JPWO2015083609A1 - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

板状の部材を搬送する搬送装置（１０）は、それぞれ液体を吐出することにより前記部材との間に負圧を発生させて前記部材を保持する複数の液体吐出装置を備える。各液体吐出装置は、柱状の本体と、前記本体に形成され、前記部材に臨む平坦状の端面と、前記端面に形成される凹部と、前記凹部の周縁部において当該凹部内に液体を吐出する１以上の液体通路とを備える。前記１以上の液体通路は、前記凹部内から流出し前記端面に沿って流れる液体の方向と、前記部材の重心から前記部材において前記液体吐出装置に対向する位置に向かう方向とがなす角が９０度以下となるように配置される。

Description

本発明は、搬送装置に関する。

近年、半導体ウェハやガラス基板等の板状の部材を非接触で搬送するための装置が開発されている。例えば、特許文献１では、ベルヌーイの定理を用いて板状の部材を非接触で搬送する装置が提案されている。この装置では、装置下面に開口する円筒室内に流体を供給して旋回流を発生させ、当該旋回流の中心部の負圧によって板状部材を吸引する一方、当該円等室から流出する流体によって当該装置と板状部材との間に一定の距離を保つことで、板状の部材の非接触での搬送を可能としている。特許文献１では、流体として液体を用いることも提案されている。

特開２００５−５１２６０号公報

本発明は、液体を吐出することにより被搬送物との間に負圧を発生させて当該被搬送物を保持する搬送装置により板状の部材を搬送する際に、当該板状の部材が、その上に溜まる液体の重みにより落下することを防止することを目的とする。

本発明は、板状の部材を搬送する搬送装置であって、板状の基体と、前記基体に設けられる複数の液体吐出装置であって、それぞれ液体を吐出することにより前記部材との間に負圧を発生させて前記部材を保持する複数の液体吐出装置とを備え、前記複数の液体吐出装置はそれぞれ、柱状の本体と、前記本体に形成され、前記部材に臨む平坦状の端面と、前記端面に形成される凹部と、前記凹部の周縁部において当該凹部内に液体を吐出する１以上の液体通路とを備え、前記１以上の液体通路は、前記凹部内から流出し前記端面に沿って流れる液体の方向と、前記部材の重心から、前記部材において前記液体吐出装置に対向する位置に向かう方向とがなす角が９０度以下となるように配置され、前記複数の液体吐出装置はそれぞれ、前記凹部の周縁部において当該凹部内に液体を吐出する構造として前記１以上の液体通路のみを備え、前記搬送装置は、前記部材との間に負圧を発生させるための機構として前記複数の液体吐出装置のみを備えることを特徴とする搬送装置を提供する。

上記の搬送装置において、前記複数の液体吐出装置のうち２以上の液体吐出装置は、前記基体において同一の円の周上に配置され、前記複数の液体吐出装置のうち１以上の液体吐出装置は、前記基体において前記円の中央部に配置されてもよい。

本発明によれば、液体を吐出することにより被搬送物との間に負圧を発生させて当該被搬送物を保持する搬送装置により板状の部材を搬送する際に、当該板状の部材が、その上に溜まる液体の重みにより落下することを防止することを防止することができる。

搬送装置１０の構成の一例を示す図である。 図１のＡ−Ａ線断面図である。 図２のＢ−Ｂ線断面図である。 旋回流形成体２の一例を示す斜視図である。 図４のＣ−Ｃ線断面図である。 図４のＤ−Ｄ線断面図である。 搬送装置１０に設けられる各旋回流形成体２から流出する液体の方向の一例を示す図である。 図７のＲ部の拡大図である。 搬送装置２０の構成の一例を示す図である。 図９のＥ−Ｅ線断面図である。 搬送装置１０Ａの底面の一例を示す図である。 図１１のＦ−Ｆ線断面図である。 放射流形成体６の一例を示す斜視図である。 放射流形成体６の底面図である。 図１３のＧ−Ｇ線断面図である。 旋回流形成体２Ａの一例を示す底面図である。 図１６のＨ−Ｈ線断面図である。 搬送装置１０Ｂに設けられる各旋回流形成体２Ｂから流出する液体の方向の一例を示す図である。

