JPH07314371A - デバイスの空気式吸着搬送装置 - Google Patents

デバイスの空気式吸着搬送装置

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JPH07314371A
JPH07314371A JP13808894A JP13808894A JPH07314371A JP H07314371 A JPH07314371 A JP H07314371A JP 13808894 A JP13808894 A JP 13808894A JP 13808894 A JP13808894 A JP 13808894A JP H07314371 A JPH07314371 A JP H07314371A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
adsorption
suction
vacuum
socket
vacuum tube
Prior art date
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Pending
Application number
JP13808894A
Other languages
English (en)
Inventor
Tokuo Karasawa
徳男 唐澤
Toshikazu Kawakami
敏二 川上
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Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】圧力センサによる一括判定方式として従来の光
学センサと判定電気回路を不用とした、操作性、経済性
の良いデバイスの空気式吸着搬送検出装置を提供する。 【構成】 デバイスを吸着する吸着パット1a、1b、
1c、1nを吸着パット支持台3に設け、吸着用バキュ
ーム管4a、4b、4c、4nを吸着用バキューム管束
ねソケット5に接続し、T型バキューム管接続ソケット
7に圧力センサ8を設け、ソレノイドバルブ9とバキュ
ームポンプ10を設け、バキュームポンプ10の吸引力
が伝わるようバキューム管6で各部品を結合。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、デバイスの空気式吸着
状況をデバイスn個分束ねて空気式吸着状況の検出を一
括で判定を行う装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来からデバイスの空気式吸着状況を個
別に検出を行う手段は存在した。デバイスの吸着口ごと
に一個一個光学センサステージを設けたのでセンサ判定
機能が必要であり装置が複雑化した。検出を行うために
は一個一個光学センサステージの調整を必要とし、それ
に伴い操作性が煩雑であった。
【0003】従来の技術の例を図2に示す。図2Aに示
すように吸着パット1a、1b、1c、1nは吸着パッ
ト支持台3に設け、図2Bに示すようにデバイスの吸着
パットごとに一個一個光学センサステージ100と光学
センサ101を設けたので、検出を行うためには一個一
個光学センサステージの調整を必要とし、操作性も煩雑
で、複雑化した回路の制作と調整は長時間を要した。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述のように従来の技
術においては、デバイスの吸着状況を個別に検出を行っ
ていた。 個別に検出を行うためにデバイスの吸着数分だけセン
サ判定機能を必要としたのでセンサ回路が複雑化した。
複雑化した回路の製作と調整及び保守と作業能率と操
作性いずれにも問題点があった。 そこで、本発明においては、デバイスをn個分束ねて行
う一括判定手段を設けることにより複雑な回路の製作を
簡素化し、単純な調整と簡単な保守と操作性の良好な装
置の提供を目的とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】複数の吸着パット1a、
1b、1c、1nを吸着パット支持台3に設ける。吸着
パット1a、1b、1c、1nのn本分を吸着用バキュ
ーム管4a、4b、4c、4nを用いて吸着用バキュー
ム管束ねソケット5に束ねる。吸着用バキューム管束ね
ソケット5とT型バキューム管接続ソケット7及びソレ
ノイドバルブ9とバキュームポンプ10の間を各々結合
するバキューム管6を設け、T型バキューム管接続ソケ
ット7に圧力センサ8を設け、以上のように、デバイス
の空気式吸着搬送装置を構成する。
【0006】
【作用】上記のように構成された吸着パット1a、1
b、1c、1nは吸着パット支持台3の動きに連動す
る。吸着パット1a、1b、1c、1nのn本分は吸着
用バキューム管4a、4b、4c、4nで吸着用バキュ
ーム管束ねソケット5に束ねられバキューム管6は吸着
用バキューム管束ねソケット5とT型バキューム管接続
ソケット7とソレノイドバルブ9とバキュームポンプ1
