KR100847093B1 - 기판 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판의 이송장치에 관한 것으로서, 본 발명에 의한 기판 이송장치는 무한궤도장치에 의해 기판을 이송하는 과정에서 기판에 미치는 충격횟수를 최소화하고, 충격흡수수단을 구비하여 충격을 흡수할 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 충격흡수장치에 의해 충격을 흡수하고 기판이송수단과 기판의 접촉을 최소화함에 의하여 기판이송과정에서의 기판의 손상을 방지할 수 있다.

수직, 기판이송, 충격흡수, 컨베이어벨트

Description

기판 이송장치{Substrate transfering apparatus}

도 1 는 본 발명에 의한 기판이송장치를 도시한 것이다.

도 2는 본 발명에 의한 충격흡수벨트를 포함하는 컨베이어벨트를 도시한 것이다.

도 3 내지 도 5는 본 발명에 의한 충격흡수벨트를 도시한 것이다.

도 6은 본 발명에 의한 충격흡수돌기를 포함하는 컨베이어벨트를 도시한 것이다.

도 7 내지 도 9는 본 발명에 의한 충격흡수돌기를 도시한 것이다.

도 10은 종래 기판이송장치를 도시한 것이다.

본 발명은 수직기판이송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 평판디스플레이(FPD;Flat panel display), 반도체웨이퍼, 포토마스크용 글라스 등에 사용되는 기판은 일련의 처리라인을 거치면서 에칭, 스트립, 린스 등의 과정을 거친 후 세정을 하게 된다.

이러한 기판의 처리라인에 있어서 라인간에 기판을 이송하기 위한 이송장치들이 필수적으로 적용되며, 통상적으로는 기판을 수평상태로 이송하는 방식이다.

그러나 이러한 기판이송장치는 기판의 폭만큼의 공간이 필요하므로 기판이 대형화되면서 설치면적 및 설치비가 증가하였다.

따라서 이러한 문제점을 해결하기 위해 기판을 수직으로 세워서 이송함에 의하여 기판처리를 위한 공간을 최소화함으로써 설치비 및 설치면적을 줄일 수 있는 방법이 제시되었다.

이러한 기판 수직이송장치는 통상적으로 기판을 이송하는 다수개의 이송롤러와, 다수개의 이송롤러를 구동시키는 동력원, 그리고 세워진 기판을 지지하는 지지롤러로 이루어진다.

평판표시소자 등에서는 매우 높은 수준의 정밀도를 요구하므로 작은 크기의 손상에 의해서도 제품의 품질에 치명적인 영향을 미치고, 기판의 이송과정에서 기판의 손상이 발생하지 않도록 하는 것이 제품의 품질관리에 있어서 매우 중요한 요소가 되는데, 유리기판을 수직으로 세워서 이송하는 과정에서 기판은 두께는 좁은데 반해 면적은 넓어 기판의 하부에 가해지는 하중이 크므로 작은 충격만으로도 기판의 손상을 가져올 위험이 크고, 기판이송을 위하여 종래처럼 다수개의 롤러를 사용하는 경우 한 롤러에서 다른 롤러로 이송되는 동안 기판이 접촉하는 롤러의 개수만큼 기판 모서리와 롤러가 자주 부딪히고, 또한 롤러가 충격을 흡수할 수 있는 재질로 구성되지 않았으므로, 도 10에서 도시한 바와 같이 기판(300)이 롤러(400)에서 이송되면서 이웃한 롤러로 이동되는 과정에서 기판의 모서리에 충격이 가해지므 로 기판이 손상될 가능성이 매우 높았다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 수직으로 기판을 이송하는 과정에서 기판과 기판이송수단과의 접촉을 최소화하고, 충격흡수수단을 구비하여 충격을 흡수할 수 있도록 하여 기판이송과정에서의 기판의 손상을 방지할 수 있다.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 기판이송장치는, 수직으로 세워진 기판의 측면을 지지하는 지지수단, 기판을 이송하는 컨베이어 벨트, 상기 컨베이어 벨트의 장력을 유지하면서 양쪽 끝에 위치하여 컨베이어 벨트를 구동시키는 구동부를 포함한다.

컨베이어 벨트는 공정 또는 장소에 따라 하나 또는 그 이상으로 배치할 수 있다. 롤러를 사용하는 경우에는 하나의 롤러에서 다른 롤러로 이동되는 과정에서 수많은 기판과 롤러와의 접촉에 의한 기판손상의 위험이 존재하지만, 컨베이어 벨트를 이용하는 경우 하나의 컨베이어 벨트에 올려진 기판이 그 컨베이어 벨트에서 다른 컨베이어 벨트로 이송되는 횟수가 롤러를 사용하는 경우보다 훨씬 적으므로 기판의 모서리와 기판이 옮겨지는 컨베이어 벨트와의 접촉 횟수기판의 손상가능성을 매우 낮게 할 수 있다.

