JP5452413B2 - 非接触吸着装置 - Google Patents
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Description
2 非接触吸着部
4 面状部材
5 凹部
6 第一流体噴出部
6a 開口部
7 ガイド体
10 テーパ面
11 位置決め機構
12 当接部
14 第二流体噴出部
15 光照射部
16 光検出部
17 吸着確認手段
Claims (9)
- 基体から噴出する流体による負圧により面状部材を非接触吸着する非接触吸着装置であって、前記基体の一側は凹部が設けられ、この凹部には前記流体を噴出する第一流体噴出部及び第二流体噴出部が設けられ、また、前記凹部の周囲には前記面状部材を非接触吸着する非接触吸着部が設けられ、前記凹部内にして前記第一流体噴出部にはガイド体が対設され、前記第一流体噴出部から噴出した前記流体が前記ガイド体により外方向に案内され、前記非接触吸着部を通過することで生ずる負圧により前記面状部材が前記非接触吸着部に非接触吸着されるように構成され、更に、前記第二流体噴出部から流体を噴出して前記非接触吸着部を通過する流体を遮断することで前記非接触吸着部に非接触吸着している前記面状部材を離脱させるように構成されていることを特徴とする非接触吸着装置。
- 請求項1記載の非接触吸着装置において、前記非接触吸着部は、前記凹部の周縁部に設けた平坦部であることを特徴とする非接触吸着装置。
- 請求項1,2いずれか1項に記載の非接触吸着装置において、前記面状部材は、前記非接触吸着部から外向に大きく突出しない大きさであることを特徴とする非接触吸着装置。
- 請求項1〜3いずれか1項に記載の非接触吸着装置において、前記ガイド体は、前記ガイド体の下面と前記非接触吸着部とが略面一となるように構成されていることを特徴とする非接触吸着装置。
- 請求項1〜4いずれか1項に記載の非接触吸着装置において、前記ガイド体は、前記第一流体噴出部の開口部の周囲とほぼ平行に配設されていることを特徴とする非接触吸着装置。
- 請求項1〜5いずれか1項に記載の非接触吸着装置において、前記凹部の周壁は、先端側ほど拡開するテーパ面に形成されていることを特徴とする非接触吸着装置。
- 請求項1〜6いずれか1項に記載の非接触吸着装置において、前記基体には、前記非接触吸着部に非接触吸着した前記面状部材を所定位置に位置決めする位置決め機構が設けられていることを特徴とする非接触吸着装置。
- 請求項7記載の非接触吸着装置において、前記位置決め機構は、前記非接触吸着した前記面状部材の周縁に当接する当接部であり、この当接部は前記基体に対して突没するように構成されていることを特徴とする非接触吸着装置。
- 請求項1〜8いずれか1項に記載の非接触吸着装置において、光を照射する光照射部と、光を検出する光検出部と、前記光照射部から光を照射した際に所定強度の光が前記光検出部で検出されることで前記面状部材が前記非接触吸着部に非接触吸着されたか否かを確認する吸着確認手段が設けられていることを特徴とする非接触吸着装置。
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