JP2009028862A - 非接触搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークＷの変形を抑制して、ワークＷの一部とハンド本体７の保持面９との干渉を回避すること。
【解決手段】ハンド本体７の内部に作動流体を収容可能かつ作動流体を供給する作動流体供給源１３に接続した供給チャンバー１１が形成され、ハンド本体７の保持面９に複数のベルヌーイチャック１７が設けられ、各ベルヌーイチャック１７に作動流体を噴出可能な噴出凹部１９がそれぞれ形成され、各ベルヌーイチャック１７が噴出凹部１９の内壁面に沿うように作動流体を導入可能かつ供給チャンバー１１に連通した導入孔２１をそれぞれ有したこと。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えばウェハ、ガラス基板等の板状のワークを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送する非接触搬送装置に関する。

近年、非接触搬送装置について種々の開発がなされており、非接触搬送装置の先行技術として特許文献１及び特許文献２に示すものがあり、以下、先行技術に係る非接触搬送装置の構成等について簡単に説明する。

先行技術に係る非接触搬送装置は、搬送方向へ移動可能な移動部材としての搬送アームと、この搬送アームの先端部に設けられかつ例えばウェハ、ガラス基板等の板状のワークを上方向から非接触で保持する保持ハンドとを具備している。そして、保持ハンドの具体的な構成は、次のようになる。

搬送アームの先端部には、ハンド本体が設けられており、このハンド本体は、一側に、ワークを保持可能な保持面を有している。また、ハンド本体の保持面には、ベルヌーイ効果を利用してハンド本体の保持面とワークの表面と間に負圧を発生させる複数のベルヌーイチャックが設けられている。更に、各ベルヌーイチャックは、作動流体としてのエアを噴出可能な噴出孔をそれぞれ有してあって、各ベルヌーイチャックの噴出孔は、エアを供給するエア供給源にそれぞれ接続してある。

従って、保持ハンドを上方向からワークに対して相対的に接近させる。そして、エア供給源から複数のベルヌーイチャックの噴出孔へエアを供給することにより、複数のベルヌーイチャックからエアを噴出させて、ハンド本体の保持面とワークの表面との間において高速のエアを流通させる。これによって、複数のベルヌーイチャックによりハンド本体の保持面とワークの表面と間に負圧を発生させて、保持ハンドによりワークを上方向から非接触で保持することができる。

保持ハンドによりワークを上方向から非接触で保持した後に、搬送アームを搬送方向へ移動させる。

以上により、ワークを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送することができる。
特開２００４−２９６７７７号公報 特開２００６−２６１３７７号公報

ところで、近年、ウェハ、ガラス基板等の板状のワークは薄型化の傾向が強く、それに伴い、ワークの剛性が低下しまうため、極めて薄いワークを非接触で保持した状態で搬送方向へ搬送する場合には、ベルヌーイチャックの個数を増やして、保持ハンドにおける負圧の発生箇所を増やす必要がある。

一方、ベルヌーイチャックの個数を増やすと、エア供給源から各ベルヌーイチャックの噴出孔までの作動流体の圧力損失の相違によって、複数のベルヌーイチャックの噴出孔から噴出されるエアの流量にバラツキが生じ易くなる。そのため、複数のベルヌーイチャックの負圧力、換言すれば、複数のベルヌーイチャックの保持力が不均一になって、保持ハンドにより極めて薄いワークを上方向から非接触で保持する場合に、ワークに変形が生じて、ワークの一部がハンド本体の保持面に干渉してしまうという問題がある。

そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の非接触搬送装置を提供することを目的とする。

本発明の第１の特徴は、板状のワークを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送する非接触搬送装置において、搬送方向へ移動可能な移動部材と、該移動部材に設けられかつワークを上方向から非接触で保持する保持ハンドとを具備し、前記保持ハンドは、前記移動部材に設けられ、一側にワークを保持可能な保持面を有し、内部に作動流体を収容可能かつ作動流体を供給する作動流体供給源に接続した供給チャンバーが形成されたハンド本体と、前記ハンド本体の前記保持面に設けられ、作動流体を噴出可能な噴出凹部がそれぞれ形成され、前記噴出凹部の内壁面に沿うように作動流体を導入可能かつ前記供給チャンバーに連通した導入孔をそれぞれ有し、ベルヌーイ効果を利用して前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面と間に負圧を発生させる複数のベルヌーイチャックとを備えたことを要旨とする。

なお、本願の特許請求の範囲及び明細書中において「設けられ」とは、中間部材を介して間接的に設けられたこと、及び形成されたことを含む意である。

第１の特徴によると、前記保持ハンドを上方向からワークに対して相対的に接近させる。そして、前記作動流体供給源から前記供給チャンバーへ作動流体を供給することにより、複数の前記ベルヌーイチャックの前記噴出凹部から作動流体を噴出させて、前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面との間において高速の作動流体を流通させる。これによって、複数の前記ベルヌーイチャックにより前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面と間に負圧を発生させて、前記保持ハンドによりワークを上方向から非接触で保持することができる。

ここで、各ベルヌーイチャックの前記導入孔によって前記噴出凹部の内壁面に沿うように作動流体を導入するため、各ベルヌーイチャックの前記噴出凹部内において作動流体の旋回流をそれぞれ発生させることができる。

前記保持ハンドによりワークを上方向から非接触で保持した後に、前記移動部材を搬送方向へ移動させる。

以上により、ワークを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送することができる（前記非接触搬送装置によるワークの搬送作用）。

前述の前記非接触搬送装置によるワークの搬送作用の他に、前記供給チャンバーが前記作動流体供給源に接続してあって、各ベルヌーイチャックの前記導入孔が前記供給チャンバーにそれぞれ連通してあるため、前記ベルヌーイチャックの個数が増えても、前記作動流体供給源から各ベルヌーイチャックの前記噴出凹部までの作動流体の圧力損失にバラツキがなくなる。

本発明の第２の特徴は、板状のワークを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送する非接触搬送装置において、搬送方向へ移動可能な移動部材と、該移動部材に設けられかつワークを上方向から非接触で保持する保持ハンドとを具備し、前記保持ハンドは、前記移動部材に設けられ、一側にワークを保持可能な保持面を有し、内部に作動流体を収容可能かつ作動流体を供給する作動流体供給源に接続した供給チャンバーが形成されたハンド本体と、前記ハンド本体の前記保持面の中央側に設けられ、作動流体を吸込み可能かつ作動流体を吸引する作動流体吸引源に接続した吸込孔を有した吸引チャックと、前記ハンド本体の前記保持面の周辺側に設けられ、作動流体を噴出可能かつ前記供給チャンバーに連通した噴出孔をそれぞれ有し、ベルヌーイ効果を利用して前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面と間に負圧を発生させる複数のベルヌーイチャックとを備えたことを要旨とする。

第２の特徴によると、前記保持ハンドを上方向からワークに対して相対的に接近させる。そして、前記作動流体供給源から前記供給チャンバーへ作動流体を供給することにより、複数の前記ベルヌーイチャックの前記噴出孔から作動流体を噴出させて、前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面との間において高速の作動流体を流通させる。また、前記吸引チャックの前記吸込孔から作動流体を吸込んで、前記作動流体吸引源へ吸引する。これによって、前記ハンド本体の前記保持面の中央側における作動流体のよどみを抑制しつつ、複数の前記ベルヌーイチャックにより前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面と間に負圧を発生させて、前記保持ハンドによりワークを上方向から非接触で保持することができる。

前記保持ハンドによりワークを上方向から非接触で保持した後に、前記移動部材を搬送方向へ移動させる。

以上により、ワークを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送することができる（前記非接触搬送装置によるワークの搬送作用）。