또한, 상기 컨베이어 벨트의 외측에 충격흡수벨트를 더 포함하는 것이 바람직하다. 컨베이어 벨트만으로 기판을 이송하는 경우도, 롤러를 사용하는 경우보다 기판의 손상가능성을 현저히 낮출 수 있지만 기판이 컨베이어 벨트로 이동하는 동안 발생하는 손상을 방지하기 위하여 컨베이어 벨트 외면에 충격흡수벨트를 결합하여 기판과 컨베이어 벨트가 접촉함에 따라 발생하는 충격을 흡수할 수 있다.

또한, 상기 충격흡수벨트는, 상기 컨베이어 벨트 외면을 둘러싸고, 자성체로 구성된 내부벨트부재, 상기 내부벨트부재를 일정한 간격을 띄워 둘러싸고, 마주보는 내부벨트부재면과 같은 극을 띄는 자성체로 구성된 외부벨트부재를 포함하는 것이 바람직하다. 외부벨트부재와 내부벨트부재의 마주보는 면이 같은 극을 띄도록 배치하면 외부벨트부재와 내부벨트부재 사이에 반발력이 작용하여 서로 일정한 간격을 유지한 상태가 되므로, 이 간격은 외부의 충격에 의해 줄어들었다가 다시 자석의 반발력으로 인해 회복할 수 있으므로 기판이 이송되면서 받는 충격을 더욱 잘 흡수할 수 있게 된다. 기판과 접촉하는 외부벨트부재의 재질은 고무자석 등과 같은 유연성이 있으면서도 원래의 형태로 복원 가능한 재질이 바람직하다.

또한, 상기 충격흡수벨트는, 상기 컨베이어 벨트 외면을 둘러싸는 내부벨트부재, 내부벨트부재에서 일정한 간격을 띄워 둘러싸는 외부벨트부재, 상기 내부벨트부재에 결합한 자성체, 맞은 편에 있는 상기 내부벨트부재와 같은 극을 띄도록 배치한, 상기 외부벨트부재에 결합한 자성체를 포함하는 것이 바람직하다.

즉, 외부벨트부재 및 내부벨트부재 자체를 자성체로 구성하는 것도 가능하지만, 자성체를 외부벨트부재 및 내부벨트부재에 결합하여 자성체의 반발력을 이용하 여 기판이 이송되는 과정에서 받는 충격을 잘 흡수할 수 있게 된다.

또한, 상기 충격흡수벨트의 내부가 유체로 채워져 있는 것이 바람직하다.

충격흡수벨트의 내부를 유체로 채우면, 유체가 수축하였다가 유체의 압력에 의하여 다시 원래대로 팽창하는 것에 의하여 기판이 이송되면서 받는 충격을 흡수하므로 기판에 가해지는 충격을 최소화할 수 있어 기판의 손상이 방지된다.

또한, 상기 충격흡수벨트는 탄성체로 이루어지는 것이 바람직하다. 충격흡수벨트로 탄성체가 사용되면 탄성체는 유연성을 가지므로 기판이 받는 충격을 잘 흡수할 수 있다.

또한, 상기 충격흡수 벨트는 상기 컨베이어 벨트의 외면을 둘러싸는 내부벨트부재, 내부벨트부재에서 일정한 간격을 띄워 둘러싸는 외부벨트부재, 상기 내부벨트부재와 상기 외부벨트부재 사이에 위치하는 스프링을 포함하는 것이 바람직하다.

스프링을 내부벨트부재와 외부벨트부재 사이에 위치함에 의해 외부벨트부재와 내부벨트부재 사이에 형성되는 간격이 유연성을 가지므로 기판이 받는 충격을 흡수하여 기판의 손상을 방지할 수 있다.

또한, 상기 컨베이어 벨트의 외측에 다수의 충격흡수돌기를 더 포함하는 것이 바람직하다.

충격흡수벨트처럼 연결된 구조가 아니라, 돌기형태의 충격흡수돌기를 상기 컨베이어 벨트의 외면에 형성시키면 유연성이 증가하여 보다 효율적으로 충격을 흡수할 수 있다.