１…基体、２…旋回流形成体、３…摩擦部材、４…孔部、５…基体、６…放射流形成体、１０…搬送装置、１１…供給口、１２…連通路、１３…環状通路、２０…搬送装置、２１…本体、２２…凹部、２３…端面、２４…噴出口、２５…傾斜面、２６…導入口、２７…環状通路、２８…連通路、２９…導入路、３０…凸部、５１…供給口、５２…Ｃ形通路、５３…連通路、５４…把持部、５５…腕部、６１…本体、６２…環状凹部、６３…端面、６４…対向面、６５…傾斜面、６６…ノズル孔、６７…導入口、６８…導入路、６９…環状通路、７０…連通路

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
１．実施形態
図１は、本発明の一実施形態に係る搬送装置１０の構成の一例を示す図である。具体的には、図１（ａ）は、搬送装置１０の底面図であり、図１（ｂ）は、搬送装置１０の側面図である。この搬送装置１０は、半導体ウェハやガラス基板等の板状の部材を保持して搬送するための装置である。搬送装置１０は、図１に示されるように、基体１と、１２個の旋回流形成体２と、１２個の摩擦部材３と、６個の孔部４とを備えている。

基体１は、円板形状を有する。基体１の材質は、例えばアルミニウム合金である。１２個の旋回流形成体２は、それぞれ円柱形状を有し、基体１の一の面（具体的には、被搬送物たる板状部材Ｗと対向する面）（以下、「底面」という。）に設けられる。１２個の旋回流形成体２は、当該底面において、同一の円の周上に配置される。１２個の旋回流形成体２は、基体１の外周に沿って等間隔に配置される。各旋回流形成体２は、純水や炭酸水等の液体を吐出することにより、被搬送物たる板状部材Ｗとの間に負圧を発生させて、当該板状部材Ｗを保持する装置である。各旋回流形成体２の材質は、例えばアルミニウム合金である。各旋回流形成体２は、本発明に係る「液体吐出装置」の一例である。搬送装置１０は、板状部材Ｗとの間に負圧を発生させるための機構として、１２個の旋回流形成体２のみを備える。

１２個の摩擦部材３は、それぞれ円柱形状を有し、基体１の底面に設けられる。１２個の摩擦部材３は、当該底面において、旋回流形成体２が配置されるのと同一の円の周上に等間隔に配置される。２個の旋回流形成体２の間に１個の摩擦部材３が配置される。各摩擦部材３は、被搬送物たる板状部材Ｗの表面と接触して、当該表面との間に生じる摩擦力により板状部材Ｗの移動を防止する部材である。各摩擦部材３の材質は、例えばフッ素ゴムである。６個の孔部４は、基体１に設けられた、略角丸長方形の貫通孔である。６個の孔部４は、基体１において同一の円の周上に等間隔に配置される。孔部４がその周上に配置される円は、旋回流形成体２がその周上に配置される円と同心である。孔部４は旋回流形成体２よりも基体１表面の中心寄りに配置される。

図２は、図１のＡ−Ａ線断面図である。図３は、図２のＢ−Ｂ線断面図である。図２及び図３に示されるように、基体１は、供給口１１と、３本の連通路１２と、環状通路１３とを備える。供給口１１は、円形状を有し、基体１の上面（すなわち、底面と反対の面）の中央に設けられる。供給口１１は、チューブを介して液体供給装置（図示せず。）に接続され、この供給口１１を介して基体１内に液体が供給される。３本の連通路１２は、基体１の内部に設けられ、基体１の底面又は上面の半径方向に直線状に延びる。３本の連通路１２は、隣り合う連通路１２同士が略６０度の角度をなすように同一平面上に配置される。各連通路１２は、その両端部において環状通路１３と連通する。各連通路１２は、供給口１１を介して基体１内に供給される液体を環状通路１３に供給する。環状通路１３は、基体１の内部に設けられ、旋回流形成体２が配置されるのと同一の円の周上に配置される。環状通路１３は、連通路１２から供給される液体を各旋回流形成体２に供給する。

