KR20100056610A - 기판 이송 장치 - Google Patents

Abstract

기판 이송 장치는 지지 부재들 및 링크 부재들이 교대로 연결되며 평판형 기판을 지지하여 이송하기 위한 이송 체인과, 지지 부재들 상에 각각 구비되며 수지계열의 물질로 이루어져 지지 부재들에 지지되는 기판의 손상을 방지하기 위한 완충 부재들과, 이송 체인에 지지된 기판의 일측에 배치되며 기판의 이송 중에 기판이 지지 부재의 상면에 대해 60°내지 80°경사각을 갖도록 지지하는 아이들 이송축들과, 이송 체인에 기어 결합하며 기판을 이송하기 위하여 이송 체인을 회전시키는 체인 기어들 및 체인 기어들과 연결되며 이송 체인을 회전시키기 위한 회전력을 체인 기어들로 제공하는 구동부를 포함한다. 따라서 기판을 고경사 상태로 안정적으로 이송할 수 있다.

Description

기판 이송 장치{Apparatus for transferring a substrate}

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, OLED(Organic Light Emitting Diode) 디스플레이 장치 등과 같은 평판 디스플레이 장치의 제조를 위한 평판형 기판을 이송하기 위한 장치에 관한 것이다.

일반적으로 처리된 정보의 표시를 위해 평판 디스플레이 장치가 널리 사용되고 있으며, 평판 디스플레이 장치의 대표적인 예로는 액정 표시 장치(LCD), 플라즈마 표시 장치(PDP), 유기 발광 표시 장치(OLED) 등을 들 수 있다.

이러한 평판 디스플레이 장치는 평판형 기판을 대상으로 상기 평판형 기판 상에 회로 패턴을 형성하기 위한 증착 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정, 검사 공정 등의 단위 공정들을 반복적으로 수행하여 제조된다.

상기 단위 공정들 중 식각 공정, 세정 공정 등은 액상의 처리 물질을 이용하여 상기 평판형 기판을 처리하게 된다. 이처럼 액상의 처리 물질을 이용하여 평판형 기판을 처리하는 경우 상기 평판형 기판을 소정 각도(약 6°각도)로 경사지도록 배치하여 이송하면서 처리 공정을 수행하는 방식이 일반적으로 사용된다. 즉, 상기 평판형 기판을 이송하기 위한 회전축들 및 회전 롤러들을 기울어지도록 배치하여 상기 평판형 기판이 기울어진 상태에서 이송되면서 상기 평판형 기판에 대한 처리 공정을 수행한다.

최근에는 디스플레이 장치의 대형화 요구에 의해 상기 평판형 기판의 면적이 점차 증가됨에 따라 상기 기판의 처리 공정 설비의 크기도 점차 증가되고 있다. 따라서 상기 기판 처리 설비의 설치 공간 확대에 다른 클린룸의 공간 사용 효율이 감소될 수 있다. 이에, 상기 클린룸의 공간 사용 효율을 증대시키기 위하여 상기 기판 처리 설비가 차지하는 면적을 감소시키기 위한 방안으로 상기 기판의 경사도를 증가시킬 수 있다.

하지만, 현재 적용되고 있는 롤러 방식의 기판 이송으로는 상기 기판의 경사도를 증가시키는데 한계가 있다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 일 과제는 평판형 기판의 이송에서 기판의 경사도를 증가시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위해 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 이송 체인, 완충 부재들, 아이들 이송축들, 체인 기어들 및 구동부를 포함한다. 상기 이송 체인은 지지 부재들 및 링크 부재들이 교대로 연결되며, 평판형 기판을 지지하여 이송하는 역할을 한다. 상기 완충 부재들은 상기 지지 부재들 상에 각각 구비되며 수지계열의 물질로 이루어져 상기 지지 부재들에 지지되는 기판의 손상을 방지하기 위하여 완충한다. 상기 아이들 이송축들은 상기 이송 체인에 지지된 기판의 일측에 배치되며, 상기 기판의 이송 중에 상기 기판이 상기 지지 부재의 상면에 대해 60°지 80°경사각을 갖도록 지지한다. 상기 체인 기어들은 상기 이송 체인에 기어 결합하며 상기 기판을 이송하기 위하여 상기 이송 체인을 회전시킨다. 상기 구동부는 상기 체인 기어들과 연결되며 상기 이송체인을 회전시키기 위한 회전력을 상기 체인 기어들로 제공한다.