前述の前記非接触搬送装置によるワークの搬送作用の他に、前記供給チャンバーが前記作動流体供給源に接続してあって、各ベルヌーイチャックの前記噴出孔が前記供給チャンバーにそれぞれ連通してあるため、前記ベルヌーイチャックの個数が増えても、前記作動流体供給源から各ベルヌーイチャックの前記噴出孔までの作動流体の圧力損失にバラツキがなくなる。

本発明の第３の特徴は、板状のワークを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送する非接触搬送装置において、搬送方向へ移動可能な移動部材と、該移動部材に設けられかつワークを上方向から非接触で保持する保持ハンドとを具備し、前記保持ハンドは、前記移動部材に設けられたハンド本体と、前記ハンド本体に着脱可能に設けられ、一側にワークを保持可能な保持面を有し、内部に作動流体を収容可能かつ作動流体を供給する作動流体供給源に接続した供給チャンバーが形成されたチャンバーケースと、前記チャンバーケースの前記保持面に設けられ、作動流体を噴出可能かつ前記供給チャンバーに連通した噴出孔をそれぞれ有し、ベルヌーイ効果を利用して前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面と間に負圧を発生させる複数のベルヌーイチャックとを備えたことを要旨とする。

第３の特徴によると、前記保持ハンドを上方向からワークに対して相対的に接近させる。そして、前記作動流体供給源から前記供給チャンバーへ作動流体を供給することにより、複数の前記ベルヌーイチャックの前記噴出孔から作動流体を噴出させて、前記チャンバーケースの前記保持面とワークの表面との間において高速の作動流体を流通させる。これによって、複数の前記ベルヌーイチャックにより前記チャンバーケースの前記保持面のとワークの表面と間に負圧を発生させて、前記保持ハンドによりワークを上方向から非接触で保持することができる。

前記保持ハンドによりワークを上方向から非接触で保持した後に、搬送アームを搬送方向へ移動させる。

以上により、ワークを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送することができる（前記非接触搬送装置によるワークの搬送作用）。

前述の前記非接触搬送装置によるワークの搬送作用の他に、前記供給チャンバーが前記作動流体供給源に接続してあって、各ベルヌーイチャックの前記噴出孔が前記供給チャンバーにそれぞれ連通してあるため、前記ベルヌーイチャックの個数が増えても、前記作動流体供給源から各ベルヌーイチャックの前記噴出孔までの作動流体の圧力損失にバラツキがなくなる。

また、前記チャンバーケースが前記ハンド本体に着脱可能に設けられているため、前記チャンバーケースを前記ハンド本体から離脱した状態で、前記チャンバーケース又は前記ベルヌーイチャックのメンテナンスを行うことができる。

本発明の特徴によれば、前記ベルヌーイチャックの個数が増えても、前記作動流体供給源から各ベルヌーイチャックの前記噴出凹部（又は前記噴出孔）までの作動流体の圧力損失にバラツキがなくなるため、複数の前記ベルヌーイチャックの負圧力、換言すれば、複数の前記ベルヌーイチャックの保持力が略均一になって、前記保持ハンドにより極めて薄いワークを上方向から非接触で保持する場合においても、ワークの変形を抑制して、ワークの一部と前記ハンド本体（又は前記チャンバーケース）の保持面との干渉を回避することができる。

また、本発明の第１の特徴によれば、各ベルヌーイチャックの前記噴出凹部内において作動流体の旋回流をそれぞれ発生させることができるため、各ベルヌーイチャックの保持力が高くなって、前記保持ハンドによるワークの保持状態をより安定させることができる。

更に、本発明の第２の特徴によれば、 前記ハンド本体の前記保持面の中央側における作動流体のよどみを抑制しつつ、前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面と間に負圧を発生させることができるため、前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面と間において負圧発生領域を十分に確保して、前記保持ハンドによるワークの保持状態をより安定させることができる。

また、本発明の第３の特徴によれば、前記チャンバーケースを前記ハンド本体から離脱した状態で、前記チャンバーケース又は前記ベルヌーイチャックのメンテナンスを行うことができるため、前記チャンバーケース等のメンテナンスの作業性が向上する。

