KR100530779B1

KR100530779B1 - 기판용 반송제진장치

Info

Publication number: KR100530779B1
Application number: KR10-1999-0061587A
Authority: KR
Inventors: 다카기하지메; 간노모리토시
Original assignee: 휴글엘렉트로닉스가부시키가이샤
Priority date: 1999-01-26
Filing date: 1999-12-24
Publication date: 2005-11-23
Also published as: KR20000052561A; JP2000210630A; TW402529B

Abstract

흡착스테이지를 사용하지 않아도 흡착력에 대한 저항력을 확실하게 주는 동시에, 장치전체의 소형화, 구조의 간소화, 저코스트화를 가능하게 한 기판용 반송 (搬送)제진장치를 제공한다. 적어도 각 1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 제진유니트 방향에 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향하여 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서, 제진유니트는 제1에어흡인실(101V)과 제1에어배출실(101P)이 기판반송 방향에 따라 나란히 배치되고, 또한 제1에어흡인실(101V)의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해 기판에 종동하여 회전하는 산륜(散輪; 302)등의 회전체를 갖추도록 했다.

Description

기판용 반송제진장치 {CONVEYING AND DUST CLEANING APPARATUS FOR THE SUBSTRATE}

본 발명은 유리판, 합성수지판, 또는 금속판 등의 기판을 반송하여, 그 표면의 티끌이나 먼지 등을 단순한 청정에어나 초음파주파수로 진동하는 청정에어(이하, 단지 초음파에어라고 말함)에 의해 흡인제거하는 기판용 반송제진장치에 관한 것이다.

종래, 기판의 일례인 TFT(박막 트랜시스터) 액정패널, PDP(플라즈마 디스플레이 패널) 또한 LCD(액정디스플레이) 등에 사용되는 유리기판을 대상으로 한 제진장치로서, 예를 들면 특개평 7-60211호공보에 기재된 것이나, 실용신안등록제3009694호공보에 기재된 것이 알려져 있다.

이들 제진장치에서는 초음파에어를 기판표면에 분사하는 에어배출실과, 초음파에어에 의해 말아 올라간 먼지를 흡인제거하는 에어흡인실로 이루어지는 제진유니트를, 유리기판의 상방에 있어서 기판반송방향에 따라서 배치하는 것이 기본적인 구조로 되어 있다.

그렇기는 하지만 상술한 구조를 채용하는 한, 제진유니트의 바로 아래로 반송되어 온 유리기판은 에어흡인실의 부압에 의해 상방으로 빨아 올려지게 되는 경우가 있다. 특히 TFT 액정패널용의 기판은 0.3mm∼1.1mm라는 얇은 유리기판이어서 빨아 올려지게 되는 일이 많다.

일반적으로, 제진효율을 올리기 위해 에어흡인구와 유리기판 표면과의 간격은 짧게 설정되어 있고, 부압에 의해 빨아 올려진 유리기판이 에어흡인구에 접촉되거나, 이동되거나 하는 염려가 있어서, 이것들의 거동이 유리기판을 손상시키는 원인이 되기도한다.

상기 문제를 해소하기 위하여, 부압에 의한 흡인력보다 큰 저항력(이하, 단지 저항력이라고 말함)을 유리기판에 주어, 흡인을 피할 필요가 있다.

그러한 종래기술의 예로서, 반송되어 온 유리기판을 흡착스테이지로 하방에서 흡착하여 이 흡착스테이지를 제진유니트의 하방에 반송함으로 인해 유리기판이 에어흡인구쪽으로 빨아 올려지지 않도록 하는 반송장치가 있다.

도 12는 흡착스테이지를 사용하는 반송장치의 일례를 개략적으로 나타낸 것이며, (11)은 2개의 에어흡인실(V)과 그 사이의 1개의 에어배출실(P)을 가지는 제진유니트, (13)은 밀어 올림 핀(14)을 갖춘 흡착스테이지, (12, 15)는 흡착스테이지(13)의 전후에 배치된 셔터, (G)는 제진해야 할 유리기판이다.

그 동작은 유리기판(G)의 진입(스텝 S1)에서 시작되며, 기판(G)을 흡착스테이지(13)로 하방에서 흡착하여(스텝 S2, S3), 그 상태로 제진유니트(11)의 하방을 통과시켜서 그 사이에 제진을 행하고(스텝 S4), 그 후 기판(G)의 배출(스텝 S5, S6), 흡착스테이지(13)의 복귀(스텝 S7∼S9)라는 일련의 조작을 반복하고 있다.

도 12와 같이 흡착스테이지(13)를 사용하는 경우에는, 흡착스테이지(13)의 이동스트로크를 고려하여 그 이동방향에 따라서 셔터(12, 15)의 치수도 포함한 충분한 공간을 확보하지 않으면 안되며, 이것이 반송장치 전체의 대형화를 초래했었다. 동시에, 흡착스테이지(13)나 셔터(12, 15)를 수평방향(전후방향) 및 상하방향으로 구동하는 기구가 불가결하며, 장치는 대규모가 되었다.

이와 같이 장치는 대규모이지만, TFT 액정패널 등을 사용하는 유리기판이 얇음으로 인한 유리기판의 빨아올림이나 유리기판의 휨변형에 대처하기 위해서도 상술한 흡착스테이지(13)를 사용할 수밖에 없었다.