또한, 상기 충격흡수돌기는 개방된 윗면에 걸림부가 형성되고, 밑면이 자성체로 구성되는 하우징, 상기 하우징 안에서 수평상태로 상하 이동할 수 있고, 마주보는 상기 하우징의 밑면과 같은 극을 띄는 자성체로 구성된 이동부재를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 이동부재는 하우징안에 수평으로 배치되어, 같은 극으로 배치된 자성체들 간의 반발력에 의해 외력이 가해지지 않은 상태에서는 위로 부상해 있다가 기판의 이송 등에 의하여 외력이 가해지면 아래로 움직였다가 다시 반발력으로 위로 부상할 수 있다.

상기 하우징의 윗면은 개방되어 이동부재의 윗면이 외부로 드러나며 이 위로 기판이 이송될 수 있다. 또한, 상기 하우징의 윗면에는 이동부재가 이탈되지 않고, 걸릴 수 있도록 걸림부가 형성된다.

하우징의 밑면과 이동부재가 마주보는 면이 같은 극을 띄도록 배치하면 반발력에 의하여 이동부재가 위로 부상하게 되고, 이 공간이 외부충격에 따라 줄었다가 다시 반발력으로 인하여 일정한 간격이 띄워진 상태로 돌아오므로 이를 통하여 외부의 충격을 흡수할 수 있다.

또한, 상기 충격흡수돌기는, 개방된 윗면에 걸림부가 형성된 하우징, 상기 하우징 안에서 수평상태로 상하 이동할 수 있는 이동부재, 상기 하우징의 밑면에 결합한 자성체, 상기 하우징의 밑면과 상기 이동부재가 마주보는 면이 같은 극이 되도록 배치하고, 상기 이동부재의 밑면에 결합한 자성체를 포함하는 것이 바람직하다.

즉, 상기 하우징의 밑면 및 상기 이동부재 자체를 자성체로 구성하는 것도 가능하지만, 자성체를 각각 상기 하우징의 밑면 및 상기 이동부재에 결합하는 것도 가능하며, 이 경우도 상기 하우징의 밑면과 상기 이동부재가 마주보는 면이 같은 극이 되도록 배치하면 자성체의 반발력을 이용하여 기판이 이송되는 과정에서 받는 충격을 잘 흡수할 수 있게 된다.

또한, 상기 충격흡수돌기는, 개방된 윗면에 걸림부가 형성되고, 내부에 유체가 채워져 있는 하우징, 상기 하우징 안에 수평상태로 끼워져 있으며 수평상태로 상하 이동할 수 있는 이동부재를 포함하는 것이 바람직하다.

하우징의 내부가 유체로 채워져 있고 이동부재는 외력이 가해지지 않은 상태에서는 유체에 의해 위로 부상해 있다가, 외력이 가해지면 충격을 흡수하면서 아래로 내려갔다가 다시 유체의 압력에 의해 위로 올라가고, 이 과정에서 기판이 받는 충격을 흡수하여 기판의 손상을 방지한다.

또한, 상기 충격흡수돌기는 탄성체로 이루어지는 것이 바람직하다. 충격흡수돌기로 탄성체가 사용되면 탄성체는 유연성을 가지므로 기판이 받는 충격을 잘 흡수할 수 있다.

또한, 개방된 윗면에 걸림부가 형성된 하우징, 상기 하우징 안에 수평상태로 상하 이동할 수 있는 이동부재, 상기 하우징 내부에 수직으로 세워진 스프링을 포함하는 것이 바람직하다.

스프링을 이동부재 아래에 수직으로 위치함에 의해 외부벨트부재와 내부벨트부재 사이에 형성되는 공간이 유연성을 가지므로 기판이 받는 충격을 흡수하여 기판의 손상을 방지할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시 예의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다.

도 1은 본 발명에 의한 충격흡수벨트를 포함하는 기판이송장치의 일 실시 예를 도시한 것으로서, 본 발명에 의한 기판이송장치는 컨베이어벨트(100), 구동부(231)(232), 기판(300), 수직으로 세워진 기판의 측면을 지지하는 지지수단(510)(520)을 포함한다.

기판을 이송하기 위해 이송롤러를 여러 개 연결하여 이송하는 경우에는 하나의 롤러에서 이웃한 롤러로 이송되면서 모서리에 가해지는 충격에 의해 기판이 손상되는 가능성이 크지만, 본원발명에서처럼 컨베이어 벨트를 이용하면 이러한 충격횟수를 매우 적게 할 수 있어 기판의 손상가능성을 현저히 낮출 수 있다.

