이용하여 고경사각을 갖는 상태로 이송함으로써 상기 기판의 처리를 위한 설비 면적을 크게 감소시킬 수 있다.

또한 상기 기판 이송 장치는 기판을 고경사 상태로 이송함에 따라 상기 기판의 처리 설비 면적을 감소 시킬 수 있으며, 이를 통해서 상기 기판 처리 설비가 설치되는 클린룸의 공간 사용 효율을 크게 향상시킬 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치에 대하여 상세히 설명한다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하 였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 발명의 명확성을 기하기 위해 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 설명하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

실시예

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 측면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 구동부를 설명하기 위한 개략적인 도면이며, 도 4는 도 1에 도시된 이송 벨트를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 유리 기판과 같은 평판형 기판(G)에 대한 처리 공정에서 상기 기판(G)을 일 방향으로 이송하기 위하여 사용될 수 있다.

상기 평판형 처리 공정의 예로는 기판(G) 상의 막 또는 불순물을 제거하기 위한 식각 공정, 기판(G) 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 식각 또는 세정 후 기판(G)을 린스 처리하기 위한 린스 공정, 기판(G)을 건조시키기 위한 건조 공정 등이 있다. 도시되지는 않았으나, 상기와 같은 처리 공정을 수행하기 위하여, 상기 기판 이송 장치(100)에 의해 이송되는 기판의 전면 및/또는 후면과 마주하는 위치에는 상기 기판(G)의 처리를 위한 약액 또는 처리 가스 등을 제공하는 노즐들, 에어 나이프(air knife) 또는 샤워 나이프(shower knife) 등이 배치될 수 있다.

상기 기판 이송 장치(100)는 상기 기판(G)을 경사각을 갖는 상태로 지지하여 일 방향으로 이송하기 위한 이송 벨트(110)와, 상기 기판(G)을 이송하기 위하여 상기 이송 벨트(110)를 회전시키는 구동 풀리들(120)과, 상기 구동 풀리들(120)과 연결되며 상기 이송 벨트(110)를 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부(130), 그리고 이송 벨트(110)에 의해 지지된 기판(G)을 쓰러지지 않도록 지지하기 위한 아이들 롤러들(160)을 포함할 수 있다.

상기 이송 벨트(110)는 상기 기판(G)을 처리하기 위한 챔버(102) 내에 배치되다. 상기 이송 벨트(110)는 경사각을 갖는 상태로 배치된 기판(G)을 지지하며, 상기 이송 벨트(110)는 회전을 통해 상기 경사각을 갖는 상태로 기판(G)을 이송하게 된다. 따라서 상기 기판(G)은 상기 이송 벨트(110)의 길이 방향으로 배치되며, 기판(G)의 이송 방향은 상기 이송 벨트(110)의 회전 방향이 된다.

상기 이송 벨트(110)는 단면이 평면 또는 브이 형상을 가질 수 있으나, 이에 한정되는 않고 다양한 형상을 가질 수 있다. 다만, 상기 기판(G)의 지지를 위해 상기 이송 벨트(110)의 바깥면이 평면 형태를 갖는 것이 바람직할 것이다. 또한, 상기 이송 벨트(110)는 기판(G)이 지지되는 바깥면에 회전 방향(예컨대 벨트의 길이 방향)을 따라서 형성된 슬릿 형태의 안착홈(112)을 가질 수 있다. 상기 안착홈(112)은 상기 기판(G)의 두께에 대응하는 폭을 가지며, 상기 기판(G)의 두께보다 조금 더 큰 폭을 가질 수 있다. 상기 안착홈(112)은 상기 이송 벨트(110)의 폭 중앙 부위에 형성되는데, 이는 상기 안착홈(112)을 통해 기판(G)이 지지됐을 때 기판(G)으로부터 가해지는 하중에 의해 편심이 발생하지 않도록 하기 위해서이다. 이와 달리, 상기 안착홈(112)은 상기 이송 벨트(110)의 폭 내에서 일측에 치우치도록 형성될 수 있다.

