KR101065329B1 - 기판 이송 장치 및 이를 갖는 기판 세정 장치 - Google Patents

기판 이송 장치 및 이를 갖는 기판 세정 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101065329B1
KR101065329B1 KR1020090025048A KR20090025048A KR101065329B1 KR 101065329 B1 KR101065329 B1 KR 101065329B1 KR 1020090025048 A KR1020090025048 A KR 1020090025048A KR 20090025048 A KR20090025048 A KR 20090025048A KR 101065329 B1 KR101065329 B1 KR 101065329B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
transfer
chain
transfer chain
disposed
Prior art date
Application number
KR1020090025048A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20100106829A (ko
Inventor
도대용
최재현
유하상
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020090025048A priority Critical patent/KR101065329B1/ko
Publication of KR20100106829A publication Critical patent/KR20100106829A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101065329B1 publication Critical patent/KR101065329B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

평판형 기판을 고경사 상태로 이송이 가능한 기판 이송 장치 및 이를 갖는 기판 세정 장치가 개시된다. 기판 이송 장치는 지지 부재들 및 링크 부재들이 교대로 연결되고 평판형 기판의 측면 부위를 지지하여 이송하기 위한 이송 체인과, 이송 체인에 기어 결합하며 기판을 이송하기 위하여 이송 체인을 회전시키는 체인 기어들과, 체인 기어들과 연결되며 이송 체인을 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부 및 지지 부재들 상에 각각 구비되며 지지 부재들에 지지되는 기판의 손상을 방지하기 위한 에어 쿠션을 이용한 완충 부재들을 포함한다.