그렇기는 하지만, PDP에 사용되는 기판은 두께 수 mm의 유리기판이며, 유리기판의 빨아올림이나 유리기판의 휨변형이 발생할 염려가 적은 것이었다.

또한 합성수지나 금속의 기판은 기판의 빨아올림이 발생하기는 하지만, 소정한도내의 휨발생이 허용되는 기판이었다.

상술한 것과 같은 기판을 대상으로 하는 제진장치로서 흡착스테이지를 사용하는 것은 과잉성능이라서 코스트가 높아져서 경제적이 아니었다.

또한, 합성수지의 회로용기판 등, 기판자체에 구멍이 뚫려 있는 기판은 흡착할 수 없었다.

상술한 것과 같은 두꺼운 유리판, 합성수지판, 또는 금속판 등의 기판에 청정에어나 초음파에어를 내뿜어서 세정하는 제진장치에 있어서 흡착스테이지의 사용을 피하고, 또한 에어흡인구의 흡착력에 대한 저항력을 확실하게 주고 싶다는 요청이 있었다.

따라서 본 발명은 흡착스테이지를 사용하지 않아도 흡착력에 대한 저항력을 확실하게 줌과 동시에 장치전체의 소형화, 구조의 간소화, 저코스트화를 가능하게 하는 기판용 반송제진장치를 제공하려고 하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위해 청구항 1 기재의 발명은, 적어도 각 1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 상기 제진유니트 방향으로 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향하여 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 제진유니트는 제1에어흡인실과 제1에어배출실이 기판반송 방향에 따라서 나란히 배치되고, 또한 상기 제1에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송 중의 기판에 주기 위해서 기판에 종동해서 회전하는 회전체를 갖추도록 한 것이다.

청구항 2 기재의 발명은, 적어도 각 1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 상기 제진유니트 방향으로 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향하여 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 제진유니트는 제1에어흡인실과 이것을 사이에 두는 제1, 제2에어배출실이 기판반송방향에 따라서 나란히 배치되고, 또한 상기 제1에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해서 기판에 종동해서 회전하는 회전체를 갖추도록 한 것이다.

청구항 3 기재의 발명은, 적어도 각 1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 상기 제진유니트 방향으로 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향하여 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 제진유니트는 제1에어배출실과 이것을 사이에 두는 제1, 제2에어흡인실이 기판반송방향에 따라서 나란히 배치되고, 또한 상기 제1, 제2에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해서 기판에 종동해서 회전하는 회전체를 갖추도록 한 것이다.

청구항 4 기재의 발명은, 적어도 각 1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 상기 제진유니트 방향으로 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향하여 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 제진유니트는 제1에어흡인실과 제1에어배출실이 기판반송방향에 따라서 나란히 배치되고 동시에 제1에어흡인실의 맞은편에 기판의 뒷면에 부압을 작용시키는 제2에어흡인실이 배치되되 상기 제1에어흡인실과 상기 제2에어흡인실 사이에 기판반송경로가 위치하며, 또한 상기 제1, 제2에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해서 기판에 종동해서 회전하는 회전체를 갖추도록 한 것이다.

청구항 5 기재의 발명은, 적어도 각 1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 상기 제진유니트 방향으로 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향하여 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 제진유니트는 제1에어흡인실과 이것을 사이에 두는 제1, 제2에어배출실이 기판반송 방향에 따라서 나란히 배치되어짐과 동시에 상기 제1에어흡인실 맞은편에 기판의 뒷면에 부압을 작용시키는 제2에어흡인실이 배치되되 상기 제1에어흡인실과 상기 제2에어흡인실 사이에 기판반송경로가 위치하며, 또한 상기 제1, 제2에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해서 기판에 종동해서 회전하는 회전체를 갖추도록 한 것이다.

청구항 6 기재의 발명은, 적어도 각 1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 상기 제진유니트 방향으로 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향해서 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 제진유니트는 제1에어배출실과 이것을 사이에 두는 제1, 제2에어흡인실이 기판반송방향에 따라서 나란히 배치되어짐과 함께 상기 제1, 제2에어흡인실의 맞은편에 기판의 뒷면에 부압을 작용시키는 제3, 제4에어흡인실이 각각 마련되되 상기 제1, 제2에어흡인실과 상기 제3, 제4에어흡인실 사이에 기판반송경로가 위치하며, 또한 상기 제1, 제2, 제3 및 제4에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해서 기판에 종동해서 회전하는 회전체를 갖추도록 한 것이다.

청구항 7 기재의 발명은, 적어도 각 1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 상기 제진유니트 방향으로 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향하여 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 제진유니트는 제1에어흡인실과 이것을 사이에 두는 제1, 제2에어배출실이 기판반송 방향에 따라서 나란히 배치되어짐과 동시에 상기 제1에어흡인실과 상기 제1, 제2에어배출실의 맞은편에 제2에어흡인실과 이것을 사이에 두는 제3, 제4에어배출실이 기판반송 방향에 따라서 나란히 배치되되 상기 제1에어흡인실 및 상기 제1, 제2에어배출실과 상기 제2에어흡인실 및 상기 제3, 제4에어배출실 사이에 기판반송경로가 위치하며, 상기 제1 및 제2에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해서 기판에 종동해서 회전하는 회전체를 갖추도록 한 것이다.

