JP5268097B2 - 除塵装置 - Google Patents

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Description

本発明は、除塵対象に対し、エアや希ガスなどの単なる清浄ガス、超音波周波数で振動する超音波を含むガス、プラス・マイナスイオンを含むガス、または、超音波とイオンとを共に含むガス（以下、これらを総称して洗浄ガスという）を噴射して除塵を行う除塵装置に関する。
ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）液晶パネル、ＰＤＰ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）等に用いられるガラス基板、太陽電池パネル、または、長尺の紙、フィルム等のシートなどの除塵対象（以下、単に除塵対象という）に対して、除塵装置により除塵が行われている。
このような除塵装置に関する従来技術例として、例えば、特許文献１（特開２００４−４１８５１号公報，発明の名称「除塵ヘッド」）に記載された発明が知られている。
特許文献１に記載の従来技術では、中央の噴射室と、この噴射室の両側の吸引室と、を有する除塵ヘッドに関するものである。
特開２００４−４１８５１号公報（段落番号［０００３］，図５）
通常の除塵装置では除塵ヘッドが上下に配置されることが多い。このような除塵装置では、コンベア上を搬送される複数枚のガラス基板を連続して除塵する場合に隣接するガラス基板など除塵対象の間の隙間を洗浄ガスで噴射しても、上下の除塵ヘッドに洗浄ガスが噴射されることとなり、除塵ヘッド以外の箇所に洗浄ガスが吹き付けられて塵埃等が巻き上げられるおそれは極めて少ない。
しかしながら、特許文献１の図５（ｂ）に示すように、下側に除塵ヘッドがない場合もある。このような除塵装置が、隣接するガラス基板など除塵対象の間の隙間に洗浄ガスを噴射したとき、下方まで（極端な場合には装置載置床まで）洗浄ガスが到達する。除塵装置はクリーンルームに設置されているが、若干の塵埃を巻き上げることとなって除塵環境を悪くするおそれがある。
また、隣接するガラス基板など除塵対象の隙間と噴射孔とが対向している間は洗浄ガスの噴射を停止することも考えられるが、この場合、洗浄ガスの流路に切換バルブを設ける必要が生じる。切換バルブの切換時にはシール用のパッキンから離脱した微小な異物等が洗浄ガスに混入することがあり、除塵能力を低下させるおそれがあった。
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、除塵対象の片側のみ除塵する除塵装置において、除塵ヘッドに対向する簡易な構成の受け部を追加し、隣接する除塵対象間の隙間を通過する噴射室からの洗浄ガスの流れ方向を変えた後に吸引室で吸引するようにして、不要な塵埃の飛散を低減する除塵装置を提供することにある。
本発明の請求項１に係る除塵装置は、
洗浄ガスを噴射する噴射口を有する噴射室、および、吸引口を有する吸引室、をそれぞれ少なくとも各１個有する除塵ヘッドと、
除塵ヘッド内へ複数の除塵対象を順次搬送する搬送部と、
除塵ヘッドに対向するように配置され、洗浄ガスが通過する通過孔と、平面と曲面とにより仕切られて通過孔と連通する断面弓形空間であって曲面が吸引口や噴射口と対向するとともに平面が除塵対象の搬送方向と略平行に位置する受け空間と、を含み、噴射室の噴射口から噴射されて通過孔を通過した洗浄ガスを受け空間の曲面で受けた後に受け空間の平面で方向を転換させる受け部と、
を備え、
除塵対象に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、除塵対象から跳ね返る洗浄ガスをその吸引口から吸引し、また、
隣接する二個の除塵対象間の隙間に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、受け部で方向を転換させた洗浄ガスをその吸引口から吸引することを特徴とする。
また、本発明の請求項２に係る除塵装置は、
洗浄ガスを噴射する噴射口を有する噴射室、および、吸引口を有する吸引室、をそれぞれ少なくとも各１個有する除塵ヘッドと、
除塵ヘッド内へ複数の除塵対象を順次搬送する搬送部と、
除塵ヘッドに対向するように配置され、除塵対象の搬送方向と略平行の表面を有する対向板と、対向板に形成され、噴射口と吸引口とが面する通過孔と、対向板に固定される半円筒体と、対向板の平面と半円筒体の曲面とにより仕切られ、半円筒体の曲面が吸引口や噴射口と対向するとともに対向板の平面が除塵対象の搬送方向と略平行に位置する断面弓形空間であって通過孔と連通する受け空間と、を含み、噴射室の噴射口から噴射されて通過孔を通過した洗浄ガスを受け空間の曲面で受けた後に受け空間の平面で方向を転換させる受け部と、
を備え、
除塵対象に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、除塵対象から跳ね返る洗浄ガスをその吸引口から吸引し、また、
隣接する二個の除塵対象間の隙間に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、受け部で方向を転換させた洗浄ガスをその吸引口から吸引することを特徴とする。
また、本発明の請求項３に係る除塵装置は、
洗浄ガスを噴射する噴射口を有する噴射室、および、吸引口を有する吸引室、をそれぞれ少なくとも各１個有する除塵ヘッドと、
除塵ヘッド内へ複数の除塵対象を順次搬送する搬送部と、
噴射口と吸引口とが面する曲面状の受け面を有する円弧体を備え、除塵ヘッドに対向するように配置され、噴射室の噴射口から噴射された洗浄ガスを円弧体の受け面で受けて方向を転換させる受け部と、
を備え、
除塵対象に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、除塵対象から跳ね返る洗浄ガスをその吸引口から吸引し、また、
隣接する二個の除塵対象間の隙間に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、受け部で方向を転換させた洗浄ガスをその吸引口から吸引することを特徴とする。
また、本発明の請求項４に係る除塵装置は、
洗浄ガスを噴射する噴射口を有する噴射室、および、吸引口を有する吸引室、をそれぞれ少なくとも各１個有する除塵ヘッドと、