図４は、旋回流形成体２の一例を示す斜視図である。図４に示されるように、旋回流形成体２は、本体２１と、凹部２２と、端面２３と、噴出口２４と、傾斜面２５とを備える。本体２１は、円柱形状を有する。端面２３は、本体２１の一の面（具体的には、被搬送物たる板状部材Ｗに臨む面）（以下、「底面」という。）に平坦状に形成される。凹部２２は、円柱形状を有し、端面２３に形成される。凹部２２は、本体２１と同軸に形成される。噴出口２４は、本体２１の、凹部２２に面する内周側面に形成される。この噴出口２４を介して、旋回流形成体２に供給された液体は凹部２２に吐出される。傾斜面２５は、凹部２２の開口部に形成される。

図５は、図４のＣ−Ｃ線断面図である。図６は、図４のＤ−Ｄ線断面図である。図５及び図６に示されるように、旋回流形成体２はさらに、導入口２６と、環状通路２７と、連通路２８と、導入路２９とを備える。導入口２６は、円形状を有し、本体２１の上面（すなわち、底面と反対の面）の中央に設けられる。導入口２６は、環状通路１３と連通し、この導入口２６を介して本体２１内に液体が供給される。環状通路２７は、円筒形状を有し、凹部２２を囲むように本体２１の内部に形成される。環状通路２７は、凹部２２と同軸に形成される。環状通路２７は、連通路２８から供給される液体を導入路２９に供給する。

連通路２８は、本体２１の内部に設けられ、本体２１の底面又は上面の半径方向に直線状に延びる。連通路２８は、その両端部において環状通路２７と連通する。連通路２８は、導入口２６を介して本体２１内に供給される液体を環状通路２７に供給する。導入路２９は、凹部２２の周縁部において噴出口２４を介して当該凹部２２内に液体を吐出する。具体的には、導入路２９は、端面２３に対して略平行、且つ凹部２２の外周に対して接線方向に延びるように形成され、その一端は環状通路２７と連通し、他端は噴出口２４と連通する。導入路２９は、本発明に係る「液体通路」の一例である。旋回流形成体２は、凹部２２の周縁部において当該凹部２２内に液体を吐出する構造として、導入路２９のみを備える。

以上説明した旋回流形成体２に対して導入口２６を介して液体が供給されると、その液体は、連通路２８、環状通路２７及び導入路２９を通って噴出口２４から凹部２２内に吐出される。凹部２２に吐出された液体は、凹部２２内において旋回流となって整流され、その後、凹部２２の開口部から流出する。その際、端面２３に対向して板状部材Ｗが存在する場合には、凹部２２内への外部流体（例えば、空気や水）の流入が制限され、旋回流の遠心力とエントレインメント効果により、旋回流中心部の単位体積あたりの流体分子の密度が小さくなり、負圧が発生する。この結果、板状部材Ｗは周囲の流体によって押圧されて端面２３側に引き寄せられる。その一方で、端面２３と板状部材Ｗとの距離が近づくにつれて、凹部２２内から流出する液体の量が制限され、噴出口２４から凹部２２内へ吐出される液体の速度が遅くなり、旋回流中心部の圧力が上昇する。この結果、板状部材Ｗは端面２３とは接触せず、板状部材Ｗと端面２３との間には一定の距離が保たれる。

図７は、搬送装置１０に設けられる各旋回流形成体２から流出する液体の方向の一例を示す図である。具体的には、各旋回流形成体２の凹部２２の開口部から流出する液体の方向の一例を示す図である。図８は、図７のＲ部の拡大図である。図７及び図８において、一点鎖線は導入路２９を示している。実線の矢印は、液体の流出方向を示している。二点鎖線の矢印は板状部材Ｗの重心Ｇから半径方向に延びる矢印であって、旋回流形成体２の中心軸（または、凹部２２内に形成される旋回流の中心軸）と交差する矢印である。図８において、板状部材Ｗは、その周上に１２個の旋回流形成体２が配置される円と同心となるように配置されている。

