CN100469539C - 真空拾取和放置装置以及拾取和放置确认传感器 - Google Patents

Abstract

空气抽吸通道(4A，4B)设有包括气体流量传感器的拾取和放置确认传感器(1)。该拾取和放置确认传感器(1)测量从拾取和放置喷嘴(2)的空气抽吸口(33)吸入的空气的流速。基于测量结果检测被抬升至拾取和放置喷嘴(2)的部件存在与否。

Description

真空拾取和放置装置以及拾取和放置确认传感器

技术领域

本发明涉及真空拾取和放置装置以及拾取和放置确认传感器，尤其涉及这样一种真空拾取和放置装置以及拾取和放置确认传感器：利用所述装置和传感器，当利用真空从拾取和放置喷嘴的空气抽吸口吸入空气、以便将部件抬升至具有空气抽吸口的真空吸杯时，能够检测部件是否在真空吸杯处。

背景技术

一般来说，当诸如电子器件等小部件被传送时，使用真空将所述部件抬升至拾取和放置喷嘴的真空拾取和放置装置被使用。在这种类型的真空拾取和放置中，具有空气抽吸口的真空吸杯形成在拾取和放置喷嘴中。利用诸如抽气器或真空泵等真空发生器所产生的真空，将空气从空气抽气口吸入。这样，所述部件被抬升至拾取和放置喷嘴的真空吸杯处。

在所述真空拾取和放置装置中，确认部件的存在或不存在，即，所希望的部件是否已经从诸如带进给器之类的部件进给器上被抬升、或者在部件被传送到印刷布线板上的部件安装位置的同时检查被抬升起的部件是否已经掉了的情况。如果部件没有被抬升，则必须立即执行处理这种情况的过程，即，诸如重新拾取和放置相同部件等错误处理或者发出警报。

传统上，当确认被抬升至抽吸喷嘴的部件的存在或者不存在时，拾取和放置喷嘴之后的空气抽吸通道中的气压由压力传感器测量。基于压力传感器所测量的压力值的变化，确认被抬升部件的存在与否。

这种确认利用了以下的事实。当部件被抬升至拾取和放置喷嘴时，与没有部件被抬升起来的情况相比，来自空气抽吸口的空气抽吸量减少，空气抽吸通道中的气压减少，空气抽吸口打开。

实际上，指示当空气抽吸口打开时空气抽吸通道中压力的参考压力被预先设置。基于抬升操作期间压力传感器所实际测量到的空气抽吸通道中的测量压力值是否达到参考压力值，确认拾取和放置的存在与否。

在真空拾取和放置装置中，当部件尺寸减小时，拾取和放置喷嘴的空气抽吸口的通路的横截面面积趋于减小。

例如，在诸如蜂窝式便携无线电话或电子摄像机等精密电子设备中，为了减小设备的尺寸和高度，必须减小印刷布线板的面积。作为诸如电阻器或电容器等芯片部件，使用尺寸为1.0mm×0.5mm或者0.6mm×0.3mm的非常小的芯片部件。

为了抬升这种部件，必须使用具有通路横截面积为0.2mm或0.1mm的小空气抽吸口的拾取和放置喷嘴。

然而，当拾取和放置喷嘴的空气抽吸口的通路横截面积随着部件尺寸的减小而减小时，经过小空气抽吸口的空气的流速减小。由此，上述参考压力值与测量压力值之间的差变得非常小。通过利用压力传感器检测压力变化的传统方法，不能精确地确认被抬升部件存在与否。

发明内容

提出本发明以解决上述问题，并且本发明的目的是提供一种真空拾取和放置装置以及拾取和放置确认传感器，即使在拾取和放置喷嘴的空气抽吸口的通路横截面积小的情况下，所述装置和传感器也能可靠地检测被抬升部件存在与否。

为了实现上述目的，提供一种真空拾取和放置装置，其包括：多个拾取和放置喷嘴，所述拾取和放置喷嘴包括具有空气抽吸口的真空吸杯，其使通过空气抽吸口被真空吸入的空气的流速变为声速，并且通过所述空气抽吸孔从所述空气抽吸口吸入空气，以将部件抬升至所述真空吸杯；分别连接于所述多个拾取和放置喷嘴的多个空气抽吸通道；并列连接了所述多个空气抽吸通道的管道；真空供给单元，所述真空供给单元与所述管道连接，并且通过所述管道和所述多个空气抽吸通道向所述多个拾取和放置喷嘴分别供给真空，利用所述真空，在空气抽吸孔的上游端处的压力基本不小于下游端处的压力的两倍；以及多个拾取和放置确认传感器，所述传感器设置在所述多个空气抽吸通道的每一个上、并且测量从所述拾取和放置喷嘴的所述空气抽吸口被吸入的空气的流量，基于所测量的流量而输出指示被抬升至所述真空吸杯的部件存在与否的电信号。