일 실시예에 따르면, 상기 완충 부재들은 상기 평판형 기판이 미끄러지는 것을 방지하기 위한 상기 기판의 이송 방향을 따라서 형성된 슬릿 형태의 안착 홈이 구비될 수 있다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 대면적을 갖는 차세대 평판형 기판의 처리를 위하여 상기 기판을 이송 체인을 이용하여 거의 수직에 가까운 정도로 배치하여 이송함으로써 상기 기판의 처리를 위한 설비 면적을 크게 감소시킬 수 있다. 또한 상기 기판의 처리 설비 면적의 감소를 통해 상기 기판 처리 설비가 설치되는 클린룸의 공간 사용 효율을 크게 향상시킬 수 있다.

또한, 이송 체인 상에 평판형 기판이 지지될 때 완충 부재에 의해 지지됨으로써 상기 이송 체인으로부터 기판에 가해지는 충격을 완화시켜 이송 중 발생되는 상기 기판의 손상을 방지할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치에 대하여 상세히 설명한다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 발명의 명확성을 기하기 위해 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 설명하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나 의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 측면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 이송 체인을 나타내는 개략적인 정면도이다.

도 1 및 도 2 그리고 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 유리 기판과 같은 평판형 기판(G)에 대한 처리 공정에서 상기 기판(G)을 일 방향으로 이송하기 위하여 바람직하게 사용될 수 있다.

상기 처리 공정의 예로는 기판(G) 상의 막 또는 불순물을 제거하기 위한 식각 공정, 기판(G) 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 식각 또는 세정 후 기판(G)을 린스 처리하기 위한 린스 공정, 기판(G)을 건조시키기 위한 건조 공정 등이 있다. 도시되지는 않았으나, 상기와 같은 처리 공정을 수행하기 위하여, 상기 기판 이송 장치(100)에 의해 이송되는 기판의 전면 및/또는 후면과 마주하는 위치에는 상기 기판(G)의 처리를 위한 약액 또는 처리 가스 등을 제공하는 노즐들, 에어 나이프(air knife) 또는 샤워 나이프(shower knife) 등이 배치될 수 있다.

상기 기판 이송 장치(100)는 상기 기판(G) 지지하며 일 방향으로 이송하기 위한 이송 체인(110)과, 상기 이송 체인(110)에 지지되는 기판(G)의 손상 방지를 위한 완충 부재(116)와, 상기 이송 체인(110)과 기어 결합하며 상기 기판(G)을 이송하기 위하여 상기 이송 체인(110)을 회전시키는 체인 기어들(112)과, 상기 체인 기어들(112)과 연결되며 상기 이송 체인(110)을 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부(114)를 포함할 수 있다.

상기 이송 체인(110)은 교대로 서로 연결된 다수의 지지 부재들(110a) 및 링크 부재들(110b)을 포함한다. 구체적으로, 상기 지지 부재들(110a)은 상기 기판(G)을 지지하는 역할을 하며, 상기 링크 부재들(110)은 두 개의 지지 부재(110a)들을 연결하는 역할을 한다. 상기 지지 부재들(110a)과 링크 부재들(110b)은 회전축에 의한 힌지 방식으로 연결된다. 즉, 상기 지지 부재들(110a) 및 링크 부재들(110b)이 교대로 힌지 방식으로 연결되면서 체인 구조를 갖는다. 예를 들어, 상기 지지 부재들(110a)은 소정의 두께를 갖는 플레이트 형상을 갖고, 상기 두께 내에 상기 링크 부재들(110a)과 연결을 위한 관통홀(미도시)이 양측부에 각각 구비될 수 있다. 이 때, 플레이트 형상을 갖는 지지 부재들(110a)은 양측부가 상기 관통홀(미도시)의 원주를 따라서 라운드 형상을 갖는 것이 바람직하다. 이는 상기 체인 기어들(112)과의 용이한 결합을 위함이다. 상기 링크 부재(110b)는 지지 부재(110a)의 관통홀에 끼워지는 링크 핀(미도시)과 상기 링크 핀의 양측에 결합되는 링크 플레이트(미도시)로 구성될 수 있다. 상기 이송 체인(110)은 상기한 바와 다른 구성으로 상기 기판(G)을 지지할 수 있는 스테이지 또는 그에 상응하는 지지용 구조물을 갖는 다양한 형태의 체인일 수 있다.

