JP2006181682A - 吸着装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 真空圧を正確に計測できるようにする。
【解決手段】 基体21に流体を噴出する噴出ノズル23を設け、この噴出ノズル23から噴出された流体を、コアンダ効果を利用して基体あるいは被吸着物体に沿ってガイドする一方、この流体の流れによって、ベルヌーイの定理による真空層を生じさせる吸着装置を前提にする。そして、流体の流出経路から外れた箇所に、真空圧検出ポート29を設けるとともに、この真空圧検出ポート29に真空圧計測器30を接続している。
【選択図】 図1
【解決手段】 基体21に流体を噴出する噴出ノズル23を設け、この噴出ノズル23から噴出された流体を、コアンダ効果を利用して基体あるいは被吸着物体に沿ってガイドする一方、この流体の流れによって、ベルヌーイの定理による真空層を生じさせる吸着装置を前提にする。そして、流体の流出経路から外れた箇所に、真空圧検出ポート29を設けるとともに、この真空圧検出ポート29に真空圧計測器30を接続している。
【選択図】 図1
Description
この発明は、ベルヌーイの定理を利用して負圧を発生させる吸着装置に関する。
従来から図2に示す装置が知られている。この装置は、平面円形の基体1の中央に、その中央に向かって徐々に深くなる凹部2を形成するとともに、この凹部2の中心部分に噴出ノズル3を設けている。この噴出ノズル3には複数の噴出口3aを設けているが、このように複数の噴出口3aを設けたのは、噴出口3aから噴出されたエアやガス等の圧力流体が、凹部2の斜面2aに対してできるだけ均等に当たるようにするためである。
上記のようにした噴出口3aは、そこから噴出される上記圧力流体の噴出方向が、凹部2の斜面2aに対して、90度以上、180度未満の角度αを保つようにしている。噴出口3aから噴出される圧力流体の噴出方向の角度αを、上記のように90度以上、180度未満に保ったのは、噴出ノズル3から噴出されたエアやガス等の圧力流体が、コアンダ効果によって斜面2aに沿って流れやすくするためである。また、上記凹部2の周囲外側には水平面4を設け、上記斜面2aに沿って流れた流体を、同じくコアンダ効果によって水平面4に沿って外側に流出するようにしている。
さらに、上記噴出ノズル3には、噴出口3aに連通する接続口3bを設けているが、この接続口3bは、凹部2とは反対側である基体1の表面に開口させるとともに、そこに供給ライン5を接続している。そして、この供給ライン5を介して、噴出ノズル3と、エアやガス等の流体を供給する供給源6とを接続している。このようにした供給ライン5には減圧弁7を設けるとともに、この減圧弁7の下流側に圧力計8を接続している。
また、上記基体1の水平面4に対応する位置に真空圧検出ポート9を形成するとともに、この検出ポート9に真空圧計測器10を接続している。そして、この真空圧計測器10で検出した真空圧(負圧)の大きさによって吸着力の大きさを判定できるようにしている。
また、上記基体1の水平面4に対応する位置に真空圧検出ポート9を形成するとともに、この検出ポート9に真空圧計測器10を接続している。そして、この真空圧計測器10で検出した真空圧(負圧)の大きさによって吸着力の大きさを判定できるようにしている。
上記のようにした装置を用いて、被吸着物体11を保持する場合について説明する。被吸着物体11を保持するときには、図2に示すように基体1を被吸着物体11に近接させた状態で、供給源6から流体を供給する。供給源6から供給された流体は、減圧弁7で減圧されて噴出ノズル3に供給されるとともに、その噴出口3aから凹部2の斜面2aに向かって勢いよく噴出される。
噴出口3aから勢いよく噴出された流体は、凹部2の斜面2aに当たるとともに、コアンダ効果によって矢印a1で示すようにその斜面2aに沿って流れる。そして、斜面2aに沿って流れた流体は、そのまま水平面4に沿って基体1の外側から流出することになる。
上記のように基体1に設けた斜面2aおよび水平面4に沿って流体が流れると、ベルヌーイの定理がはたらいて、流体の流れに対応した負圧が発生し、その流れと被吸着物体11との間に真空層a2が生じる。
上記のように基体1に設けた斜面2aおよび水平面4に沿って流体が流れると、ベルヌーイの定理がはたらいて、流体の流れに対応した負圧が発生し、その流れと被吸着物体11との間に真空層a2が生じる。
上記のようにして基体1と被吸着物体11との間に、ベルヌーイの定理による真空層a2が発生すると、その真空層a2の負圧によって被吸着物体11が基体1に保持される。ただし、このとき被吸着物体11は基体1に対して非接触の状態に保たれる。そして、このときの吸着力は、上記真空圧計測器10で計測された負圧の大きさで判定する。すなわち、その負圧が設定値以上になったとき、当該被吸着物体11を搬送可能と判定するようにしている。
なお、上記の従来の装置は、実際に販売されているもので、特許調査は特にしていない。