Description

기판 이송 장치 및 이를 갖는 기판 세정 장치{Apparatus for transferring a substrate and apparatus for cleaning a substrates having the same}
본 발명은 기판 이송 장치 및 이를 갖는 기판 세정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판 디스플레이 장치의 제조를 위한 평판형 기판을 이송하기 위한 장치 및 이를 갖는 기판 세정 장치에 관한 것이다.
일반적으로 정보처리 기기에서는 처리된 정보의 표시를 위해 평판 디스플레이 장치가 널리 사용되고 있으며, 평판 디스플레이 장치의 대표적인 예로는 액정 표시 장치(LCD), 플라즈마 표시 장치(PDP), 유기 발광 표시 장치(OLED) 등을 들 수 있다.
이러한 평판 디스플레이 장치는 평판형 기판을 대상으로 기판 상에 회로 패턴을 형성하기 위한 증착 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정, 검사 공정 등의 단위 공정들을 반복적으로 수행하여 제조된다.
상기 단위 공정들 중 식각 공정, 세정 공정 등은 액상의 처리 물질을 이용하여 상기 평판형 기판을 처리하게 된다. 이처럼 액상의 처리 물질을 이용하여 평판형 기판을 처리하는 경우 상기 평판형 기판을 소정 각도(약 6° 각도)로 경사지도록 배치하여 이송하면서 처리 공정을 수행하는 방식이 일반적으로 사용된다. 즉, 상기 평판형 기판을 이송하기 위한 회전축들 및 회전 롤러들을 기울어지도록 배치하여 상기 평판형 기판이 기울어진 상태에서 이송되면서 평판형 기판에 대한 처리 공정을 수행한다.
최근에는 디스플레이 장치의 대형화 요구에 의해 상기 평판형 기판의 면적이 점차 증가됨에 따라 상기 기판의 처리 공정 설비의 크기도 점차 증가되고 있다. 따라서 기판 처리 설비의 설치 공간 확대에 다른 클린룸의 공간 사용 효율이 감소될 수 있다. 이에, 상기 클린룸의 공간 사용 효율을 증대시키기 위하여 상기 기판 처리 설비가 차지하는 면적을 감소시키기 위한 방안으로 상기 기판의 경사도를 증가시킬 수 있다.
하지만, 현재 적용되고 있는 롤러 방식의 기판 이송으로는 상기 기판의 경사도를 증가시키는데 한계가 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 일 과제는 평판형 기판의 이송에서 기판의 경사도를 증가시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 과제는 상기한 바와 같은 기판 이송 장치를 포함하는 기판 세정 장치를 제공하는 것이다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위해 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 이송 체인, 체인 기어들, 구동부 및 완충 부재들을 포함한다. 상기 이송 체인은 지지 부재들 및 링크 부재들이 교대로 연결되고, 평판형 기판의 측면 부위를 지지하여 이송하기 위하여 구비된다. 상기 체인 기어들은 상기 이송 체인에 기어 결합하며 상기 기판을 이송하기 위하여 상기 이송 체인을 회전시킨다. 상기 구동부는 상기 체인 기어들과 연결되며 상기 이송 체인을 회전시키기 위한 회전력을 제공한다. 상기 완충 부재들은 상기 지지 부재들 상에 각각 구비되며 상기 지지 부재들에 지지되는 기판의 손상을 방지하기 위한 에어 쿠션을 이용한다.
여기서, 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 상기 완충 부재들 각각은 내부 공간을 가지며 상단에 개구를 갖는 하우징과, 상기 하우징 내부에 배치되어 상기 내부 공간 내의 공기 압축을 통해 반발력을 형성하는 피스톤 및 상기 피스톤의 상면에 설치되고 상기 하우징의 상단 개구를 통해서 노출되며 상기 기판이 안착되는 안착부를 포함할 수 있다.
다른 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 상기 완충 부재들 각각은 상기 하우징의 내부에서 상기 피스톤의 아래에 배치되어 상기 피스톤 및 하우징의 측벽들과 함께 밀폐된 압축 공간을 형성하는 압력판을 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 기판 이송 장치에서 상기 완충 부재들 각각은 상기 하우징 내부의 상기 피스톤 하부에 배치되는 에어 블래더(air bladder)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 기판 이송 장치에서 상기 안착부는 상기 평판형 기판이 미끄러지는 것을 방지하기 위하여 상기 기판의 이송 방향을 따라서 형성된 슬릿 형태의 안착 홈을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
또 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 상기 체인 기어들의 양쪽 측방에 배치되어 상기 이송 체인과 기어 결합되며 상기 이송 체인의 장력을 조절하기 위한 아이들 풀리들(idle pulleys)을 더 포함할 수 있다.
또 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 상기 기판은 상기 이송 체인 상에서 상기 이송 체인의 상부면에 대하여 경사각을 갖도록 배치될 수 있다. 또한, 상기 기판 이송 장치에서 상기 이송 체인에 의해 지지된 기판의 일측에 배치되어 상기 기판이 상기 이송 체인의 상부면에 대하여 경사각을 갖도록 배치되어 이송되는 중에 상기 기판이 쓰러지지 않도록 지지하는 아이들 롤러들(idle rollers)을 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 기판 이송 장치에서 상기 경사각은 60°이상 90° 미만일 수 있다.
또 다른 실시예에 따른 기판 이송 장치에서 상기 구동부는 상기 회전력을 제공하는 동력 제공부 및 상기 동력 제공부와 상기 체인 기어들 사이에 연결되어 상 기 회전력을 전달하는 동력 전달부를 포함할 수 있다.