作为拾取和放置确认传感器，可以使用包括以下部件的传感器：设置在气体通路中的基底、被形成成为基底表面上的薄膜的加热器、形成成为基底表面上的薄膜的多个温度传感器、以及用于基于温度传感器所测量到的在加热器附近的温度分布来测量气体流速的检测装置。

作为拾取和放置确认传感器，可以使用包括以下部件的传感器：流量传感器，所述流量传感器检测在阀与拾取和放置喷嘴之间的空气抽吸通道中所测量到的空气的流速变化；以及检测装置，用于基于流量传感器的输出来输出用于指示被抬升至真空吸杯的部件存在与否的电信号。特别地，可以检测在空气抽吸通道的处于拾取和放置喷嘴附近的部分中所测量到的空气流速变化。

拾取和放置喷嘴可以包括通过共享真空源而经过对应空气抽吸口将空气吸入、以便抬升不同部件的多个拾取和放置喷嘴。可以为每个拾取和放置喷嘴设置拾取和放置确认传感器。

作为拾取和放置喷嘴，可以使用这样的喷嘴：所述喷嘴包括空气抽吸口，所述空气抽吸口设置于一开口端，并且空气通过所述空气抽吸口而被吸入。

作为拾取和放置喷嘴，可以使用这样的喷嘴：所述喷嘴包括空气抽吸孔，在所述空气抽吸孔中通过空气抽吸口被真空吸入的空气的流速变为声速。可选地，作为拾取和放置喷嘴，可以使用这样的喷嘴：所述喷嘴包括空气抽吸孔，所述空气抽吸孔的通路横截面积的尺寸使得利用真空通过空气抽吸口而被吸入的空气的流速变为音速，并且空气抽吸口的开口面积根据被抬升至真空吸杯的部件的状态而变化。

拾取和放置喷嘴还可以包括这样的空气抽吸孔：所述空气抽吸孔向空气抽吸口开口并且将通过空气抽吸口吸入的空气引导至连接至真空发生器并与真空发生器接触的拾取和放置喷嘴的喷嘴内室。真空发生器可以产生真空，利用所述真空，在空气抽吸孔的上游端处的压力基本不小于下游端处的压力的两倍。

根据本发明的拾取和放置确认传感器包括：流量传感器，所述流量传感器检测空气流速的变化；以及检测装置，所述检测装置基于流量传感器的输出来输出电信号。

流量传感器可以包括设置在气体通路中的基底、被形成成为基底表面上的薄膜的加热器、以及被形成成为基底表面上的薄膜的温度传感器。检测装置可以基于温度传感器所测量的加热器附近的温度分布来测量气体流速。

检测装置可以基于在拾取和放置喷嘴与阀之间的空气抽吸通道中所测量到的空气流速的变化而输出用于指示被抬升至拾取和放置喷嘴的真空吸杯的部件存在与否的电信号，其中所述阀用于控制从真空拾取和放置装置的拾取和放置喷嘴处对空气的抽吸。

检测装置可以基于在拾取和放置喷嘴附近的一部分空气抽吸通道中所测量的空气流速的变化而输出用于指示被抬升至真空吸杯的部件存在与否的电信号。

检测装置可以基于通过空气抽吸孔而被吸入的空气的流速变化输出用于指示被抬升至空气抽吸口的部件存在与否的电信号，其中所述空气抽吸孔包括作为一个开口端的真空拾取和放置装置的拾取和放置喷嘴的空气抽吸口，并且在所述空气抽吸孔中通过空气抽吸口被吸入的空气的流速变为音速。

检测装置可以基于通过空气抽吸孔而被吸入的空气的流速变化输出指示被抬升至空气抽吸口的部件存在与否的电信号，其中所述空气抽吸孔包括作为一个开口端的真空拾取和放置装置的拾取和放置喷嘴的空气抽吸口，并且它的通路横截面积的尺寸使得通过空气抽吸口被吸入的空气的流速变为音速，并且在所述空气抽吸孔中根据被抬升至拾取和放置喷嘴的真空吸杯处的部件的状态改变空气抽吸口的打开面积。

