JP2008062122A - 除塵装置 - Google Patents
除塵装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008062122A JP2008062122A JP2006239668A JP2006239668A JP2008062122A JP 2008062122 A JP2008062122 A JP 2008062122A JP 2006239668 A JP2006239668 A JP 2006239668A JP 2006239668 A JP2006239668 A JP 2006239668A JP 2008062122 A JP2008062122 A JP 2008062122A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- air suction
- dust removing
- chamber
- dust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
- B08B15/04—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area from a small area, e.g. a tool
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/04—Cleaning by suction, with or without auxiliary action
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
- B08B7/02—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by distortion, beating, or vibration of the surface to be cleaned
- B08B7/026—Using sound waves
- B08B7/028—Using ultrasounds
Abstract
【課題】ワークの凹凸部に対する除塵性能を向上させた除塵装置を提供する。
【解決手段】エア吐出室104,105と、エア吸引室106と、内部空間がエア吐出室104,105に連通するノズルフード114と、このノズルフード114の内側に同心状に配置され、かつエア吸引室106に連通するエア吸引口116を有するエア吸引筒115とを備え、ノズルフード114の先端部とエア吸引筒115の先端部との間の隙間によってエア吐出口118を形成すると共に、ワーク300が有する凸部301をエア吸引口106の内側に配置させ、エア吐出口118から凸部301方向にエアを吐出させてこのエアをエア吸引口106から吸引するようにした凸部用除塵ヘッド100と、吐出ノズル220を除いてほぼ同様に形成された凹部用除塵ヘッド200と、を備える。
【選択図】図1
【解決手段】エア吐出室104,105と、エア吸引室106と、内部空間がエア吐出室104,105に連通するノズルフード114と、このノズルフード114の内側に同心状に配置され、かつエア吸引室106に連通するエア吸引口116を有するエア吸引筒115とを備え、ノズルフード114の先端部とエア吸引筒115の先端部との間の隙間によってエア吐出口118を形成すると共に、ワーク300が有する凸部301をエア吸引口106の内側に配置させ、エア吐出口118から凸部301方向にエアを吐出させてこのエアをエア吸引口106から吸引するようにした凸部用除塵ヘッド100と、吐出ノズル220を除いてほぼ同様に形成された凹部用除塵ヘッド200と、を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、ワーク(除塵対象物)の凹凸部の除塵に最適な除塵装置に関するものである。
従来、液晶パネルやプラズマディスプレイパネル、各種シート等の製造工程において、ワークの表面にクリーンエアや超音波振動するエアを吐出し、ワークの表面から剥離させた塵埃などの粒子を吸引除去するようにした除塵装置が種々提供されている。また、上記エアをイオン化してワークの表面を除塵及び除電するようにした除塵・除電装置も知られている。
例えば、特許文献1に係る除塵装置は、超音波発生器が内蔵されてエア吐出口を備えたエア吐出チャンバーと、このエア吐出チャンバーに隣接されてエア吸引口を備えたエア吸引チャンバーとを有し、エア吐出チャンバー及びエアー吸引チャンバーがワークの走行方向に沿って配置されると共に、エアー吐出口及びエアー吸引口とワークとの間に所定の間隔を保有してなる除塵装置において、ワークの走行方向から見たエアー吐出チャンバーのほぼ上端中央部にエアー吐出用の配管孔を配置し、かつ、エアー吸引チャンバーのほぼ上端中央部にエアー吸引用の配管孔を配置したものであり、これによってワークの幅方向に沿ったエアの吐出力及び吸引力をほぼ均一にし、ガラス基板等の幅広のワークに対しても均一で安定した除塵力を得るようにしたものである。