상기 본 발명의 다른 과제를 달성하기 위해 본 발명에 따른 기판 세정 장치는 세정 용기, 기판 이송 유닛 및 브러시 유닛을 포함할 수 있다. 상기 세정 용기는 평판형 기판에 대한 세정 공정을 수행하기 위한 세정 공정을 제공한다. 상기 기판 이송 유닛은 상기 세정 용기의 내부에 배치되어 상기 평판형 기판을 이송한다. 상기 브러시 유닛은 상기 기판 이송 유닛에 의해 이송되는 상기 평판형 기판의 상면에 대향하여 배치되고, 상기 평판형 기판의 표면에 접촉하여 상기 평판형 기판에 대한 세정을 수행한다. 특히, 상기 기판 이송 유닛은 지지 부재들 및 링크 부재들이 교대로 연결되고 평판형 기판의 측면 부위를 지지하여 이송하기 위한 이송 체인과, 상기 이송 체인에 기어 결합하며 상기 기판을 이송하기 위하여 상기 이송 체인을 회전시키는 체인 기어들과, 상기 체인 기어들과 연결되며 상기 이송 체인을 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부 및 상기 지지 부재들 상에 각각 구비되며 상기 지지 부재들에 지지되는 기판의 손상을 방지하기 위한 에어 쿠션을 이용한 완충 부재들을 포함할 수 있다.
여기서 일 실시예에 따른 기판 세정 장치에서 상기 완충 부재들 각각은 내부 공간을 가지며 상단에 개구를 갖는 하우징과, 상기 하우징 내부에 배치되어 상기 내부 공간 내의 공기 압축을 통해 반발력을 형성하는 피스톤 및 상기 피스톤의 상면에 설치되고 상기 하우징의 상단 개구를 통해서 노출되며 상기 기판이 안착되는 안착부를 포함할 수 있다.
또 다른 실시예에 따른 기판 세정 장치에서 상기 기판 이송 유닛은 상기 이 송 체인에 인접하며 상기 브러시 유닛의 설치 영역과 중첩되지 않도록 배치되는 제2 이송 체인을 포함할 수 있고, 상기 제2 이송 체인은 상기 이송 체인과 동일한 구성을 갖는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 평판형 기판의 처리 공정 과정에서 상기 기판을 이송 체인을 이용하여 거의 수직에 가까운 정도로 배치하여 이송하는 것이 가능하고, 이를 통해서 기판의 처리 설비 면적을 크게 감소시킬 수 있다. 또한 상기 기판의 처리 설비 면적의 감소를 통해 상기 기판 처리 설비가 설치되는 클린룸의 공간 사용 효율을 크게 향상시킬 수 있다. 특히, 이송 과정에서 이송 체인 상에 평판형 기판이 지지될 때 기판의 측면 부위에 부하가 크게 작용하는데 에어 쿠션을 이용한 완충 부재를 통해 기판이 지지됨으로써 기판에 가해지는 충격을 완화시켜 이송 중에 발생될 수 있는 기판의 손상을 방지할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 세정 장치에 대하여 상세히 설명한다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하 였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 발명의 명확성을 기하기 위해 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 설명하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
실시예
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 측면도이고, 도 3은 도1에 도시된 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 정면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 이송 체인을 나타내는 개략적인 정면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 유리 기판과 같은 평판형 기판(G)에 대한 처리 공정에서 상기 기판(G)을 일 방향으로 이송하기 위하여 바람직하게 사용될 수 있다.
상기 처리 공정의 예로는 기판(G) 상의 막 또는 불순물을 제거하기 위한 식각 공정, 기판(G) 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 식각 또는 세정 후 기판(G)을 린스 처리하기 위한 린스 공정, 기판(G)을 건조시키기 위한 건조 공정 등이 있다. 도시되지는 않았으나, 상기와 같은 처리 공정을 수행하기 위하여, 상기 기판 이송 장치(100)에 의해 이송되는 기판의 전면 및/또는 후면과 마주하는 위치에는 상기 기판(G)의 처리를 위한 약액 또는 처리 가스 등을 제공하는 노즐들, 에어 나이프(air knife) 또는 샤워 나이프(shower knife) 등이 배치될 수 있다.
상기 기판 이송 장치(100)는 상기 기판(G)의 측면 부위를 지지하여 일 방향으로 이송하기 위한 이송 체인(110)과, 상기 이송 체인(110)과 기어 결합하며 상기 기판(G)을 이송하기 위하여 상기 이송 체인(110)을 회전시키는 체인 기어들(112)과, 상기 체인 기어들(112)과 연결되며 상기 이송 체인(110)을 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부(114) 및 상기 이송 체인(110)에 지지되어 이송되는 기 판(G)의 손상 방지를 위한 완충 부재들(116)을 포함한다.
상기 이송 체인(110)은 교대로 서로 연결된 다수의 지지 부재들(110a) 및 링크 부재들(110b)을 포함한다. 구체적으로, 상기 지지 부재들(110a)은 상기 기판(G)을 지지하는 역할을 하며, 상기 링크 부재들(110)은 두 개의 지지 부재(110a)들을 연결하는 역할을 한다. 상기 지지 부재들(110a)과 링크 부재들(110b)은 회전축에 의한 힌지 방식으로 연결된다. 즉, 상기 지지 부재들(110a) 및 링크 부재들(110b)이 교대로 힌지 방식으로 연결되면서 체인 구조를 갖는다. 예를 들어, 상기 지지 부재들(110a)은 소정의 두께를 갖는 플레이트 형상을 갖고, 상기 두께 내에 상기 링크 부재들(110a)과 연결을 위한 관통홀(미도시)이 양측부에 각각 구비될 수 있다. 이 때, 플레이트 형상을 갖는 지지 부재들(110a)은 양측부가 상기 관통홀(미도시)을 따라서 라운드 형상을 갖는 것이 체인 기어들(112)과의 용이한 결합을 위하여 바람직하다. 상기 링크 부재(110b)는 지지 부재(110a)의 관통홀에 끼워지는 링크 핀(미도시)과 상기 링크 핀의 양측에 결합되는 링크 플레이트(미도시)로 구성될 수 있다. 상기 이송 체인(110)은 상기한 바와 다른 구성으로 상기 기판(G)을 지지할 수 있는 스테이지 또는 그에 상응하는 지지용 구조물을 갖는 다양한 종류의 체인 형태를 가질 수 있다.
상기 이송 체인(110)은 상기 기판(G)을 처리하기 위한 챔버(102) 내에 배치되며, 상기 기판(G)은 상기 이송 체인(110) 상에서 경사각을 가지며 상기 기판(G)의 이송 방향, 즉 이송 체인(110)의 회전 방향으로 배치된다.
상기 구동부(114)는 상기 회전력을 발생시키는 동력 제공부(122)와 상기 회 전력을 전달하는 동력 전달부(124)를 포함할 수 있다. 상기 동력 전달부(124)는 상기 챔버(102)의 외부에 배치되는 제1 동력 전달부(126)와 상기 챔버(102) 내부에 배치되는 제2 동력 전달부(128)를 포함할 수 있다.