청구항 8 기재의 발명은, 적어도 각 1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 상기 제진유니트 방향으로 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향하여 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 제진유니트는 제1에어배출실과 이것을 사이에 두는 제1, 제2에어흡인실이 기판반송방향에 따라서 나란히 배치되어짐과 동시에 상기 제1에어배출실과 상기 제1, 제2에어흡인실의 맞은편에 제2에어배출실과 이것을 사이에 두는 제3, 제4에어흡인실이 기판반송방향에 따라서 나란히 배치되되 상기 제1에어배출실 및 상기 제1, 제2에어흡인실과 상기 제2에어배출실 및 상기 제3, 제4에어흡인실 사이에 기판반송경로가 위치하며, 상기 제1, 제2, 제3 및 제4에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해서 기판에 종동해서 회전하는 회전체를 갖추도록 한 것이다.

청구항9 기재의 발명은, 적어도 각 1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 상기 제진유니트 방향으로 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향하여 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 제진유니트는 제1에어배출실과 이것을 사이에 두는 제1, 제2에어흡인실이 기판반송방향에 따라서 나란히 배치되어짐과 동시에 상기 상기 제1에어배출실의 맞은편에 기판의 뒷면에 부압을 작용시키는 제3에어흡인실이 배치되되 상기 제1에어배출실과 상기 제3에어흡인실 사이에 기판반송경로가 위치하며, 또한 상기 제1, 제2, 및 제3에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해서 기판에 종동해서 회전하는 회전체를 갖추도록 한 것이다.

청구항 10 기재의 발명은, 청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 기재된 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 회전체는 기판의 측부근방에만 맞닿아서 회전하도록 한 것이다.

지금부터, 도면에 따라서 본 발명의 실시형태를 설명한다.

먼저 도 1은 본 발명의 제1실시형태를 나타내는 개략적인 측면도, 도 2는 같은 것의 사시도, 도 3은 같은 것의 정면도이며, 제진유니트로서 각 1개의 에어배출실과 에어흡인실을 병설한 예(편의상, P-V구조라 함)이다.

도 1에 있어서, (101V)는 제1에어흡인실, (101P)는 기판반송방향에 따라서 제1에어흡인실(101V)에 맞닿은 제1에어배출실이며, 이들은 제진유니트(401)를 구성하고 있다. 도 2에서는 제1에어흡인실(101V)의 흡기파이프 및 제1에어배출실(101P)의 배기파이프가 도시되며, 흡기파이프는 도시하지 않은 흡기펌프에, 또한 배기파이프는 도시하지 않은 배기펌프에 접속되는 것으로 한다.

제진해야 할 유리기판(G)은 상기 제1에어흡인실(101V) 및 제1에어배출실(101P)의 바로 아래로 수평방향으로 반송된다. 이와 같이 복수의 유리기판(G)이 소정의 간격을 사이에 두고 순차적으로 반송되어 제진이 행하여진다.

(301)은 유리기판(G)을 지지하는 산륜(散輪)이며, 유리기판(G)을 반송하는 구동력을 주도록 구성되거나, 또는 다른 구동원에 의해 반송되는 기판에 종동하도록 회전자재로 구성된다.

(302)는 똑같이 산륜이며, 반송되는 유리기판(G)에 맞닿아서 종동하도록 회전자재로 구성되어 있다. 상하방향으로 유리기판(G)이 이동하지 않도록 산륜(302)은 상하방향의 이동을 구속하는 것 같은 구성으로 하거나, 또는 도시하지 않는 용수철 등의 탄성체에 의해 유리기판(G)을 위에서 누르는 것 같은 구성으로 한다.

산륜(302)이 기판(G)을 누르는 경우의 압력은 제1에어흡인실(101V)로 인해 발생하는 흡인력과 같은 정도이거나, 또한 유리기판(G)의 자체무게를 고려해서 약간 낮은 듯하게 설정되어 유리기판(G)에 불필요하게 힘을 가하는 것을 피한다.

이와 같이 산륜(302)은 상기 제1에어흡인실(101V)의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주는 회전체로서의 기능을 다한다.

더구나 제1에어흡인실(101V) 및 제1에어배출실(101P)의 기판반송방향에 따른 길이(L1)는, 예를 들면 55cm∼80cm이다.

또한, 유리기판(G)의 크기는, 예를 들면 650×(550∼ 830)×2.8mm이다.

여기서 상기 숫치는 어디까지나 일례이며, 본 발명의 기술적범위를 한정하는 것이 아닌 것은 말할 필요도 없다.

상기 구성에 있어서, 유리기판(G)을 도 1 및 도 2의 화살표(a) 방향으로 반송하면서 제1에어흡인실(101V), 제1에어배출실(101P)을 작동시키면 유리기판(G)이 제1에어흡인실(101V)의 바로 아래로 통과할 때에 유리기판(G)에 흡인력이 작용하지만, 산륜(302)이 주는 저항력에 의해 유리기판(G)이 빨려 오르거나 이동하거나 하는 염려가 없다.

따라서 유리기판(G)이 상승하는 일이 없이 반송되며, 동시에 제1에어배출실(101P)에서 청정에어가 기판표면에 분사되어서 제1에어흡인실(101V)에서 흡인됨으로 인해 기판표면의 제진이 행하여지게 되는 것이다. 이것으로 인해 유리기판(G)을 손상하는 염려가 없음과 동시에 반송기구로서는 단지 산륜반송만으로 됨으로, 광대한 설비스페이스나 복잡, 고가한 장치구성이 불필요하게 된다.