한편, 상기 이송 벨트(110)는 상기 기판(G)의 경사각에 대해 수직한 회전축을 갖도록 배치될 수 있을 것이다. 이는 상기 기판(G)이 경사각을 갖는 상태로 이송 벨트(110)에 지지되므로, 기판(G)을 보다 안정적으로 지지하기 위해서이다. 즉, 이송 벨트(110)와 기판(G)이 서로 수직하게 배치됨으로써, 기판(G)을 보다 안정적으로 지지할 수 있다. 이와 달리, 상기 이송 벨트(110)는 수평 회전축을 갖도록 배치되고, 상기 이송 벨트(110)의 상면에 대해 기판(G)이 경사각을 갖도록 지지되어 이송될 수 있다.

상기 구동 풀리들(120)은 상기 이송 벨트(110)와 함께 챔버(102) 내에 배치되며, 상기 이송 벨트(110)와 연동하도록 구성된다. 예컨대, 상기 구동 풀리들(120)의 외주면에 이송 벨트(110)가 걸리게 되며, 구동 풀리들(120)과 이송 벨트(110) 사이의 마찰력으로 이송 벨트(110)를 회전시킨다. 상기 구동 풀리들(120)에는 외주면 양측 부위들에 상기 이송 벨트(110)가 회전 도중에 미끄러져 이탈하는 것을 방지하기 위해 가이드 부재(122)가 구비된다. 상기 가이드 부재(122)의 직경은 상기 구동 풀리들(120)의 중앙 부위의 직경보다 큰 직경을 가지며, 상기 이송 벨트(110)를 양측에서 커버하는 구조를 갖는다. 상기 구동 풀리들(120)은 상기 기판(G)의 경사각에 대해 수직한 회전축을 갖도록 배치될 수 있으며, 이를 통해서 상기 이송 벨트(120)가 상기 기판(G)이 갖는 경사각에 대해 수직한 회전축을 갖도록 한다.

상기 구동부(140)는 상기 회전력을 발생시키는 동력 제공부(150)와 상기 회전력을 전달하는 동력 전달부(160)를 포함할 수 있다.

상기 동력 제공부(150)는 회전력을 제공하는 모터(미도시)와 상기 모터의 회전력 및 회전 속도 등을 조절하기 위한 감속기(미도시)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 모터(미도시)에 의해 회전하는 피니언 기어(151)를 포함할 수 있다.

상기 동력 전달부(160)는 상기 챔버(102)의 외부에 배치되는 제1 동력 전달부(170)와 상기 챔버(102) 내부에 배치되는 제2 동력 전달부(180)를 포함할 수 있다.

상기 제1 동력 전달부(170)는 타이밍 벨트(171)와 다수의 구동 기어들(172)을 포함할 수 있다. 상기 구동 기어들(172)은 상기 기판(G)의 이송 방향과 평행하게 배열되며, 제1 구동축들(173)과 결합된다. 상기 제1 구동축들(173)은 상기 챔버(102) 외측에서 제1 지지부재(174)에 의해 지지된다. 상기 제1 지지부재(174)는 상기 챔버(102)의 일측 벽(102a)에 장착된 브래킷(미도시) 상에 배치될 수 있으며, 상기 제1 구동축들(173)의 원활한 회전을 위하여 다양한 형태의 베어링들을 포함할 수 있다.

상기 타이밍 벨트(171)는 상기 동력 제공부(150)의 피니언 기어(151)와 상기 구동 기어들(172)을 연결함으로써 상기 회전력을 상기 제1 구동축들(173) 모두에 일정하게 전달할 수 있다.

상기 제1 구동 기어들(172) 사이에는 상기 회전력의 전달 효율을 향상시키기 위한 제1 아이들 기어들(idle gears, 175)이 배치될 수 있으며, 상기 동력 제공부(150)의 피니언 기어(151)와 인접하는 위치에는 상기 타이밍 벨트(171)의 장력을 조절하기 위한 제2 아이들 기어(176, 도 3 참조)가 배치될 수 있다.