図７及び図８に示されるように、旋回流形成体２の導入路２９は、凹部２２内から流出し端面２３に沿って流れる液体の方向と、板状部材Ｗの重心Ｇから、当該部材において旋回流形成体２に対向する位置に向かう方向（具体的には、板状部材Ｗの重心Ｇを通過し、旋回流形成体２の中心軸と交差する方向）とがなす角θ（ただし、小さい方の角）が略４５度となるように配置される。換言すると、旋回流形成体２の導入路２９は、凹部２２内から流出し端面２３に沿って流れる液体の方向と、その周上に１２個の旋回流形成体２が配置される円の中央部から、当該導入路２９を備える旋回流形成体２に向かう方向（具体的には、その周上に１２個の旋回流形成体２が配置される円の中心を通過し、当該導入路２９を備える旋回流形成体２の中心軸と交差する方向）とがなす角（ただし、小さい方の角）が略４５度となるように配置される。

このように旋回流形成体２から吐出される液体は、板状部材Ｗの外縁に向かって流れるため、当該液体は板状部材Ｗの外縁の外に排出され易くなる。また、板状部材Ｗの外縁に向かう液体の流れが形成されることで、板状部材Ｗの中央部に吐出された流体も板状部材Ｗの外縁の外に排出され易くなる。その結果、板状部材Ｗ上に液体が溜まりにくくなる。よって、搬送装置１０によれば、当該装置により搬送される板状部材Ｗが、その上に溜まる液体の重みにより落下することが防止される。

なお、凹部２２内から流出し端面２３に沿って流れる液体の方向は、凹部２２の直径や深さ、そして流体の流速によって決定される。図７及び図８に示される例では、液体は、導入路２９に対して略４５度の角度で流出している。また、ここで、凹部２２内から流出し端面２３に沿って流れる液体の方向とは、例えば流体の合成ベクトルのことである。

２．変形例
上記の実施形態は、以下のように変形してもよい。また、以下の２以上の変形例は、互いに組み合わせてもよい。

２−１．変形例１
上記の実施形態において、搬送装置１０の形状は変更されてもよい。図９は、本変形例に係る搬送装置２０の構成の一例を示す図である。具体的には、図９（ａ）は、搬送装置２０の底面図であり、図９（ｂ）は、搬送装置２０の側面図である。搬送装置２０は、半導体ウェハやガラス基板等の板状の部材を保持して搬送するための装置である。搬送装置２０は、図９に示されるように、基体５と、１０個の旋回流形成体２と、１２個の摩擦部材３Ａとを備えている。

基体５は、二又のフォーク形状の板状部材であり、矩形の把持部５４と、把持部５４から分岐する２つの腕部５５とからなる。基体５の材質は、例えばアルミニウム合金である。１０個の旋回流形成体２は、基体５を構成する２つの腕部５５の一の面（具体的には、被搬送物たる板状部材Ｗと対向する面）（以下、「底面」という。）に設けられる。１０個の旋回流形成体２は、２つの腕部５５において、同一の円の周上に配置される。各腕部５５につき５個の旋回流形成体２が等間隔に配置される。

１２個の摩擦部材３Ａは、板状の部材であり、２つの腕部５５の底面に設けられる。１２個の摩擦部材３Ａは、当該底面において、旋回流形成体２が配置されるのと同一の円の周上に配置される。各腕部５５において、２個の摩擦部材３Ａにより１個の旋回流形成体２を挟むように配置される。各摩擦部材３Ａは、被搬送物たる板状部材Ｗの表面と接触して、当該表面との間に生じる摩擦力により板状部材Ｗの移動を防止する。各摩擦部材３Ａの材質は、例えばフッ素ゴムである。

図１０は、図９のＥ−Ｅ線断面図である。図１０に示されるように、基体５は、供給口５１と、Ｃ形通路５２と、連通路５３とを備える。供給口５１は、円形状を有し、把持部５４の上面（すなわち、底面と反対の面）に設けられる。供給口５１は、チューブを介して液体供給装置（図示せず。）に接続され、この供給口５１を介して基体５内に液体が供給される。連通路５３は、把持部５４の内部に設けられ、把持部５４の長手方向に沿って直線状に延びる。連通路５３は、その一端が供給口５１と連通し、他端がＣ形通路５２と連通する。Ｃ形通路５２は、把持部５４と２つの腕部５５の内部に設けられる。Ｃ形通路５２は、旋回流形成体２が配置されるのと同一の円の周上に配置される。Ｃ形通路５２は、連通路５３から供給される液体を各旋回流形成体２に供給する。