더욱, 도 1 및 도 2에 있어서의 기판용 반송제진장치에서는 산륜(301, 302)이 도 3(A)에 나타내는 것과 같이 긴 둥근 막대라는 것을 도시하고 있다. 그럼에도, PDP등의 유리기판과 같이 표면 또는 뒷면에 상처를 입히는 것을 피하고 싶은 경우가 있다. 그런 경우, 도 3(B) 또는 도 3(C) 에 나타내는 것과 같이 기판의 측부근방만 맞닿은 것 같은 짧은 산륜(301, 302)을 사용하여, 기판의 표면에 상처를 입히지 않도록 구성해도 좋다.

더구나 도 3(B)에서 나타내는 것과 같이 기판의 한쪽 면만 상처를 입히지 않도록 산륜(302)만 짧게 하든가, 도 3(C)에서 나타내는 것과 같이 기판의 양쪽 면을 상처 입히지 않도록 산륜(301)과 산륜(302)을 함께 짧게 하든가는 사용하는 기판에 따라서 적절히 선택된다. 어느쪽의 구성이라도 산륜(301)은 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 준다. 또한 제1실시형태에서 설명한 산륜(301 및 302)의 길이는 후술하는 실시형태에 있어서도 마찬가지로 장단의 선택이 적절히 가능하며, 후술하는 실시형태에서는 산륜(301) 및 산륜(302)의 장단의 선택에 대해서 설명을 생략한다.

다음에, 도 4는 본 발명의 제2실시형태를 나타내고 있다. 이 실시형태는 제진유니트로서 2개의 에어배출실의 사이에 1개의 에어흡인실을 배치한 예(편의상, P-V-P구조라 함)이다.

도 4에 있어서, (101P)는 제1에어배출실, (101V)는 제1에어흡인실, (102P)는 제2에어배출실이며, 이것들에 의해 제진유니트(402)가 구성되어 있다. 이 제진유니트(402)는 기판반송방향에 따라서, 예를 들면 80 cm의 길이(L2)를 가지고 있다.

(301)과 (302)는 산륜이며, 제1실시형태에서 설명한 기능과 같은 기능을 각각 가지고 있다.

제2실시형태에 있어서도, 제1에어흡인실(101V)의 바로 아래로 통과할 때에 유리기판(G)에 흡인력이 작용하지만, 산륜(302)의 저항력에 의해 유리기판(G)이 떠오르는 염려가 없다. 따라서 유리기판(G)이 상승하지 않고 반송된다.

이어서, 도 5는 본 발명의 제3실시형태이고, 제진유니트로써 2개의 에어흡인실 사이에 1개의 에어배출실을 배치한 예(편의상, V-P-V구조라 함)이며, 그것들에 의해 제진유니트(403)가 구성되어 있다.

도 5에 있어서, (101V)는 제1에어흡인실, (101P)는 제1에어배출실, (102V)는 제2에어흡인실이며, 이것들에 의해 제진유니트(403)가 구성되어 있다.

제3실시형태에 있어서도, 제1에어흡인실(101V) 및 제2에어흡인실(102V)의 바로 아래로 통과할 때에 유리기판(G)에 흡인력이 작용하지만, 산륜(302)의 저항력에 의해 유리기판(G)이 떠오르는 염려가 없다. 따라서 유리기판(G)이 상승하지 않고 반송된다.

제1∼제3실시형태의 기판용 반송제진장치에 있어서, 그 위에 기판반송경로를 사이에 두고 제1에어흡인실(101V) 또는 제2에어흡인실(102V)의 마주보는 위치에 에어흡인실을 배치하여 흡인력을 상쇄하는 구조도 생각할 수 있다.

그럼에도, 기판자체에 휘어짐이 생겨 있거나 기판자체의 두께가 일정하지 않은 경우, 제1에어흡인실(101V)의 개구와 기판까지의 거리(이하, 이러한 거리를 에어흡인실(101V)의 갭이라고 말함)와 마주보는 에어흡인실의 갭, 또한, 제2에어흡인실(101V)의 갭과 마주보는 에어흡인실의 갭이 다르게 되는 경우, 흡인력에 차이가 생겨서, 위쪽 또는 아래쪽에 흡인력이 생기는 경우가 있다.

이러한 경우에 있어서도 산륜(301)과 산륜(302)에 의해 상하방향으로의 이동이 방지되기 때문에, 안정되게 기판을 반송하여 제진하는 것이 가능해진다.

이 경우, 산륜(301)과 산륜(302)은 두 쪽 모두, 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 때문에, 기판에 종동해서 회전하는 회전체로서의 기능을 다한다. 이하, 이러한 실시형태에 대하여 설명한다.

도 6은 본 발명의 제4실시형태이며, P-V구조의 제진유니트의 에어흡인실과 마주보는 위치에 에어흡인실을 배치한 예이다.

도 6에 있어서, (101V)는 제1에어흡인실, (101P)는 기판반송방향에 따라서 제1에어배출실(101V)에 맞닿은 제1에어배출실이며, 이것들은 제진유니트(404)를 구성하고 있다. 제진해야 할 유리기판(G)은 상기 제1에어흡인실(101V) 및 제1에어배출실(101P)의 바로 아래로 소정의 간격을 두고 수평방향으로 반송가능하다.