进一步设置连接至空气抽吸通道的连接器。

设置安装和保持流量传感器的板。

温度传感器还包括设置在气体流动方向的上游侧处的上游温度传感器、设置在下游侧处的下游温度传感器、以及设置在基底的上游侧附近的环境温度传感器。

基底的中心部分处具有腔，使温度传感器和基底彼此热隔绝的隔膜进一步设置在腔上。

附图简述

图1A和1B是示出根据本发明实施例的真空拾取和放置装置的外观的视图；

图2是示出拾取和放置喷嘴的剖视图；

图3A和3B是示出拾取和放置确认传感器的结构的视图；

图4A和4B是示出流量传感器的结构的视图；

图5A和5B是示出从拾取和放置确认传感器输出的输出量的输出波形图；以及

图6是用于解释拾取和放置喷嘴的操作特性的曲线图。

具体实施方式

下面将参考附图描述本发明的实施例。

图1A和1B是示出根据本发明实施例的真空拾取和放置喷嘴的外观的视图，图1A是前视图，图1B是侧视图。图2是示出拾取和放置喷嘴的结构的视图。

图1A和1B示出了用于在安装设备中的真空拾取和放置装置的例子，其中所述安装设备将芯片部件安装在印刷布线板上。用在模块式(X-Y式)安装设备中的真空拾取和放置装置将被作为例子在下文中被描述，其中在所述安装设备中多个拾取和放置喷嘴被设置成直线。本发明能够类似地被应用于旋转式安装设备，其中在所述安装设备中多个拾取和放置喷嘴被设置成圆形。

根据本发明的真空拾取和放置装置具有拾取和放置确认传感器1、拾取和放置喷嘴2、空气抽吸通道4A至4C、阀5、管6、真空发生器7、以及头单元9。

多个(在该情况中为5个)拾取和放置喷嘴2可拆卸地、等距离地连接至头单元9地底部，以控制形成在拾取和放置喷嘴2的远端处的喷嘴部分3的提升操作和喷嘴部分3围绕作为轴线的喷嘴部分3的垂直方向的旋转操作。例如，关于拾取和放置喷嘴2的平面位置(X-Y)，头单元9本身被安装设备的X-Y移动机构传送至所希望的位置处。

拾取和放置喷嘴2通过空气抽吸通道4A、拾取和放置确认传感器1、空气抽吸通道4B、阀5、以及空气抽吸通道4C共同地被连接至管6，并且共用真空发生器7所产生的真空以抬升所述部件。

每个阀5控制真空/大气压至相应拾取和放置喷嘴2的供给，并且控制部件的拾取和放置/释放。每个拾取和放置确认传感器1是包括气体流量计并且基于从拾取和放置喷嘴2吸入的空气的流速来检测被抬升至拾取和放置喷嘴2的部件存在与否的传感器。

如图2所示，每个拾取和放置喷嘴2主要由具有内室24的圆柱形喷嘴主体26构成。具有孔22的圆柱形保持件部分21形成在拾取和放置喷嘴2的下端处，从而保持件部分21与喷嘴主体26集成一体，其中所述孔22连接至内室24并与内室24接触。

每个喷嘴部分3形成具有喷嘴内室36的圆筒，并且一体形成有：装配部分31，所述装配部分31装配在保持件部分21的孔22中并且被保持以可垂直移动；以及圆柱形远端部分32，所述圆柱形远端部分32形成在装配部分31的下端处。

远端部分32具有真空吸杯34，所述真空吸杯34在其下端处具有空气抽吸口33。真空吸杯34抬升部件。空气抽吸孔35形成在远端部分32。空气抽吸孔35具有空气抽吸口33，作为它的一个开口端。空气抽吸孔35的另一个开口端向着连接至真空发生器7并与真空发生器7接触的喷嘴内室36开口。

下面将参考图3A、3B、4A和4B描述根据本发明一个实施例的拾取和放置确认传感器。图3A和3B是示出拾取和放置确认传感器的结构的视图，其中图3A是示出外观的视图，图3B是前剖视图。图4A和4B是示出用在拾取和放置确认传感器中的流量传感器的结构的视图，其中图4A是透视图，图4B是A-A剖视图。

拾取和放置确认传感器1总体上是矩形的平行六面体。空气流经的通路12形成在由模制品构成的壳体10中，其中所述模制品由塑料树脂制成。用于测量在通路12中流动的空气流速的流量传感器14设置在通路12中。