컨베이어벨트의 외측에 도 2에서 도시한 것과 같이 충격흡수벨트(210)을 더 포함할 수 있는데, 구동부가 회전하면서 컨베이어 벨트를 회전시켜 기판은 이송방향으로 이송되고, 기판이 이웃한 컨베이어벨트로 이동될 때, 기판의 모서리 부분이 컨베이어벨트와 만나면서 받는 충격을 충격흡수벨트가 흡수하므로 기판의 손상을 방지할 수 있다.

충격흡수벨트로는 도 3 내지 도 5에서 도시한 충격흡수벨트를 이용함이 바람직하다.

도 3은 충격흡수벨트(210)의 외부벨트부재(211)과 내부벨트부재(212)를 도시 한 것이다. 외부벨트부재 및 내부벨트부재는 각각 자성체로 구성되거나, 각각에 자성체를 포함하는 형태로 구성할 수 있다.

외부벨트부재(211)와 내부벨트부재(212)가 같은 극 끼리 밀치는 반발력에 의하여 일정한 간격을 유지할 수 있어야 하므로, 외부벨트부재와 내부벨트부재가 마주보는 곳은 같은 극을 띄도록 배치되어야 한다. 즉, 외부벨트부재의 내부벨트부재와 마주보는 면이 N극인 경우 내부벨트부재의 외부벨트부재와 마주보는면의 극도 N극이어야 서로 반발력에 의해 일정한 간격이 유지된다. 이 간격은 기판이 이송되면서 좁아졌다가, 다시 반발력에 의한 복원이 되는 과정을 통하여 기판이 받는 충격을 흡수하게 되므로 기판의 손상을 방지할 수 있게 된다.

도 4는 충격흡수벨트의 내부에 유체를 채운 것을 도시한 것으로, 충격흡수벨트에 유체가 압력을 가하므로 일정한 간격이 생기게 되고 이 간격은 기판이 이동되어 오면서 수축하였다가 다시 유체의 압력으로 인하여 원래 상태로 복원하는 과정에서 기판에 가해지는 충격을 흡수하므로 기판의 손상을 방지할 수 있게 된다.

도 5는 충격흡수벨트의 내부공간에 스프링을 수직으로 설치한 것을 도시한 것이다. 스프링에 의해 충격흡수벨트가 유연성 및 탄력성을 가지므로 기판이송과정에서 기판이 받는 충격을 충격흡수벨트가 흡수하여 기판의 손상을 방지할 수 있다.

이외에도 충격흡수벨트(210) 전체를 탄성체로 구성하여 충격을 흡수하도록 할 수도 있다.

도 6는 본 발명에 의한 컨베이어 벨트의 외측에 충격흡수돌기를 포함한 기판이송장치를 도시한 것이다. 충격흡수돌기(210)는 각각 움직여서 충격을 인접한 곳 으로 전달하지 않고 더욱 잘 충격을 흡수하므로, 기판의 손상을 보다 적게 할 수 있다.

충격흡수돌기(220)는 도 7 내지 도 9에서 도시한 바와 같이 구성하는 것이 바람직하다.

도 7은 자성체를 이용한 충격흡수돌기를 도시한 것으로서, 이동부재(221)와 하우징(222)으로 구성된다. 이동부재(221)는 하우징 내에 수평으로 설치되어 상하로 이동할 수 있고, 이동부재는 자성체로 구성되거나, 자성체를 포함할 수 있다.

이동부재과 하우징의 밑면이 마주보는 면은 같은 극이 배치되도록 구성하여 반발력에 의하여 이동부재가 위로 떠있는 상태가 된다. 또한, 하우징의 윗면에는 이동부재가 하우징에서 이탈하지 않도록 걸림부가 형성된다.

기판(300)이 이동부재(221)위로 이송되어 오면 그 충격을 흡수하면서 이동부재는 아래로 내려갔다가 다시 자석의 반발력에 의하여 위로 올라가고 이에 따라 기판이 받는 충격을 흡수할 수 있다.

도 8은 유체를 하우징내부에 채운 충격흡수돌기를 도시한 것으로서, 이동부재(223)가 하우징(224)내부에 수평상태로 끼워져 있고 유체의 압력으로 인하여 평상시에는 위로 떠있다가 기판이 이송되어 오면 그 충격을 흡수하면서 유체를 눌러 아래로 내려왔다가 다시 유체의 압력에 의하여 위로 올라간다.