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について図１から図３を参照して説明する。

ここで、図１は、第１実施形態に係る非接触搬送装置の断面図、図２は、第１実施形態に係る非接触搬送装置を保持ハンドの保持面からみた図、図３（ａ）は、図１における矢視部IIIAを示す図、図３（ｂ）は、図３（ａ）におけるIIIB−IIIB線に沿った図である。

図１、図２、及び図３（ａ）（ｂ）に示すように、第１実施形態に係る非接触搬送装置１は、例えばウェハ、ガラス基板等の円形板状のワークＷを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送する装置であって、任意方向（搬送方向を含む）へ移動可能な移動部材としての多関節の搬送アーム３と、この搬送アーム３の先端部に設けられかつワークＷを上方向から非接触で保持する保持ハンド５とを具備している。なお、非接触搬送装置１は任意方向へ移動可能な多関節の搬送アーム３の代わりに、搬送方向へ移動可能な別の移動部材を備えるようにしても構わない。

そして、保持ハンド５の具体的な構成は、次のようになる。

搬送アーム３の先端部には、ハンド本体７が設けられており、このハンド本体７は、一側に、ワークＷを保持可能な円形の保持面９を有している。また、ハンド本体７の内部には、作動流体としてのエアを収容可能な供給チャンバー１１が形成されており、この供給チャンバー１１は、エアを供給するエアコンプレッサ又はブロワ等のエア供給源１３にエア配管１５を介して接続してある。

ハンド本体７の保持面９には、ベルヌーイ効果を利用してハンド本体７の保持面９とワークＷの表面と間に負圧を発生させる複数のベルヌーイチャック１７が径の異なる複数の同心円上に間隔を置いて設けられている。また、各ベルヌーイチャック１７の一側面には、エアを噴出可能な断面円形の噴出凹部（噴出孔）１９がそれぞれ形成されており、各ベルヌーイチャック１７は、噴出凹部１９の内壁面に沿うようにエアを導入可能する一対の導入孔２１をそれぞれ有してあって、各ベルヌーイチャック１７の一対の導入孔２１は、供給チャンバー１１にそれぞれ連通してある。

続いて、第１実施形態の作用及び効果について説明する。

搬送アーム３を適宜方向（ワークＷに接近する方向）へ移動させて、保持ハンド５をワークＷの上方に位置させる。次に、搬送アーム３を下方向へ移動させて、保持ハンド５を上方向からワークＷに対して接近させる。そして、エア供給源１３から供給チャンバー１１へエアを供給することにより、複数のベルヌーイチャック１７の噴出凹部１９からエアを噴出させて、ハンド本体７の保持面９とワークＷの表面との間において高速のエアを流通させる。これによって、複数のベルヌーイチャック１７によりハンド本体７の保持面９とワークＷの表面と間に負圧を発生させて、保持ハンド５によりワークＷを上方向から非接触で保持することができる。ここで、各ベルヌーイチャック１７の一対の導入孔２１によって噴出凹部１９の内壁面に沿うようにエアを導入するため、各ベルヌーイチャック１７の噴出凹部１９内においてエアの旋回流をそれぞれ発生させることができる。なお、ワークＷを非接触で保持した状態におけるハンド本体７の保持面９とワークＷの表面との間は、ワークに作用する圧力とワークの重量がつりあうようなクリアランスになっている。

保持ハンド５によりワークＷを上方向から非接触で保持した後に、搬送アーム３を上方向へ移動させて、ワークＷを所定の搬送高さ位置まで持上げる。そして、搬送アーム３を搬送方向へ移動させる。

以上により、ワークＷを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送することができる（非接触搬送装置によるワークの搬送作用）。