また、特許文献2に係る基板用搬送除塵装置は、少なくとも各1個のエア吸引室およびエア噴出室を有する除塵ユニットを備え、除塵ユニット方向へ搬送ローラにより搬送される基板に対し、エア噴出室から基板表面に向けて洗浄エアを噴出し、飛散する塵埃をエア吸引室で吸引するようにした基板用搬送除塵装置において、搬送ローラ側にのみ除塵ユニットを配置し、ベンチュリ効果により基板を搬送ローラに当接させるものであり、ベンチュリ効果により発生する吸引力を基板に作用させてこの基板を確実に搬送ローラへ当接させて衝突等の発生を防止するようにしたものである。
前述した従来の除塵装置では、ワークの表面を均一かつ安定して除塵できるという効果があるが、ワーク自体が平板状またはシート状であって除塵対象面も平面であることを想定している。
しかし、表面や裏面に凹凸部があるワークに対しては、これらの凹凸部が障害となって除塵ヘッドと除塵対象面との間の距離を均等に保つことができず、また、凹凸部によって空気の乱流が生じるため、所望の除塵効果が得られないという問題があった。特に、この種のワークをクリーンルーム等の清浄な空間で使用する場合には、凹凸部に付着した塵埃が製造ラインの部品、製品に付着してその歩留まりを低下させるという問題もある。
そこで、本発明の解決課題は、ワークの凹凸部に対する除塵性能を向上させ、しかも部品を一部共用可能としてコストの低減を可能にした除塵装置を提供することにある。
しかし、表面や裏面に凹凸部があるワークに対しては、これらの凹凸部が障害となって除塵ヘッドと除塵対象面との間の距離を均等に保つことができず、また、凹凸部によって空気の乱流が生じるため、所望の除塵効果が得られないという問題があった。特に、この種のワークをクリーンルーム等の清浄な空間で使用する場合には、凹凸部に付着した塵埃が製造ラインの部品、製品に付着してその歩留まりを低下させるという問題もある。
そこで、本発明の解決課題は、ワークの凹凸部に対する除塵性能を向上させ、しかも部品を一部共用可能としてコストの低減を可能にした除塵装置を提供することにある。
上記課題を解決するため、請求項1に記載した発明は、除塵ヘッドからワークの表面に向けて吐出したエアを吸引することにより、前記表面に付着した塵埃を吸引除去する除塵装置において、
エア吐出室と、エア吸引室と、内部空間が前記エア吐出室に連通するノズルフードと、このノズルフードの内側にノズルフードと同心状に配置され、かつ前記エア吸引室に連通するエア吸引口を有するエア吸引筒と、を備え、
前記ノズルフードの先端部と前記エア吸引筒の先端部との間の隙間によってエア吐出口を形成すると共に、
前記ワークが有する凸部を前記エア吸引口の内側に配置させ、
前記エア吐出口から前記凸部方向にエアを吐出させてこのエアを前記エア吸引口から前記エア吸引室へ吸引するように構成した凸部用除塵ヘッドを有するものである。
エア吐出室と、エア吸引室と、内部空間が前記エア吐出室に連通するノズルフードと、このノズルフードの内側にノズルフードと同心状に配置され、かつ前記エア吸引室に連通するエア吸引口を有するエア吸引筒と、を備え、
前記ノズルフードの先端部と前記エア吸引筒の先端部との間の隙間によってエア吐出口を形成すると共に、
前記ワークが有する凸部を前記エア吸引口の内側に配置させ、
前記エア吐出口から前記凸部方向にエアを吐出させてこのエアを前記エア吸引口から前記エア吸引室へ吸引するように構成した凸部用除塵ヘッドを有するものである。
請求項2に記載した発明は、請求項1に記載した除塵装置において、前記凸部用除塵ヘッドは、前記エア吸引室の両側に配置された第1,第2のエア吐出室を有するものである。
請求項3に記載した発明は、除塵ヘッドからワークの表面に向けて吐出したエアを吸引することにより、前記表面に付着した塵埃を吸引除去する除塵装置において、
エア吐出室と、エア吸引室と、内部空間が前記エア吸引室に連通するノズルフードと、このノズルフードの内側にノズルフードと同心状に配置され、かつ前記エア吐出室に連通するエア吐出口を有する吐出ノズルと、を備え、
前記ノズルフードと前記吐出ノズルとの間の空間によってエア吸引口を形成すると共に、
前記ワークが有する凹部を前記エア吐出口の近傍に配置させ、
前記エア吐出口から前記凹部方向にエアを吐出させてこのエアを前記エア吸引口から前記エア吸引室へ吸引するように構成した凹部用除塵ヘッドを有するものである。
エア吐出室と、エア吸引室と、内部空間が前記エア吸引室に連通するノズルフードと、このノズルフードの内側にノズルフードと同心状に配置され、かつ前記エア吐出室に連通するエア吐出口を有する吐出ノズルと、を備え、
前記ノズルフードと前記吐出ノズルとの間の空間によってエア吸引口を形成すると共に、
前記ワークが有する凹部を前記エア吐出口の近傍に配置させ、
前記エア吐出口から前記凹部方向にエアを吐出させてこのエアを前記エア吸引口から前記エア吸引室へ吸引するように構成した凹部用除塵ヘッドを有するものである。
請求項4に記載した発明は、請求項3に記載した除塵装置において、前記凹部用除塵ヘッドは、前記エア吐出室の両側に配置された第1,第2のエア吸引室を有するものである。
請求項5に記載した発明は、請求項1または2に記載した凸部用除塵ヘッド、及び、請求項3または4に記載した凹部用除塵ヘッドを共に備えたものである。
本発明によれば、凸部用除塵ヘッドまたは凹部用除塵ヘッドを備えることにより、ワークが有する凸部または凹部に付着した塵埃を確実に吸引除去することができる。
また、凸部用除塵ヘッドまたは凹部用除塵ヘッドを構成するチャンバーやノズルフード等の部品を共用すれば、各除塵ヘッドごとに専用の部品を用いる必要がなくなってコストの低減も可能になる。