또한 유리기판(G)의 반송경로를 사이에 둔 제1에어흡인실(101V)의 맞은편(즉, 유리기판(G)의 뒷면에 마주 보는 쪽)에는 제2에어흡인실(201V)이 배치되어 있다. 여기서, 제2에어흡인실(201V)의 내압은 제1에어흡인실(101V)과 같은 정도이거나, 또는 유리기판(G)의 자체무게를 고려해서 약간 높은 정도(부압의 절대치가 작아지도록)로 설정되어 있으며, 하여튼 유리기판(G)의 뒷면에 부압을 작용시키도록 마련되어 있다.

(301)은 유리기판(G)을 지지하고 있는 산륜이며, 기판을 반송하는 구동력을 주거나, 또는 도시하지 안은 구동원에 의해 반송되는 기판에 종동하여 회전한다. 더욱이 산륜(301)은 제2에어흡인실(201V)의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 준다.

(302)는 마찬가지로 산륜이며, 반송되는 유리기판(G)에 맞닿아서 종동하도록 회전자재로 구성되어 있다. 상하방향으로 유리기판(G)이 이동하지 않도록 산륜(302)은 상하방향의 이동을 구속하는 것 같은 구성으로 하거나, 또는 도시하지 않은 용수철등의 탄성체에 의해 유리기판(G)을 위에서 누르는 것 같은 구성으로 한다.

상기구성에 있어서, 유리기판(G)을 도면의 화살표방향으로 반송하면서 각 에어흡인실(101V, 201V), 에어배출실(101P)을 동작시키면, 유리기판(G)이 에어흡인실(101V, 201V)의 사이를 통과할 때에, 그 표리면에는 거의 같은 정도의 부압이 작용하게 됨으로 유리기판(G)의 떠오름을 방지하고 있다.

따라서, 유리기판(G)은 그 평탄성을 유지하면서 반송되고, 동시에 제1에어배출실(101P)에서 청정에어가 기판표면에 분사되어 제1에어흡인실(101V)에서 흡인됨으로 인해 기판표면의 제진이 행하여지게 된다.

그런데 유리기판(G) 자체에 휘어짐이 생겨 있거나, 유리기판(G) 자체의 두께가 일정하지 않거나 해서 제1에어흡인실(101V)의 갭과 제2에어흡인실(102V)의 갭이 다른 경우, 유리기판(G)의 흡인력에 차이가 생겨서 이동할 염려가 있다.

그러나 산륜(301, 302)에 의해 상하방향에의 이동이 방지됨으로, 이동시킴없이 안정하게 기판을 반송하여 제진하는 것이 가능해진다.

이 때문에, 유리기판(G)이 손상되는 염려가 없는 동시에, 반송기구로서는 단지 산륜반송만으로 됨으로 광대한 설비스페이스나 복잡, 고가의 장치구성이 불필요하게 된다.

도 7은 본 발명의 제5실시형태이며, P-V-P구조 제진유니트의 에어흡인실에 마주보는 위치에 에어흡인실을 배치한 예이다.

도 7에 있어서, (101P)는 제1에어배출실, (101V)는 제1에어흡인실, (102P)는 제2에어배출실이며, 이것들에 의해 제진유니트(405)가 구성되어 있다.

그리고 기판반송경로를 사이에 둔 제1에어흡인실(101V)의 맞은편에는 상기와 같이 제2에어흡인실(201V)이 배치되어져 있다.

또한 제2에어흡인실(201V)의 내압은 상기와 같이 제1에어흡인실(101V)과 같은 정도거나 약간 높은 듯하게 설정되어 있다.

(301)과 (302)는 산륜이며 제4실시형태에서 설명한 기능과 같은 기능을 각각 가지고 있다.

제5실시형태에 있어서도, 제1에어흡인실(101V)과 같은 정도의 부압에 의해 유리기판(G)이 제2에어흡인실(201V)에 의해 뒤쪽에서 흡인되기 때문에, 상기와 같이 유리기판(G)의 떠오름을 방지하고 있다.

더욱이, 제1에어흡인실(101V)의 갭과 제2에어흡인실(102V)의 갭이 달라서 흡인력에 차이가 생겼을 경우라고 해도, 산륜(301, 302)에 의해 상하방향으로의 이동이 방지됨으로써, 안정하게 기판을 반송하여 제진하는 것이 가능해 진다.

이어서, 도 8은 본 발명의 제6실시형태이며, V-P-V구조의 제진유니트(406)의 2개의 에어흡인실에 마주보는 위치에 2개의 에어흡인실을 배치한 예이다.

이 실시형태에서는 제1에어배출실(101P)과 이것을 사이에 두는 제1, 제2에어흡인실(101V, 102V)에 의해 제진유니트(406)가 구성되어 있다.

이들 제1, 제2에어흡인실(101V, 102V)에 마주하여 제3, 제4에어흡인실(201V, 202V)이 배치되어 있다.

이들 제3, 제4에어흡인실(201V, 202V)의 내압은 제1, 제2에어흡인실(101V, 102V)과 같은 정도거나, 약간 높은 듯하게 설정되어져 있다.

(301)과 (302)는 산륜이며, 제4실시형태에서도 설명한 것과 같이 산륜(301)과 산륜(302)은 어느 쪽도, 마주보는 에어흡인실의 갭의 차이에 의한 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해 기판에 종동하여 회전하는 회전체로서의 기능을 다한다.