상기 동력 제공부(122)는 회전력을 제공하는 모터(미도시)와 상기 모터의 회전력 및 회전 속도 등을 조절하기 위한 감속기(미도시)를 포함할 수 있다.
상기 제1 동력 전달부(126)는 타이밍 벨트(130)와 다수의 구동 기어들(132)을 포함할 수 있다. 상기 구동 기어들(132)은 상기 기판(G)의 이송 방향과 평행하게 배열되며, 제1 구동축들(134)과 결합된다. 상기 제1 구동축들(134)은 상기 챔버(102) 외측에서 제1 고정부재(136)에 의해 지지된다. 상기 제1 고정부재(136)는 상기 챔버(102)의 일 측벽(102a)에 장착된 브래킷(미도시) 상에 배치될 수 있으며, 상기 제1 구동축들(134)의 원활한 회전을 위하여 다양한 형태의 베어링들을 포함할 수 있다.
상기 타이밍 벨트(130)는 상기 동력 제공부(122)의 피니언 기어(138)와 상기 구동 기어들(132)을 연결함으로써 상기 회전력을 상기 제1 구동축들(134) 모두에 일정하게 전달할 수 있다.
상기 제1 구동 기어들(132) 사이에는 상기 회전력의 전달 효율을 향상시키기 위한 제1 아이들 기어들(idle gears; 140)이 배치될 수 있으며, 상기 동력 제공부(122)의 피니언 기어(138)와 인접하는 위치에는 상기 타이밍 벨트(130)의 장력을 조절하기 위한 제2 아이들 기어(141)가 배치될 수 있다.
한편, 상기 제1 구동축들(134)은 상기 챔버(102)의 일 측벽(102a)을 향하여 연장하며, 상기 제1 구동축들(134)의 단부들에는 제1 마그네틱 기어들(142)이 각각 결합된다.
상기 제2 동력 전달부(128)는 상기 제1 마그네틱 기어들(142)과 각각 마주하여 배치되는 제2 마그네틱 기어(144)와, 상기 제2 마그네틱 기어들(144)과 상기 체인 기어들(112) 사이를 연결하는 제2 구동축들(146)을 포함할 수 있다.
상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들(142, 144)은 각각 다수의 영구 자석들을 포함하며, 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들(142, 144) 사이에서 상기 영구 자석들에 의해 작용하는 자기력에 의해 회전력 전달이 이루어진다. 구체적으로, 각각의 제1 및 제2 마그네틱 기어들(142, 144)은 자체의 중심에 대하여 방사상으로 배치되는 다수의 영구 자석들을 포함하며, 상기 자석들은 원주 방향으로 극성이 번갈아 바뀌도록 배치될 수 있다.
또한, 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들(142, 144)은 상기 챔버(102)의 일 측벽을 사이에 두고 서로 마주하며, 상기 챔버(102)의 일 측벽(102a)으로부터 소정 간격 이격되어 배치되므로, 상기 동력 제공부(122) 및 제1 동력 전달부(126)의 구동에 의해 발생되는 진동이 이송 체인(110)으로 전달되는 것을 방지할 수 있다.
결과적으로, 상기 동력 제공부(122)로부터 제공되는 회전력은 타이밍 벨트(130), 구동 기어들(132), 제1 구동축들(134), 제1 마그네틱 기어들(142), 제2 마그네틱 기어들(144), 제2 구동축들(146) 및 체인 기어들(112)을 통해 상기 이송 체인(110)으로 전달된다. 상기와 같이 동력 제공부(122)로부터 상기 회전력이 각각의 체인 기어들(112) 모두에 균일하게 전달될 수 있으므로, 상기 이송 체인(110)의 회전이 원활하게 이루어질 수 있다.
상기 제2 구동축들(146)은 상기 챔버(102) 내에 구비되는 제2 고정부재들(148)에 의해 지지될 수 있으며, 상기 제2 고정부재들(148)은 상기 제2 구동축들(146)의 원활한 회전을 위하여 다양한 형태의 베어링들을 포함할 수 있다.
도 2 및 도 4를 참조하면, 각각의 체인 기어들(112)은 상기 이송 체인(110)과 기어 결합한다. 상기 체인 기어들(112)은 디스크의 외주면을 따라서 다수의 기어 이가 형성된 구조를 갖는다. 즉, 상기 이송 체인(110)에서, 인접한 두 개의 지지 부재(110a) 사이에는 상기 링크 부재(110b)에 의해 기어 결합을 위한 그루브가 형성되며, 상기 체인 기어들(112)의 기어 이가 상기 그루브에 끼워지는 방식으로 기어 결합된다.
상기 기판(G)의 이송 방향으로 체인 기어들(112)의 양측 부위들에는 상기 이송 체인(110)의 장력 조절 및 정숙한 운전을 목적으로 다수의 아이들용 보조 기어들(150)이 배치될 수 있다. 도시된 바에 의하면, 상기 체인 기어들(112)보다 작은 직경을 갖는 다수의 보조 기어들(150)이 상기 체인 기어들(112)의 양측 부위들에 배치되어 있으나, 상기 보조 기어들(150)의 크기는 다양하게 변화될 수 있다. 예를 들면, 상기 체인 기어들(112)의 양측 부위에는 상기 체인 기어들(112)보다 큰 직경을 갖는 한 쌍의 보조 기어들이 각각 배치될 수도 있다. 또한, 상기 각각의 보조 기어들은 상기 체인 기어들(112)과 동일한 크기를 가질 수도 있으며, 상기 체인 기어들(112)과 유사한 구조를 가질 수 있다.
상기 기판(G)은 상기 이송 체인(110) 상에서 기설정된 경사각을 갖도록 위치 될 수 있으며, 상기 기판(G)이 쓰러지지 않고 기설정된 경사각을 갖도록 상기 기판(G)의 일측에서 평면을 지지하는 아이들 이송축들(160)이 상기 챔버(102) 내에 설치될 수 있다. 상기 아이들 이송축들(160)은 샤프트(162)와, 상기 샤프트(162)에 구비되는 다수의 롤러들(164)로 구성될 수 있다. 여기서, 상기 샤프트(162)가 회전 가능하게 설치되거나, 상기 롤러들(164)들이 회전 가능하게 설치될 수 있다. 즉, 상기 롤러들(164)이 아이들 롤러들(idle rollers)로 작용할 수 있는 구성이면 충분하다. 상기 샤프트(162)는 상기 기판(G)의 일 평면에 대하여 평행 배치되며, 기판(G)의 이송 방향에 대해 수직하게 연장한다. 예를 들면, 상기 아이들 이송축들(160)은 상기 챔버(102)의 타측 벽(102b)에 구비될 수 있다.
그러나, 상기 아이들 이송축들(160)은 상기 챔버(102) 내에서 상기 아이들 이송축들(160)의 기능을 대체할 수 있는 다양한 형태로 제공될 수 있으며, 상기 기판(G)의 이송 중에 상기 기판(G)의 쓰러짐을 방지할 수 있으면 충분하다. 즉, 상기 아이들 이송축(160)들을 대체하여 고정틀 등에 의해서 회전 가능하게 구비되는 아이들 롤러들(idle rollers)이 구비될 수도 있다.