また、凸部用除塵ヘッドまたは凹部用除塵ヘッドを構成するチャンバーやノズルフード等の部品を共用すれば、各除塵ヘッドごとに専用の部品を用いる必要がなくなってコストの低減も可能になる。
以下、図に沿って本発明の実施形態を説明する。
まず、図1はこの実施形態に係る除塵装置の主要部を示したもので、ワークの凸部を除塵するための凸部用除塵ヘッド100(図1(a))と、ワークの凹部を除塵するための凹部用除塵ヘッド200(図1(b))とを、何れも一部断面表示した図である。
まず、図1はこの実施形態に係る除塵装置の主要部を示したもので、ワークの凸部を除塵するための凸部用除塵ヘッド100(図1(a))と、ワークの凹部を除塵するための凹部用除塵ヘッド200(図1(b))とを、何れも一部断面表示した図である。
図1(a)の凸部用除塵ヘッド100において、101はほぼ直方体のチャンバーであり、その内部には、仕切壁102,103によって第1,第2のエア吐出室104,105及びエア吸引室106がそれぞれ形成されている。
エア吐出室104,105は、チャンバー101の一方の基板110に形成された通孔(図示せず)を介して円筒状のコネクタ111,112の内部に連通しており、外部に設けられたエア供給ポンプ等から、コネクタ111,112を介してエア吐出室104,105に清浄なエアが送られるようになっている。また、エア吸引室106は、前記基板110に形成された通孔(図示せず)を介して円筒状のコネクタ113の内部に連通しており、外部に設けられたエア吸引ポンプ等により、コネクタ113を介してエア吸引室106内のエアを吸引するように構成されている。
図1(a)において、各コネクタ111〜113の近傍に付した記号「P」は吐出エアの入口を示し、「V」は吸引エアの出口を示すものである。
更に、チャンバー101の他方の基板107には、エア吐出室104,105と後述のノズルフード114の内部空間119とに連通する通孔108,109がそれぞれ設けられている。
エア吐出室104,105は、チャンバー101の一方の基板110に形成された通孔(図示せず)を介して円筒状のコネクタ111,112の内部に連通しており、外部に設けられたエア供給ポンプ等から、コネクタ111,112を介してエア吐出室104,105に清浄なエアが送られるようになっている。また、エア吸引室106は、前記基板110に形成された通孔(図示せず)を介して円筒状のコネクタ113の内部に連通しており、外部に設けられたエア吸引ポンプ等により、コネクタ113を介してエア吸引室106内のエアを吸引するように構成されている。
図1(a)において、各コネクタ111〜113の近傍に付した記号「P」は吐出エアの入口を示し、「V」は吸引エアの出口を示すものである。
更に、チャンバー101の他方の基板107には、エア吐出室104,105と後述のノズルフード114の内部空間119とに連通する通孔108,109がそれぞれ設けられている。
前記基板107の下方には、軸方向に沿った上下両端部が開口しているノズルフード114が固着されている。このノズルフード114の内部には、ほぼ円筒状のエア吸引筒115が同心状に配置され、その軸方向に沿った上端部の外周面は、前記エア吸引室106の下端部内周面にネジ止めされている。
エア吸引筒115の通孔は下方(ノズルフード114の開口部)に向かうにつれて大径に形成されており、この通孔は後述するワークの凸部に付着した塵埃を吸引するエア吸引口116として作用するものである。
エア吸引筒115の通孔は下方(ノズルフード114の開口部)に向かうにつれて大径に形成されており、この通孔は後述するワークの凸部に付着した塵埃を吸引するエア吸引口116として作用するものである。
また、ノズルフード114のすり鉢状の外周壁117の開口部周縁と、エア吸引筒115の下端部との間の隙間によって、エア吐出口118が形成されており、このエア吐出口118は、ノズルフード114とエア吸引筒115との間の空間119及び前記通孔108,109を介してエア吐出室104,105に連通している。
ここで、図1(a)から明らかなように、この実施形態において、エア吸引筒115の下端部は、ノズルフード114の外周壁117の下端部よりもエア吸引室106側に若干、引っ込んだ位置に配置されている。なお、図示されていないが、エア吸引筒115の下端部をノズルフード114の外周壁117の下端部の高さに一致させても良い。
ここで、図1(a)から明らかなように、この実施形態において、エア吸引筒115の下端部は、ノズルフード114の外周壁117の下端部よりもエア吸引室106側に若干、引っ込んだ位置に配置されている。なお、図示されていないが、エア吸引筒115の下端部をノズルフード114の外周壁117の下端部の高さに一致させても良い。
図2(a)は、凸部用除塵ヘッド100の上面図であり、エア吐出室104,105に連通する前記コネクタ111,112はそれぞれ1個配置され、エア吸引室106に連通する前記コネクタ113は前後方向に2個配置されている。
なお、図3は、凸部用除塵ヘッド100の下面図である。
なお、図3は、凸部用除塵ヘッド100の下面図である。
上記のような構造により、外部から供給されるエアは、コネクタ111,112→エア吐出室104,105→通孔108,109→空間119→エア吐出口118の経路でエア吸引筒115の中心軸に沿って外部に吐出されることになり、また、ワークの凸部に付着した塵埃を剥離させてこれらを含んだエアは、エア吸引口116→エア吸引室106→コネクタ113の経路で外部に吸引、排出されることになる。