도 9는 스프링(227)을 하우징(226) 내부에 수직으로 세운 것을 도시한 것이다. 기판이 이송되어 오면 스프링은 압축되면서 이동부재(225)를 누르면서 충격흡수돌기가 충격을 흡수하고, 이후에는 다시 스프링의 복원력에 의해 이동부재가 위 로 올라간다.

충격흡수돌기는 이외에도 탄성체로 구성할 수도 있다.

본 발명에 따르면, 수직으로 기판을 이송하는 과정에서 기판 모서리에 가해지는 충격횟수를 최소화하고, 충격흡수수단을 구비하여 충격을 흡수할 수 있도록 하여 기판이송과정에서의 기판의 손상을 방지할 수 있다.

Claims (13)

1. 삭제
2. 수직으로 세워진 기판의 측면을 지지하는 지지수단;과

   기판을 이송하는 컨베이어 벨트;와

   상기 컨베이어 벨트의 장력을 유지하면서 양 쪽 끝에 위치하여 컨베이어 벨트를 구동시키는 구동부; 및

   상기 컨베이어 벨트의 외측에 충격흡수벨트;

   를 포함하는 기판이송장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 충격흡수벨트는,

   상기 컨베이어 벨트 외면을 둘러싸고, 자성체로 구성된 내부벨트부재;

   상기 내부벨트부재를 일정한 간격을 띄워 둘러싸고, 마주보는 내부벨트부재면과 같은 극을 띄는 자성체로 구성된 외부벨트부재;

   를 포함하는 기판이송장치.
4. 제2항 있어서, 상기 충격흡수벨트는,

   상기 컨베이어 벨트 외면을 둘러싸는 내부벨트부재;

   내부벨트부재에서 일정한 간격을 띄워 둘러싸는 외부벨트부재;

   상기 내부벨트부재에 결합한 자성체;

   맞은 편에 있는 상기 내부벨트부재와 같은 극을 띄도록 배치한, 상기 외부벨트부재에 결합한 자성체;

   를 포함하는 기판이송장치.
5. 제2항에 있어서,

   상기 충격흡수벨트의 내부가 유체로 채워져 있는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
6. 제2항에 있어서,

   상기 충격흡수벨트는 탄성체로 이루어지는 기판이송장치.
7. 제2항에 있어서, 상기 충격흡수 벨트는

   상기 컨베이어 벨트의 외면을 둘러싸는 내부벨트부재;

   내부벨트부재에서 일정한 간격을 띄워 둘러싸는 외부벨트부재;

   상기 내부벨트부재와 상기 외부벨트부재 사이에 위치하는 스프링;

   을 포함하는 기판이송장치.
8. 수직으로 세워진 기판의 측면을 지지하는 지지수단;과

   기판을 이송하는 컨베이어 벨트;와

   상기 컨베이어 벨트의 장력을 유지하면서 양 쪽 끝에 위치하여 컨베이어 벨트를 구동시키는 구동부; 및

   상기 컨베이어 벨트의 외측에 다수의 충격흡수돌기;

   를 포함하는 기판이송장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 충격흡수돌기는

   개방된 윗면에 걸림부가 형성되고, 밑면이 자성체로 구성되는 하우징;

   상기 하우징 안에서 수평상태로 상하 이동할 수 있고, 마주보는 상기 하우징의 밑면과 같은 극을 띄는 자성체로 구성된 이동부재;

   를 포함하는 기판이송장치.
10. 제8항에 있어서, 상기 충격흡수돌기는

    개방된 윗면에 걸림부가 형성된 하우징;

    상기 하우징 안에서 수평상태로 상하 이동할 수 있는 이동부재;

    상기 하우징의 밑면에 결합한 자성체;

    상기 하우징의 밑면과 상기 이동부재가 마주보는 면이 같은 극이 되도록 배치하고, 상기 이동부재의 밑면에 결합한 자성체;

    를 포함하는 기판이송장치.
11. 제8항 있어서, 상기 충격흡수돌기는

    개방된 윗면에 걸림부가 형성되고, 내부에 유체가 채워져 있는 하우징;

    상기 하우징 안에 수평상태로 끼워져 있으며 수평상태로 상하 이동할 수 있는 이동부재;

    를 포함하는 기판이송장치.
12. 제8항에 있어서,

    상기 충격흡수돌기는 탄성체로 이루어지는 기판이송장치.
13. 제8항에 있어서,

    개방된 윗면에 걸림부가 형성된 하우징;

    상기 하우징 안에 수평상태로 상하 이동할 수 있는 이동부재;

    상기 하우징 내부에 수직으로 세워진 스프링;

    을 포함하는 기판이송장치.

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