なお、上記の従来の装置は、実際に販売されているもので、特許調査は特にしていない。
上記のようにした従来の装置では、真空圧計測器10が正確な圧力を検出できないという問題があったが、その理由は次の通りである。すなわち、上記従来の装置では、真空圧検出ポート9を基体1の水平面4側に開口させている。ところが、この水平面4の部分には、噴出ノズル3からの流体が流れているので、その部分は負圧になっているとは限らず、場合によっては正圧になっていることもある。しかし、上記真空圧計測器10で計測したいのは、上記正圧域ではなく、図2に示す真空層a2の圧力である。したがって、上記のように水平面4が正圧になっているときには、本当に計りたい真空層a2の圧力を正確に計測できないという問題があった。
そして、上記のように真空層a2の圧力を正確に計れないために、真空度が低い段階で、被吸着物体11を搬送してしまうことがあったが、そのような場合には、搬送途中で被吸着物体11を落としてしまうという問題が発生する。
この発明の目的は、真空度を正確に計測できるようにして、真空度が低い段階で被吸着物体を搬送しないようにした吸着装置を提供することである。
そして、上記のように真空層a2の圧力を正確に計れないために、真空度が低い段階で、被吸着物体11を搬送してしまうことがあったが、そのような場合には、搬送途中で被吸着物体11を落としてしまうという問題が発生する。
この発明の目的は、真空度を正確に計測できるようにして、真空度が低い段階で被吸着物体を搬送しないようにした吸着装置を提供することである。
この発明は、基体に流体を噴出する噴出ノズルを設け、ベルヌーイの定理を利用し、上記噴出ノズルから噴出された流体の流れによって、真空層を生じさせる吸着装置を前提にする。
上記の装置を前提にしつつ、第1の発明は、流体の流出経路から外れた箇所に、真空圧検出ポートを設けるとともに、この真空圧検出ポートに真空圧計測器を接続した点に特徴を有する。なお、第1の発明において、噴出ノズルから噴出される流体の噴出方向は問わない。
上記の装置を前提にしつつ、第1の発明は、流体の流出経路から外れた箇所に、真空圧検出ポートを設けるとともに、この真空圧検出ポートに真空圧計測器を接続した点に特徴を有する。なお、第1の発明において、噴出ノズルから噴出される流体の噴出方向は問わない。
第2の発明は、基体に設けた噴出ノズルが、基体の外方に向かって流体を噴出する構成にするとともに、真空圧検出ポートは、噴出ノズルよりも基体の中心よりに設けた点に特徴を有する。
第1の発明によれば、真空圧検出ポートを流体の流出経路から外れたところに設けたので、真空圧検出ポートは真空層に開口することになる。このように真空圧検出ポートが真空層に開口しているので、真空圧計測器はその時々の真空圧(負圧)を正確に計測できるようになる。したがって、当該装置の吸着力を正確に把握した上で、目的の被吸着物体を搬送することができる。また、搬送途中で被吸着物体を落としてしまうようなこともなくなる。
第2の発明によれば、噴出ノズルから噴出される流体を基体の外方に導くとともに、真空圧検出ポートを基体の中心部分に設けたので、吸着力を発揮する真空度をより正確に計測することができる。
図1に示した第1実施形態は、平面円形の基体21には、その中央に向かって徐々に深くなる凹部22を形成するとともに、上記基体21の中心部分に噴出ノズル23を設けている。この噴出ノズル23には複数の噴出口23aを設けているが、このように複数の噴出口23aを設けたのは、噴出口23aから噴出されたエアやガス等の圧力流体が、凹部22の斜面22aに対してできるだけ均等に当たるようにするためである。
上記のようにした噴出口23aは、そこから噴出される圧力流体の噴出方向が、凹部22の斜面22aに対して、90度以上、180度未満の角度αを保つようにしている。噴出口23aから噴出される圧力流体の噴出方向の角度αを、上記のように90度以上、180度未満に保ったのは、噴出口23aから噴出されたエアやガス等の圧力流体が、コアンダ効果によって斜面22aに沿って流れやすくするためである。また、上記凹部22の外周には水平面24を設け、上記斜面22aに沿って流れた流体を、同じくコアンダ効果によって水平面24に沿って外側に流出させるようにしている。
なお、この実施形態では、上記斜面22aと水平面24との間の角度βを、上記角度αと同様に、90度以上、180度未満に設定している。このように角度βを設定しているのは、圧力流体が斜面22aから水平面24に移行する際にもコアンダ効果が十分に発揮されるようにするためである。
また、上記噴出ノズル23には、噴出口23aと同数の接続口23bを設け、それぞれの接続口23bをそれに対応した噴出口23aに接続している。そして、接続口23bは、噴出ノズル23の周囲に一定の間隔を保って設けるとともに、図1からも明らかなように、軸線に対して平行にしている。これに対して、噴出口23aは、接続口23bに対して直角にして外方に向けている。したがって、この噴出口23aから噴出される流体は、基体21の外方に導かれることになる。