次に、凹部用除塵ヘッド200の構造を図1(b)を参照しつつ説明する。
この凹部用除塵ヘッド200において、チャンバー201及びノズルフード214の構造は、前述した凸部用除塵ヘッド100のチャンバー101及びノズルフード114と実質的に同一である。すなわち、図1(b)において、チャンバー201は、仕切壁202,203と、第1,第2のエア吸引室204,205と、エア吐出室206と、基板207,210と、通孔208,209とを備え、ノズルフード214は、軸方向に沿った上下両端部が開口していると共に外周壁217を備えている。
この凹部用除塵ヘッド200において、チャンバー201及びノズルフード214の構造は、前述した凸部用除塵ヘッド100のチャンバー101及びノズルフード114と実質的に同一である。すなわち、図1(b)において、チャンバー201は、仕切壁202,203と、第1,第2のエア吸引室204,205と、エア吐出室206と、基板207,210と、通孔208,209とを備え、ノズルフード214は、軸方向に沿った上下両端部が開口していると共に外周壁217を備えている。
凹部用除塵ヘッド200が凸部用除塵ヘッド100と異なるのは、主として吐出ノズル220の構造である。
この吐出ノズル220は、エア吐出室206の上端部内周面にネジ止めされた筒状の吐出筒221と、その上端部に同軸状に連結されて外形がほぼ円錐状のノズル本体222とから構成されている。このノズル本体222の中心には、吐出筒221の内部空間を介してエア吐出室206に連通するエア吐出口223が形成されている。
この吐出ノズル220は、エア吐出室206の上端部内周面にネジ止めされた筒状の吐出筒221と、その上端部に同軸状に連結されて外形がほぼ円錐状のノズル本体222とから構成されている。このノズル本体222の中心には、吐出筒221の内部空間を介してエア吐出室206に連通するエア吐出口223が形成されている。
また、エア吐出室206は、チャンバー201の一方の基板210に形成された通孔(図示せず)を介して円筒状のコネクタ213の内部に連通しており、外部に設けられたエア供給ポンプ等から、コネクタ213を介してエア吐出室206に清浄なエアが送られるようになっている。更に、エア吸引室204,205は、前記基板210に形成された通孔(図示せず)を介して円筒状のコネクタ211,212の内部に連通しており、外部に設けられたエア吸引ポンプ等により、コネクタ211,212を介してエア吸引室204,205内のエアを吸引するように構成されている。
図1(b)において、各コネクタ211〜213の近傍に付した記号「P」は吐出エアの入口を示し、「V」は吸引エアの出口を示すものである。
図1(b)において、各コネクタ211〜213の近傍に付した記号「P」は吐出エアの入口を示し、「V」は吸引エアの出口を示すものである。
なお、図2(b)は、凹部用除塵ヘッド200の下面図であり、エア吸引室204,205に連通する前記コネクタ211,212は前後方向にそれぞれ2個配置され、エア吐出室206に連通する前記コネクタ213は1個配置されている。
上記のような構造により、外部から供給されるエアが、コネクタ213→エア吐出室206→吐出筒221の内部空間→エア吐出口223の経路でノズル本体222の中心軸方向に吐出されることになり、また、ワークの凹部に付着した塵埃を剥離させてこれらを含んだエアは、ノズルフード214と吐出ノズル220との間の空間(エア吸引口)219→通孔208,209→エア吸引室204,205→コネクタ211,212の経路で外部に吸引、排出されることになる。
次に、この実施形態の使用状態を説明する。
ここで、本発明に係る除塵装置は、凸部用除塵ヘッド100とこれに連結されたポンプ等のエア供給・吸引手段を備えたもの、凹部用除塵ヘッド200とこれに連結されたポンプ等のエア供給・吸引手段を備えたもの、または、凸部用除塵ヘッド100及び凹部用除塵ヘッド200とこれらに連結されたポンプ等のエア供給・吸引手段を備えたものの何れであっても良い。
すなわち、凸部のみを有するワークに対しては凸部用除塵ヘッド100とこれに連結されたエア供給・吸引手段を備えた除塵装置を使用し、凹部のみを有するワークに対しては凹部用除塵ヘッド200とこれに連結されたエア供給・吸引手段を備えた除塵装置を使用すると共に、凸部及び凹部の両方を有するワークに対しては凸部用除塵ヘッド100及び凹部用除塵ヘッド200とこれらに連結されたエア供給・吸引手段を備えた除塵装置を使用すれば良い。
ここで、本発明に係る除塵装置は、凸部用除塵ヘッド100とこれに連結されたポンプ等のエア供給・吸引手段を備えたもの、凹部用除塵ヘッド200とこれに連結されたポンプ等のエア供給・吸引手段を備えたもの、または、凸部用除塵ヘッド100及び凹部用除塵ヘッド200とこれらに連結されたポンプ等のエア供給・吸引手段を備えたものの何れであっても良い。
すなわち、凸部のみを有するワークに対しては凸部用除塵ヘッド100とこれに連結されたエア供給・吸引手段を備えた除塵装置を使用し、凹部のみを有するワークに対しては凹部用除塵ヘッド200とこれに連結されたエア供給・吸引手段を備えた除塵装置を使用すると共に、凸部及び凹部の両方を有するワークに対しては凸部用除塵ヘッド100及び凹部用除塵ヘッド200とこれらに連結されたエア供給・吸引手段を備えた除塵装置を使用すれば良い。