한편, 상기 제1 구동축들(173)은 상기 챔버(102)의 일 측벽(102a)을 향하여 연장하며, 상기 제1 구동축들(173)의 단부들에는 제1 마그네틱 기어들(177)이 각각 결합된다.

상기 제2 동력 전달부(180)는 상기 제1 마그네틱 기어들(177)과 각각 마주하여 배치되는 제2 마그네틱 기어들(181)과, 상기 제2 마그네틱 기어들(181)과 상기 구동 풀리들(120) 사이를 연결하는 제2 구동축들(182)을 포함할 수 있다.

상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들(177, 181)은 각각 다수의 영구 자석들을 포함하며, 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들(177, 181) 사이에서 상기 영구 자석들에 의해 작용하는 자기력에 의해 회전력 전달이 이루어진다. 구체적으로, 각각의 제1 및 제2 마그네틱 기어들(177, 181)은 자체의 중심에 대하여 방사상으로 배치되는 다수의 영구 자석들을 포함하며, 상기 자석들은 원주 방향으로 극성이 번갈아 바뀌도록 배치된다.

또한, 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들(177, 181)은 상기 챔버(102)의 일 측벽을 사이에 두고 서로 마주하며, 상기 챔버(102)의 일 측벽으로부터 소정 간격 이격되어 배치되므로, 상기 동력 제공부(150) 및 제1 동력 전달부(180)의 구동에 의해 발생되는 진동이 이송 벨트(110) 전달되는 것을 방지할 수 있다.

결과적으로, 상기 동력 제공부(150)로부터 제공되는 회전력은 타이밍 벨트(171), 구동 기어들(172), 제1 구동축들(173), 제1 마그네틱 기어들(177), 제2 마그네틱 기어들(181), 제2 구동축들(182) 및 구동 풀리들(120)을 통해 상기 이송 벨트(110)로 전달된다. 상기와 같이 동력 제공부(150)로부터 상기 회전력이 각각의 구동 풀리들(120) 모두에 균일하게 전달될 수 있으므로, 상기 이송 벨트(110)는 원활하게 회전하게 된다.

상기 제2 구동축들(182)은 상기 챔버(102) 내에 구비되는 제2 지지부재 들(183)에 의해 지지될 수 있으며, 상기 제2 지지부재들(183)은 상기 제2 구동축들(182)의 원활한 회전을 위하여 다양한 형태의 베어링들을 포함할 수 있다. 여기서, 제2 구동축들(182)은 상기 구동 풀리들(120)의 회전축으로 기능하며, 앞서 언급한 바 있듯이 경사각을 갖는다. 상기 제2 구동축들(182)이 갖는 경사각은 상기 기판(G)이 갖는 경사각과 수직을 이룬다. 따라서, 상기 제2 지지부재(183)들은 상기 제2 구동축들(182)을 경사진 상태로 지지한다.

도 4를 참조하면, 상기 구동 풀리들(120)은 이송 벨트(110)가 기판(G)의 이송 방향으로 연장하는 형태가 되도록 상기 기판(G)의 이송 방향을 따라서 일렬로 배치된다. 특히, 이송 벨트(110)의 높이가 동일할 수 있도록 상기 구동 풀리들(120)은 동일 높이로 배치된다.

상기 기판(G)의 이송 방향으로 구동 풀리들(120)의 양측 부위들에는 상기 이송 벨트(110)의 장력 조절 및 정숙한 운전을 목적으로 다수의 아이들 풀리들(124)이 배치될 수 있다. 도시된 바에 의하면, 상기 구동 풀리들(120)보다 작은 직경을 갖는 다수의 아이들 풀리들(124)이 상기 구동 풀리들(120)의 양측 부위들에 배치되어 있으나, 상기 아이들 풀리들(124)의 크기는 다양하게 변화될 수 있다.