상기 이송 체인(110)은 상기 기판(G)을 처리하기 위한 챔버(102) 내에 배치되며, 상기 기판(G)은 상기 이송 체인(110) 상에서 경사각을 가지며 상기 기판(G)의 이송 방향, 즉 이송 체인(110)의 회전 방향으로 배치된다.

상기 완충 부재들(116)은 상기 이송 체인(110)에 기판(G)이 지지되어 이송될 때 상기 기판(G)의 손상을 방지하기 위하여 구비된다. 상기 완충 부재들(116)은 상기 이송 체인(110)에서 기판(G)을 지지하는 지지 부재들(110a) 상에 각각 구비된다. 상기 완충 부재들(116)은 수지계열의 물질로 이루어진다. 따라서 상기 완충 부재들(116)은 상기 기판(G)을 이송 중에 상기 기판(G)으로 가해질 수 있는 충격을 흡수한다.

또한, 상기 완충 부재들(116)은 상기 기판(G)이 지지될 때 기설정된 경사각(예컨대 60°내지 80°의 경사각)을 갖도록 지지됨에 따라서 상기 기판(G)이 미끄러지는 것을 방지하기 위하여 안착 홈(116a)이 구비될 수 있다. 상기 안착 홈(116a)은 상기 완충 부재들(116)의 중앙부에 상기 기판(G)의 이송 방향을 따라서 연장하는 슬릿 형태를 가질 수 있다. 상기 기판(G)은 상기 지지 부재들(110a)에 지지될 때 상기 안착 홈(116a)내에 그 일부분이 수용되는 형태로 지지됨으로써 안정적으로 지지된다.

상기 구동부(114)는 상기 회전력을 발생시키는 동력 제공부(122)와 상기 회전력을 전달하는 동력 전달부(124)를 포함할 수 있다. 상기 동력 전달부(124)는 상기 챔버(102)의 외부에 배치되는 제1 동력 전달부(126)와 상기 챔버(102) 내부에 배치되는 제2 동력 전달부(128)를 포함할 수 있다.

상기 동력 제공부(122)는 회전력을 제공하는 모터(미도시)와 상기 모터의 회전력 및 회전 속도 등을 조절하기 위한 감속기(미도시)를 포함할 수 있다.

상기 제1 동력 전달부(126)는 타이밍 벨트(130)와 다수의 구동 기어들(132)을 포함할 수 있다. 상기 구동 기어들(132)은 상기 기판(G)의 이송 방향과 평행하게 배열되며, 제1 구동축들(134)과 결합된다. 상기 제1 구동축들(134)은 상기 챔버(102) 외측에서 제1 고정부재(136)에 의해 지지된다. 상기 제1 고정부재(136)는 상기 챔버(102)의 일 측벽(102a)에 장착된 브래킷(미도시) 상에 배치될 수 있으며, 상기 제1 구동축들(134)의 원활한 회전을 위하여 다양한 형태의 베어링들을 포함할 수 있다.

상기 타이밍 벨트(130)는 상기 동력 제공부(122)의 피니언 기어(138)와 상기 구동 기어들(132)을 연결함으로써 상기 회전력을 상기 제1 구동축들(134) 모두에 일정하게 전달할 수 있다.

상기 제1 구동 기어들(132) 사이에는 상기 회전력의 전달 효율을 향상시키기 위한 제1 아이들 기어들(idle gears; 140)이 배치될 수 있으며, 상기 동력 제공부(122)의 피니언 기어(138)와 인접하는 위치에는 상기 타이밍 벨트(130)의 장력을 조절하기 위한 제2 아이들 기어(미도시)가 배치될 수 있다.

한편, 상기 제1 구동축들(134)은 상기 챔버(102)의 일 측벽(102a)을 향하여 연장하며, 상기 제1 구동축들(134)의 단부들에는 제1 마그네틱 기어들(142)이 각각 결합된다.

상기 제2 동력 전달부(128)는 상기 제1 마그네틱 기어들(142)과 각각 마주하여 배치되는 제2 마그네틱 기어(144)와, 상기 제2 마그네틱 기어들(144)과 상기 체인 기어들(112) 사이를 연결하는 제2 구동축들(146)을 포함할 수 있다.