上記のようにした接続口23bは、凹部22とは反対側である基体21の表面に開口させるとともに、そこに供給ライン25を接続している。そして、この供給ライン25を介して、噴出ノズル23と、エアやガス等の流体を供給する供給源26とを接続している。このようにした供給ライン25には減圧弁27を設けるとともに、この減圧弁27の下流側に圧力計28を接続している。
そして、上記噴出ノズル23の中心部分には、真空圧検出ポート29を設けるとともに、この真空圧検出ポート29には真空圧計測器30を接続している。このように真空圧検出ポート29は、噴出ノズル23の中心部分に設けるとともに、この噴出ノズル23の噴出口23aから噴出される流体が、上記したように基体21の外方に導かれるので、真空圧検出ポート29が開口する箇所は、噴出ノズル23からの流体の流出経路から外れた位置になる。
上記のようにした装置を用いて、被吸着物体32を保持する場合について説明する。被吸着物体32を保持するときには、基体21を被吸着物体32に接近させる。そして、供給源26から圧力流体を供給すると、その流体は、減圧弁27で減圧されて噴出ノズル23に供給されるとともに、その噴出口23aから凹部22の斜面22aに向かって勢いよく噴出される。
噴出口23aから勢いよく噴出された圧力流体は、図面の矢印a1 で示すように、凹部22の斜面22aに当たるとともに、コアンダ効果によってその斜面22aおよび水平面24からなるガイド面に沿って流れる。
噴出口23aから勢いよく噴出された圧力流体は、図面の矢印a1 で示すように、凹部22の斜面22aに当たるとともに、コアンダ効果によってその斜面22aおよび水平面24からなるガイド面に沿って流れる。
上記のように基体21に設けた斜面22aおよび水平面24に沿って流体が流れると、その流体の流れに対応して真空層a2が発生するが、その原理は従来と同様にベルヌーイの定理による。
上記のようにして真空層a2が発生すると、その負圧の作用で被吸着物体32が吸い寄せられ、非接触の状態で吸着される。
上記のようにして真空層a2が発生すると、その負圧の作用で被吸着物体32が吸い寄せられ、非接触の状態で吸着される。
また、噴出ノズル23の噴出口23aよりも内側、言い換えると流体の流出経路から外れた位置に真空圧検出ポート29を設けているので、真空圧検出ポート29に接続した真空圧計測器30で真空圧を正確に計測することができる。なぜなら、流体の流出経路から外れた位置に真空圧検出ポート29を設けているので、非吸着物体32が吸着されたとき、常に負圧が保たれているからである。なお、この発明においては、上記真空検出ポート29が流体の流出経路から外れた箇所に、真空圧検出ポート29が設けられればよく、必ずしも、上記噴出口23aの内側に設ける必要はない。例えば、上記流体の流出経路間に真空圧検出ポート29を設けてもよい。
そして、真空圧計測器30は基体21と被吸着物体32との間の真空圧を測定するもので、その測定値が設定値以上になったとき、被吸着物体32を吸着した基体21を移動させることができる。
この真空圧計測器30が検出信号だけを出力する構成にしてもよいし、真空圧計測器30が制御系を動作させるか否かの判定信号を出力するようにしてもよい。
また、噴出ノズル23の噴出口23aから噴出する圧力流体の流速を速くすればするほど、そこに発生する負圧が大きくなる。そして、圧力流体の流速を速くするためには、接続口23bの断面積に対して、噴出口23aの断面積を小さくすればよい。
この真空圧計測器30が検出信号だけを出力する構成にしてもよいし、真空圧計測器30が制御系を動作させるか否かの判定信号を出力するようにしてもよい。
また、噴出ノズル23の噴出口23aから噴出する圧力流体の流速を速くすればするほど、そこに発生する負圧が大きくなる。そして、圧力流体の流速を速くするためには、接続口23bの断面積に対して、噴出口23aの断面積を小さくすればよい。
21 基体
23 噴出ノズル
29 真空圧検出ポート
30 真空圧計測器
32 被吸着物体
23 噴出ノズル
29 真空圧検出ポート
30 真空圧計測器
32 被吸着物体
Claims (2)
- 基体に流体を噴出する噴出ノズルを設け、ベルヌーイの定理を利用し、上記噴出ノズルから噴出された流体の流れによって真空層を生じさせる吸着装置において、流体の流出経路から外れた箇所に、真空圧検出ポートを設けるとともに、この真空圧検出ポートに真空圧計測器を接続した吸着装置。
- 基体に設けた噴出ノズルは、基体の外方に向かって流体を噴出する構成にするとともに、真空圧検出ポートは、噴出ノズルよりも基体の中心寄りに設けた請求項1記載の吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004378448A JP2006181682A (ja) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | 吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2004378448A JP2006181682A (ja) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | 吸着装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006181682A true JP2006181682A (ja) | 2006-07-13 |