通路12的入口和出口形成在沿壳体10的纵向方向彼此相对的各个侧表面17A和17B中。将被连接至空气抽吸通道4A和4B的连接器11A和11B分别设置于侧表面17A和17B。

当流量传感器14安装在板13的通路12侧上时，流量传感器14被保持。在板13的下侧，即，在没有安装流量传感器的一侧，控制流量传感器14的检测电路15(检测器)被安装，以测量通路12中空气的流速，并且检测电路15从配线16输出用于指示被抬升至拾取和放置喷嘴2的部件存在与否的电信号1A。即，板13形成通路的壁。

如图4A和4B所示，通过将加热器61、上游温度传感器62、下游温度传感器63、环境温度传感器64、电极60形成为薄膜而形成在基底50的表面上，并用绝缘薄膜层52覆盖这些薄膜，由此来获得流量传感器14，其中基底50是通过使用铂或类似物的图案由诸如硅片等基底材料制成。

加热器61设置在基底50的中心处。上游温度传感器62设置在气体流动方向的上游侧。下游温度传感器63设置在相对的下游侧。环境温度传感器64设置在基底50的上游侧附近。

在基底50的中心部分处，一部分基底材料通过诸如各向异性蚀刻等处理被去除，以形成腔(凹陷空间)54。加热器61、上游温度传感器62、以及下游温度传感器63形成在与基底50热隔绝的隔膜51上。大量的通气孔53形成在隔膜51中，以沿隔膜51的厚度方向延伸，从而空气也流入腔54中。

流量传感器14以下述原理进行操作。空气被加热器61加热，从而它的温度比环境温度传感器64测量的空气温度高出预定的温度。空气的温度分布被上游温度传感器62和下游温度传感器63测量，以测量空气流速。

当空气静止时，通过上游温度传感器62和下游温度传感器63获得的温度分布是轴对称的。当空气流动时，失去了这种对称，并且下游温度传感器63获得的温度变得比上游温度传感器62获得的温度高。这种温度差被桥电路检测，以基于诸如空气的热导率等物理值获得空气流速(质量流速)。

通过该流量传感器14，传感器本身的尺寸能够被减小。每个温度传感器和基底均通过隔膜结构彼此热隔绝。这样，能够获得高灵敏度和高响应速度，而不会由于环境温度产生负面影响。并且，能降低功率消耗。

因此，能够在短时间内精确地检测与被抬升至拾取和放置喷嘴2处的部件存在与否相对应的非常小的流速改变或被吸入空气。

下面将参考图5A、5B和6描述根据本实施例的真空拾取和放置装置的操作。图5A和5B是示出波形图(实际测量值)，示出了从真空拾取和放置装置的拾取和放置确认传感器1输出的输出量。图6是用于解释拾取和放置喷嘴的操作特性的图。

当阀5被切换至真空发生器7一侧时，由于真空发生器7产生的真空，空气通过喷嘴部分3的空气抽吸口33被吸入，并且通过空气抽吸孔35和喷嘴内室36被引导至内室24。

这以后，空气通过形成在喷嘴主体26的侧壁中的孔25流向空气抽吸通道4A，并且进入拾取和放置确认传感器1。空气流速被拾取和放置确认传感器1测量，并且空气经过空气抽吸通道4B、阀5、空气抽吸通道4C、以及管6到达真空发生器7。这样，紧接拾取和放置喷嘴2的空气抽吸口33而设置在其下方的部件被抬升至真空吸被34。

当阀5被切换至大气压侧，从空气抽吸口33的空气抽吸停止，抬升至真空吸杯34的部件被释放。

在没有部件被抬升至拾取和放置喷嘴2的打开状态中，相对较大量的空气通过空气抽吸口33被吸入，如图5B中测量流速值71所示。这样，从拾取和放置确认传感器1输出的输出量表示高的输出电压。在部件被抬升的状态中，部件减小空气抽吸口33的打开面积，从而通过空气抽吸口33而被吸入的空气减少。这样，从拾取和放置确认传感器1输出的输出量表示低的输出电压。

因此，可以基于释放状态和抬升状态之间的输出电压差，确认被抬升部件存在与否。

通常，根据天气、温度或海拔高度，大气压发生改变。真空发生器7所产生的真空包括由于装置的结构因素而引起的正和负波动幅度。并且，如图1A所示，如果一个真空被多个拾取和放置喷嘴共享，则当另外的拾取和放置喷嘴操作时，真空发生变化。