除塵ヘッド内へ複数の除塵対象を順次搬送する搬送部と、
噴射口と吸引口とが面する平面を含む凹状の受け面を有する箱体を備え、除塵ヘッドに対向するように配置され、噴射室の噴射口から噴射された洗浄ガスを箱体の受け面で受けて方向を転換させる受け部と、
を備え、
除塵対象に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、除塵対象から跳ね返る洗浄ガスをその吸引口から吸引し、また、
隣接する二個の除塵対象間の隙間に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、受け部で方向を転換させた洗浄ガスをその吸引口から吸引することを特徴とする。
また、本発明の請求項５に係る除塵装置は、
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の除塵装置において、
前記除塵ヘッドは、噴射室とこれを挟む上流、下流の吸引室とが除塵対象の搬送方向に沿って並べて配置されることを特徴とする。
また、本発明の請求項６に係る除塵装置は、
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の除塵装置において、
前記除塵ヘッドは、吸引室とこれを挟む上流、下流の噴射室とが除塵対象の搬送方向に沿って並べて配置されることを特徴とする。
また、本発明の請求項７に係る除塵装置は、
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の除塵装置において、
前記除塵ヘッドは、上流の噴射室と下流の吸引室とが除塵対象の搬送方向に沿って並べて配置されることを特徴とする。
また、本発明の請求項８に係る除塵装置は、
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の除塵装置において、
前記除塵ヘッドは、上流の吸引室と下流の噴射室とが除塵対象の搬送方向に沿って並べて配置されることを特徴とする。
また、本発明の請求項９に係る除塵装置は、
請求項１〜請求項８の何れか一項に記載の除塵装置において、
前記噴射室内に配置されており、超音波を発生させる超音波発振子を備え、噴射室の噴射口から超音波振動させた洗浄ガスを噴射することを特徴とする。
また、本発明の請求項１０に係る除塵装置は、
請求項１〜請求項９の何れか一項に記載の除塵装置において、
噴射室内に配置されており、高電圧が印加されたエミッタ近傍でイオンを生成するイオナイザを備え、噴射室の噴射口からイオンを含む洗浄ガスを噴射することを特徴とする。
また、本発明の請求項１１に係る除塵装置は、
請求項１〜請求項１０の何れか一項に記載の除塵装置において、
前記受け部を除塵ヘッドに対して離接させる移動部を備えることを特徴とする。
また、本発明の請求項１２に係る除塵装置は、
請求項１１に記載の除塵装置において、
前記受け部および前記移動部を一組とし、複数の噴射部と同数組の前記受け部および前記移動部を設けることを特徴とする。
以上のような本発明によれば、除塵対象の片側のみ除塵する除塵装置において、除塵ヘッドに対向する簡易な構成の受け部を追加し、隣接する除塵対象間の隙間を通過する噴射室からの洗浄ガスの流れ方向を変えた後に吸引室で吸引するようにして、不要な塵埃の飛散を低減する除塵装置を提供することができる。
続いて、本発明を実施するための最良の形態について図に基づいて説明する。図１は本形態の除塵装置の側面図、図２は本形態の除塵装置の断面図、図３は本形態の除塵装置の斜視外観図である。なお、図３では側壁部を取り去って図示している。除塵装置１は、除塵ヘッド１００、受け部２００、搬送部３００、移動部４００を備える。除塵装置１は除塵対象１０に対して除塵を行う。
除塵ヘッド１００は、詳しくは図２，図３で示すような除塵ヘッド本体１１０の内部にイオナイザ１２０が配置され、さらに除塵ヘッド本体１１０の両側面に、図１で示すような側壁部１３０が固定されたものである。
除塵ヘッド１００について図を参照しつつさらに説明する。図４は除塵ヘッドの内外構造を示す図であって図４（ａ）はＡ矢視図、図４（ｂ）はＢ−Ｂ線断面図、図４（ｃ）はＣ−Ｃ線断面図である。図５はＣ−Ｃ線断面の斜視図である。図６は除塵ヘッドの内部構造を示す図であって図６（ａ）はＤ−Ｄ線断面図、図６（ｂ）はＥ−Ｅ線断面図である。図７は受け部の構成図である。
除塵ヘッド本体１１０は、図４（ａ）で示すように、噴射室１１１、上側吸引室１１２、下側吸引室１１３、天板１１４、側壁１１５ａ，１１５ｂ、内壁１１６ａ，１１６ｂ、噴射室底部１１１ｃ、吸引室底部１１２ｃ，１１３ｃを備えている。
噴射室１１１は、図２〜図６で示すように、天板１１４、内壁１１６ａ，１１６ｂ、噴射室底部１１１ｃにより仕切られる空間であって、内壁１１６ａ，１１６ｂには隔壁１１６ｃが渡されて機械的に補強されている。この噴射室１１１は、図４（ｃ）で示すように、流入口１１１ｂ、通過孔１１６ｅ、噴射口１１１ａにより空間が内外で連通している。なお、イオナイザ１２０の突出部１２１と溝部１１６ｄとの間に図６（ａ）で示すような通過孔１２４が形成されており、イオナイザ１２０の組み付け時ではこの通過孔１２４を通じても空間が連通する。
噴射口１１１ａは、図５でも明らかなように長尺のスリットである。図５で示す噴射口１１１ａの長手方向に対して略垂直方向から除塵対象１０が進入してくるため、除塵対象１０の全領域に洗浄ガスを噴射することができる。
隔壁１１６ｃは、図４（ｃ）で示すように、噴射口１１１ａと流入口１１１ｂとの間に設けられ、好ましくは噴射口１１１ａ側に近接して配置される。これは、隔壁１１６ｃの配置が噴射口１１１ａ側に近づくにつれて、洗浄ガスが噴射口１１１ａを通過することに伴う噴射口１１１ａの拡開が発生しづらくなるためである。
通過孔１１６ｅは、図４（ｃ），図６（ｂ）で示すように、隔壁１１６ｃに複数個設けられ、流入口１１１ｂから流入する洗浄ガスを噴射口１１１ａまで導通させる。
溝部１１６ｄは、図４（ａ）のａ部拡大図で示すように噴射室１１１に設けられ、この溝部１１６ｄにイオナイザ１２０の突出部１２１を摺動させつつ挿入し、噴射室１１１内に取り付けることとなる。
通過孔１２４はイオナイザ１２０の配置と同時に形成される。図６（ａ）で示すようにイオナイザ１２０の突出部１２１に切り欠き部１２３が設けられており、図４（ａ）のａ部拡大図で示すように突出部１２１を溝部１１６ｄに摺動させつつイオナイザ１２０を挿入して噴射室１１１内に取り付けた場合に、図６（ａ）で示すように、切り欠き部１２３が溝部１１６ｄで覆われて通過孔１２４となるものである。