前述の非接触搬送装置によるワークＷの搬送作用の他に、供給チャンバー１１がエア供給源１３に接続してあって、各ベルヌーイチャック１７の一対の導入孔２１が供給チャンバー１１にそれぞれ連通してあるため、ベルヌーイチャック１７の個数が増えても、エア供給源１３から各ベルヌーイチャック１７の噴出凹部１９までのエアの圧力損失にバラツキがなくなる。

従って、第１実施形態によれば、ベルヌーイチャック１７の個数が増えても、エア供給源１３から各ベルヌーイチャック１７の噴出凹部１９までのエアの圧力損失にバラツキがなくなるため、複数のベルヌーイチャック１７の負圧力、換言すれば、複数のベルヌーイチャック１７の保持力が略均一になって、保持ハンド５により極めて薄いワークＷを上方向から非接触で保持する場合においても、ワークＷの変形を抑制して、ワークＷの一部とハンド本体７の保持面９との干渉を回避することができる。

また、各ベルヌーイチャック１７の噴出凹部１９内においてエアの旋回流をそれぞれ発生させることができるため、各ベルヌーイチャック１７の保持力が高くなって、保持ハンド５によるワークＷの保持状態をより安定させることができる。

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について図４及び図５を参照して説明する。

ここで、図４は、第２実施形態に係る非接触搬送装置の断面図、図５は、第２実施形態に係る非接触搬送装置を保持ハンドの保持面からみた図である。

図４及び図５に示すように、第２実施形態に係る非接触搬送装置２３は、第１実施形態に係る非接触搬送装置１と同様に、円形板状のワークＷを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送する装置であって、任意方向へ移動可能な移動部材としての多関節の搬送アーム２５と、この搬送アーム２５の先端部に設けられかつワークＷを上方向から非接触で保持する保持ハンド２７とを具備している。

そして、保持ハンド２７の具体的な構成は、次のようになる。

搬送アーム２５の先端部には、ハンド本体２９が設けられており、このハンド本体２９は、一側に、ワークＷを保持可能な円形の保持面３１を有している。また、ハンド本体２９の中央側内部には、作動流体としてのエアを収容可能な吸引チャンバー３３が形成されており、この吸引チャンバー３３は、エアを吸引する真空ポンプ又はエジェクタ等のエア吸引源３５にエア配管３７を介して接続してある。更に、ハンド本体２９の周辺側内部には、エアを収容可能な環状の供給チャンバー３９が吸引チャンバー３３を囲むように形成されており、この供給チャンバー３９は、エアを供給するエアコンプレッサ又はブロワ等のエア供給源４１にエア配管４３を介して接続してある。

ハンド本体２９の保持面３１の中央側には、エアを吸込み可能な複数の吸引チャック４５が円周上に間隔を置いて設けられている。また。各吸引チャック４５は、エアを吸込み可能な吸込孔４７をそれぞれ有してあって、各吸引チャック４５の吸込孔４７は、吸引チャンバー３３にそれぞれ連通してあり、換言すれば、各吸引チャック４５の吸込孔４７は、エア吸引源３５に吸引チャンバー３３を介してそれぞれ接続してある。

ハンド本体２９の保持面３１の周辺側には、ベルヌーイ効果を利用してハンド本体２９の保持面３１とワークの表面と間に負圧を発生させる複数のベルヌーイチャック４９が円周上に間隔を置いて設けられている。また、各ベルヌーイチャック４９は、エアを噴出可能な噴出孔５１をそれぞれ有してあって、各ベルヌーイチャック４９の噴出孔５１は、供給チャンバー３９にそれぞれ連通してある。なお、ハンド本体２９の保持面３１に複数のベルヌーイチャック４９が設けられる代わりに、第１実施形態に係る非接触搬送装置１におけるベルヌーイチャック１７と同様の構成の複数のベルヌーイチャックが設けられるようにしても構わない。