또한, 상기 기판(G)의 경사각은 약 60° 이상 90° 미만의 범위를 갖는 것이 바람직하다. 예를 들어, 상기 기판(G)은 약 85° 정도의 경사각을 갖도록 배치될 수 있다. 상기 기판(G)의 경사각이 약 60° 미만인 경우, 상기 아이들 회전축(160)에 작용되는 기판(G)의 하중이 증가될 수 있으며, 이 경우 대면적 기판(G)의 지지하기 위해서는 다수의 아이들 이송축들(160)이 요구된다. 또한, 종래의 수평 이송에 비하여 공간 효율 측면에서 그다지 큰 효과를 거둘 수 없게 될 수 있다. 그러나, 상기 기판(G) 이송 중에 상기 기판(G)의 경사각이 60° 미만인 경우에도 본 발명의 기술적 범위에 해당될 수 있음은 자명하다.
상기와 같이 평판형 기판(G)이 약 60° 이상 90° 미만의 경사각으로 상기 이송 체인(110)에 지지되므로, 상기 기판(G)의 측면 부위의 부하가 집중되어 상기 기판(G)에 손상이 발생할 우려가 있다. 이를 개선하기 위하여 상기 이송 체인(110)에는 상기 기판(G)의 손상 방지를 위한 완충 부재들(116)들이 구비된다. 구체적으로, 상기 완충 부재들(116)은 상기 이송 체인(110)의 지지 부재(110a)들 상에 각각 구비되며, 상기 기판(G)은 상기 완충 부재들(116)들과 접촉하여 상기 지지 부재(110a)들에 지지된다. 특히, 본 실시예에서 상기 완충 부재들(116)은 에어 쿠션(air cushion)을 이용하여 완충한다.
도 5는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ′선을 따라서 자른 단면도로 완충 부재를 설명하기 위한 도면이다.
도 5를 추가적으로 참조하면, 상기 완충 부재들(116)은 상기 이송 체인(110)의 지지 부재들(110a)의 상부에 각각 구비된다. 상기 완충 부재들(116) 각각은 내부 공간을 갖는 하우징(116a)과, 상기 하우징(116a)의 내부 공간에 배치되는 피스톤(116b) 및 상기 피스톤(116b)의 상면에 설치되며 상기 기판(G)에 실질적으로 놓여지는 안착부(116c)를 포함한다.
상기 하우징(116a)은 내부 공간을 가지며 상단에 개구를 갖는다. 이러한 내부 공간은 에어 쿠션 기능을 위해 에어를 압축하여 반발력을 생성하기 위한 공간으로 활용된다. 상기 하우징(116a)은 상기 지지 부재(110a) 상에 설치되므로 상기 지 지 부재(110a)에 대응하는 형상을 갖게 된다. 예를 들어, 상기 하우징(116a)은 사각 박스(예컨대 육면체) 형상을 가질 수 있다. 이와 달리, 상기 하우징(116a)은 소정의 내부 공간을 형성할 수 있는 형태라면 어떠한 형태라도 무방하다. 상단의 개구는 기판(G)의 이송 방향 또는 상기 이송 체인(110)의 길이 방향을 따라서 형성될 수 있다. 이처럼 상단의 개구가 형성되는 것은 상기 기판(G)의 지지 면적을 증가시켜 보다 효과적인 완충 작용을 위함이다. 이와 달리, 상기 상단 개구는 중앙부에 사각 형태로 형성될 수도 있다.
또한, 상기 하우징(116a)은 상기 상단 개구를 제외하고, 나머지 부분에서 기밀을 유지할 수 있는 구조를 갖는 것이 바람직하다. 예컨대, 상기 하우징(116a)은 하단 및 측면들에서 기밀 유지가 가능한 구조를 가질 수 있다.
상기 피스톤(116b)은 상기 하우징(116a)의 내부에 배치된다. 상기 피스톤(116b)은 기판(G)으로부터 가해지는 하중에 의해 상기 하우징(116a) 내부 공간 내의 공기를 압축하여 반발력을 형성하는 역할을 한다. 따라서, 상기 피스톤(116a)은 플레이트 형상으로 갖고, 상기 하우징(116a)의 내부에서 측면들에 내접한다. 예컨대, 상기 하우징(116a)이 사각 박스 형상을 가지므로 상기 피스톤(116a)은 사각 플레이트 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 하우징(116a) 내부의 공기가 상기 피스톤(116b)의 하부에 위치하도록 상기 피스톤(116b)은 상기 하우징(116a)의 상단부에 초기 위치한다. 도시하진 않았지만 하우징(116a)에 내접하는 상기 피스톤(116b)의 둘레에는 기밀을 위해 고무링이 하나 이상 구비될 수 있다.
상기 안착부(116c)는 상기 피스톤(116b)의 상면에 설치되고, 상기 하우 징(116a)의 상단 개구를 통해서 노출된다. 상기 안착부(116c)는 직접 기판(G)을 지지하기 위한 구성으로, 상기 안착부(116c) 상에 기판(G)이 안착된다. 따라서, 상기 안착부(116c)는 기판(G)의 보호를 위하여 수지 계열의 탄성 재질로 이루어진 것이 바람직하다. 상기 안착부(116c)는 수지 계열로 한정되지 않고, 기판(G)의 손상을 방지할 수 있는 재질이면 무방하다. 상기 안착부(116c)는 기판(G)을 지지하는 면적 즉, 기판(G)과 접촉하는 면적의 최대로 하기 위하여 기판(G)의 이송 방향(예컨대 이송 체인(110)의 길이 방향)으로 연장되는 형상을 가질 수 있다. 한편, 앞서 설명한 바와 같이 기판(G)이 경사각을 갖고 지지됨에 따라서 상기 안착부(116c) 상에서 기판(G)이 미끄러지는 현상이 발생할 수 있다. 이를 개선하기 위하여 상기 안착부(116c)의 상면에는 상기 기판(G)의 이송 방향을 따라서 형성된 슬릿 형태의 안착홈(116f)을 갖는다. 따라서, 상기 기판(G)은 상기 안착부(116c)에 안착될 때 상기 안착홈(116f)에 기판(G)의 측면 부위 일부가 삽입되어 고정되므로, 미끄러짐 현상이 발생하지 않게 된다.
한편, 상기 하우징(116a)의 상단 개구는 상기 안착부(116c)와 피스톤(116b)의 연결을 위한 구성이므로, 상기 안착부(116c)의 형태에 따라서 상기 하우징(116a)의 상단 개구는 자유로이 형성 가능하다.
이와 같은 완충 부재들(116a)의 완충 동작을 간략하게 설명하면, 상기 기판(G)이 상기 안착부(116c)에 안착되어 하중이 가해지면, 상기 안착부(116c)는 피스톤(116b)을 아래 방향으로 가압하게 된다. 상기 피스톤(116c)의 가압에 의해 하우징(116a) 내부의 공기는 압축되고, 상기 피스톤(116c)에는 공기의 압축에 의한 반발력이 작용한다. 이러한 반발력으로 상기 기판(G)의 부하들이 완충되어 상기 기판(G)의 손상을 효과적으로 방지할 수 있게 된다.
상기 완충 부재들(116a)은 완충 효과의 향상을 위하여 압력판(116d) 및 에어 블래더(air bladder, 116e)를 더 포함할 수 있다.
상기 압력판(116d)은 상기 하우징(116a)의 내부에 배치되며, 상기 피스톤(116b)의 아래에 배치된다. 상기 압력판(116d)은 상기 하우징(116a)의 하단면에 대한 기밀 효과를 증가시키는 역할을 한다. 즉, 상기 압력판(116d)은 상기 피스톤(116b)과 대향하게 배치되어, 상기 피스톤(116b) 및 상기 하우징(116a)의 측면들과 함께 밀폐된 압축 공간을 형성하는 역할을 한다. 또한, 압력판(116d)은 공기의 압축에 의해 하우징(116a)의 하단에 가해지는 부하를 분산시키는 역할도 한다.