예를 들면, 상기 구동 풀리들(120)의 양측 부위에는 상기 구동 풀리들(120)보다 큰 직경을 갖는 한 쌍의 아이들 풀리들이 각각 배치될 수도 있다. 또한, 상기 각각의 아이들 풀리들은 상기 구동 풀리들(120)과 동일한 크기를 가질 수도 있으며, 상기 구동 풀리들(120)과 유사한 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 아이들 풀리들(124)은 상기 구동 풀리들(120)들과 마찬가지로, 외주면 양측 부위들에 상기 이송 벨트(110)가 이탈되는 것을 방지하기 위한 가이드가 구비될 수 있다. 또한, 상기 아이들 풀리들(124)의 배치 개수는 다양하게 변경 가능하며, 상기 구동 풀리들(120)의 하부 및 상기 구동 풀리들(120)의 사이 등 배치 위치도 다양하게 변화될 수 있다.

도 3을 참조하면, 상기 아이들 롤러(130)들은 상기 기판(G)이 기설정된 경사각을 갖도록 배치된 상태에서 상기 이송 벨트(110)에 지지되어 이송될 때 상기 기판(G)이 쓰러지지 않고 상기 경사각을 유지할 수 있도록 상기 기판(G)의 지지하는 역할을 한다. 따라서, 상기 아이들 롤러들(130)은 상기 경사각을 갖는 기판(G)의 일평면 방향에 배치되며, 상기 기판(G)의 이송 방향과 수직한 방향의 회전축을 갖는다. 이에, 상기 아이들 롤러들(130)은 상기 기판(G)의 이송 방향과 수직한 방향으로 연장하며, 상기 기판(G)이 갖는 경사각과 동일한 경사각을 가는 샤프트들(132)에 구비되는 구조를 가질 수 있다. 상기 샤프트들(132)은 상기 기판(G)과 평행 배치되며, 샤프트들(132) 각각에는 길이 방향을 따라서 다수의 아이들 롤러(130)들이 구비될 수 있다. 또한, 상기 샤프트들(132)은 기판(G)의 이송 방향으로 상호 평행하게 동일 간격으로 배치될 수 있다.

이와 달리, 상기 아이들 롤러들(130)은 각각 브래킷(미도시)에 의해 회전 가능하게 지지될 수 있다. 상기 아이들 롤러들(130)을 지지하기 위한 구성(예컨대 샤프트 또는 브래킷)은 예를 들어 상기 챔버(102)의 일측벽에 설치될 수 있다.

상기 아이들 롤러(130)들에 의해 상기 기판(G)이 이송 중에 갖게되는 상기 경사각은 약 60° 내지 80°인 것이 바람직하다. 상기 기판(G)의 경사각이 약 60° 미만인 경우, 상기 아이들 롤러들(130)에 작용되는 기판(G)의 하중이 증가될 수 있으며, 이 경우 대면적 기판(G)의 지지하기 위해서는 매우 많은 수량의 아이들 롤러들(1300)이 요구된다. 또한, 종래의 수평 이송에 비하여 공간 효율 측면에서 그다지 큰 효과를 거둘 수 없게되어 바람직하지 못하다. 그러나, 상기 기판(G)의 경사각이 60° 미만인 경우에도 본 발명의 기술적 범위에 해당될 수 있음은 자명하다.

이와 같이, 상기 기판 이송 장치(100)는 구동부(140)의 회전력에 의해 회전하는 구동 풀리들(120)이 이송 벨트(110)를 회전시켜 상기 이송 벨트(110)에 기설정된 경사각을 갖도록 배치된 기판(G)을 이송하게 된다. 이 때, 기판(G)은 60°내지 80°의 경사각을 갖게 되며, 상기 경사각을 갖는 기판(G)은 아이들 롤러들(130)에 의해 쓰러지지 않고 상기 경사각을 유지하면서 이송된다.