流入口１１１ｂは、図３，図４（ｃ），図５で示すように、除塵ヘッド１００の上面の天板１１４に設けられる。
イオナイザ１２０は、図４（ｂ），（ｃ）で示すように噴射室１１１内であって隔壁１１６ｃよりも上流側に配置され、洗浄ガスにプラスイオン・マイナスイオンを放出する機能を有している。
このイオナイザ１２０にはエミッタ１２２が取り付けられており、エミッタ１２２は直流電流または交流電流が印加されてプラスイオン・マイナスイオンをコロナ放電により放出する。
上流側吸引室１１２は、図３〜図６で示すように、天板１１４、側壁１１５ａ、内壁１１６ａ、吸引室底部１１２ｃにより仕切られる空間である。この上流側吸引室１１２は、図４（ｃ）で示すように、排気口１１２ｂ、吸引口１１２ａにより空間が連通している。
吸引口１１２ａは、図５，図６で示すように長尺のスリットであり、噴射口１１１ａから噴射された洗浄ガスにより飛散した塵埃を周辺エアとともに吸引する。
排気口１１２ｂは、図３，図４（ｃ），図５で示すように、吸引口１１２ａから吸引された気体を排気するための開口である。
下流側吸引室１１３は、図３〜図６で示すように、天板１１４、側壁１１５ｂ、内壁１１６ｂ、吸引室底部１１３ｃにより仕切られる空間である。この下流側吸引室１１３は、図４（ｃ）で示すように、排気口１１３ｂ、吸引口１１３ａにより空間が連通している。
吸引口１１３ａは、図５，図６で示すように長尺のスリットであり、噴射口１１１ａから噴射された洗浄ガスにより飛散した塵埃を周辺エアとともに吸引する。
排気口１１３ｂは、図３，図４（ｃ），図５で示すように、吸引口１１３ａから吸引された気体を排気するための開口である。
除塵ヘッド１００の構成はこのようなものである。
ここで除塵ヘッド本体１１０の製造方法について説明する。
この除塵ヘッド本体１１０は、押し出し成形により製造される。例えば、アルミなどの金属材料を型に押し込んで、噴射室１１１、上流側吸引室１１２、下流側吸引室１１３、側壁１１５ａ，１１５ｂ、内壁１１６ａ，１１６ｂ、隔壁１１６ｃ、噴射室底部１１１ｃ、吸引室底部１１２ｃ，１１３ｃ、天板１１４が一体になった除塵ヘッド本体１１０を成形し、端部等の末端処理を行って完成する。なお、押し出し成形終了直後は、流入口１１１ｂ、排気口１１２ｂ，１１３ｂ（図３，図４（ｃ），図５参照）、隔壁１１６ｃの通過孔１１６ｅ（図４（ｃ），図６（ｂ）参照）、噴射口１１１ａおよび吸引口１１２ａ，１１３ａはまだ形成されていない。
このように押し出し成形された除塵ヘッド１００に対して矢印Ｆ方向（図３参照）からドリルを進入させ、流入口１１１ｂ・通過孔１１６ｅの孔開けを一度で行う。流入口１１１ｂ・通過孔１１６ｅは同径となる。このような孔開けを他の箇所で多数回行い、図３，図６（ｂ）のように多数の流入口１１１ｂ・通過孔１１６ｅを形成する。
同様に、除塵ヘッド１００に対して矢印Ｆ方向からドリルを進入させ、排気口１１２ｂ，１１３ｂの孔開けを行う。このような孔開けを他の箇所で多数回行い、図３のように多数の排気口１１２ｂ，１１３ｂを形成する。
その後に長尺のスリットである噴射口１１１ａ、吸引口１１２ａ，１１３ａをフライス盤等で切削加工して図３〜図６で示す除塵ヘッド本体１１０を完成させ、さらに噴射室１１１の側部開口からイオナイザ１２０を挿入し、側壁部１３０で両側を塞いで除塵ヘッド１００を完成させる。この除塵ヘッド１００では、噴射室１１１、上流側吸引室１１２、下流側吸引室１１３が一体構造として形成されている。
このような除塵ヘッド１００は、図８で示すように、除塵対象の搬送方向（本形態では例示的に図面右から左へ向かう矢印方向とした）に向かって、上流側吸引室１１２（Ｖ１）、噴射室１１１（Ｐ）、下流側吸引室１１３（Ｖ２）となるように並べられて構成されており、搬送部３００の上側に配置されている。噴射室１１１（Ｐ）は図示しない送風ポンプへ、また、上流側吸引室１１２（Ｖ１）、下流側吸引室１１３（Ｖ２）は図示しない吸気ポンプへ接続されるものとする。噴射室１１１の噴射口１１１ａから噴射された洗浄ガスや吹き上げられた塵埃は周囲のエアとともに、吸引口１１２ａ，１１３ａを通じて上流側吸引室１１２，下流側吸引室１１３へ吸引される。この塵埃を含むエアは、除塵ヘッド１００の排気口１１２ｂ，１１３ｂ（図３参照）、排気流路、および、排気配管を介して、外部へ排気される。除塵ヘッド１００はこのようなものである。
次に受け部２００は、図２，図７で示すように、半円筒体２１０、対向板２２０、受け空間２３０、通過孔２４０、支持部２５０、側壁２６０を備えている。受け部２００は、図１〜図３で示すように配置される。
半円筒体２１０は、図７に示すように両側が側壁２６０で塞がれた円筒体を軸方向に半分に切断した形状である。内側は半円状の曲面を有することとなる。
対向板２２０は、通常の板体であってその中央に通過孔２４０が形成される。この対向板２２０は、除塵対象１０の搬送方向と略平行であって平面状の表面・裏面を有する。
受け空間２３０は、対向板２２０の裏面と半円筒体２１０の曲面とにより仕切られ、半円筒体２１０の曲面が、通過孔２４０を介して、噴射口１１１ａおよび吸引口１１２ａ，１１３ａに対向するとともに、対向板２２０の裏面・表面が何れも除塵対象１０の搬送方向と略平行に位置する断面弓形空間である。この受け空間２３０は通過孔２４０と連通する。
通過孔２４０は、対向板２２０の中央に設けられ、少なくとも除塵ヘッド１００の噴射口１１１ａと吸引口１１２ａ，１１３ａとよりも縦横の長さを大きくしている。これにより、噴射口１１１ａから噴射された全ての洗浄ガスは、対向板２２０に吹き付けられることなく通過孔２４０を通過する。
支持部２５０は、半円筒体２１０の下側に固定される。
側壁２６０は、半円筒体２１０の両側面に固定される。
受け部２００はこのようなものである。
搬送部３００は、例えば除塵対象１０を支持・搬送する長棒のローラである。搬送部３００は、除塵対象１０を搬送する駆動力を与えるように構成されるか、または、他の駆動源により搬送される除塵対象１０に従動するように回動自在に構成されている。
移動部４００は、図１で示すように、支持部２５０を矢印ａ方向（上下方向）であって除塵ヘッド１００に対して受け部２００を近づけたり、または、離すように移動させる装置、例えば、昇降ステージのような装置である。予め移動部４００により上下位置を調整して、受け部２００を移動させて洗浄ガスが確実に緩衝される位置に設定固定される。