본 실시형태에서도, 제1, 제2에어흡인실(101V, 102V)과 같은 정도의 부압에 의해 유리기판(G)이 제3, 제4에어흡인실(201V, 202V)에 의해 뒤쪽에서 흡인되기 때문에, 유리기판(G)의 빨려 오름을 방지하고 있다.

더욱이, 제1에어흡인실(101V)의 갭과 제3에어흡인실(201V)의 갭이, 또는 제2에어흡인실(102V)의 갭과 제4에어흡인실(201V)의 갭이 달라서 흡인력에 차이가 생기는 경우에 있어서도, 산륜(301, 302)에 의해 상하방향으로의 이동이 방지되어짐으로, 안정하게 기판을 반송하여 제진하는 것이 가능해 진다.

도 9는 본 발명의 제7실시형태이며, P-V-P구조의 제진유니트(407, 408)에 의해 유리기판(G)을 상하에서 끼고 있는 구조이다.

이 실시형태는 제1, 제2에어배출실(101P, 102P) 및 제1에어흡인실(101V)을 가지는 제진유니트(407)에 마주보게 해서, 유리기판(G)의 뒷면을 제진하는 다른 P-V-P구조의 제진유니트(408)를 배치한 것이다.

이 제진유니트(408)는 제1에어흡인실(101V)에 마주하여 이것과 같은 정도의 내압(부압)을 가지는 제2에어흡인실(201V)과, 이 제2에어흡인실(201V)의 양쪽에 배치된 제3, 제4에어배출실(201P, 202P)로 구성되어 있다.

(301)과 (302)는 산륜이며, 제4실시형태에서도 설명한 것과 같이 산륜(301)과 산륜(302)은 양쪽 모두, 마주보는 에어흡인실의 갭의 차이에 의한 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해 기판에 종동하여 회전하는 회전체로서의 기능을 다한다.

이 실시형태에 의하면, 표리의 제진유니트(407, 408)에 의해 유리기판(G)을 표리에서 흡인하기 때문에, 상술의 각 실시형태와 같이 유리기판(G)의 빨아올려짐을 방지할 수 있는 동시에 기판(G)의 표리면을 동시에 제진할 수 있는 이점 이 있다.

더욱이, 제1에어흡인실(101V)의 갭과 제2에어흡인실(201V)의 갭이 달라서 흡인력에 차이가 생기는 경우에 있어서도, (산륜301, 302)에 의해 상하방향으로의 이동이 방지된다. 더욱, 제1에어배출실(101P)의 갭과 제3에어배출실(201P)의 갭이 다르고, 또는 제2에어배출실(102P)의 갭과 제4에어배출실(202P)의 갭이 달라서, 배출력에 차이가 생기는 경우에 있어서도, 산륜(301, 302)에 의해 상하방향에의 이동이 방지되어짐으로, 안정하게 기판을 반송하여 제진하는 것이 가능해진다.

도 10은 본 발명의 제8실시형태이며, V-P-V구조의 제진유니트(409, 410)에 의해 유리기판(G)을 상하에서 끼고 있는 구조이다.

이 실시형태는 제1, 제2에어흡인실(101V, 102V) 및 제1에어배출실(101P)을 가지는 제진유니트(409)에 마주보게 해서, 유리기판(G)의 뒷면을 제진하는 다른 V-P-V구조의 제진유니트(410)를 배치한 것이다.

이 제진유니트(410)는 제1에어배출실(101P)에 마주하여 이것과 같은 정도의 정압을 가지는 제2에어배출실(201P)과, 이 제2에어배출실(201P)의 양쪽에 배치된 제3, 제4에어흡인실(201V, 202V)로 구성 되어 있다.

(301)과 (302)는 산륜이며, 제4실시형태에서도 설명한 것과 같이 산륜(301)과 산륜(302)은 양쪽 모두, 마주보는 에어흡인실의 갭 차이에 의한 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해 기판에 종동하여 회전하는 회전체로서의 기능을 다한다.

제8실시형태에 의하면, 표리의 제진유니트(409, 410)에 의해 유리기판(G)을 표리에서 흡인하기 때문에, 상술한 각 실시형태와 같이 유리기판(G)의 빨아올려짐을 방지할 수 있는 동시에, 기판(G)의 표리면을 동시에 제진할 수 있는 이점이 있다.

더욱이, 제1에어흡인실(101V)의 갭과 제3에어흡인실(201V)의 갭, 또는 제2에어흡인실(102V)의 갭과 제4에어흡인실(202V)의 갭이 달라서, 흡인력에 차이가 생기는 경우에 있어서도, 산륜(301, 302)에 의해 상하방향으로의 이동이 방지되어짐으로, 안정하게 기판을 반송하여 제진하는 것이 가능해진다.

도 11은 본 발명의 제9실시형태이며, V-P-V구조의 제진유니트(411)의 에어배출실과 마주보는 위치에 특수한 에어흡인실을 배치한 예이다.

제9실시형태에서는 제1에어배출실(101P)과 이것을 사이에 둔 제1, 제2에어흡인실(101V, 102V)에 의해 제진유니트(411)가 구성되어 있다. 이 제1에어배출실(101P)에 마주하여 제3에어흡인실(203V)이 배치되어 있다. 그리고 제3에어흡인실(203V)의 흡인구는 제1, 제2에어흡인실(101V, 102V)의 흡인구 방향에 마주보도록 좌우양쪽이 개구하고 있다. 각 에어흡인구의 각도, 거리, 부압을 조절하여 유리기판(G)의 표리의 흡인력이 균형 잡히는 상태를 결정한다.