상기 에어 블래더(116e)는 상기 하우징(116a) 내부에서 피스톤(116b) 하부에 배치된다. 에어 블래더(116e)는 하우징(116a) 내부 공간 내의 공기가 세어 나가는 것을 사전에 예방하여 보다 효과적인 압축 반발력을 생성하는데 도움을 준다. 상기 에어 블래더(116e)는 상기 하우징(116a)의 내부 공간에 대응하는 사이즈를 갖는다.
도 6은 도 1의 기판 이송 장치를 포함하는 기판 세정 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이며, 도 7은 도 6의 기판 세정 장치에서 브러시 유닛의 설치 관계를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
여기서, 상기 기판 세정 장치에 포함된 기판 이송 유닛은 앞서 설명한 기판 이송 장치와 실질적으로 동일한 구성을 가짐으로 동일 부재에 대해서는 동일한 부호를 사용하고, 중복되는 부분은 그 상세한 설명을 생략하기로 한다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 상기 기판 세정 장치는 세정 용기(102), 기판 이송 유닛(100) 및 브러시 유닛(104)을 포함한다.
상기 세정 용기(102)는 기판(G)을 대상으로 세정 공정을 수행하기 위한 공간을 제공한다. 일 예로, 상기 공정 용기(102)는 긴 터널 형태의 세정 공간을 제공할 수 있다. 상기 공정 용기(102)의 내부에는 기판(G)을 일 방향으로 이송하기 위한 기판 이송 유닛(100)과 이송되는 기판(G)을 세정하기 위해 브러시 유닛(104)이 배치된다.
상기 기판 이송 유닛(100)은 상기 이송 체인(110)을 이용하여 기판(G)을 약 60° 이상 90° 미만의 경사각으로 이송한다. 또한, 상기 이송 체인(110)은 기판(G)을 지지하는 지지 부재들(110a)을 포함하고, 상기 지지 부재들(110a) 상면에는 기판(G)의 손상을 방지하기 위한 완충 부재들(116)이 각각 구비된다. 특히, 상기 완충 부재들(116)은 에어 쿠션을 이용한 방식으로, 공기의 압축에 의한 반발력을 이용하여 완충한다.
상기 브러시 유닛(104)은 상기 기판 이송 유닛(100)에 의해 이송되는 기판(G)의 상면에 대향하여 배치된다. 또한, 상기 브러시 유닛(104)은 이송되는 기판(G)의 표면에 접촉하여 상기 기판(G)에 대한 세정을 수행하는 역할을 한다. 상기 브러시 유닛(104)은 회전 가능하게 지지되는 회전축(104a)과 상기 회전축(104a)에 연결되어 회전 동작하는 브러시(104b)를 포함한다. 즉, 상기 브러시(104b)는 상기 회전축(104a)의 외주면에 설치된다. 또한, 도시하진 않았지만 상기 회전축(104a)은 모터 등과 같이 회전력을 제공하는 동력원에 연결되며, 동력원으로부터 제공되는 회전력에 의해 회전 동작하여 기판(G)의 세정을 수행한다.
한편, 상기 브러시 유닛(104)이 기판(G)의 폭에 대응하는 길이로 설치되므로 상기 브러시 유닛(104)의 설치 공간을 확보하기 위하여 상기 기판 이송 유닛(100)의 이송 체인(110)은 상기 브러시 유닛(104)의 설치 영역과 중첩되지 않도록 배치된다.
따라서, 본 발명에 따른 상기 기판 세정 장치에서는 도 7에 도시된 바와 같이 상기 브러시 유닛(104)의 일측으로 상기 이송 체인(110)이 구비되고, 아울러 상기 브러시 유닛(104)의 타측으로 배치되고 상기 이송 체인(110)과 동일한 구성을 갖는 제2 이송 체인(110′)을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제2 이송 체인(110′)은 그 배치상의 차이만 있을 뿐 회전 동작을 위한 구성은 상기 이송 체인(110)과 동일하다.
상기와 같은 본 발명의 실시예들에 의하면, 대면적을 갖는 차세대 평판형 기판의 처리를 위하여 상기 기판을 이송하는 기판 이송 장치에서 상기 기판을 지지하기 위한 지지 부재들과 상기 지지 부재들이 체인 구조를 갖도록 연결하는 링크 부재들을 갖는 이송 체인을 이용하여 거의 수직에 가까운 정도로 배치하여 이송함으로써 상기 기판의 처리를 위한 설비 면적을 크게 감소시킬 수 있다. 나아가서 상기 기판 처리 설비가 설치되는 클린룸의 공간 사용 효율을 크게 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 기판 이송 장치는 이송할 기판을 지지하기 위한 지지 부재들의 상면에 수지 계열의 완충 부재를 구비함으로써 이송 체인으로부터 기판으로 가해지 는 충격에 의한 기판의 손상을 방지할 수 있다. 따라서 보다 안정적으로 기판을 이송할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 측면도이다.
도 3은 도1에 도시된 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 정면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 이송 체인을 나타내는 개략적인 정면도이다.
도 5는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ′선을 따라서 자른 단면도로 완충 부재를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 도 1의 기판 이송 장치를 포함하는 기판 세정 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 7은 도 6의 기판 세정 장치에서 브러시 유닛의 설치 관계를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 기판 이송 장치 102 : 챔버
104: 브러시 유닛 104a: 회전축
104b: 브러시 110: 이송체인
110a: 지지 부재 110b: 링크 부재
112: 체인 기어 114: 구동부
116: 완충 부재 116a: 하우징
116b: 피스톤 116c: 안착부
116d: 압력판 116e: 에어 블래더
116f: 안착홈 122: 동력 제공부
124: 동력 전달부 126: 제1 동력 전달부
128: 제2 동력 전달부 130: 타이밍 벨트
132: 구동 기어 134: 제1 구동축
136: 제1 고정부재 138: 피니언 기어
140: 제1 아이들 기어 142: 제1 마그네틱 기어
144: 제2 마그네틱 기어 146: 제2 구동축
148: 제2 고정 부재 150: 보조 기어
160: 아이들 이송축 162: 샤프트
164: 롤러