このような除塵装置１の除塵対象１０は、例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）液晶パネル、ＰＤＰ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）等に用いられるガラス基板、太陽電池パネル、または、長尺の紙、フィルム等のシートなどである。除塵装置１はこのようなものである。
続いて、除塵装置１による除塵動作について図を参照しつつ説明する。図８は本形態の除塵装置の除塵時の動作説明図、図９は本形態の除塵装置の除塵対象間の噴射時の動作説明図である。
流入口１１１ｂから洗浄ガスを流入させると、イオナイザ１２０の通過孔１２４を通過する。この洗浄ガスにはイオナイザ１２０から放出されたプラスイオン・マイナスイオンが混入される。さらに、このような洗浄ガスが隔壁１１６ｃの通過孔１１６ｅを通過し、噴射口１１１ａまで到達し、洗浄ガスが噴射口１１１ａから噴射される。この場合、噴射室１１１内は高圧となるが、図４（ｃ）で示すように隔壁１１６ｃが噴射室１１１内で一体に張り渡されて補強されているため、噴射口１１１ａの拡開の発生を抑制する。さらに、隔壁１１６ｃを噴射口１１１ａ側に近接した位置に配置したため、噴射口１１１ａの拡開の発生をさらに抑制している。
複数の除塵対象１０が、所定の間隔を隔てて搬送部３００上を順次搬送され、逐次除塵が行われるものとする。この場合除塵ヘッド１００は、噴射室１１１（Ｐ）による洗浄ガスの噴射、および、上流側吸引室１１２，下流側吸引室１１３による塵埃の吸引を常時行っているものとする。
まず、図８に示すように、除塵される除塵対象１０が、除塵ヘッド１００の直下を、搬送方向に搬送される。この場合、除塵対象１０の上面が除塵対象面となる。除塵ヘッド１００では、噴射室１１１（Ｐ）から洗浄ガスが除塵対象１０の除塵対象面に噴射され、飛散した塵埃が上流側吸引室１１２（Ｖ１），下流側吸引室１１３（Ｖ２）にて吸引されることにより、除塵対象１０の除塵対象面の除塵が行われることになる。
そしてそのまま搬入が続いて、図９に示すように、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間が除塵ヘッド１００の直下に到達したとき、除塵ヘッド１００の噴射室１１１（Ｐ）からの洗浄ガスが通過孔２４０を通過し、受け部２００の受け空間２３０の曲面（半円筒体２１０の内側の半円状の曲面）で受ける。このような洗浄ガスは曲面に沿って移動して対向板２２０の裏面に到達して方向を転換させて通過孔２４０へ向けて移動する。この対向板２２０の裏面に沿って移動する洗浄ガスは搬送方向と平行であるため、受け空間２３０内を移動するものであり、通過孔２４０を越えて上側へ到達しにくくなる。すると、上流側吸引室１１２（Ｖ１），下流側吸引室１１３（Ｖ２）にて洗浄ガスが上側に吸引される。噴射量よりも吸引量を多くすることで、除塵対象方向へ吹き漏れるおそれを低減することができる。これにより、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間を通過した洗浄ガスが無用な塵埃を飛散させるということがなくなり、除塵環境を良好に保つ。さらに洗浄ガスを噴出させた状態での連続除塵を可能とし、設備の簡素化や不要な異物混入のおそれの低減も実現している。本形態の除塵装置１はこのようなものである。
続いて、本発明の他の形態について図に基づいて説明する。図１０は他の形態の除塵装置の側面図、図１１は他の形態の除塵装置の断面図、図１２は円弧体の製造を説明する説明図、図１３は他の形態の除塵装置の動作説明図である。なお、図１０では側壁部を取り去って図示している。除塵装置２は、除塵ヘッド１００、受け部５００、搬送部３００、移動部４００を備える。除塵装置２は除塵対象１０に対して除塵を行う。先に図１〜図９を用いて説明した除塵装置１と比較すると、本形態の除塵装置２は、受け部５００の構成のみが相違する以外は他の構成は同じであり、同じ構成については同じ符号を付すとともに重複する説明を省略し、受け部５００についてのみ説明する。
受け部５００は、図１０，図１１で示すように、円弧体５１０、支持部５２０を備えている。
円弧体５１０は、円弧状の部材であり、曲面状の受け面を有する。なお、図示しないが両側面（図１０で正面にある面と裏側の面）に側壁部を取り付けて両側部で洗浄ガスが流れないようにしても良い。円弧体５１０は、図面の垂直方向に長く形成され、特に噴射口１１１ａ、吸引口１１２ａ，１１３ａよりも長くなるように配慮され、洗浄ガスを確実に受けるようになされている。円弧体５１０は図１２に示すように円筒体を３分割して形成する。
支持部５２０は、図１０に示すように、円弧体５１０の下側に固定されて、移動部４００により矢印ａ方向（除塵ヘッド本体１１０に近づいたり、または、遠ざかる方向）に円弧体５１０を移動させる。受け部５００はこのようなものである。
続いて、除塵装置２による除塵動作について説明する。
イオナイザ１２０から放出されたプラスイオン・マイナスイオンを含む洗浄ガスが、除塵ヘッド本体１１０から除塵対象１０へ噴射される。除塵対象１０の除塵は図８を用いて説明した同様の処理であり、重複する説明を省略する。
そして、図１３に示すように、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間が除塵ヘッド１００の直下に到達したとき、除塵ヘッド１００の噴射室１１１（Ｐ）からの洗浄ガスを、受け部５００の円弧体５１０の受け面（円弧体５１０の内側の弧状の曲面）で受ける。このような洗浄ガスは曲面状の受け面に沿って移動し、上流側吸引室１１２（Ｖ１），下流側吸引室１１３（Ｖ２）にて洗浄ガスが上側に吸引される。噴射量よりも吸引量を多くすることで、除塵対象方向へ吹き漏れるおそれを低減することができる。これにより、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間を通過した洗浄ガスが無用な塵埃を飛散させるということがなくなり、除塵環境を良好に保つ。さらに洗浄ガスを噴出させた状態での連続除塵を可能とし、設備の簡素化や不要な異物混入のおそれの低減も実現している。本形態の除塵装置２はこのようなものである。