상기 제3에어흡인실(203V)의 내압은 제1, 제2에어흡인실(101V, 102V)과 같은 정도거나, 약간 높은 듯하게 설정되어 있다.

(301)과 (302)는 산륜이며, 제4실시형태에서도 설명한 것과 같이 산륜(301)과 산륜(302)은 양쪽 모두, 마주하는 에어흡인실의 갭 차이에 의한 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해서 기판에 종동하여 회전하는 회전체로서의 기능을 다한다.

본 실시형태에서도, 제1, 제2에어흡인실(101V, 102V)과 같은 정도의 부압에 의해 제3에어흡인실(203V)이 유리기판(G)을 뒤쪽에서 흡인함으로 유리기판(G)의 빨려오름을 방지하고 있다.

또한 제1에어흡인실(101V)의 갭과 제3에어흡인실(203V)의 갭, 또는 제2에어흡인실(102V)의 갭과 제3에어흡인실(203V)의 갭이 달라서 흡인력에 차이가 생기는 경우에 있어서도, 산륜(301, 302)에 의해 상하방향으로의 이동이 방지되어짐으로, 안정하게 기판을 반송하여 제진하는 것이 가능해 진다.

이상, 제1∼제9실시형태에 대해 설명한 바와 같이, 상기 각 실시형태에 있어서, 각 에어흡인실의 내압은 예를 들면 -20∼-150mmAq정도, 각 에어배출실의 내압은 예를 들면 1100∼2300mmAq정도로 설정되지만, 이들 수치는 어디까지나 한정적인 것이 아니고, 소기의 제진효과를 얻을 수 있다면 상기 범위이외의 값이라도 좋다.

또한 제진용으로 분사되는 청정에어의 주파수는 임의로 해도 좋다. 바꿔서 말하면, 에어배출실에 있어서 초음파발생기의 유무는 본 발명의 요지에 관계없이, 어떠한 경우도 본 발명의 기술적범위에 함유되는 것이다.

또한 제진 대상물이 되는 기판은 유리기판(G)에 한정되지 않으며, 합성수지나 금속기판, 반도체 웨이퍼 등이라도 좋다.

또한, 산륜(302)의 위치 및 개수는 제1∼제9실시형태에 있어서, 제진유니트(401∼411)의 양쪽에 2개 있는 경우에 대해 도시하고 있다. 그러함에도 본 발명은 이러한 산륜의 배치 및 개수에 한정되는 것이 아니다. 예를 들면, 2개를 넘는 복수개의 산륜을 배치하는 것도 가능하다. 산륜은 배치 및 개수에 의하지 않고 에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 주는 기능을 가지고 있으면 되며, 그에따라 적절히 설계된다.

이상과 같이 본 발명은 제진유니트의 바로 아래로 반송되는 기판의 빨려 올림, 이동을 방지할 수가 있으며, 제진유니트 등과의 접촉에 의한 기판의 손상을 방지하는 동시에, 원활한 제진처리를 행하여지게 할 수가 있다.

이것에 의해, 원료 사용량에 대한 제조품의 비율이나 제진효율의 향상이 가능해 진다.

또한 기판의 반송에 흡착스테이지를 사용할 필요가 없고, 간단한 산륜반송을 이용할 수 있기 때문에 설비스페이스의 삭감, 반송·구동기구의 간소화, 소형경량화, 또한 장치전체의 코스트저감을 도모할 수가 있다.

전체적으로, 흡착스테이지를 사용하지 않아도 흡착력에 대한 저항력을 확실하게 주는 동시에, 장치전체의 소형화, 구조의 간소화, 저코스트화를 가능하게 하는 기판용 반송제진장치를 제공할 수가 있다.

도 1은 본 발명의 제1실시형태를 나타내는 개략적인 측면도이다.

도 2는 본 발명의 제1실시형태를 나타내는 개략적인 사시도이다.

도 3은 본 발명의 제1실시형태를 나타내는 개략적인 정면도이다.

도 4는 본 발명의 제2실시형태를 나타내는 개략적인 측면도이다.

도 5는 본 발명의 제3실시형태를 나타내는 개략적인 측면도이다.

도 6은 본 발명의 제4실시형태를 나타내는 개략적인 측면도이다.

도 7은 본 발명의 제5실시형태를 나타내는 개략적인 측면도이다.

도 8은 본 발명의 제6실시형태를 나타내는 개략적인 측면도이다

도 9는 본 발명의 제7실시형태를 나타내는 개략적인 측면도이다.

도 10은 본 발명의 제8실시형태를 나타내는 개략적인 측면도이다.

도 11은 본 발명의 제9실시형태를 나타내는 개략적인 측면도이다.

도 12는 종래기술을 나타내는 개략적인 측면도이다.