상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들(142, 144)은 각각 다수의 영구 자석들을 포함하며, 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들(142, 144) 사이에서 상기 영구 자석들에 의해 작용하는 자기력에 의해 회전력 전달이 이루어진다. 구체적으로, 각각의 제1 및 제2 마그네틱 기어들(142, 144)은 자체의 중심에 대하여 방사상으로 배치되는 다수의 영구 자석들을 포함하며, 상기 자석들은 원주 방향으로 극성이 번갈아 바뀌도록 배치된다.

또한, 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들(142, 144)은 상기 챔버(102)의 일 측벽을 사이에 두고 서로 마주하며, 상기 챔버(102)의 일 측벽(102a)으로부터 소정 간격 이격되어 배치되므로, 상기 동력 제공부(122) 및 제1 동력 전달부(126)의 구동에 의해 발생되는 진동이 이송 체인(110)으로 전달되는 것을 방지할 수 있다.

결과적으로, 상기 동력 제공부(122)로부터 제공되는 회전력은 타이밍 벨트(130), 구동 기어들(132), 제1 구동축들(134), 제1 마그네틱 기어들(142), 제2 마그네틱 기어들(144), 제2 구동축들(146) 및 체인 기어들(112)을 통해 상기 이송 체인(110)으로 전달된다. 상기와 같이 동력 제공부(122)로부터 상기 회전력이 각각의 체인 기어들(112) 모두에 균일하게 전달될 수 있으므로, 상기 이송 체인(110)의 회전이 원활하게 이루어질 수 있다.

상기 제2 구동축들(146)은 상기 챔버(102) 내에 구비되는 제2 고정부재들(148)에 의해 지지될 수 있으며, 상기 제2 고정부재들(148)은 상기 제2 구동축들(146)의 원활한 회전을 위하여 다양한 형태의 베어링들을 포함할 수 있다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 각각의 체인 기어들(112)은 상기 이송 체인(110)과 기어 결합한다. 상기 체인 기어들(112)은 디스크의 외주면을 따라서 다수의 기어 이가 형성된 구조를 갖는다. 즉, 상기 이송 체인(110)에서, 인접한 두 개의 지지 부재(110a) 사이에는 상기 링크 부재(110b)에 의해 기어 결합을 위한 그루브가 형성되며, 상기 체인 기어들(112)의 기어 이가 상기 그루브에 끼워지는 방식으로 기어 결합된다.

상기 기판(G)의 이송 방향으로 체인 기어들(112)의 양측 부위들에는 상기 이송 체인(110)의 장력 조절 및 정숙한 운전을 목적으로 다수의 아이들용 보조 기어 들(150)이 배치될 수 있다. 도시된 바에 의하면, 상기 체인 기어들(112)보다 작은 직경을 갖는 다수의 보조 기어들(150)이 상기 체인 기어들(112)의 양측 부위들에 배치되어 있으나, 상기 보조 기어들(150)의 크기는 다양하게 변화될 수 있다. 예를 들면, 상기 체인 기어들(112)의 양측 부위에는 상기 체인 기어들(112)보다 큰 직경을 갖는 한 쌍의 보조 기어들이 각각 배치될 수도 있다. 또한, 상기 각각의 보조 기어들은 상기 체인 기어들(112)과 동일한 크기를 가질 수도 있으며, 상기 체인 기어들(112)과 유사한 구조를 가질 수 있다.

상기 기판(G)은 상기 이송 체인(110) 상에서 기설정된 경사각을 갖도록 위치될 수 있으며, 상기 기판(G)이 쓰러지지 않고 기설정된 경사각을 갖도록 상기 기판(G)의 일측에서 평면을 지지하는 아이들 이송축들(160)이 상기 챔버(102) 내에 설치될 수 있다. 상기 아이들 이송축들(160)은 각각 회전 가능하게 설치되는 회전축(162)과, 상기 회전축에 구비되는 다수의 롤러들(164)로 구성될 수 있다. 상기 회전축(162)은 상기 기판(G)의 일 평면에 대하여 평행 배치되며, 기판(G)의 이송 방향에 대해 수직하게 연장한다. 예를 들면, 상기 아이들 이송축들(160)은 상기 챔버(102)의 타측 벽(102b)에 구비될 수 있다.