図4,図5は、表面に凸部301を有し、裏面に凹部302を有するほぼ直方体のワーク300に対して、凸部用除塵ヘッド100及び凹部用除塵ヘッド200の両方を用いて凸部301及び凹部302を除塵する様子を示した図である。
凸部用除塵ヘッド100及び凹部用除塵ヘッド200は、人手によってワーク300の凸部301または凹部302にあてがっても良いし、ロボットアーム等により機械的に移動させて凸部301または凹部302にあてがっても良い。また、凸部用除塵ヘッド100及び凹部用除塵ヘッド200は、それぞれを分離して形成しても良いし、両者を適宜な連結部材により連結して、図4のワーク300の表裏面に接近または表裏面から離れる方向に移動できるように構成しても良い。
凸部用除塵ヘッド100及び凹部用除塵ヘッド200は、人手によってワーク300の凸部301または凹部302にあてがっても良いし、ロボットアーム等により機械的に移動させて凸部301または凹部302にあてがっても良い。また、凸部用除塵ヘッド100及び凹部用除塵ヘッド200は、それぞれを分離して形成しても良いし、両者を適宜な連結部材により連結して、図4のワーク300の表裏面に接近または表裏面から離れる方向に移動できるように構成しても良い。
図4,図5に示すように、ワーク300の凸部301側では、凸部用除塵ヘッド100の前記エア吐出口118から吐出されたエアが凸部301の基端部に当たり、凸部301の外周面に沿ってエア吸引筒115の中心軸方向に向かいながら移動してエア吸引室106へ吸引される。これに伴って凸部301の上面付近は負圧になり、その上面近傍のエアもエア吸引室106方向へ吸引される。
これら一連の動作により、凸部301の基端部や外周面、上面等に付着した塵埃が剥離されてエア吸引室106を介し外部のエア吸引ポンプによって吸引、除去されることになる。
なお、ノズルフード114の開口部やエア吸引筒115のエア吸引口116の内径、形状等は、凸部301を受容可能な内径、形状等に形成する必要があることは言うまでもない。また、凸部301の形状等は図示例に何ら限定されるものではない。
これら一連の動作により、凸部301の基端部や外周面、上面等に付着した塵埃が剥離されてエア吸引室106を介し外部のエア吸引ポンプによって吸引、除去されることになる。
なお、ノズルフード114の開口部やエア吸引筒115のエア吸引口116の内径、形状等は、凸部301を受容可能な内径、形状等に形成する必要があることは言うまでもない。また、凸部301の形状等は図示例に何ら限定されるものではない。
一方、ワーク300の凹部302側では、凹部用除塵ヘッド200の前記エア吐出口223から吐出されたエアが凹部302の底面に当たり、凹部302の内周面に沿ってノズルフード214の内部の空間219(エア吸引口)方向に移動してエア吸引室204,205へ吸引される。
このため、凹部302の底面や内周面等に付着した塵埃が剥離されてエア吸引室204,205を介し外部のエア吸引ポンプによって吸引、除去されることになる。
なお、ノズルフード214の開口部の内径、形状等は、凹部302の内径、形状等に適合させる必要があることは言うまでもない。また、凹部302の形状等も図示例に何ら限定されるものではない。
このため、凹部302の底面や内周面等に付着した塵埃が剥離されてエア吸引室204,205を介し外部のエア吸引ポンプによって吸引、除去されることになる。
なお、ノズルフード214の開口部の内径、形状等は、凹部302の内径、形状等に適合させる必要があることは言うまでもない。また、凹部302の形状等も図示例に何ら限定されるものではない。
以上説明したように、本実施形態によれば、凸部用除塵ヘッド100及び凹部用除塵ヘッド200によって凸部301及び凹部302付近に付着した塵埃を確実に剥離させて吸引除去することができる。
また、凸部用除塵ヘッド100及び凹部用除塵ヘッド200の主要な部品(チャンバー101,201やノズルフード114,214等)が同一構造であるためこれらを共用することができ、各除塵ヘッドごとに専用の部品を用いる場合に比べて製造コストの低減にも寄与するものである。
なお、ワーク300に吐出するエアに超音波振動を与えれば、除塵効率を一層向上させることができる。
また、凸部用除塵ヘッド100及び凹部用除塵ヘッド200の主要な部品(チャンバー101,201やノズルフード114,214等)が同一構造であるためこれらを共用することができ、各除塵ヘッドごとに専用の部品を用いる場合に比べて製造コストの低減にも寄与するものである。
なお、ワーク300に吐出するエアに超音波振動を与えれば、除塵効率を一層向上させることができる。
100:凸部用除塵ヘッド
101:チャンバー
102,103:仕切壁
104,105:エア吐出室
106:エア吸引室
107,110:基板
108,109:通孔
111〜113:コネクタ
114:ノズルフード
115:エア吸引筒
116:エア吸引口
117:外周壁
118:エア吐出口
119:空間
200:凹部用除塵ヘッド
201:チャンバー
202,203:仕切壁
204,205:エア吸引室
206:エア吐出室
207,210:基板
208,209:通孔
211〜213:コネクタ
214:ノズルフード
217:外周壁
219:空間
220:吐出ノズル
221:吐出筒
222:ノズル本体
223:エア吐出口
300:ワーク