続いて、本発明の他の形態について図に基づいて説明する。図１４は他の形態の除塵装置の側面図、図１５は他の形態の除塵装置の動作説明図である。除塵装置３は、除塵ヘッド１００、受け部６００、搬送部３００、移動部４００を備える。除塵装置３は除塵対象１０に対して除塵を行う。先に図１〜図９を用いて説明した除塵装置１と比較すると、本形態の除塵装置３は、受け部６００の構成のみが相違する以外は他の構成は同じであり、同じ構成については同じ符号を付すとともに重複する説明を省略し、受け部６００についてのみ説明する。
受け部６００は、図１４，図１５で示すように、箱体６１０、支持部６２０を備えている。
箱体６１０は、箱状の部材であり、平面状の受け面を有する。箱体６１０は側壁部が設けられて横側から洗浄ガスが流れないようにしてある。箱体６１０は、図面の垂直方向に長く形成され、特に噴射口１１１ａ、吸引口１１２ａ，１１３ａよりも長くなるように配慮され、洗浄ガスを確実に受けるようになされている。
支持部６２０は、箱６１０の下側に固定されて、移動部４００により矢印ａ方向（除塵ヘッド本体１１０に近づいたり、または、遠ざかる方向）に箱６１０を移動させる。受け部６００はこのようなものである。
続いて、除塵装置３による除塵動作について説明する。
イオナイザ１２０から放出されたプラスイオン・マイナスイオンを含む洗浄ガスが、除塵ヘッド本体１１０から除塵対象１０へ噴射される。除塵対象１０の除塵は図８を用いて説明した同様の処理であり、重複する説明を省略する。
そして、図１５に示すように、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間が除塵ヘッド１００の直下に到達したとき、除塵ヘッド１００の噴射室１１１（Ｐ）からの洗浄ガスを、受け部６００の箱体６１０の受け面で受ける。このような洗浄ガスは受け面に沿って移動し、最後は側壁に沿って上側へ移動し、上流側吸引室１１２（Ｖ１），下流側吸引室１１３（Ｖ２）にて洗浄ガスが上側に吸引される。噴射量よりも吸引量を多くすることで、除塵対象方向へ吹き漏れるおそれを低減することができる。これにより、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間を通過した洗浄ガスが無用な塵埃を飛散させるということがなくなり、除塵環境を良好に保つ。さらに洗浄ガスを噴出させた状態での連続除塵を可能とし、設備の簡素化や不要な異物混入のおそれの低減も実現している。本形態の除塵装置３はこのようなものである。
続いて、本発明の他の形態について図に基づいて説明する。図１６は他の形態の除塵装置の除塵時の動作説明図、図１７は他の形態の除塵装置の除塵対象間の噴射時の動作説明図である。なお、図１６，図１７では断面図で図示し、側壁部の図示を省略している。除塵装置４は、除塵ヘッド１４０、受け部２００、搬送部３００、移動部４００を備える。除塵装置４は除塵対象１０に対して除塵を行う。先に図１〜図９を用いて説明した除塵装置１と比較すると、本形態の除塵装置４は、除塵ヘッド１４０の構成のみが相違する以外は他の構成は同じであり、同じ構成については同じ符号を付すとともに重複する説明を省略し、除塵ヘッド１４０についてのみ説明する。
このような除塵ヘッド１４０は、図１６で示すように、除塵対象の搬送方向（本形態では例示的に図面右から左へ向かう矢印方向とした）に向かって、上流側噴射室１４２（Ｐ１）、吸引室１４１（Ｖ）、下流側噴射室１４３（Ｐ２）となるように並べられて構成されており、搬送部３００の上側に配置されている。吸引室１４１（Ｖ）は図示しない吸気ポンプへ、また、上流側噴射室１４２（Ｐ１）、下流側噴射室１４３（Ｐ２）は図示しない送風ポンプへ接続されるものとする。上流側噴射室１４２および下流側噴射室１４３の噴射口１４２ａ，１４３ａから噴射された洗浄ガスや吹き上げられた塵埃は周囲のエアとともに、吸引口１４１ａを通じて吸引室１４１へ吸引される。この塵埃を含むエアは、除塵ヘッド１４０の排気口、排気流路、および、排気配管を介して、外部へ排気される。除塵ヘッド１４０はこのようなものである。
続いて、除塵装置４による除塵動作について説明する。
上流側噴射室１４２で流入口から洗浄ガスを流入させ、イオナイザ１２０から放出されたプラスイオン・マイナスイオンを洗浄ガスに加え、噴射口１４２ａから噴射させる。同様に下流側噴射室１４３で流入口から洗浄ガスを流入させ、イオナイザ１２０から放出されたプラスイオン・マイナスイオンを洗浄ガスに加え、噴射口１４３ａから噴射させる。
複数の除塵対象１０が、所定の間隔を隔てて搬送部３００上を順次搬送され、逐次除塵が行われるものとする。この場合除塵ヘッド１４０は、上流側噴射室１４２（Ｐ１）および下流側噴射室１４３（Ｐ２）による洗浄ガスの噴射、および、吸引室１４１（Ｖ）による塵埃の吸引を常時行っているものとする。
まず、除塵される除塵対象１０が、図１６で示すように、除塵ヘッド１４０の直下を、搬送方向に搬送される。この場合、除塵対象１０の上面が除塵対象面となる。除塵ヘッド１４０では、上流側噴射室１４２（Ｐ１）および下流側噴射室１４３（Ｐ２）から洗浄ガスが除塵対象１０の除塵対象面に噴射され、飛散した塵埃が吸引室１４１（Ｖ）にて吸引されることにより、除塵対象１０の除塵対象面の除塵が行われることになる。
そしてそのまま搬入が続いて、図１７で示すように、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間が除塵ヘッド１４０の直下に到達したとき、除塵ヘッド１４０の上流側噴射室１４２（Ｐ１）および下流側噴射室１４３（Ｐ２）からの洗浄ガスが通過孔２４０を通過し、受け部２００の受け空間２３０の曲面（半円筒体２１０の内側の半円状の曲面）で受ける。このような洗浄ガスは曲面に沿って移動したり、対向板２２０の裏面に到達して方向を転換させて通過孔２４０へ移動したりする。しかしながら、上流側噴射室１４２（Ｐ１）および下流側噴射室１４３（Ｐ２）からの噴射流により流路は一旦降下した後に中央から上昇する経路を取り、吸引室１４１（Ｖ）にて洗浄ガスが上側に吸引される。噴射量よりも吸引量を多くすることで、除塵対象方向へ吹き漏れるおそれを低減することができる。また両側の噴射流も除塵対象方向へ吹き漏れるおそれを低減する。これにより、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間を通過した洗浄ガスが無用な塵埃を飛散させるということがなくなり、除塵環境を良好に保つ。さらに洗浄ガスを噴出させた状態での連続除塵を可能とし、設備の簡素化や不要な異物混入のおそれの低減も実現している。本形態の除塵装置４はこのようなものである。