搬送装置２０においても、旋回流形成体２の導入路２９は、凹部２２内から流出し端面２３に沿って流れる液体の方向と、板状部材Ｗの重心から、当該部材において旋回流形成体２に対向する位置に向かう方向とがなす角（ただし、小さい方の角）が略４５度となるように配置される。

２−２．変形例２
上記の実施形態に係る搬送装置１０に、旋回流形成体２から吐出された液体が板状部材Ｗの外縁の外に排出され易くするための装置をさらに取り付けてもよい。図１１は、本変形例に係る搬送装置１０Ａの底面の一例を示す図である。図１２は、図１１のＦ−Ｆ線断面図である。図１１及び図１２に示されるように、搬送装置１０Ａは、搬送装置１０と比較して、放射流形成体６をさらに備えている。

放射流形成体６は、基体１の底面に設けられる。放射流形成体６は、当該底面において、１２個の旋回流形成体２がその周上に配置される円の中央部に配置される。放射流形成体６は、液体を吐出することにより、被搬送物たる板状部材Ｗとの間に負圧を発生させて、当該板状部材Ｗを保持する装置である。また、放射流形成体６は、基体１の底面中央において放射状に液体を吐出することにより、板状部材Ｗの中央上部に液体が溜まるのを防止する装置である。放射流形成体６には、図１２に示されるように、連通路１２を介して液体が供給される。この放射流形成体６は、本発明に係る「液体吐出装置」の一例である。搬送装置１０Ａは、板状部材Ｗとの間に負圧を発生させるための機構として、１２個の旋回流形成体２と放射流形成体６のみを備える。

図１３は、放射流形成体６の一例を示す斜視図である。図１３に示されるように、放射流形成体６は、本体６１と、環状凹部６２と、端面６３と、対向面６４と、傾斜面６５とを備えている。本体６１は、円柱形状を有する。端面６３は、本体６１の一の面（具体的には、被搬送物たる板状部材Ｗに臨む面）（以下、「底面」という。）に平坦状に形成される。環状凹部６２は、端面６３に形成される。環状凹部６２は、本体６１の外周と同心円状に形成される。対向面６４は、本体６１の底面に平坦状に形成される。対向面６４は、周囲を環状凹部６２に囲まれ、被搬送物たる板状部材Ｗと対向する面である。対向面６４は、本体６１の底面において、端面６３に対して窪むように形成される。傾斜面６５は、環状凹部６２の開口部（具体的には、その外周縁）に形成される。

図１４は、放射流形成体６の底面図である。図１５は、図１３のＧ−Ｇ線断面図である。図１４及び図１５に示されるように、放射流形成体６はさらに、６本のノズル孔６６と、導入口６７と、導入路６８と、環状通路６９と、連通路７０とをさらに備える。導入口６７は、円形状を有し、本体６１の上面（すなわち、底面と反対の面）の中央に設けられる。導入口６７は、導入路６８と連通し、この導入口６７を介して本体６１内に液体が供給される。導入路６８は、本体６１の内部に設けられ、本体６１の中心軸に沿って直線状に延びる。導入路６８は、その一端が導入口６７と連通し、他端が連通路７０と連通する。導入路６８は、導入口６７を介して本体６１内に供給される液体を連通路７０に供給する。

連通路７０は、本体６１の内部に設けられ、環状通路６９の半径方向に直線的に延びる。連通路７０は、その軸方向中央部において導入路６８と連通し、その両端部において環状通路６９と連通する。連通路７０は、導入路６８から供給される液体を環状通路６９に供給する。環状通路６９は、円筒形状を有し、本体６１の内部に設けられる。環状通路６９は、本体６１と同軸に形成される。環状通路６９は、連通路７０から供給される液体をノズル孔６６に供給する。

６本のノズル孔６６は、それぞれ、環状凹部６２の周縁部において当該環状凹部６２内に液体を吐出する。具体的には、各ノズル孔６６は、端面６３又は対向面６４に対して略平行、且つ本体６１の底面又は上面の半径方向に直線的に延びるように形成され、その一端は環状通路６９と連通し、他端は環状凹部６２と連通する。６本のノズル孔６６は、隣り合うノズル孔６６同士が略４５度の角度をなすように同一平面上に配置される。各ノズル孔６６は、本発明に係る「液体通路」の一例である。