301:凸部
302:凹部
101:チャンバー
102,103:仕切壁
104,105:エア吐出室
106:エア吸引室
107,110:基板
108,109:通孔
111〜113:コネクタ
114:ノズルフード
115:エア吸引筒
116:エア吸引口
117:外周壁
118:エア吐出口
119:空間
200:凹部用除塵ヘッド
201:チャンバー
202,203:仕切壁
204,205:エア吸引室
206:エア吐出室
207,210:基板
208,209:通孔
211〜213:コネクタ
214:ノズルフード
217:外周壁
219:空間
220:吐出ノズル
221:吐出筒
222:ノズル本体
223:エア吐出口
300:ワーク
301:凸部
302:凹部
Claims (5)
- 除塵ヘッドからワークの表面に向けて吐出したエアを吸引することにより、前記表面に付着した塵埃を吸引除去する除塵装置において、
エア吐出室と、エア吸引室と、内部空間が前記エア吐出室に連通するノズルフードと、このノズルフードの内側にノズルフードと同心状に配置され、かつ前記エア吸引室に連通するエア吸引口を有するエア吸引筒と、を備え、
前記ノズルフードの先端部と前記エア吸引筒の先端部との間の隙間によってエア吐出口を形成すると共に、
前記ワークが有する凸部を前記エア吸引口の内側に配置させ、
前記エア吐出口から前記凸部方向にエアを吐出させてこのエアを前記エア吸引口から前記エア吸引室へ吸引するように構成した凸部用除塵ヘッドを有することを特徴とする除塵装置。 - 請求項1に記載した除塵装置において、
前記凸部用除塵ヘッドは、
前記エア吸引室の両側に配置された第1,第2のエア吐出室を有することを特徴とする除塵装置。 - 除塵ヘッドからワークの表面に向けて吐出したエアを吸引することにより、前記表面に付着した塵埃を吸引除去する除塵装置において、
エア吐出室と、エア吸引室と、内部空間が前記エア吸引室に連通するノズルフードと、このノズルフードの内側にノズルフードと同心状に配置され、かつ前記エア吐出室に連通するエア吐出口を有する吐出ノズルと、を備え、
前記ノズルフードと前記吐出ノズルとの間の空間によってエア吸引口を形成すると共に、
前記ワークが有する凹部を前記エア吐出口の近傍に配置させ、
前記エア吐出口から前記凹部方向にエアを吐出させてこのエアを前記エア吸引口から前記エア吸引室へ吸引するように構成した凹部用除塵ヘッドを有することを特徴とする除塵装置。 - 請求項3に記載した除塵装置において、
前記凹部用除塵ヘッドは、
前記エア吐出室の両側に配置された第1,第2のエア吸引室を有することを特徴とする除塵装置。 - 請求項1または2に記載した凸部用除塵ヘッド、及び、請求項3または4に記載した凹部用除塵ヘッドを共に備えたことを特徴とする除塵装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006239668A JP2008062122A (ja) | 2006-09-05 | 2006-09-05 | 除塵装置 |
PCT/JP2006/319216 WO2008029490A1 (fr) | 2006-09-05 | 2006-09-21 | Dispositif de dépoussiérage |
KR1020087009962A KR20090047382A (ko) | 2006-09-05 | 2006-09-21 | 제진 장치 |
CNA2006800414890A CN101304818A (zh) | 2006-09-05 | 2006-09-21 | 除尘装置 |
TW095135521A TW200812714A (en) | 2006-09-05 | 2006-09-26 | Dust removing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006239668A JP2008062122A (ja) | 2006-09-05 | 2006-09-05 | 除塵装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008062122A true JP2008062122A (ja) | 2008-03-21 |
Family
ID=39156936
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006239668A Pending JP2008062122A (ja) | 2006-09-05 | 2006-09-05 | 除塵装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008062122A (ja) |
KR (1) | KR20090047382A (ja) |
CN (1) | CN101304818A (ja) |
TW (1) | TW200812714A (ja) |
WO (1) | WO2008029490A1 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102211099A (zh) * | 2010-03-26 | 2011-10-12 | 三星钻石工业股份有限公司 | 空气集尘装置 |
CN103143530A (zh) * | 2013-01-18 | 2013-06-12 | 全利机械股份有限公司 | 自动清洁装置 |