한편, 상기 구동부(140)는 챔버(102)의 일측벽(102a)을 사이에 두고 서로 마주보게 배치되는 제1 및 제2 마그네틱 기어들(177, 181)들을 이용하여 비접촉 방식으로 동력을 전달하는 것으로 설명하였다. 하지만 상기 구동부(140)는 상기한 비접촉 방식으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 상기 구동부(140)는 상기 제1 구동축(173)들이 챔버(102)의 일측벽을 관통하여 챔버(102) 내부에 배치되는 구동 풀리들(120)과 직접 연결되어 회전시키는 구조를 가질 수 있다. 또한, 도시하진 않았지만 상기 이송 벨트(110)의 바깥면 즉, 상기 기판(G)이 지지되는 면에는 완충을 위한 부재가 배치되거나, 완충을 위한 물질이 도포될 수 있다.

도 5는 도 1에 도시된 이송 벨트의 다른 실시예를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 이송 벨트(111)는 동기 구동을 위한 구조를 가질 수 있다. 즉, 상기 이송 벨트(111)는 벨트 안쪽면에 동기 구동을 위한 제1 동기 패턴(111a)이 구비될 수 있다. 상기 제1 동기 패턴(111a)은 볼록 패턴 또는 오목 패턴일 수 있으며, 그 단면이 반원 형상을 가질 수 있다. 이와 달리, 상기 제1 동기 패턴(111a)은 삼각 형상, 사각 형상, 사다리꼴 형상, 마름모 형상 등 다양한 형상을 가질 수 있으며, 동기 구동이 가능하면 충분하다.

이 때, 상기 이송 벨트(111)가 제1 동기 패턴(111a)을 가짐에 따라 상기 구동 풀리들(121)은 외주면에 그에 대응하는 제2 동기 패턴(121a)은 가짐은 자명할 것이다. 상기 제2 동기 패턴(121a)은 오목 패턴 또는 볼록 패턴일 수 있으며, 그 단면의 형상은 상기 제1 동기 패턴(111a)과 실질적으로 동일한 형상을 갖는다. 예를 들어, 상기 이송 벨트(111)에 구비되는 제1 동기 패턴(111a)이 반원 형상의 볼록 패턴을 갖는 경우 상기 구동 풀리들(121)에 구비되는 제2 동기 패턴(111a)은 반원 형상의 오목 패턴을 갖는다. 이에, 상기 구동 풀리들(121)은 상기 이송 벨트(111)를 동기 구동할 수 있다. 한편, 상기 이송 벨트(111)가 제1 동기 패턴(111a)을 갖는 경우 상기 아이들 풀리들(124)도 상기 구동 풀리(121)와 동일하게 제2 동기 패턴을 가질 수 있음은 자명하다.

이와 같이, 상기 이송 벨트(111) 및 구동 풀리들(121)들이 각각 제1 동기 패턴(111a) 및 제2 동기 패턴(121a)을 가짐에 따라 상호 동기 구동이 가능하며, 이러한 동기 구동을 통해 이송 벨트(111)를 보다 정확하게 기설정된 속도로 회전시킬 수 있다. 따라서, 동기 패턴(111a)을 갖는 이송 벨트(111)는 기판(G)의 이송 속도를 정확하게 제어하고자 할 때 사용되어, 공정 효율 및 신뢰성을 개선할 수 있을 것이다.

상기와 같은 본 발명의 실시예에 의하면 대면적을 갖는 평판형 기판의 처리를 위해 상기 기판을 이송하는 장치에서 큰 경사각을 갖는 상태로 배치된 기판을 지지하는 이송 벨트를 구동 풀리들이 회전시킴으로써 큰 경사각을 갖는 상태로 기판을 이송하는 것이 가능하며, 따라서 상기 기판의 처리를 위한 설비 면적을 크게 감소시킬 수 있다.

또한, 기판 처리 설비의 면적을 감소시킴으로써 기판 처리 설비가 설치되는 클린룸의 공간 사용 효율을 크게 향상시킬 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.