Claims

적어도 각 1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 상기 제진유니트 방향으로 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향하여 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 제진유니트는 제1에어흡인실과 제1에어배출실이 기판반송방향에 따라서 나란히 배치되고, 또한 상기 제1에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해서 기판에 종동해서 회전하는 회전체를 갖추는 것을 특징으로 하는 기판용 반송제진장치.
적어도 각 1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 상기 제진유니트 방향으로 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향하여 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 제진유니트는 제1에어흡인실과 이것을 사이에 두는 제1, 제2에어배출실이 기판반송방향에 따라서 나란히 배치되고, 또한 상기 제1에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해서 기판에 종동해서 회전하는 회전체를 갖추는 것을 특징으로 하는 기판용 반송제진장치 .
적어도 각 1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 상기 제진유니트 방향으로 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향하여 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 제진유니트는 제1에어배출실과 이것을 사이에 두는 제1, 제2에어흡인실이 기판반송방향에 따라서 나란히 배치되고, 또한 상기 제1, 제2에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해서 기판에 종동해서 회전하는 회전체를 갖추는 것을 특징으로 하는 기판용 반송제진장치.
적어도 각 1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 상기 제진유니트 방향으로 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향하여 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 제진유니트는 제1에어흡인실과 제1에어배출실이 기판반송방향에 따라서 나란히 배치되어짐과 함께 제1에어흡인실의 맞은편에 기판의 뒷면에 부압을 작용시키는 제2에어흡인실이 배치되되 상기 제1에어흡인실과 상기 제1에어배출실 사이에 기판반송경로가 위치하며, 또한 상기 제1, 제2에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해서 기판에 종동해서 회전하는 회전체를 갖추는 것을 특징으로 하는 기판용 반송제진장치.
적어도 각 1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 상기 제진유니트 방향으로 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향하여 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 제진유니트는 제1에어흡인실과 이것을 사이에 두는 제1, 제2에어배출실이 기판반송방향에 따라서 나란히 배치되어짐과 함께 상기 제1에어흡인실의 맞은편에 기판의 뒷면에 부압을 작용시키는 제2에어흡인실이 배치되되 상기 제1에어흡인실과 상기 제2에어흡인실 사이에 기판반송경로가 위치하며, 또한 상기 제1, 제2에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해 기판에 종동해서 회전하는 회전체를 갖추는 것을 특징으로 하는 기판용 반송제진장치.
적어도 각 1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 상기 제진유니트 방향으로 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향해서 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 제진유니트는 제1에어배출실과 이것을 사이에 두는 제1, 제2에어흡인실이 기판반송방향에 따라서 나란히 배치되어짐과 함께 상기 제1, 제2에어흡인실의 맞은편에 기판의 뒷면에 부압을 작용시키는 제3, 제4에어흡인실이 각각 마련되되 상기 제1, 제2에어흡인실과 상기 제3, 제4에어흡인실 사이에 기판반송경로가 위치하며, 또한 상기 제1, 제2, 제3 및 제4에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해서 기판에 종동해서 회전하는 회전체를 갖추는 것을 특징으로 하는 기판용 반송제진장치.
적어도 각 1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 상기 제진유니트 방향으로 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향하여 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 제진유니트는 제1에어흡인실과 이것을 사이에 두는 제1, 제2에어배출실이 기판반송방향에 따라서 나란히 배치되어짐과 함께 상기 제1에어흡인실과 상기 제1, 제2에어배출실의 맞은편에 제2에어흡인실과 이것을 사이에 두는 제3, 제4에어배출실이 기판반송방향에 따라서 나란히 배치되되 상기 제1에어흡인실 및 상기 제1, 제2에어배출실과 상기 제2에어흡인실 및 상기 제3, 제4에어배출실 사이에 기판반송경로가 위치하며, 상기 제1 및 제2에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해서 기판에 종동해서 회전하는 회전체를 갖추는 것을 특징으로 하는 기판용 반송제진장치.
적어도 각1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 상기 제진유니트 방향으로 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향하여 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 제진유니트는 제1에어배출실과 이것을 사이에 두는 제1, 제2에어흡인실이 기판반송방향에 따라서 나란히 배치되어짐과 함께 상기 제1에어배출실과 상기 제1, 제2에어흡인실의 맞은편에 제2에어배출실과 이것을 사이에 두는 제3, 제4에어흡인실이 기판반송방향에 따라서 나란히 배치되되 상기 제1에어배출실 및 상기 제1, 제2에어흡인실과 제2에어배출실 및 제3, 제4에어흡인실 사이에 기판반송경로가 위치하며, 상기 제1, 제2, 제3 및 제4에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해서 기판에 종동해서 회전하는 회전체를 갖추는 것을 특징으로 하는 기판용 반송제진장치.
적어도 각 1개의 에어흡인실 및 에어배출실을 가지는 제진유니트를 갖추고, 기판을 상기 제진유니트 방향으로 반송하여 에어배출실에서 기판표면을 향하여 분출시킨 청정에어를 에어흡인실에 의해 흡인하도록 한 기판용 반송제진장치에 있어서,

상기 제진유니트는 제1의 에어배출실과 이것을 사이에 두는 제1, 제2에어흡인실이 기판반송방향에 따라서 나란히 배치되어짐과 함께 상기 제1에어배출실의 맞은편에 기판의 뒷면에 부압을 작용시키는 제3에어흡인실이 배치되되 제1에어배출실과 제3에어흡인실 사이에 기판반송경로가 위치하며, 또한 상기 제1, 제2, 및 제3에어흡인실의 흡인력에 저항하는 저항력을 반송중의 기판에 주기 위해서 기판에 종동해서 회전하는 회전체를 갖추는 것을 특징으로 하는 기판용 반송제진장치.
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 회전체는 기판의 측부근방에만 맞닿아서 회전하는 것을 특징으로 하는 기판용 반송제진장치.