続いて、第２実施形態の作用及び効果について説明する。

搬送アーム２５を適宜方向へ移動させて、保持ハンド２７をワークＷの上方に位置させる。次に、搬送アーム２５を下方向へ移動させて、保持ハンド２７を上方向からワークＷに対して接近させる。そして、エア供給源４１から供給チャンバー３９へエアを供給することにより、複数のベルヌーイチャック４９の噴出孔５１からエアを噴出させて、ハンド本体２９の保持面３１とワークＷの表面との間において高速のエアを流通させる。また、複数の吸引チャック４５の吸込孔４７からエアを吸込んで、エア吸引源３５へ吸引する。これによって、ハンド本体２９の保持面３１の中央側におけるエアのよどみを抑制しつつ、複数のベルヌーイチャック４９によりハンド本体２９の保持面３１とワークＷの表面と間に負圧を発生させて、保持ハンド２７によりワークＷを上方向から非接触で保持することができる。なお、ワークＷを非接触で保持した状態におけるハンド本体２９の保持面３１とワークＷの表面との間は、ワークＷに作用する圧力とワークＷの重量がつりあうようなクリアランスになっている。

保持ハンド２７によりワークＷを上方向から非接触で保持した後に、搬送アーム２５を上方向へ移動させて、ワークＷを所定の搬送高さ位置まで持上げる。そして、搬送アーム２５を搬送方向へ移動させる。

以上により、ワークＷを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送することができる（非接触搬送装置によるワークの搬送作用）。

前述の非接触搬送装置によるワークＷの搬送作用の他に、供給チャンバー３９がエア供給源４１に接続してあって、各ベルヌーイチャック４９の噴出孔５１が供給チャンバー３９にそれぞれ連通してあるため、ベルヌーイチャック４９の個数が増えても、エア供給源４１から各ベルヌーイチャック４９の噴出孔５１までのエアの圧力損失にバラツキがなくなる。

従って、第２実施形態によれば、ベルヌーイチャック４９の個数が増えても、エア供給源４１から各ベルヌーイチャック４９の噴出孔５１までのエアの圧力損失にバラツキがなくなるため、複数のベルヌーイチャック４９の負圧力、換言すれば、複数のベルヌーイチャック４９の保持力が略均一になって、保持ハンド２７により極めて薄いワークＷを上方向から非接触で保持する場合においても、ワークＷの変形を抑制して、ワークＷの一部とハンド本体２９の保持面３１との干渉を回避することができる。

また、ハンド本体２９の保持面３１の中央側におけるエアのよどみを抑制しつつ、ハンド本体２９の保持面３１とワークＷの表面と間に負圧を発生させることができるため、ハンド本体２９の保持面３１とワークＷの表面と間において負圧発生領域を十分に確保して、保持ハンド２７によるワークＷの保持状態をより安定させることができる。

（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について図６を参照して説明する。

ここで、図６は、第３実施形態に係る非接触搬送装置の断面図である。

図６に示すように、第３実施形態に係る非接触搬送装置５３は、第１及び第２実施形態に係る非接触搬送装置１，２３と同様に、円形板状のワークＷを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送する装置であって、任意方向へ移動可能な移動部材としての多関節の搬送アーム５５と、この搬送アーム５５の先端部に設けられかつワークＷを上方向から非接触で保持する保持ハンド５７とを具備している。

そして、保持ハンド５７の具体的な構成は、次のようになる。

搬送アーム５５の先端部には、ハンド本体５９が設けられており、このハンド本体５９には、チャンバーケース６１が止めネジ（図示省略）等を介して着脱可能に設けられており、このチャンバーケース６１は、一側に、ワークＷを保持可能な円形の保持面６３を有している。また、チャンバーケース６１の内部には、作動流体としてのエアを収容可能な供給チャンバー６５が形成されており、この供給チャンバー６５は、エアを供給するエアコンプレッサ又はブロワ等のエア供給源６７にエア配管６９を介して接続してある。