以上説明した放射流形成体６に対して導入口６７を介して液体が供給されると、その液体は、導入路６８、連通路７０及び環状通路６９を通ってノズル孔６６から環状凹部６２内に吐出される。環状凹部６２に吐出された液体は、環状凹部６２の開口部から流出する。その際、対向面６４に対向して板状部材Ｗが存在する場合には、対向面６４と板状部材Ｗの間の空間への外部流体（例えば、空気や水）の流入が制限され、放射流のエントレインメント効果により、当該空間の単位体積あたりの流体分子の密度が小さくなり、負圧が発生する。この結果、板状部材Ｗは周囲の流体によって押圧されて端面６３側に引き寄せられる。その一方で、端面６３と板状部材Ｗとの距離が近づくにつれて、環状凹部６２内から流出する液体の量が制限され、ノズル孔６６から環状凹部６２内へ吐出される液体の速度が遅くなり、当該空間の圧力が上昇する。この結果、板状部材Ｗは端面６３とは接触せず、板状部材Ｗと端面６３との間には一定の距離が保たれる。

以上説明した搬送装置１０Ａによれば、基体１の底面中央に配置された放射流形成体６により放射状に液体が吐出されることにより、板状部材Ｗ上に液体がより溜まりにくくなる。

なお、放射流形成体６の数、構成（特に、ノズル孔６６の数と、本体６１内の液体流路の構成）及び配置は、本変形例に示される例に限られない。これらは、搬送装置１０Ａにより搬送される板状部材Ｗのサイズ、形状及び材質に応じて決定されてよい。また、放射流形成体６の代わりに、旋回流形成体２を基体１底面中央部に配置してもよい。または、周知の電動ファンを備えた非接触チャックを配置してもよい（例えば、特開２０１１−１３８９４８号公報参照）。または、周知の複数の凹部が連結した旋回流形成体を配置してもよい（特開２００７−３２４３８２号公報参照）。また、板状部材Ｗの径が小さい場合には、搬送装置１０の基体１に、放射流形成体６又は上記の複数の凹部が連結した旋回流形成体のみを設け、旋回流形成体２を設けない構成としてもよい。

２−３．変形例３
上記の実施形態において、旋回流形成体２の形状は変更されてもよい。図１６は、本変形例に係る旋回流形成体２Ａの一例を示す底面図である。図１７は、図１６のＨ−Ｈ線断面図である。図１６及び図１７に示されるように、旋回流形成体２Ａは、旋回流形成体２と比較して、凸部３０をさらに備えている。凸部３０は、円柱形状を有し、凹部２２の底部から延びるように形成される。凸部３０は、本体２１又は凹部２２と同軸に形成される。凸部３０の上面（具体的には、被搬送物たる板状部材Ｗと対向する面）は、端面２３に対して窪むように形成される。凸部３０は、その外周側面と、本体２１の内周側面との間に液体流路を形成し、凹部２２内に吐出された液体は、この液体流路を流れることにより旋回流を形成する。

なお、凸部３０の上面は、端面２３と同一平面上に形成されてもよい。また、凸部３０の上面の端部は、面取りされてもよい。

２−４．変形例４
上記の搬送装置１０の基体１の構成（特に、基体１内の液体流路の構成）は、上記の実施形態に示される例に限られない。また、搬送装置１０の基体１に設けられる摩擦部材３及び孔部４の数、形状及び配置は、上記の実施形態に示される例に限られない。これらの要素は、搬送装置１０により搬送される板状部材Ｗのサイズ、形状及び材質に応じて決定されてよい。摩擦部材３及び孔部４は、そもそも搬送装置１０の基体１に設けられなくてもよい。摩擦部材３が搬送装置１０の基体１に設けられない場合、搬送装置１０により搬送される板状部材Ｗは、旋回流形成体２より吐出される液体の流れに回転させられ、その遠心力により板状部材Ｗ上の液体はその外縁の外に排出され易くなる。摩擦部材３が搬送装置１０の基体１に設けられない場合、基体１には、板状部材Ｗの位置決めをするために、周知のセンタリングガイドが設置されてもよい（例えば、特開２００５−５１２６０号公報参照）。また、上記の実施形態において、搬送装置１０の基体１の底面に、板状部材Ｗ上の液体を吸引するための装置を設けてもよい。この装置は、例えば、当該底面において、１２個の旋回流形成体２がその周上に配置される円の中央部に配置される。