Claims (14)

  1. 지지 부재들 및 링크 부재들이 교대로 연결되고, 평판형 기판을 지지하여 이송하기 위한 이송 체인;
    상기 이송 체인에 기어 결합하며 상기 기판을 이송하기 위하여 상기 이송 체인을 회전시키는 체인 기어들;
    상기 체인 기어들과 연결되며 상기 이송 체인을 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부;
    상기 이송 체인에 의해 지지된 기판의 일측에 배치되어 상기 기판이 상기 이송 체인의 상부면에 대하여 경사각을 갖도록 배치되어 이송되는 중에 상기 기판이 쓰러지지 않도록 지지하는 아이들 롤러들(idle rollers); 및
    상기 지지 부재들 상에 각각 구비되며 상기 지지 부재들에 지지되는 기판의 손상을 방지하기 위한 에어 쿠션을 이용한 완충 부재들을 포함하고,
    상기 완충 부재들 각각은
    내부 공간을 가지며 상단에 개구를 갖는 하우징;
    상기 하우징 내부에 배치되어 상기 내부 공간 내의 공기 압축을 통해 반발력을 형성하는 피스톤;
    상기 피스톤의 상면에 설치되고 상기 하우징의 상단 개구를 통해서 노출되며 상기 기판이 안착되는 안착부; 및
    상기 하우징 내부의 상기 피스톤 하부에 배치되는 에어 블래더(air bladder)를 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 완충 부재들 각각은 상기 하우징의 내부에서 상기 피스톤의 아래에 배치되는 압력판을 더 포함하고, 상기 압력판, 상기 피스톤 및 상기 하우징의 측벽들은 함께 밀폐된 압축 공간을 형성하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 안착부는 상기 평판형 기판이 미끄러지는 것을 방지하기 위하여 상기 기판의 이송 방향을 따라서 형성된 슬릿 형태의 안착 홈을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 체인 기어들의 양쪽 측방에 배치되어 상기 이송 체인과 기어 결합되며 상기 이송 체인의 장력을 조절하기 위한 아이들 풀리들(idle pulleys)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서, 상기 경사각은 60°이상 90° 미만인 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 구동부는
    상기 회전력을 제공하는 동력 제공부; 및
    상기 동력 제공부와 상기 체인 기어들 사이에 연결되어 상기 회전력을 전달하는 동력 전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  11. 평판형 기판에 대한 세정 공정을 수행하기 위한 세정 공정을 제공하는 세정 용기;
    상기 세정 용기의 내부에 배치되어 상기 평판형 기판을 이송하는 기판 이송 유닛; 및
    상기 기판 이송 유닛에 의해 이송되는 상기 평판형 기판의 상면에 대향하여 배치되고, 상기 평판형 기판의 표면에 접촉하여 상기 평판형 기판에 대한 세정을 수행하는 브러시 유닛을 포함하며,
    상기 기판 이송 유닛은
    지지 부재들 및 링크 부재들이 교대로 연결되고, 평판형 기판을 지지하여 이송하기 위한 이송 체인;
    상기 이송 체인에 기어 결합하며 상기 기판을 이송하기 위하여 상기 이송 체인을 회전시키는 체인 기어들;
    상기 체인 기어들과 연결되며 상기 이송 체인을 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부;
    상기 이송 체인에 의해 지지된 기판의 일측에 배치되어 상기 기판이 상기 이송 체인의 상부면에 대하여 경사각을 갖도록 배치되어 이송되는 중에 상기 기판이 쓰러지지 않도록 지지하는 아이들 롤러들(idle rollers); 및
    상기 지지 부재들 상에 각각 구비되며 상기 지지 부재들에 지지되는 기판의 손상을 방지하기 위한 에어 쿠션을 이용한 완충 부재들을 포함하고,
    상기 완충 부재들 각각은
    내부 공간을 가지며 상단에 개구를 갖는 하우징;
    상기 하우징 내부에 배치되어 상기 내부 공간 내의 공기 압축을 통해 반발력을 형성하는 피스톤;
    상기 피스톤의 상면에 설치되고 상기 하우징의 상단 개구를 통해서 노출되며 상기 기판이 안착되는 안착부; 및
    상기 하우징 내부의 상기 피스톤 하부에 배치되는 에어 블래더(air bladder)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
  12. 삭제
  13. 제11항에 있어서, 상기 기판 이송 유닛의 이송 체인은 상기 브러시 유닛이 상기 기판의 폭에 대응하는 길이로 설치되기 위하여 상기 브러시 유닛의 설치 영역과 중첩되지 않도록 상기 브러시 유닛의 일측에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치
  14. 제13항에 있어서, 상기 기판 이송 유닛은 상기 이송 체인에 인접하며 상기 브러시 유닛의 설치 영역과 중첩되지 않도록 상기 브러시 유닛의 상기 일측과 대향하는 타측에 배치되는 제2 이송 체인을 포함하고, 상기 제2 이송 체인은 상기 이송 체인과 동일한 구성을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
KR1020090025048A 2009-03-24 2009-03-24 기판 이송 장치 및 이를 갖는 기판 세정 장치 KR101065329B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090025048A KR101065329B1 (ko) 2009-03-24 2009-03-24 기판 이송 장치 및 이를 갖는 기판 세정 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090025048A KR101065329B1 (ko) 2009-03-24 2009-03-24 기판 이송 장치 및 이를 갖는 기판 세정 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100106829A KR20100106829A (ko) 2010-10-04
KR101065329B1 true KR101065329B1 (ko) 2011-09-16