続いて、本発明の他の形態について図に基づいて説明する。図１８は他の形態の除塵装置の除塵時の動作説明図、図１９は他の形態の除塵装置の除塵対象間の噴射時の動作説明図である。なお、図１８，図１９では断面図で図示し、側壁部の図示を省略している。除塵装置５は、除塵ヘッド１５０、受け部２００、搬送部３００、移動部４００を備える。除塵装置５は除塵対象１０に対して除塵を行う。先に図１〜図９を用いて説明した除塵装置１と比較すると、本形態の除塵装置５は、除塵ヘッド１５０の構成のみが相違する以外は他の構成は同じであり、同じ構成については同じ符号を付すとともに重複する説明を省略し、除塵ヘッド１５０についてのみ説明する。
このような除塵ヘッド１５０は、図１８で示すように、除塵対象の搬送方向（本形態では例示的に図面右から左へ向かう矢印方向とした）に向かって、上流側噴射室１５１（Ｐ）、下流側吸引室１５２（Ｖ）、となるように並べられて構成されており、搬送部３００の上側に配置されている。上流側噴射室１５１（Ｐ）は図示しない送風ポンプへ、また、下流側吸引室１５２（Ｖ）は図示しない吸気ポンプへ接続されるものとする。噴射口１５１ａから噴射された洗浄ガスや吹き上げられた塵埃は周囲のエアとともに、吸引口１５２ａを通じて下流側吸引室１５２へ吸引される。この塵埃を含むエアは、除塵ヘッド１５０の排気口、排気流路、および、排気配管を介して、外部へ排気される。除塵ヘッド１５０はこのようなものである。
続いて、除塵装置５による除塵動作について説明する。
上流側噴射室１５１で流入口から洗浄ガスを流入させ、イオナイザ１２０から放出されたプラスイオン・マイナスイオンを洗浄ガスに加え、噴射口１５１ａから噴射させる。
複数の除塵対象１０が、所定の間隔を隔てて搬送部３００上を順次搬送され、逐次除塵が行われるものとする。この場合除塵ヘッド１５０は、上流側噴射室１５１（Ｐ）による洗浄ガスの噴射、および、下流側吸引室１５２（Ｖ）による塵埃の吸引を常時行っているものとする。
まず、図１８で示すように、除塵される除塵対象１０が、除塵ヘッド１５０の直下を、搬送方向に搬送される。この場合、除塵対象１０の上面が除塵対象面となる。除塵ヘッド１５０では、上流側噴射室１５１（Ｐ）から洗浄ガスが除塵対象１０の除塵対象面に噴射され、飛散した塵埃が下流側吸引室１５２（Ｖ）にて吸引されることにより、除塵対象１０の除塵対象面の除塵が行われることになる。
そしてそのまま搬入が続いて、図１９で示すように、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間が除塵ヘッド１５０の直下に到達したとき、除塵ヘッド１５０の上流側噴射室１５１（Ｐ）からの洗浄ガスが通過孔２４０を通過し、受け部２００の受け空間２３０の曲面（半円筒体２１０の内側の半円状の曲面）で受ける。このような洗浄ガスは曲面に沿って移動したり、対向板２２０の裏面に到達して方向を転換させて通過孔２４０へ移動し、下流側吸引室１５２（Ｖ）にて洗浄ガスが上側に吸引される。噴射量よりも吸引量を多くすることで、除塵対象方向へ吹き漏れるおそれを低減することができる。隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間を通過した洗浄ガスが無用な塵埃を飛散させるということがなくなり、除塵環境を良好に保つ。さらに洗浄ガスを噴出させた状態での連続除塵を可能とし、設備の簡素化や不要な異物混入のおそれの低減も実現している。本形態の除塵装置５はこのようなものである。
続いて、本発明の他の形態について図に基づいて説明する。図２０は他の形態の除塵装置の除塵時の動作説明図、図２１は他の形態の除塵装置の除塵対象間の噴射時の動作説明図である。なお、図２０，図２１では断面図で図示し、側壁部の図示を省略している。除塵装置６は、除塵ヘッド１６０、受け部２００、搬送部３００、移動部４００を備える。除塵装置６は除塵対象１０に対して除塵を行う。先に図１〜図９を用いて説明した除塵装置１と比較すると、本形態の除塵装置６は、除塵ヘッド１６０の構成のみが相違する以外は他の構成は同じであり、同じ構成については同じ符号を付すとともに重複する説明を省略し、除塵ヘッド１６０についてのみ説明する。
このような除塵ヘッド１６０は、図２０で示すように、除塵対象の搬送方向（本形態では例示的に図面右から左へ向かう矢印方向とした）に向かって、上流側吸引室１６１（Ｖ）、下流側噴射室１６２（Ｐ）、となるように並べられて構成されており、搬送部３００の上側に配置されている。上流側吸引室１６１（Ｖ）は図示しない吸気ポンプへ、また、下流側噴射室１６２（Ｐ）は図示しない送風ポンプへ接続されるものとする。噴射口１６２ａから噴射された洗浄ガスや吹き上げられた塵埃は周囲のエアとともに、吸引口１６１ａを通じて上流側吸引室１６１へ吸引される。この塵埃を含むエアは、除塵ヘッド１６０の排気口、排気流路、および、排気配管を介して、外部へ排気される。除塵ヘッド１６０はこのようなものである。
続いて、除塵装置６による除塵動作について説明する。
下流側噴射室１６２で流入口から洗浄ガスを流入させ、イオナイザ１２０から放出されたプラスイオン・マイナスイオンを洗浄ガスに加え、噴射口１６２ａから噴射させる。
複数の除塵対象１０が、所定の間隔を隔てて搬送部３００上を順次搬送され、逐次除塵が行われるものとする。この場合除塵ヘッド１６０は、下流側噴射室１６２（Ｐ）による洗浄ガスの噴射、および、上流側吸引室１６１（Ｖ）による塵埃の吸引を常時行っているものとする。
まず、図２０で示すように、除塵される除塵対象１０が、除塵ヘッド１６０の直下を、搬送方向に搬送される。この場合、除塵対象１０の上面が除塵対象面となる。除塵ヘッド１６０では、下流側噴射室１６２（Ｐ）から洗浄ガスが除塵対象１０の除塵対象面に噴射され、飛散した塵埃が上流側吸引室１６１（Ｖ）にて吸引されることにより、除塵対象１０の除塵対象面の除塵が行われることになる。