US9468952B2 (en) | 2013-01-18 | 2016-10-18 | Chan Li Machinery Co., Ltd. | Automatic cleaning device |
US10694649B2 (en) * | 2015-01-14 | 2020-06-23 | Fuji Corporation | Feeder maintenance apparatus and control method of feeder maintenance apparatus |
CN112170390A (zh) * | 2020-09-25 | 2021-01-05 | 青岛海鼎通讯技术有限公司 | 一种手机后盖板背面清洗机 |
CN113351582A (zh) * | 2021-06-22 | 2021-09-07 | 武昌理工学院 | 一种单双风道交替的雷达底座清理装置及清理方法 |
TWI793842B (zh) * | 2021-11-03 | 2023-02-21 | 立百邑有限公司 | 除塵裝置 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102039613B (zh) * | 2009-10-22 | 2014-04-30 | 株式会社伸兴 | 除尘装置 |
WO2013152984A1 (en) * | 2012-04-10 | 2013-10-17 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Edge cleaner |
JP6058312B2 (ja) * | 2012-08-06 | 2017-01-11 | ヒューグル開発株式会社 | クリーニングヘッド |
KR101627823B1 (ko) * | 2014-05-22 | 2016-06-07 | 문상호 | 웹 크리너 |
CN105032841B (zh) * | 2015-07-23 | 2017-07-14 | 熊一凡 | 用于清理有害粉尘的高压气流手 |
CN111299245A (zh) * | 2018-12-11 | 2020-06-19 | 韶阳科技股份有限公司 | 气体循环装置 |
CN115250861A (zh) * | 2022-07-20 | 2022-11-01 | 四平市鹏华园林绿化工程有限公司 | 一种环保的园林草木根系包装设备 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0557257A (ja) * | 1991-09-03 | 1993-03-09 | Nec Ibaraki Ltd | 部品清掃装置 |
JP2002316110A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の洗浄方法およびそれに用いる洗浄装置 |
JP2002343761A (ja) * | 2001-05-16 | 2002-11-29 | Kubota Corp | レーザクリーニング装置およびレーザクリーニング方法 |
JP2004330162A (ja) * | 2003-05-12 | 2004-11-25 | Hugle Electronics Inc | 除塵装置用目詰まり検知装置 |
-
2006
- 2006-09-05 JP JP2006239668A patent/JP2008062122A/ja active Pending
- 2006-09-21 KR KR1020087009962A patent/KR20090047382A/ko not_active Application Discontinuation
- 2006-09-21 CN CNA2006800414890A patent/CN101304818A/zh active Pending
- 2006-09-21 WO PCT/JP2006/319216 patent/WO2008029490A1/ja active Application Filing
- 2006-09-26 TW TW095135521A patent/TW200812714A/zh unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0557257A (ja) * | 1991-09-03 | 1993-03-09 | Nec Ibaraki Ltd | 部品清掃装置 |
JP2002316110A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の洗浄方法およびそれに用いる洗浄装置 |
JP2002343761A (ja) * | 2001-05-16 | 2002-11-29 | Kubota Corp | レーザクリーニング装置およびレーザクリーニング方法 |
JP2004330162A (ja) * | 2003-05-12 | 2004-11-25 | Hugle Electronics Inc | 除塵装置用目詰まり検知装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102211099A (zh) * | 2010-03-26 | 2011-10-12 | 三星钻石工业股份有限公司 | 空气集尘装置 |