그러나, 상기 아이들 이송축들(160)은 상기 챔버(102) 내에서 상기 아이들 이송축들(160)의 기능을 대체할 수 있는 다양한 형태로 제공될 수 있으며, 상기 기판(G)의 이송 중에 상기 기판(G)의 쓰러짐을 방지할 수 있으면 충분하다. 즉, 상기 아이들 이송축(160)들을 대체하여 회전 가능하게 구비되는 상기 롤러(164)들이 구비될 수도 있다.

또한, 상기 기판(G)의 경사각은 약 60°내지 80°범위를 갖는 것이 바람직하다. 상기 기판(G)의 경사각이 약 60° 미만인 경우, 상기 아이들 회전축(160)에 작용되는 기판(G)의 하중이 증가될 수 있으며, 이 경우 대면적 기판(G)의 지지하기 위해서는 다수의 아이들 이송축들(160)이 요구된다. 또한, 종래의 수평 이송에 비하여 공간 효율 측면에서 그다지 큰 효과를 거둘 수 없게 될 수 있다. 그러나, 상기 기판(G) 이송 중에 상기 기판(G)의 경사각이 60° 미만인 경우에도 본 발명의 기술적 범위에 해당될 수 있음은 자명하다.

상기와 같은 본 발명의 실시예들에 의하면, 대면적을 갖는 차세대 평판형 기판의 처리를 위하여 상기 기판을 이송하는 기판 이송 장치에서 상기 기판을 지지하기 위한 지지 부재들과 상기 지지 부재들이 체인 구조를 갖도록 연결하는 링크 부재들을 갖는 이송 체인을 이용하여 거의 수직에 가까운 정도로 배치하여 이송함으로써 상기 기판의 처리를 위한 설비 면적을 크게 감소시킬 수 있다. 나아가서 상기 기판 처리 설비가 설치되는 클린룸의 공간 사용 효율을 크게 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 기판 이송 장치는 이송할 기판을 지지하기 위한 지지 부재들의 상면에 수지 계열의 완충 부재를 구비함으로써 이송 체인으로부터 기판으로 가해지는 충격에 의한 기판의 손상을 방지할 수 있다. 따라서 보다 안정적으로 기판을 이송할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역 으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.

도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 측면도이다.

도 3은 도 1에 도시된 이송 체인을 나타내는 개략적인 정면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

100 : 기판 이송 장치 102 : 챔버

110 : 이송체인 110a: 지지 부재

110b: 링크 부재 112: 체인 기어

114: 구동부 116: 완충 부재

116a: 안착 홈 122: 동력 제공부

124: 동력 전달부 126: 제1 동력 전달부

128: 제2 동력 전달부 130: 타이밍 벨트

132: 구동 기어 134: 제1 구동축

136: 제1 고정부재 138: 피니언 기어

140: 제1 아이들 기어 142: 제1 마그네틱 기어

144: 제2 마그네틱 기어 146: 제2 구동축

148: 제2 고정 부재 150: 보조 기어

160: 아이들 이송축 162: 회전축

164: 롤러

Claims (2)

1. 지지 부재들 및 링크 부재들이 교대로 연결되며, 평판형 기판을 지지하여 이송하기 위한 이송 체인;

   상기 지지 부재들 상에 각각 구비되며 수지계열의 물질로 이루어져 상기 지지 부재들에 지지되는 기판의 손상을 방지하기 위한 완충 부재들;

   상기 이송 체인에 지지된 기판의 일측에 배치되며, 상기 기판의 이송 중에 상기 기판이 상기 지지 부재의 상면에 대해 60°내지 80°경사각을 갖도록 지지하는 아이들 롤러;

   상기 이송 체인에 기어 결합하며 상기 기판을 이송하기 위하여 상기 이송 체인을 회전시키는 체인 기어들; 및

   상기 체인 기어들과 연결되며 상기 이송체인을 회전시키기 위한 회전력을 상기 체인 기어들로 제공하는 구동부를 포함하는 기판 이송 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 완충 부재들은 상기 평판형 기판이 미끄러지는 것을 방지하기 위한 상기 기판의 이송 방향을 따라서 형성된 슬릿 형태의 안착 홈이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.

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