そしてそのまま搬入が続いて、図２１で示すように、隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間が除塵ヘッド１６０の直下に到達したとき、除塵ヘッド１６０の下流側噴射室１６２（Ｐ）から洗浄ガスが通過孔２４０を通過し、受け部２００の受け空間２３０の曲面（半円筒体２１０の内側の半円状の曲面）で受ける。このような洗浄ガスは曲面に沿って移動したり、対向板２２０の裏面に到達して方向を転換させて通過孔２４０へ向けて移動し、上流側吸引室１６１（Ｖ）にて洗浄ガスが上側に吸引される。噴射量よりも吸引量を多くすることで、除塵対象方向へ吹き漏れるおそれを低減することができる。隣接する二個の除塵対象１０の間の隙間を通過した洗浄ガスが無用な塵埃を飛散させるということがなくなり、除塵環境を良好に保つ。さらに洗浄ガスを噴出させた状態での連続除塵を可能とし、設備の簡素化や不要な異物混入のおそれの低減も実現している。本形態の除塵装置６はこのようなものである。
また、更なる変形形態が可能であり、例えば、図１６，図１７で説明した除塵ヘッド１４０、図１８，図１９で説明した除塵ヘッド１５０、図２０，図２１で説明した除塵ヘッド１６０に対して、図１０，図１１を用いて説明した受け部５００を対向させた除塵装置としても良い。一例として、図１６，図１７で説明した除塵ヘッド１４０に対して、図１０，図１１を用いて説明した受け部５００を対向させた除塵装置について図を参照しつつ説明する。図２２は、他の形態の除塵装置の説明図である。このような円弧体５１０に噴射口１４２ａ，１４３ａから洗浄ガスを噴射しても洗浄ガスを受けて吸引口１４１ａから吸引させることができ、本発明の除塵装置７として機能する。
また、図１８，図１９で説明した除塵ヘッド１５０に対して、図１０，図１１を用いて説明した受け部５００を対向させた除塵装置や、図２０，図２１で説明した除塵ヘッド１６０に対して、図１０，図１１を用いて説明した受け部５００を対向させた除塵装置でも同様に機能する。このような除塵装置としても良い。
また、更なる変形形態が可能であり、例えば、図１６，図１７で説明した二個の噴射口１４２ａ，１４３ａを有する除塵ヘッド１４０に対して、二個の円弧体による受け部を対向させた除塵装置としても良い。図２３は、他の形態の除塵装置の説明図である。第１支持部５３０、第１円弧体５４０からなる受け部が第１移動部４１０により矢印ｂ方向に移動可能に構成されており、第１円弧体５４０は噴射口１４２ａの下側に配置される。同様に第２支持部５５０、第２円弧体５６０からなる受け部が第２移動部４２０により矢印ｃ方向に移動可能に構成されており、第２円弧体５６０は噴射口１４３ａの下側に配置される。このような第１円弧体５４０、第２円弧体５６０に噴射口１４２ａ，１４３ａから洗浄ガスを噴射しても洗浄ガスを受けて吸引口１４１ａから吸引させることができ、本発明の除塵装置８として機能する。このような除塵装置８としても良い。
以上説明した本形態の除塵装置１〜８は、さらなる変形形態が可能であり、例えば、受け部２００，５００，６００の下側に吸引ホースを連通させ、受け空間に流れ込む洗浄ガスを吸引ホースを通じて排気ポンプで他の箇所へ排気したり、または、除塵に影響のない箇所に吸引ホースの他端を配置してそのまま放出排気するようにしても良い。
さらには除塵ヘッド１１０，１４０，１５０，１６０のイオナイザ１２０を取り去った形態、除塵ヘッド１１０，１４０，１５０，１６０のイオナイザに代えて超音波発振子を搭載した形態、除塵ヘッド１１０，１４０，１５０，１６０のイオナイザ１２０に超音波発振子も加えた形態としても良い。このような形態としても本発明の実施は可能である。
本発明を実施するための最良の形態の除塵装置の側面図である。 本発明を実施するための最良の形態の除塵装置の断面図である。 本発明を実施するための最良の形態の除塵装置の斜視外観図である。 除塵ヘッドの内外構造を示す図であって、図４（ａ）はＡ矢視図、図４（ｂ）はＢ−Ｂ線断面図、図４（ｃ）はＣ−Ｃ線断面図である。 Ｃ−Ｃ線断面の斜視図である。 除塵ヘッドの内部構造を示す図であって、図６（ａ）はＤ−Ｄ線断面図、図６（ｂ）はＥ−Ｅ線断面図である。 受け部の構成図である。 本発明を実施するための最良の形態の除塵時の動作説明図である。 本発明を実施するための最良の形態の除塵装置の除塵対象間の噴射時の動作説明図である。 他の形態の除塵装置の側面図である。 他の形態の除塵装置の断面図である。 円弧体の製造を説明する説明図である。 他の形態の除塵装置の動作説明図である。 他の形態の除塵装置の側面図である。 他の形態の除塵装置の動作説明図である。 他の形態の除塵装置の除塵時の動作説明図である。 他の形態の除塵装置の除塵対象間の噴射時の動作説明図である。 他の形態の除塵装置の除塵時の動作説明図である。 他の形態の除塵装置の除塵対象間の噴射時の動作説明図である。 他の形態の除塵装置の除塵時の動作説明図である。 他の形態の除塵装置の除塵対象間の噴射時の動作説明図である。 他の形態の除塵装置の説明図である。 他の形態の除塵装置の説明図である。
符号の説明
１，２，３，４，５，６，７，８：除塵装置
１０：除塵対象
１００：除塵ヘッド
１１０：除塵ヘッド本体
１１１：噴射室
１１１ａ：噴射口
１１１ｂ：流入口
１１１ｃ：噴射室底部
１１２：上流側吸引室
１１２ａ：吸引口
１１２ｂ：排気口
１１２ｃ：吸引室底部
１１３：下流側吸引室
１１３ａ：吸引口
１１３ｂ：排気口
１１３ｃ：吸引室底部
１１４：天板
１１５ａ，１１５ｂ：側壁
１１６ａ，１１６ｂ：内壁
１１６ｃ：隔壁
１１６ｄ：溝部
１１６ｅ：通過孔
１２０：イオナイザ
１２１：突出部
１２２：エミッタ
１２３：切り欠き部
１２４：通過孔
１３０：側壁部
１４０：除塵ヘッド
１４１：吸引室
１４１ａ：吸引口
１４２：上流側噴射室
１４２ａ：噴射口
１４３：下流側噴射室
１４３ａ：噴射口
１５０：除塵ヘッド
１５１：上流側噴射室
１５１ａ：噴射口
１５２：下流側吸引室
１５２ａ：吸引口
１６０：除塵ヘッド
１６１：上流側吸引室
１６１ａ：吸引口
１６２：下流側噴射室
１６２ａ：噴射口
２００：受け部
２１０：半円筒体
２２０：対向板
２３０：受け空間
２４０：通過孔
２５０：支持部
２６０：側壁
３００：搬送部
４００：移動部
４１０：第１移動部
４２０：第２移動部
５００：受け部
５１０：円弧体
５２０：支持部
５３０：第１支持部
５４０：第１円弧体
５５０：第２支持部
５６０：第２円弧体
６００：受け部
６１０：箱体
６２０：支持部

Claims (12)

  1. 洗浄ガスを噴射する噴射口を有する噴射室、および、吸引口を有する吸引室、をそれぞれ少なくとも各１個有する除塵ヘッドと、