２−５．変形例５
上記の搬送装置１０の基体１に設けられる旋回流形成体２の数、構成及び配置は、上記の実施形態に示される例に限られない。これらの要素は、搬送装置１０により搬送される板状部材Ｗのサイズ、形状及び材質に応じて決定されてよい。例えば、旋回流形成体２の数は１２個未満でも１３個以上でもよい。また、旋回流形成体２は、基体１の外周に沿って２列以上並べられてもよい。また、各旋回流形成体２で形成される旋回流の回転方向はそれぞれ異なっていてもよい。また、旋回流形成体２の本体２１の形状は、円柱に限られず角柱や楕円柱でもよい。また、旋回流形成体２の本体２１内に形成される液体流路の構成については、環状通路２７連通路２８とを設けずに、導入口２６と導入路２９とを直接一本の通路で接続するようにしてもよい。また、傾斜面２５は設けなくてもよい（すなわち、端面２３の端部は面取りしなくてもよい）。また、一部の旋回流形成体２から吐出される流体を空気等の気体としてもよい。

また、旋回流形成体２の凹部２２内から流出し端面２３に沿って流れる液体の方向と、板状部材Ｗの重心から、当該部材において旋回流形成体２に対向する位置に向かう方向とがなす角は、略４５度に限られない。この角度は、９０度以下であればよい。同様に、旋回流形成体２の凹部２２内から流出し端面２３に沿って流れる液体の方向と、その周上に１２個の旋回流形成体２が配置される円の中央部から、当該導入路２９を備える旋回流形成体２に向かう方向とがなす角もまた、略４５度に限られず、９０度以下であればよい。また、旋回流形成体２に設けられる導入路２９の数は、１本に限られず２本以上であってもよい。図１８は、導入路２９を２本有する旋回流形成体２Ｂを備える搬送装置１０Ｂにおいて、各旋回流形成体２Ｂから流出する液体の方向の一例を示す図である。同図に示される例でも、旋回流形成体２の凹部２２内から流出し端面２３に沿って流れる液体の方向と、板状部材Ｗの重心から、当該部材において旋回流形成体２に対向する位置に向かう方向とがなす角は、９０度以下に設定されている。導入路２９の数を２本以上とする場合、一部の導入路２９から吐出する流体を空気等の気体としてもよい。

２−６．変形例６
上記の実施形態において、旋回流形成体２に代えて、変形例２に記載の放射流形成体６、又は周知の電動ファンを備えた非接触チャック（例えば、特開２０１１−１３８９４８号公報参照）を、搬送装置１０の底面に配置してもよい。

Claims (2)

1. 板状の部材を搬送する搬送装置であって、
   板状の基体と、
   前記基体に設けられる複数の液体吐出装置であって、それぞれ液体を吐出することにより前記部材との間に負圧を発生させて前記部材を保持する複数の液体吐出装置と
   を備え、
   前記複数の液体吐出装置はそれぞれ、
   柱状の本体と、
   前記本体に形成され、前記部材に臨む平坦状の端面と、
   前記端面に形成される凹部と、
   前記凹部の周縁部において当該凹部内に液体を吐出する１以上の液体通路と
   を備え、
   前記１以上の液体通路は、前記凹部内から流出し前記端面に沿って流れる液体の方向と、前記部材の重心から、前記部材において前記液体吐出装置に対向する位置に向かう方向とがなす角が９０度以下となるように配置され、
   前記複数の液体吐出装置はそれぞれ、前記凹部の周縁部において当該凹部内に液体を吐出する構造として前記１以上の液体通路のみを備え、
   前記搬送装置は、前記部材との間に負圧を発生させるための機構として前記複数の液体吐出装置のみを備える
   ことを特徴とする搬送装置。
2. 前記複数の液体吐出装置のうち２以上の液体吐出装置は、前記基体において同一の円の周上に配置され、
   前記複数の液体吐出装置のうち１以上の液体吐出装置は、前記基体において前記円の中央部に配置される
   ことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。

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