0を各々結合デバイスの空気式吸着を行い、デバイス吸
着の検出を一括して圧力センサ8が行う。
【0007】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例につい
て説明する。図1は本実施例によるデバイスの空気式吸
着装置の斜視図である。吸着用デバイス2の吸着を行う
に当たり、吸着パット支持台3は目的とする吸着用デバ
イス2に接近して吸着を開始する、吸着パット1a、1
b、1c、1nは吸着用デバイス2をそれぞれ吸着す
る、吸引はバキュームポンプ10よりバキューム管6を
通りソレノイドバルブ9を通りT型バキューム管接続ソ
ケット7を通り吸着用バキューム管束ねソケット5より
それぞれの吸着パットに作用する。吸着パット1a、1
b、1c、1nに吸着された、吸着用デバイス2の検出
は一括して圧力センサ8が行う、吸着パットn個すべて
に吸着した場合と1個から数個または全数吸着出来ない
場合は、圧力センサ8によって判別される。
【0008】
【発明の効果】本発明は、以上説明した様に構成されて
いるので以下に記載されるような効果を奏する。 (1)本発明おけるデバイス吸着の検出を束ね一括判定
方式による圧力センサ8が行うことに特徴がある。本発
明の構成を採用することによってデバイスの空気式吸着
搬送装置の製作は容易となった。 (2)従来のデバイス吸着検出回路は吸着パットの数だ
け必要としたので製作は複雑で、調整、保守、操作性の
点でも良くなかったが、デバイスの吸着状態を吸着束ね
一括判定方式を取ったので圧力センサ8で簡単に検出す
ることが出来た。 (3)従来のデバイス吸着の検出回路もバキュームポン
プ10を使用するが、デバイス吸着口毎に検出回路に判
定用電気回路を必要とした。本発明装置の検出には判定
用電気回路は不用であるため、製作、調整、保守は手間
が掛からず安価であり操作性は抜群に向上した。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例によるデバイスの空気式吸着装
置の斜視図である。
【図2】従来の実施例によるデバイスの空気式吸着装置
の斜視図である。
【符号の説明】
1a、1b、1c、1n吸着パット 2 吸着用デバイス 3 吸着パット支持台 4a、4b、4c、4n吸着用バキューム管 5 吸着用バキューム管束ねソケット 6 バキューム管 7 T型バキューム管接続ソケット 8 圧力センサ 9 ソレノイドバルブ 10 バキュームポンプ 100 光学センサステージ 101 光学センサ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のデバイスを一度に空気式吸着搬送
    装置で吸着し、他の位置に搬送するデバイスの空気式吸
    着搬送装置において 複数の吸着パット(1a、1b、1c、1n)を吸着パ
    ット支持台(3)に設け、 当該吸着パット(1a、1b、1c、1n)のn本分を
    吸着用バキューム管(4a、4b、4c、4n)により
    束ねた吸着用バキューム管束ねソケット(5)を設け、 T型バキューム管接続ソケット(7)と空気の流れをオ
    ン・オフするソレノイドバルブ(9)と空気を吸引する
    バキュームポンプ(10)を設け、 当該吸着用バキューム管束ねソケット(5)と当該T型
    バキューム管接続ソケット(7)と当該ソレノイドバル
    ブ(9)と当該バキュームポンプ(10)の間を各々結
    合するバキューム管(6)を設け、 当該T型バキューム管接続ソケット(7)にデバイスの
    吸着を判定する圧力センサ(8)を設け、 以上の構成を具備することを特徴とする、デバイスの空
    気式吸着搬送装置。
JP13808894A 1994-05-27 1994-05-27 デバイスの空気式吸着搬送装置 Pending JPH07314371A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003101678A1 (fr) * 2002-06-04 2003-12-11 Yamatake Corporation Dispositif d'attraction par pression negative et capteur de confirmation d'attraction
CN102967843A (zh) * 2012-11-12 2013-03-13 重庆市电力公司电力科学研究院 一次压紧接线组件
CN103658233A (zh) * 2013-11-25 2014-03-26 昆山市三众模具制造有限公司 一种真空压力传感器检测装置
CN107443398A (zh) * 2017-09-12 2017-12-08 白锦添 一种快速安全编程方法

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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20020910