    除塵ヘッド内へ複数の除塵対象を順次搬送する搬送部と、
    除塵ヘッドに対向するように配置され、洗浄ガスが通過する通過孔と、平面と曲面とにより仕切られて通過孔と連通する断面弓形空間であって曲面が吸引口や噴射口と対向するとともに平面が除塵対象の搬送方向と略平行に位置する受け空間と、を含み、噴射室の噴射口から噴射されて通過孔を通過した洗浄ガスを受け空間の曲面で受けた後に受け空間の平面で方向を転換させる受け部と、
    を備え、
    除塵対象に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、除塵対象から跳ね返る洗浄ガスをその吸引口から吸引し、また、
    隣接する二個の除塵対象間の隙間に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、受け部で方向を転換させた洗浄ガスをその吸引口から吸引することを特徴とする除塵装置。
  2. 洗浄ガスを噴射する噴射口を有する噴射室、および、吸引口を有する吸引室、をそれぞれ少なくとも各１個有する除塵ヘッドと、
    除塵ヘッド内へ複数の除塵対象を順次搬送する搬送部と、
    除塵ヘッドに対向するように配置され、除塵対象の搬送方向と略平行の表面を有する対向板と、対向板に形成され、噴射口と吸引口とが面する通過孔と、対向板に固定される半円筒体と、対向板の平面と半円筒体の曲面とにより仕切られ、半円筒体の曲面が吸引口や噴射口と対向するとともに対向板の平面が除塵対象の搬送方向と略平行に位置する断面弓形空間であって通過孔と連通する受け空間と、を含み、噴射室の噴射口から噴射されて通過孔を通過した洗浄ガスを受け空間の曲面で受けた後に受け空間の平面で方向を転換させる受け部と、
    を備え、
    除塵対象に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、除塵対象から跳ね返る洗浄ガスをその吸引口から吸引し、また、
    隣接する二個の除塵対象間の隙間に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、受け部で方向を転換させた洗浄ガスをその吸引口から吸引することを特徴とする除塵装置。
  3. 洗浄ガスを噴射する噴射口を有する噴射室、および、吸引口を有する吸引室、をそれぞれ少なくとも各１個有する除塵ヘッドと、
    除塵ヘッド内へ複数の除塵対象を順次搬送する搬送部と、
    噴射口と吸引口とが面する曲面状の受け面を有する円弧体を備え、除塵ヘッドに対向するように配置され、噴射室の噴射口から噴射された洗浄ガスを円弧体の受け面で受けて方向を転換させる受け部と、
    を備え、
    除塵対象に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、除塵対象から跳ね返る洗浄ガスをその吸引口から吸引し、また、
    隣接する二個の除塵対象間の隙間に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、受け部で方向を転換させた洗浄ガスをその吸引口から吸引することを特徴とする除塵装置。
  4. 洗浄ガスを噴射する噴射口を有する噴射室、および、吸引口を有する吸引室、をそれぞれ少なくとも各１個有する除塵ヘッドと、
    除塵ヘッド内へ複数の除塵対象を順次搬送する搬送部と、
    噴射口と吸引口とが面する平面を含む凹状の受け面を有する箱体を備え、除塵ヘッドに対向するように配置され、噴射室の噴射口から噴射された洗浄ガスを箱体の受け面で受けて方向を転換させる受け部と、
    を備え、
    除塵対象に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、除塵対象から跳ね返る洗浄ガスをその吸引口から吸引し、また、
    隣接する二個の除塵対象間の隙間に向けて噴射室の噴射口から洗浄ガスを噴射するときの吸引室は、受け部で方向を転換させた洗浄ガスをその吸引口から吸引することを特徴とする除塵装置。
  5. 請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の除塵装置において、
    前記除塵ヘッドは、噴射室とこれを挟む上流、下流の吸引室とが除塵対象の搬送方向に沿って並べて配置されることを特徴とする除塵装置。
  6. 請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の除塵装置において、
    前記除塵ヘッドは、吸引室とこれを挟む上流、下流の噴射室とが除塵対象の搬送方向に沿って並べて配置されることを特徴とする除塵装置。
  7. 請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の除塵装置において、
    前記除塵ヘッドは、上流の噴射室と下流の吸引室とが除塵対象の搬送方向に沿って並べて配置されることを特徴とする除塵装置。
  8. 請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の除塵装置において、
    前記除塵ヘッドは、上流の吸引室と下流の噴射室とが除塵対象の搬送方向に沿って並べて配置されることを特徴とする除塵装置。
  9. 請求項１〜請求項８の何れか一項に記載の除塵装置において、
    前記噴射室内に配置されており、超音波を発生させる超音波発振子を備え、噴射室の噴射口から超音波振動させた洗浄ガスを噴射することを特徴とする除塵装置。
  10. 請求項１〜請求項９の何れか一項に記載の除塵装置において、
    前記噴射室内に配置されており、高電圧が印加されたエミッタ近傍でイオンを生成するイオナイザを備え、前記噴射室の前記噴射口からイオンを含む洗浄ガスを噴射することを特徴とする除塵装置。
  11. 請求項１〜請求項１０の何れか一項に記載の除塵装置において、
    前記受け部を除塵ヘッドに対して離接させる移動部を備えることを特徴とする除塵装置。
  12. 請求項１１に記載の除塵装置において、
    前記受け部および前記移動部を一組とし、複数の噴射部と同数組の前記受け部および前記移動部を設けることを特徴とする除塵装置。
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