因此，与传统情况相同，当利用压力传感器在拾取和放置喷嘴的出口侧测量的气压将被测量时，上述各种类型的波动对测量结果产生直接的负面的影响。特别地，当具有小通路横截面积的拾取和放置喷嘴被使用时，在拾取和放置喷嘴中的压降较大，并且由此被抬升部件存在与否所引起的压力差趋于较小。扰动被加至这种趋势，以减小S/N比。结果，不能被精确地确认被抬升部件的存在与否。

为了排除扰动的影响，在需要时，用于确认的参考压力值可以被调整。在这种情况中，调整操作变得必要，结果降低了安装设备的操作效率。

与此相反，本发明人注意到上述拾取和放置喷嘴2的特性。通过测量从拾取和放置喷嘴2吸入的质量流速或空气来检测被抬升部件存在与否。

在将芯片部件安装到印刷布线板上的安装设备所使用的真空拾取和放置装置中，拾取和放置喷嘴2的空气抽吸孔35(空气抽吸口33)的通路横截面积较小。为了获得所需要的部件抬升力，利用真空发生器7通过与大气压相差极大的真空将空气吸入。在没有部件被抬升的释放状态中，在拾取和放置喷嘴2的空气抽吸孔35处的空气流速恒定，即，是声速(当大气温度是20摄氏度时，为344m/s)

通常，已知当空气通道的入口侧压力Pin与出口侧压力Pout的压力比Pin/Pout(绝对压力比)具有预定值时，即，大致为2或更多时，在空气通道中的流速等于声速的预定速度，如图6所示。该空气通道被称为音速喷嘴。

在安装设备中使用的真空拾取和放置装置的拾取和放置喷嘴2中，由于抬升部件所需的足够的真空的作用，空气抽吸孔35非常窄，足够的压力比被形成。这样，空气抽吸孔35被用在空气流速是声速的饱和段中。换言之，当以上压力比被保持时，即使在真空改变时，在空气抽吸孔35中的空气流速也是恒定的。

由此，质量流速变得不再与压力相关。可以获得高的S/N比作为流速信号，而不会被排列成行的真空发生器或拾取和放置喷嘴的操作所引起的扰动负面地影响，即，不会被压力波动负面地影响。

当从打开面积和声速的乘积获得质量流速时，它依赖于打开面积。打开面积根据被抬升部件的存在与否而发生变化。如果质量流速被检测，则打开面积的变化，即，能根据质量流速的大小，精确地确认被抬升部件的存在与否。因此，能够精确地确认释放状态。因此，所述确认不会较大地受到被抬升部件的姿态的负面影响，并且即使有真空吸杯具有三维结构、部件被倾斜地抬升的拾取和放置头，所述确认也能被很好地进行。

在以上描述中，描述了抬升诸如电子部件等小部件的拾取和放置喷嘴。当其他物品将被真空抬升时，作为拾取和放置喷嘴，可以使用这种的喷嘴：即，所述喷嘴具有空气抽吸孔，所述空气抽吸孔的通路横截面积使得在释放状态下空气流速变得恒定(声速)或者使得能获得上述压力比。例如，在上述图2中，形成在抬升喷嘴2的远端部分34中的空气抽吸孔35具有从上游端至下游端大致恒定的形状，并且具有如上所述的通路横截面积。

这将基于上述音速喷嘴的原理被严格地表达。只要空气抽吸孔35在空气抽吸口33处具有上述通路横截面积，并且在空气抽吸口33处的通路横截面积在空气抽吸口33之后、管6之前的空气通路中为最窄，就足以满足对空气抽吸孔35的要求。

这将从真空侧被表达。可以使用这样的真空：利用所述真空，在拾取和放置喷嘴2的空气抽吸孔35的两端处的压力比变为两倍或更多倍。可以实际测量空气抽吸孔35的下游端处的压力，或者可以根据在喷嘴内室36、内室24、或空气抽吸通道4A中测量的压力以及根据从压力测量位置至空气抽吸孔35的下游端的压力梯度进行评估。

上述图5A和5B示出了在使用空气抽吸口33(空气抽吸孔35)的通路横截面积为φ0.2的拾取和放置喷嘴2时所获得的输出电压。为了比较，示出了使用压力传感器时所获得输出电压。

压力传感器是普通的传感器，具有与广泛地用在安装设备中的真空发生器的真空输出(大约为30kPa的绝对压力)相对应的测量范围。图5A和5B示出了在释放状态下两种情况的输出电压。在压力传感器的输出特性72中的部件拾取和放置之前和之后之间的输出值差小于在空气流速传感器的输出特性71中的输出值差。

