JP2013152974A - 基板保持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 表面にウエハを保持するとともに、エア供給路が内部に形成されたハンド本体10と、エア供給路20先端のエア排気孔23と連通する溝の先端がエアノズル21となるノズル部と、ハンド本体10の表面を区画した凹所からなるデフューザ15と、デフューザ15の入口とエアノズル21との近傍にエア排出ポート16と、ハンド本体10の表面を区画した凹所からなるウエハ吸着領域14とを設ける。エアノズル21を介してエア供給路20からのエアをデフューザ部15に噴出し、エアフローによるベルヌーイ効果でウエハを保持する。併せてエア排出ポート16からウエハ吸着領域14内の空気を引き出すエジェクタ効果によりウエハ吸着領域14に低真空状態を形成してウエハを保持する。
【選択図】 図1
Description
図1に示したように、本実施例では、ウエハ1(仮想線で図示)がハンド10先端の所定位置に載置された状態で、所定圧(0.25〜0.5MPa)のエアを、1個のエアノズル25からエア流量5〜10リットル/分程度で噴出する設計となっている。そのため、エアは、エア供給路20で20〜40リットル/分の流量が得られるように、図示しないエア供給源からエア導入孔12を介してエア供給路20に供給される。エアは、さらにエア供給路20を通じて先端側のエア排気孔23からノズルプレート25の溝26内に流れ、その溝端のエアノズル21から上面がウエハ1で塞がれたデフューザ15に向けて噴出され、デフューザ15内で所定のエアフローとなり、排気ポート15bから排気される。このときデフューザ15内とウエハ1の上面との間でベルヌーイ効果による静圧差が生じ、ウエハ1がハンド10側に引かれる吸引力が生じる。これによりウエハ1の一部がハンド10表面に吸着されるとともに、デフューザ入口15aに入るエアフローに引き込まれるように、ウエハ吸着領域14のエア排出ポート16からウエハ吸着領域14内の空気がエジェクタ効果によってエアフローの空気の粘性に伴い引き出される。このウエハ吸着領域14内から引き出された空気は、さらにエアフローとともに排気ポート15bから排出される。このエジェクタ効果により、ウエハ吸着領域14内には低真空状態が生じる。このため、ウエハ保持ベース13に載っているウエハ1には、この低真空状態(1〜2kPa程度)による十分なウエハ保持力が加わる。
13 ウエハ保持ベース
14 ウエハ吸着領域
15 デフューザ
16 エア排出ポート
20 エア供給路
21 エアノズル
23 エア排出孔
25 ノズルプレート
30 吸着パッド
31 センターパッド
32 リング状パッド
35 真空領域
Claims (6)
- 表面にウエハを保持するとともに、エア供給路が内部に形成されたハンド本体と、前記エア供給路先端のエア排出孔と連通する溝の先端がエアノズルとなるノズル部と、前記ハンド本体の表面を区画した凹所からなるデフューザ部と、該デフューザ部の入口と前記エアノズルとの近傍にエア排出ポートを有する、前記ハンド本体の表面を区画した凹所からなるウエハ吸着領域とを備え、
前記エアノズルを介して前記エア供給路からのエアを前記デフューザ部に噴出して前記ウエハを保持するとともに、前記エア排出ポートから前記ウエハ吸着領域内の空気を引き出して前記ウエハ吸着領域に低真空状態を形成して前記ウエハを保持することを特徴とする基板保持装置。 - 前記デフューザ部内のエアフローによって生じるベルヌーイ効果と、前記エア排出ポートから前記ウエハ吸着領域内から空気を引き出し、前記ウエハ吸着領域内を低真空状態にするエジェクタ効果とにより、前記ウエハを前記ハンド本体に保持させる請求項1に記載の基板保持装置。
- 前記ハンド本体は、平板を重ね合わせて構成され、前記平板の対向面に形成した溝を前記エア供給路とし、一方の平板のウエハを保持する外側面に、前記デフューザ部と前記ウエハ吸着領域となる凹所が得られるように、前記ウエハ保持ベースを形成した請求項1または請求項2に記載の基板保持装置。
- 前記ノズル部は、前記エア供給路先端のエア排出孔を塞いで、該エア排出孔と連通する溝端がエアノズルとなるようにした、前記溝が形成されたプレートを取り付けてなる請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の基板保持装置。
- 前記ノズル部は、センターパッド内に設けられ、該センターパッド外周に前記ウエハ吸着領域を区画するリング状パッドが設けられ、該リング状パッドの一部が前記センターパッドのノズル部のエア排出ポートのエアフロー経路上で切欠かれ、前記ノズル部からのエアフローに伴い、エジェクタ効果により前記ウエハ吸着領域内に低真空状態が形成され、前記センターパッドと前記リング状パッドとにより、前記ウエハを保持する請求項1に記載の基板保持装置。
- 前記センターパッドと前記リング状パッドとの組み合わせによる吸着パッドを、前記ハンドの表面に、基板保持に必要な数、位置だけ配置した請求項5に記載の基板保持装置。
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