Family
ID=36735154
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2004378448A Pending JP2006181682A (ja) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | 吸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006181682A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2287095A2 (en) * | 2008-05-13 | 2011-02-23 | Korea Pneumatic System Co., Ltd | Non-contact type of vacuum pad |
JP2012040621A (ja) * | 2010-08-13 | 2012-03-01 | Is Engineering:Kk | 非接触吸着装置 |
KR101223543B1 (ko) | 2010-11-01 | 2013-01-21 | 우완동 | 비접촉식 이송장치 |
WO2013018527A1 (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | 松本 稔克 | 基板保持機構、半導体基板の分離処理装置および半導体基板の分離方法 |
JP2015179741A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-10-08 | 株式会社ディスコ | 板状物の保持機構 |
JP2015179742A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-10-08 | 株式会社ディスコ | 洗浄装置 |
KR101800336B1 (ko) | 2017-04-06 | 2017-11-22 | (주)포스텔 | 비접촉식 기판 홀딩장치용 에어핀 |
-
2004
- 2004-12-28 JP JP2004378448A patent/JP2006181682A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2287095A2 (en) * | 2008-05-13 | 2011-02-23 | Korea Pneumatic System Co., Ltd | Non-contact type of vacuum pad |
CN102026896A (zh) * | 2008-05-13 | 2011-04-20 | 韩国气压系统有限公司 | 非接触式真空垫 |
EP2287095A4 (en) * | 2008-05-13 | 2012-08-22 | Korea Pneumatic Sys Co Ltd | VACUUM SUCTION TYPE WITHOUT CONTACT |
CN102026896B (zh) * | 2008-05-13 | 2013-08-14 | 韩国气压系统有限公司 | 非接触式真空垫 |
JP2012040621A (ja) * | 2010-08-13 | 2012-03-01 | Is Engineering:Kk | 非接触吸着装置 |
KR101223543B1 (ko) | 2010-11-01 | 2013-01-21 | 우완동 | 비접촉식 이송장치 |
WO2013018527A1 (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | 松本 稔克 | 基板保持機構、半導体基板の分離処理装置および半導体基板の分離方法 |
JP2015179741A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-10-08 | 株式会社ディスコ | 板状物の保持機構 |
JP2015179742A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-10-08 | 株式会社ディスコ | 洗浄装置 |
KR101800336B1 (ko) | 2017-04-06 | 2017-11-22 | (주)포스텔 | 비접촉식 기판 홀딩장치용 에어핀 |
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