Family

ID=43128849

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090025048A KR101065329B1 (ko) 2009-03-24 2009-03-24 기판 이송 장치 및 이를 갖는 기판 세정 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101065329B1 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101710400B1 (ko) 2010-10-29 2017-02-28 엘지전자 주식회사 무선 통신 시스템에서 최저 보장 비트 레이트 설정 방법 및 이를 위한 장치
KR102125711B1 (ko) 2020-04-07 2020-06-23 황인 금속 박판 처리 장치
CN113611639B (zh) * 2021-10-11 2021-12-07 南通西瑞电子科技有限公司 一种半导体晶圆片腐蚀装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50129784U (ko) 1974-04-15 1975-10-24
JPS56152239A (en) * 1980-04-26 1981-11-25 Kuresen Sangyo Kk Cleaning and drying device and cartridge used therefor
KR100835202B1 (ko) * 2006-12-01 2008-06-05 세메스 주식회사 기판 이송 장치
KR100847093B1 (ko) * 2007-03-19 2008-07-18 에프엔에스테크 주식회사 기판 이송장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50129784U (ko) 1974-04-15 1975-10-24
JPS56152239A (en) * 1980-04-26 1981-11-25 Kuresen Sangyo Kk Cleaning and drying device and cartridge used therefor
KR100835202B1 (ko) * 2006-12-01 2008-06-05 세메스 주식회사 기판 이송 장치
KR100847093B1 (ko) * 2007-03-19 2008-07-18 에프엔에스테크 주식회사 기판 이송장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100106829A (ko) 2010-10-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100835202B1 (ko) 기판 이송 장치
KR100778208B1 (ko) 기판 반송 장치, 기판 반송 방법 및 기판 처리 시스템
CN101542171B (zh) 基板搬运装置及包含该装置的真空处理装置
KR101065329B1 (ko) 기판 이송 장치 및 이를 갖는 기판 세정 장치
CN109132548B (zh) 玻璃基板翻转上片装置和玻璃基板加工系统
KR20090111607A (ko) 기판 이송용 롤러 및 이를 구비하는 기판 이송 장치
KR20090129156A (ko) 기판 반송 장치 및 그 방법 그리고 그 장치를 갖는 기판제조 설비
KR101071268B1 (ko) 기판 이송 장치
KR100560959B1 (ko) 기판이송축의 처짐방지용 마그네트 베어링이 구비된기판반송장치
CN107381047B (zh) 一种吸附设备及玻璃传送装置
KR100813617B1 (ko) 기판 이송 유닛 및 이를 이용한 기판 이송 방법
KR101040696B1 (ko) 기판 이송 장치
KR101116654B1 (ko) 기판 이송 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR100819039B1 (ko) 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR101040695B1 (ko) 기판 이송 장치
KR100783069B1 (ko) 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR100767632B1 (ko) 기판용 반송장치
KR20090020093A (ko) 기판 이송용 샤프트 지지 장치
KR20100056610A (ko) 기판 이송 장치
KR100991101B1 (ko) 기판 이송 장치
KR20060122252A (ko) 평판표시장치 기판 이송용 컨베이어
KR20090125935A (ko) 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR100811107B1 (ko) 기판 이송 장치
JP2002161949A (ja) 偏心揺動型減速機を用いた搬送装置
KR100862232B1 (ko) 기판 처리 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140903

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150902

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160901

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170905

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180904

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190905

Year of fee payment: 9