チャンバーケース６１の保持面６３には、ベルヌーイ効果を利用してチャンバーケース６１の保持面６３とワークＷの表面と間に負圧を発生させる複数のベルヌーイチャック７１が径の異なる複数の同心円上に間隔を置いて設けられている。また、各ベルヌーイチャック７１は、エアを噴出可能な噴出孔７３をそれぞれ有してあって、各ベルヌーイチャック７１の噴出孔７３は、供給チャンバー６５にそれぞれ連通してある。なお、チャンバーケース６１の保持面６３に複数のベルヌーイチャック７１が設けられる代わりに、第１実施形態に係る非接触搬送装置１におけるベルヌーイチャック１７と同様の構成の複数のベルヌーイチャックが設けられるようにしても構わない。

続いて、第３実施形態の作用及び効果について説明する。

搬送アーム５５を適宜方向へ移動させて、保持ハンド５７をワークＷの上方に位置させる。次に、搬送アーム５５を下方向へ移動させて、保持ハンド５７を上方向からワークＷに対して接近させる。そして、エア供給源６７から供給チャンバー６５へエアを供給することにより、複数のベルヌーイチャック７１の噴出孔７３からエアを噴出させて、チャンバーケース６１の保持面６３とワークＷの表面との間において高速のエアを流通させる。これによって、複数のベルヌーイチャック７１によりチャンバーケース６１の保持面６３とワークＷの表面と間に負圧を発生させて、保持ハンド５７によりワークＷを上方向から非接触で保持することができる。なお、ワークＷを非接触で保持した状態におけるチャンバーケース６１の保持面６３とワークＷの表面との間は、ワークＷに作用する圧力とワークＷの重量がつりあうようなクリアランスになっている。

保持ハンド５７によりワークＷを上方向から非接触で保持した後に、搬送アーム５５を上方向へ移動させて、ワークＷを所定の搬送高さ位置まで持上げる。そして、搬送アーム５５を搬送方向へ移動させる。

以上により、ワークＷを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送することができる（非接触搬送装置５３によるワークＷの搬送作用）。

前述の非接触搬送装置５３によるワークＷの搬送作用の他に、供給チャンバー６５がエア供給源６７に接続してあって、各ベルヌーイチャック７１の噴出孔７３が供給チャンバー６５にそれぞれ連通してあるため、ベルヌーイチャック７１の個数が増えても、エア供給源６７から各ベルヌーイチャック７１の噴出孔７３までのエアの圧力損失にバラツキがなくなる。

また、チャンバーケース６１がハンド本体５９に着脱可能に設けられているため、チャンバーケース６１をハンド本体５９から離脱した状態で、チャンバーケース６１又はベルヌーイチャック７１のメンテナンスを行うことができる。

従って、第３実施形態によれば、ベルヌーイチャック７１の個数が増えても、エア供給源６７から各ベルヌーイチャック７１の噴出孔７３までのエアの圧力損失にバラツキがなくなるため、複数のベルヌーイチャック７１の負圧力、換言すれば、複数のベルヌーイチャック７１の保持力が略均一になって、保持ハンド５７により極めて薄いワークＷを上方向から非接触で保持する場合においても、ワークＷの変形を抑制して、ワークＷの一部とチャンバーケース６１の保持面６３との干渉を回避することができる。

また、チャンバーケース６１をハンド本体５９から離脱した状態で、チャンバーケース６１又はベルヌーイチャック７１のメンテナンスを行うことができるため、チャンバーケース６１等のメンテナンスの作業性が向上する。

なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、例えば作動流体としてエアの代わりに水又は各種処理液等を用いる等、その他、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。

第１実施形態に係る非接触搬送装置の断面図である。 第１実施形態に係る非接触搬送装置を保持ハンドの保持面からみた図である。 図３（ａ）は、図１における矢視部IIIAを示す図、図３（ｂ）は、図３（ａ）におけるIIIB−IIIB線に沿った図である。 第２実施形態に係る非接触搬送装置の断面図である。 第２実施形態に係る非接触搬送装置を保持ハンドの保持面からみた図である。 第３実施形態に係る非接触搬送装置の断面図である。