도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 측면도이다.

도 3은 도 1에 도시된 구동부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.

도 4는 도 1에 도시된 이송 벨트를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.

도 5는 도 1에 도시된 이송 벨트의 다른 실시예를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

100: 기판 이송 장치 102: 챔버

110, 111: 이송 벨트 112: 안착홈

120, 121: 구동 풀리 122: 가이드 부재

124, 125: 아이들 풀리 130: 아이들 롤러

132: 샤프트 140: 구동부

150: 동력 제공부 152: 피니언 기어

160: 동력 전달부 170: 제1 동력 전달부

171: 타이밍 벨트 172: 구동 기어

173: 제1 구동축 174: 제1 지지부재

175: 제1 아이들 기어 176: 제2 아이들 기어

177: 제1 마그네틱 기어 180: 제2 동력 전달부

181: 제2 마그네틱 기어 182: 제2 구동축

183: 제2 지지부재 G: 기판

Claims (10)

1. 경사각을 갖도록 배치된 평판형 기판을 지지하여 이송하기 위한 이송 벨트;

   상기 이송 벨트와 연결되며, 상기 기판을 이송하기 위하여 상기 이송 벨트를 회전시키는 구동 풀리들;

   상기 구동 풀리들과 연결되며 상기 이송 벨트를 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부;

   상기 이송 벨트에 의해 지지된 기판의 일평면 방향에 배치되어 상기 기판의 이송 중에 상기 기판이 쓰러지지 않도록 지지하는 아이들 롤러들(idle rollers); 및

   상기 기판의 안정적 지지를 위해 상기 기판이 지지되는 벨트 바깥면에 상기 회전 방향을 따라서 형성된 슬릿 형태의 안착홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서, 상기 구동 풀리들의 외주면 양측 부위들에는 상기 이송 벨트가 이탈되는 것을 방지하기 위한 가이드 부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 이송 벨트는 동기 구동을 위해 벨트 안쪽면에 볼록 패 턴 또는 오목 패턴으로 형성되는 제1 동기 패턴이 구비되며,

   상기 구동 풀리들은 외주면에 상기 제1 동기 패턴에 대응하는 제2 동기 패턴이 구비된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 구동 풀리들의 양쪽 측방에 배치되어 상기 이송 벨트의 안쪽에 연결되며 상기 이송 벨트의 장력을 조절하기 위한 아이들 풀리들(idle pulleys)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 경사각의 범위는 60°내지 80°인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 구동부는

   상기 회전력을 제공하는 동력 제공부; 및

   상기 동력 제공부와 상기 구동 풀리들 사이에 연결되어 상기 회전력을 전달하는 동력 전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
8. 제7항에 있어서, 상기 동력 전달부는

   상기 동력 제공부와 연결된 타이밍 벨트와, 상기 타이밍 벨트와 연결된 다수의 구동 기어들과, 상기 구동 기어들과 결합된 다수의 제1 구동축들과, 상기 제1 구동축들의 단부들에 배치되며 영구 자석들을 포함하는 제1 마그네틱 기어들을 포 함하는 제1 동력 전달부; 및

   상기 제1 마그네틱 기어들과 각각 마주하여 배치되며 영구 자석들을 포함하는 제2 마그네틱 기어들과, 상기 제2 마그네틱 기어들과 상기 구동 풀리들 사이를 연결하는 제2 구동축들을 포함하는 제2 동력 전달부를 포함하며,

   상기 제1 및 제2 동력 전달부들 사이에서의 회전력 전달은 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들의 영구 자석들 사이에서 작용하는 자기력에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들은 상기 기판의 처리를 위한 챔버의 일 측벽을 사이에 두고 서로 마주하여 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
10. 제1항에 있어서, 상기 구동 풀리들은 상기 이송 벨트가 상기 경사각에 대해 수직하게 배치되도록 상기 경사각에 대해 수직한 방향의 회전축을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.

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