JP2011200830A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | エア集塵装置 |
KR101259776B1 (ko) * | 2010-03-26 | 2013-05-02 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 에어 집진 장치 |
CN103143530A (zh) * | 2013-01-18 | 2013-06-12 | 全利机械股份有限公司 | 自动清洁装置 |
US9468952B2 (en) | 2013-01-18 | 2016-10-18 | Chan Li Machinery Co., Ltd. | Automatic cleaning device |
US10694649B2 (en) * | 2015-01-14 | 2020-06-23 | Fuji Corporation | Feeder maintenance apparatus and control method of feeder maintenance apparatus |
CN112170390A (zh) * | 2020-09-25 | 2021-01-05 | 青岛海鼎通讯技术有限公司 | 一种手机后盖板背面清洗机 |
CN112170390B (zh) * | 2020-09-25 | 2023-07-07 | 青岛海鼎通讯技术有限公司 | 一种手机后盖板背面清洗机 |
CN113351582A (zh) * | 2021-06-22 | 2021-09-07 | 武昌理工学院 | 一种单双风道交替的雷达底座清理装置及清理方法 |
TWI793842B (zh) * | 2021-11-03 | 2023-02-21 | 立百邑有限公司 | 除塵裝置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200812714A (en) | 2008-03-16 |
KR20090047382A (ko) | 2009-05-12 |
WO2008029490A1 (fr) | 2008-03-13 |
CN101304818A (zh) | 2008-11-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008062122A (ja) | 除塵装置 | |
US5457847A (en) | Dust removing system | |
US7552503B2 (en) | Apparatus and method for cleaning a surface with high pressure air | |
KR101776575B1 (ko) | 연마재 회수 시스템을 갖는 블라스트 가공 방법 및 장치, 박막 태양전지 패널의 가공 방법 및 이에 의해 가공된 박막 태양전지 패널 | |
JP5268097B2 (ja) | 除塵装置 | |
TWI531446B (zh) | 噴砂方法及具有研磨料回收系統的設備、薄膜太陽能電池板的加工處理方法及以此方法加工處理的薄膜太陽能電池板 | |
TWI573637B (zh) | Cleaning head | |
CN103817109A (zh) | 除尘装置 | |
JP2009028862A (ja) | 非接触搬送装置 | |
JP5001391B2 (ja) | スクライブヘッド用集塵器 | |
WO2011039972A1 (ja) | 清掃ノズル及びそれを備えた塵埃除去装置 | |
JP2002254378A (ja) | 液中ワーク取り出し装置 | |
JP2008149224A (ja) | 塗布用ダイの清掃装置 | |
US20080282500A1 (en) | Nozzle and dust removing apparatus | |
JPWO2017204333A1 (ja) | 異物除去装置 | |
KR20210093500A (ko) | 다중 흡입구를 갖는 드라이 타입 초음파 클리너 | |
JP2003001145A (ja) | スリットノズル | |
JP4932897B2 (ja) | ノズル、ドライクリーナ及びドライクリーナシステム | |
JP2005268270A (ja) | 液晶ガラス基板用載置台およびこれを用いた液晶ガラス基板のクリーニング装置 | |
KR101410038B1 (ko) | 유리기판 절단장치 | |
WO2010024352A1 (ja) | シート状部材清掃装置およびシート状部材製造方法 | |
JP2001123282A (ja) | エッチング装置 | |
JP2006278367A (ja) | 塵埃除去装置および塵埃除去方法 | |
JP2007044633A (ja) | 基板洗浄ノズルおよび基板洗浄装置 | |
WO2020073192A1 (zh) | 超声波清洗机 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090817 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100601 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101014 |