符号の説明

１ 非接触搬送装置
３ 搬送アーム
５ 保持ハンド
７ ハンド本体
９ 保持面
１１ 供給チャンバー
１３ エア供給源
１７ ベルヌーイチャック
１９ 噴出凹部
２１ 導入孔
２３ 非接触搬送装置
２５ 搬送アーム
２７ 保持ハンド
２９ ハンド本体
３１ 保持面
３３ 吸引チャンバー
３５ エア吸引源
３９ 供給チャンバー
４１ エア供給源
４５ 吸引チャック
４７ 吸込孔
４９ ベルヌーイチャック
５１ 噴出孔
５３ 非接触搬送装置
５５ 搬送アーム
５７ 保持ハンド
５９ ハンド本体
６１ チャンバーケース
６３ 保持面
６５ 供給チャンバー
６７ エア供給源
７１ ベルヌーイチャック
７３ 噴出孔

Claims (4)

1. 板状のワークを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送する非接触搬送装置において、
   搬送方向へ移動可能な移動部材と、該移動部材に設けられかつワークを上方向から非接触で保持する保持ハンドとを具備し、
   前記保持ハンドは、
   前記移動部材に設けられ、一側にワークを保持可能な保持面を有し、内部に作動流体を収容可能かつ作動流体を供給する作動流体供給源に接続した供給チャンバーが形成されたハンド本体と、
   前記ハンド本体の前記保持面に設けられ、作動流体を噴出可能な噴出凹部がそれぞれ形成され、前記噴出凹部の内壁面に沿うように作動流体を導入可能かつ前記供給チャンバーに連通した導入孔をそれぞれ有し、ベルヌーイ効果を利用して前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面と間に負圧を発生させる複数のベルヌーイチャックとを備えたことを特徴とする非接触搬送装置。
2. 板状のワークを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送する非接触搬送装置において、
   搬送方向へ移動可能な移動部材と、該移動部材に設けられかつワークを上方向から非接触で保持する保持ハンドとを具備し、
   前記保持ハンドは、
   前記移動部材に設けられ、一側にワークを保持可能な保持面を有し、内部に作動流体を収容可能かつ作動流体を供給する作動流体供給源に接続した供給チャンバーが形成されたハンド本体と、
   前記ハンド本体の前記保持面の中央側に設けられ、作動流体を吸込み可能かつ作動流体を吸引する作動流体吸引源に接続した吸込孔を有した吸引チャックと、
   前記ハンド本体の前記保持面の周辺側に設けられ、作動流体を噴出可能かつ前記供給チャンバーに連通した噴出孔をそれぞれ有し、ベルヌーイ効果を利用して前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面と間に負圧を発生させる複数のベルヌーイチャックとを備えたことを特徴とする非接触搬送装置。
3. 前記保持ハンドの内部に作動流体を収容可能かつ前記作動流体吸引源に接続した吸引チャンバーが形成され、前記吸引チャックの前記吸込孔が前記吸引チャンバーに連通したことを特徴とする請求項２に記載の非接触搬送装置。
4. 板状のワークを非接触で保持した状態の下で搬送方向へ搬送する非接触搬送装置において、
   搬送方向へ移動可能な移動部材と、該移動部材に設けられかつワークを上方向から非接触で保持する保持ハンドとを具備し、
   前記保持ハンドは、
   前記移動部材に設けられたハンド本体と、
   前記ハンド本体に着脱可能に設けられ、一側にワークを保持可能な保持面を有し、内部に作動流体を収容可能かつ作動流体を供給する作動流体供給源に接続した供給チャンバーが形成されたチャンバーケースと、
   前記チャンバーケースの前記保持面に設けられ、作動流体を噴出可能かつ前記供給チャンバーに連通した噴出孔をそれぞれ有し、ベルヌーイ効果を利用して前記ハンド本体の前記保持面とワークの表面と間に負圧を発生させる複数のベルヌーイチャックとを備えたことを特徴とする非接触搬送装置。

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