除了输出值差最初较小的事实以外，由于上述的扰动，输出特性波动、从而降低S/N比。这样，不能相对于参考压力值74保持幅度，并且很难利用压力传感器确认被抬升的部件存在与否。

与此相对，关于空气流速，可以获得一定程度的输出值差，并且上述的扰动大致没有影响，从而能够获得高的S/N比。这样，能够相对于参考流速值73保持充足的幅度，并且能够精确地确认被抬升部件存在与否。

关于拾取和放置确认传感器1的布置位置，只要它位于使拾取和放置喷嘴2与阀5彼此连接的空气抽吸通道4A或4B上即可，如图1A和1B所示，而不用管它设置在哪儿，只要它能够测量从拾取和放置喷嘴2吸入的空气流速。

尽管短，然而空气流动还是会花费时间。如果拾取和放置确认传感器1设置在拾取和放置喷嘴2的附近、空气、空气抽吸通道4A和4B的附近，能够缩短检测被抬升部件所需的延迟时间。

根据上述实施例，设置拾取和放置喷嘴，它包括具有空气抽吸口的真空吸杯。当利用真空从拾取和放置喷嘴的空气抽吸口吸入空气时，使用拾取和放置确认传感器，以基于从拾取和放置喷嘴的空气抽吸口吸入的空气的流速变化来输出指示被抬升至真空吸杯的部件存在与否的电信号。与使用压力传感器检测被抬升部件存在与否的传统情况相比，即使在使用的拾取和放置喷嘴的空气抽吸口的通路横截面积小的情况下，也能更可靠地检测被抬升部件存在与否。

如上所述，根据本发明的真空拾取和放置装置以及拾取和放置确认传感器适于传送诸如电子部件等小部件，并且尤其适于检测被抬升至真空吸杯的部件存在与否。

Claims (5)

1.一种真空拾取和放置装置，其特征在于，包括：

多个拾取和放置喷嘴，所述拾取和放置喷嘴包括具有空气抽吸口的真空吸杯、和空气抽吸孔，其使通过空气抽吸口被真空吸入的空气的流速变为声速，并且通过所述空气抽吸孔从所述空气抽吸口吸入空气，以将部件抬升至所述真空吸杯；

分别连接于所述多个拾取和放置喷嘴的多个空气抽吸通道；

并列连接了所述多个空气抽吸通道的管道；

真空供给单元，所述真空供给单元与所述管道连接，并且通过所述管道和所述多个空气抽吸通道向所述多个拾取和放置喷嘴分别供给真空，利用所述真空，在空气抽吸孔的上游端处的压力基本不小于下游端处的压力的两倍；以及

多个拾取和放置确认传感器，所述传感器设置在所述多个空气抽吸通道的每一个上、并且测量从所述拾取和放置喷嘴的所述空气抽吸口被吸入的空气的流量，基于所测量的流量而输出指示被抬升至所述真空吸杯的部件存在与否的电信号。

2.根据权利要求1所述的真空拾取和放置装置，其特征在于，所述拾取和放置确认传感器包括：

设置在气体通路中的基底；

加热器，所述加热器以薄膜形式被形成在所述基底表面上；

多个温度传感器，所述多个温度传感器以薄膜形式被形成在所述基底的表面上；以及

用于基于所述温度传感器所测量到的在所述加热器附近的温度分布情况来测量质量流量的检测装置。

3.根据权利要求1所述的真空拾取和放置装置，其特征在于，还包括：

多个阀，所述阀设置在所述多个空气抽吸通道的每一个上、并且对使用真空从所述拾取和放置喷嘴对空气进行的抽吸进行控制。

4.根据权利要求3所述的真空拾取和放置装置，其特征在于，所述拾取和放置确认传感器包括：

流量传感器，所述流量传感器检测在所述阀与所述拾取和放置喷嘴之间的空气抽吸通道内测量到的空气的质量流量；以及

检测装置，所述检测装置基于所述流量传感器的输出，来输出指示被抬升至所述真空吸杯的部件存在与否的电信号。

5.根据权利要求1所述的真空拾取和放置装置，其特征在于，

所述空气抽吸孔，向所述空气抽吸口开口，并且将通过所述空气抽吸口吸入的空气引导至与所述空气抽吸通道连通的所述拾取和放置喷嘴的喷嘴内室。

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